JPH11346487A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH11346487A5
JPH11346487A5 JP1998154708A JP15470898A JPH11346487A5 JP H11346487 A5 JPH11346487 A5 JP H11346487A5 JP 1998154708 A JP1998154708 A JP 1998154708A JP 15470898 A JP15470898 A JP 15470898A JP H11346487 A5 JPH11346487 A5 JP H11346487A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
elastic body
vibration wave
vibrating
bodies
wave device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1998154708A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4026930B2 (ja
JPH11346487A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP15470898A priority Critical patent/JP4026930B2/ja
Priority claimed from JP15470898A external-priority patent/JP4026930B2/ja
Priority to US09/320,283 priority patent/US6198201B1/en
Publication of JPH11346487A publication Critical patent/JPH11346487A/ja
Publication of JPH11346487A5 publication Critical patent/JPH11346487A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4026930B2 publication Critical patent/JP4026930B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP15470898A 1998-06-03 1998-06-03 振動波装置および振動波駆動装置 Expired - Fee Related JP4026930B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15470898A JP4026930B2 (ja) 1998-06-03 1998-06-03 振動波装置および振動波駆動装置
US09/320,283 US6198201B1 (en) 1998-06-03 1999-06-02 Vibration wave apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15470898A JP4026930B2 (ja) 1998-06-03 1998-06-03 振動波装置および振動波駆動装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH11346487A JPH11346487A (ja) 1999-12-14
JPH11346487A5 true JPH11346487A5 (enrdf_load_html_response) 2006-09-21
JP4026930B2 JP4026930B2 (ja) 2007-12-26

Family

ID=15590229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15470898A Expired - Fee Related JP4026930B2 (ja) 1998-06-03 1998-06-03 振動波装置および振動波駆動装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4026930B2 (enrdf_load_html_response)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4704537B2 (ja) * 2000-01-31 2011-06-15 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器
JP4965973B2 (ja) * 2006-11-08 2012-07-04 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ
JP4981427B2 (ja) * 2006-12-08 2012-07-18 キヤノン株式会社 振動駆動装置
JP5627258B2 (ja) * 2010-03-23 2014-11-19 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータおよびその製造方法
JP5930595B2 (ja) * 2010-04-06 2016-06-08 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、振動子及び振動子の製造方法
JP5818500B2 (ja) * 2011-04-26 2015-11-18 キヤノン株式会社 振動波駆動装置とその振動体の製造方法
JP5847906B2 (ja) * 2014-10-02 2016-01-27 キヤノン株式会社 振動体
JP6577989B2 (ja) * 2017-11-02 2019-09-18 株式会社根本杏林堂 超音波モータユニット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0117353B2 (enrdf_load_html_response)
JPH0117354B2 (enrdf_load_html_response)
JPH11346487A5 (enrdf_load_html_response)
JPS61224880A (ja) 振動波モ−タ
JP4838463B2 (ja) 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置
JP4026930B2 (ja) 振動波装置および振動波駆動装置
JPH03253267A (ja) 超音波モータ
JPH0332377A (ja) 超音波モータ
JPH0223070A (ja) リニア型超音波モータ
JPH02111269A (ja) 多層振動モータ
JPH0232771A (ja) 進行波モータ
JP2971971B2 (ja) 超音波アクチュエータ
JP2667931B2 (ja) 多自由度アクチュエータ
JPS6051477A (ja) 圧電モ−タ
JPH0993962A (ja) 振動アクチュエータ
JPH02311184A (ja) 超音波モータ
JPH03118780A (ja) 超音波モータ
JP3200315B2 (ja) 振動アクチュエータ
JPH08172782A (ja) 超音波モータ
JP2585574B2 (ja) リング状圧電体振動子を使用する超音波駆動装置
JPH05111268A (ja) 圧電アクチユエータ
JP2625691B2 (ja) 超音波モータ
RU1799634C (ru) Волновой вибрационный двигатель
JP2622286B2 (ja) 超音波リニアモータ
JP2996494B2 (ja) 振動型モータ装置