JPH1151773A - 熱物体測定装置およびその温度補正法 - Google Patents

熱物体測定装置およびその温度補正法

Info

Publication number
JPH1151773A
JPH1151773A JP9213527A JP21352797A JPH1151773A JP H1151773 A JPH1151773 A JP H1151773A JP 9213527 A JP9213527 A JP 9213527A JP 21352797 A JP21352797 A JP 21352797A JP H1151773 A JPH1151773 A JP H1151773A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
temperature
chopper
infrared
detecting means
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9213527A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuya Morinaka
克也 森仲
Nobuyuki Yoshiike
信幸 吉池
Kazuhiko Hashimoto
和彦 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP9213527A priority Critical patent/JPH1151773A/ja
Publication of JPH1151773A publication Critical patent/JPH1151773A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Radiation Pyrometers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】小型で精度の高い熱物体測定装置の実現。 【解決手段】焦電素子を一つ以上備えた赤外線検出手段
1と、裏面が反射率0.7以上のチョッパ3と、そのチ
ョッパ3と対向する面に備えられた温度測定手段4とを
備え、その温度測定手段5が測定する温度を利用して正
確なチョッパ温度を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば、赤外線、特
に熱線を検知する焦電センサを用いた熱物体測定装置と
その温度補正法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、空調、照明、防災、防犯分野など
において非接触で人体、OA機器、火災などの熱物体を
検出する手段が切望されている。
【0003】従来、温度分布を測定する手段としては量
子型のセンサを用いる方法があるが、これらのセンサは
冷却手段が必須で装置が大型になりかつ高価である。熱
型の焦電センサを用いる方法では量子型素子に比べ感度
的に劣るものの、冷却が不要で比較的安価であり、装置
を小型化できる長所を有する。
【0004】この焦電センサは焦電効果を有する材料を
焦電素子とし、赤外線照射によって焦電素子表面の温度
が変化し、それに伴う表面電荷の変化をセンサ出力とし
て測定している。このためこれらのセンサは一般的な構
造として焦電素子の前面にフレネルレンズやチョッピン
グ機構を設置する方式が用いられている。
【0005】フレネルレンズは赤外線の透過部と不透過
部を組み合わせたもので熱源が移動することによって、
センサ出力の変化が起こり、熱源検知が可能となる。し
たがって、静止した熱源を検知することができない。
【0006】一方、チョッピング機構は、赤外線を断続
的に入射させることを目的としており、静止した熱源の
検知も可能である。この機構には、カメラのシャッター
型、てこ型、円盤型、円筒型など様々な機構が開発され
ている。焦電センサの電圧出力は、このチョッパと被検
出熱源の温度差によって決まるため、チョッパの基準温
となるこの部位の温度を安定化することが非常に重要と
なってくる。
【0007】
【発明が解決しようとしている課題】しかし、このチョ
ッパは動いているため直接その部位の温度を測定するこ
とは困難であり、測定値が不正確である。そのため、近
傍部分に温度検知部位を設け、チョッパ温度を代表させ
る方法もあるが、測定温度精度は同じく低かった。
【0008】本発明は、このような従来の方法の課題を
考慮し、正確なチョッパ温度を得ることができ、精度の
高い熱物体検知が可能となる熱物体温度測定装置とその
補正方法を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の問題を解
決するため、赤外領域に対し反射率の高い面を形成した
チョッパ付きの焦電型赤外線センサと、そのチョッパの
対向する面に基準温度検出部を設けることで、正確なチ
ョッパ温度を得ることができるので、精度の高い熱物体
検知が可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に、本発明をその実施の形態
を示す図面に基づいて説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の一実施の形態における
熱物体測定装置の概略構成を示すものである。焦電型の
素子を用いた赤外線センサ1および基準温度検出部4は
センサ固定部2に固定されている。チョッパ3はセンサ
固定部2と機械的に接続されており、その裏面を鏡面加
工してある。反射率は0.95である。
【0011】このチョッパ3は赤外線センサ1に入射す
る赤外線の光路を断続的に遮断することができる。ま
た、チョッパ3は、赤外線センサ1の光路を遮蔽したと
きには、赤外線センサ1の前面はもちろん、基準温度検
出部4の前面にも位置するように設計されている。
【0012】この熱物体測定装置を被検出熱物体(以下
便宜的にターゲットとよぶ)に向けチョッパ3を動作さ
せ、赤外線センサ1の出力を観測すると図2のようなア
ナログ波形が得られる。出力はチョッパ3とターゲット
との温度差に対応した値を出力する。チョッパ3の裏面
の温度より高温のターゲットに対してはプラス出力、チ
ョッパ3より低温のターゲットに対してはマイナス出力
となる。
【0013】ところで、チョッパ3の裏面は上述のよう
に鏡面処理を施し、反射率が高いため、チョッパ3の温
度はチョッパ3と対向した固定部2の面Fの温度に支配
される。他方、基準温度検出部4はその対向した面Fの
温度を測定しているため、チョッパ3の温度を正確に測
定していることと同じになる。
【0014】このように、チョッパ3が開いたタイミン
グでデータを取得し、基準温度検出部4の温度を用いて
補正すれば、ターゲットの温度が測定できる。
【0015】本実施の形態では、0〜5Vの範囲で8ビ
ットのA/D変換を行い、0〜255の値を得る。マイ
ナス出力も取得できるようにオフセット電圧を2Vにマ
イナス側2V、プラス側3V取得できるようになってい
る。
【0016】図3に本実施の形態における基準温度検出
部4とターゲットとの温度差とA/D変換後の出力との
関係をしめす。基準温度検出部4とターゲットの温度差
が0℃の場合、オフセット電圧2Vに対応しているた
め、A/D変換後の出力は102となる。この図より、
1℃あたりの傾きは15とわかる。したがって、得られ
たセンサ出力からオフセット電圧に対応した出力を引い
て1℃あたりの傾きで割り、基準温度検出部4の温度を
足すと、ターゲットの温度が求めることができる。例え
ば、得られたセンサ出力が50で基準温度検出部4の温
度が23℃とすると(50−102)/15+23=1
9.53(℃)となる。この方法を用いてターゲットの
温度を種々測定したところ、チョッパ裏面の反射率が
0.7以上の場合、±0.5℃以上の精度が確保でき
た。
【0017】なお、本実施の形態において、赤外線セン
サの受光部は、ポイント型でも二次元タイプでもよい。 (実施の形態2)図4は本発明の一実施の形態における
熱物体測定装置の一部切り欠き斜視図を示すものであ
る。熱物体から放射された赤外線は円筒型チョッパ8に
よって断続的にその光路を遮断される。さらに、赤外線
集光レンズ7によって集光され、赤外線アレイセンサ5
のスリット部を通って赤外線アレイセンサ5の内部にあ
る受光部に結像する。赤外線集光レンズ7と赤外線アレ
イセンサ5は回転走査部6によって支持されている。
【0018】本実施の形態においては、赤外線アレイセ
ンサ5の受光部は縦に8つ配列しており、一受光部が検
知できる視野は、垂直方向に6゜である。したがって、
8受光部で合計48゜となる。円筒型チョッパ8および
回転走査部6の下部にはモータが設置されている。チョ
ッパ8は開口部を横方向に3カ所持っており、開閉率は
1:1である。モータは円筒型チョッパ8に直結されて
おり、回転走査部6にはギヤを介して機械的に接続され
ている。チョッパ8が120゜回転する間に、回転走査
部6は3゜回転するように設定されている。
【0019】最初の視野で赤外線アレイセンサ5におい
て円筒型チョッパ8を回転させ、チョッパの開閉にあわ
せて空間の一次元の温度分布に対応するセンサ出力を測
定する。次にモータを一定角度回転させ、次の視野にセ
ンサを向け、同様にチョッパの開閉にあわせてセンサ出
力を測定する。水平方向に3゜毎に前述と同様の方法で
空間の一次元のセンサ出力を測定する。同様にして連続
した視野を測定し、その情報をつなぎ合わせれば、空間
の二次元のセンサ出力分布が得られた。
【0020】ところで、本実施の形態2でも、実施の形
態1において説明したのと同様に円筒型チョッパ8の裏
面には鏡面加工が施され、基準となるチョッパ8の温度
は、対向した赤外線集光レンズ7および回転走査部6の
温度により支配される。その赤外線集光レンズ7および
回転走査部6の温度を測定するため温度検出用サーミス
タ9を設置している。従って、この温度検出用サーミス
タ9によって測定した温度を基にして、実施の形態1で
説明した方法と同様の方法で補正することによって、精
度の高い二次元温度分布が取得可能となる。
【0021】なお、本実施の形態で赤外線アレイセンサ
の受光部を8つとしたが、この数に限られるものではな
い。また、基準温度検出部にサーミスタを用いている
が、熱電対、測温抵抗体、温度ICでもかまわない。 (実施の形態3)上述した実施の形態2では図4に示す
ように、温度検出用サーミスタ9を赤外線集光レンズ7
の下部に設置して、その赤外線集光レンズ7の温度をチ
ョッパ8の代表温度として処理した。しかし、赤外線ア
レイセンサ5の視野を横切るチョッパ8に正確に対向し
た部分は、赤外線アレイセンサ5自身である。そこでこ
の赤外線アレイセンサ5のパッケージ自体に放射率の高
い黒色塗装を施し、さらにその内部にサーミスタ9を内
蔵した。このように配置したサーミスタ9によって得ら
れた温度を基にして温度補正を行うとより、より正確な
温度測定が可能となる。 (実施の形態4)実施の形態3では温度検出用サーミス
タ9を赤外線アレイセンサに内蔵したが、厳密には赤外
線アレイセンサ5の中でも、赤外線集光レンズ7によっ
て集光される面、すなわち受光部をもつ焦電体の表面の
温度を測定することがもっとも望ましい。図5は本発明
の一実施の形態における赤外線アレイセンサの焦電体部
分の概略図である。本実施の形態においては赤外線アレ
イセンサの受光部は5つで、焦電体20のセラミック単
板上にメタルマスクを用いてNiCrを真空蒸着で製膜
する。電極の形状はH型をしており、左側一列は受光電
極21で、右側一列は補償電極22である。受光電極2
1は、スリットの直下で、実際に赤外線を受ける部分
で、補償電極22は赤外線は当たらない暗黒化に位置
し、温度補償の役割を果たす。温度検出用薄膜サーミス
タ23は、白金リード24を真空蒸着した上にサーミス
タを構成する材料をスパッタリングで製膜する。この焦
電体20の裏面には受光電極21と補償電極22に対応
した電極があり、白金リード23を合わせて、回路基板
に電気的接触をとるようになっている。
【0022】このようにチョッパから反射して、赤外線
集光レンズによって結像する焦電体表面上の温度自体を
測定することで、より精度の高い温度補正用の基準温度
を得ることが可能となる。 (実施の形態5)図6は本発明の一実施の形態における
熱物体測定装置の一部切り欠き斜視図を示すものであ
る。実施の形態2において説明したのと同様に円筒型チ
ョッパ8の裏面には鏡面加工が施され、基準となるチョ
ッパの温度としては、対向した赤外線集光レンズ7およ
び回転走査部6の温度が支配的になる。そこで、本実施
の形態では、チョッパ8に対向した面(赤外線集光レン
ズ7および回転走査部6の面)を、外部から所望の温度
に設定することが出来る温度制御部13を設置してい
る。この温度制御部13はペルチェ素子や小型のヒータ
で実現できる。これによってレンズ7や回転走査部6の
温度を所望の温度にすることができる。
【0023】その結果、次のような利点が得られる。す
なわち、従来、室温でこのセンサの測定温度範囲は20
℃〜30℃であるため、高温な物体、たとえば100℃
を超える異常発熱物体や火災などは回路の増幅率を極端
に下げないと測定不可能であった。しかし、この温度制
御部13の温度をたとえば50℃に設定し、チョッパ8
を回転させて測定した場合、温度が50℃以下の物体、
たとえば人体やパソコン等の機器では焦電センサの出力
はマイナス側にでる。他方50℃を超えるような異常発
熱体や火炎などでは焦電センサの出力はプラス側にでる
ため、このような高温物体を良好に検知することが出来
る。逆に温度制御部13をたとえば0℃に設定し、同様
の方法で低温物体を良好に検知できることはいうまでも
ない。温度制御部13は本実施の形態ではレンズ7の下
部に設置しているが、入射赤外線をチョッパ8が横切る
面に対向する部分に近ければこの場所は制限されるもの
ではない。
【0024】(実施の形態6)図7は本発明の一実施の
形態における温度補正法の概略図である。ターゲット1
0から入射した赤外線はポリエチレンカバー11を透過
して赤外線センサ1に入射する。ポリエチレンカバー1
1の赤外線透過率は100%ではないので、赤外線セン
サ1の出力はポリエチレンカバー1の温度とターゲット
10の温度に影響を受ける。ターゲット10の温度をT
TA、輻射率をεTA、カバー温度検出部12によって得ら
れたポリエチレンカバー11の温度をTPE、輻射率をε
PE、ポリエチレンカバーの赤外線透過率をt、基準温度
検出部4によって得られた温度をTCHとする。
【0025】センサ出力(V)は入射赤外線エネルギー
(P)に比例する。ここで入射赤外線エネルギー(P)
は透過率を考慮したターゲットからの入射エネルギーと
ポリエチレンからの赤外線入射エネルギーとの和にな
る。
【0026】
【数1】P=t×εTA×(TTA 4−TCH 4)+εPE×(T
PE 4−TCH 4) となり、ここでカバーの透過率を0.6、εTAおよびε
PEを1とすると、赤外線入射エネルギーは
【0027】
【数2】P=0.6TTA 4+TPE 4−1.6TCH 4 となる。ここで入射エネルギー(P)に対応したセンサ
出力(V)、ポリエチレンカバー部温度(TPE)、基準
温度検出部温度(TCH)は測定の際、随時わかるので、
この式より、ターゲット10の正確な温度を算出するこ
とが可能になる。ここで、ポリエチレンカバーの赤外線
透過率を0.6としたが、この値に限定されるものでは
ない。
【0028】なお、本発明は、回転走査の例に限らず、
回転走査しない例でも適用可能であることはいうまでも
ない。
【0029】
【発明の効果】上述の説明から明らかのように、本発明
によると、正確なチョッパ温度を得ることができるの
で、精度の高い熱物体検知が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における熱物体測定装置
の概略構成図である。
【図2】本発明の実施の形態1における赤外線センサの
出力アナログ波形である。
【図3】本発明の実施の形態1における基準温度検出部
とターゲットとの温度差とA/D変換後の出力との関係
である。
【図4】本発明の実施の形態2における熱物体測定装置
の一部切り裂き透視図である
【図5】本発明の実施の形態4における赤外線アレイセ
ンサの焦電体部分の概略図である。
【図6】本発明の実施の形態5おける熱物体測定装置の
一部切り裂き透視図である
【図7】本発明の実施の形態6における熱物体測定装置
の概略図である。
【符号の説明】
1 赤外線センサ 2 センサ固定部 3 チョッパ 4 基準温度検出部 5 赤外線アレイセンサ 6 回転走査部 7 赤外線集光レンズ 8 円筒型チョッパ 9 温度検出用サーミスタ 10 ターゲット 11 ポリエチレンカバー 12 カバー温度検出部 13 温度制御部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】受光部を一つ以上備えた赤外線検出手段
    と、反射率0.7以上のチョッパと、そのチョッパと対
    向する面に設けられた温度測定手段とを備えた熱物体測
    定装置。
  2. 【請求項2】前記赤外線検出手段と前記温度測定手段と
    を回動走査させる回転手段をさらに備えた請求項1記載
    の熱物体測定装置。
  3. 【請求項3】前記赤外線検出手段の受光部が焦電素子で
    ある請求項1又は2記載の熱物体測定装置。
  4. 【請求項4】前記赤外線検出手段の前面に赤外線集光レ
    ンズを備えた請求項1又は2記載の熱物体測定装置。
  5. 【請求項5】前記赤外線集光レンズの前面に設けられた
    カバーと、そのカバーの温度を測定するカバー温度検出
    手段とを備えた請求項1又は2記載の熱物体測定装置。
  6. 【請求項6】前記温度検出手段がサーミスタ、熱電対、
    又は測温抵抗体である請求項1又は2記載の熱物体測定
    装置。
  7. 【請求項7】前記温度検出手段が前記焦電素子のパッケ
    ージ内に備えられている請求項3記載の熱物体測定装
    置。
  8. 【請求項8】前記温度測定手段が前記焦電素子と同一面
    上に形成された請求項3記載の熱物体測定装置。
  9. 【請求項9】受光部を一つ以上備えた赤外線検出手段
    と、反射率0.7以上のチョッパと、前記チョッパと対
    向する面の所定の部位に設けられ、前記面の全部又は一
    部の温度を制御する温度制御手段とを備えた熱物体測定
    装置。
  10. 【請求項10】前記請求項5の熱物体測定装置を利用し
    て、前記温度検出手段から得られた温度と前記カバー温
    度検出手段から得られた温度と前記カバーの赤外線透過
    率から被検出体の温度を補正する温度補正方法。
JP9213527A 1997-08-07 1997-08-07 熱物体測定装置およびその温度補正法 Pending JPH1151773A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9213527A JPH1151773A (ja) 1997-08-07 1997-08-07 熱物体測定装置およびその温度補正法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9213527A JPH1151773A (ja) 1997-08-07 1997-08-07 熱物体測定装置およびその温度補正法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1151773A true JPH1151773A (ja) 1999-02-26

Family

ID=16640676

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9213527A Pending JPH1151773A (ja) 1997-08-07 1997-08-07 熱物体測定装置およびその温度補正法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1151773A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000042399A1 (fr) * 1999-01-14 2000-07-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dispositif d'imagerie ir, vehicule equipe de ce dispositif et dispositif d'ajustement d'images ir
CN104344897A (zh) * 2014-10-24 2015-02-11 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种红外光学系统非均匀校正机构
JP2018069053A (ja) * 2016-10-31 2018-05-10 衆智光電科技股▲ふん▼有限公司 衣類乾燥機
JP2020166455A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 能美防災株式会社 火災検知装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000042399A1 (fr) * 1999-01-14 2000-07-20 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Dispositif d'imagerie ir, vehicule equipe de ce dispositif et dispositif d'ajustement d'images ir
US6700124B1 (en) 1999-01-14 2004-03-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Infrared imaging device, vehicle having the same installed therein, and infrared image adjustment device
US6855934B2 (en) 1999-01-14 2005-02-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Infrared imaging device, vehicle having the same installed therein, and infrared image adjustment device
US7030377B2 (en) 1999-01-14 2006-04-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Infrared imaging device, vehicle having the same installed therein, and infrared image adjustment device
CN104344897A (zh) * 2014-10-24 2015-02-11 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种红外光学系统非均匀校正机构
JP2018069053A (ja) * 2016-10-31 2018-05-10 衆智光電科技股▲ふん▼有限公司 衣類乾燥機
JP2020166455A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 能美防災株式会社 火災検知装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7422365B2 (en) Thermal imaging system and method
JP6389444B2 (ja) 熱放射線温度計
US5597237A (en) Apparatus for measuring the emissivity of a semiconductor wafer
US5178464A (en) Balance infrared thermometer and method for measuring temperature
US5127742A (en) Apparatus and method for temperature measurement by radiation
US2837917A (en) Radiation systems for measuring temperature
JP3393648B2 (ja) 温度補正センサー・モジュール
JP2001116621A (ja) 温度の安定化可能な赤外線センサ及びこの形式のセンサを有する赤外線温度計
JP4828534B2 (ja) センサ素子
JPH1151773A (ja) 熱物体測定装置およびその温度補正法
JPH09264792A (ja) 非接触温度センサ
US6437331B1 (en) Bolometer type infrared sensor with material having hysterisis
CA1132811A (en) Process and device for measuring by infrared thermometry the temperature of a wire, bar or tube, or a metal
Hartmann et al. Calibration and investigation of infrared camera systems applying blackbody radiation
JP2004151038A (ja) 加熱乾燥式赤外線水分計
Hejazi et al. Scope and limitations of thermal imaging using multiwavelength infrared detection
JPH02196933A (ja) 赤外線検知装置
JP3813057B2 (ja) 温度検出装置及びそれを用いた空気調和機
CN111721427A (zh) 热电堆传感器及其控制方法
JPS6330890Y2 (ja)
US11543298B1 (en) Temperature calibration method for a temperature measuring device
US20230123056A1 (en) Temperature measuring device having a temperature calibration function
JP3491302B2 (ja) 調理装置
TWI804913B (zh) 溫度量測裝置的溫度校正方法
JP3176798B2 (ja) 輻射熱センサ