JPH1137818A - 発熱体の発熱量制御装置及びこれを用いたフローセンサ - Google Patents

発熱体の発熱量制御装置及びこれを用いたフローセンサ

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JPH1137818A
JPH1137818A JP9196938A JP19693897A JPH1137818A JP H1137818 A JPH1137818 A JP H1137818A JP 9196938 A JP9196938 A JP 9196938A JP 19693897 A JP19693897 A JP 19693897A JP H1137818 A JPH1137818 A JP H1137818A
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Japan
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heating element
heat generation
control device
feedback
pulse
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JP9196938A
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English (en)
Inventor
Mitsuyoshi Anzai
光芳 安齋
Makoto Ishii
真 石居
Osamu Kimura
修 木村
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Yazaki Corp
Original Assignee
Yazaki Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体とリファレ
ンス抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略
化できる発熱量制御装置１０及びこれを用いたフローセ
ンサ２０を提供すること。 【解決手段】 駆動電流Ｉを発熱体２０２に出力する定
電流駆動手段１４と、発熱体２０２の検出電圧値を検出
する駆動電流検出手段１６と、検出電圧値と目標電圧値
との残差が減少するように定電流駆動手段１４を制御す
る演算手段１２を有し、定電流駆動手段１４から出力さ
れる駆動電流Ｉに関してフィードバックループを形成す
るように駆動電流検出手段１６と演算手段１２が構成さ
れ、駆動電流検出手段１６から帰還されるディジタル変
換された帰還量と目標電圧値との残差を減少させるフィ
ードバック制御を実行する際に定電流駆動手段１４に対
するフィードバック制御量をディジタル信号として出力
するように演算手段１２が構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、発熱体の発熱量を
制御する装置及びこれを用いた流量計に関し、特に、印
加される駆動電流に応じた発熱量を発生する発熱体の発
熱量制御装置、及びこの発熱体を用いたヒータ用抵抗体
と、ヒータ用抵抗体に対して所定距離を隔てた近傍に設
けられた測温抵抗体とを有し、ヒータ用抵抗体が生成し
た熱が測定流体を拡散する度合いを測温抵抗体の抵抗値
の変化を用いて検出し、この測温抵抗体の抵抗値の変化
に基づいて測定流体の流量、流速又は流れる方向等を測
定するフローセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の発熱量制御装置としては、
例えば、特開平４−３４３１５号公報（発明の名称：流
量計のヒータ制御装置、出願日：１９９０年５月３１
日、出願人：山武ハネウエル株式会社）に示すようなも
のがある。
【０００３】図３は、この発熱量制御装置を説明するた
めの回路図である。
【０００４】すなわち、図３に示す流量計（フローセン
サ）１は、基台上にヒータ用抵抗体１Ａとこのヒータ用
抵抗体１Ａに対して所定距離を隔てた近傍に独立して設
けられた測温抵抗体を有し、ヒータ用抵抗体１Ａが生成
した熱が測定流体を拡散する度合いを測温抵抗体の抵抗
値の変化を用いて検出することに依り、この測温抵抗体
の抵抗値の変化に基づいて測定流体の流量、流速又は流
れる方向等を測定するものである。
【０００５】この様な流量計（フローセンサ）１に用い
られる発熱量制御装置９は、図３に示すように、基台上
に一体に形成された周囲温度測定用のリファレンス抵抗
体２とこのリファレンス抵抗体２に一定電流を流すため
の固定抵抗体３とを直列に接続した直列回路と、リファ
レンス抵抗体２と固定抵抗体３で分圧された電圧を増幅
する差動増幅器７、固定抵抗体４，５，６及びトランジ
スタ８と、トランジスタ８の出力によりヒータ用抵抗体
１Ａに供給する電力を制御して、ヒータ用抵抗体１Ａの
温度を周囲温度に応じて可変するように構成されたヒー
タ回路を有していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の発熱量制御装置９では、発熱量制御装置９毎
にヒータ用抵抗体１Ａの抵抗値のばらつきを調整をする
必要があった。
【０００７】また、発熱量制御装置９毎にヒータ用抵抗
体１Ａの抵抗値の温度係数やヒータ用抵抗体１Ａの温度
係数を調整をする必要があった。
【０００８】この様なヒータ用抵抗体１Ａとリファレン
ス抵抗体２の特性（具体的には、抵抗値のばらつきや温
度係数）を一致させる作業工程は、発熱量制御装置９毎
に製造工程でリファレンス抵抗体２の抵抗値及びヒータ
用抵抗体１Ａの抵抗値のばらつき及び温度係数を測定
し、リファレンス抵抗体２及びヒータ用抵抗体１Ａをス
クリーニングすることに依り実行されていた。
【０００９】しかしながら、ヒータ用抵抗体１Ａとリフ
ァレンス抵抗体２の特性を一致させるためのスクリーニ
ングの作業は、多くの時間と労力を要してしまう更に、
ヒータ用抵抗体１Ａとリファレンス抵抗体２の特性を高
精度で一致させることは基本的に難しく、その結果、ク
リーニングの作業における誤差の発生を回避することが
難しいという技術的課題があった。
【００１０】本発明は、このような従来の問題点を解決
することを課題としており、特に、印加される駆動電流
に応じた発熱量を発生する発熱体の発熱量制御装置にお
いて、駆動電流を定電流化して発熱体に出力する定電流
駆動手段と、駆動電流が印加された際に発熱体の両端に
生じる電圧を検出電圧値として検出する駆動電流検出手
段と、発熱体が所定の発熱量を生成するために要する駆
動電流を発熱体に印加した際に発熱体の両端に生じる電
圧を目標電圧値として設定し目標電圧値に応じた駆動電
流を出力するように定電流駆動手段を制御すると共に、
駆動電流検出手段が検出した検出電圧値と目標電圧値と
を比較し検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するよ
うに定電流駆動手段を制御する演算手段を有し、定電流
駆動手段から出力される駆動電流に関してフィードバッ
クループを形成するように駆動電流検出手段と演算手段
が構成され、発熱体の両端において検出した検出電圧値
に基づいて帰還量を生成し生成した帰還量を演算手段に
帰還するように駆動電流検出手段が構成され、駆動電流
検出手段から帰還される帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように定電流駆動手段を制御するように構成さ
れると共に、駆動電流検出手段から帰還されるディジタ
ル変換された帰還量と目標電圧値との残差を減少させる
フィードバック制御を実行する際に定電流駆動手段に対
するフィードバック制御量をディジタル信号として出力
するように演算手段が構成されている発熱量制御装置及
びこれを用いたフローセンサに依り、発熱量制御装置毎
にヒータ用抵抗体とリファレンス抵抗体の特性を一致さ
せる作業工程を不要又は簡略化することを課題としてい
る。
【００１１】また、発熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体
の抵抗値の温度係数の調整作業を不要又は簡略化するこ
とを課題としている。
【００１２】更に、リファレンス抵抗体の抵抗値及びヒ
ータ用抵抗体の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定す
る作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労
力を削減することを課題としている。
【００１３】その結果、ヒータ用抵抗体とリファレンス
抵抗体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度で
スクリーニングする作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減することを課題としている。
【００１４】また、印加される駆動電流に応じた発熱量
を発生する発熱体の発熱量制御装置において、駆動電流
を定電流化して発熱体に出力する定電流駆動手段と、駆
動電流が印加された際に発熱体の両端に生じる電圧を検
出電圧値として検出する駆動電流検出手段と、発熱体が
所定の発熱量を生成するために要する駆動電流を発熱体
に印加した際に発熱体の両端に生じる電圧を目標電圧値
として設定し目標電圧値に応じた駆動電流を出力するよ
うに定電流駆動手段を制御すると共に、駆動電流検出手
段が検出した検出電圧値と目標電圧値とを比較し検出電
圧値と目標電圧値との残差が減少するように定電流駆動
手段を制御する演算手段を有し、定電流駆動手段から出
力される駆動電流に関してフィードバックループを形成
するように駆動電流検出手段と演算手段が構成され、発
熱体の両端において検出した検出電圧値に基づいて帰還
量を生成し生成した帰還量を演算手段に帰還するように
駆動電流検出手段が構成され、駆動電流検出手段から帰
還される帰還量と目標電圧値との残差が減少するように
定電流駆動手段を制御するように構成されると共に、駆
動電流検出手段から帰還されるディジタル変換された帰
還量と目標電圧値との残差を減少させるフィードバック
制御を実行する際に定電流駆動手段に対するフィードバ
ック制御量をパルス信号として出力するように演算手段
が構成されている発熱量制御装置及びこれを用いたフロ
ーセンサに依り、発熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体と
リファレンス抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要
又は簡略化することを課題としている。
【００１５】また、発熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体
の抵抗値の温度係数の調整作業を不要又は簡略化するこ
とを課題としている。
【００１６】更に、リファレンス抵抗体の抵抗値及びヒ
ータ用抵抗体の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定す
る作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労
力を削減することを課題としている。
【００１７】その結果、ヒータ用抵抗体とリファレンス
抵抗体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度で
スクリーニングする作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減することを課題としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、印加される駆動電流Ｉに応じた発熱量を発生する発
熱体２０２の発熱量制御装置において、前記駆動電流Ｉ
を定電流化して前記発熱体２０２に出力する定電流駆動
手段１４と、前記駆動電流Ｉが印加された際に前記発熱
体２０２の両端に生じる電圧を検出電圧値として検出す
る駆動電流検出手段１６と、前記発熱体２０２が所定の
発熱量を生成するために要する前記駆動電流Ｉを前記発
熱体２０２に印加した際に当該発熱体２０２の両端に生
じる電圧を目標電圧値として設定し当該目標電圧値に応
じた前記駆動電流Ｉを出力するように前記定電流駆動手
段１４を制御すると共に、前記駆動電流検出手段１６が
検出した前記検出電圧値と当該目標電圧値とを比較し当
該検出電圧値と当該目標電圧値との残差が減少するよう
に前記定電流駆動手段１４を制御する演算手段１２を有
する、ことを特徴とする発熱量制御装置１０である。
【００１９】請求項１に記載の発明に依れば、駆動電流
検出手段１６を設けることに依り、発熱体２０２の抵抗
値の変化に応じて発熱体２０２の両端電圧を検出電圧値
として検出することに依り、周囲温度の影響に起因する
発熱体２０２の抵抗値の変化を検出できるようになると
いった効果を奏する。
【００２０】更に、発熱体２０２の抵抗値の変化に応じ
た検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するように定
電流駆動手段１４を制御する演算手段１２を設けること
に依り、発熱体２０２に供給される電力を発熱体２０２
の抵抗値の変化に関係なく一定に保持する制御ができる
ようになるといった効果を奏する。
【００２１】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部演算処理を用いて発熱体２０２に供給する駆
動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２の抵抗値の変化
に関係なく、発熱体２０２が発生する発熱量を一定に保
持する制御ができるようになるといった効果を奏する。
【００２２】その結果、高精度の温度補償制御を演算手
段１２の内部演算処理を用いて簡便に発熱体２０２に対
して実行できるようになるといった効果を奏する。
【００２３】又発熱量制御装置１０毎に発熱体２０２と
リファレンス抵抗体１５０の特性（具体的には、抵抗値
のばらつきや温度係数）を一致させる作業工程を演算手
段１２の内部演算処理に置き換えることができるように
なる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００２４】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００２５】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を演算手段１２の内部演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調
整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【００２６】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の
内部演算処理に置き換えることができるようになる結
果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【００２７】なお、本請求項における演算手段１２の内
部演算処理とは、プログラムコードで記述され制御処理
用のプロセッサによって実行されるプログラム処理を意
味する。
【００２８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発熱量制御装置１０において、前記駆動電流検出手段
１６は、前記駆動電流Ｉが印加された際に前記発熱体２
０２の抵抗値の温度変化に応じて、当該発熱体２０２の
両端に生じる電圧を前記検出電圧値として検出するよう
に構成されている、ことを特徴とする発熱量制御装置１
０である。
【００２９】請求項２に記載の発明に依れば、請求項１
に記載の効果に加えて、駆動電流検出手段１６を設ける
ことに依り、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に応じて
発熱体２０２の両端電圧を検出電圧値として検出するこ
とに依り、周囲温度の影響に起因する発熱体２０２の抵
抗値の変化を検出できるようになるといった効果を奏す
る。
【００３０】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するよう
に定電流駆動手段１４を制御する演算手段１２を設ける
ことに依り、発熱体２０２に供給される電力を発熱体２
０２の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持する制御
ができるようになるといった効果を奏する。
【００３１】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、発熱体２
０２に供給する駆動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０
２の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体２０２が発生
する発熱量を一定に保持する制御ができるようになると
いった効果を奏する。
【００３２】その結果、高精度の温度補償制御を簡便に
発熱体２０２に対して実行できるようになるといった効
果を奏する。
【００３３】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００３４】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を演算手段１２の内部演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調
整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【００３５】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の
内部演算処理に置き換えることができるようになる結
果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【００３６】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の発熱量制御装置１０において、前記駆動電流検
出手段１６と前記演算手段１２は、前記定電流駆動手段
１４から出力される前記駆動電流Ｉに関してフィードバ
ックループを形成するように構成され、前記駆動電流検
出手段１６は、前記発熱体２０２の両端において検出し
た前記検出電圧値に基づいて帰還量を生成し当該生成し
た帰還量を前記演算手段１２に帰還するように構成さ
れ、前記演算手段１２は、前記駆動電流検出手段１６か
ら帰還される前記帰還量と前記目標電圧値との残差が減
少するように前記定電流駆動手段１４を制御するように
構成されている、ことを特徴とする発熱量制御装置１０
である。
【００３７】請求項３に記載の発明に依れば、請求項１
又は２に記載の効果に加えて、この様な制御ループを構
成する駆動電流検出手段１６を設けることに依り、発熱
体２０２の抵抗値の温度変化に応じて発熱体２０２の両
端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として検出でき、周
囲温度の影響に起因する発熱体２０２の抵抗値の変化を
検出できるようになるといった効果を奏する。
【００３８】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差
が減少するように定電流駆動手段１４を制御する演算手
段１２を制御ループ内に設けることに依り、発熱体２０
２に供給される電力を発熱体２０２の抵抗値の温度変化
に関係なく一定に保持する制御ができるようになるとい
った効果を奏する。
【００３９】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部演算処理を用いて発熱体２０２に供給する駆
動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２の抵抗値の温度
変化に関係なく、発熱体２０２が発生する発熱量を一定
に保持する制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【００４０】その結果、高精度の温度補償にかかる制御
を演算手段１２の内部演算処理を用いて簡便に発熱体２
０２に対して実行できるようになるといった効果を奏す
る。
【００４１】請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３
のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０において、
前記演算手段１２は、前記駆動電流検出手段１６から帰
還される前記帰還量と前記目標電圧値との残差が減少す
るように前記定電流駆動手段１４に対するフィードバッ
ク制御を実行するように構成されている、ことを特徴と
する発熱量制御装置１０である。
【００４２】請求項４に記載の発明に依れば、請求項１
乃至３のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段１６を設ける
ことに依り、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に応じて
発熱体２０２の両端電圧を検出電圧値に基づく帰還量と
して検出でき、周囲温度の影響に起因する発熱体２０２
の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を
奏する。
【００４３】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差
が減少するように定電流駆動手段１４をフィードバック
制御する演算手段１２をフィードバックループ内に設け
ることに依り、発熱体２０２に供給される電力を発熱体
２０２の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフ
ィードバック制御ができるようになるといった効果を奏
する。
【００４４】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部演算処理を用いて発熱体２０２に供給する駆
動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２の抵抗値の温度
変化に関係なく、発熱体２０２が発生する発熱量を一定
に保持するフィードバック制御ができるようになるとい
った効果を奏する。
【００４５】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部演算処理を用いて
簡便に発熱体２０２に対して実行できるようになるとい
った効果を奏する。
【００４６】請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４
のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０において、
前記発熱体２０２は、印加される駆動電流Ｉに応じたジ
ュール熱を発生する金属抵抗体である、ことを特徴とす
る発熱量制御装置１０である。
【００４７】請求項５に記載の発明に依れば、請求項１
乃至４のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段１６を設ける
ことに依り、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応じて金
属抵抗体の両端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として
検出でき、周囲温度の影響に起因する金属抵抗体の抵抗
値の変化を検出できるようになるといった効果を奏す
る。
【００４８】更に、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応
じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように定電流駆動手段１４をフィードバック制
御する演算手段１２をフィードバックループ内に設ける
ことに依り、金属抵抗体に供給される電力を金属抵抗体
の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィード
バック制御ができるようになるといった効果を奏する。
【００４９】これに依り、金属抵抗体の抵抗値が周囲温
度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段１
２の内部演算処理を用いて金属抵抗体に供給する駆動電
流Ｉを可変制御して、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に
関係なく、金属抵抗体が発生する発熱量を一定に保持す
るフィードバック制御ができるようになるといった効果
を奏する。
【００５０】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部演算処理を用いて
簡便に金属抵抗体に対して実行できるようになるといっ
た効果を奏する。
【００５１】又発熱量制御装置１０毎に金属抵抗体とリ
ファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや温
度係数）を一致させる作業工程を演算手段１２の内部演
算処理に置き換えることができるようになる結果、抵抗
体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できる
ようになるといった効果を奏する。
【００５２】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００５３】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び金属抵抗体の抵抗値
のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程を
演算手段１２の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整
する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し
労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【００５４】その結果、金属抵抗体とリファレンス抵抗
体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に高
精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の内
部演算処理に置き換えることができるようになる結果、
スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間
を短縮化し労力を削減できるようになるといった効果を
奏する。
【００５５】なお、本請求項における金属抵抗体とは、
Ｎｉ・Ｃｒ系合金抵抗体、Ｎｉ・Ｃｒ・Ａｌ系合金抵抗
体、白金（Ｐｔ）抵抗体、白金・ロジウム（Ｒｈ）合金
抵抗体、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、タン
グステン（Ｗ）等の高融点金属合金抵抗体等を意味す
る。
【００５６】請求項６に記載の発明は、請求項１乃至４
のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０において、
前記発熱体２０２は、印加される駆動電流Ｉに応じたジ
ュール熱を発生する非金属抵抗体である、ことを特徴と
する発熱量制御装置１０である。
【００５７】請求項６に記載の発明に依れば、請求項１
乃至４のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段１６を設ける
ことに依り、非金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応じて
非金属抵抗体の両端電圧を検出電圧値に基づく帰還量と
して検出でき、周囲温度の影響に起因する非金属抵抗体
の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を
奏する。
【００５８】更に、非金属抵抗体の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差
が減少するように定電流駆動手段１４をフィードバック
制御する演算手段１２をフィードバックループ内に設け
ることに依り、非金属抵抗体に供給される電力を非金属
抵抗体の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフ
ィードバック制御ができるようになるといった効果を奏
する。
【００５９】これに依り、非金属抵抗体の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部演算処理を用いて非金属抵抗体に供給する駆
動電流Ｉを可変制御して、非金属抵抗体の抵抗値の温度
変化に関係なく、非金属抵抗体が発生する発熱量を一定
に保持するフィードバック制御ができるようになるとい
った効果を奏する。
【００６０】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部演算処理を用いて
簡便に非金属抵抗体に対して実行できるようになるとい
った効果を奏する。
【００６１】又発熱量制御装置１０毎に非金属抵抗体と
リファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや
温度係数）を一致させる作業工程を演算手段１２の内部
演算処理に置き換えることができるようになる結果、抵
抗体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化でき
るようになるといった効果を奏する。
【００６２】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００６３】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び非金属抵抗体の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を演算手段１２の内部演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調
整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【００６４】その結果、非金属抵抗体とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の
内部演算処理に置き換えることができるようになる結
果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【００６５】なお、本請求項における非金属抵抗体と
は、炭化ケイ素抵抗体、モリブデンケイ素抵抗体、炭素
抵抗体等を意味する。
【００６６】請求項７に記載の発明は、請求項１乃至６
のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０において、
前記駆動電流検出手段１６は、前記発熱体２０２の抵抗
値変化に対して検出した前記検出電圧値に基づいて帰還
量を生成し当該生成した帰還量をディジタル信号に変換
して前記演算手段１２に帰還するように構成されてい
る、ことを特徴とするである。
【００６７】請求項７に記載の発明に依れば、請求項１
乃至６のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０効果
に加えて、フィードバックループを構成する駆動電流検
出手段１６を設けることに依り、発熱体２０２の抵抗値
の温度変化に応じて発熱体２０２の両端電圧を検出電圧
値に基づくディジタル量としての帰還量として検出で
き、周囲温度の影響に起因する発熱体２０２の抵抗値の
変化を検出できるようになるといった効果を奏する。
【００６８】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還量
と目標電圧値との残差が減少するように定電流駆動手段
１４をフィードバック制御する演算手段１２をフィード
バックループ内に設けることに依り、発熱体２０２に供
給される電力を発熱体２０２の抵抗値の温度変化に関係
なく一定に保持するフィードバック制御ができるように
なるといった効果を奏する。
【００６９】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部でのディジタル演算処理を用いて発熱体２０
２に供給する駆動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２
の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体２０２が発生す
る発熱量を一定に保持するフィードバック制御ができる
ようになるといった効果を奏する。
【００７０】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便に発熱体２０２に対して実行できる
ようになるといった効果を奏する。
【００７１】又発熱量制御装置１０毎に発熱体２０２と
リファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや
温度係数）を一致させる作業工程を演算手段１２の内部
でのディジタル演算処理に置き換えることができるよう
になる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要
又は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００７２】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、温度係数の調
整作業を不要又は簡略化できるようになるといった効果
を奏する。
【００７３】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に置き換
えることができるようになる結果、ばらつき及び温度係
数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化して作
業時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった
効果を奏する。
【００７４】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の
内部でのディジタル演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、スクリーニング作業工程を不要又は簡
略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるようにな
るといった効果を奏する。
【００７５】請求項８に記載の発明は、請求項７に記載
の発熱量制御装置１０において、前記駆動電流検出手段
１６は、前記発熱体２０２の抵抗値変化に対して検出し
た前記検出電圧値に基づいて帰還量をアナログ信号とし
て生成する電圧増幅回路１６４と、前記電圧増幅回路１
６４が生成した前記アナログ信号をディジタル信号に変
換すると共に、当該ディジタル変換された前記帰還量を
前記演算手段１２に帰還するＡ／Ｄ変換回路１６２を有
する、ことを特徴とする発熱量制御装置１０である。
【００７６】請求項８に記載の発明に依れば、請求項７
に記載の効果に加えて、フィードバックループを構成す
る駆動電流検出手段１６を設けることに依り、発熱体２
０２の抵抗値の温度変化に応じて発熱体２０２の両端電
圧を検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変換
回路１６２が生成する帰還量として検出でき、周囲温度
の影響に起因する発熱体２０２の抵抗値の変化を検出で
きるようになるといった効果を奏する。
【００７７】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変
換回路１６２が生成する帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように定電流駆動手段１４をフィードバック制
御する演算手段１２をフィードバックループ内に設ける
ことに依り、発熱体２０２に供給される電力を発熱体２
０２の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィ
ードバック制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【００７８】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部でのディジタル演算処理を用いて発熱体２０
２に供給する駆動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２
の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体２０２が発生す
る発熱量を一定に保持するフィードバック制御ができる
ようになるといった効果を奏する。
【００７９】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便に発熱体２０２に対して実行できる
ようになるといった効果を奏する。
【００８０】請求項９に記載の発明は、請求項７又は８
に記載の発熱量制御装置１０において、前記演算手段１
２は、前記駆動電流検出手段１６から帰還される前記デ
ィジタル変換された帰還量と前記目標電圧値との残差を
減少させる前記フィードバック制御を実行する際に、前
記定電流駆動手段１４に対するフィードバック制御量を
ディジタル信号として出力するように構成されている、
ことを特徴とする発熱量制御装置１０である。
【００８１】請求項９に記載の発明に依れば、請求項７
又は８に記載の効果と同様の効果を奏する。
【００８２】請求項１０に記載の発明は、請求項７乃至
９のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０におい
て、前記定電流駆動手段１４は、前記演算手段１２から
出力される前記ディジタル信号としてのフィードバック
制御量に基づいて前記駆動電流Ｉを定電流化して前記発
熱体２０２に出力するように構成されている、ことを特
徴とする発熱量制御装置１０である。
【００８３】請求項１０に記載の発明に依れば、請求項
７乃至９のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィー
ドバックループを構成する駆動電流検出手段１６を設け
ることに依り、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に応じ
て発熱体２０２の両端電圧を検出電圧値に基づくディジ
タル量としてＡ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量と
して検出でき、周囲温度の影響に起因する発熱体２０２
の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を
奏する。
【００８４】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変
換回路１６２が生成する帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように、ディジタル信号としてのフィードバッ
ク制御量に基づいて定電流駆動手段１４をフィードバッ
ク制御する演算手段１２をフィードバックループ内に設
けることに依り、発熱体２０２に供給される電力を発熱
体２０２の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持する
フィードバック制御ができるようになるといった効果を
奏する。
【００８５】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
１２の内部でのディジタル演算処理を用いて発熱体２０
２に供給する駆動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２
の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体２０２が発生す
る発熱量を一定に保持するフィードバック制御ができる
ようになるといった効果を奏する。
【００８６】その結果、ディジタル信号としてのフィー
ドバック制御量に基づいて、高精度の温度補償にかかる
フィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタ
ル演算処理を用いて簡便に発熱体２０２に対して実行で
きるようになるといった効果を奏する。
【００８７】又発熱量制御装置１０毎に発熱体２０２と
リファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや
温度係数）を一致させる作業工程を、ディジタル信号と
してのフィードバック制御量を用いた演算手段１２の内
部でのディジタル演算処理に置き換えることができるよ
うになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不
要又は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【００８８】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、ディジタル信号としてのフィードバック制御
量を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理
に置き換えることができるようになる結果、温度係数の
調整作業を不要又は簡略化できるようになるといった効
果を奏する。
【００８９】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を、ディジタル信号としてのフィードバック制御量を用
いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に置き
換えることができるようになる結果、ばらつき及び温度
係数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化して
作業時間を短縮化し労力を削減できるようになるといっ
た効果を奏する。
【００９０】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を、ディジタル信
号としてのフィードバック制御量を用いた演算手段１２
の内部でのディジタル演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、スクリーニング作業工程を不要又は
簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるように
なるといった効果を奏する。
【００９１】請求項１１に記載の発明は、請求項１０に
記載の発熱量制御装置１０において、前記定電流駆動手
段１４は、前記演算手段１２から出力される前記ディジ
タル信号としてのフィードバック制御量をアナログ変換
するＤ／Ａ変換回路１４２と、前記Ｄ／Ａ変換回路１４
２においてアナログ変換された前記フィードバック制御
量に基づいて前記駆動電流Ｉを定電流化して前記発熱体
２０２に出力する定電流発生回路１４４を有する、こと
を特徴とする発熱量制御装置１０である。
【００９２】請求項１１に記載の発明に依れば、請求項
１０に記載の効果と同様の効果を奏する。
【００９３】請求項１２に記載の発明は、請求項７に記
載の発熱量制御装置１０において、前記演算手段１２
は、前記駆動電流検出手段１６から帰還される前記ディ
ジタル変換された帰還量と前記目標電圧値との残差を減
少させる前記フィードバック制御を実行する際に、前記
定電流駆動手段１４に対するフィードバック制御量をパ
ルス信号として出力するように構成されている、ことを
特徴とする発熱量制御装置１０である。
【００９４】請求項１２に記載の発明に依れば、請求項
７に記載の効果に加えて、フィードバックループを構成
する駆動電流検出手段１６を設けることに依り、発熱体
２０２の抵抗値の温度変化に応じて発熱体２０２の両端
電圧を検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還量
として検出でき、周囲温度の影響に起因する発熱体２０
２の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果
を奏する。
【００９５】更に、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還量
と目標電圧値との残差が減少するように、フィードバッ
ク制御量としてのパルス信号を用いて、定電流駆動手段
１４をフィードバック制御する演算手段１２をフィード
バックループ内に設けることに依り、発熱体２０２の抵
抗値の温度変化に関係なく、パルス変調に固有の高精度
で発熱体２０２に供給される電力を一定に保持するフィ
ードバック制御を高い確度及び再現性を以て実現できる
ようになるといった効果を奏する。
【００９６】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、フィード
バック制御量としてのパルス信号を用いて、演算手段１
２の内部でのディジタル演算処理を実行し発熱体２０２
に供給する駆動電流Ｉを可変制御して、発熱体２０２の
抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体２０２が発生する
発熱量を一定に保持するフィードバック制御を高い確度
及び再現性を以て実現できるようになるといった効果を
奏する。
【００９７】その結果、フィードバック制御量としての
パルス信号を用いて、高精度の温度補償にかかるフィー
ドバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演算
処理を発熱体２０２に対して実行できるようになるとい
った効果を奏する。
【００９８】又、パルス信号が定電流駆動手段１４に印
加されている間のみ発熱体２０２の発熱動作を可能とす
ることができるようになり、発熱動作が要求された期間
のみ発熱体２０２の発熱動作が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【００９９】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス信号を用
いて、発熱体２０２の温度補償にかかるフィードバック
制御を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理を発
熱体２０２に対して実行できるようになり、発熱動作が
要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作が選択的に
可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図る
ことができるといった効果を奏する。
【０１００】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加して発熱体２０２を発熱させる制御ができるように
なり、発熱体２０２が発熱動作を実行している期間に同
期して、パルス信号を用いたフィードバック制御を演算
手段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して
発熱体２０２の温度補償を実行できるようになり、発熱
体２０２の発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２
の発熱動作発熱体２０２の温度補償が選択的に可能とな
る結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることがで
きるといった効果を奏する。
【０１０１】又発熱量制御装置１０毎に発熱体２０２と
リファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや
温度係数）を一致させる作業工程を、フィードバック制
御量としてのパルス信号を用いた演算手段１２の内部で
のディジタル演算処理に置き換えることができるように
なる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【０１０２】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス信号を
用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に置
き換えることができるようになる結果、温度係数の調整
作業を不要又は簡略化できるようになるといった効果を
奏する。
【０１０３】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を、フィードバック制御量としてのパルス信号を用いた
演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に置き換え
ることができるようになる結果、ばらつき及び温度係数
を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【０１０４】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を、フィードバッ
ク制御量としてのパルス信号を用いた演算手段１２の内
部でのディジタル演算処理に置き換えることができるよ
うになる結果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略
化して作業時間を短縮化し労力を削減できるようになる
といった効果を奏する。
【０１０５】請求項１３に記載の発明は、請求項１２に
記載の発熱量制御装置１０において、前記演算手段１２
は、前記駆動電流検出手段１６から帰還される前記ディ
ジタル変換された帰還量に応じて、前記検出電圧値と前
記目標電圧値との残差が減少するように前記パルス信号
のパルス幅を可変設定するように構成されている、こと
を特徴とする発熱量制御装置１０である。
【０１０６】請求項１３に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス幅を任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に
印加されている期間をパルス信号のパルス幅に依って一
意的に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０１０７】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
パルス信号のパルス幅に依って一意的に制御できるよう
になる。
【０１０８】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間をパル
ス信号のパルス幅に依って一意的に制御できるようにな
り、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱
動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消
費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１０９】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス信号のパ
ルス幅を用いて、発熱体２０２の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を発熱体２０２に対して実行できるようになり、
発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作
が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電
力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１１０】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加しパルス信号のパルス幅に応じて発熱体２０２を発
熱させる制御ができるようになり、発熱体２０２が発熱
動作を実行している期間に同期して、パルス信号のパル
ス幅を用いたフィードバック制御を演算手段１２の内部
でのディジタル演算処理に依り実行して発熱体２０２の
温度補償を実行できるようになり、発熱体２０２の発熱
動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作発熱
体２０２の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動
作に対する低消費電力化を図ることができるといった効
果を奏する。
【０１１１】請求項１４に記載の発明は、請求項１２に
記載の発熱量制御装置１０において、前記演算手段１２
は、前記駆動電流検出手段１６から帰還される前記ディ
ジタル変換された帰還量に応じて、前記検出電圧値と前
記目標電圧値との残差が減少するように単位時間当たり
に出力するパルス数を可変設定して前記パルス信号を生
成するように構成されている、ことを特徴とする発熱量
制御装置１０である。
【０１１２】請求項１４に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス数を任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に
印加されている期間をパルス信号のパルス数に依って一
意的に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０１１３】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
パルス信号のパルス数に依って一意的に制御できるよう
になる。
【０１１４】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間をパル
ス信号のパルス数に依って一意的に制御できるようにな
り、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱
動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消
費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１１５】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス信号のパ
ルス数を用いて、発熱体２０２の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を発熱体２０２に対して実行できるようになり、
発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作
が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電
力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１１６】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加しパルス信号のパルス数に応じて発熱体２０２を発
熱させる制御ができるようになり、発熱体２０２が発熱
動作を実行している期間に同期して、パルス信号のパル
ス数を用いたフィードバック制御を演算手段１２の内部
でのディジタル演算処理に依り実行して発熱体２０２の
温度補償を実行できるようになり、発熱体２０２の発熱
動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作発熱
体２０２の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動
作に対する低消費電力化を図ることができるといった効
果を奏する。
【０１１７】請求項１５に記載の発明は、請求項１２に
記載の発熱量制御装置１０において、前記演算手段１２
は、前記駆動電流検出手段１６から帰還される前記ディ
ジタル変換された帰還量に応じて、前記検出電圧値と前
記目標電圧値との残差が減少するように前記パルス信号
のパルス波高値を可変設定するように構成されている、
ことを特徴とする発熱量制御装置１０である。
【０１１８】請求項１５に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス波高値
を任意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１
４に印加されている期間をパルス信号のパルス波高値に
依って一意的に制御できるようになるといった効果を奏
する。
【０１１９】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
パルス信号のパルス波高値に依って一意的に制御できる
ようになる。
【０１２０】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間をパル
ス信号のパルス波高値に依って一意的に制御できるよう
になり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の
発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する
低消費電力化を図ることができるといった効果を奏す
る。
【０１２１】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス信号のパ
ルス波高値を用いて、発熱体２０２の温度補償にかかる
フィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタ
ル演算処理を発熱体２０２に対して実行できるようにな
り、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱
動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消
費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１２２】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加しパルス信号のパルス波高値に応じて発熱体２０２
を発熱させる制御ができるようになり、発熱体２０２が
発熱動作を実行している期間に同期して、パルス信号の
パルス波高値を用いたフィードバック制御を演算手段１
２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して発熱体
２０２の温度補償を実行できるようになり、発熱体２０
２の発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱
動作発熱体２０２の温度補償が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【０１２３】請求項１６に記載の発明は、請求項１２乃
至１５のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０にお
いて、前記演算手段１２は、前記駆動電流検出手段１６
から帰還される前記ディジタル変換された帰還量に応じ
て、前記検出電圧値と前記目標電圧値との残差が減少す
るように前記パルス信号を出力するタイミングを設定す
るように構成されている、ことを特徴とする発熱量制御
装置１０である。
【０１２４】請求項１６に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１５のいずれか一項に記載の効果に加えて、パ
ルス信号の出力タイミングを任意に設定可能とすること
に依り、定電流駆動手段１４に印加されている期間をパ
ルス信号の出力タイミングに依って一意的に制御できる
ようになるといった効果を奏する。
【０１２５】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
パルス信号の出力タイミングに依って一意的に制御でき
るようになる。
【０１２６】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間をパル
ス信号の出力タイミングに依って一意的に制御できるよ
うになり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２
の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対す
る低消費電力化を図ることができるといった効果を奏す
る。
【０１２７】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス信号の出
力タイミングを用いて、発熱体２０２の温度補償にかか
るフィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジ
タル演算処理を発熱体２０２に対して実行できるように
なり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発
熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低
消費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１２８】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加しパルス信号の出力タイミングに応じて発熱体２０
２を発熱させる制御ができるようになり、発熱体２０２
が発熱動作を実行している期間に同期して、パルス信号
の出力タイミングを用いたフィードバック制御を演算手
段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して発
熱体２０２の温度補償を実行できるようになり、発熱体
２０２の発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の
発熱動作発熱体２０２の温度補償が選択的に可能となる
結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができ
るといった効果を奏する。
【０１２９】請求項１７に記載の発明は、請求項１２乃
至１６のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０にお
いて、前記定電流駆動手段１４は、前記演算手段１２か
ら出力される前記パルス信号としてのフィードバック制
御量に基づいて前記駆動電流Ｉを定電流化して前記発熱
体２０２に出力するように構成されている、ことを特徴
とする発熱量制御装置１０である。
【０１３０】請求項１７に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１６に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０１３１】請求項１８に記載の発明は、請求項１７に
記載の発熱量制御装置１０において、前記定電流駆動手
段１４は、前記パルス信号に基づいて前記駆動電流Ｉを
定電流化して前記発熱体２０２に出力する定電流発生回
路１４４を有する、ことを特徴とする発熱量制御装置１
０である。
【０１３２】請求項１８に記載の発明に依れば、請求項
１７に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０１３３】請求項１９に記載の発明は、請求項１８に
記載の発熱量制御装置１０において、前記定電流駆動手
段１４は、前記演算手段１２から出力される前記パルス
信号を所定の電圧レベルのパルス信号に変換するパルス
駆動回路１４１を有し、前記定電流発生回路１４４は、
前記パルス駆動回路１４１において所定の電圧レベルに
変換された前記フィードバック制御量に基づいて前記駆
動電流Ｉを定電流化して前記発熱体２０２に出力するよ
うに構成されている、ことを特徴とする発熱量制御装置
１０である。
【０１３４】請求項１９に記載の発明に依れば、請求項
１８に記載の効果に加えて、発熱体２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
の帰還量と目標電圧値との残差が減少するように、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号を用いて、定電流駆動手段１４をフィー
ドバック制御する演算手段１２をフィードバックループ
内に設けることに依り、発熱体２０２の抵抗値の温度変
化に関係なく、パルス変調に固有の高精度で発熱体２０
２に供給される電力を一定に保持するフィードバック制
御を高い確度及び再現性を以て実現できるようになると
いった効果を奏する。
【０１３５】これに依り、発熱体２０２の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、フィード
バック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号を用いて、演算手段１２の内部でのディジタ
ル演算処理を実行し発熱体２０２に供給する駆動電流Ｉ
を可変制御して、発熱体２０２の抵抗値の温度変化に関
係なく、発熱体２０２が発生する発熱量を一定に保持す
るフィードバック制御を高い確度及び再現性を以て実現
できるようになるといった効果を奏する。
【０１３６】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号を用いて、
高精度の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手
段１２の内部でのディジタル演算処理を発熱体２０２に
対して実行できるようになるといった効果を奏する。
【０１３７】又、パルス駆動回路１４１が生成するパル
ス信号を任意に設定可能とすることに依り、定電流駆動
手段１４に印加されている期間をパルス駆動回路１４１
が生成するパルス信号に依って一意的に制御できるよう
になるといった効果を奏する。
【０１３８】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号に依って一
意的に制御できるようになる。
【０１３９】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間をパル
ス駆動回路１４１が生成するパルス信号に依って一意的
に制御できるようになり、発熱動作が要求された期間の
み発熱体２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、
発熱動作に対する低消費電力化を図ることができるとい
った効果を奏する。
【０１４０】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、フィードバック制御量としてのパルス駆動回路
１４１が生成するパルス信号を用いて、発熱体２０２の
温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の
内部でのディジタル演算処理を発熱体２０２に対して実
行できるようになり、発熱動作が要求された期間のみ発
熱体２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱
動作に対する低消費電力化を図ることができるといった
効果を奏する。
【０１４１】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス駆動回路１４１が生成するパ
ルス信号を定電流駆動手段１４に印加しパルス駆動回路
１４１が生成するパルス信号に応じて発熱体２０２を発
熱させる制御ができるようになり、発熱体２０２が発熱
動作を実行している期間に同期して、パルス駆動回路１
４１が生成するパルス信号を用いたフィードバック制御
を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実
行して発熱体２０２の温度補償を実行できるようにな
り、発熱体２０２の発熱動作が要求された期間のみ発熱
体２０２の発熱動作発熱体２０２の温度補償が選択的に
可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図る
ことができるといった効果を奏する。
【０１４２】又発熱量制御装置１０毎に発熱体２０２と
リファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや
温度係数）を一致させる作業工程を、フィードバック制
御量としてのパルス駆動回路１４１が生成するパルス信
号を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理
に置き換えることができるようになる結果、抵抗体の特
性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるように
なるといった効果を奏する。
【０１４３】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号を用いた演算手段１２の
内部でのディジタル演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０１４４】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び発熱体２０２の抵抗
値のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回路１４
１が生成するパルス信号を用いた演算手段１２の内部で
のディジタル演算処理に置き換えることができるように
なる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作
業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を
削減できるようになるといった効果を奏する。
【０１４５】その結果、発熱体２０２とリファレンス抵
抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に
高精度でスクリーニングする作業工程を、フィードバッ
ク制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成するパル
ス信号を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算
処理に置き換えることができるようになる結果、スクリ
ーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮
化し労力を削減できるようになるといった効果を奏す
る。
【０１４６】請求項２０に記載の発明は、請求項１２乃
至１９のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０にお
いて、前記演算手段１２に接続され、前記パルス信号の
前記パルス幅、前記単位時間当たりに出力するパルス
数、前記パルス波高値又は前記タイミングの少なくとも
いずれかを前記演算手段１２に代わって設定可能な設定
器１８を有する、ことを特徴とする発熱量制御装置１０
である。
【０１４７】請求項２０に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１９のいずれか一項に記載の効果に加えて、設
定器１８を外部接続可能とすることに依り、発熱量制御
装置１０の外部からパルス信号のパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを任意に設定可能とすることに依
り、定電流駆動手段１４に印加されている期間を、設定
器１８を用いて設定したパルス数、パルス波高値、又は
タイミングに依って一意的に制御できるようになるとい
った効果を奏する。
【０１４８】その結果、発熱体２０２の発熱動作期間を
設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス波高値、
又はタイミングに依って一意的に制御できるようにな
る。
【０１４９】則ち、発熱体２０２の発熱動作期間を、設
定器１８を用いて設定したパルス数、パルス波高値、又
はタイミングに依って一意的に制御できるようになり、
発熱動作が要求された期間のみ発熱体２０２の発熱動作
が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電
力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１５０】更に、発熱体２０２の発熱動作の開始に同
期して、設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス
波高値、又はタイミングを用いて、発熱体２０２の温度
補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の内部
でのディジタル演算処理を発熱体２０２に対して実行で
きるようになり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体
２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作
に対する低消費電力化を図ることができるといった効果
を奏する。
【０１５１】同様に、発熱体２０２の発熱動作要求が生
じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手段１４に
印加し設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス波
高値、又はタイミングに応じて発熱体２０２を発熱させ
る制御ができるようになり、発熱体２０２が発熱動作を
実行している期間に同期して、設定器１８を用いて設定
したパルス数、パルス波高値、又はタイミングを用いた
フィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタ
ル演算処理に依り実行して発熱体２０２の温度補償を実
行できるようになり、発熱体２０２の発熱動作が要求さ
れた期間のみ発熱体２０２の発熱動作発熱体２０２の温
度補償が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低
消費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０１５２】請求項２１に記載の発明は、請求項９乃至
１９のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０を用い
たフローセンサ２０において、前記発熱体２０２を用い
たヒータ用抵抗体２０２と、前記ヒータ用抵抗体２０２
の近傍に当該ヒータ用抵抗体２０２と所定距離を隔てた
近傍に設けられた測温抵抗体と、前記ヒータ用抵抗体２
０２が所定の発熱量を生成するように前記フィードバッ
ク制御を実行する前記発熱量制御装置１０を有する、こ
とを特徴とするフローセンサ２０である。
【０１５３】請求項２１に記載の発明に依れば、請求項
９乃至１９のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィ
ードバックループを構成する駆動電流検出手段１６を設
けることに依り、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温度
変化に応じてヒータ用抵抗体２０２の両端電圧を検出電
圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変換回路１６２
が生成する帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起
因するヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の変化を検出でき
るようになるといった効果を奏する。
【０１５４】更に、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
Ａ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量と目標電圧値と
の残差が減少するように定電流駆動手段１４をフィード
バック制御する演算手段１２をフィードバックループ内
に設けることに依り、ヒータ用抵抗体２０２に供給され
る電力をヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温度変化に関
係なく一定に保持するフィードバック制御ができるよう
になるといった効果を奏する。
【０１５５】これに依り、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
演算手段１２の内部でのディジタル演算処理を用いてヒ
ータ用抵抗体２０２に供給する駆動電流Ｉを可変制御し
て、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温度変化に関係な
く、ヒータ用抵抗体２０２が発生する発熱量を一定に保
持するフィードバック制御ができるようになるといった
効果を奏する。
【０１５６】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便にヒータ用抵抗体２０２に対して実
行できるようになるといった効果を奏する。
【０１５７】又発熱量制御装置１０毎にヒータ用抵抗体
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を演算手段１
２の内部でのディジタル演算処理に置き換えることがで
きるようになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工
程を不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏
する。
【０１５８】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、温度係数の調
整作業を不要又は簡略化できるようになるといった効果
を奏する。
【０１５９】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びヒータ用抵抗体２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理
に置き換えることができるようになる結果、ばらつき及
び温度係数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略
化して作業時間を短縮化し労力を削減できるようになる
といった効果を奏する。
【０１６０】その結果、ヒータ用抵抗体２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を演算手
段１２の内部でのディジタル演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、スクリーニング作業工程を不
要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できる
ようになるといった効果を奏する。
【０１６１】請求項２２に記載の発明は、請求項１２乃
至２０のいずれか一項に記載の発熱量制御装置１０を用
いたフローセンサ２０において、前記発熱体２０２を用
いたヒータ用抵抗体２０２と、前記ヒータ用抵抗体２０
２の近傍に当該ヒータ用抵抗体２０２と所定距離を隔て
た近傍に設けられた測温抵抗体と、前記ヒータ用抵抗体
２０２が所定の発熱量を生成するように前記フィードバ
ック制御を実行する前記発熱量制御装置１０を有し、前
記発熱量制御装置１０が前記パルス信号を出力するタイ
ミングは、前記測温抵抗体を用いた流量測定に同期する
ように設定されている、ことを特徴とするフローセンサ
２０である。
【０１６２】請求項２２に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至２０のいずれか一項に記載の効果に加えて、フ
ィードバックループを構成する駆動電流検出手段１６を
設けることに依り、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温
度変化に応じてヒータ用抵抗体２０２の両端電圧を検出
電圧値に基づくディジタル量としての帰還量として検出
でき、周囲温度の影響に起因するヒータ用抵抗体２０２
の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を
奏する。
【０１６３】更に、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
の帰還量と目標電圧値との残差が減少するように、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミ
ングを用いて、定電流駆動手段１４をフィードバック制
御する演算手段１２をフィードバックループ内に設ける
ことに依り、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値の温度変化
に関係なく、パルス変調に固有の高精度でヒータ用抵抗
体２０２に供給される電力を一定に保持するフィードバ
ック制御を高い確度及び再現性を以て実現できるように
なるといった効果を奏する。
【０１６４】これに依り、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
フィードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が
生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタ
イミングを用いて、演算手段１２の内部でのディジタル
演算処理を実行しヒータ用抵抗体２０２に供給する駆動
電流Ｉを可変制御して、ヒータ用抵抗体２０２の抵抗値
の温度変化に関係なく、ヒータ用抵抗体２０２が発生す
る発熱量を一定に保持するフィードバック制御を高い確
度及び再現性を以て実現できるようになるといった効果
を奏する。
【０１６５】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号のパルス
数、パルス波高値、又はタイミングを用いて、高精度の
温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の
内部でのディジタル演算処理をヒータ用抵抗体２０２に
対して実行できるようになるといった効果を奏する。
【０１６６】又、パルス駆動回路１４１が生成するパル
ス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に
印加されている期間をパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミング
に依って一意的に制御できるようになるといった効果を
奏する。
【０１６７】その結果、ヒータ用抵抗体２０２の発熱動
作期間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号の
パルス数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意
的に制御できるようになる。
【０１６８】則ち、ヒータ用抵抗体２０２の発熱動作期
間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号のパル
ス数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意的に
制御できるようになり、発熱動作が要求された期間のみ
ヒータ用抵抗体２０２の発熱動作が選択的に可能となる
結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができ
るといった効果を奏する。
【０１６９】更に、ヒータ用抵抗体２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
駆動回路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パル
ス波高値、又はタイミングを用いて、ヒータ用抵抗体２
０２の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段
１２の内部でのディジタル演算処理をヒータ用抵抗体２
０２に対して実行できるようになり、発熱動作が要求さ
れた期間のみヒータ用抵抗体２０２の発熱動作が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０１７０】同様に、ヒータ用抵抗体２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス駆動回路１４１が生
成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイ
ミングを定電流駆動手段１４に印加しパルス駆動回路１
４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、
又はタイミングに応じてヒータ用抵抗体２０２を発熱さ
せる制御ができるようになり、ヒータ用抵抗体２０２が
発熱動作を実行している期間に同期して、パルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを用いたフィードバック制御を演算
手段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して
ヒータ用抵抗体２０２の温度補償を実行できるようにな
り、ヒータ用抵抗体２０２の発熱動作が要求された期間
のみ発熱動作ヒータ用抵抗体２０２の温度補償が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０１７１】又発熱量制御装置１０毎にヒータ用抵抗体
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を、フィード
バック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミング
を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、抵抗体の特性
を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるようにな
るといった効果を奏する。
【０１７２】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを用いた演算手段１２の内部でのデ
ィジタル演算処理に置き換えることができるようになる
結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化できるよう
になるといった効果を奏する。
【０１７３】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びヒータ用抵抗体２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を、フィードバック制御量としてのパルス駆動
回路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波
高値、又はタイミングを用いた演算手段１２の内部での
ディジタル演算処理に置き換えることができるようにな
る結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作業
工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削
減できるようになるといった効果を奏する。
【０１７４】その結果、ヒータ用抵抗体２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミ
ングを用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処
理に置き換えることができるようになる結果、スクリー
ニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０１７５】
【発明の実施の形態】初めに、図面に基づき、発熱量制
御装置の第１実施形態を説明する。
【０１７６】図１は、本発明の発熱量制御装置１０の第
１実施形態を説明するための回路図である。
【０１７７】本実施形態の発熱量制御装置１０は、印加
される駆動電流Ｉに応じた発熱量（単位は［ジュール又
はワット］）を制御する発熱量制御装置１０であって、
図１に示すように、定電流駆動手段１４と駆動電流検出
手段１６と演算手段１２を有している。
【０１７８】この様に構成されている発熱量制御装置１
０は、測温抵抗体の抵抗値の変化に基づいて測定流体の
流量、流速又は流れる方向等を測定する流量計（フロー
センサ）に用いることができる。
【０１７９】フローセンサは、発熱体２０２として用い
られるヒータ用抵抗体（マイクロヒータと通常呼ばれて
いる）２０２と、ヒータ用抵抗体２０２に対して所定距
離を隔てた近傍に設けられた測温抵抗体と同一基板上に
有し、ヒータ用抵抗体２０２が生成した熱が測定流体
（具体的には、ＬＰガスや都市ガス）を拡散する度合い
を測温抵抗体の抵抗値の変化を用いて検出し、この測温
抵抗体の抵抗値の変化に基づいて測定流体の流量、流速
又は流れる方向等を測定する機能を有している。なお、
第１実施形態の発熱量制御装置１０を用いたフローセン
サの実施形態は後述する。
【０１８０】以下に、発熱量制御装置１０の構成と作用
効果を説明する。
【０１８１】発熱体（マイクロヒータ）２０２として
は、印加される駆動電流Ｉに応じたジュール熱を発生す
る金属抵抗体を用いることができる。金属抵抗体として
は、Ｎｉ・Ｃｒ系合金抵抗体、Ｎｉ・Ｃｒ・Ａｌ系合金
抵抗体、白金（Ｐｔ）抵抗体、白金・ロジウム合金抵抗
体、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングス
テン（Ｗ）等の高融点金属合金抵抗体等を用いることが
望ましい。
【０１８２】マイクロヒータ２０２として金属抵抗体を
用いた場合、フィードバックループを構成する駆動電流
検出手段１６を設けることに依り、金属抵抗体の抵抗値
の温度変化に応じて金属抵抗体の両端電圧を検出電圧値
に基づく帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起因
する金属抵抗体の抵抗値の変化を検出できるようになる
といった効果を奏する。
【０１８３】更に、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応
じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように定電流駆動手段１４をフィードバック制
御する演算手段１２をフィードバックループ内に設ける
ことに依り、金属抵抗体に供給される電力を金属抵抗体
の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィード
バック制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０１８４】これに依り、金属抵抗体の抵抗値が周囲温
度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段１
２の内部演算処理を用いて金属抵抗体に供給する駆動電
流Ｉを可変制御して、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に
関係なく、金属抵抗体が発生する発熱量を一定に保持す
るフィードバック制御ができるようになるといった効果
を奏する。
【０１８５】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部演算処理を用いて
簡便に金属抵抗体に対して実行できるようになるといっ
た効果を奏する。
【０１８６】又発熱量制御装置１０毎に金属抵抗体とリ
ファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のばらつきや温
度係数）を一致させる作業工程を演算手段１２の内部演
算処理に置き換えることができるようになる結果、抵抗
体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できる
ようになるといった効果を奏する。
【０１８７】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【０１８８】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及び金属抵抗体の抵抗値
のばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程を
演算手段１２の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整
する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し
労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０１８９】その結果、金属抵抗体とリファレンス抵抗
体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置１０毎に高
精度でスクリーニングする作業工程を演算手段１２の内
部演算処理に置き換えることができるようになる結果、
スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間
を短縮化し労力を削減できるようになるといった効果を
奏する。
【０１９０】又マイクロヒータ２０２としては、印加さ
れる駆動電流Ｉに応じたジュール熱を発生する非金属抵
抗体を用いることも可能である。ここで非金属抵抗体と
は、炭化ケイ素抵抗体、モリブデンケイ素抵抗体、炭素
抵抗体等を意味する。なお、効果は金属抵抗体の場合と
同様なので省略する。
【０１９１】定電流駆動手段１４は、演算手段１２から
出力されるディジタル信号としてのフィードバック制御
量に基づいて駆動電流Ｉを定電流化してマイクロヒータ
２０２に出力するように構成されている。
【０１９２】定電流駆動手段１４は、具体的には、図１
に示すように、Ｄ／Ａ変換回路１４2と定電流発生回路
１４４を有している。
【０１９３】Ｄ／Ａ変換回路１４2は、演算手段１２か
ら出力されるディジタル信号（具体的には、論理信号）
としてのフィードバック制御量をアナログ変換する機能
を有している。
【０１９４】定電流発生回路１４４は、Ｄ／Ａ変換回路
１４2においてアナログ変換されたフィードバック制御
量（具体的には、オペアンプ１４４に入力可能なアナロ
グ電圧信号）に基づいて駆動電流Ｉを定電流化してマイ
クロヒータ２０２に出力する機能を有している。
【０１９５】具体的には、定電流発生回路１４４は、オ
ペアンプ１４４とトランジスタ１４6と抵抗素子１４8，
１５0から構成されている。
【０１９６】オペアンプ１４４の出力端子にはトランジ
スタ１４6のベースが接続され、トランジスタ１４6のエ
ミッタと（−）側の入力端子の間には抵抗素子１４8が
接続され、（−）側の入力端子と接地電位間には抵抗素
子１５0が接続され、Ｄ／Ａ変換回路１４2においてアナ
ログ変換されたフィードバック制御量が（＋）側の入力
端子に入力され、トランジスタ１４6のエミッタにはフ
ローセンサ２０のマイクロヒータ２０２が接続され、定
電流が駆動電流Ｉとしてマイクロヒータ２０２に出力さ
れるるように構成されている。
【０１９７】以上説明したように、マイクロヒータ２０
２の抵抗値の温度変化に応じた検出電圧値に基づくディ
ジタル量としてＡ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量
と目標電圧値との残差が減少するように、ディジタル信
号としてのフィードバック制御量に基づいて定電流駆動
手段１４をフィードバック制御する演算手段１２をフィ
ードバックループ内に設けることに依り、マイクロヒー
タ２０２に供給される電力をマイクロヒータ２０２の抵
抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィードバッ
ク制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０１９８】駆動電流検出手段１６は、駆動電流Ｉが印
加された際にマイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化
に応じて、このマイクロヒータ２０２の両端に生じる電
圧を検出電圧値として検出する機能を有している。
【０１９９】駆動電流検出手段１６は、マイクロヒータ
２０２の両端において検出した検出電圧値に基づいて帰
還量を生成しこの生成した帰還量を演算手段１２に帰還
するように構成されている。
【０２００】この様な制御ループを構成する駆動電流検
出手段１６を設けることに依り、マイクロヒータ２０２
の抵抗値の温度変化に応じてマイクロヒータ２０２の両
端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として検出でき、周
囲温度の影響に起因するマイクロヒータ２０２の抵抗値
の変化を検出できるようになるといった効果を奏する。
【０２０１】更に具体的に、駆動電流検出手段１６を説
明する。
【０２０２】駆動電流検出手段１６は、マイクロヒータ
２０２の抵抗値変化に対して検出した検出電圧値に基づ
いて帰還量を生成し、この生成した帰還量をディジタル
信号に変換して演算手段１２に帰還するように構成され
ており、電圧増幅回路１６４とＡ／Ｄ変換回路１６２を
有している。
【０２０３】電圧増幅回路１６４は、マイクロヒータ２
０２の抵抗値変化に対して検出した検出電圧値に基づい
て帰還量をアナログ信号として生成する機能を有してい
る。
【０２０４】電圧増幅回路１６４は、オペアンプを用い
て実現することが望ましい。この場合、オペアンプの
（−）側の入力端子と出力端子間に抵抗素子１６６が接
続され、（−）側の入力端子と接地電位間に抵抗素子１
６８が接続され、マイクロヒータ２０２の抵抗値変化に
対して検出した検出電圧値は（＋）側の入力端子に入力
され、生成されるアナログ信号は出力端子から出力され
るような回路構成となっている。
【０２０５】Ａ／Ｄ変換回路１６２は、電圧増幅回路１
６４が生成したアナログ信号（則ち、オペアンプの出力
端子から出力されるアナログ信号）をディジタル信号に
変換（則ち、アナログ／ディジタル信号変換）すると同
時に、このディジタル変換された帰還量をフィードバッ
クループ上の演算手段１２に帰還する機能を有してい
る。
【０２０６】以上説明したように、フィードバックルー
プを構成する駆動電流検出手段１６を設けることに依
り、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に応じて
マイクロヒータ２０２の両端電圧を検出電圧値に基づく
ディジタル量としてＡ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰
還量として検出でき、周囲温度の影響に起因するマイク
ロヒータ２０２の抵抗値の変化を検出できるようになる
といった効果を奏する。
【０２０７】更に、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
Ａ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量と目標電圧値と
の残差が減少するように定電流駆動手段１４をフィード
バック制御する演算手段１２をフィードバックループ内
に設けることに依り、マイクロヒータ２０２に供給され
る電力をマイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関
係なく一定に保持するフィードバック制御ができるよう
になるといった効果を奏する。
【０２０８】これに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
演算手段１２の内部でのディジタル演算処理を用いてマ
イクロヒータ２０２に供給する駆動電流Ｉを可変制御し
て、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関係な
く、マイクロヒータ２０２が発生する発熱量を一定に保
持するフィードバック制御ができるようになるといった
効果を奏する。
【０２０９】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便にマイクロヒータ２０２に対して実
行できるようになるといった効果を奏する。
【０２１０】演算手段１２は、マイクロヒータ２０２が
所定の発熱量を生成するために要する駆動電流Ｉをマイ
クロヒータ２０２に印加した際にこのマイクロヒータ２
０２の両端に生じる電圧を目標電圧値として設定しこの
目標電圧値に応じた駆動電流Ｉを出力するように定電流
駆動手段１４を制御すると同時に、駆動電流検出手段１
６が検出した検出電圧値とこの目標電圧値とを比較しこ
の検出電圧値とこの目標電圧値との残差が減少するよう
に定電流駆動手段１４を制御する機能を有している。
【０２１１】演算手段１２は、定電流駆動手段１４から
出力される駆動電流Ｉに関して、駆動電流検出手段１６
と共にフィードバックループを形成し、駆動電流検出手
段１６から帰還される帰還量と目標電圧値との残差が減
少するように定電流駆動手段１４に対するフィードバッ
ク制御を実行するように構成されている。
【０２１２】演算手段１２は、具体的には、図１に示す
ように、駆動電流検出手段１６から帰還されるディジタ
ル変換された帰還量と目標電圧値との残差を減少させる
フィードバック制御を実行する際に、定電流駆動手段１
４に対するフィードバック制御量をディジタル信号とし
て出力するように構成されている。この様な機能を有す
る演算手段１２は、制御処理用のプロセッサ、内部演算
処理のプログラムコードが記述されたプログラム記憶用
のＲＯＭ、演算記憶用のＲＡＭ、通信インタフェースを
中心にして構成されているマイクロコンピュータに依っ
て実現することが望ましい。
【０２１３】この様に、マイクロヒータ２０２の抵抗値
の温度変化に応じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電
圧値との残差が減少するように定電流駆動手段１４をフ
ィードバック制御する演算手段１２をフィードバックル
ープ内に設けることに依り、マイクロヒータ２０２に供
給される電力をマイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変
化に関係なく一定に保持するフィードバック制御ができ
るようになるといった効果を奏する。
【０２１４】則ち、マイクロヒータ２０２の抵抗値が周
囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手
段１２の内部演算処理を用いてマイクロヒータ２０２に
供給する駆動電流Ｉを可変制御して、マイクロヒータ２
０２の抵抗値の温度変化に関係なく、マイクロヒータ２
０２が発生する発熱量を一定に保持するフィードバック
制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０２１５】演算手段１２の内部演算処理は、プログラ
ムコードで記述され制御処理用のプロセッサによって実
行されるプログラム処理を用いて実行することが望まし
い。
【０２１６】その結果、高精度の温度補償制御を演算手
段１２の内部演算処理を用いて簡便にマイクロヒータ２
０２に対して実行できるようになるといった効果を奏す
る。
【０２１７】又発熱量制御装置１０毎にマイクロヒータ
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（具体的に
は、抵抗値のばらつきや温度係数）を一致させる作業工
程を演算手段１２の内部演算処理に置き換えることがで
きるようになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工
程を不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏
する。
【０２１８】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、温度係数の調整作業を不要又
は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【０２１９】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びマイクロヒータ２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を演算手段１２の内部演算処理に置き換えるこ
とができるようになる結果、ばらつき及び温度係数を測
定して調整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間
を短縮化し労力を削減できるようになるといった効果を
奏する。
【０２２０】その結果、マイクロヒータ２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を演算手
段１２の内部演算処理に置き換えることができるように
なる結果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化し
て作業時間を短縮化し労力を削減できるようになるとい
った効果を奏する。
【０２２１】次に、図面に基づき、第１実施形態の発熱
量制御装置を用いたフローセンサの実施形態を説明す
る。
【０２２２】図１は、第１実施形態の発熱量制御装置１
０を用いたフローセンサ２０を説明するための回路図で
ある。なお、第１実施形態の発熱量制御装置１０におい
て既に記述したものと同一の部分については、同一符号
を付し、重複した説明は省略する。
【０２２３】図１に示すフローセンサ２０は、マイクロ
ヒータ２０２と測温抵抗体と発熱量制御装置１０を有
し、基台上にマイクロヒータ２０２とこのマイクロヒー
タ２０２に対して所定距離を隔てた近傍に独立して設け
られた測温抵抗体を有し、マイクロヒータ２０２が生成
した熱が測定流体を拡散する度合いを測温抵抗体の抵抗
値の変化を用いて検出することに依り、この測温抵抗体
の抵抗値の変化に基づいて測定流体（具体的には、ＬＰ
ガス）の流量、流速又は流れる方向等を測定する機能を
有している。マイクロヒータ２０２は、前述のマイクロ
ヒータ２０２を用いた薄膜形状の素子である。
【０２２４】測温抵抗体は、マイクロヒータ２０２の近
傍にこのマイクロヒータ２０２と所定距離を隔てた近傍
に設けられた薄膜形状の素子である。
【０２２５】発熱量制御装置１０は、マイクロヒータ２
０２が所定の発熱量を生成するようにフィードバック制
御を実行するために用いられている。
【０２２６】則ち、フィードバックループを構成する駆
動電流検出手段１６を設けることに依り、マイクロヒー
タ２０２の抵抗値の温度変化に応じてマイクロヒータ２
０２の両端電圧を検出電圧値に基づくディジタル量とし
てＡ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量として検出で
き、周囲温度の影響に起因するマイクロヒータ２０２の
抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を奏
する。
【０２２７】更に、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
Ａ／Ｄ変換回路１６２が生成する帰還量と目標電圧値と
の残差が減少するように定電流駆動手段１４をフィード
バック制御する演算手段１２をフィードバックループ内
に設けることに依り、マイクロヒータ２０２に供給され
る電力をマイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関
係なく一定に保持するフィードバック制御ができるよう
になるといった効果を奏する。
【０２２８】これに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
演算手段１２の内部でのディジタル演算処理を用いてマ
イクロヒータ２０２に供給する駆動電流Ｉを可変制御し
て、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関係な
く、マイクロヒータ２０２が発生する発熱量を一定に保
持するフィードバック制御ができるようになるといった
効果を奏する。
【０２２９】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便にマイクロヒータ２０２に対して実
行できるようになるといった効果を奏する。
【０２３０】又発熱量制御装置１０毎にマイクロヒータ
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を演算手段１
２の内部でのディジタル演算処理に置き換えることがで
きるようになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工
程を不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏
する。
【０２３１】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、温度係数の調
整作業を不要又は簡略化できるようになるといった効果
を奏する。
【０２３２】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びマイクロヒータ２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理
に置き換えることができるようになる結果、ばらつき及
び温度係数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略
化して作業時間を短縮化し労力を削減できるようになる
といった効果を奏する。
【０２３３】その結果、マイクロヒータ２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を演算手
段１２の内部でのディジタル演算処理に置き換えること
ができるようになる結果、スクリーニング作業工程を不
要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できる
ようになるといった効果を奏する。
【０２３４】次に、図面に基づき、発熱量制御装置の第
２実施形態を説明する。
【０２３５】図２は、本発明の発熱量制御装置１０の第
２実施形態を説明するための回路図である。なお、第１
実施形態の発熱量制御装置１０において既に記述したも
のと同一の部分については、同一符号を付し、重複した
説明は省略する。
【０２３６】本実施形態では、演算手段１２が、駆動電
流検出手段１６から帰還されるディジタル変換された帰
還量と目標電圧値との残差を減少させるフィードバック
制御を実行する際に、定電流駆動手段１４に対するフィ
ードバック制御量をパルス信号として出力するように構
成されている点に特徴を有している。
【０２３７】演算手段１２は、駆動電流検出手段１６か
ら帰還されるディジタル変換された帰還量に応じて、検
出電圧値と目標電圧値との残差が減少するようにパルス
信号のパルス幅を可変設定する機能を有している。
【０２３８】則ち、パルス信号のパルス幅を任意に設定
可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に印加され
ている期間をパルス信号のパルス幅に依って一意的に制
御できるようになるといった効果を奏する。
【０２３９】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス信号のパルス幅に依って一意的に制御で
きるようになる。
【０２４０】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス信号のパルス幅に依って一意的に制御できる
ようになり、発熱動作が要求された期間のみマイクロヒ
ータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱
動作に対する低消費電力化を図ることができるといった
効果を奏する。
【０２４１】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
信号のパルス幅を用いて、マイクロヒータ２０２の温度
補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の内部
でディジタル演算処理を実行するマイクロヒータ２０２
に対して実行できるようになり、発熱動作が要求された
期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可
能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図るこ
とができるといった効果を奏する。
【０２４２】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加しパルス信号のパルス幅に応じてマイクロ
ヒータ２０２を発熱させる制御ができるようになり、マ
イクロヒータ２０２が発熱動作を実行している期間に同
期して、パルス信号のパルス幅を用いたフィードバック
制御を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に依
り実行してマイクロヒータ２０２の温度補償を実行でき
るようになり、マイクロヒータ２０２の発熱動作が要求
された期間のみ発熱動作マイクロヒータ２０２の温度補
償が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費
電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０２４３】又演算手段１２は、駆動電流検出手段１６
から帰還されるディジタル変換された帰還量に応じて、
検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するように単位
時間当たりに出力するパルス数を可変設定してパルス信
号を生成する機能も有している。
【０２４４】則ち、パルス信号のパルス数を任意に設定
可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に印加され
ている期間をパルス信号のパルス数に依って一意的に制
御できるようになるといった効果を奏する。
【０２４５】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス信号のパルス数に依って一意的に制御で
きるようになる。
【０２４６】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス信号のパルス数に依って一意的に制御できる
ようになり、発熱動作が要求された期間のみマイクロヒ
ータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱
動作に対する低消費電力化を図ることができるといった
効果を奏する。
【０２４７】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
信号のパルス数を用いて、マイクロヒータ２０２の温度
補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の内部
でディジタル演算処理を実行するマイクロヒータ２０２
に対して実行できるようになり、発熱動作が要求された
期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可
能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図るこ
とができるといった効果を奏する。
【０２４８】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加しパルス信号のパルス数に応じてマイクロ
ヒータ２０２を発熱させる制御ができるようになり、マ
イクロヒータ２０２が発熱動作を実行している期間に同
期して、パルス信号のパルス数を用いたフィードバック
制御を演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に依
り実行してマイクロヒータ２０２の温度補償を実行でき
るようになり、マイクロヒータ２０２の発熱動作が要求
された期間のみ発熱動作マイクロヒータ２０２の温度補
償が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費
電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０２４９】又演算手段１２は、駆動電流検出手段１６
から帰還されるディジタル変換された帰還量に応じて、
検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するようにパル
ス信号のパルス波高値を可変設定する機能も有してい
る。
【０２５０】則ち、パルス信号のパルス波高値を任意に
設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に印加
されている期間をパルス信号のパルス波高値に依って一
意的に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０２５１】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス信号のパルス波高値に依って一意的に制
御できるようになる。
【０２５２】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス信号のパルス波高値に依って一意的に制御で
きるようになり、発熱動作が要求された期間のみマイク
ロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、
発熱動作に対する低消費電力化を図ることができるとい
った効果を奏する。
【０２５３】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
信号のパルス波高値を用いて、マイクロヒータ２０２の
温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の
内部でディジタル演算処理を実行するマイクロヒータ２
０２に対して実行できるようになり、発熱動作が要求さ
れた期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０２５４】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加しパルス信号のパルス波高値に応じてマイ
クロヒータ２０２を発熱させる制御ができるようにな
り、マイクロヒータ２０２が発熱動作を実行している期
間に同期して、パルス信号のパルス波高値を用いたフィ
ードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル演
算処理に依り実行してマイクロヒータ２０２の温度補償
を実行できるようになり、マイクロヒータ２０２の発熱
動作が要求された期間のみ発熱動作マイクロヒータ２０
２の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動作に対
する低消費電力化を図ることができるといった効果を奏
する。
【０２５５】又演算手段１２は、駆動電流検出手段１６
から帰還されるディジタル変換された帰還量に応じて、
検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するようにパル
ス信号を出力するタイミングを設定する機能も有してい
る。
【０２５６】則ち、パルス信号の出力タイミングを任意
に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に印
加されている期間をパルス信号の出力タイミングに依っ
て一意的に制御できるようになるといった効果を奏す
る。
【０２５７】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス信号の出力タイミングに依って一意的に
制御できるようになる。
【０２５８】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス信号の出力タイミングに依って一意的に制御
できるようになり、発熱動作が要求された期間のみマイ
クロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【０２５９】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
信号の出力タイミングを用いて、マイクロヒータ２０２
の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２
の内部でディジタル演算処理を実行するマイクロヒータ
２０２に対して実行できるようになり、発熱動作が要求
された期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択
的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を
図ることができるといった効果を奏する。
【０２６０】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加しパルス信号の出力タイミングに応じてマ
イクロヒータ２０２を発熱させる制御ができるようにな
り、マイクロヒータ２０２が発熱動作を実行している期
間に同期して、パルス信号の出力タイミングを用いたフ
ィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタル
演算処理に依り実行してマイクロヒータ２０２の温度補
償を実行できるようになり、マイクロヒータ２０２の発
熱動作が要求された期間のみ発熱動作マイクロヒータ２
０２の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動作に
対する低消費電力化を図ることができるといった効果を
奏する。
【０２６１】具体的には、パルス信号の出力タイミング
をフローセンサ２０が流量を測定するタイミングに設定
し、パルス幅を２０ｍｓ（デューティ２０％）、パルス
波高値を電源電位Ｖcc、又単位時間当たりに出力するパ
ルス数を６秒当たり１回、４回、８回に設定している。
【０２６２】定電流駆動手段１４は、演算手段１２から
出力されるパルス信号としてのフィードバック制御量に
基づいて駆動電流Ｉを定電流化してマイクロヒータ２０
２に出力する機能を有している。
【０２６３】具体的には、定電流駆動手段１４は、図２
に示すように、前述の定電流発生回路１４４とパルス駆
動回路１４１を有している。
【０２６４】定電流発生回路１４４は、パルス信号に基
づいて駆動電流Ｉを定電流化してマイクロヒータ２０２
に出力する機能を有している。
【０２６５】パルス駆動回路１４１は、演算手段１２か
ら出力されるパルス信号を所定の電圧レベル（具体的に
は、電源電位Ｖcc−接地電位）のパルス信号に変換する
ｐチャネル型のＭＯＳＦＥＴ１４１２と、このＭＯＳＦ
ＥＴ１４１２のゲート電位を制御するためのトランジス
タ１４１４によって構成されている。
【０２６６】ＭＯＳＦＥＴ１４１２のドレインは電源電
位Ｖccに接続され、ソースはオペアンプ１４４の（＋）
入力端子に接続されている。ここでトランジスタ１４１
４は、エミッタが接地された状態で、演算手段１２の出
力信号がベースに入力されている。
【０２６７】具体的なパルス駆動回路１４１は、演算手
段１２がパルス信号（論理信号）をトランジスタ１４１
４に入力し、トランジスタ１４１４がパルス信号に応じ
てＭＯＳＦＥＴ１４１２をスイッチング制御し、ＭＯＳ
ＦＥＴ１４１２がパルス信号の論理値Ｌに応じて活性化
されて電源電位Ｖccの信号レベルを有するパルス信号を
出力し、又パルス信号の論理値Ｈに応じて不活性化され
て接地電位の信号レベルを有するパルス信号を出力す
る。
【０２６８】定電流発生回路１４４は、パルス駆動回路
１４１において所定の電圧レベルに変換されたフィード
バック制御量に基づいて駆動電流Ｉを定電流化してマイ
クロヒータ２０２に出力する機能を有している。
【０２６９】則ち、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
の帰還量と目標電圧値との残差が減少するように、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号を用いて、定電流駆動手段１４をフィー
ドバック制御する演算手段１２をフィードバックループ
内に設けることに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗値
の温度変化に関係なく、パルス変調に固有の高精度でマ
イクロヒータ２０２に供給される電力を一定に保持する
フィードバック制御を高い確度及び再現性を以て実現で
きるようになるといった効果を奏する。
【０２７０】これに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
フィードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が
生成するパルス信号を用いて、演算手段１２の内部での
ディジタル演算処理を実行しマイクロヒータ２０２に供
給する駆動電流Ｉを可変制御して、マイクロヒータ２０
２の抵抗値の温度変化に関係なく、マイクロヒータ２０
２が発生する発熱量を一定に保持するフィードバック制
御を高い確度及び再現性を以て実現できるようになると
いった効果を奏する。
【０２７１】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号を用いて、
高精度の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手
段１２の内部でディジタル演算処理を実行するマイクロ
ヒータ２０２に対して実行できるようになるといった効
果を奏する。
【０２７２】又、パルス駆動回路１４１が生成するパル
ス信号を任意に設定可能とすることに依り、定電流駆動
手段１４に印加されている期間をパルス駆動回路１４１
が生成するパルス信号に依って一意的に制御できるよう
になるといった効果を奏する。
【０２７３】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号に
依って一意的に制御できるようになる。
【０２７４】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号に依っ
て一意的に制御できるようになり、発熱動作が要求され
た期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的に
可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図る
ことができるといった効果を奏する。
【０２７５】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
駆動回路１４１が生成するパルス信号を用いて、マイク
ロヒータ２０２の温度補償にかかるフィードバック制御
を演算手段１２の内部でディジタル演算処理を実行する
マイクロヒータ２０２に対して実行できるようになり、
発熱動作が要求された期間のみマイクロヒータ２０２の
発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する
低消費電力化を図ることができるといった効果を奏す
る。
【０２７６】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス駆動回路１４１が生
成するパルス信号を定電流駆動手段１４に印加しパルス
駆動回路１４１が生成するパルス信号に応じてマイクロ
ヒータ２０２を発熱させる制御ができるようになり、マ
イクロヒータ２０２が発熱動作を実行している期間に同
期して、パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号を
用いたフィードバック制御を演算手段１２の内部でのデ
ィジタル演算処理に依り実行してマイクロヒータ２０２
の温度補償を実行できるようになり、マイクロヒータ２
０２の発熱動作が要求された期間のみ発熱動作マイクロ
ヒータ２０２の温度補償が選択的に可能となる結果、発
熱動作に対する低消費電力化を図ることができるといっ
た効果を奏する。
【０２７７】又発熱量制御装置１０毎にマイクロヒータ
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を、フィード
バック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号を用いた演算手段１２の内部でのディジタル
演算処理に置き換えることができるようになる結果、抵
抗体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化でき
るようになるといった効果を奏する。
【０２７８】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号を用いた演算手段１２の
内部でのディジタル演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０２７９】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びマイクロヒータ２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を、フィードバック制御量としてのパルス駆動
回路１４１が生成するパルス信号を用いた演算手段１２
の内部でのディジタル演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調
整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０２８０】その結果、マイクロヒータ２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号を用いた演算手段１２の内部でのディジ
タル演算処理に置き換えることができるようになる結
果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【０２８１】本実施形態では、設定器１８を用いること
が可能である。
【０２８２】設定器１８は、演算手段１２に接続され、
パルス信号のパルス幅、単位時間当たりに出力するパル
ス数、パルス波高値又はタイミングの少なくともいずれ
かを演算手段１２に代わって設定する機能を有してい
る。
【０２８３】具体的には、汎用のインターフェースを介
して発熱量制御装置１０に接続されたデータターミナル
や携帯端末を用いることが望ましい。
【０２８４】この様な設定器１８を外部接続可能とする
ことに依り、発熱量制御装置１０の外部からパルス信号
のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを任意に設
定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に印加さ
れている期間を、設定器１８を用いて設定したパルス
数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意的に制
御できるようになるといった効果を奏する。
【０２８５】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間を設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス
波高値、又はタイミングに依って一意的に制御できるよ
うになる。
【０２８６】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間を、設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス波
高値、又はタイミングに依って一意的に制御できるよう
になり、発熱動作が要求された期間のみマイクロヒータ
２０２の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作
に対する低消費電力化を図ることができるといった効果
を奏する。
【０２８７】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、設定器１８を用いて設定したパルス
数、パルス波高値、又はタイミングを用いて、マイクロ
ヒータ２０２の温度補償にかかるフィードバック制御を
演算手段１２の内部でディジタル演算処理を実行するマ
イクロヒータ２０２に対して実行できるようになり、発
熱動作が要求された期間のみマイクロヒータ２０２の発
熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低
消費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０２８８】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加し設定器１８を用いて設定したパルス数、
パルス波高値、又はタイミングに応じてマイクロヒータ
２０２を発熱させる制御ができるようになり、マイクロ
ヒータ２０２が発熱動作を実行している期間に同期し
て、設定器１８を用いて設定したパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを用いたフィードバック制御を演算
手段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して
マイクロヒータ２０２の温度補償を実行できるようにな
り、マイクロヒータ２０２の発熱動作が要求された期間
のみ発熱動作マイクロヒータ２０２の温度補償が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０２８９】以上説明したように、本実施形態の発熱量
制御装置１０に依れば、フィードバックループを構成す
る駆動電流検出手段１６を設けることに依り、マイクロ
ヒータ２０２の抵抗値の温度変化に応じてマイクロヒー
タ２０２の両端電圧を検出電圧値に基づくディジタル量
としての帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起因
するマイクロヒータ２０２の抵抗値の変化を検出できる
ようになるといった効果を奏する。
【０２９０】更に、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
の帰還量と目標電圧値との残差が減少するように、フィ
ードバック制御量としてのパルス信号を用いて、定電流
駆動手段１４をフィードバック制御する演算手段１２を
フィードバックループ内に設けることに依り、マイクロ
ヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関係なく、パルス変
調に固有の高精度でマイクロヒータ２０２に供給される
電力を一定に保持するフィードバック制御を高い確度及
び再現性を以て実現できるようになるといった効果を奏
する。
【０２９１】これに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
フィードバック制御量としてのパルス信号を用いて、演
算手段１２の内部でのディジタル演算処理を実行しマイ
クロヒータ２０２に供給する駆動電流Ｉを可変制御し
て、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化に関係な
く、マイクロヒータ２０２が発生する発熱量を一定に保
持するフィードバック制御を高い確度及び再現性を以て
実現できるようになるといった効果を奏する。
【０２９２】その結果、フィードバック制御量としての
パルス信号を用いて、高精度の温度補償にかかるフィー
ドバック制御を演算手段１２の内部でディジタル演算処
理を実行するマイクロヒータ２０２に対して実行できる
ようになるといった効果を奏する。
【０２９３】又、パルス信号が定電流駆動手段１４に印
加されている間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作を
可能とすることができるようになり、発熱動作が要求さ
れた期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０２９４】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
信号を用いて、マイクロヒータ２０２の温度補償にかか
るフィードバック制御を演算手段１２の内部でディジタ
ル演算処理を実行するマイクロヒータ２０２に対して実
行できるようになり、発熱動作が要求された期間のみマ
イクロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【０２９５】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス信号を定電流駆動手
段１４に印加してマイクロヒータ２０２を発熱させる制
御ができるようになり、マイクロヒータ２０２が発熱動
作を実行している期間に同期して、パルス信号を用いた
フィードバック制御を演算手段１２の内部でのディジタ
ル演算処理に依り実行してマイクロヒータ２０２の温度
補償を実行できるようになり、マイクロヒータ２０２の
発熱動作が要求された期間のみ発熱動作マイクロヒータ
２０２の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動作
に対する低消費電力化を図ることができるといった効果
を奏する。
【０２９６】又発熱量制御装置１０毎にマイクロヒータ
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を、フィード
バック制御量としてのパルス信号を用いた演算手段１２
の内部でのディジタル演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程
を不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏す
る。
【０２９７】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス信号を
用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に置
き換えることができるようになる結果、温度係数の調整
作業を不要又は簡略化できるようになるといった効果を
奏する。
【０２９８】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びマイクロヒータ２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を、フィードバック制御量としてのパルス信号
を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、ばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化
して作業時間を短縮化し労力を削減できるようになると
いった効果を奏する。
【０２９９】その結果、マイクロヒータ２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を、フィ
ードバック制御量としてのパルス信号を用いた演算手段
１２の内部でのディジタル演算処理に置き換えることが
できるようになる結果、スクリーニング作業工程を不要
又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３００】次に、図面に基づき、第２実施形態の発熱
量制御装置を用いたフローセンサの実施形態を説明す
る。
【０３０１】図２は、第２実施形態の発熱量制御装置１
０を用いたフローセンサ２０の第２実施形態を説明する
ための回路図である。なお、第１実施形態の発熱量制御
装置１０、第１実施形態の発熱量制御装置１０を用いた
フローセンサの実施形態、又は第２実施形態の発熱量制
御装置１０において既に記述したものと同一の部分につ
いては、同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【０３０２】本実施形態のフローセンサ２０は、マイク
ロヒータ２０２を用いたマイクロヒータ２０２と、マイ
クロヒータ２０２の近傍にこのマイクロヒータ２０２と
所定距離を隔てた近傍に設けられた測温抵抗体と、マイ
クロヒータ２０２が所定の発熱量を生成するようにフィ
ードバック制御を実行する発熱量制御装置１０を有して
いる。
【０３０３】この場合、発熱量制御装置１０がパルス信
号を出力するタイミングは、測温抵抗体を用いた流量測
定に同期するように設定されている。
【０３０４】以上説明したように、本実施形態のフロー
センサ２０に依れば、フィードバックループを構成する
駆動電流検出手段１６を設けることに依り、マイクロヒ
ータ２０２の抵抗値の温度変化に応じてマイクロヒータ
２０２の両端電圧を検出電圧値に基づくディジタル量と
しての帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起因す
るマイクロヒータ２０２の抵抗値の変化を検出できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３０５】更に、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温
度変化に応じた検出電圧値に基づくディジタル量として
の帰還量と目標電圧値との残差が減少するように、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミ
ングを用いて、定電流駆動手段１４をフィードバック制
御する演算手段１２をフィードバックループ内に設ける
ことに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗値の温度変化
に関係なく、パルス変調に固有の高精度でマイクロヒー
タ２０２に供給される電力を一定に保持するフィードバ
ック制御を高い確度及び再現性を以て実現できるように
なるといった効果を奏する。
【０３０６】これに依り、マイクロヒータ２０２の抵抗
値が周囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、
フィードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が
生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタ
イミングを用いて、演算手段１２の内部でのディジタル
演算処理を実行しマイクロヒータ２０２に供給する駆動
電流Ｉを可変制御して、マイクロヒータ２０２の抵抗値
の温度変化に関係なく、マイクロヒータ２０２が発生す
る発熱量を一定に保持するフィードバック制御を高い確
度及び再現性を以て実現できるようになるといった効果
を奏する。
【０３０７】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路１４１が生成するパルス信号のパルス
数、パルス波高値、又はタイミングを用いて、高精度の
温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段１２の
内部でディジタル演算処理を実行するマイクロヒータ２
０２に対して実行できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３０８】又、パルス駆動回路１４１が生成するパル
ス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段１４に
印加されている期間をパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミング
に依って一意的に制御できるようになるといった効果を
奏する。
【０３０９】その結果、マイクロヒータ２０２の発熱動
作期間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号の
パルス数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意
的に制御できるようになる。
【０３１０】則ち、マイクロヒータ２０２の発熱動作期
間をパルス駆動回路１４１が生成するパルス信号のパル
ス数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意的に
制御できるようになり、発熱動作が要求された期間のみ
マイクロヒータ２０２の発熱動作が選択的に可能となる
結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができ
るといった効果を奏する。
【０３１１】更に、マイクロヒータ２０２の発熱動作の
開始に同期して、フィードバック制御量としてのパルス
駆動回路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パル
ス波高値、又はタイミングを用いて、マイクロヒータ２
０２の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段
１２の内部でディジタル演算処理を実行するマイクロヒ
ータ２０２に対して実行できるようになり、発熱動作が
要求された期間のみマイクロヒータ２０２の発熱動作が
選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力
化を図ることができるといった効果を奏する。
【０３１２】同様に、マイクロヒータ２０２の発熱動作
要求が生じた期間に限定してパルス駆動回路１４１が生
成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイ
ミングを定電流駆動手段１４に印加しパルス駆動回路１
４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、
又はタイミングに応じてマイクロヒータ２０２を発熱さ
せる制御ができるようになり、マイクロヒータ２０２が
発熱動作を実行している期間に同期して、パルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを用いたフィードバック制御を演算
手段１２の内部でのディジタル演算処理に依り実行して
マイクロヒータ２０２の温度補償を実行できるようにな
り、マイクロヒータ２０２の発熱動作が要求された期間
のみ発熱動作マイクロヒータ２０２の温度補償が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０３１３】又発熱量制御装置１０毎にマイクロヒータ
２０２とリファレンス抵抗体１５０の特性（抵抗値のば
らつきや温度係数）を一致させる作業工程を、フィード
バック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成する
パルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミング
を用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処理に
置き換えることができるようになる結果、抵抗体の特性
を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるようにな
るといった効果を奏する。
【０３１４】又、発熱量制御装置１０毎の温度係数の調
整作業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回
路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高
値、又はタイミングを用いた演算手段１２の内部でのデ
ィジタル演算処理に置き換えることができるようになる
結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化できるよう
になるといった効果を奏する。
【０３１５】具体的には、発熱量制御装置１０毎のリフ
ァレンス抵抗体１５０の抵抗値及びマイクロヒータ２０
２の抵抗値のばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を、フィードバック制御量としてのパルス駆動
回路１４１が生成するパルス信号のパルス数、パルス波
高値、又はタイミングを用いた演算手段１２の内部での
ディジタル演算処理に置き換えることができるようにな
る結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作業
工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削
減できるようになるといった効果を奏する。
【０３１６】その結果、マイクロヒータ２０２とリファ
レンス抵抗体１５０の特性を製造工程で発熱量制御装置
１０毎に高精度でスクリーニングする作業工程を、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路１４１が生成
するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミ
ングを用いた演算手段１２の内部でのディジタル演算処
理に置き換えることができるようになる結果、スクリー
ニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化
し労力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３１７】
【発明の効果】請求項１に記載の発明に依れば、駆動電
流検出手段を設けることに依り、発熱体の抵抗値の変化
に応じて発熱体の両端電圧を検出電圧値として検出する
ことに依り、周囲温度の影響に起因する発熱体の抵抗値
の変化を検出できるようになるといった効果を奏する。
【０３１８】更に、発熱体の抵抗値の変化に応じた検出
電圧値と目標電圧値との残差が減少するように定電流駆
動手段を制御する演算手段を設けることに依り、発熱体
に供給される電力を発熱体の抵抗値の変化に関係なく一
定に保持する制御ができるようになるといった効果を奏
する。
【０３１９】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
演算処理を用いて発熱体に供給する駆動電流を可変制御
して、発熱体の抵抗値の変化に関係なく、発熱体が発生
する発熱量を一定に保持する制御ができるようになると
いった効果を奏する。
【０３２０】その結果、高精度の温度補償制御を演算手
段の内部演算処理を用いて簡便に発熱体に対して実行で
きるようになるといった効果を奏する。
【０３２１】又発熱量制御装置毎に発熱体とリファレン
ス抵抗体の特性（具体的には、抵抗値のばらつきや温度
係数）を一致させる作業工程を演算手段の内部演算処理
に置き換えることができるようになる結果、抵抗体の特
性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるように
なるといった効果を奏する。
【０３２２】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０３２３】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を演算手段の内部
演算処理に置き換えることができるようになる結果、ば
らつき及び温度係数を測定して調整する作業工程を不要
又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３２４】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を演算手段の内部演算処理に置き換
えることができるようになる結果、スクリーニング作業
工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削
減できるようになるといった効果を奏する。
【０３２５】なお、本請求項における演算手段の内部演
算処理とは、プログラムコードで記述され制御処理用の
プロセッサによって実行されるプログラム処理を意味す
る。
【０３２６】請求項２に記載の発明に依れば、請求項１
に記載の効果に加えて、駆動電流検出手段を設けること
に依り、発熱体の抵抗値の温度変化に応じて発熱体の両
端電圧を検出電圧値として検出することに依り、周囲温
度の影響に起因する発熱体の抵抗値の変化を検出できる
ようになるといった効果を奏する。
【０３２７】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値と目標電圧値との残差が減少するように定電
流駆動手段を制御する演算手段を設けることに依り、発
熱体に供給される電力を発熱体の抵抗値の温度変化に関
係なく一定に保持する制御ができるようになるといった
効果を奏する。
【０３２８】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、発熱体に供給す
る駆動電流を可変制御して、発熱体の抵抗値の温度変化
に関係なく、発熱体が発生する発熱量を一定に保持する
制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０３２９】その結果、高精度の温度補償制御を簡便に
発熱体に対して実行できるようになるといった効果を奏
する。
【０３３０】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０３３１】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を演算手段の内部
演算処理に置き換えることができるようになる結果、ば
らつき及び温度係数を測定して調整する作業工程を不要
又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３３２】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を演算手段の内部演算処理に置き換
えることができるようになる結果、スクリーニング作業
工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削
減できるようになるといった効果を奏する。
【０３３３】請求項３に記載の発明に依れば、請求項１
又は２に記載の効果に加えて、この様な制御ループを構
成する駆動電流検出手段を設けることに依り、発熱体の
抵抗値の温度変化に応じて発熱体の両端電圧を検出電圧
値に基づく帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起
因する発熱体の抵抗値の変化を検出できるようになると
いった効果を奏する。
【０３３４】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差が減少
するように定電流駆動手段を制御する演算手段を制御ル
ープ内に設けることに依り、発熱体に供給される電力を
発熱体の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持する制
御ができるようになるといった効果を奏する。
【０３３５】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
演算処理を用いて発熱体に供給する駆動電流を可変制御
して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体が
発生する発熱量を一定に保持する制御ができるようにな
るといった効果を奏する。
【０３３６】その結果、高精度の温度補償にかかる制御
を演算手段の内部演算処理を用いて簡便に発熱体に対し
て実行できるようになるといった効果を奏する。
【０３３７】請求項４に記載の発明に依れば、請求項１
乃至３のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段を設けること
に依り、発熱体の抵抗値の温度変化に応じて発熱体の両
端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として検出でき、周
囲温度の影響に起因する発熱体の抵抗値の変化を検出で
きるようになるといった効果を奏する。
【０３３８】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差が減少
するように定電流駆動手段をフィードバック制御する演
算手段をフィードバックループ内に設けることに依り、
発熱体に供給される電力を発熱体の抵抗値の温度変化に
関係なく一定に保持するフィードバック制御ができるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３３９】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
演算処理を用いて発熱体に供給する駆動電流を可変制御
して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体が
発生する発熱量を一定に保持するフィードバック制御が
できるようになるといった効果を奏する。
【０３４０】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部演算処理を用いて簡便
に発熱体に対して実行できるようになるといった効果を
奏する。
【０３４１】請求項５に記載の発明に依れば、請求項１
乃至４のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段を設けること
に依り、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応じて金属抵
抗体の両端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として検出
でき、周囲温度の影響に起因する金属抵抗体の抵抗値の
変化を検出できるようになるといった効果を奏する。
【０３４２】更に、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応
じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差が
減少するように定電流駆動手段をフィードバック制御す
る演算手段をフィードバックループ内に設けることに依
り、金属抵抗体に供給される電力を金属抵抗体の抵抗値
の温度変化に関係なく一定に保持するフィードバック制
御ができるようになるといった効果を奏する。
【０３４３】これに依り、金属抵抗体の抵抗値が周囲温
度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の
内部演算処理を用いて金属抵抗体に供給する駆動電流を
可変制御して、金属抵抗体の抵抗値の温度変化に関係な
く、金属抵抗体が発生する発熱量を一定に保持するフィ
ードバック制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【０３４４】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部演算処理を用いて簡便
に金属抵抗体に対して実行できるようになるといった効
果を奏する。
【０３４５】又発熱量制御装置毎に金属抵抗体とリファ
レンス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）を
一致させる作業工程を演算手段の内部演算処理に置き換
えることができるようになる結果、抵抗体の特性を一致
させる作業工程を不要又は簡略化できるようになるとい
った効果を奏する。
【０３４６】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０３４７】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び金属抵抗体の抵抗値のばらつき
及び温度係数を測定して調整する作業工程を演算手段の
内部演算処理に置き換えることができるようになる結
果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減で
きるようになるといった効果を奏する。
【０３４８】その結果、金属抵抗体とリファレンス抵抗
体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスク
リーニングする作業工程を演算手段の内部演算処理に置
き換えることができるようになる結果、スクリーニング
作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力
を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３４９】請求項６に記載の発明に依れば、請求項１
乃至４のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィード
バックループを構成する駆動電流検出手段を設けること
に依り、非金属抵抗体の抵抗値の温度変化に応じて非金
属抵抗体の両端電圧を検出電圧値に基づく帰還量として
検出でき、周囲温度の影響に起因する非金属抵抗体の抵
抗値の変化を検出できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３５０】更に、非金属抵抗体の抵抗値の温度変化に
応じた検出電圧値に基づく帰還量と目標電圧値との残差
が減少するように定電流駆動手段をフィードバック制御
する演算手段をフィードバックループ内に設けることに
依り、非金属抵抗体に供給される電力を非金属抵抗体の
抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィードバ
ック制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０３５１】これに依り、非金属抵抗体の抵抗値が周囲
温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手段
の内部演算処理を用いて非金属抵抗体に供給する駆動電
流を可変制御して、非金属抵抗体の抵抗値の温度変化に
関係なく、非金属抵抗体が発生する発熱量を一定に保持
するフィードバック制御ができるようになるといった効
果を奏する。
【０３５２】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部演算処理を用いて簡便
に非金属抵抗体に対して実行できるようになるといった
効果を奏する。
【０３５３】又発熱量制御装置毎に非金属抵抗体とリフ
ァレンス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）
を一致させる作業工程を演算手段の内部演算処理に置き
換えることができるようになる結果、抵抗体の特性を一
致させる作業工程を不要又は簡略化できるようになると
いった効果を奏する。
【０３５４】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化
できるようになるといった効果を奏する。
【０３５５】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び非金属抵抗体の抵抗値のばらつ
き及び温度係数を測定して調整する作業工程を演算手段
の内部演算処理に置き換えることができるようになる結
果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作業工程
を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減で
きるようになるといった効果を奏する。
【０３５６】その結果、非金属抵抗体とリファレンス抵
抗体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でス
クリーニングする作業工程を演算手段の内部演算処理に
置き換えることができるようになる結果、スクリーニン
グ作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労
力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３５７】請求項７に記載の発明に依れば、請求項１
乃至６のいずれか一項に記載の発熱量制御装置効果に加
えて、フィードバックループを構成する駆動電流検出手
段を設けることに依り、発熱体の抵抗値の温度変化に応
じて発熱体の両端電圧を検出電圧値に基づくディジタル
量としての帰還量として検出でき、周囲温度の影響に起
因する発熱体の抵抗値の変化を検出できるようになると
いった効果を奏する。
【０３５８】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還量と目標
電圧値との残差が減少するように定電流駆動手段をフィ
ードバック制御する演算手段をフィードバックループ内
に設けることに依り、発熱体に供給される電力を発熱体
の抵抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィード
バック制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０３５９】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
でのディジタル演算処理を用いて発熱体に供給する駆動
電流を可変制御して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係
なく、発熱体が発生する発熱量を一定に保持するフィー
ドバック制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【０３６０】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処
理を用いて簡便に発熱体に対して実行できるようになる
といった効果を奏する。
【０３６１】又発熱量制御装置毎に発熱体とリファレン
ス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）を一致
させる作業工程を演算手段の内部でのディジタル演算処
理に置き換えることができるようになる結果、抵抗体の
特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるよう
になるといった効果を奏する。
【０３６２】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き換え
ることができるようになる結果、温度係数の調整作業を
不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３６３】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を演算手段の内部
でのディジタル演算処理に置き換えることができるよう
になる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する
作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力
を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３６４】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を演算手段の内部でのディジタル演
算処理に置き換えることができるようになる結果、スク
リーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短
縮化し労力を削減できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３６５】請求項８に記載の発明に依れば、請求項７
に記載の効果に加えて、フィードバックループを構成す
る駆動電流検出手段を設けることに依り、発熱体の抵抗
値の温度変化に応じて発熱体の両端電圧を検出電圧値に
基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変換回路が生成する帰
還量として検出でき、周囲温度の影響に起因する発熱体
の抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を
奏する。
【０３６６】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変換回路
が生成する帰還量と目標電圧値との残差が減少するよう
に定電流駆動手段をフィードバック制御する演算手段を
フィードバックループ内に設けることに依り、発熱体に
供給される電力を発熱体の抵抗値の温度変化に関係なく
一定に保持するフィードバック制御ができるようになる
といった効果を奏する。
【０３６７】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
でのディジタル演算処理を用いて発熱体に供給する駆動
電流を可変制御して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係
なく、発熱体が発生する発熱量を一定に保持するフィー
ドバック制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【０３６８】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処
理を用いて簡便に発熱体に対して実行できるようになる
といった効果を奏する。
【０３６９】請求項９に記載の発明に依れば、請求項７
又は８に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０３７０】請求項１０に記載の発明に依れば、請求項
７乃至９のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィー
ドバックループを構成する駆動電流検出手段を設けるこ
とに依り、発熱体の抵抗値の温度変化に応じて発熱体の
両端電圧を検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／
Ｄ変換回路が生成する帰還量として検出でき、周囲温度
の影響に起因する発熱体の抵抗値の変化を検出できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３７１】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ変換回路
が生成する帰還量と目標電圧値との残差が減少するよう
に、ディジタル信号としてのフィードバック制御量に基
づいて定電流駆動手段をフィードバック制御する演算手
段をフィードバックループ内に設けることに依り、発熱
体に供給される電力を発熱体の抵抗値の温度変化に関係
なく一定に保持するフィードバック制御ができるように
なるといった効果を奏する。
【０３７２】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、演算手段の内部
でのディジタル演算処理を用いて発熱体に供給する駆動
電流を可変制御して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係
なく、発熱体が発生する発熱量を一定に保持するフィー
ドバック制御ができるようになるといった効果を奏す
る。
【０３７３】その結果、ディジタル信号としてのフィー
ドバック制御量に基づいて、高精度の温度補償にかかる
フィードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演
算処理を用いて簡便に発熱体に対して実行できるように
なるといった効果を奏する。
【０３７４】又発熱量制御装置毎に発熱体とリファレン
ス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）を一致
させる作業工程を、ディジタル信号としてのフィードバ
ック制御量を用いた演算手段の内部でのディジタル演算
処理に置き換えることができるようになる結果、抵抗体
の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０３７５】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を、ディジタル信号としてのフィードバック制御量を
用いた演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き換
えることができるようになる結果、温度係数の調整作業
を不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３７６】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を、ディジタル信
号としてのフィードバック制御量を用いた演算手段の内
部でのディジタル演算処理に置き換えることができるよ
うになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整す
る作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労
力を削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３７７】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を、ディジタル信号としてのフィー
ドバック制御量を用いた演算手段の内部でのディジタル
演算処理に置き換えることができるようになる結果、ス
クリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を
短縮化し労力を削減できるようになるといった効果を奏
する。
【０３７８】請求項１１に記載の発明に依れば、請求項
１０に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０３７９】請求項１２に記載の発明に依れば、請求項
７に記載の効果に加えて、フィードバックループを構成
する駆動電流検出手段を設けることに依り、発熱体の抵
抗値の温度変化に応じて発熱体の両端電圧を検出電圧値
に基づくディジタル量としての帰還量として検出でき、
周囲温度の影響に起因する発熱体の抵抗値の変化を検出
できるようになるといった効果を奏する。
【０３８０】更に、発熱体の抵抗値の温度変化に応じた
検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還量と目標
電圧値との残差が減少するように、フィードバック制御
量としてのパルス信号を用いて、定電流駆動手段をフィ
ードバック制御する演算手段をフィードバックループ内
に設けることに依り、発熱体の抵抗値の温度変化に関係
なく、パルス変調に固有の高精度で発熱体に供給される
電力を一定に保持するフィードバック制御を高い確度及
び再現性を以て実現できるようになるといった効果を奏
する。
【０３８１】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、フィードバック
制御量としてのパルス信号を用いて、演算手段の内部で
のディジタル演算処理を実行し発熱体に供給する駆動電
流を可変制御して、発熱体の抵抗値の温度変化に関係な
く、発熱体が発生する発熱量を一定に保持するフィード
バック制御を高い確度及び再現性を以て実現できるよう
になるといった効果を奏する。
【０３８２】その結果、フィードバック制御量としての
パルス信号を用いて、高精度の温度補償にかかるフィー
ドバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理
を発熱体に対して実行できるようになるといった効果を
奏する。
【０３８３】又、パルス信号が定電流駆動手段に印加さ
れている間のみ発熱体の発熱動作を可能とすることがで
きるようになり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体
の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対す
る低消費電力化を図ることができるといった効果を奏す
る。
【０３８４】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス信号を用い
て、発熱体の温度補償にかかるフィードバック制御を演
算手段の内部でのディジタル演算処理を発熱体に対して
実行できるようになり、発熱動作が要求された期間のみ
発熱体の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作
に対する低消費電力化を図ることができるといった効果
を奏する。
【０３８５】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加して発
熱体を発熱させる制御ができるようになり、発熱体が発
熱動作を実行している期間に同期して、パルス信号を用
いたフィードバック制御を演算手段の内部でのディジタ
ル演算処理に依り実行して発熱体の温度補償を実行でき
るようになり、発熱体の発熱動作が要求された期間のみ
発熱体の発熱動作発熱体の温度補償が選択的に可能とな
る結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることがで
きるといった効果を奏する。
【０３８６】又発熱量制御装置毎に発熱体とリファレン
ス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）を一致
させる作業工程を、フィードバック制御量としてのパル
ス信号を用いた演算手段の内部でのディジタル演算処理
に置き換えることができるようになる結果、抵抗体の特
性を一致させる作業工程を不要又は簡略化できるように
なるといった効果を奏する。
【０３８７】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を、フィードバック制御量としてのパルス信号を用い
た演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き換える
ことができるようになる結果、温度係数の調整作業を不
要又は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【０３８８】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を、フィードバッ
ク制御量としてのパルス信号を用いた演算手段の内部で
のディジタル演算処理に置き換えることができるように
なる結果、ばらつき及び温度係数を測定して調整する作
業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮化し労力を
削減できるようになるといった効果を奏する。
【０３８９】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を、フィードバック制御量としての
パルス信号を用いた演算手段の内部でのディジタル演算
処理に置き換えることができるようになる結果、スクリ
ーニング作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮
化し労力を削減できるようになるといった効果を奏す
る。
【０３９０】請求項１３に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス幅を任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段に印加
されている期間をパルス信号のパルス幅に依って一意的
に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０３９１】その結果、発熱体の発熱動作期間をパルス
信号のパルス幅に依って一意的に制御できるようにな
る。
【０３９２】則ち、発熱体の発熱動作期間をパルス信号
のパルス幅に依って一意的に制御できるようになり、発
熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０３９３】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス信号のパルス
幅を用いて、発熱体の温度補償にかかるフィードバック
制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理を発熱体
に対して実行できるようになり、発熱動作が要求された
期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能となる結果、
発熱動作に対する低消費電力化を図ることができるとい
った効果を奏する。
【０３９４】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加しパル
ス信号のパルス幅に応じて発熱体を発熱させる制御がで
きるようになり、発熱体が発熱動作を実行している期間
に同期して、パルス信号のパルス幅を用いたフィードバ
ック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理に依
り実行して発熱体の温度補償を実行できるようになり、
発熱体の発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動
作発熱体の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動
作に対する低消費電力化を図ることができるといった効
果を奏する。
【０３９５】請求項１４に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス数を任
意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段に印加
されている期間をパルス信号のパルス数に依って一意的
に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０３９６】その結果、発熱体の発熱動作期間をパルス
信号のパルス数に依って一意的に制御できるようにな
る。
【０３９７】則ち、発熱体の発熱動作期間をパルス信号
のパルス数に依って一意的に制御できるようになり、発
熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的
に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図
ることができるといった効果を奏する。
【０３９８】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス信号のパルス
数を用いて、発熱体の温度補償にかかるフィードバック
制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理を発熱体
に対して実行できるようになり、発熱動作が要求された
期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能となる結果、
発熱動作に対する低消費電力化を図ることができるとい
った効果を奏する。
【０３９９】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加しパル
ス信号のパルス数に応じて発熱体を発熱させる制御がで
きるようになり、発熱体が発熱動作を実行している期間
に同期して、パルス信号のパルス数を用いたフィードバ
ック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理に依
り実行して発熱体の温度補償を実行できるようになり、
発熱体の発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動
作発熱体の温度補償が選択的に可能となる結果、発熱動
作に対する低消費電力化を図ることができるといった効
果を奏する。
【０４００】請求項１５に記載の発明に依れば、請求項
１２に記載の効果に加えて、パルス信号のパルス波高値
を任意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段に
印加されている期間をパルス信号のパルス波高値に依っ
て一意的に制御できるようになるといった効果を奏す
る。
【０４０１】その結果、発熱体の発熱動作期間をパルス
信号のパルス波高値に依って一意的に制御できるように
なる。
【０４０２】則ち、発熱体の発熱動作期間をパルス信号
のパルス波高値に依って一意的に制御できるようにな
り、発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が
選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力
化を図ることができるといった効果を奏する。
【０４０３】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス信号のパルス
波高値を用いて、発熱体の温度補償にかかるフィードバ
ック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理を発
熱体に対して実行できるようになり、発熱動作が要求さ
れた期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【０４０４】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加しパル
ス信号のパルス波高値に応じて発熱体を発熱させる制御
ができるようになり、発熱体が発熱動作を実行している
期間に同期して、パルス信号のパルス波高値を用いたフ
ィードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算
処理に依り実行して発熱体の温度補償を実行できるよう
になり、発熱体の発熱動作が要求された期間のみ発熱体
の発熱動作発熱体の温度補償が選択的に可能となる結
果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができる
といった効果を奏する。
【０４０５】請求項１６に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１５のいずれか一項に記載の効果に加えて、パ
ルス信号の出力タイミングを任意に設定可能とすること
に依り、定電流駆動手段に印加されている期間をパルス
信号の出力タイミングに依って一意的に制御できるよう
になるといった効果を奏する。
【０４０６】その結果、発熱体の発熱動作期間をパルス
信号の出力タイミングに依って一意的に制御できるよう
になる。
【０４０７】則ち、発熱体の発熱動作期間をパルス信号
の出力タイミングに依って一意的に制御できるようにな
り、発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が
選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力
化を図ることができるといった効果を奏する。
【０４０８】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス信号の出力タ
イミングを用いて、発熱体の温度補償にかかるフィード
バック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理を
発熱体に対して実行できるようになり、発熱動作が要求
された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能となる
結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができ
るといった効果を奏する。
【０４０９】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加しパル
ス信号の出力タイミングに応じて発熱体を発熱させる制
御ができるようになり、発熱体が発熱動作を実行してい
る期間に同期して、パルス信号の出力タイミングを用い
たフィードバック制御を演算手段の内部でのディジタル
演算処理に依り実行して発熱体の温度補償を実行できる
ようになり、発熱体の発熱動作が要求された期間のみ発
熱体の発熱動作発熱体の温度補償が選択的に可能となる
結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることができ
るといった効果を奏する。
【０４１０】請求項１７に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１６に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０４１１】請求項１８に記載の発明に依れば、請求項
１７に記載の効果と同様の効果を奏する。
【０４１２】請求項１９に記載の発明に依れば、請求項
１８に記載の効果に加えて、発熱体の抵抗値の温度変化
に応じた検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還
量と目標電圧値との残差が減少するように、フィードバ
ック制御量としてのパルス駆動回路が生成するパルス信
号を用いて、定電流駆動手段をフィードバック制御する
演算手段をフィードバックループ内に設けることに依
り、発熱体の抵抗値の温度変化に関係なく、パルス変調
に固有の高精度で発熱体に供給される電力を一定に保持
するフィードバック制御を高い確度及び再現性を以て実
現できるようになるといった効果を奏する。
【０４１３】これに依り、発熱体の抵抗値が周囲温度の
影響を受けて変化した場合であっても、フィードバック
制御量としてのパルス駆動回路が生成するパルス信号を
用いて、演算手段の内部でのディジタル演算処理を実行
し発熱体に供給する駆動電流を可変制御して、発熱体の
抵抗値の温度変化に関係なく、発熱体が発生する発熱量
を一定に保持するフィードバック制御を高い確度及び再
現性を以て実現できるようになるといった効果を奏す
る。
【０４１４】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路が生成するパルス信号を用いて、高精度
の温度補償にかかるフィードバック制御を演算手段の内
部でのディジタル演算処理を発熱体に対して実行できる
ようになるといった効果を奏する。
【０４１５】又、パルス駆動回路が生成するパルス信号
を任意に設定可能とすることに依り、定電流駆動手段に
印加されている期間をパルス駆動回路が生成するパルス
信号に依って一意的に制御できるようになるといった効
果を奏する。
【０４１６】その結果、発熱体の発熱動作期間をパルス
駆動回路が生成するパルス信号に依って一意的に制御で
きるようになる。
【０４１７】則ち、発熱体の発熱動作期間をパルス駆動
回路が生成するパルス信号に依って一意的に制御できる
ようになり、発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発
熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低
消費電力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０４１８】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、フィードバック制御量としてのパルス駆動回路が生
成するパルス信号を用いて、発熱体の温度補償にかかる
フィードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演
算処理を発熱体に対して実行できるようになり、発熱動
作が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可
能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図るこ
とができるといった効果を奏する。
【０４１９】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス駆動回路が生成するパルス信号を定
電流駆動手段に印加しパルス駆動回路が生成するパルス
信号に応じて発熱体を発熱させる制御ができるようにな
り、発熱体が発熱動作を実行している期間に同期して、
パルス駆動回路が生成するパルス信号を用いたフィード
バック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理に
依り実行して発熱体の温度補償を実行できるようにな
り、発熱体の発熱動作が要求された期間のみ発熱体の発
熱動作発熱体の温度補償が選択的に可能となる結果、発
熱動作に対する低消費電力化を図ることができるといっ
た効果を奏する。
【０４２０】又発熱量制御装置毎に発熱体とリファレン
ス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係数）を一致
させる作業工程を、フィードバック制御量としてのパル
ス駆動回路が生成するパルス信号を用いた演算手段の内
部でのディジタル演算処理に置き換えることができるよ
うになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不
要又は簡略化できるようになるといった効果を奏する。
【０４２１】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回路が
生成するパルス信号を用いた演算手段の内部でのディジ
タル演算処理に置き換えることができるようになる結
果、温度係数の調整作業を不要又は簡略化できるように
なるといった効果を奏する。
【０４２２】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及び発熱体の抵抗値のばらつき及び
温度係数を測定して調整する作業工程を、フィードバッ
ク制御量としてのパルス駆動回路が生成するパルス信号
を用いた演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き
換えることができるようになる結果、ばらつき及び温度
係数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化して
作業時間を短縮化し労力を削減できるようになるといっ
た効果を奏する。
【０４２３】その結果、発熱体とリファレンス抵抗体の
特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度でスクリー
ニングする作業工程を、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路が生成するパルス信号を用いた演算手段
の内部でのディジタル演算処理に置き換えることができ
るようになる結果、スクリーニング作業工程を不要又は
簡略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるように
なるといった効果を奏する。
【０４２４】請求項２０に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至１９のいずれか一項に記載の効果に加えて、設
定器を外部接続可能とすることに依り、発熱量制御装置
の外部からパルス信号のパルス数、パルス波高値、又は
タイミングを任意に設定可能とすることに依り、定電流
駆動手段に印加されている期間を、設定器を用いて設定
したパルス数、パルス波高値、又はタイミングに依って
一意的に制御できるようになるといった効果を奏する。
【０４２５】その結果、発熱体の発熱動作期間を設定器
を用いて設定したパルス数、パルス波高値、又はタイミ
ングに依って一意的に制御できるようになる。
【０４２６】則ち、発熱体の発熱動作期間を、設定器を
用いて設定したパルス数、パルス波高値、又はタイミン
グに依って一意的に制御できるようになり、発熱動作が
要求された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能と
なる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ることが
できるといった効果を奏する。
【０４２７】更に、発熱体の発熱動作の開始に同期し
て、設定器を用いて設定したパルス数、パルス波高値、
又はタイミングを用いて、発熱体の温度補償にかかるフ
ィードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算
処理を発熱体に対して実行できるようになり、発熱動作
が要求された期間のみ発熱体の発熱動作が選択的に可能
となる結果、発熱動作に対する低消費電力化を図ること
ができるといった効果を奏する。
【０４２８】同様に、発熱体の発熱動作要求が生じた期
間に限定してパルス信号を定電流駆動手段に印加し設定
器を用いて設定したパルス数、パルス波高値、又はタイ
ミングに応じて発熱体を発熱させる制御ができるように
なり、発熱体が発熱動作を実行している期間に同期し
て、設定器を用いて設定したパルス数、パルス波高値、
又はタイミングを用いたフィードバック制御を演算手段
の内部でのディジタル演算処理に依り実行して発熱体の
温度補償を実行できるようになり、発熱体の発熱動作が
要求された期間のみ発熱体の発熱動作発熱体の温度補償
が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電
力化を図ることができるといった効果を奏する。
【０４２９】請求項２１に記載の発明に依れば、請求項
９乃至１９のいずれか一項に記載の効果に加えて、フィ
ードバックループを構成する駆動電流検出手段を設ける
ことに依り、ヒータ用抵抗体の抵抗値の温度変化に応じ
てヒータ用抵抗体の両端電圧を検出電圧値に基づくディ
ジタル量としてＡ／Ｄ変換回路が生成する帰還量として
検出でき、周囲温度の影響に起因するヒータ用抵抗体の
抵抗値の変化を検出できるようになるといった効果を奏
する。
【０４３０】更に、ヒータ用抵抗体の抵抗値の温度変化
に応じた検出電圧値に基づくディジタル量としてＡ／Ｄ
変換回路が生成する帰還量と目標電圧値との残差が減少
するように定電流駆動手段をフィードバック制御する演
算手段をフィードバックループ内に設けることに依り、
ヒータ用抵抗体に供給される電力をヒータ用抵抗体の抵
抗値の温度変化に関係なく一定に保持するフィードバッ
ク制御ができるようになるといった効果を奏する。
【０４３１】これに依り、ヒータ用抵抗体の抵抗値が周
囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、演算手
段の内部でのディジタル演算処理を用いてヒータ用抵抗
体に供給する駆動電流を可変制御して、ヒータ用抵抗体
の抵抗値の温度変化に関係なく、ヒータ用抵抗体が発生
する発熱量を一定に保持するフィードバック制御ができ
るようになるといった効果を奏する。
【０４３２】その結果、高精度の温度補償にかかるフィ
ードバック制御を演算手段の内部でのディジタル演算処
理を用いて簡便にヒータ用抵抗体に対して実行できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０４３３】又発熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体とリ
ファレンス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係
数）を一致させる作業工程を演算手段の内部でのディジ
タル演算処理に置き換えることができるようになる結
果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を不要又は簡略
化できるようになるといった効果を奏する。
【０４３４】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き換え
ることができるようになる結果、温度係数の調整作業を
不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏す
る。
【０４３５】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及びヒータ用抵抗体の抵抗値のばら
つき及び温度係数を測定して調整する作業工程を演算手
段の内部でのディジタル演算処理に置き換えることがで
きるようになる結果、ばらつき及び温度係数を測定して
調整する作業工程を不要又は簡略化して作業時間を短縮
化し労力を削減できるようになるといった効果を奏す
る。
【０４３６】その結果、ヒータ用抵抗体とリファレンス
抵抗体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度で
スクリーニングする作業工程を演算手段の内部でのディ
ジタル演算処理に置き換えることができるようになる結
果、スクリーニング作業工程を不要又は簡略化して作業
時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった効
果を奏する。
【０４３７】請求項２２に記載の発明に依れば、請求項
１２乃至２０のいずれか一項に記載の効果に加えて、フ
ィードバックループを構成する駆動電流検出手段を設け
ることに依り、ヒータ用抵抗体の抵抗値の温度変化に応
じてヒータ用抵抗体の両端電圧を検出電圧値に基づくデ
ィジタル量としての帰還量として検出でき、周囲温度の
影響に起因するヒータ用抵抗体の抵抗値の変化を検出で
きるようになるといった効果を奏する。
【０４３８】更に、ヒータ用抵抗体の抵抗値の温度変化
に応じた検出電圧値に基づくディジタル量としての帰還
量と目標電圧値との残差が減少するように、フィードバ
ック制御量としてのパルス駆動回路が生成するパルス信
号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを用い
て、定電流駆動手段をフィードバック制御する演算手段
をフィードバックループ内に設けることに依り、ヒータ
用抵抗体の抵抗値の温度変化に関係なく、パルス変調に
固有の高精度でヒータ用抵抗体に供給される電力を一定
に保持するフィードバック制御を高い確度及び再現性を
以て実現できるようになるといった効果を奏する。
【０４３９】これに依り、ヒータ用抵抗体の抵抗値が周
囲温度の影響を受けて変化した場合であっても、フィー
ドバック制御量としてのパルス駆動回路が生成するパル
ス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを用
いて、演算手段の内部でのディジタル演算処理を実行し
ヒータ用抵抗体に供給する駆動電流を可変制御して、ヒ
ータ用抵抗体の抵抗値の温度変化に関係なく、ヒータ用
抵抗体が発生する発熱量を一定に保持するフィードバッ
ク制御を高い確度及び再現性を以て実現できるようにな
るといった効果を奏する。
【０４４０】その結果、フィードバック制御量としての
パルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス数、パル
ス波高値、又はタイミングを用いて、高精度の温度補償
にかかるフィードバック制御を演算手段の内部でのディ
ジタル演算処理をヒータ用抵抗体に対して実行できるよ
うになるといった効果を奏する。
【０４４１】又、パルス駆動回路が生成するパルス信号
のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを任意に設
定可能とすることに依り、定電流駆動手段に印加されて
いる期間をパルス駆動回路が生成するパルス信号のパル
ス数、パルス波高値、又はタイミングに依って一意的に
制御できるようになるといった効果を奏する。
【０４４２】その結果、ヒータ用抵抗体の発熱動作期間
をパルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス数、パ
ルス波高値、又はタイミングに依って一意的に制御でき
るようになる。
【０４４３】則ち、ヒータ用抵抗体の発熱動作期間をパ
ルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス数、パルス
波高値、又はタイミングに依って一意的に制御できるよ
うになり、発熱動作が要求された期間のみヒータ用抵抗
体の発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対
する低消費電力化を図ることができるといった効果を奏
する。
【０４４４】更に、ヒータ用抵抗体の発熱動作の開始に
同期して、フィードバック制御量としてのパルス駆動回
路が生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又
はタイミングを用いて、ヒータ用抵抗体の温度補償にか
かるフィードバック制御を演算手段の内部でのディジタ
ル演算処理をヒータ用抵抗体に対して実行できるように
なり、発熱動作が要求された期間のみヒータ用抵抗体の
発熱動作が選択的に可能となる結果、発熱動作に対する
低消費電力化を図ることができるといった効果を奏す
る。
【０４４５】同様に、ヒータ用抵抗体の発熱動作要求が
生じた期間に限定してパルス駆動回路が生成するパルス
信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを定電
流駆動手段に印加しパルス駆動回路が生成するパルス信
号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングに応じて
ヒータ用抵抗体を発熱させる制御ができるようになり、
ヒータ用抵抗体が発熱動作を実行している期間に同期し
て、パルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス数、
パルス波高値、又はタイミングを用いたフィードバック
制御を演算手段の内部でのディジタル演算処理に依り実
行してヒータ用抵抗体の温度補償を実行できるようにな
り、ヒータ用抵抗体の発熱動作が要求された期間のみヒ
ータ用抵抗体の発熱動作ヒータ用抵抗体の温度補償が選
択的に可能となる結果、発熱動作に対する低消費電力化
を図ることができるといった効果を奏する。
【０４４６】又発熱量制御装置毎にヒータ用抵抗体とリ
ファレンス抵抗体の特性（抵抗値のばらつきや温度係
数）を一致させる作業工程を、フィードバック制御量と
してのパルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス
数、パルス波高値、又はタイミングを用いた演算手段の
内部でのディジタル演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、抵抗体の特性を一致させる作業工程を
不要又は簡略化できるようになるといった効果を奏す
る。
【０４４７】又、発熱量制御装置毎の温度係数の調整作
業を、フィードバック制御量としてのパルス駆動回路が
生成するパルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタ
イミングを用いた演算手段の内部でのディジタル演算処
理に置き換えることができるようになる結果、温度係数
の調整作業を不要又は簡略化できるようになるといった
効果を奏する。
【０４４８】具体的には、発熱量制御装置毎のリファレ
ンス抵抗体の抵抗値及びヒータ用抵抗体の抵抗値のばら
つき及び温度係数を測定して調整する作業工程を、フィ
ードバック制御量としてのパルス駆動回路が生成するパ
ルス信号のパルス数、パルス波高値、又はタイミングを
用いた演算手段の内部でのディジタル演算処理に置き換
えることができるようになる結果、ばらつき及び温度係
数を測定して調整する作業工程を不要又は簡略化して作
業時間を短縮化し労力を削減できるようになるといった
効果を奏する。
【０４４９】その結果、ヒータ用抵抗体とリファレンス
抵抗体の特性を製造工程で発熱量制御装置毎に高精度で
スクリーニングする作業工程を、フィードバック制御量
としてのパルス駆動回路が生成するパルス信号のパルス
数、パルス波高値、又はタイミングを用いた演算手段の
内部でのディジタル演算処理に置き換えることができる
ようになる結果、スクリーニング作業工程を不要又は簡
略化して作業時間を短縮化し労力を削減できるようにな
るといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の発熱量制御装置の第１実施形態を説明
するための回路図である。
【図２】本発明の発熱量制御装置の第２実施形態を説明
するための回路図である。
【図３】従来の発熱量制御装置を説明するための回路図
である。
【符号の説明】
１０ 発熱量制御装置 １２ 演算手段 １４ 定電流駆動手段 １４１ パルス駆動回路 １４２ Ｄ／Ａ変換回路 １４４ 定電流発生回路 １４８ 抵抗素子 １５０ 抵抗素子（リファレンス抵抗体） １４６ 電流増幅回路 １６ 駆動電流検出手段 １６２ Ａ／Ｄ変換回路 １６４ 電圧増幅回路 １６６，１６８ 抵抗素子 １８ 設定器 ２０ フローセンサ ２０２ 発熱体（マイクロヒータ） Ｉ 駆動電流

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 印加される駆動電流に応じた発熱量を発
    生する発熱体の発熱量制御装置において、 前記駆動電流を定電流化して前記発熱体に出力する定電
    流駆動手段と、 前記駆動電流が印加された際に前記発熱体の両端に生じ
    る電圧を検出電圧値として検出する駆動電流検出手段
    と、 前記発熱体が所定の発熱量を生成するために要する前記
    駆動電流を前記発熱体に印加した際に当該発熱体の両端
    に生じる電圧を目標電圧値として設定し当該目標電圧値
    に応じた前記駆動電流を出力するように前記定電流駆動
    手段を制御すると共に、前記駆動電流検出手段が検出し
    た前記検出電圧値と当該目標電圧値とを比較し当該検出
    電圧値と当該目標電圧値との残差が減少するように前記
    定電流駆動手段を制御する演算手段を有する、 ことを特徴とする発熱量制御装置。
  2. 【請求項２】 前記駆動電流検出手段は、前記駆動電流
    が印加された際に前記発熱体の抵抗値の温度変化に応じ
    て、当該発熱体の両端に生じる電圧を前記検出電圧値と
    して検出するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１に記載の発熱量制御装置。
  3. 【請求項３】 前記駆動電流検出手段と前記演算手段
    は、前記定電流駆動手段から出力される前記駆動電流に
    関してフィードバックループを形成するように構成さ
    れ、 前記駆動電流検出手段は、前記発熱体の両端において検
    出した前記検出電圧値に基づいて帰還量を生成し当該生
    成した帰還量を前記演算手段に帰還するように構成さ
    れ、 前記演算手段は、前記駆動電流検出手段から帰還される
    前記帰還量と前記目標電圧値との残差が減少するように
    前記定電流駆動手段を制御するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１又は２に記載の発熱量制御装
    置。
  4. 【請求項４】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手段
    から帰還される前記帰還量と前記目標電圧値との残差が
    減少するように前記定電流駆動手段に対するフィードバ
    ック制御を実行するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載
    の発熱量制御装置。
  5. 【請求項５】 前記発熱体は、印加される駆動電流に応
    じたジュール熱を発生する金属抵抗体である、 ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載
    の発熱量制御装置。
  6. 【請求項６】 前記発熱体は、印加される駆動電流に応
    じたジュール熱を発生する非金属抵抗体である、 ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載
    の発熱量制御装置。
  7. 【請求項７】 前記駆動電流検出手段は、前記発熱体の
    抵抗値変化に対して検出した前記検出電圧値に基づいて
    帰還量を生成し当該生成した帰還量をディジタル信号に
    変換して前記演算手段に帰還するように構成されてい
    る、 ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載
    の発熱量制御装置。
  8. 【請求項８】 前記駆動電流検出手段は、 前記発熱体の抵抗値変化に対して検出した前記検出電圧
    値に基づいて帰還量をアナログ信号として生成する電圧
    増幅回路と、 前記電圧増幅回路が生成した前記アナログ信号をディジ
    タル信号に変換すると共に、当該ディジタル変換された
    前記帰還量を前記演算手段に帰還するＡ／Ｄ変換回路を
    有する、 ことを特徴とする請求項７に記載の発熱量制御装置。
  9. 【請求項９】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手段
    から帰還される前記ディジタル変換された帰還量と前記
    目標電圧値との残差を減少させる前記フィードバック制
    御を実行する際に、前記定電流駆動手段に対するフィー
    ドバック制御量をディジタル信号として出力するように
    構成されている、 ことを特徴とする請求項７又は８に記載の発熱量制御装
    置。
  10. 【請求項１０】 前記定電流駆動手段は、前記演算手段
    から出力される前記ディジタル信号としてのフィードバ
    ック制御量に基づいて前記駆動電流を定電流化して前記
    発熱体に出力するように構成されている、 ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれか一項に記載
    の発熱量制御装置。
  11. 【請求項１１】 前記定電流駆動手段は、 前記演算手段から出力される前記ディジタル信号として
    のフィードバック制御量をアナログ変換するＤ／Ａ変換
    回路と、 前記Ｄ／Ａ変換回路においてアナログ変換された前記フ
    ィードバック制御量に基づいて前記駆動電流を定電流化
    して前記発熱体に出力する定電流発生回路を有する、 ことを特徴とする請求項１０に記載の発熱量制御装置。
  12. 【請求項１２】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手
    段から帰還される前記ディジタル変換された帰還量と前
    記目標電圧値との残差を減少させる前記フィードバック
    制御を実行する際に、前記定電流駆動手段に対するフィ
    ードバック制御量をパルス信号として出力するように構
    成されている、 ことを特徴とする請求項７に記載の発熱量制御装置。
  13. 【請求項１３】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手
    段から帰還される前記ディジタル変換された帰還量に応
    じて、前記検出電圧値と前記目標電圧値との残差が減少
    するように前記パルス信号のパルス幅を可変設定するよ
    うに構成されている、 ことを特徴とする請求項１２に記載の発熱量制御装置。
  14. 【請求項１４】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手
    段から帰還される前記ディジタル変換された帰還量に応
    じて、前記検出電圧値と前記目標電圧値との残差が減少
    するように単位時間当たりに出力するパルス数を可変設
    定して前記パルス信号を生成するように構成されてい
    る、 ことを特徴とする請求項１２に記載の発熱量制御装置。
  15. 【請求項１５】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手
    段から帰還される前記ディジタル変換された帰還量に応
    じて、前記検出電圧値と前記目標電圧値との残差が減少
    するように前記パルス信号のパルス波高値を可変設定す
    るように構成されている、 ことを特徴とする請求項１２に記載の発熱量制御装置。
  16. 【請求項１６】 前記演算手段は、前記駆動電流検出手
    段から帰還される前記ディジタル変換された帰還量に応
    じて、前記検出電圧値と前記目標電圧値との残差が減少
    するように前記パルス信号を出力するタイミングを設定
    するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に
    記載の発熱量制御装置。
  17. 【請求項１７】 前記定電流駆動手段は、前記演算手段
    から出力される前記パルス信号としてのフィードバック
    制御量に基づいて前記駆動電流を定電流化して前記発熱
    体に出力するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１２乃至１６のいずれか一項に
    記載の発熱量制御装置。
  18. 【請求項１８】 前記定電流駆動手段は、 前記パルス信号に基づいて前記駆動電流を定電流化して
    前記発熱体に出力する定電流発生回路を有する、 ことを特徴とする請求項１７に記載の発熱量制御装置。
  19. 【請求項１９】 前記定電流駆動手段は、前記演算手段
    から出力される前記パルス信号を所定の電圧レベルのパ
    ルス信号に変換するパルス駆動回路を有し、 前記定電流発生回路は、前記パルス駆動回路において所
    定の電圧レベルに変換された前記フィードバック制御量
    に基づいて前記駆動電流を定電流化して前記発熱体に出
    力するように構成されている、 ことを特徴とする請求項１８に記載の発熱量制御装置。
  20. 【請求項２０】 前記演算手段に接続され、前記パルス
    信号の前記パルス幅、前記単位時間当たりに出力するパ
    ルス数、前記パルス波高値又は前記タイミングの少なく
    ともいずれかを前記演算手段に代わって設定可能な設定
    器を有する、 ことを特徴とする請求項１２乃至１９のいずれか一項に
    記載の発熱量制御装置。
  21. 【請求項２１】 前記発熱体を用いたヒータ用抵抗体
    と、 前記ヒータ用抵抗体の近傍に当該ヒータ用抵抗体と所定
    距離を隔てた近傍に設けられた測温抵抗体と、 前記ヒータ用抵抗体が所定の発熱量を生成するように前
    記フィードバック制御を実行する前記発熱量制御装置を
    有する、 ことを特徴とする請求項９乃至１９のいずれか一項に記
    載の発熱量制御装置を用いたフローセンサ。
  22. 【請求項２２】 前記発熱体を用いたヒータ用抵抗体
    と、前記ヒータ用抵抗体の近傍に当該ヒータ用抵抗体と
    所定距離を隔てた近傍に設けられた測温抵抗体と、前記
    ヒータ用抵抗体が所定の発熱量を生成するように前記フ
    ィードバック制御を実行する前記発熱量制御装置を有
    し、 前記発熱量制御装置が前記パルス信号を出力するタイミ
    ングは、前記測温抵抗体を用いた流量測定に同期するよ
    うに設定されている、 ことを特徴とする請求項１２乃至２０のいずれか一項に
    記載の発熱量制御装置を用いたフローセンサ。
JP9196938A 1997-07-23 1997-07-23 発熱体の発熱量制御装置及びこれを用いたフローセンサ Pending JPH1137818A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995010754A1 (en) * 1993-10-12 1995-04-20 Explosive Developments Limited Adjustable electric delay detonator
JP2011227722A (ja) * 2010-04-20 2011-11-10 Sumitomo Electric Ind Ltd 定電力制御回路

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