JPH11514628A - アルコールを使用して有機変性したエーロゲルの製造法 - Google Patents

アルコールを使用して有機変性したエーロゲルの製造法

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JPH11514628A JP9517841A JP51784197A JPH11514628A JP H11514628 A JPH11514628 A JP H11514628A JP 9517841 A JP9517841 A JP 9517841A JP 51784197 A JP51784197 A JP 51784197A JP H11514628 A JPH11514628 A JP H11514628A
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Abstract

(57)【要約】 本発明は、下記工程a)〜d)を含んでなる、疎水性の表面基を有するエーロゲルの製造法に関する。a)珪酸エステル型リオゲルを装入し、b)場合によっては、工程a)で装入したリオゲルに別の溶剤との溶剤交換を行ない、c)工程a)またはb)で得られたゲルを少なくとも1つのC1〜C6アルコールで表面変性させ、かつd)工程c)で得られ、表面変性されたゲルを臨界未満で乾燥させる。

Description

【発明の詳細な説明】 アルコールを使用して有機変性したエーロゲルの製造法 本発明は、アルコールを使用して有機変性したSiO2エーロゲルの製造法に 関するものである。 エーロゲル、殊に60%を超える気孔率および0.6g/cm3未満の密度を有す るエーロゲルは、極めて熱伝導率が低く、したがって、EP−A−017172 2号明細書に記載されているように断熱材料として使用される。 エーロゲルは、より広い意味で、即ち「分散媒としての空気を有するゲル」の 意味で、適切なゲルの乾燥によって製造される。この意味における「エーロゲル 」の概念の中には、狭い意味でのエーロゲル、即ちキセロゲルおよびクリオゲル が含まれる。その際、ゲルの液体が臨界温度より高い温度で、臨界圧力より高い 圧力から出発して除去される場合には、乾燥したゲルは、狭い意味でのエーロゲ ルと呼ばれる。これに対してゲルの液体が臨界未満条件で、例えば液体−蒸気境 界相を形成しながら除去される場合には、生成されるゲルは、キセルゲルと呼ば れる。本発明によるゲルは、分散媒としての空気を有するゲルの意味においてエ ーロゲルであることに注目すべきである。 SiO2エーロゲルは、例えばテトラエチルオルト珪酸エステルをエタノール 中で酸加水分解することによって得ることができる。この加水分解の際にゲルが 生成するが、その構造がなかんずくゲル化工程の温度、pH値および時間によっ て定まる。しかし、ゲル化構造は、一般に湿潤ゲルの乾燥の際に崩壊される。乾 燥の際に生じる毛管力は、著しく大きいからである。ゲルの気泡破壊は、乾燥を 溶剤の臨界温度より高い温度および臨界圧力より高い圧力で実施することによっ て阻止することができる。前記範囲内で液相/気相の相境界は消滅するので、毛 管力も失われ、ゲルは、乾燥の間変化せず、即ち乾燥の間ゲルの収縮は、全く起 こらない。この乾燥技術に基づく製造法は、例えばEP−A−0396076号 明細書またはWO92/03378号明細書に開示されている。しかし、この技 術は、例えばエタノールを使用した場合に、約240℃の温度および60バール を超える圧力を必要とする。乾燥前にエタノールをCO2と交換することにより 、乾燥温度は、約30℃に低下されるが、この場合に必要とされる圧力は、70 バールを超えることとなる。 上記の乾燥に対する1つの選択的な方法として、SiO2ゲルを乾燥前に塩素 含有シリル化剤と反応させる場合には、SiO2ゲルを臨界に達しないように乾 燥させる方法が提供される。この場合、SiO2ゲルは、例えばテトラアルコキ シシラン、好ましくはテトラエトキシシラン(TEOS)を適切な有機溶剤中、好ま しくはエタノール中で、水を用いて酸加水分解することによって得ることができ る。溶剤を適切な有機溶剤と交換した後、さらに1つの工程で、得られるゲルを 、塩素含有シリル化剤と反応させる。この場合、シリル化剤としては、その反応 性のために、好ましくはメチルクロルシラン(Me4-nSiCln、但し、n=1 〜3)を使用する。その際に生成し、表面上がメチルシリル基で変性されたSi O2−ゲルは、引続き有機溶剤から外へ出され、空気中で乾燥させることができ る。それによって、0.4g/cm3未満の密度および60%を超える気孔率を有す るエーロゲルを達成することができる。 前記乾燥技術に基づく製造法は、WO94/25149号明細書に詳細に記載 されている。 更に、例えばWO92/20623号明細書に開示されているように、ゲル網 状構造の強度を高める目的で、上記ゲルには、乾燥前にアルコール水溶液中でテ トラアルコキシシランにより処理され、かつ熟成させることができる。 上記方法で出発物質として使用するテトラアルコキシシランは、極めてコスト が高い。その上、塩素含有シリル化剤を用いて行うシリル化の際に、塩化水素( HCl)およびそれと結合した多数の副生成物が不可避的に極めて大量に生じる ので、場合によっては、シリル化SiO2−ゲルを適した有機溶剤を用いて数回 洗浄することによる、極めて費用のかかる多額の精製法を必要とする。それに関 連して、特に耐食性の生産装置も同様に極めて高価である。また、極めて大量の HClガスの発生に関連した安全性の問題により、付加的に複雑な極めて費用の かかる技術が必要とされ、したがって同様にコストが増大する。 第一に著しい費用の低下は、SiO2ゲルの製造のための出発物質として水ガ ラスを使用することによって達成することができる。そのために、例えば水ガラ ス水溶液からイオン交換樹脂を用いて珪酸を製造することができ、この珪酸は、 塩基の添加によって重縮合され、SiO2ゲルに変わる。次いでさらに1つの工 程で、水性媒体を適した有機溶剤と交換した後、得られたゲルを、塩素含有シリ ル化剤と反応される。この場合、シリル化剤としては、その反応性のために、同 様に好ましくはメチルクロルシラン(Me4-nSiCln、但し、n=1〜3)を 使用する。生成した、表面上がメチルシリル基で変性されたSiO2ゲルは、引 続き同様に有機溶剤から外へ出され、空気中で乾燥することができる。この技術 に基づく製造法は、例えばDE−A−4342548号明細書に記載されている 。 しかし、塩素含有シリル化剤の使用に関連して、極めて高い製造コストについ ての上記問題は、水ガラスを出発物質として使用することでは解決できない。 独国特許出願第P19502453.2号明細書には、塩素を含有しないシリ ル化剤の使用が記載されている。この方法は、上記方法において異なる手段で得 られた珪酸エステルリオゲルから出発し、かつ塩素を含有しないシリル化剤と反 応させる。この場合には、シリル化剤として特にメチルイソプロペンオキシシラ ン(Me4-nSi(OC(CH3)CH2n、但し、n=1〜3)が使用される。その際に、 生成した、表面上がメチルシリル基で変性されたSiO2ゲルは、引続き再び有 機溶剤から外へ出され、空気中で乾燥させることができる。 塩素を含有しないシリル化剤を使用することによって、HCl形成の問題は解 決されるが、塩素を含有しないシリル化剤を使用することにより、同様に極めて 高いコスト要因は存在する。 WO95/06617号明細書には、水ガラス溶液を酸と7.5〜11のpH 値で反応させ、形成された珪酸ヒドロゲルからイオン性成分を、水または無機塩 基の希薄な水溶液での洗浄によって十分に除去し、この場合このヒドロゲルのp H値は、7.5〜11の範囲内に維持され、ヒドロゲル中に含有されている水相 をアルコールによって排除し、かつ引続き得られたアルコゲルを過臨界で乾燥さ せることによって得ることができる疎水性の珪酸エーロゲルが開示されている。 この場合、水交換のためのアルコールとしては、C1〜C5アルコール、特にC3 〜C5アルコール、殊にイソプロパノール、が適切である。 上記のアルコールを過臨界条件下(WO95/06617号明細書)で使用し た場合に、リオゲルの表面OH基でアルコールのエステル化が生じることは、公 知である。それによって、疎水性の表面基を有するアルコキシ変性エーロゲル、 例えばイソプロポキシ変性エーロゲルを得ることができる。 しかし、WO95/06617号明細書に開示された製造法の場合の欠点は、 乾燥のための過臨界条件が必要とされることにある。例えばイソプロパノールで は、240〜280℃の温度および約55〜90バールの圧力である。 従って、本発明の目的は、先行技術において公知の上記問題の何れの問題も示 さない、疎水性の表面基を有するエーロゲルの製造法を提供することである。特 に、本発明による方法は、安価であり、技術的に簡単な手法で実施されるべきも のである。 この目的は、下記の工程a)〜d)を含んでなる疎水性の表面基を有するエー ロゲルを製造する方法によって解決される。 a)珪酸エステル型リオゲルを装入し、 b)場合によっては、工程a)で装入されたリオゲルに別の溶剤で溶剤交換を行 ない、 c)工程a)またはb)で得られたゲルを少なくとも1つのC1〜C6アルコール で表面変性させ、かつ d)工程c)で得られ、表面変性されたゲルを臨界に達しないように乾燥させる 。 好ましくは、C3〜C5−アルコール、例えばイソプロパノール、イソブタノー ル、第三ブタノール、第二ペンタノール、および第三ペンタノールが使用される 。特に好ましいのは、イソプロパノール、イソブタノール、および第三ブタノー ルである。 この場合、アルコールは、一般に全溶剤に対して1〜100重量%の量で使用 される。更に、上記アルコールの混合物を使用してもよい。 好ましい実施態様の一つには、工程a)で装入される珪酸エステル型リオゲル は、有機溶剤中で水を用いて加水分解しかつ縮合させることによって得ることが できるSiアルコキシド(i)である。Siアルコキシドとしては、テトラアル コキシシラン、有利にテトラエトキシシラン、またはテトラメトキシシランが使 用される。有機溶剤は、有利にアルコール、特に有利にエタノールまたはメタノ ールであり、この有機溶剤には、20体積%までの水が添加されていてよい。 Siアルコキシドを有機溶剤中で水を用いて加水分解し、縮合させた場合には 、1段階または2段階の工程で触媒として酸および/または塩基を添加すること ができる。 特に好ましい実施態様一つには、工程a)で装入されるリオゲルは、水ガラス 水溶液を酸イオン交換樹脂または無機酸を用いて3以下のpH値にして、生成し た珪酸を塩基の添加によって重縮合させ、SiO2ゲルに変え、かつ無機酸を利 用した場合には、ゲルを水で電解液がなくなるまで洗浄することによって製造さ れる珪酸エステル型リオゲル(ii)である。この工程では、一般にナトリウム水 ガラスおよび/ またはカリウム水ガラスが使用される。イオン交換樹脂としては 、好ましくは酸樹脂が使用され、特にスルホン酸基を有する酸樹脂が好ましい。 無機酸を使用する場合には、特に塩酸および硫酸が適切である。塩基としては、 一般にNH4OH、NaOH、KOH、Al(OH)3、および/またはコロイド 珪酸が使用される。無機酸を使用した場合には、塩基を用いて製造されたSiO2 ゲルは、水で実質的に電解液がなくなるまで洗浄される。この場合、好ましく は、流出する洗浄水が脱イオン水と同じ導電率を有するようになるまで洗浄する 。ゲルは、洗浄前に、好ましくは熟成させることができ、実際には、一般に20 〜100℃、好ましくは40〜100℃、特に好ましくは80〜100℃、およ び4〜11のpH値、好ましくは5〜9のpH値、特に5〜7のpH値で熟成さ せる。そのための時間は、一般に1秒〜48時間、好ましくは1秒〜24時間、 特に1秒〜5時間である。 (i)または(ii)で得られたゲルは、ゲルの含水量が5重量%以下、好まし くは2重量%以下、特に好ましくは1重量%以下になるまで有機溶剤で洗浄する 。溶剤としては、一般に脂肪族アルコール、エーテル、エステル、またはケトン 、ならびに脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素が使用する。好ましい溶剤は、 C1〜C5アルコール、アセトン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、ジオキサン 、n−ヘキサン、およびトルエンである。溶剤として特に好ましいのは、イソプ ロパノール、イソブタノール、第三ブタノール、およびアセトンである。しかし 、記載された溶剤からなる混合物も使用することができる。更に、第1に水は、 水混和性アルコールで洗浄除去することができ、次いでこの水混和性アルコール は、炭化水素で洗浄除去することができる。 工程a)は、一般に溶液の凝固点〜70℃の間の温度で実施される。 更に、工程a)で製造されたリオゲルは、上記の珪酸エステル型出発化合物か ら製造することができ、この珪酸エステル型出発化合物は、付加的になお縮合能 力を有するジルコニウム化合物、アルミニウム化合物、および/またはチタン化 合物を含有する。 工程b)における有機溶剤としては、一般に脂肪族アルコール、エーテル、エ ステル、またはケトンならびに脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素を使用する 。また、記載された溶剤からなる混合物も使用することができる。好ましい溶剤 は、C1〜C5アルコール、アセトン、テトラヒドロフラン、酢酸エチル、ジオキ サン、n−ヘキサン、n−ヘプタン、およびトルエンである。イソプロパノール は、工程b)で溶剤として特に好ましい。この場合には、[溶剤の交換]とは、 溶剤を1回交換するものと理解するのではなく、場合によっては異なる溶剤を用 いて数回繰り返されるものと理解すべきである。 工程b)で得られたリオゲルは、さらに熟成させてもよい。このことは、一般 に20℃〜有機溶剤の沸点で行なわれる。また、場合によっては加圧下、昇温下 で熟成を行なうこともできる。時間は、一般に1秒〜48時間、特に1秒〜24 時間である。かかる熟成後、場合によっては、さらに引続いて同一または別の溶 剤との溶剤交換を行なうことができる。この付加的な熟成工程は、場合によって は再び繰り返してもよい。 工程c)の場合には、工程a)またはb)から得られたゲルは、圧力容器また はオートクレーブ中で加圧下、昇温下で維持されて、少なくとも1つのC1〜C6 アルコールで表面変性する。 アルコールとしては、好ましくは、イソプロパノール、イソブタノール、第三 ブタノール、第二ペンタノール、および第三ペンタノールが使用される。特に好 ましいのは、イソプロパノール、およびイソブタノール、または第三ブタノール である。これらは、単独で、混合物で、或いは例えばアセトン、テトラヒドロフ ラン、ジオキサン、n−ヘキサン、またはトルエンのような別の非反応性有機溶 剤または溶剤混合物と混合して使用することができる。 表面変性のための温度および圧力は、それぞれ使用する溶剤もしくは溶剤混合 物に依存する。しかし、これら温度および圧力は、使用するアルコールの臨界温 度未満および臨界圧力未満であることは明らかである。 25℃〜220℃の間、特に好ましくは150〜220℃の間の温度で使用す る。 圧力は、好ましくは1〜50バールの間、特に有利に20〜50バールの間に ある。 この条件下でリオゲルが維持される時間は、好ましくは30分〜20時間であ り、特に好ましくは、30分〜10時間である。 場合によっては、少量のシリル化剤を添加することもできる。シリル化剤とし ては、一般式がR1 4-nSiClnまたはR1 4-nSi(OR2n、但し、n=1〜 3、で示されるシランが適切である。(式中、R1およびR2は、互いに独立にC1 〜C6アルキル、シクロヘキシル、またはフェニルである)。イソプロペノキシ シランおよびシラザンは適切である。好ましくは、トリメチルクロルシランを使 用する。その上、当業者に公知の全てのシリル化剤、例えばDE−A−4430 669号明細書に開示されているシリル化剤も使用することができる。 量は、一般に0〜1重量%(リオゲルに対して計算)、濃度は、好ましくは0 〜0.5重量%、特に好ましくは0〜0.2重量%、である。 更に、表面変性する処理を促進させるために、さらに水が系中に存在していて よい。この場合、好ましいのは、0〜10重量%(リオゲルに対して計算)の濃 度である。更に、当業者に公知の触媒、例えば酸、塩基、または金属有機化合物 は、処理の促進のために系中に存在していてもよい。 場合によっては、工程c)で得られた表面変性されたゲルには、工程d)の前 に別の溶剤交換が行なえる。そのために、溶剤としては、一般に脂肪族アルコー ル、エーテル、エステル、またはケトン並びに脂肪族アルコールまたは芳香族ア ルコールを使用する。また、上記の溶剤の混合物を使用してもよい。好ましい溶 剤は、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、テトラヒドロフ ラン、酢酸エチル、ジオキサン、n−ヘキサン、n−ヘプタン、およびトルエン である。溶剤として特に好ましくは、イソプロパノールである。 工程d)の場合には、表面変性されたゲルは、臨界未満条件下で特に−30〜 200℃、特に好ましくは0〜100℃の温度および0.001〜20バール、 特に好ましくは0.01〜5バール、特に好ましくは0.1〜2バール、の圧力 で、例えば照射乾燥、対流乾燥および/または接触乾燥によって乾燥される。乾 燥は、一般にゲルが0.1重量%未満の溶剤残留含量を有するようになるまで継 続される。乾燥で得られたエーロゲルは、永続的に疎水性である。 もう1つの実施態様の場合には、ゲルには、使用に応じて表面変性の前になお 網状構造の補強を行なうことができる。このことは、得られたゲルを、縮合能力 を有する一般式がR1 4-nSi(OR2n〔式中、nは2〜4であり、R1および R2は、互いに独立に線状または分枝鎖状のC1〜C6アルキル基、シクロヘキシ ル基、またはフェニル基である〕で示されるアルキルオルト珪酸エステルおよび / またはアリールオルト珪酸エステルの溶液と反応させるか、または珪酸水溶液 と反応させることにより行なわれる。この網状構造の補強は、全ての実施される 熟成工程もしくは溶剤交換の前および/ または後に実施することができる。 もう1つの好ましい実施態様の場合には、ゲルは、乾燥前にE弾性率が3MPa より大きい、BET表面積が400m2/gより大きい、および孔径分布が2〜20 nmの範囲内、好ましくは5〜10nmの範囲内にあるので、臨界未満乾燥後に得ら れるエーロゲルは、密度が特に200kg/m3以下、特に好ましくは150kg /m3以下である。 以下に、本発明による製造法を実施例によって詳細に説明するが、本発明は、 これによって制限されるものではない。 実施例1 ナトリウム水ガラス溶液2リットル(SiO2含量6重量%およびNa2O:S iO2比が1:3.3)を、酸イオン交換樹脂1リットル(スルホン酸基を含有 するスチレン−ジビニルベンゼン共重合体、商品名Duolite C 20の名称で市販) で充填されているジャケット付ガラスカラム(長さ=100cm、直径=8cm)上 に通す(約70mL/分)。このカラムを5℃の温度で運転する。このカラムの下 端部から流出する珪酸溶液は、2.3のpH値を有している。この溶液を重縮合 のために1.0モルのNaOH溶液で4.7のpHにもたらし、引続き85℃で 3.0時間熟成させる。熟成したヒドロゲルは、15.5MPa の弾性率を有して いる。このヒドロゲルを、ゲル中の含水量が2.0重量%以下になるまでイソプ ロパノールで抽出する。引続き、イソプロパノール含有リオゲルをイソプロパノ ール中でオートクレーブ内で40バールの圧力下に220℃に加熱し、かつこの 条件下で3時間維持する。ゲルの乾燥は空気中で行なう(40℃で3時間、次に 50℃で2時間および150℃で12時間)。 こうして得られた透明のエーロゲルは、密度が0.15g/cm3であり。BET 比表面積は、500m2/gであり、λ値は、0.018W/mKである。 熱伝導率は、電熱線法(例えば、O.Nielsson,G.Rueschenpoehler,J.Gros s,J.Fricke,「High Temperatures - High Pressures」,Vol.21,267 - 274 頁(1989)参照)により測定した。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】1997年10月20日 【補正内容】 請求の範囲 1. 下記の工程a)〜d)を含んでなる疎水性の表面基を有するエーロゲル の製造法。 a)珪酸エステル型リオゲルを装入し、 b)場合によっては、工程a)で装入したリオゲルに別の溶剤との溶剤交換を行 ない、 c)工程a)またはb)で得られたゲルを少なくとも1つのC1〜C6アルコール で表面変性させ、および d)工程c)で得られた、表面変性したゲルを臨界未満条件下で乾燥させること 。 2. 工程c)で少なくとも1つのC3〜C5アルコールを使用することを特徴 とする、請求項1に記載の製造法。 3. 工程c)でイソプロパノール、イソブタノール、または第三ブタノール を使用することを特徴とする、請求項1または2に記載の製造法。 4. アルコールを全溶剤に対して1〜100重量%の量で使用することを特 徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造法。 5. Siアルコキシドを有機溶剤中で水を用いて加水分解し、縮合させるこ とによって得ることができる珪酸エステル型リオゲルを装入し、引続き得られた ゲルを、該ゲルの含水量が5重量%以下になるまで有機溶剤で洗浄することを特 徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造法。 6. 水ガラス水溶液を酸イオン交換樹脂または無機酸を用いてpH値3以下 にして、生成した珪酸を塩基の添加によって重縮合させ、SiO2ゲルに変え、 かつ無機酸を利用した場合には、ゲルを水で電解液がなくなるまで洗浄すること によって得られる珪酸エステル型リオゲルを装入し、引続き得られたゲルを、該 ゲルの含水量が5重量%以下になるまで有機溶剤で洗浄することを特徴とする、 請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造法。 7. 工程a)で得られたSiO2ゲルを洗浄前に20〜100℃および4〜 11のpH値で1秒〜48時間で熟成させることを特徴とする、請求項1〜6の いずれか1項に記載の製造法。 8. 工程b)で有機溶剤としてC1〜C5アルコール、アセトン、テトラヒド ロフラン、酢酸エチル、ジオキサン、n−ヘキサン、n−ヘプタン、および/ま たはトルエンを使用することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載 の製造法。 9. 工程a)またはb)で得られたゲルを、シリル化前に、縮合能力を有す る一般式がR1 4-nSi(OR2n〔式中、nは2〜4であり、R1およびR2は、 互いに独立に線状または分枝鎖状のC1〜C6アルキル基、シクロヘキシル基また はフェニル基である〕で示されるアルキルオルト珪酸エステルおよび/またはア リールオルト珪酸エステルの溶液と反応させるか、または珪酸水溶液と反応させ ることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の製造法。 10. 表面変性を30分〜20時間行なうことを特徴とする、請求項1〜9 のいずれか1項に記載の製造法。 11. 表面変性を微少量のシリル化剤の存在で行なうことを特徴とする、請 求項1〜10のいずれか1項に記載の製造法。 12. 表面変性を触媒の存在で行なうことを特徴とする、請求項1〜11の いずれか1項に記載の製造法。 13. 表面変性したゲルを工程d)前に別の溶剤交換を行なうことを特徴と する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の製造法。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. 下記の工程a)〜d)を含んでなる、疎水性の表面基を有するエーロゲ ルの製造法。 a)珪酸エステル型リオゲルを装入し、 b)場合によっては、工程a)で装入したリオゲルに別の溶剤との溶剤交換を行 ない、 c)工程a)またはb)で得られたゲルを少なくとも1つのC1〜C6アルコール で表面変性させ、および d)工程c)で得られた、表面変性されたゲルを臨界未満条件下で乾燥させる。 2. 工程c)で少なくとも1つのC3〜C5アルコールを使用することを特徴 とする、請求項1に記載の製造法。 3. 工程c)でイソプロパノール、イソブタノール、または第三ブタノール を使用することを特徴とする、請求項1または2に記載の製造法。 4. アルコールを全溶剤に対して1〜100重量%の量で使用することを特 徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造法。 5. Siアルコキシドを有機溶剤中で水を用いて加水分解し、縮合させるこ とによって得ることができる珪酸エステル型リオゲルを装入し、引続き得られた ゲルを、該ゲルの含水量が5重量%以下になるまで有機溶剤で洗浄することを特 徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造法。 6. 水ガラス水溶液を酸イオン交換樹脂または無機酸を用いてpH値3以下 にして、生成した珪酸を塩基の添加によって重縮合させ、SiO2ゲルに変え、 かつ無機酸を利用した場合には、ゲルを水で電解液がなくなるまで洗浄すること によって得られる珪酸エステル型リオゲルを装入し、引続き得られたゲルを、該 ゲルの含水量が5重量%以下になるまで有機溶剤で洗浄することを特徴とする、 請求項1〜4のいずれか1項に記載の製造法。 7. 工程a)で得られたSiO2ゲルを洗浄前に20〜100℃および4〜 11のpH値で1秒〜48時間で熟成させることを特徴とする、請求項1〜6の いずれか1項に記載の製造法。 8. 工程b)で有機溶剤としてC1〜C5アルコール、アセトン、テトラヒド ロフラン、酢酸エチル、ジオキサン、n−ヘキサン、n−ヘプタン、および/ま たはトルオエンを使用することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記 載の製造法。 9. 工程a)またはb)で得られたゲルを、シリル化前に、縮合能力を有す る一般式がR1 4-nSi(OR2n〔式中、nは2〜4であり、R1およびR2は、 互いに独立に線状または分枝鎖状のC1〜C6アルキル基、シクロヘキシル基また はフェニル基である〕で示されるアルキルオルト珪酸エステルおよび/またはア リールオルト珪酸エステルの溶液と反応させるか、または珪酸水溶液と反応させ ることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の製造法。 10. 表面変性を25℃〜220℃の範囲内の温度、1〜50バールの圧力 、30分〜20時間で行なうことを特徴とする、請求項1〜9のいずれか1項に 記載の製造法。 11. 表面変性を微少量のシリル化剤の存在で行なうことを特徴とする、請 求項1〜10のいずれか1項に記載の製造法。 12. 表面変性を触媒の存在で行なうことを特徴とする、請求項1〜11の いずれか1項に記載の製造法。 13. 表面変性したゲルを工程d)前に別の溶剤交換を行なうことを特徴と する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の製造法。
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