JPH1138062A - 小型電気素子の２倍速検査装置とその方法 - Google Patents

小型電気素子の２倍速検査装置とその方法

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JPH1138062A
JPH1138062A JP9335760A JP33576097A JPH1138062A JP H1138062 A JPH1138062 A JP H1138062A JP 9335760 A JP9335760 A JP 9335760A JP 33576097 A JP33576097 A JP 33576097A JP H1138062 A JPH1138062 A JP H1138062A
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electric element
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允 興 韓
Kokei Rin
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 円板のテストプレートの円周上に一定のステ
ップ間隔で形成されたスロット内に小型電気素子を整列
し、このテストプレートを一度に２ステップずつ回転さ
せながら２ポイントで小型電気素子を測定する。 【解決手段】 モーター制御部４１と、第１測定位置と
１ステップ間隔で隣り合う第２測定位置に設置されて第
１測定位置および第２測定位置で停止する小型電気素子
に接続する第１接続部４２および第２接続部４３と、小
型電気素子を測定する第１測定部４４および第２測定部
４５と、小型電気素子に高電圧を印加して絶縁程度を検
査する第１検査部４６および第２検査部４７と、第１測
定部４４または第２測定部４５により測定された値を基
準データと比較して小型電気素子の誤差および良否を判
定する制御部４８を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は小型電気素子の検査
装置とその方法に関し、特に、丸い円板のテストプレー
トの円周上に一定のステップ間隔で複数のスロットを形
成し、そのスロット内にＭＬＣＣ（Multi-layer Cerami
c Capacitor）チップのような小型電気素子を整列させ
て、テストプレートを一度に２ステップずつ回転させな
がら二つのポイントで小型電気素子を検査する小型電気
素子の２倍速検査装置とその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＭＬＣＣチップのような小型電
気素子の製造工程において、最後の工程では製造された
小型電気素子を測定して誤差および良否を判別して選別
するが、小型電気素子を検査するために、テストプレー
ト上に小型電気素子を整列し、このテストプレート上に
整列された小型電気素子にプローブ（probe）を接続し
て小型電気素子を測定する。
【０００３】図５（Ａ）は小型電気素子を測定するため
の装置の断面を示し、同図（Ｂ）は図５の（Ａ）で示さ
れた電気素子が装着されたテストプレートの平面を示し
たものである。ここで、図示の通り、小型電気素子を測
定するための装置は、丸い円板の円周上に一定間隔でス
ロット(RECESSES)１５が形成されており、このスロット
１５内に測定すべき小型電気素子１６が整列されるテス
トプレート１１と、このテストプレート１１を回転させ
るモーター１２と、測定位置に設置されて小型電気素子
１６に接続するプローブ１３と、このプローブ１３を通
じて小型電気素子１６を測定する測定器１４とを備えて
いる。
【０００４】前記小型電気素子を測定するために、ま
ず、丸い円板上のテストプレートに形成された複数のス
ロット１５内に測定すべき小型電気素子１６を整列す
る。次に、モーター１２を駆動してテストプレート１１
を回転させる。前記テストプレート１１が回転して小型
電気素子１６がテスト位置に到達するとモーター１２は
作動を停止し、測定プローブ１３が小型電気素子１６に
接続するようになる。前記測定器１４は、小型電気素子
１６に接続されたプローブ１３を通じてテストプレート
１１のスロット１５内に整列された小型電気素子１６を
測定する。
【０００５】図６は従来の小型電気素子検査装置の構成
を示すブロック図である。ここで、図示の通り、従来の
小型電気素子の検査装置は測定装置に設置されてテスト
プレート２１のスロット内に整列された小型電気素子２
２に接続するプローブ２３と、このプローブ２３を通じ
て小型電気素子２２を測定するＲＬＣ測定器２４と、前
記小型電気素子２２に高電圧を印加して小型電気素子２
２の絶縁性を点検するフレッシュテスター２５と、前記
テストプレート２１を回転させるモーターの回転速度お
よび位置を制御するモーター制御器２６と、前記小型電
気素子の測定状況および必要情報を表示するモニター２
７と、前記テストプレート２５が測定位置に位置するよ
うにモーターの速度及び位置を制御する制御信号を出力
し、ＲＬＣ測定器２４とフレッシュテスター２５の測定
結果を基準データと比較して小型電気素子の誤差および
良否を判定するマイコン２８とで構成されている。
【０００６】図７の（Ａ）は従来の小型電気素子検査装
置の動作を説明するためのテストプレートの円周方向の
断面を示し、テストプレート３１の円周方向へ一定間隔
のスロット３２が形成されており、このスロット３２内
に測定すべき小型電気素子３３が整列されている。モー
ターを駆動してこのテストプレートを回転させると、現
在のスロットから次のスロットまで１ステップ程回転し
てモーターの動作が停止する。すると、測定すべき小型
電気素子が測定位置に停止するようになり、測定位置に
設置されたプローブが測定すべき小型電気素子３３に接
続するようになって、測定器を用いて小型電気素子の誤
差および良否を測定することができる。
【０００７】図７の（Ｂ）は従来の小型電気素子検査装
置の動作のタイミングチャートであり、時間軸に対し従
来の小型電気素子検査装置の移動と測定の所要時間を図
示している。円板のテストプレートに小型電気素子が装
着されたスロット間を１ステップのみ回転して移動さ
せ、移動された位置で一つの小型電気素子を測定するた
め、小型電気素子を測定して検査する小型電気素子検査
装置においては移動時間が測定時間より所要時間が長く
要するため、生産量が増加する場合には多量の小型電気
素子を検査できない問題点があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の如き
従来の問題点を解決しようとするもので、その目的は、
丸い円板のテストプレートの円周上に一定のステップ間
隔で形成されたスロット内に小型電気素子を整列し、こ
のテストプレートを一度に２ステップずつ回転させなが
ら２ポイントで小型電気素子を測定する小型電気素子の
２倍速検査装置およびその方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の第１の発明に係る２倍速小型電気素
子検査装置は、テストプレートの円周上に一定のステッ
プ間隔で複数のスロットが形成され、当該複数のスロッ
ト内に小型電気素子が整列されて、当該テストプレート
が回転するに従って小型電気素子を測定するためにテス
トプレートが一度に２ステップずつ回転するようにモー
ターを制御するモーター制御部と、第１測定位置に設置
されて当該第１測定位置に停止する小型電気素子に接続
する第１接続部と、前記第１測定位置と１ステップ間隔
で隣り合う第２測定位置に設置されて第２測定位置に停
止する小型電気素子に接続する第２接続部と、前記第１
接続部に連結されて第１接続部に接続される小型電気素
子を測定する第１測定部と、前記第２接続部に連結され
て第２接続部に接続される小型電気素子を測定する第２
測定部と、前記第１測定部により測定された小型電気素
子に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第１検査部
と、前記第２測定部により値が測定された小型電気素子
に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第２検査部と、
前記テストプレートが回転するようモーターの動作をオ
ン・オフする制御信号を出力し、第１測定部または第２
測定部により測定された値を基準データと比較して、小
型電気素子の誤差および良否を判定し、前記第１検査部
または前記第２検査部の絶縁検査結果によって小型電気
素子の絶縁性の良否を判定する制御部とを備えているこ
とを要旨とする。従って、丸い円板のテストプレートの
円周上に一定のステップ間隔で形成されたスロット内に
小型電気素子を整列し、このテストプレートを一度に２
ステップずつ回転させながら２ポイントで小型電気素子
を測定できる。
【００１０】請求項２記載の第２の発明は、前記モータ
ー制御手段は、２ステップずつ回転する前記テストプレ
ートが同一の加減速プロファイルで一度に１ステップず
つ回転する場合より約１．５〜２倍の平均速度で回転す
るようにモーターを制御することを要旨とする。従っ
て、加減速区間が増加して一度に１ステップずつ回転す
る場合より高速に回転するのが可能になり、作業の効率
を向上できる。
【００１１】請求項３記載の第３の発明は、前記第１接
続手段および第２接続手段は、被測定体である前記小型
電気素子との接続による摩耗により取替可能なことを要
旨とする。
【００１２】請求項４記載の第４の発明は、前記第１測
定手段は、前記第２測定手段と同時に動作することを要
旨とする。従って、同時に二つの小型電気素子を測定で
きる。
【００１３】請求項５記載の第５の発明は、前記第１測
定手段と第２検査手段との間に奇数個のスロットが存在
して当該第１測定手段により測定された小型電気素子が
前記第２検査手段により検査され、前記第２測定手段と
第１検査手段との間に奇数個のスロットが存在して当該
第２測定手段により測定された小型電気素子が当該第１
検査手段により検査されることを要旨とする。
【００１４】請求項６記載の第６の発明は、前記第１測
定手段と第２測定手段が同時に動作して、前記小型電気
素子を測定するのに所要される時間は、前記第１検査手
段または前記第２検査手段が前記小型電気素子を検査す
るのに所要される時間より短いことを要旨とする。従っ
て、第１フレッシュテスターおよび第２フレッシュテス
ターの測定時間内に第１プローブおよび第２プローブに
それぞれ接続された小型電気素子の測定が可能になる。
【００１５】請求項７記載の第７の発明は、テストプレ
ートの円周上にステップ間隔で複数のスロットが形成さ
れ、当該複数のスロット内に小型電気素子が整列され
て、前記テストプレートが回転するに従って小型電気素
子を測定する小型電気素子の２倍速検査装置において、
前記テストプレートが一度に２ステップずつ回転するよ
うにモーターを制御するモーター制御手段と、第１測定
位置に設置され、当該第１測定位置に停止する小型電気
素子に接続される第１接続手段と、前記第１測定位置と
１ステップ間隔で隣り合う第２測定位置に設置され、当
該第２測定位置で停止する小型電気素子に接続する第２
接続手段と、前記小型電気素子を測定する測定手段と、
前記第１接続手段および第２接続手段と前記測定手段と
の間に連結されて当該第１接続手段および第２接続手段
を順次に当該測定手段に連結されるスキャニング手段
と、前記第１接続手段に接続されて測定された小型電気
素子に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第１検査手
段と、前記第２接続手段に接続されて測定された小型電
気素子に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第２検査
手段と、前記テストプレートが回転するようにモーター
の動作をオン・オフする制御信号を出力し、前記測定手
段により測定された値を基準データと比較して小型電気
素子の誤差および良否を判定し、前記第１検査手段また
は前記第２検査手段の絶縁検査の結果により小型電気素
子の絶縁性の良否を判定するマイコンとを有することを
要旨とする。従って、丸い円板のテストプレートの円周
上に一定のステップ間隔で形成されたスロット内に小型
電気素子を整列し、このテストプレートを一度に２ステ
ップずつ回転させながら２ポイントで小型電気素子を測
定できる。
【００１６】請求項８記載の第８の発明は、前記モータ
ー制御手段は、一度に２ステップずつ回転する前記テス
トプレートが同一の加減速プロファイルで一度に１ステ
ップずつ回転する場合より約１．５〜２倍の平均速度で
回転するようにモーターを制御することを要旨とする。
従って、加減速区間が増加して一度に１ステップずつ回
転する場合より高速に回転するのが可能になり、作業の
効率を向上できる。
【００１７】請求項９記載の第９の発明は、前記第１接
続手段および第２接続手段は、被測定体である前記小型
電気素子との接触に因る摩耗により取替可能なことを要
旨とする。
【００１８】請求項１０記載の第１０の発明は、前記測
定手段は、前記第１接続手段にそれぞれ接続される小型
電気素子と前記第２接続手段にそれぞれ接続される小型
電気素子とを順次に測定することを要旨とする。従っ
て、同時に二つの小型電気素子を測定できる。
【００１９】請求項１１記載の第１１の発明は、前記第
１接続手段と第２検査手段の間に奇数個のスロットが存
在して、当該第１接続手段により測定された小型電気素
子が前記第２検査手段により検査され、前記第２接続手
段と第１検査手段との間に奇数個のスロットが存在して
当該第２接続手段により測定された小型電気素子が当該
第１検査手段により検査されることを要旨とする。
【００２０】請求項１２記載の第１２の発明は、前記第
１接続手段と第２接続手段が順次に接続して測定するの
に所要される総時間が前記第１検査手段または前記第２
検査手段により検査するのに所要される時間より短いこ
とを要旨とする。従って、第１フレッシュテスターおよ
び第２フレッシュテスターの測定時間内に第１プローブ
および第２プローブにそれぞれ接続された小型電気素子
の測定が可能になる。
【００２１】請求項１３記載の第１３の発明に係る２倍
速小型電気素子検査方法は、テストプレートの円周上に
ステップ間隔に複数のスロットが形成され、当該複数の
スロット内に小型電気素子が整列されて当該テストプレ
ートが回転するに従って小型電気素子を検査するため
に、（１）前記テストプレートが一度に２ステップずつ
回転させてモーターを制御する段階と、（２）テストプ
レートが停止した状態で互いに隣り合う二つのスロット
に整列された小型電気素子に測定器を接続する段階と、
（３）（２）の段階で接続された測定器を通じて二つの
スロットに整列された小型電気素子を同時にまたは順次
に測定する段階と、（４）（３）の段階で測定された小
型電気素子中のいずれか一つに高電圧を印加して絶縁程
度を検査する段階と、（５）（３）の段階で値が測定さ
れた小型電気素子のうち残りの一つの小型電気素子に高
電圧を印加して絶縁程度を検査する段階と、（６）
（３）の段階で測定された値を基準データと比較して小
型電気素子の誤差および良否を判定し、（４）の段階と
（５）の段階での検査結果によって小型電気素子の絶縁
性の良否を判定する段階とを備えていることを要旨とす
る。従って、テストプレートを一度に２ステップ移動す
るようにし、２ポイント小型電気素子を測定することに
より生産性を向上させて同一生産量に要する作業者の数
を減少させ、更に同一生産量に要する設備の占有空間を
減らすことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る第１の実施の
形態の構成および作用を添付した図面を参照して詳細に
説明する。
【００２３】図１は本発明に係る２倍速小型電気素子検
査装置の第１の実施の形態の構成を示すブロック図であ
る。ここで、図示の通り、マイコンの信号によりテスト
プレートが一度に２ステップずつ回転するようにモータ
ー(図示せず)を制御するモーター制御器４１と、第１測
定位置で停止する小型電気素子と第１ＲＬＣ測定器４４
を連結する第１プローブ４２と、前記第１測定位置に対
して１ステップ間隔で隣り合う第２測定位置で停止する
小型電気素子と第２ＲＬＣ測定器４５を連結する第２プ
ローブ４３と、前記第１プローブ４２に接続される小型
電気素子を測定して測定結果をマイコン４８に出力する
第１ＲＬＣ測定器４４と、前記第２プローブ４３に接続
される小型電気素子を測定して測定結果をマイコン４８
に出力する第２ＲＬＣ測定器４４と、前記マイコン４８
の制御によって第１ＲＬＣ測定器４４および第２ＲＬＣ
測定器４５により各々の値が測定された小型電気素子に
高電圧を印加して絶縁程度を検査し、その結果をマイコ
ンに出力する第１フレッシュテスター４６および第２フ
レッシュテスター４７と、前記テストプレートが回転さ
れるようにモーターの動作をオン・オフする制御信号を
出力し、前記第１ＲＬＣ測定器４４または第２ＲＬＣ測
定器４５により測定された値を基準データと比較して小
型電気素子の誤差および良否を判定し、前記第１フレッ
シュテスター４６または第２フレッシュテスター４７の
絶縁検査結果によって小型電気素子の絶縁性の良否を判
定するマイコン４８と、このマイコン４８の制御によっ
て小型電気素子検査装置の必要情報および動作状況を表
示するＬＣＤ４９とを備えて、テストプレートの円周上
に一定のステップ間隔で形成されたスロット(RECESSES)
内に整列された小型電気素子をテストプレートが回転す
るに従って測定して検査する。
【００２４】前記モーター制御器４１はテストプレート
が一度に２ステップずつ回転するようにモーターを制御
する。前記モーターは従来では１ステップずつ回転した
ため、加減速区間が小さいので、回転速度を増加させる
のに限界があった。しかし、本発明においては、一度に
２ステップずつ移動するため、加減速区間が増加して一
度に１ステップずつ回転する場合より高速に回転するの
が可能になり、作業の効率を向上させる。前記モーター
制御器は、テストプレートを一度に１ステップずつ回転
する場合の加減速プロファイルと同一の加減速プロファ
イルで制御しても加減速区間が増大するため、一度に２
ステップずつ回転するテストプレートが一度に１ステッ
プずつ回転する場合より約１．５〜２倍の平均速度で回
転するようにモーターを制御することができる。
【００２５】前記第１プローブ４２はテストプレートが
停止した状態でテストプレートのスロット内の小型電気
素子に接続するように設置し、第２プローブ４３は第１
プローブ４２と１ステップ間隔で隣り合う測定位置に設
置して小型電気素子に接続するように設置する。前記第
１プローブ４２と第２プローブ４３は必ず隣り合うこと
はないが、本発明に係る装置の特性上、テストプレート
が一定の角度に傾いているため、第２プローブ４３は第
１プローブ４２と１ステップ間隔で隣り合って平坦な場
所に設置されるのが望ましい。従って、第１プローブ４
２と第２プローブ４３は狭い空間に設置しなければなら
ないため、スリム形に制作するのが必要である。また、
第１プローブ４２と第２プローブ４３はテストプレート
が回転する間、持続的に被測定体である小型電気素子に
接触するため、摩耗され易い。摩耗されたプローブは取
替えて使用しなければならないため、第１および第２プ
ローブは容易に取替えることができる形状と材質を満た
さなければならない。
【００２６】前記第１ＲＬＣ測定器４４および第２ＲＬ
Ｃ測定器４５は、第１プローブ４２および第２プローブ
４３に各々接続される小型電気素子を測定するように位
置し、また、第１ＲＬＣ測定器４４及び第２ＲＬＣ測定
器４５は、同時に動作して第１プローブ４２および第２
プローブ４３に各々接続される小型電気素子を測定し
て、これをマイコン４８に出力する。
【００２７】前記第１フレッシュテスター４６および第
２フレッシュテスター４７は、マイコン４８の制御によ
って第１ＲＬＣ測定器４４および第２ＲＬＣ測定器４５
により各々の値が測定された小型電気素子に高電圧を印
加して絶縁程度を検査する。
【００２８】前記検査の対象は現在、第１ＲＬＣ測定器
４４および第２ＲＬＣ測定器４５により値が測定された
小型電気素子ではなく、それに先行する小型電気素子に
対し動作するようになる。その理由は、第１フレッシュ
テスター４６および第２フレッシュテスター４７を第１
プローブ４２および第２プローブ４３が設置される第１
測定位置および第２測定位置に集積して設置するのが困
難だからである。
【００２９】前記マイコン４８は、テストプレートが回
転するようにモーターの動作をオン・オフする制御信号
を出力する。前記制御信号は、テストプレートに整列さ
れた小型電気素子が測定位置に停止するようにスロット
間の間隔によりモーターの回転量を決定して出力する。
更に、マイコン４８は第１ＲＬＣ測定器４４または第２
ＲＬＣ測定器４５により入力された測定値を基準データ
と比較して、誤差によって１級，２級等の級数を判定
し、誤差が大きい場合には不良と判定する。更に、第１
フレッシュテスター４６または第２フレッシュテスター
４７の絶縁検査結果によって小型電気素子の絶縁性の良
否も判定する。
【００３０】図２の（Ａ）は本発明に係る２倍速小型電
気素子検査装置の動作を説明するためのテストプレート
の円周方向の断面を示し、テストプレート６２の円周方
向へ一定のステップ間隔でスロット６３が形成されてお
り、このスロット６３内に測定すべき小型電気素子６４
が配列されている。モーター（図示せず)を駆動してこ
のテストプレートを回転させると、現在のスロットから
次のスロットを過ぎて２ステップ程回転してモーターの
動作が停止する。すると、測定すべき小型電気素子が測
定位置に停止するようになり、測定位置から２ポイント
に設置されたプローブが測定すべき小型電気素子６４に
各々接続するようになり測定器を用いて小型電気素子の
誤差および良否を測定することができる。
【００３１】図２（Ｂ）は本発明に係る２倍速小型電気
素子検査装置の第１の実施の形態の動作タイミングチャ
ートであり、時間軸に対して小型電気素子の検査結果の
移動間に二度の測定動作が生じるため、移動時間の短縮
により作業の所要時間を減らすことになる。更に、本実
施の形態で用いられる第１ＲＬＣ測定器４４および第２
ＲＬＣ測定器４５の測定時間は約３２μｓ程所要され、
この時間は第１フレッシュテスター４６および第２フレ
ッシュテスター４７の測定時間である約８０μｓより十
分に短い。このため、第１フレッシュテスター４６およ
び第２フレッシュテスター４７の測定時間内に第１ＲＬ
Ｃ測定器４４および第２ＲＬＣ測定器４５の測定が可能
である。
【００３２】以下、本発明に係る第２の実施の形態の構
成および作用を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】図３は本発明に係る２倍速小型電気素子検
査装置の他の実施の形態の構成を示すブロック図であ
り、ここで、図示の通り、マイコンの信号によってテス
トプレートが一度に２ステップずつ回転するようにモー
ター(図示せず)を制御するモーター制御器５１と、第１
測定位置で停止する小型電気素子に接続する第１プロー
ブ５２と、前記第１測定位置と１ステップ間隔で隣り合
う第２測定位置で停止する小型電気素子に接続する第２
プローブ５３と、前記第１プローブ５２と第２プローブ
５３をスキャニングして順次にＲＬＣ測定器５５に連結
するスキャナー５４と、このスキャナー５４により順次
に連結される第１プローブ５２と第２プローブ５３に連
続される小型電気素子を測定するＲＬＣ測定器５５と、
マイコン５８の制御によってＲＬＣ測定器５５により各
々値が測定された小型電気素子に高電圧を印加して絶縁
程度を検査し、その結果をマイコンに出力する第１フレ
ッシュテスター５６および第２フレッシュテスター５７
と、前記テストプレートが回転するようにモーターの動
作をオン・オフする制御信号を出力し、ＲＬＣ測定器５
５により測定された値を基準データと比較して小型電気
素子の誤差および良否を判定し、第１フレッシュテスタ
ー５６または第２フレッシュテスター５７の絶縁検査結
果によって小型電気素子の絶縁性の良否を判定するマイ
コン５８と、このマイコン５８の制御によって小型電気
素子の検査装置の必要情報および動作状況を表示するＬ
ＣＤ５９を備えて、テストプレートの円周上に一定のス
テップ間隔で形成されたスロット内に整列された小型電
気素子をテストプレートが回転するに従って測定して検
査する。
【００３４】前記第１の実施の形態においては二つのＲ
ＬＣ測定器４４，４５が各々第１プローブ４２及び第２
プローブ４３に連結された。しかし、第２の実施の形態
においては、第１測定位置および第２測定位置の小型電
気素子を一つのＲＬＣ測定器５５で測定するためにＲＬ
Ｃ測定器５５に第１プローブ５２および第２プローブ５
３を連結するが、ＲＬＣ測定器５５と第１プローブ５２
および第２プローブ５３の間にスキャナー５４を挿入し
て第１プローブ５２および第２プローブ５３を順次にＲ
ＬＣ測定器５５に連結するようにした点が前記第１の実
施の形態と異なる。即ち、スキャナー５４は、まず、第
１プローブ５２をＲＬＣ測定器５５に連結して第１測定
位置で第１プローブ５２に接続される小型電気素子を測
定し、その結果をマイコン５８に出力する。次に、第２
プローブ５３をＲＬＣ測定器５５に連結して、第２測定
位置で第２プローブ５３に接続される小型電気素子を測
定して、その結果をマイコン５８に出力する。
【００３５】図２の（Ｃ）は本発明に係る２倍速小型電
気素子検査装置の第２の実施の形態の動作タイミングチ
ャートであり、時間軸に対し所要時間が長い小型電気素
子検査装置の移動動作の間に二度の測定動作が順次に可
能なため、移動動作が減少して時間が短縮され、全体的
に作業の所要時間が短縮されることになる。ここで、本
実施の形態において用いられる第１ＲＬＣ測定器５５の
測定時間は一つの小型電気素子に対し約３２μｓ程所要
され、第１プローブ５２および第２プローブ５３に接続
される小型電気素子を順次に測定しても、その所要時間
は６４μｓ程の測定時間が所要される。このため、この
測定時間は第１フレッシュテスター５６および第２フレ
ッシュテスター５７の測定時間である約８０μｓより十
分に短いため、第１フレッシュテスター５６および第２
フレッシュテスター５７の測定時間内に第１プローブ５
２および第２プローブ５３に接続された小型電気素子を
順次に測定が可能である。
【００３６】図４は本発明に係る２倍速小型電気素子検
査方法を示すフローチャートであり、ここで、図示の通
り、テストプレートの円周上にステップ間隔でスロット
が形成され、スロット内に小型電気素子が整列されてテ
ストプレートが回転するに従って小型電気素子を測定し
て検査する。まず、（１）テストプレートが一度に２ス
テップずつ回転させて（Ｓ１）、スロットとスロット間
の移動に所要される時間が長いため、テストプレートを
高速で回転させながら２ステップ移動させる。 （２）テストプレートが停止した状態で互いに隣り合う
二つのスロットに整列された小型電気素子に測定器を接
続する（Ｓ２）。テストプレートが２ステップ移動する
ため、一度に二つのスロットに整列された小型電気素子
を測定する。（３）Ｓ２の段階で接続された測定器を通
じて二つのスロットに整列された小型電気素子のキャパ
シタンスを同時にまたは順次に測定する（Ｓ３）。二つ
のスロットに整列された小型電気素子の各々に測定器を
連結する場合には、同時に二つの小型電気素子を測定す
ることができる。一方、一つの測定器を用いる場合に
は、二つのスロットに整列された小型電気素子を順次に
測定器に連結して二つの小型電気素子を順次に測定す
る。（４）Ｓ３の段階で値が測定された小型電気素子の
うちいずれか一つに高電圧を印加して絶縁程度を検査し
（Ｓ４）、（５）Ｓ３の段階で値が測定された小型電気
素子のうち残りの一つの小型電気素子にも高電圧を印加
して絶縁程度を検査する（Ｓ５）。（６）Ｓ３の段階で
測定された値を基準データと比較して小型電気素子の誤
差および良否を判定し、Ｓ４の段階とＳ５の段階での検
査結果によって小型電気素子の絶縁性の良否を判定する
（Ｓ６）。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明はテストプ
レートを一度に２ステップずつ移動するようにし、２ポ
イントで小型電気素子を測定することにより、生産性を
向上させ、同一生産量に携わる作業者の数を減らすとと
もに、同一生産量に要する設備の占有空間も減らすこと
ができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る小型電気素子検査装置の第１の実
施の形態の構成を示すブロック図である。
【図２】（Ａ）は本発明に係る実施の形態の動作を説明
するためのテストプレートの断面図であり、（Ｂ）は本
発明に係る第１の実施の形態の動作タイミングチャート
であり、（Ｃ）は本発明に係る第２の実施の形態の動作
タイミングチャートである。
【図３】本発明に係る小型電気素子検査装置の第２の実
施の形態の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明に係る小型電気素子検査方法を示すフロ
ーチャートである。
【図５】（Ａ）は小型電気素子を測定する装置を示し、
（Ｂ）は（Ａ）に示された小型電気素子が整列されたテ
ストプレートの平面図である。
【図６】従来の小型電気素子検査装置の構成を示すブロ
ック図である。
【図７】（Ａ）は従来の小型電気素子検査装置の動作を
説明するためのテストプレートの断面図であり、（Ｂ）
は従来の小型電気素子検査装置の動作のタイミングチャ
ートである。
【符号の説明】
４１、５１ モーター制御器 ４２、５２ 第１プローブ ４３、５３ 第２プローブ ４４ 第１ＲＬＣ測定器 ４５ 第２ＲＬＣ測定器 ４６、５６ 第１フレッシュテスター ４７、５７ 第２フレッシュテスター ２８、４８、５８ マイコン ４９、５９ ＬＣＤ ５５ ＲＬＣ測定器

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 テストプレートの円周上に一定のステッ
    プ間隔で複数のスロットが形成され、当該複数のスロッ
    ト内に小型電気素子が整列されて、当該テストプレート
    が回転するに従って小型電気素子を測定する小型電気素
    子の２倍速検査装置において、 前記テストプレートが一度に２ステップずつ回転するよ
    うにモーターを制御するモーター制御手段と、 第１測定位置に設置されて当該第１測定位置に停止する
    小型電気素子に接続する第１接続手段と、 前記第１測定位置と１ステップ間隔で隣り合う第２測定
    位置に設置されて、当該第２測定位置に停止する小型電
    気素子に接続する第２接続手段と、 前記第１接続手段に連結されて、当該第１接続手段に接
    続される小型電気素子を測定する第１測定手段と、 前記第２接続手段に連結されて、当該第２接続手段に接
    続される小型電気素子を測定する第２測定手段と、 前記第１測定手段により測定された小型電気素子に高電
    圧を印加して絶縁程度を検査する第１検査手段と、 前記第２測定手段により測定された小型電気素子に高電
    圧を印加して絶縁程度を検査する第２検査手段と、 前記テストプレートが回転するようモーターの動作をオ
    ン・オフする制御信号を出力し、前記第１測定手段また
    は前記第２測定手段により測定された値を基準データと
    比較して前記小型電気素子の誤差および良否を判定し、
    前記第１検査手段または前記第２検査手段の絶縁検査結
    果により当該小型電気素子の絶縁性の良否を判定するマ
    イコンと、 を有することを特徴とする小型電気素子の２倍速検査装
    置。
  2. 【請求項２】 前記モーター制御手段は、 ２ステップずつ回転する前記テストプレートが同一の加
    減速プロファイルで一度に１ステップずつ回転する場合
    より約１．５〜２倍の平均速度で回転するようにモータ
    ーを制御することを特徴とする請求項１記載の小型電気
    素子の２倍速検査装置。
  3. 【請求項３】 前記第１接続手段および第２接続手段
    は、 被測定体である前記小型電気素子との接続による摩耗に
    より取替可能なことを特徴とする請求項１記載の小型電
    気素子の２倍速検査装置。
  4. 【請求項４】 前記第１測定手段は、 前記第２測定手段と同時に動作することを特徴とする請
    求項１記載の小型電気素子の２倍速検査装置。
  5. 【請求項５】 前記第１測定手段と第２検査手段との間
    に奇数個のスロットが存在して当該第１測定手段により
    測定された小型電気素子が前記第２検査手段により検査
    され、前記第２測定手段と第１検査手段との間に奇数個
    のスロットが存在して当該第２測定手段により測定され
    た小型電気素子が当該第１検査手段により検査されるこ
    とを特徴とする請求項１記載の小型電気素子の２倍速検
    査装置。
  6. 【請求項６】 前記第１測定手段と第２測定手段が同時
    に動作して、前記小型電気素子を測定するのに所要され
    る時間は、前記第１検査手段または前記第２検査手段が
    前記小型電気素子を検査するのに所要される時間より短
    いことを特徴とする請求項４記載の小型電気素子の２倍
    速検査装置。
  7. 【請求項７】 テストプレートの円周上にステップ間隔
    で複数のスロットが形成され、当該複数のスロット内に
    小型電気素子が整列されて、前記テストプレートが回転
    するに従って小型電気素子を測定する小型電気素子の２
    倍速検査装置において、 前記テストプレートが一度に２ステップずつ回転するよ
    うにモーターを制御するモーター制御手段と、 第１測定位置に設置され、当該第１測定位置に停止する
    小型電気素子に接続される第１接続手段と、 前記第１測定位置と１ステップ間隔で隣り合う第２測定
    位置に設置され、当該第２測定位置で停止する小型電気
    素子に接続する第２接続手段と、 前記小型電気素子を測定する測定手段と、 前記第１接続手段および第２接続手段と前記測定手段と
    の間に連結されて当該第１接続手段および第２接続手段
    を順次に当該測定手段に連結されるスキャニング手段
    と、 前記第１接続手段に接続されて測定された小型電気素子
    に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第１検査手段
    と、 前記第２接続手段に接続されて測定された小型電気素子
    に高電圧を印加して絶縁程度を検査する第２検査手段
    と、 前記テストプレートが回転するようにモーターの動作を
    オン・オフする制御信号を出力し、前記測定手段により
    測定された値を基準データと比較して小型電気素子の誤
    差および良否を判定し、前記第１検査手段または前記第
    ２検査手段の絶縁検査の結果により小型電気素子の絶縁
    性の良否を判定するマイコンと、 を有することを特徴とする小型電気素子の２倍速検査装
    置。
  8. 【請求項８】 前記モーター制御手段は、一度に２ステ
    ップずつ回転する前記テストプレートが同一の加減速プ
    ロファイルで一度に１ステップずつ回転する場合より約
    １．５〜２倍の平均速度で回転するようにモーターを制
    御することを特徴とする請求項７記載の小型電気素子の
    ２倍速検査装置。
  9. 【請求項９】 前記第１接続手段および第２接続手段
    は、 被測定体である前記小型電気素子との接触に因る摩耗に
    より取替可能なことを特徴とする請求項７記載の小型電
    気素子の２倍速検査装置。
  10. 【請求項１０】 前記測定手段は、 前記第１接続手段にそれぞれ接続される小型電気素子と
    前記第２接続手段にそれぞれ接続される小型電気素子と
    を順次に測定することを特徴とする請求項７記載の小型
    電気素子の２倍速検査装置。
  11. 【請求項１１】 前記第１接続手段と第２検査手段の間
    に奇数個のスロットが存在して、当該第１接続手段によ
    り測定された小型電気素子が前記第２検査手段により検
    査され、前記第２接続手段と第１検査手段との間に奇数
    個のスロットが存在して当該第２接続手段により測定さ
    れた小型電気素子が当該第１検査手段により検査される
    ことを特徴とする請求項７記載の小型電気素子の２倍速
    検査装置。
  12. 【請求項１２】 前記第１接続手段と前記第２接続手段
    が順次に接続して測定するのに所要される総時間が前記
    第１検査手段または前記第２検査手段により検査するの
    に所要される時間より短いことを特徴とする請求項７記
    載の小型電気素子の２倍速検査装置。
  13. 【請求項１３】 テストプレートの円周上にステップ間
    隔で複数のスロットが形成され、前記複数のスロット内
    に小型電気素子が整列されて当該テストプレートが回転
    するに従って小型電気素子を測定する小型電気素子の２
    倍速検査方法において、 （１）前記テストプレートが一度に２ステップずつ回転
    させてモーターを制御する段階と、 （２）テストプレートが停止した状態で互いに隣り合う
    二つのスロットに整列された小型電気素子に測定器を接
    続する段階と、 （３）前記（２）の段階で接続された測定器を通じて二
    つのスロットに整列された小型電気素子を同時にまたは
    順次に測定する段階と、 （４）前記（３）の段階で値が測定された小型電気素子
    中のいずれか一つに高電圧を印加して絶縁程度を検査す
    る段階と、 （５）前記（３）の段階により測定された小型電気素子
    のうち残りの一つの小型電気素子に高電圧を印加して絶
    縁程度を検査する段階と、 （６）前記（３）の段階により測定された値を基準デー
    タと比較して小型電気素子の誤差および良否を判定し、
    前記（４）の段階と前記（５）の段階での検査結果によ
    って小型電気素子の絶縁性の良否を判定する段階と、 を有することを特徴とする小型電気素子の２倍速検査方
    法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102806206A (zh) * 2012-08-17 2012-12-05 秦皇岛视听机械研究所 一种玻璃钝化工艺二极管裸芯粒分选机测试调节机构
CN103439582A (zh) * 2013-08-28 2013-12-11 三星高新电机（天津）有限公司 检测块的测试装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100702294B1 (ko) * 2005-02-28 2007-03-30 엘에스전선 주식회사 주름 광튜브를 구비한 공기압 포설용 광튜브 케이블
WO2013029659A1 (en) * 2011-08-30 2013-03-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh Testing device and method for operating a testing device
CN102854018B (zh) * 2012-09-27 2015-11-18 无锡华科机械设备有限公司 提升机智能测试台
CN103487777A (zh) * 2013-10-10 2014-01-01 三星高新电机（天津）有限公司 一种贴片电容绝缘电阻检测块的状态测量装置
KR101593527B1 (ko) * 2014-04-02 2016-02-16 삼화콘덴서공업 주식회사 Mlcc 선별기
CN104070023B (zh) * 2014-06-26 2016-03-02 上海仪器仪表研究所 用于电容器高压分选的灭弧装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4406373A (en) 1981-08-03 1983-09-27 Palomar Systems & Machines, Inc. Means and method for testing and sorting miniature electronic units
JP2560675B2 (ja) * 1991-02-05 1996-12-04 株式会社村田製作所 電子部品の特性測定方法
US5785484A (en) * 1996-08-23 1998-07-28 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for orienting miniature components

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102806206A (zh) * 2012-08-17 2012-12-05 秦皇岛视听机械研究所 一种玻璃钝化工艺二极管裸芯粒分选机测试调节机构
CN103439582A (zh) * 2013-08-28 2013-12-11 三星高新电机（天津）有限公司 检测块的测试装置

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