JPH0565970B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は電子線照射装置に関する。

（従来の技術） 電子線照射装置において、電子線源を長尺状と
し帯状に電子線を発生するようにしたものは既に
よく知られている。ところで従来のこの種装置は
絶縁碍子に支持されてある中心導体に電子線源を
固定して支持するようにしていた。

第２図は従来のこの種装置の断面図を示し、１
は真空容器、２は絶縁ガスが充満されてあるタン
ク、３は真空容器１とタンク２とを連結するよう
に取り付けてある絶縁碍子で、たとえばエポキシ
樹脂などによつて製作されてある。４は電子線源
で、加熱されることによつて電子線を発生するカ
ソード５と、これを包囲するシールド電極６と、
電子引出用のスクリーン７とによつて主として構
成されてある。

シールド電極６は、絶縁碍子３を貫通するよう
に固定されてある中心導体８の端部に、熱絶縁体
９を介してナツトなどによつて固定支持されてあ
る。中心導体８の他方の端部は導入端子部１０に
よつて気密に封止されてある。前記カソード５の
リード線１１は前記導入端子部１０に絶縁された
状態でタンク２内に導出されてあり、その先端に
おいて加熱用の電源１２に接続されてある。１３
は電子線加速用の電源、１４は電界緩和用のフー
プで、中心導体８に支持されてある。

カソード５が電源１２によつて加熱されるとこ
れより電子線が発射され、電源１３によつて加速
されて照射窓１Ａより外部に照射される。ところ
で第２図に示す従来構成では、電子線源４がアル
ミニユームのような熱伝導の良い材料からなる中
心導体８に支持されているため、如何に熱絶縁体
９が介在していても、カソード５を加熱したとき
にこれよりの熱が、シールド電極６より中心導体
８を介して絶縁碍子３に伝導されるようになる。

このような熱伝導により絶縁碍子３自体の温度
が上昇する。一般にエポキシ樹脂等の絶縁体は、
その物質中の吸着ガス量が多く、かつ加熱により
分解ガスも多く発生するため、発生したガスがイ
オン化し、そのものが部分放電のトリガーとな
り、全体の耐電圧の劣化を生じるようになる。こ
れでは電子線源４を長期にわたつて電気的な絶縁
を維持することできないようになる。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は電子線源の発熱に基づく熱伝導によ
り、絶縁碍子の温度が上昇してその耐電圧が劣化
するのを確実に防止することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） この発明は電子線源のシールド電極を従来のよ
うに中心導体に直接支持するのを止めて、中心導
体の内部に低熱伝導性の固定管を設け、この固定
管の端部にシールド電極を固定するとともに、固
定管の他方の端部を、絶縁碍子に貫通支持されて
あつてかつ導入端子部によつて封止されている中
心導体の端部に熱絶縁耐を介して固定したことを
特徴とする。

（作用） 中心導体の端部にはシールド電極が連結されて
おらず、その端部は真空容器内で開口しているの
で、中心導体の内部は真空であるため、固定管に
電子線源から熱が伝導されてきても、その熱は中
心導体に輻射されにくくなる。また固定管に熱が
伝導されてきても、固定管はステンレスのような
低熱伝導率の材料によつて構成されてあること
と、固定管と中心導体とは熱絶縁体を介して連結
されてあることとにより、従来構成に比較して中
心導体への熱伝導は著しく低減されるようにな
る。

（実施例） この発明を第１図によつて説明する。なお第２
図と同じ符号を附した部分は同一または対応する
部分を示す。この発明にしたがいステンレス、モ
リブデン、ニツケルなどのように、アルミニユー
ム、鉄などに比較して低熱伝導率の材料からなる
固定管１５を用意し、これを中心導体８の内部に
挿通するとともに、その一方の端部にシールド電
極６の端部をボルトなどによつて固定する。

固定管１５の他方の端部は導入端子部１０に中
心導体８とともにボルトなどによつて固定され
る。このとき固定管１５と中心導体８との間に、
セラミツク、結晶化ガラスなどからなる熱絶縁体
１６を介在させ、固定管１５からの熱伝導を極力
遮断するようにする。またフープ１４はシールド
電極６に支持せしめてある。

電子線発射のためにカソード５が電源１２によ
つて加熱されると、その熱は従来と同様にシール
ド電極６を介して中心導体８側に伝導されようと
する。しかしシールド電極６は従来と異なつて、
中心導体８の端部には連結されておらず、固定管
１５に固定支持されており、固定管１５の端部は
真空容器１内で開口しているので、中心導体８の
内部は真空であるため、固定管１５に熱が伝導さ
れてきても、その熱は中心導体８に輻射されにく
くなる。

また固定管１５に熱が伝導されてきても、固定
管１５はステンレスのような低熱伝導率の材料に
よつて構成されてあることと、固定管１５と中心
導体８とは熱絶縁体１６を介して連結されてある
こととにより、従来構成に比較して中心導体８へ
の熱伝導は著しく低減されるようになる。

以上のようにして電子線源４からの熱によつて
中心導体８は加熱されるようなことはなく、した
がつてこの中心導体８を支持している絶縁碍子３
が温度上昇するようなことはこれをもつて確実に
防止することができるようになるのである。

なお図のようにフープ１４をシールド電極６に
固定支持するようにしておくと、これに電子がト
ラツプしてもこれによる熱が中心導体８に直ちに
伝達されるようなことはなく、しかもフープ１４
によつて直接絶縁碍子３に与えられるカソード５
よりの輻射熱成分の少なくとも一部が遮られ、都
合がよい。

（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、電子線
源を固定支持する中心導体が電子線源からの熱に
よつて加熱されるのが回避され、したがつて中心
導体を支持している絶縁碍子の温度上昇による耐
電圧の劣化を確実に防止することができるといつ
た効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す断面図、第２
図は従来例の断面図である。 １……真空容器、１Ａ……照射窓、２……タン
ク、３……絶縁碍子、４……電子線源、５……カ
ソード、６……シールド電極、８……中心導体、
１０……導入端子部、１５……固定管、１６……
熱絶縁体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 電子線源を真空容器内に設置するとともに、
   前記真空容器を、内部に絶縁ガスが収納してある
   タンクに絶縁碍子を介して連結し、前記絶縁碍子
   に中心導体を貫通支持してなる電子線照射装置に
   おいて、前記中心導体の内部に低熱伝導性の固定
   管を設け、前記電子線源を構成しているシールド
   電極を、前記中心導体の一方の端部が前記真空容
   器内で開口している状態で、前記固定管の一方の
   端部に固定するとともに、前記固定管の他方の端
   部を、導入端子によつて封止されている前記中心
   導体の他方の端部に熱絶縁体を介して固定してな
   る電子線照射装置。