JPH11508015A - 多段スクリュースピンドル圧縮機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 スクリューロッド圧縮機、特に真空ポンプの片持ち梁式送りロータ(８)は、好ましくは、ロータと、ロータの空洞(２４)の中に突出している静止軸受体との互いに対向する表面間の熱交換によって、吸込側に接する領域よりも圧縮側に接する領域においてより強力に冷却される。軸受領域を保護するために、周面には協働する運搬部材が設けられ、その運搬はロータから離れの方向に導く。

Description

【発明の詳細な説明】 多段スクリュースピンドル圧縮機 スクリュースピンドル圧縮機において、ＥＰ-Ａ ４７２９３３に開示されてい るように、達成可能な圧力差は、ロータとポンプチャンバハウジングの互いに対 して移動する周囲面間の漏れ損失にかなりの程度まで依存する。このことを考慮 して、目標としてはこれらの表面の間のクリアランスを出来る限り小さく保つこ とである。しかしながら、温度が引き起こすロータの熱膨張については、安全な 運転には大きなクリアランスが必要である。 ロータの軸受中空空間に設けられた熱伝達媒介物(潤滑油)によって、２軸圧縮 機のロータを直接冷却することは既知となっている(ＥＰ-Ａ ２９０６６４)。上 記熱伝達媒介物は、軸受中空空間に突出する静止冷却コイルによって冷却される 。これはロータの軸受中空空間が密封されなければならないという欠点がある。 しかしながら、これに必要な密封は、特に、高回転数ではトラブルが生じやすい 。また、熱の発生に導いて冷却効果を損なう大損失が、回転するロータと静止冷 却コイルとの間で渦巻く熱伝達媒介物に起こる。 例えば注入された液体冷却剤によって(ＵＳ-Ａ４,５１５,５４０)、あるいは 冷却後に送出された媒介物の幾らかをフィードバックすることによって(ＤＥ-Ａ ２５ ４４ ０８２)、送出された媒介物を冷却することは従来から実施されてい る。このような冷却は、本発明と組み合わせて提供されてもよい。しかしながら 、本発明の目的は、ロータが、特に過敏な軸受の領域で、送出される媒介物の圧 力側の温度よりも低い温度になるように、ロータを冷却することである。 したがって、本発明の目的は、クレーム１の前提項に述べられているタイプの スクリュースピンドル圧縮機を作ることである。この圧縮機では、トラブルが生 じやすい密封を必要とせず、ロータとポンプチャンバハウジングとの間ばかりで なくロータ同士の間の小さなクリアランス対しても良好な前提条件が作られるよ うに、ロータは送出媒介物とは無関係に冷却される。 本発明による解決法は、好ましくは従属クレームの特徴の外にクレーム１の特 徴に存在する。 クレーム１による解決法は２つの要素から成る。すなわち、第１にはディスプ レイスメントロータは吸込側よりも圧力側で大いに冷却されるという特徴と、第 ２には特殊なタイプのロータ軸受装置の構造を使用する冷却技術である。 吸込側よりも圧力側でロータを大いに冷却するという考えは、圧縮熱の大半が 、これらの機械では、圧力側の近くに位置し、ロータとポンプチャンバハウジン グによって囲まれるポケット内で発生するいう事実に基づいている。この理由は 、漏れ損失と、ことによると同容積のプレアドミッションの結果として、それら が吸込側に近いポケットよりも大きなガス量を含むからである。もしも、熱が、 好ましくも圧力側に近いロータの領域から散逸するならば、ロータが全長に渡っ て冷却される場合よりも全長に渡って一層容易に、ロータについて一定の直径比 が達成される。ここで、多段ロータとは、圧縮ポケットを形成する多段ロータの スクリューのひねりが、数回ロータの周りを回ることを意味し、互いに分離した 複数の圧縮ポケットが、各々の場合において吸込側と圧力側でロータの全長に渡 って形成されている。３段の配置では、スクリューのひねりが当該ロータの周り を、各々の場合において３回回る。段階数は、それぞれの圧力適用範囲にしたが って設定される。好ましくは、少なくとも５段が使用される。 本発明は、冷却に対して、構造様式に適合した特殊な技術を使用している。こ の構造様式が要求することは、各ディスプレスメントロータが張り出して静止軸 受管に接して取り付けられ、静止軸受管はロータシャフトと少なくとも１つのロ ータ側の軸受とを包囲すると共にロータの中に突出している。軸受管のみが直接 冷却され、一方、ロータの冷却は、相互に熱交換できるように配置された互いに 対向するロータと軸受体の周面によって、間接的に行われる。この軸受とロータ シャフトは、軸受管の内部に配置されているので、特に有効に冷却される。 ロータと軸受体との互いに対向する表面間の熱伝達を改善するために、これら の表面には熱交換を向上させる特性が与えられている。対流による熱交換が上記 表面間に位置する空気層によって強められるように、中間空間が吸込側ではなく 圧力側に接続されている。また、表面には凹凸が付けられ、これによってその間 にある媒介物への熱伝達率が向上する。２表面間の距離は、できるだけ短くすべ きである。輻射による交換を向上させるために、熱輻射の領域において高吸収率 を持つような表面処理が施される。 ロータと軸受体との互いに対向する表面の熱伝達は、その間に配置され流動す るようにされたガスによって改善される。このために、中間空間はガス供給源に 接続されている。ガス流は、適当に低いガス温度(必要ならば冷却)が選択される ならば、熱の散逸にも使用される。加えて、それは密封機能を果たして、送出媒 介物の進入あるいは媒介物の中の汚染物質から、軸受および駆動領域を保護する 。 使用されるガスは機械の圧力側に便宜上供給される。ガスを供給するために、 ロータと軸受体が相互作用する表面には、送出部材が設けられる。その結果とし て、外部の圧縮ガス源を備えることは不必要となる。このことは、供給ガスが、 冷却の目的でなく、主として密封の目的に使用されようとしたときも当てはまる 。上記表面の送出作用は、特に片側または両側の送出ねじを備えているという事 実によってもたらされる。その代わりに、あるいは、それに加えて、それらは円 錐形のデザインからなっいて、送出のために遠心力の作用が用いられる。このよ うな手段は中間空間においてガスの移動を促進し、追加のガスが供給されないと き、熱伝達を向上するのにも有用である。 ロータの中空空間に突出している軸受体の部分には、便宜的に通路が設けられ ており、冷却液がこの通路を通って流れる。また、通路は、ロータと対向する軸 受体の周面の好ましくは近くに配置される。 本発明による冷却のために、ロータの熱膨張が限定されるので、ハウジングは 強力にあるいは少なくとも予め決められた温度に冷却され、クリアランスの熱吸 収のためにロータがハウジングに衝突して作動するという危険もない。ポンプの 効率は、このようにして送出媒介物上に働く冷却作用によって増大される。 特に、真空ポンプの場合には、送出媒介物を冷却するためにおよび／または騒 音を減少させるために、高圧ガスを機械の圧縮セル(小室)の中に流入させること が知られている。プレアドミッションと呼ばれるこの技術は、本発明と関連して 有効に使用される。例えば、適当な供給源からの冷却されたガスが用いられる。 プレアドミッションガスを、ハウジング側の冷却ポケットに配置された熱交換器 に通すことによって、外部の熱交換器をなくすことができる。ガスの代わりに、 液体をポンプチャンバに供給してもよい。その液体はそこで蒸発し、これによっ て送出媒介物からの熱を取る。 少なくとも軸受体がロータの熱によって影響を受ける領域では、グリースで永 久的に潤滑される転がり軸受が使用され、このため、特にメンテナンスを殆ど要 せず、軸受体の冷却は、ポンプチャンバの汚染の危険がないという大きな利点が ある。 ロータと軸受体の相互作用する表面に送出部材を備えるという上述の可能性は 、ポンプチャンバから生じる異物から軸受領域を保護するのに、利用され得る。 このために、相互作用送出部材は、ロータの中空空間から送出方向に導くように 設計されている。 これによって、密封媒介物や送出媒介物自身の供給中に、異物、特に送出媒介 物よりも重い物質が、送出方向に抗してロータの中空空間に浸透するのが防止さ れ、また、軸受と駆動領域に進行するのが防止される。この作用は重力によって 補助される。 好都合な実施例では、少なくとも１つに送出ねじを備えることによって、送出 部材として相互作用表面が設計される。両方に送出ねじが設けられることも可能 である。ねじの方向は、所望の送出方向となるように選択される。本発明の別の 実施例においては、互いに対向するロータと軸受体の周面は、直径が送出方向に 増加しながら円錐形に広がっていて、例えば増大する直径の方向すなわちポンプ チャンバの方に、遠心力が浸透する物質を押し戻す。複数のこのような送出手段 (例えば、送出ねじとテーパー)が互いに組み合わせられる。 ロータの中空空間を洗浄ガス供給源または密封ガス供給源に接続することによ って、この作用は増大される。送出作用のために、この供給源は正圧下にある必 要はない。しかしながら、これは問題にならないということではない。このガス は冷却のためにも使用され得る。 本発明の特に重要な結果は、軸受と駆動領域への液体の進入に対して安全なこ とである。その結果、ポンプは密封作用について液体のサージに鈍感になるばか りでなく、特に洗浄のためにフラッシュ(一気に放流)され得る。この目的に対し て、洗浄液の流入のために特別な装置が設けられ、例えばロータあるいはハウジ ングの表面に堆積した不純物を放出し洗い流すのに役立つ。その間、回転作動速 度を維持できないならば、ロータは適当に減少された速度で運転されるべきであ る。このために適当な制御装置を備えることができる。トルクの関数として回転 速度を制御することは、そのときに回転速度の低下が自動的に起こるので、特に 簡単かつ有利である。単に比較的少量の液体がガス供給流に注入されるならば、 回転速度の低下は僅かである。トルクの関数として運転するとき、送出空間を満 たす液体の割合が多ければ多いほど、回転速度はより遅い。そのとき可能な低回 転速度と、ロータと軸受体の間の中間空間に尚も存在する送出作用とが、ロータ 内の軸受の測地高さと組み合わせて、フラッシュ液が軸受領域に溢れ出るのを防 止するのに十分であれば、ポンプチャンバが完全に充満してもよい。 液体の通過に対する安全は、本発明によって作動状態と休止状態の両方におい て達成され得る。重力と圧力差は、両方の状態で作用し、送出部材は作動状態で 追加的に作用する。 本発明は、図面を参照してより詳細に以下に説明される。この図面は、好都合 な典型的実施例の縦断面を示す。 モータハウジング２は、足部１の上に置かれ、必要ならば一体に、頂部でフラ ンジ状のベースプレート３につながっている。このベースプレート３にはポンプ チャンバハウジング４が取り付けられている。後者はその頭部で、吸込開口部６ のある蓋５によって閉じられている。 後に説明されるような方法で、軸受体７のフランジプレート５０は、ベースプ レート３に締め付けられる。このフランジプレート５０は、各々の場合に、ロー タ８を支持するのに役立つ。ロータ８の外周はディスプレイスメント(変位)突出 部９を持つ。このディスプレイスメント突出部９は、好ましくは２つの開始点の ある螺旋となっており、送出空間１０において隣接するロータのディスプレイス メント突出部９の間で歯が噛み合うように係合している。加えて、ディスプレイ スト突出部９は、外周部でポンプチャンバハウジング部４の内面と相互に作用す る。ロータ８は、頭部で吸込空間１１に接続され、底部で圧力空間１２に接続さ れている。 圧力空間１２は圧力出口に接続されている(図示しない)。これらの部分は、垂 直に取り付けられたポンプチャンバハウジングの底端部に設けられている。 各ロータ８は回転方向に固定されてシャフト２０に接続されている。シャフト ２０は、永久的に潤滑される転がり軸受２１によって、軸受体７内の底部に取り 付けられている。同様に永久的に潤滑されている第２の転がり軸受２２が、軸受 体７の管状部２３の頭端部に位置している。軸受体７はロータ８の同軸穴の中に 突出している。この穴２４は、底部すなわち圧力側に向かって開口している。こ の軸受２２は、好ましくは、ロータ８の中心より上に配置される。軸受体の管状 部２３は、好ましくは、ロータ８の長さの大半を貫いて伸びる。ポンプが垂直に 配置された場合には、管状部２３の端は圧力出口１７よりも実質的に高い位置に ある。このことは、ポンプチャンバから液体あるいは他の重い不純物が進入しな いように、軸受と駆動領域を保護するのに役立つ。 冷却通路２５が、軸受体の管状部２３に設けられている。冷却通路２５は、通 路２６を経由して冷却水供給源に接続され、また、対応する通路(図示せず)を経 由して冷却水排出部に接続されている。この冷却通路２５は、好ましくは、螺旋 状に曲げられた窪みであってスリーブによってぴったりと覆われた窪みにより形 成される。グリースで永久に潤滑されるならば、ロータ軸受の冷却は、これらの 軸受の寿命あるいはメンテナンスの間隔を引き延ばす。さらに、軸受体の管状部 ２３の外周面は、この冷却によって低温に維持される。この外周面は、僅かの距 離だけ離れて、ロータの中空空間２４の内面に対向している。これら表面は、良 好な熱交換ができるように設計されている。したがって、熱は、軸受体の管状部 ２３およびその冷却装置２５を経由して、ロータから間接的に消散される。互い に対向しあっている軸受体の管状部２３の面とロータの中空空間２４の面とは、 面間の熱交換を改善するために適切な方法で設計される。例えば、高吸収係数に よって輻射による熱交換が推進されるように、表面が処理または研磨される。面 の間のガス層による対流熱交換は、小さな表面間隔と、熱伝達係数の増加となる 適切な表面構造とによって改善される。このために、一表面または両表面が、粗 仕上げまたは熱交換リブやねじ等を用いて、設計される。また、軸受体またはシ ャフト２０を通ってロータの中空空間２４に密封ガスを供給することも可能であ る。この密封ガスは、圧力空間１２から供給媒介物とともに放出される。軸受領 域の密封とは別に、それは軸受と軸受体とロータとを付加的に冷却するのに役立 つ。しかし、この場合、ガスは、軸受を汚染しないように、便宜上、軸受を通っ て導かれるのでなく、バイパスを形成する通路２８を経て導かれる。 ポンプチャンバから浸透してくる流入物から軸受と駆動領域とを保護するため に、適切な密封装置か障壁装置のいずれか一方あるいは両方が設置される。軸受 体２３の対向する面とロータ中空空間２４の内面とに、片側はまたは両側に送出 ねじ(図示しない)を備えることが、特に、有利である。この送出ねじは、ロータ の中空空間２４から圧力空間１２に向かって送出する効果を発揮する。この送出 効果は、固体粒子または液体が高密度であるために、主として固体粒子または液 体に作用する。これによって、軸受や駆動領域へそれらが進入するのを防止する 。上記送出ねじは、かなり低減された回転速度であっても尚もこの効果が有効で あるように、便宜的に設計される。 この送出効果は、圧力空間に向かって円錐形に拡がる軸受体とロータとの間の ギャップ(空隙)によっても、もたらされる。ここに、ギャップ幅(ロータの表面 から軸受体の表面への距離)は、本質的に一定である。加えて、この場合、互い に対向する表面に、片側または両側に送出給ねじも設けら得るが、しかし、これ は必要でない。 ロータと軸受体との間のギャップに送出ねじ或いは送出作用のあるテーパー(c onicity)を備えることは、液体または固体粒子の進入に抗する非常に有効な密封 を提供するので、付加的な密封装置はしばしば不要となる。しかし、それらは設 けられてもよく、実際、非接触または最小限の接触するタイプの構造、例えば、 ラビリンス密封またはピストンリング状の密封では、それらは好ましくは設けら れる。 送出ねじまたは空隙テーパーの密封作用のために、本発明のポンプは、ロータ が回転している限り、ポンプチャンバ内の液体の存在に対して影響を受けない。 ロータ内で軸受が高く配置されているために、ポンプチャンバ内の液体が軸受の 高さまで到達しない限り、静止状態においても影響を受けない。送出媒介物が液 体サージを携えるとき、それは重要であるばかりでなく、液体の噴射によってポ ンプを洗浄および／または冷却するためにも使用され得る。例えば、洗浄液また は冷却液がノズルを介して注入され、その内の１つは２７で示めされている。同 一または別のノズル２７は、洗浄液および冷却液を注入するために使用されても 良い。 もし非常にひどい汚染が予想されるならば、作動中に常時洗浄液を注入するこ とは可能である。真空ポンプの作動中に、洗浄液がポンプチャンバの中に入るな らば、洗浄液は吸込圧力よりも低い蒸発圧を持つ。もしも、ポンプが多段式ポン プであり、汚染が(例えば圧力の関数として)主として第２段及び／又は次の段で 付着するならば、洗浄液の注入を第２段または次の段に限定することは可能であ り、これによって吸込側からそれを分離することは可能である。 しかしながら、(例えば、駆動トルクの増加の結果として)洗浄に対する要求が 定まれば、殆どの場合、洗浄作業は常時ではなく周期的に行われる。ポンプが液 体に影響されないために、比較的大量の液体も使用される。使用される洗浄液の 量または種類のために、回転作動速度を維持できないならば、それの応じて回転 速度は減少され得る。これに対して適切な制御装置が設けられる。例えば、回転 速度は駆動トルクの関数として制御され、このことは、増大した動力が要求され た回転作動速度については、対応する回転速度の減少に自動的に導かれる。ロー タの連続回転は、洗浄段階中においてさえもロータ軸受装置を密封するのに役立 つのみならず、汚染された表面に洗浄液の効果を与える。 ロータと軸受体の間の空隙における送出作用は、外部の圧縮ガス供給源とは別 に、密封ガスを送出するのに使用される。しかしながら、密封ガスを送出するた めには、このような圧縮ガス供給源の作用は、速度に無関係に密封ガスを供給す るのに一般的に好いと考えられる。 ポンプチャンバハウジング４はポケット３０を含み、ポケット３０はその外周 回り全体または大部分に渡って走る。ハウジングを予め決められた温度に保つた めに、冷却水がポケット３０を通って循環する。全ての場合において、ハウジン グシェルの冷却は必要ない。しかしながら、本発明の状況では、そのことは、ロ ータ８も冷却されてロータの熱膨張が制限されるから、好都合にも可能である。 ロータが単に膨張するためにハウジングに当たりながら運転するという心配は、 ハウジングが低温に保たれている間は、必要がない。 本発明によるポンプには、プレアドミッションが設けられている。これは、通 路３１がハウジング内の高圧縮領域あるいはちょうど平均的な圧縮領域に設けら れ、周知の原理によって冷却及び／又は騒音を減少するために、上記通路３１を 通ってポンプチャンバのこの領域での圧縮状態に対応する高圧のガスが、ポンプ チャンバの中に注入されることを意味する。本発明の有利な特徴によると、プレ アドミッションのガスが、ポンプチャンバシェル４の冷却ポケット３０において 冷却されることによって、ポンプの圧力側から直接抜き出され得ることである。 このために、それは熱交換器の管３２を通過され得る。 図示された例の転がり軸受２１,２２は、スプリング２９によって互いに対抗 して設置されているアンギュラコンタクト玉軸受である。各シャフト２０は、好 ましくは直接、すなわち中間カップリングなしで、軸受２１の下方に駆動モータ の電機子３５を支持している。その駆動モータのステータ３６はモータハウジン グ２内に配置されている。モータハウジングには、冷却通路３８が設けられてい る。 フランジプレート５０は、図示されている例では、軸受体７と一体に形成され 、本来、ポンプチャンバハウジング４の辺縁部の続き、かつ、ベースプレート３ の頭部側に接する内部マージン５２の続きにある。フランジプレート５０はベー スプレート３に対して密封されている。端面５３は、半径方向の切断面において セカント(割線:secant)に沿い、そこでは、フランジプレート５０が互いに押し 合い、端面５３には密封挿入物が設けられている。 回転された穴が、マージン５１,５２の間にフランジプレート５０の下に設け られている。この回転された穴はベースプレート３の頭部と囲んで空間３９を形 成する。この空間３９は同期歯車４０を収納するのに役立つ。同期歯車４０は、 軸受２１とモータ電機子との間のシャフト２０上に、既知の手段で回転方向にロ ックされるようになっている。それらがフランジプレート５０の内部マージン５ ２の領域において互いに噛み合うように、内部マージンは適切な箇所に切り取り 部(カットアウト)をもつ。この切り取り部を通って歯車が広がる。ウェブが各々 の側にこの切り取り部の下に残存する。参照番号５２の参照線が、ウェブに対す る図１の内部マージンの箇所を略示す。このウェブは安定性の理由で有利である のみならず、一方でベースプレート３に対して、他方でフランジプレート５０の 平らになったセカント面間で、環状の密封を可能にする。 フランジプレート５０のくりぬかれた部分３９は、同期歯車４０の直径よりも 大きな直径を持つ。それらは、内部マージン５２に対して僅かに偏心して配置さ れていて、ロータの構造ユニットの組み立て時に、密封ウェブ５２の存在にも拘 わらず、同期歯車４０を挿入できる。 同期歯車４０を包囲する空間３９はポンプチャンバから完全に分離されている ので、同期歯車が汚染される危険はない。それらは、ロータの緊急同期にのみ使 用される。これらの歯は通常互いに接触しない。したがって、潤滑は普通は不必 要である。希望があればそれを使用できるが、同期歯車の乾燥式の運転は、空間 ３９と駆動モータの間の密封が必要でないので、構造を簡素化する。 同期歯車４０は、パルス発生器のディスクとして使用されるか、あるいは、追 加のパルス発生器ディスクによって補われる。パルス発生器ディスクは、図１に 示されるセンサ４２によって走査される。これらのセンサ４２は制御装置に接続 され、制御装置はセットされた点に対する各ロータの回転位置を監視し、駆動装 置を介してそれを補正する。これはロータの電子的な同期に関係しているが、こ のことはそれ自体既知であり、したがって、ここで詳細に説明される必要はない 。同期歯車４０の歯の間の遊びは、ロータ８のディスプレイスト突出部９のフラ ンク(側面)のクリアランスよりも僅かに小さい。しかしながら、それは装置の電 子的同期の同期公差よりも大きい。後者が適切に機能する間、ディスプレイスト 本体９のフランクも、同期歯車４０の歯も、互いに接触することはない。それに も 拘らず、後者が互いに接触するようになる場合には、それらには耐摩耗性を持た せ、必要ならばスライド可能な被覆がなされる。 ポンプの性能データは、駆動出力と回転速度とによって決定されるのではなく 、ロータにおいて形成されるディスプレイスメントと送出容量とによって、した がってロータの長さによって決定される。それ故に、送出データは、ロータを包 囲しているポンプ部分の長さを変えることよって、変化され得る。したがって、 異なる性能データをもつ一連のポンプは、好ましくは、このシリーズの個々のポ ンプがこれら部品の長さの段階的変化で異なるということによって、区別される 。上記これら部品とは、ポンプチャンバハウジング、ロータ、必要ならばロータ の中に突出している軸受体管状部のことである。 各ロータは、該当する軸受と駆動装置と共に、独立して取り付けられる構造ユ ニットを形成し、この構造ユニットは、ロータとは別に、軸受２１,２２と、軸 受体７と、その中に設けられた冷却装置と、シャフト２０と、同期歯車４０と、 該当するセンサ４２と、モータの電機子３５とから成るということがわかる。こ れらのユニットは、事前に完全に組み立てられてポンプに挿入される。それらは ベースプレート３から簡単に除去され得たり、あるいは、ポンプチャンバハウジ ングの除去の後、挿入され得る。したがって、これらのユニットの交換は、ユー ザに委ねられる。一方、製造者は取り扱いに慎重を要するユニットのメンテナン スを処理する。 ポンプは、好ましくは、大量の液体を安全に送出するために、容積一定型の構 造をしている。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ，ＵＳ (72)発明者 シュテフェンス，ラルフ ドイツ連邦共和国デー−25551ローバーベ ック、ドルフシュトラーセ９番

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 複数のディスプレイスメントロータ(８)が張り出すようにして静止軸受管 (２３)の圧力側に取り付けられ、上記静止軸受管(２３)はロータシャフト(２０) と少なくとも１つのロータ側の軸受(２２)とを包囲すると共に上記それぞれのロ ータ(８)の中に突出している多段スクリュースピンドル圧縮機において、 上記ロータ(８)の中にそれぞれ突出している上記軸受管(２３)の部分が冷却さ れ、上記ロータ(８)と上記軸受管(２３)の互いに対向する周面が互いに対して熱 交換ができるようになっていることによって、上記ロータ(８)は吸込側よりも圧 縮側において大いに冷却されることを特徴とする多段スクリュースピンドル圧縮 機。 ２． 請求項１に記載の圧縮機において、上記ロータ(８)と上記軸受管(２３)の 互いに対向する表面の間の中間空間は圧力側(１２)に接続されていることを特徴 する圧縮機。 ３． 請求項１または２に記載の圧縮機において、上記周面の少なくとも１つに は、その間に配置されている媒介物との熱交換を向上させる凹凸が設けられてい ることを特徴する圧縮機。 ４． 請求項１乃至３のいずれか１つに記載の圧縮機において、上記周面には熱 輻射に対する高吸収率が備わっていることを特徴する圧縮機。 ５． 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の圧縮機において、上記ロータ(８) の中に突出している上記軸受管(２３)の少なくとも一部は、冷却液が流れる通路 (２５)を含んでいることを特徴する圧縮機。 ６． 請求項５に記載の圧縮機において、上記冷却通路(２５)は上記ロータ(８) に対向する上記軸受管(２３)の周面の近くに配置されていることを特徴する圧縮 機。 ７． 請求項１乃至６のいずれか１つに記載の圧縮機において、僅かな隙間をも って互いに対向している上記ロータ(８)と上記軸受管(２３)の上記周面は、非接 触に相互作用すると共に上記ロータ(８)の外へ導かれる送出方向をもつ送出部材 として設計されていることを特徴する圧縮機。 ８． 請求項７に記載の圧縮機において、それは出口開口部が測地的に低位置に ある状態で本質的に垂直に配置されていることを特徴する圧縮機。 ９． 請求項７に記載の圧縮機において、上記互いに対向している２つの周面の 少なくとも１つには、送出ねじ(２８)が設けられていることを特徴する圧縮機。 １０． 請求項７に記載の圧縮機において、上記互いに対向している周面は、直 径が送出方向に増加する円錐形のデザインからなることを特徴する圧縮機。 １１． 請求項１乃至１０のいずれか１つに記載の圧縮機において、上記ロータ の中空空間(２４)は密封ガス源に接続されていることを特徴する圧縮機。 １２． 請求項７乃至１１のいずれか１つに記載の圧縮機において、上記ロータ の駆動をトルクの関数として制御するために装置が設けられていることを特徴す る圧縮機。 １３． 請求項１２に記載の圧縮機において、洗浄液が上記ポンプチャンバに流 入するために装置(２７)が設けられていることを特徴する圧縮機。 １４． 洗浄液が上記ポンプチャンバに供給され、上記ロータはトルクの関数と して駆動されることを特徴する請求項１乃至１３のいずれか１つに記載の圧縮機 の洗浄方法。