JPH1151964A

JPH1151964A - 加速度センサ

Info

Publication number: JPH1151964A
Application number: JP9227590A
Authority: JP
Inventors: Kazutoyo Ichikawa; 和豊市川; Norihiko Shiratori; 典彦白鳥; Hiroaki Terao; 博明寺尾; Tomoo Namiki; 智雄並木; Minoru Hatakeyama; 稔畠山; Masato Handa; 正人半田; Yoshiya Okada; 恵也岡田
Original assignee: Miyota KK; Miyota Co Ltd
Current assignee: Miyota KK; Miyota Co Ltd
Priority date: 1997-08-07
Filing date: 1997-08-07
Publication date: 1999-02-26

Abstract

(57)【要約】【課題】小型低背で、検出精度が高く、かつ耐衝撃
性、信頼性も高い加速度センサを得る。【解決手段】板状の可撓部材と少なくとも検出用電極
が形成され該可撓部材の片面に固定される圧電素子と重
錘体を有するセンサ部と、該可撓部材の外周部を支持す
る支持部材と、電子部品を搭載し接続端子を有する回路
基板と、該支持部材を固定し、該回路基板を支持すると
ともに外部との電気的導通をとる接続部材を有するベー
スと、該センサ部および該回路基板を保護する保護部材
を備える加速度センサにおいて、該回路基板は、該セン
サ部の側方に配置される。また、センサ部と支持部材と
に位置決め部を設ける。さらに検出電極と回路基板との
電気的導通をとるリード線は少なくとも電極との接合部
が樹脂により保護される。そしてベースと保護部材によ
り密閉空間が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は圧電素子を用いた加
速度センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】加速度センサは自動車業界でエアーバッ
グ制御のセンサ等として使用されている。検出方式はい
ろいろ開発されているが、本発明は表面に電極を形成し
た圧電素子を貼付した可撓部材の中央部に加速度により
慣性力を生じる重錘体を設け、加速度による重錘体の慣
性力で可撓部材が変形（この時表面に貼付してある圧電
素子も変形しその歪量に比例した電荷を発生する）する
ことにより加速度を検出するものにかかわる。

【０００３】本発明に係わる先行技術として、特開平
５−２６７４４号がある。図１は従来技術による加速度
センサの代表的な例で正面断面図である。図２は圧電素
子側から見た平面図である。可撓性を持った円盤状の基
板１の上面には、両面に検出電極３、４、５、６が形成
された圧電素子２が貼付され、下面の中央部には加速度
を可撓性を持った円盤状の基板１の歪みに置換するため
の重錘体７が貼付されている。

【０００４】加速度により重錘体と可撓部材の相対位置
がずれることで可撓部材に貼付してある圧電素子が歪
み、電荷が発生する。電荷は表面に形成してある電極で
集められ、ある電位（電圧）として計測される。本明細
書では電極に発生する電荷と表現する。圧電素子は歪み
量により発生する電荷の量が変わる。また圧電素子の面
積や体積によっても発生する電荷の量が変わる。

【０００５】先出の特開平５ー２６７４４号は、圧電素
子を用いた力センサにおいて、板状の圧電素子と、この
圧電素子の上面に形成された上部電極と、この圧電素子
の下面に形成された下部電極と、によって構成される検
出子を４組用意し、可撓性をもった基板内の一点に原点
を定義し、この原点を通りかつ基板面に平行な方向にＸ
軸を定義し、用意した４組の検出子のうちの２組をＸ軸
の正の側に、他の２組を負の側に、それぞれＸ軸に沿っ
て並べて配置し、各検出子の一方の電極を基板に固定
し、基板外側の周囲部分をセンサ筐体に固定し、外部か
ら作用する物理量に基づいて発生した力を、原点に伝達
する機能を有する作用体（重錘体）を形成し、この作用
体に発生した力を４組の検出子の各電極に発生する電荷
に基づいて検出するようにしたものであり、外部から与
えられる加速度に基づいて作用体に力を発生させること
により加速度が検出できる。図２はＸ軸方向に４組、Ｙ
軸方向に４組の検出子を配置した例である。このように
電極を配置することでＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向の加
速度を検出することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】通常、ある軸方向の加
速度を正確に検出するために加速度センサはそのベース
を被測定物に対し所定の位置関係を維持して固定され
る。もし、その位置関係が崩れた場合は加速度センサの
被測定物に対する取付角度がずれてしまうため検出され
た角速度の値は正しい値とならない。加速度センサ自体
の問題としては加速度センサのベース（センサ筐体）と
センサ部とで所定の位置関係が保たれない場合はお互い
の取り付け角度がずれて検出精度が悪くなる。特に複数
軸方向の加速度を検出する加速度センサにおいてはその
影響は大きい。さらに近年では用途も多岐にわたり、小
型低背化、耐衝撃性、信頼性の向上が求められている。
本発明はこれらの課題を解決しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は従来の加速度セ
ンサの課題を解決するためのものであり、小型軽量、高
精度で、かつ、耐衝撃性、信頼性がともに高い３軸方向
の加速度を検出できる加速度センサを提供する。

【０００８】板状の可撓部材と少なくとも検出用電極が
形成され該可撓部材の片面に固定される圧電素子と重錘
体を有するセンサ部と、該可撓部材の外周部を支持する
支持部材と、電子部品を搭載し接続端子を有する回路基
板と、該支持部材を固定し、該回路基板を支持するとと
もに外部との電気的導通をとる接続部材を有するベース
と、該センサ部および該回路基板を保護する保護部材を
備える加速度センサにおいて、該回路基板は、該センサ
部の側方に配置される。これにより小型低背化が図れ
る。

【０００９】センサ部と支持部材とに位置決め部を設け
る。さらに支持部材とベースとに係合部（位置決め部）
を設ける。これによりベースとセンサ部は所定の位置関
係に保たれ、加速度センサを被測定物に所定の位置に固
定することにより、加速度の大きさを検出する検出軸方
向とセンサ部との角度のずれが小さくなり検出精度が上
がる。

【００１０】リード線により検出電極と回路基板との電
気的導通がとられ、該リード線は少なくとも電極との接
合部が樹脂により保護される。これにより強い衝撃が加
わった場合でのリード線が断線することがなく耐衝撃性
が向上する。

【００１１】ベースと保護部材により密閉空間が形成さ
れ、該密閉空間は真空または不活性ガス雰囲気にする。
これにより、圧電素子に形成された電極の酸化、硫化を
防ぎ、信頼性が上がる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明を図面に基づき詳細に説明
する。図３は本発明の第一実施例で正面断面図である。
図４は本発明の第一実施例でカバーを除いた上面図であ
る。図５は本発明の第一実施例でベースの上面図であ
る。図の如く矩形で板状の可撓部材２１の内部に原点２
２を定義し、原点２２を通り可撓部材２１の平面に平行
な方向にＸ軸を、原点２２においてＸ軸と直交し、か
つ、可撓部材２１の平面に平行な方向にＹ軸を、原点２
２を通り、かつ、可撓部材２１の平面に垂直な方向にＺ
軸をそれぞれ定義する。ここで、矩形で板状の可撓部材
２１の直線部分はＸ軸、Ｙ軸に平行に配置されている。

【００１３】矩形で板状の可撓部材２１の上面には矩形
で板状の圧電素子２３が固定されている。圧電素子２３
は可撓部材２１と外形が同じ形状に形成されている。可
撓部材２１は支持部材２４に固定される。支持部材２４
には、直方体をしたガイド部２４ａ、２４ｂが設けられ
ている。さらにガイド部２４ａの長辺はＸ軸に平行で、
ガイド部２４ｂの長辺はＹ軸に平行に配置されている。
可撓部材２１と圧電素子２３は外周の直線部分がガイド
部２４ａ、２４ｂにガイドされることにより位置決めさ
れて固定される。ここで、位置決めは各部材の直線部分
を利用しているが、お互いの位置が所定の位置に決めら
れれば、形状は直線に限定されるものではない。さらに
支持部材にはＺ軸を中心とした貫通穴２４ｅが設けられ
ている。圧電素子２３の上面には８個の検出電極２５が
形成され、下面には電極２６が形成されている。８個の
検出電極２５の配置は後述する。可撓部材２１の下面に
は円柱形をした重錘体２７が、その中心軸とＺ軸とが一
致するように固定されている。すなわち、重錘体２７は
貫通穴２４ｅの内側で、自由に動くことができる。可撓
部材２１と圧電素子２３と重錘体２７とでセンサ部２０
が構成される。

【００１４】圧電素子２３の上面には扇形をした４個の
検出電極２５ａ〜２５ｄが、Ｘ軸、Ｙ軸上で、かつ、Ｘ
軸、Ｙ軸に対して軸対称に形成されている。検出電極２
５ａはＸ軸プラス側に配置され、検出電極２５ｃはＸ軸
マイナス側に配置される。検出電極２５ｂはＹ軸プラス
側に配置され、検出電極２５ｄはＹ軸マイナス側に配置
される。検出電極２５ａ〜２５ｄの円周部は、Ｚ軸方向
に力を加えたときに応力がゼロとなるライン２８の内側
に設けられている。さらに圧電素子２３の上面には扇形
をした４個の検出電極２５ｅ〜２５ｈが、原点２２を通
りＸ軸、Ｙ軸に対してほぼ４５°をなす軸上で、かつ、
Ｘ軸、Ｙ軸に対して軸対称に形成されている。検出電極
２５ｅ〜２５ｈの円周部は、Ｚ軸方向に力を加えたとき
に応力がゼロとなるライン２８の内側に設けられてい
る。このように配置された検出電極２５ａ〜２５ｄにお
いて、原点２２に対して対向する検出電極は、分極方位
が逆になるように分極され、お互いに接続される。検出
電極２５ａと検出電極２５ｃは接続電極２９ａにより接
続され、検出電極２５ｂと検出電極２５ｄは接続電極２
９ｂにより接続される。検出電極２５ｅ〜２５ｈは分極
方位が同じになるように分極され接続される。検出電極
２５ｅと２５ｈは接続電極３０ａにより接続され、検出
電極２５ｈと２５ｇは接続電極３０ｂにより接続され検
出電極２５ｇと２５ｆは接続電極３０ｃにより接続され
る。検出電極２５ａ、２５ｃを用いてＸ軸方向の加速度
を検出し、検出電極２５ｂ、２５ｄを用いてＹ軸方向の
加速度を検出し、検出電極２５ｅ〜２５ｈを用いてＺ軸
方向の加速度を検出する。圧電素子２３の下面にはほぼ
８個の検出電極２５に、ほぼ対向して電極２６が形成さ
れている。

【００１５】ベース４１は長手方向がＸ軸方向に平行に
なるように配置される。ベース４１には矩形状の凹部４
１ａが形成され、凹部４１ａの側面４１ｂはＸ軸に、側
面４１ｃはＹ軸に平行になるように形成されている。ま
た、凹部４１ａの底面部４１ｄはＸＹ平面に平行になる
ように形成されている。支持部材２４の側面２４ｃは凹
部４１ａの側面４１ｂに、支持部材２４の側面２４ｄは
凹部４１ａの側面４１ｃによりガイドされる。支持部材
２４の底面２４ｆと圧電素子２３の主面が平行になるよ
うに形成され、ベース４１の凹部４１ａの底面４１ｄに
固定される。これによりベース４１とセンサ部２０との
方向（位置関係）が決められる。（図５中の斜線部は、
支持部材２４のベース平面４１ｆと同じ高さの断面を示
す。）ここで、位置決めは各部材の直線部分を利用して
いるが、お互いの位置が所定の位置に決められれば、形
状は直線に限定されるものではない。また、一例とし
て、後述するピン４２と支持部材２４が係合するように
形成して位置決めをしてもよい。ベース４１とセンサ部
２０は所定の位置関係に保たれ、加速度センサを被測定
物に所定の位置に固定することにより、検出軸とセンサ
部との角度のずれが小さくなり検出精度が上がる。ベー
ス４１には接続部材として１４本のピン４２が立てられ
て固定されている。ピン４２の先端部には回路基板４３
がセンサ部２０の側方に配置され固定されている。これ
により低背化が図れる。ピン４２と回路基板４３とはハ
ンダ付けにより固定され、ピン４２は回路基板４３を支
持するとともに外部との電気的導通をとっている。

【００１６】回路基板４３には電子部品が搭載され、加
速度センサの検出回路等が構成されている。圧電素子２
３の上面に形成されている接続電極２９ａより引き出し
電極３１ａが引き出され、検出電極２５ｂより引き出し
電極３１ｂが引き出され、検出電極２５ｅより引き出し
電極３１ｃが引き出され、下面に形成されている電極２
６より上面に引き出し電極３１ｄが引き出されている。
これらの引き出し電極と回路基板とはリード線３２によ
って接続される。リード線３２はハンダ付け、あるい
は、ワイヤーボンディング等によって固定される。ここ
でリード線３２は少なくとも電極との接合部が樹脂によ
り保護される。好ましくは、リード線３２全体を樹脂で
保護するとよい。（図示はしていない）。大きな加速度
が加わったり、交番的に加速度が加わったりしてもリー
ド線３２が切れることがなくなり、耐衝撃性が向上す
る。ベース４１には、回路基板４３の下方の部分にさら
に凹部４１ｇを設けることにより、電子部品を凹部４１
ｇ内に配置することができるようになる。回路基板４３
の両面に電子部品を実装でき、さらに小型低背化が図れ
る。

【００１７】ベース４１にはフランジ部４１ｅが設けら
れている。保護部材であるカバー５１にもフランジ部５
１ａが設けられ、これらのフランジ部により密閉構造に
し、加速度センサ内に密閉空間をつくっている。一般的
にはハーメチックシールされ、密閉空間内は真空、また
は窒素ガス等の不活性ガス雰囲気にされる。これにより
酸化、硫化が防がれ、加速度センサの信頼性が向上す
る。

【００１８】可撓部材２１、重錘体２７はスーパーイン
バー材を用いた。支持部材２４は金属材料を用いた。圧
電素子２３は圧電セラミックスであるＰＺＴを用い、電
極は蒸着によりＡｇ−Ｃｒ合金で形成した。スパッタ、
スクリーン印刷等の方法で電極を形成してもかまわな
い。可撓部材２１と圧電素子２３はエポキシ系の接着剤
で固定した。可撓部材２１と重錘体２７もエポキシ系の
接着剤により固定したが、溶接等の方法で固定してもか
まわない。可撓部材２１と支持部材２４は接着剤で固定
した。部材の材質および固定方法は所定の機能を満たす
ものであればこれらに限定されるものではない。好まし
くは、お互いに熱膨張率の近い材質を選ぶと良い。

【００１９】ベース４１はハーメチックシール用の部材
を用い、ピン４２は金属材料を用いた。ハーメチックシ
ール用部材は市販されているものが多く、適当な部材を
選定すると、新たに金型を起こして製造する必要もなく
安価に入手できる。第一実施例においても市販品のもの
を用いた。ピン４２は５本あれば十分であるが、このよ
うに市販品を用いて必要な部分だけ利用しても良い。カ
バー５１は磁気による影響をなくすためパーマロイを用
いた。カバー５１はベース４１に、フランジ部４１ｅ、
５１ａを利用してハーメチックシールされて固定されて
いる。加速度センサ内部は密閉空間が形成され、真空ま
たは窒素ガス等の不活性ガス雰囲気に保たれる。これに
より、加速度センサ内部の圧電素子に形成された電極の
酸化、硫化を防ぐことができ、信頼性が向上する。ま
た、カバー５１は回路のグランドに接続され、ハムノイ
ズなど加速度センサの外部に発生しているノイズを遮蔽
するシールドの役目をしている。

【００２０】次に加速度の検出動作について説明する。
加速度センサに加速度が作用すると慣性力により重錘体
２７が移動することでセンサ部２０が変形し検出電極２
５ａ〜２５ｈに電荷が発生する。図示していない検出回
路と引き出し電極３１ａ〜３１ｃ、および基準電位とな
る電極２６（引き出し電極３１ｄ）とがリード線３２に
より接続されているため、８個の検出電極２６ａ〜２６
ｈに発生する電荷の量により加速度の方向と大きさが検
出できる。

【００２１】図６は加速度センサにＸ軸プラス方向の加
速度が加わった状態を示す一部断面をとった正面図であ
る。（電極は省略してある。）図７は加速度センサにＸ
軸マイナス方向の加速度が加わった状態を示す一部断面
をとった正面図である。（電極は省略してある。）加速
度センサにＸ軸マイナス方向の加速度が加わった場合
は、重錘体２７の振れる方向が図６と逆方向となる。第
一実施例では、圧電素子２３がＸＹ平面で伸びる場合に
圧電素子上面に発生する電荷が、検出電極２５ａではプ
ラス、検出電極２５ｂではプラス、検出電極２５ｃでは
マイナス、検出電極２５ｄではマイナス、検出電極２５
ｅ〜２５ｈではプラスになるように分極が施されてい
る。加速度センサにＸ軸プラス方向の加速度が加わった
場合では、検出電極２５ａに発生する電荷はプラス、検
出電極２５ｂに発生する電荷はプラスとマイナスが相殺
されてゼロ（以下、各検出電極に発生する電荷がゼロと
なるものはこの理由による）、検出電極２５ｃに発生す
る電荷はプラス、検出電極２５ｄに発生する電荷はゼロ
となる。検出電極２５ｅに発生する電荷はプラス、検出
電極２５ｆに発生する電荷はマイナス、検出電極２５ｇ
に発生する電荷はマイナス、検出電極２５ｈに発生する
電荷はプラスとなる。ここで、検出電極２５ａ〜２５ｄ
はＸ軸、Ｙ軸上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に対して対称であ
るので、検出電極２５ａ、２５ｃに発生するの電荷は、
符号は同じで大きさが等しくなる。検出電極２５ａと検
出電極２５ｃは接続されているので、発生する電荷を引
き出し電極３１ａより取り出して増幅することでＸ軸方
向の加速度の大きさと向きを検出する。検出電極２５ｂ
と検出電極２５ｄは接続されているが、この場合発生電
極はゼロであるので、引き出し電極３１ｂには電荷が現
れない。さらに圧電素子２３の上面には扇形をした４個
の検出電極２５ｅ〜２５ｈが、原点２２を通りＸ軸、Ｙ
軸に対してほぼ４５°をなす軸上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸
に対して軸対称に形成されている。検出電極２５ｅ〜２
５ｈは、原点２２を通りＸ軸、Ｙ軸に対してほぼ４５°
をなす軸上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に対して軸対称に形成
されているので検出電極２５ｅ〜２５ｈに発生する電荷
は、符号は異なる（検出電極２５ｅ、２５ｈはプラス。
検出電極２５ｆ、２５ｇはマイナス）が大きさはお互い
に等しい。検出電極２５ｅ〜２５ｈはお互いに接続され
ているため、引き出し電極３１ｃに電荷は現れない。

【００２２】加速度センサにＸ軸マイナス方向の加速度
が加わった場合では、各検出電極に発生する電荷は、Ｘ
軸プラス方向の場合と反対の符号になり、引き出し電極
３１ａに現れる電荷はＸ軸プラス方向の場合と反対にな
る。また引き出し電極３１ｂ、引き出し電極３１ｃには
電荷は現れない。従って、引き出し電極３１ａよりＸ軸
方向の加速度を検出することができる。

【００２３】加速度センサにＹ軸プラス方向の加速度が
加わった場合では、検出電極２５ａに発生する電荷はゼ
ロ、検出電極２５ｂに発生する電荷はプラス、検出電極
２５ｃに発生する電荷はゼロ、検出電極２５ｄに発生す
る電荷はプラスとなる。検出電極２５ｅに発生する電荷
はプラス、検出電極２５ｆに発生する電荷はプラス、検
出電極２５ｇに発生する電荷はマイナス、検出電極２５
ｅに発生する電荷はマイナスとなる。ここで、検出電極
２５ａ〜２５ｄはＸ軸、Ｙ軸上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に
対して対称であるので、検出電極２５ｂ、２５ｄに発生
するの電荷は、符号は同じで大きさが等しくなる。検出
電極２５ｂと検出電極２５ｄは接続されているので、発
生する電荷を引き出し電極３１ｂより取り出して増幅す
ることでＹ軸方向の加速度の大きさと向きを検出する。
検出電極２５ａと検出電極２５ｃは接続されているが、
この場合発生電極はゼロであるので、引き出し電極３１
ａには電荷が現れない。検出電極２５ｅ〜２５ｈに発生
する電荷は、符号は異なる（検出電極２５ｅ、２５ｈは
プラス。検出電極２５ｆ、２５ｇはマイナス。）が大き
さはお互いに等しい。検出電極２５ｅ〜２５ｈはお互い
に接続されているため、引き出し電極３１ｃに電荷は現
れない。

【００２４】加速度センサにＹ軸マイナス方向の加速度
が加わった場合では、各検出電極に発生する電荷は、Ｙ
軸プラス方向の場合と反対の符号になり、引き出し電極
３１ｂに現れる電荷はＹ軸プラス方向の場合と反対にな
る。また引き出し電極３１ａ、引き出し電極３１ｃには
電荷は現れない。従って、引き出し電極３１ｂよりＸ軸
方向の加速度を検出することができる。

【００２５】図８は加速度センサにＺ軸プラス方向の加
速度が加わった状態を示す一部断面をとった正面図であ
る。（電極は省略してある。）図９は加速度センサにＺ
軸マイナス方向の加速度が加わった状態を示す一部断面
をとった正面図である。（電極は省略してある。）加速
度センサにＺ軸マイナス方向の加速度が加わった場合
は、重錘体２７の振れる方向が図８と逆方向となる。加
速度センサにＺ軸プラス方向の加速度が加わった場合、
検出電極２５ａに発生する電荷はプラス、検出電極２５
ｂに発生する電荷はプラス、検出電極２５ｃに発生する
電荷はマイナス、検出電極２５ｄに発生する電荷はマイ
ナス、検出電極２５ｅ〜２５ｈに発生する電荷はプラス
となる。ここで、検出電極２５ａ〜２５ｄはＸ軸、Ｙ軸
上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に対して対称であるので、検出
電極２５ａ〜２５ｄに発生するの電荷は、符号は異なる
が、大きさは等しくなる。検出電極２５ａと検出電極２
５ｃは接続されているので、引き出し電極３１ａに現れ
る電荷はゼロとなる。検出電極２５ｂと検出電極２５ｄ
は接続されているので、引き出し電極３１ｂに現れる電
荷はゼロとなる。検出電極２５ｅ〜２５ｈはお互いに接
続されているので引き出し電極３１ｃに現れる電荷はプ
ラスで大きさは一つの検出電極で発生する電荷の４倍に
なる。

【００２６】加速度センサにＺ軸マイナス方向の加速度
が加わった場合では、検出電極２５ａに発生する電荷は
マイナス、検出電極２５ｂに発生する電荷はマイナス、
検出電極２５ｃに発生する電荷はプラス、検出電極２５
ｄに発生する電荷はプラス、検出電極２５ｅ〜２５ｈに
発生する電荷はマイナスとなる。ここで、検出電極２５
ａ〜２５ｄはＸ軸、Ｙ軸上で、かつ、Ｘ軸、Ｙ軸に対し
て対称であるので、検出電極２５ａ〜２５ｄに発生する
の電荷は、符号は異なるが、大きさは等しくなる。検出
電極２５ａと検出電極２５ｃは接続されているので、引
き出し電極３１ａに現れる電荷はゼロとなる。検出電極
２５ｂと検出電極２５ｄは接続されているので、引き出
し電極３１ｂに現れる電荷はゼロとなる。検出電極２５
ｅ〜２５ｈはお互いに接続されているので引き出し電極
３１ｃに現れる電荷はマイナスで大きさは一つの検出電
極で発生する電荷のの４倍になる。このようにして検出
電極２５ｅ〜２５ｈに発生する電荷の符号と大きさでＺ
軸方向の加速度の向きと大きさが検出できる。

【００２７】

【発明の効果】本発明は前記のような構成にすることで
次のような効果が生じる。１回路基板がセンサ部の側方に配置されことにより小
型低背化が図れる。２センサ部と支持部材、支持部材とベースとに位置決
め部を設けることにより、検出軸とセンサ部との角度の
ずれが小さくなり検出精度が上がる。３リード線は樹脂により保護されることにより強い衝
撃が加わった場合でもリード線が断線することがなくな
り耐衝撃性が向上する。４ベースと保護部材により密閉空間が形成され、真空
または窒素ガス雰囲気にすることにより、圧電素子に形
成された電極の酸化、硫化を防ぎ、信頼性が上がる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は従来技術による加速度センサの代表的な
例で正面断面図。

【図２】図２は従来技術による加速度センサの代表的な
例で圧電素子側から見た平面図。

【図３】本発明に係る加速度センサの第一実施例で正面
断面図。

【図４】本発明に係る加速度センサの第一実施例でカバ
ーを除いた上面図。

【図５】本発明に係る加速度センサの第一実施例でベー
スの上面図。

【図６】本発明に係る加速度センサの第一実施例で加速
度センサにＸ軸プラス方向の加速度が加わった状態を示
す一部断面をとった正面図。

【図７】本発明に係る加速度センサの第一実施例で加速
度センサにＸ軸マイナス方向の加速度が加わった状態を
示す一部断面をとった正面図。

【図８】本発明に係る加速度センサの第一実施例で加速
度センサにＺ軸プラス方向の加速度が加わった状態を示
す一部断面をとった正面図。

【図９】本発明に係る加速度センサの第一実施例で加速
度センサにＺ軸マイナス方向の加速度が加わった状態を
示す一部断面をとった正面図。

【符号の説明】

１基板２圧電素子３検出電極４検出電極５検出電極６検出電極７重錘体２０センサ部２１可撓部材２２原点２３圧電素子２４支持部材２４ａ〜２４ｂガイド部２４ｃ〜２４ｄ側面２４ｅ貫通穴２４ｆ底面２５検出電極２５ａ〜２５ｈ検出電極２６電極２７重錘体２８ライン２９ａ〜２９ｂ接続電極３０ａ〜３０ｃ接続電極３１ａ〜３１ｃ引き出し電極３２リード線４１ベース４１ａ、４１ｇ凹部４１ｂ〜４１ｃ側面４１ｄ底面４１ｅフランジ部４１ｆベース平面４２ピン４３回路基板５１カバー５１ａフランジ部

フロントページの続き (72)発明者並木智雄長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番地５ミヨタ株式会社内 (72)発明者畠山稔長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番地５ミヨタ株式会社内 (72)発明者半田正人長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番地５ミヨタ株式会社内 (72)発明者岡田恵也長野県北佐久郡御代田町大字御代田4107番地５ミヨタ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】板状の可撓部材と少なくとも検出用電極
が形成され該可撓部材の片面に固定される圧電素子と重
錘体を有するセンサ部と、該可撓部材の外周部を支持する支持部材と、電子部品を搭載し接続端子を有する回路基板と、該支持部材を固定し、該回路基板を支持するとともに外
部との電気的導通をとる接続部材を有するベースと、該センサ部および該回路基板を保護する保護部材を備え
る加速度センサにおいて、該回路基板は、該センサ部の
側方に配置されることを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】センサ部と支持部材とに位置決め部を設
けたことを特徴とする請求項１記載の加速度センサ。
【請求項３】支持部材とベースとに係合部（位置決め
部）を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２
記載の加速度センサ。
【請求項４】リード線により検出電極と回路基板との
電気的導通がとられ、該リード線は少なくとも電極との
接合部が樹脂により保護されることを特徴とする請求項
１〜請求項３記載の加速度センサ。
【請求項５】ベースと保護部材により密閉空間が形成
され、該密閉空間は真空または不活性ガス雰囲気である
ことを特徴とする請求項１〜請求項４記載の加速度セン
サ。