JPH1146069A - Device for forming insulating layer - Google Patents

Device for forming insulating layer

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Publication number
JPH1146069A
JPH1146069A JP19960197A JP19960197A JPH1146069A JP H1146069 A JPH1146069 A JP H1146069A JP 19960197 A JP19960197 A JP 19960197A JP 19960197 A JP19960197 A JP 19960197A JP H1146069 A JPH1146069 A JP H1146069A
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JP
Japan
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substrate
insulating layer
point support
jig
point
Prior art date
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Pending
Application number
JP19960197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Maeda
修二 前田
Shinichi Iketani
晋一 池谷
Koji Takagi
光司 高木
Shoichi Fujimori
正一 藤森
Isao Hirata
勲夫 平田
Hiroaki Fujiwara
弘明 藤原
Kiyoaki Ihara
清暁 井原
Satoru Ogawa
悟 小川
Yoshihiro Nakagawa
義廣 中川
Masayuki Ishihara
政行 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
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Publication of JPH1146069A publication Critical patent/JPH1146069A/en
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable a stable point-contact support without damaging a formed insulating layer, to minimize soiling on the reverse side of a substrate, and to improve handling thereof by forming the insulating layer on one surface of the substrate, and supporting the substrate by a plurality of point supports provided on a tool with the insulting layer formed surface faced down. SOLUTION: A substrate 1 having an insulating layer at least on the reverse surface thereof is supported by a plurality of point supports 6, such as pin- shaped protrusions, provided on a tool 2, with its reverse surface faced down. The plurality of point supports 6 are provided on the tool 2 so as to be placed in the vicinities of the edges of the substrate 1, when supported. There are also provided stoppers 3 and guides 4 each having a stopper 5. The stopper 5 and the guide 4 determine the position of the substrate 1, so as to achieve stable point-contact support of the substrate 1 at the coated surface thereof with the point supports 6. In this way, the front and the reverse of the substrate 1 can be readily provided with high quality coating layers.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、絶縁層形成装置に
関し、具体的には、電子機器、電気機器に用いられるプ
リント配線板などの基板に絶縁層を形成する際などに有
用な絶縁層形成装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for forming an insulating layer, and more particularly, to an apparatus for forming an insulating layer useful for forming an insulating layer on a substrate such as a printed wiring board used for electronic equipment and electric equipment. It concerns the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器、電気機器の小型化、高
性能化の進展につれて、プリント配線板も高密度で高機
能、高信頼化が要求されていたものであった。このよう
な状況のもとで、プリント配線板としては、片面から両
面、さらには、多層化への移行が進められている。この
多層化への移行の中で、高密度を達成するための方策と
して、コア基板の表面に絶縁層を介して回路パターンを
積み上げて形成するビルドアップ方式の多層プリント配
線板が提案されてきたものである。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic equipment and electric equipment have been reduced in size and performance has been improved, printed wiring boards have been required to have higher density, higher performance and higher reliability. Under these circumstances, the printed wiring board has been transitioning from one side to both sides, and further to multilayering. In the course of the shift to multilayering, as a measure for achieving high density, a build-up type multilayer printed wiring board in which a circuit pattern is stacked on an insulating layer on the surface of a core substrate has been proposed. Things.

【0003】上記ビルドアップ方式の多層プリント配線
板は、回路形成済のコア材と接着層であるプリプレグと
を一括積層成型する多層プリント配線板に比べて、貫通
スルーホールによるデッドスペースが少なくなるため
に、基板の配線密度が向上することと絶縁層を薄く形成
することができるので、その結果として、プリント配線
板の小型化、薄型化に寄与しているものであった。
[0003] The build-up type multilayer printed wiring board has a reduced dead space due to through-holes compared to a multilayer printed wiring board in which a circuit-formed core material and a prepreg as an adhesive layer are collectively laminated and molded. In addition, since the wiring density of the substrate is improved and the insulating layer can be formed thin, as a result, the printed wiring board has been reduced in size and thickness.

【0004】ところで、上記ビルドアップ方式の多層プ
リント配線板の製造工程としては、以下の過程によって
なされていたものである。 〔1〕表面に導体回路を有するコア基板(多層のものを
含む)の表面に絶縁層を形成する工程 〔2〕得られた絶縁層にビアホールを形成する工程 〔3〕ビアホールを形成された絶縁層上に銅メッキなど
の方法により導体層を形成する工程 〔4〕導体層にサブトラクト法などにより所定の回路パ
ターンを形成する工程 上記〔1〕から〔4〕までの工程を繰り返して所望の多
層プリント配線板を製造するものであるが、〔3〕や
〔4〕の工程の際に、ビアホールの内壁にも、導体部分
が形成されて、コア基板と絶縁層上の導体回路の電気接
続が行われていたものであった。
By the way, the manufacturing process of the build-up type multilayer printed wiring board has been performed by the following process. [1] Step of forming an insulating layer on the surface of a core substrate (including multilayer) having a conductor circuit on the surface [2] Step of forming a via hole in the obtained insulating layer [3] Insulation having a via hole formed Step of forming a conductor layer on a layer by a method such as copper plating [4] Step of forming a predetermined circuit pattern on the conductor layer by a subtraction method or the like Repeating the above steps [1] to [4] to obtain a desired multilayer A printed wiring board is manufactured. In the process of [3] or [4], a conductor portion is also formed on the inner wall of the via hole, and the electrical connection between the core substrate and the conductor circuit on the insulating layer is established. Was what was being done.

【0005】そして、絶縁層上に銅メッキなどの方法に
より導体層を形成する際、基板の表裏同時に形成するこ
とが製造時間短縮の点で望ましいものであるが、従来、
図3の(a)および(b)に示すごとき絶縁層形成装置
を基板(1)の表裏両面に絶縁層を形成する場合や絶縁
層上に導体層を形成する場合などにおいて、用いていた
ものであった。
When a conductor layer is formed on an insulating layer by a method such as copper plating, it is desirable to form the conductor layer on both sides of the substrate at the same time in terms of shortening the manufacturing time.
An insulating layer forming apparatus as shown in FIGS. 3A and 3B is used when forming an insulating layer on both front and back surfaces of a substrate (1) or when forming a conductor layer on an insulating layer. Met.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな絶縁層形成装置においては、図3の(a)に示す場
合には、基板(1)の表裏反転によって、同基板(1)
の裏面に位置する絶縁層に治具(2)の支持跡が付いて
しまったり、逆に治具(2)が汚れたりするものであ
り、結果的に、基板(1)としては既に形成された絶縁
層を傷つけることとなっていた。
However, in such an insulating layer forming apparatus, in the case shown in FIG. 3A, the substrate (1) is turned upside down by turning over the substrate (1).
The support mark of the jig (2) is attached to the insulating layer located on the back surface of the jig or the jig (2) is contaminated, and as a result, the substrate (1) is already formed. That would damage the insulating layer.

【0007】また、図3の(b)に示す場合には、基板
(1)の裏面に位置する絶縁層に治具(2)の支持跡が
付くような問題は解消されるものの、塗工膜厚を均一に
するために、基板(1)を治具(2)に対して平衡する
ような設置が要求されるものであり、結果として、ハン
ドリングに相当な注意を要するものとなり、生産性を低
下させていたものであった。
In the case shown in FIG. 3 (b), the problem of the support mark of the jig (2) being attached to the insulating layer located on the back surface of the substrate (1) is solved. In order to make the film thickness uniform, it is necessary to install the substrate (1) in equilibrium with the jig (2). As a result, considerable care is required for handling, and productivity is increased. Was reduced.

【0008】本発明は、上述の事実を鑑みてなされたも
のであって、その目的とするところは、基板の表裏両面
に絶縁層を形成する場合や絶縁層上に導体層を形成する
場合などにおいて、既に形成された絶縁層を傷つけるこ
とがなく、しかも、ハンドリング性を向上させることが
できる絶縁層形成装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above facts, and has as its object to form an insulating layer on both the front and back surfaces of a substrate or to form a conductor layer on an insulating layer. Accordingly, an object of the present invention is to provide an insulating layer forming apparatus capable of improving handling properties without damaging an already formed insulating layer.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
絶縁層形成装置は、絶縁層が形成された面が少なくとも
裏面側にある基板(1)を同裏面を下にして治具(2)
の上で支持されてなる絶縁層形成装置において、上記基
板(1)の裏面を支持する点支持部(6)を上記治具
(2)に設けたことを特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for forming an insulating layer, wherein a substrate having an insulating layer formed at least on a rear surface side is provided with a jig ( 2)
The jig (2) is characterized in that the jig (2) is provided with a point support portion (6) for supporting the back surface of the substrate (1).

【0010】本発明の請求項2に係る絶縁層形成装置
は、上記点支持部(6)が、可変自在なものであること
を特徴とする。
The insulating layer forming apparatus according to a second aspect of the present invention is characterized in that the point support (6) is variable.

【0011】本発明の請求項3に係る絶縁層形成装置
は、上記点支持部(6)の側方に上記基板(1)の端面
に接触するストッパー(3)を設けたことを特徴とす
る。
According to a third aspect of the present invention, there is provided an apparatus for forming an insulating layer, wherein a stopper (3) for contacting an end face of the substrate (1) is provided on a side of the point support (6). .

【0012】本発明の請求項4に係る絶縁層形成装置
は、上記点支持部(6)が、上記基板(1)の全端面の
うち、ある一端面以外の端面の付近に設けられたことを
特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the insulating layer forming apparatus, the point support section (6) is provided near an end face other than a certain one end face among all end faces of the substrate (1). It is characterized by.

【0013】本発明の請求項5に係る絶縁層形成装置
は、上記治具(2)の上に上記基板(1)が支持されて
から、同基板(1)において、上記点支持部(6)を設
けた端面以外の端面のうち、ある一端面の付近に点支持
部(6)を別途設けたことを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the insulating layer forming apparatus, after the substrate (1) is supported on the jig (2), the point supporting portion (6) is provided on the substrate (1). ), A point support (6) is separately provided in the vicinity of a certain one end surface among the end surfaces other than the end surface provided with ()).

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施形態に係る図
面に基いて詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings according to embodiments.

【0015】図1は、本発明の一実施形態に係る絶縁層
形成装置の斜視図である。図2は、本発明の他の一実施
形態に係る絶縁層形成装置の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an insulating layer forming apparatus according to one embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of an insulating layer forming apparatus according to another embodiment of the present invention.

【0016】本発明の絶縁層形成装置は、図1または図
2に示すごとく、絶縁層が形成された面が少なくとも裏
面側にある基板(1)を同裏面を下にして治具(2)の
上で支持されてなる絶縁層形成装置において、上記基板
(1)の裏面を支持する点支持部(6)を上記治具
(2)に設けているものである。
As shown in FIG. 1 or FIG. 2, in the apparatus for forming an insulating layer according to the present invention, a jig (2) with a substrate (1) on which an insulating layer is formed at least on the back side is placed with the back side down. In the insulating layer forming apparatus supported on the substrate, a point support portion (6) for supporting the back surface of the substrate (1) is provided on the jig (2).

【0017】ビルドアップ方式の多層プリント配線板を
基板(1)として、同基板(1)の表裏両面に絶縁層を
形成する際、片面ずつ絶縁層を形成した後、メッキなど
によって、絶縁層表面に一括して回路パターンを形成す
る方法を例示することができるものである。
When a multilayer printed wiring board of a build-up type is used as a substrate (1) and an insulating layer is formed on both the front and back surfaces of the substrate (1), the insulating layer is formed one by one, and then the surface of the insulating layer is plated or the like. In this case, a method of collectively forming a circuit pattern can be exemplified.

【0018】上記基板(1)の表裏両面に絶縁層を形成
する具体的な方法としては、バーコーター、カーテンコ
ーター、ロールコーター、テーブルコーター、スロット
コーター、スピンコーター、スクリーン印刷、ディップ
法などを挙げることができるものである。
Specific examples of the method for forming an insulating layer on both the front and back surfaces of the substrate (1) include a bar coater, a curtain coater, a roll coater, a table coater, a slot coater, a spin coater, a screen printing, and a dip method. Is what you can do.

【0019】また、上記基板(1)の表面の塗工膜の乾
燥条件は、同基板(1)の裏面側の塗膜がたれない程度
であれば、制限されるものではなく、特に状態を限定す
るものではないものである。
The conditions for drying the coating film on the front surface of the substrate (1) are not limited as long as the coating film on the back surface of the substrate (1) does not drip. It is not intended to be limiting.

【0020】本発明では、上記基板(1)の表面に、例
えば、バーコーターで樹脂液を塗工して片面ずつ絶縁層
を形成するものである。すなわち、樹脂液の塗工後、樹
脂液中の溶媒を乾燥機などで蒸発除去させることによっ
て、所望の絶縁層を形成させることができるものであ
る。溶媒の蒸発量を調整して、塗工膜表面に所定のタッ
キング性が得られた段階で上記基板(1)の表裏を反転
させて、上述した場合と同様にして、樹脂液膜を形成す
ることができるものである。
In the present invention, an insulating layer is formed on each surface of the substrate (1) by applying a resin solution using, for example, a bar coater. That is, a desired insulating layer can be formed by evaporating and removing the solvent in the resin liquid by a dryer or the like after the application of the resin liquid. By adjusting the evaporation amount of the solvent and turning the substrate (1) upside down when a predetermined tackiness is obtained on the surface of the coating film, a resin liquid film is formed in the same manner as described above. Is what you can do.

【0021】本発明では、裏面のタッキングが充分に除
去されていない場合であっても、図1および図2に示す
ごときものであれぱ、上記基板(1)の支持を点接触と
することができるために、塗膜の傷や汚れや膜厚変化を
最小限に止めることができ、結果として、実用上の性能
に支障のない塗工膜を上記基板(1)の表裏に作製する
ことができるものとなる。
According to the present invention, even when the tacking on the back surface is not sufficiently removed, the substrate (1) may be supported by point contact even if it is as shown in FIGS. As a result, scratches, stains and changes in film thickness of the coating film can be minimized, and as a result, a coating film that does not hinder practical performance can be produced on the front and back of the substrate (1). You can do it.

【0022】ここで、上記基板(1)の上面からは、上
記点支持部(6)が見えにくいものであるために、同点
支持部(6)ができるだけ上記基板(1)の端面付近と
なるように図1および図2に示すごときガイド(4)が
あることが好ましいものである。さらに、上記基板
(1)を上記治具(2)に設置した後、ずれたり動いた
りしないように図1および図2に示すごとき止め(5)
があることが好ましいものである。このような止め
(5)やガイド(4)は、上記基板(1)の位置決めに
大いに役立つものであり、点支持部(6)にて支持され
る位置が基板(1)ごとに変わることなく、常に同様の
位置を支持させることができるものとなる。すなわち、
作業効率としては、非常に良いものとなる。
Here, since the point support section (6) is difficult to see from the upper surface of the substrate (1), the point support section (6) is as close as possible to the end face of the substrate (1). As described above, it is preferable that the guide (4) as shown in FIGS. 1 and 2 is provided. Further, after the substrate (1) is set on the jig (2), a stopper (5) as shown in FIGS. 1 and 2 so as not to shift or move.
Is preferable. Such stoppers (5) and guides (4) are very useful for positioning the substrate (1), and the position supported by the point support (6) does not change for each substrate (1). Thus, the same position can always be supported. That is,
The work efficiency is very good.

【0023】上記止め(5)やガイド(4)としては、
図1および図2に示す場合、断面略L字型であるが、こ
れに限定されるものではなく、単に平板状のものであっ
てもかまわないし、その他の形状のものであってもかま
わないものである。
As the stopper (5) and the guide (4),
In the case shown in FIGS. 1 and 2, the cross-section is substantially L-shaped, but is not limited to this, and may be a simple flat plate or another shape. Things.

【0024】上記点支持部(6)は、図1および図2に
示すごとく、上記基板(1)の裏面を支持しているもの
であって、上記治具(2)に設けられているものであ
る。この点支持部(6)としては、例えば、ピン状突起
物、円錐状物などが挙げられるものであるが、これに限
定されることなく、様々な形態のものを採用することが
できるものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the point support portion (6) supports the back surface of the substrate (1) and is provided on the jig (2). It is. The point support portion (6) includes, for example, a pin-shaped protrusion, a conical shape, and the like, but is not limited thereto, and may adopt various forms. is there.

【0025】上記点支持部(6)は、塗工膜との離型性
を良くするために、例えば、同点支持部(6)の表面を
テフロンコーティングされていてもかまわないものであ
る。
In order to improve the releasability from the coating film, for example, the surface of the point support (6) may be coated with Teflon.

【0026】また、上記点支持部(6)の高さを調整す
ることによって、樹脂液の流動による塗工膜の厚さムラ
を低減し、膜厚の均一を図ることができるものである。
同点支持部(6)の高さの調整としては、例えば、ネジ
のような自転による高さの調整ができるものや釘のよう
な差し込み式のものやキャップのような連結によるもの
などが挙げられるものであるが、特に限定されるもので
はないものである。
Further, by adjusting the height of the point support portion (6), the thickness unevenness of the coating film due to the flow of the resin liquid can be reduced, and the film thickness can be made uniform.
Examples of the adjustment of the height of the tie support portion (6) include a member capable of adjusting the height by rotation such as a screw, a plug-in member such as a nail, and a connection member such as a cap. However, it is not particularly limited.

【0027】なお、上記点支持部(6)は、上記基板
(1)の裏面を支持するものであれば、同基板(1)の
端部を支持してもかまわないし、同基板(1)の内部を
支持してもかまわないものである。ただし、上記点支持
部(6)の支持位置としては、同基板(1)の回路など
に接触しない部分に形成されることが好ましいものであ
る。
The point supporting portion (6) may support the edge of the substrate (1) as long as it supports the back surface of the substrate (1). It may support the inside of the. However, it is preferable that the point support portion (6) is formed at a position where the point support portion (6) does not contact a circuit or the like of the substrate (1).

【0028】本発明は、このような構成をとることによ
って、基板(1)の裏面を支持する点支持部(6)にて
基板(1)の塗工面を安定した点接触支持とすることが
できて、同基板(1)の表裏に高品位な塗工膜を容易に
作製することができるものとなる。しかも、基板(1)
の裏面の汚れとしても、最小化することができるものと
なる。
According to the present invention, by adopting such a structure, the coated surface of the substrate (1) can be made to have a stable point contact support at the point support portion (6) for supporting the back surface of the substrate (1). As a result, a high-quality coating film can be easily formed on the front and back of the substrate (1). Moreover, the substrate (1)
Can also be minimized as dirt on the back surface of the substrate.

【0029】すなわち、基板(1)の表裏両面に絶縁層
を形成する場合や絶縁層上に導体層を形成する場合など
において、既に形成された絶縁層を傷つけることがな
く、しかも、ハンドリング性を向上させることができる
ものである。
That is, when an insulating layer is formed on both the front and back surfaces of the substrate (1) or when a conductor layer is formed on the insulating layer, the already formed insulating layer is not damaged and the handling property is improved. It can be improved.

【0030】また、上記点支持部(6)が、図2に示す
ごとく、可変自在なものであると、この可変自在な点支
持部(6)を用いて、基板(1)の平衡度をより一層容
易に調整することができるものとなる。
When the point support (6) is variable as shown in FIG. 2, the balance of the substrate (1) can be adjusted by using the variable point support (6). The adjustment can be made even more easily.

【0031】さらに、図1および図2に示すごとく、上
記点支持部(6)の側方に上記基板(1)の端面に接触
するストッパー(3)を設けているものであると、スト
ッパー(3)によって、基板(1)が治具(2)に対し
て設置される位置が自ずと決まり、位置決め性が飛躍的
に向上するものであり、作業効率としては、非常に良い
ものとなる。
Further, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, if a stopper (3) is provided on the side of the point support (6) to contact the end face of the substrate (1), the stopper ( According to 3), the position where the substrate (1) is installed with respect to the jig (2) is determined by itself, and the positioning performance is dramatically improved, and the work efficiency is very good.

【0032】なお、図1および図2に示した上記止め
(5)やガイド(4)は、上述したストッパー(3)と
同等の役割を果たすものであることはいうまでもないこ
とである。
It is needless to say that the stopper (5) and the guide (4) shown in FIGS. 1 and 2 serve the same role as the stopper (3) described above.

【0033】特に、図1および図2に示すごとく、上記
点支持部(6)が、上記基板(1)の全端面のうち、あ
る一端面以外の端面の付近に設けられたものであると、
このような点支持部(6)の配置にて基板(1)が安定
して支持されるとともに、同基板(1)の反りが確実に
低減されるものである。すなわち、基板(1)の厚さが
薄いものとなっても、基板(1)を治具(2)に対して
安定させて設置することができるようになるものであ
る。
In particular, as shown in FIGS. 1 and 2, the point support portion (6) is provided near an end surface other than a certain one end surface among all the end surfaces of the substrate (1). ,
With such an arrangement of the point support portions (6), the substrate (1) is stably supported, and the warpage of the substrate (1) is surely reduced. That is, even if the thickness of the substrate (1) is reduced, the substrate (1) can be stably mounted on the jig (2).

【0034】この場合、上記基板(1)の形状が、例え
ば、四辺形であれば、同基板(1)の全端面数は、四端
面となり、この四端面のうち、ある一端面以外の三端面
の付近にそれぞれ点支持部(6)が設けられるものとな
る。
In this case, if the shape of the substrate (1) is, for example, a quadrilateral, the total number of end faces of the substrate (1) is four end faces, and three of the four end faces other than one end face are included. Point support portions (6) are provided near the end faces.

【0035】また、図2に示すごとく、上記治具(2)
の上に上記基板(1)が支持されてから、同基板(1)
において、上記点支持部(6)を設けた端面以外の端面
のうち、ある一端面の付近に点支持部(6)を別途設け
ているものであると、治具(2)の上に基板(1)が設
置されてから、さらに安定させて基板(1)を治具
(2)に対して設置することができるようになるもので
ある。すなわち、基板(1)の平衡度がより一層確実に
向上するものとなる。
As shown in FIG. 2, the jig (2)
After the substrate (1) is supported on the substrate, the substrate (1)
In the above, when the point support portion (6) is separately provided near one end surface among the end surfaces other than the end surface provided with the point support portion (6), the substrate is placed on the jig (2). After (1) is installed, the substrate (1) can be more stably installed on the jig (2). That is, the degree of equilibrium of the substrate (1) is more reliably improved.

【0036】具体的には、図2に示すごとく、上記治具
(2)の上に長孔(8)を設けて、この長孔(8)の端
から端まで自由自在に摺動することができる可動点支持
部(7)を設けておくと、治具(2)の上に基板(1)
が支持されてから、基板(1)において、点支持部
(6)を設けた端面以外の端面のうち、ある一端面の付
近に別途点支持部(6)を設けた形態にすることができ
るものである。
Specifically, as shown in FIG. 2, a long hole (8) is provided on the jig (2), and the jig (2) slides freely from one end to the other. If a movable point support (7) is provided, the substrate (1) can be placed on the jig (2).
After the is supported, the substrate (1) may be provided with a point support portion (6) separately provided near an end surface other than the end surface provided with the point support portion (6). Things.

【0037】本発明の絶縁層形成装置によると、図1お
よび図2に示すごとく、絶縁層が形成された面が少なく
とも裏面側にある基板(1)を同裏面を下にして治具
(2)の上で支持されてなる絶縁層形成装置において、
上記基板(1)の裏面を支持する点支持部(6)を上記
治具(2)に設けたので、基板(1)の裏面を支持する
点支持部(6)にて基板(1)の塗工面を安定した点接
触支持とすることができて、同基板(1)の表裏に高品
位な塗工膜を容易に作製することができるものとなる。
しかも、基板(1)の裏面の汚れとしても、最小化する
ことができるものとなる。
According to the insulating layer forming apparatus of the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the jig (2) is placed on the substrate (1) having the surface on which the insulating layer is formed at least on the back side with the back side down. ), The insulating layer forming apparatus supported on
Since the jig (2) is provided with a point support portion (6) for supporting the back surface of the substrate (1), the point support portion (6) for supporting the back surface of the substrate (1) supports the substrate (1). The coated surface can be used as a stable point contact support, and a high-quality coated film can be easily formed on the front and back of the substrate (1).
In addition, dirt on the back surface of the substrate (1) can be minimized.

【0038】すなわち、基板(1)の表裏両面に絶縁層
を形成する場合や絶縁層上に導体層を形成する場合など
において、既に形成された絶縁層を傷つけることがな
く、しかも、ハンドリング性を向上させることができる
ものである。
That is, when an insulating layer is formed on both the front and back surfaces of the substrate (1) or when a conductor layer is formed on the insulating layer, the already formed insulating layer is not damaged and the handling property is improved. It can be improved.

【0039】[0039]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.

【0040】実施例1 下記の〔1〕から〔5〕までの工程を経て、基板(1)
の表裏両面に絶縁層を形成した。 〔1〕サブトラ法でパターンを形成したプリント基板
(1)を10wt%硫酸で表面を洗浄して、銅回路部分
の表面を粗化した。 〔2〕基板(1)の全表面にソルダーレジスト絶縁樹脂
(タムラ化研製、DSR2200)をバーコーターにて
約40μmのウェット塗工してから、図1に示すごとき
絶縁層形成装置を用いて、風乾10分、温度80℃で1
5分の乾燥を行った。 〔3〕基板(1)の表裏を反転させて、〔2〕の工程と
同様にして、ソルダーレジスト絶縁樹脂を全面にバーコ
ーターにて約40μmのウェット塗工してから、同図1
に示すごとき絶縁層形成装置を用いて、風乾10分、温
度80℃で30分の乾燥を行った。 〔4〕ソルダーレジスト絶縁樹脂を所定のマスクで露光
してから、1wt%の炭酸ソーダ液で現像した。 〔5〕温度150℃、時間60分のポストキュアを行っ
た後、1000mJの後露光を行った。
Example 1 The substrate (1) was manufactured through the following steps [1] to [5].
An insulating layer was formed on both sides. [1] The surface of the printed circuit board (1) on which a pattern was formed by the subtra method was washed with 10 wt% sulfuric acid to roughen the surface of the copper circuit portion. [2] The entire surface of the substrate (1) is wet-coated with a solder resist insulating resin (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd., DSR2200) with a bar coater to about 40 μm, and then the insulating layer forming apparatus as shown in FIG. Air dry 10 minutes, temperature 80 ° C 1
Drying was performed for 5 minutes. [3] The substrate (1) is turned upside down, and in the same manner as in the step [2], a solder resist insulating resin is wet-coated with a bar coater to about 40 μm on the entire surface.
Using an insulating layer forming apparatus as shown in Table 2, drying was performed in air for 10 minutes and at a temperature of 80 ° C. for 30 minutes. [4] The solder resist insulating resin was exposed with a predetermined mask, and then developed with a 1 wt% sodium carbonate solution. [5] After post-curing at a temperature of 150 ° C. for 60 minutes, post-exposure was performed at 1000 mJ.

【0041】以上のようにして、基板(1)の表裏両面
に絶縁層を形成して得られたビルドアップ方式の多層プ
リント配線板は、絶縁層を傷つけることがなく、しか
も、塗工面を安定した点接触支持とすることができて、
ハンドリング性が良いために、得られた同多層プリント
配線板は、塗工膜に偏りがなく、均一な塗工膜厚であっ
た。
As described above, the build-up type multilayer printed wiring board obtained by forming the insulating layer on both the front and back surfaces of the substrate (1) does not damage the insulating layer and has a stable coating surface. Point contact support
Because of good handleability, the obtained multilayer printed wiring board had a uniform coating film thickness without any deviation in the coating film.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明の請求項1に係る絶縁層形成装置
によると、基板(1)の裏面を支持する点支持部(6)
にて基板(1)の塗工面を安定した点接触支持とするこ
とができて、同基板(1)の表裏に高品位な塗工膜を容
易に作製することができるものとなる。しかも、基板
(1)の裏面の汚れとしても、最小化することができる
ものとなる。
According to the apparatus for forming an insulating layer according to the first aspect of the present invention, the point support (6) for supporting the back surface of the substrate (1).
Thus, the coated surface of the substrate (1) can be used as a stable point contact support, and a high-quality coated film can be easily formed on the front and back of the substrate (1). In addition, dirt on the back surface of the substrate (1) can be minimized.

【0043】すなわち、基板(1)の表裏両面に絶縁層
を形成する場合や絶縁層上に導体層を形成する場合など
において、既に形成された絶縁層を傷つけることがな
く、しかも、ハンドリング性を向上させることができる
ものである。
That is, when an insulating layer is formed on both the front and back surfaces of the substrate (1) or when a conductor layer is formed on the insulating layer, the already formed insulating layer is not damaged and the handling property is improved. It can be improved.

【0044】本発明の請求項2に係る絶縁層形成装置に
よると、請求項1記載の場合に加えて、この可変自在な
点支持部(6)を用いて、基板(1)の平衡度をより一
層容易に調整することができるものとなる。
According to the insulating layer forming apparatus of the second aspect of the present invention, in addition to the case of the first aspect, the degree of balance of the substrate (1) is adjusted by using the variable point support (6). The adjustment can be made even more easily.

【0045】本発明の請求項3に係る絶縁層形成装置に
よると、請求項1または請求項2記載の場合に加えて、
ストッパー(3)によって、基板(1)が治具(2)に
対して設置される位置が自ずと決まり、位置決め性が飛
躍的に向上するものであり、作業効率としては、非常に
良いものとなる。
According to the insulating layer forming apparatus of the third aspect of the present invention, in addition to the case of the first or second aspect,
The position where the substrate (1) is installed with respect to the jig (2) is naturally determined by the stopper (3), so that the positioning property is dramatically improved, and the work efficiency is very good. .

【0046】本発明の請求項4に係る絶縁層形成装置に
よると、請求項1ないし請求項3何れか記載の場合に加
えて、このような点支持部(6)の配置にて基板(1)
が安定して支持されるとともに、同基板(1)の反りが
確実に低減されるものである。すなわち、基板(1)の
厚さが薄いものとなっても、基板(1)を治具(2)に
対して安定させて設置することができるようになるもの
である。
According to the apparatus for forming an insulating layer according to a fourth aspect of the present invention, in addition to the case described in any one of the first to third aspects, the substrate (1) is arranged with such an arrangement of the point support portions (6). )
Are stably supported, and the warpage of the substrate (1) is reliably reduced. That is, even if the thickness of the substrate (1) is reduced, the substrate (1) can be stably mounted on the jig (2).

【0047】本発明の請求項5に係る絶縁層形成装置に
よると、請求項1ないし請求項4何れか記載の場合に加
えて、治具(2)の上に基板(1)が設置されてから、
さらに安定させて基板(1)を治具(2)に対して設置
することができるようになるものである。すなわち、基
板(1)の平衡度がより一層確実に向上するものとな
る。
According to the apparatus for forming an insulating layer according to a fifth aspect of the present invention, in addition to the first aspect, the substrate (1) is set on the jig (2). From
The substrate (1) can be more stably mounted on the jig (2). That is, the degree of equilibrium of the substrate (1) is more reliably improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る絶縁層形成装置の斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view of an insulating layer forming apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の一実施形態に係る絶縁層形成装置
の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of an insulating layer forming apparatus according to another embodiment of the present invention.

【図3】(a)、(b)のいずれも従来例に係る絶縁層
形成装置の斜視図である。
3 (a) and 3 (b) are perspective views of an insulating layer forming apparatus according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 治具 3 ストッパー 6 点支持部 1 substrate 2 jig 3 stopper 6 point support

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤森 正一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 平田 勲夫 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 藤原 弘明 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 井原 清暁 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 小川 悟 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 中川 義廣 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 石原 政行 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shoichi Fujimori 1048 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works, Ltd. (72) Inventor Isao Hirata 1048 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Works, Ltd. (72) Inventor Hiroaki Fujiwara 1048 Kadoma Kadoma, Osaka Pref.Matsushita Electric Works, Ltd. (72) Inventor Kiyoaki Ihara 1048 Odaka Kadoma, Kadoma, Osaka Pref.Matsushita Electric Works, Ltd. 1048 Okadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture (72) Yoshihiro Nakagawa, Inventor Yoshihiro Nakagawa 1048 Okadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture (72) Inventor Masayuki Ishihara 1048 Okadoma Kadoma, Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works, Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁層が形成された面が少なくとも裏面
側にある基板を同裏面を下にして治具の上で支持されて
なる絶縁層形成装置において、上記基板の裏面を支持す
る点支持部を上記治具に設けたことを特徴とする絶縁層
形成装置。
1. An insulating layer forming apparatus comprising a substrate having an insulating layer formed at least on a back surface side and supported on a jig with the back surface down, a point support for supporting the back surface of the substrate. An insulating layer forming apparatus, wherein a part is provided on the jig.
【請求項2】 上記点支持部が、可変自在なものである
ことを特徴とする請求項1記載の絶縁層形成装置。
2. An insulating layer forming apparatus according to claim 1, wherein said point support is variable.
【請求項3】 上記点支持部の側方に上記基板の端面に
接触するストッパーを設けたことを特徴とする請求項1
または請求項2記載の絶縁層形成装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein a stopper is provided on a side of said point supporting portion to contact an end surface of said substrate.
Alternatively, the insulating layer forming apparatus according to claim 2.
【請求項4】 上記点支持部が、上記基板の全端面のう
ち、ある一端面以外の端面の付近に設けられたことを特
徴とする請求項1ないし請求項3何れか記載の絶縁層形
成装置。
4. The formation of an insulating layer according to claim 1, wherein said point support portion is provided near an end surface other than a certain one end surface among all end surfaces of said substrate. apparatus.
【請求項5】 上記治具の上に上記基板が支持されてか
ら、同基板において、上記点支持部を設けた端面以外の
端面のうち、ある一端面の付近に点支持部を別途設けた
ことを特徴とする請求項1ないし請求項4何れか記載の
絶縁層形成装置。
5. After the substrate is supported on the jig, a point support portion is separately provided near an end surface of the substrate other than the end surface on which the point support portion is provided. The insulating layer forming apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein:
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011082300A (en) * 2009-10-06 2011-04-21 Murata Mfg Co Ltd Method of manufacturing component built-in substrate, and support base for component built-in substrate

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