JPH11509893A - 金属本体を備えた製品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 製品（２）は内部に設けられた少なくとも一つの縦通路（６）およびこの縦通路（６）から分岐された多数の横通路（８）を備えた金属本体（４）を有している。この本体（４）の外側に囲い層（１０）が存在している。これは保護層あるいは接着層として用いられる。濃縮層（１２）は縦通路（６）ないし横通路（８）の壁および囲い層（１０）の一部（１６）を覆っている。外側に更にセラミック断熱層（２０）も設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】 金属本体を備えた製品 本発明は、金属本体を備え、この本体がその内部に設けられた少なくとも一つ の縦通路およびこの縦通路から分岐しそれぞれ本体にある出口開口に通じている 多数の横通路を有している製品に関する。本発明は更にこのような製品の製造方 法に関する。 本発明は特にガスタービン構成要素、特に翼として形成される種類の製品に関 する。 静止形ガスタービン（従来通常の材料温度は約９５０°Ｃ）および飛行機エン ジンのガスタービン（従来通常の入口温度は約１１００°Ｃ）に対しては、静翼 、動翼、遮熱要素などのような大きな熱負荷を受ける部品に対する基礎材料とし て特別に開発された合金を利用することによって入口温度を高めることが行われ ている。特に単結晶の耐熱合金を採用することによって明らかに１０００°Ｃを 越える金属温度が利用できるようになっている。これによってガスタービンの熱 力学的効率を高めることができる。 ガスタービンの構成要素は熱応力のほかに例えば１３００°Ｃにも及ぶ温度の 燃焼ガスによる化学的作用も受ける。この種の作用に対する十分な耐久性に対し て、そのような構成要素は金属保護層で被覆されている。この保護層は十分良好 な機械的特性も有していなければならない。特に保護層と構成部品の基礎材料と の間の機械的繰り返し作用に関して、基礎材料の万一の変形に追従できるように するために保護層は十分な延性を有していなければならず、また基礎材料の腐食 および酸化を招く露出を防止するために、できるだけ亀裂が生じないようにしな ければならない。 金属構成要素特にガスタービン用構成要素における耐食性および／又は耐酸化 性を高めるための金属保護層は従来技術において非常に多様なものが知られてい る。保護層に対する合金等級は総称「ＭＣｒＡｌＹ合金」で知られており、その 場合Ｍは鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）およびニッケル（Ｎｉ）を含む元素群か らの少なくとも一つの元素を意味し、他の主な成分はクロム（Ｃｒ）、アルミニ ウム（Ａｌ）およびイットリウム（Ｙ）である。 製品の６００〜１１５０°Ｃの表面温度範囲における耐食性および耐酸化性を 改善するＭＣｒＡｌＹ合金から成る保護層は、ヨーロッパ特許出願公開第０４１ ２３９７Ａ１号明細書に記載されている。この保護層は２２〜６０％クロム、０ 〜１５％のアルミニウム、０．３〜２％のイットリウムあるいは０．３〜２％の 他の一つの希土類元素のほかに、１〜２０％のレニウムを含んでいる。合金の基 礎はニッケルであり、場合によっては他の元素特にコバルトが添加される。金属 保護層の良好な熱伝導性のために、保護層で被覆された構造部品は保護層自体と ほぼ同じ熱的負荷を受ける。 ニッケル基あるいはコバルト基の合金から成るガスタービン用の構成要素およ び他の構成要素に対する別の耐食性保護層が、ヨーロッパ特許第０４８６４８９ Ｂ１号明細書で知られている。この保護層は２５〜４０％のニッケル、２８〜３ ２％のクロム、７〜９％のアルミニウム、１〜２％のケイ素、少なくとも５％の コバルト、０．３〜１％の希土類元素特にイットリウム（重量％で表示）を含ん でいる。個々の成分の特性はこの特許明細書に説明されている。 ヨーロッパ特許第０３９７７３１Ｂ１号明細書には二種類の合金から成る二層 金属保護層が記載されている。その外側合金はＭＣｒＡｌＹ合金であり、１５〜 ４０％のクロム、３〜１５％のアルミニウム並びに０．２〜３％のイットリウム 、タンタル、ハフニウム、スカンジウム、ジルコニウム、ニオブおよびケイ素の 群からの少なくとも一つの元素（重量％で表示）を含んでいる。この外側合金は それ自体が場合によっては特に内面冷却形金属物品において特に高い温度に対し て保護するために遮熱層で被覆されている。その遮熱層は酸化イットリウムが添 加された酸化ジルコニウムでよい。遮熱層が外側合金から剥離することをできる だけ避けるために、遮熱層を設置する前に外側合金の酸化が行われている。 従来技術においては、タービン翼において比較的狭い冷却通路の内側面を金属 例えばアルミニウムで被覆することも知られている（１９８０年発行の文献、ジ ェイ・イー・レスタル（J.E.Restall ）他著「耐熱合金(Superalloys)」の第４ ０５〜４１０頁に掲載の「ガスタービン翼の冷却通路における粉化保護方式（A Process for Potecting Gas Turbine Blade Cooling Passages Against Degrad ation ）」参照）。内側表面および冷却通路に対しても利用できるニッケル化合 物上へのアルミニウムの別の析出方法も同様に文献に記載されている(１９７７ 年発行の文献アール・エス・パルズコウスキ（R.S.Parzuchowski）著「固形薄膜 （Thin Solid Films）４５」の第３４９〜３５５頁掲載の「ニッケル合金上への アルミニウムの気相付着（Gas Phase Deposition of Aluminium on Nickel Allo ys）」参照）。クロムあるいはアルミニウムとクロムの化合物を利用することも 可能である。ドイツ特許第４１１９９６７Ｃ１号明細書を補完的に参照されたい 。従来技術における冷却通路に対する内面被覆が一般的に同種の外面被覆層と一 緒でしか知られていないことに注目されたい。 例えば飛行機エンジン用の新形のガスタービンに対する翼およびまた静止ガス タービン用の翼も最近ますます複雑に構成されている。その場合次の特徴で区別 される。金属本体即ち本来の翼は高耐熱材料で中空に薄肉に鋳造される。これに よって冷却媒体特に空気のようなガスで翼の内側から効果的に冷却できるように しなければならない。そのために本体は少なくとも一つの冷却縦通路およびこの 縦通路から分岐している多数の横通路を有している。翼の高温ガス側に金属本体 を酸化および高温腐食に対して保護する被覆層が設けられている。多くの場合そ の上に、翼における熱流を減少するためにセラミックス材料から成るもう一つの 高温ガス側の被覆層が設けられている。冷却材側にも酸化による壁厚の減少およ び亀裂の発生を防止するための内面被覆層を設けることが望ましい。この場合、 冷却横通路は翼板および／又は鋳板における冷却媒体が流出する貫通孔と見なさ れる。これによって冷却媒体が高温ガス側に良好に分布され、場合によっては冷 却媒体のベールが形成される。これは薄膜冷却を生じさせる。 本発明の課題は、外面および内面被覆層を備えたコスト的に有利に製造できる 製品を提供することにある。更にこの種の製品を、特にすべての横通路がその横 断面積を手に無制限に狭められることなしに被覆層を備えることができるように コスト的に有利に製造する方法を提供することにある。 本発明によればこの課題は、 ａ）金属本体を備え、 ｂ）この本体がその内部に設けられた少なくとも一つの縦通路およびこの縦通路 から分岐しそれぞれ本体にある出口開口に通じている多数の横通路を有し、 ｃ）本体の外側に直接金属囲い層が設けられ、 ｄ）本体における縦通路および横通路の壁を覆う濃縮層が設けられ、これによっ て冷却媒体が貫流するための被覆済みの冷却縦通路およびこの縦通路から分岐さ れた多数の冷却横通路が形成され、その濃縮層がそれぞれの出口開口で追加的に 囲い層の僅かな部分を覆っている ことを特徴とする製品によって解決される。 囲い層は特にＭＣｒＡｌＹ合金から成り、更に特に１８０〜３００μｍの厚さ を有している。ＭＣｒＡｌＹ合金としては特にヨーロッパ特許出願公開第０４１ ２３９７Ａ１号明細書およびヨーロッパ特許第０４８６４８９Ｂ１号明細書で公 知の合金が問題とされる。 製品上の濃縮層は好適には３０〜１００μｍの厚さを有している。 この濃縮層は特に拡散層として形成され、即ち別個に施された金属を本体の中 に拡散することによって層として形成される。この種の金属としては特にアルミ ニウム、クロム並びにクロム・アルミニウム合金が問題となり、その場合クロム を含まないアルミニウムが特に有利である。 特にまた、製品が囲い層の外側を覆い且つ各出口開口において濃縮層が囲い層 を覆う個所における囲い層の僅かな部分上における濃縮層をも覆っているセラミ ック断熱層を有していると有利である。この断熱層は更に特に１００μｍ〜５０ ０μｍ、好適には２００μｍ〜３００μｍの厚さを有している。 上述の一つあるいは複数の有利な実施形態を有する製品は特にガスタービン構 成要素として、例えば翼としてあるいは遮熱要素として形成される。その物的特 徴はガスタービンの運転中に製品が高温の煙道ガスで洗流される場合に受ける機 械的、熱的および化学的な負荷を計算に入れることおよびこれに耐えることがで きるように設計するのに特に適している。 製品の製造方法に関する課題を解決するために本発明の第１の方法として、 ａ）内部に設けられた少なくとも一つの縦通路を備えた本体に金属囲い層が設け られ、 ｂ）本体にこの本体および囲い層を貫通して縦通路まで達する横通路が穿孔され 、 ｃ）本体における縦通路および横通路の壁におよび横通路の出口開口における囲 い層のそれぞれ僅かな部分上に濃縮層が設けられ、 ｄ）囲い層および濃縮層を備えた本体が熱処理され、 ｅ）囲い層が仕上げ削り加工される ことを特徴とする製品の製造方法が提案される。 製品の製造方法に関する課題を解決するために本発明の第２の方法として、 ａ）内部に設けられた少なくとも一つの縦通路を備えた本体に金属囲い層が設け られ、 ｂ）本体にこの本体および囲い層を貫通して縦通路まで達する横通路が穿孔され 、 ｃ）本体における縦通路および横通路の壁におよび横通路の出口開口における囲 い層のそれぞれ僅かな部分上に濃縮層が設けられ、 ｄ）囲い層が仕上げ削り加工され、 ｅ）囲い層にセラミック断熱層が設けられ、 ｆ）囲い層、濃縮層およびセラミック断熱層を備えた本体が熱処理される、 ことを特徴とする製品の製造方法が提案される。 本発明に基づく第１の方法について注意すべきことは、囲い層の仕上げ削り加 工は特に、濃縮層を設置する際に望ましくない個所に生じた濃縮層を形成するた めに利用される材料で濃縮された表面層を除去するために役立つことである。 本発明に基づく第２の方法について注意すべきことは、囲い層の仕上げ削り加 工が施すべきセラミック断熱層の要件に応じて行われることであり、その際に囲 い層上に生ずるおそれのある望ましくない表面層が除去される。 本発明に基づく第１の方法の枠内においては、囲い層は特に、本体を腐食およ び／又は酸化に対して保護する保護層である。本発明に基づく第２の方法の枠内 においては、囲い層は本体にセラミック断熱層を結合するための接着層として役 立つ。この結合は恐らくは囲い層上に生ずる薄い酸化膜を介して行われる。この 薄膜は囲い層の酸化によって生じ、これは別個の工程でも設けられる。場合によ っては囲い層の酸化によって形成された薄膜を、セラミック断熱層を施す前に、 特に例えば窒素のような別の化学成分を入れることによって改質させることもで きる。 本発明に基づく各方法の枠内において囲い層は、低圧プラズマ吹付け法（ＬＰ ＰＳ）あるいは真空プラズマ吹付け法（ＶＰＳ）によって設けられる。特に真空 プラズマ吹付け法はＭＣｒＡｌＹ合金から成る囲い層を設置するために有利であ る。 濃縮層を設置するためには特に、元素のアルミニウムおよびクロムの少なくと も一つ特にアルミニウムが本体上に蒸着および拡散されて、濃縮層がアルミニウ ムあるいはクロムを本体ないし囲い層の材料に合金化することによって形成され ると有利である。 本体における横通路の穿孔は有利にはレーザーボーリング法、電解加工（ＥＣ Ｍ）あるいは放電加工（ＥＤＭ）によって行われる。 本発明の枠内において断熱層を設けようとするとき、これは有利には大気プラ ズマ吹付け法（ＡＰＳ）あるいは物理蒸着法（ＰＶＤ）によって設けられる。プ ラズマ吹付け法は特にコスト的に有利なようにほとんど構造化しないセラミック 断熱層を提供し、これに対して一般に吹付け法よりも高い経費がかかる蒸着法は 、囲い層上にそれぞれ成長する個々の柱状結晶子から成るセラミック断熱層を提 供できる。このような柱状結晶子のセラミック断熱層は構造化されていないセラ ミック断熱層に比べて大きな利点を有するが、もっともこれはかなり高い製造コ ストを伴わざるを得ない。従って構造化されない断熱層と柱状結晶子の断熱層と の間の選択は個々の場合において決定されなければならない。 本発明に基づく各方法の枠内において行われる熱処理は特に、被覆処理された 本体を固溶化熱処理および／又は硬化処理するために使用する。 本発明の特別な利点は、内面層を設置する際に外面を覆う必要がないことにあ る。更に製造順序および被覆工程に続く作業工程特に平滑工程によって、構造部 品の表面と囲い層との間にも囲い層上にも濃縮層の材料特にアルミニウムの含有 量が増えた相が生じないことあるいは残存しないことが保証される。即ちそのよ うな相は亀裂を発生する性質を有することが知られている。従って亀裂の発生は 十分に避けられる。 本発明に基づく方法は更に、すべての冷却用横孔即ちすべての冷却空気の流出 孔が被覆されることを保証する。 濃縮層がＣＶＤ（化学蒸着）法特に拡散法で設けられると有利である。このよ うな内面被覆の設置方法を選定することによって、外面の不純物が少なくされる 。更にこの外面は特にＶＰＳ（真空溶射）法あるいはＬＰＰＳ（低圧プラズマ溶 射）法に応じて製造される。なお吹付けの荒い囲い層から成っているので、必然 的に研磨法（研削法）でなければならない続く仕上げ削り工程で、すべての望ま しくない残留物は完全に除去できる。更に熱処理の回数が非常に少なくされる。 構造部品に断熱層を設けようとするとき、これは特にＰＶＤ（物理蒸着）法に よって設ける必要がある。 上述の製品はタービン構成要素としてそれぞれ比較的長い寿命を有する。 製造方法は製造順序により、横通路即ち冷却空気孔が閉じられず、良好に再生 可能に狭められるだけであるという利点を有する。これにより構成要素の構造に おいて製図寸法が保たれる。 以下本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。 図１は外側断熱層無しのガスタービン翼の断面図、 図２は外側断熱層付きのガスタービン翼の断面図、 図３は図１におけるガスタービン翼を製造する工程の流れ図、 図４は図２におけるガスタービン翼を製造する工程の流れ図である。 図１においてガスタービン用の翼２は金属本体４を有している。この本体４は 特にニッケルベースあるいはコバルトベースの超合金から成っている。本体４の 内部のほぼ中央に一つの縦通路６が存在している。この縦通路６から多数の横通 路８が分岐している。縦通路６および横通路８は後で説明するように内面被覆処 理後において冷却媒体Ａ、特に空気のような冷却ガスを導くために用いられる。 本体４の各側面の外側にそれぞれ囲い層１０が直接施されている。この囲い層 １０はＭＣｒＡｌＹ合金から成っている。これは特に１８０μｍ〜３００μｍの 厚さを有している。そこには出口開口１４が開けられている。囲い層１０はそれ ぞれ特に低圧ブラズマ溶射法あるいは真空プラズマ溶射法によって施される。こ れは（外側）保護層の機能を満足する。 内面被覆のために濃縮層１２が設けられている。これは縦通路６の壁および横 通路８の壁を覆っているだけでなく、横通路８の外側範囲において出口開口１４ を開けた状態で囲い層１０の一部を側面で覆っている。図において１６はこの覆 い部分を示している。濃縮層１２は特に３０μｍ〜１００μｍの厚さを有してい る。これは拡散法で設けられると有利であり、その場合クロムおよび／又はアル ミニウムが蒸着および拡散される。 これによって翼２が冷却媒体Ａを貫流させるための一つの被覆済みの冷却用縦 通路６およびそこから分岐された多数の被覆済みの冷却用横通路８ａを有するこ とが明らかである。 図２における翼２はほとんど図１におけるものに相当している。しかしここで は外側に即ち囲い層１０の上にセラミック断熱層２０も設けられている。特にＭ ＣｒＡｌＹ合金から成る囲い層１０はここでは接着層の機能を有している。断熱 層２０は１００μｍ〜５００μｍ、好適には２００μｍ〜３００μｍの厚さを有 している。これは従来から公知の材料で作られる。注目すべきことは、断熱層２ ０が囲い層１０の外側および横通路８の外側範囲において出口開口１４を開けた 状態で濃縮層１２の僅かな部分あるいは覆い範囲２２も覆っていることである。 断熱層２０は大気プラズマ溶射法法（ＡＰＳ）あるいは物理蒸着法（ＰＶＤ）に よって設けられる。 図３には図１における翼２を製造する基本工程が示されている。図３に従って まず第１の工程３０で鋳造が行われ、即ち縦通路６を含む本体４の成形体の製造 が行われる。複数の縦通路６を設けることもできる。第２の工程３２において機 械加工が行われる。ここでは翼脚のフライス切削、翼２のシール面のフライス切 削および／又は他の加工工程が行われ、半製品が生ずる。次の工程３４において 本体４の上に囲い層１０が設けられる。この囲い層１０は特にＭＣｒＡｌＹ合金 から成っている。その設置は低圧プラズマ溶射法（ＬＰＰＳ）あるいは真空プラ ズマ溶射法（ＶＰＳ）によって行われる。その場合、半製品は場合によっては結 合熱処理に曝される。囲い層１０は翼２の運転中に保護層として用いられる。 次の工程３６において横通路８が穿孔される。この場合、種々の技術を利用で きる。断面円形の横通路８並びに成形済みの出口開口への引き込み路である場合 には、レーザー加工法が利用される。これに対して横断面形状が例えば台形ある いは他の形をした薄膜冷却孔であるときには、電解加工（ＥＣＭ）あるいは放電 加工（ＥＤＭ）が用いられる。 これに続いて工程３８、詳しくは内面被覆処理が行われる。これはここでは濃 縮層１２の設置である。この設置は例えば反応ガスを利用して拡散法（化学蒸着 法＝ＣＶＤにより行われるか、あるいはこの拡散法を伴う粉末充填法で行われる 。このような方法自体が公知であることは既に冒頭に述べた通りである。 従って本体４にその金属外側被覆層１０、１２が施された後、この本体は工程 ４０において熱処理される。この工程４０は、本体４の材料がその最良の材料特 性を得るようにするために必要である。この工程４０では特に固溶化熱処理およ び続く硬化処理が行われる。このようにして仕上げられた翼２の荒さは続く工程 ４２において除去される。これは機械式仕上げ削り工程で行われる。この場合、 囲い層１０の表面上における残留物も除去され、これによって例えば脆いアルミ ニウム富化相による亀裂の発生が避けられる。 図４における工程３０〜３８は図３における工程３０〜３８に相当している。 従ってここではその重複説明は省略する。 図４では工程３８に機械式仕上げ削り工程が続いている。その場合、続く工程 ４６における断熱層２０の設置に対する表面が用意される。 工程４６において断熱層２０の設置が特に蒸着法で行われる。その場合、電子 ビーム物理蒸着法（ＥＢ・ＰＶＤ）が利用される。図３の製造工程による翼２は 外側に向かって金属表面を有するが、図４の製造工程による翼２は外側に向かっ てセラミック表面を有する。 工程４６には熱処理工程４８（図３の工程４０に相当）が続いている。ここで も翼２の基礎材料の固溶化熱処理および続いて硬化処理が行われる。この工程４ ８の後に図２に示す翼２が得られ、利用に供される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ２３Ｃ 16/06 Ｃ２３Ｃ 16/06 26/00 26/00 Ｄ 28/02 28/02 Ｆ０１Ｄ 5/28 Ｆ０１Ｄ 5/28

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ａ）金属本体（４）を備え、 ｂ）この本体（４）がその内部に設けられた少なくとも一つの縦通路（６）およ びこの縦通路（６）から分岐しそれぞれ本体（４）にある出口開口（１４）に通 じている多数の横通路（８）を有し、 ｃ）本体（４）の外側に直接金属囲い層（１０）が設けられ、 ｄ）本体（４）における縦通路（６）および横通路（８）の壁を覆う濃縮層（１ ２）が設けられ、これによって冷却媒体（Ａ）が貫流するための被覆済みの冷却 用縦通路（６ａ）およびこの縦通路（６ａ）から分岐された冷却用横通路（８ａ ）が形成され、その濃縮層（１２）がそれぞれの出口開口（１４）で追加的に囲 い層（１０）の僅かな部分（１６）を覆っている 製品（２）。 ２．囲い層（１０）がＭＣｒＡｌＹ合金から成り、特に１８０μｍ〜３００μｍ の厚さを有している請求項１記載の製品（２）。 ３．濃縮層（１２）が３０μｍ〜１００μｍの厚さを有している請求項１又は２ 記載の製品（２）。 ４．濃縮層（１２）が拡散層である請求項１ないし３のいずれか１つに記載の製 品（２）。 ５．濃縮層（１２）が主要成分としてアルミニウムおよび／又はクロム、好適に はアルミニウムだけを含んでいる請求項１ないし４のいずれか１つに記載の製品 （２）。 ６．囲い層（１０）の外側を覆い且つ各出口開口（１４）において囲い層（１０ ）の僅かな部分（１６）における濃縮層（１２）も覆っているセラミック断熱層 （ ２０）を備えている請求項１ないし５のいずれか１つに記載の製品（２）。 ７．断熱層（２０）が１００μｍ〜５００μｍ、好適には２００μｍ〜３００μ ｍの厚さを有している請求項６記載の製品（２）。 ８．ガスタービン構成要素（２）、特に翼（２）として形成されている請求項１ ないし７のいずれか１つに記載の製品（２）。 ９．以下の工程 ａ）内部に設けられた少なくとも一つの縦通路（６）を備えた本体（４）に金属 囲い層（１０）が設けられ（工程３４）、 ｂ）本体にこの本体（４）および囲い層（１０）を貫通して縦通路（６）まで達 する横通路（８）が穿孔され（工程３６）、 ｃ）本体（４）における縦通路（６）および横通路（８）の壁におよび横通路（ ８）の出口開口（１４）における囲い層（１０）の僅かな部分（１６）に濃縮層 （１２）が設けられ（工程３８）、 ｄ）囲い層（１０）および濃縮層（１２）を備えた本体（４）が熱処理され、 ｅ）囲い層（１０）が仕上げ削り加工される（工程４２）、 を以上の順序で有する製品（２）の製造方法。 １０．以下の工程 ａ）内部に設けられた少なくとも一つの縦通路（６）を備えた本体（４）に金属 囲い層（１０）が設けられ（工程３４）、 ｂ）本体にこの本体（４）および囲い層（１０）を貫通して縦通路（６）まで達 する横通路（８）が穿孔され（工程３６）、 ｃ）本体（４）における縦通路（６）および横通路（８）の壁におよび横通路（ ８）の出口開口（１４）における囲い層（１０）の僅かな部分（１６）上に濃縮 層（１２）が設けられ（工程３８）、 ｄ）囲い層（１０）が仕上げ削り加工され（工程４４）、 ｅ）囲い層（１０）にセラミック断熱層（２０）が設けられ（工程４６）、 ｆ）囲い層（１０）、濃縮層（１２）およびセラミック断熱層（２０）を備えた 本体（４）が熱処理される、 を以上の順序で有する製品（２）の製造方法。 １１．断熱層（２０）が大気プラズマ溶射法（ＡＰＳ）あるいは物理蒸着法（Ｐ ＶＤ）によって施される（工程４６）請求項１０記載の方法。 １２．囲い層（１０）が低圧プラズマ溶射法（ＬＰＰＳ）あるいは真空プラズマ 溶射法（ＶＰＳ）によって施される（工程３４）請求項９ないし１１のいずれか １つに記載の方法。 １３．濃縮層（１２）を設置するために元素のアルミニウムおよびクロムの少な くとも一つ特にアルミニウムが蒸着および拡散される請求項９ないし１２のいず れか１つに記載の方法。 １４．横通路（８）がレーザーボーリング法、電解加工（ＥＣＭ）あるいは放電 加工（ＥＤＭ）により穿孔される請求項９ないし１３のいずれか１つに記載の方 法。 １５．固溶化および／又は硬化のための熱処理（４０、４８）が行われる請求項 ９ないし１４のいずれか１つに記載の方法。