JPH11343169A - 導電性セラミックス - Google Patents
導電性セラミックスInfo
- Publication number
- JPH11343169A JPH11343169A JP10150445A JP15044598A JPH11343169A JP H11343169 A JPH11343169 A JP H11343169A JP 10150445 A JP10150445 A JP 10150445A JP 15044598 A JP15044598 A JP 15044598A JP H11343169 A JPH11343169 A JP H11343169A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramics
- volume resistivity
- iron oxide
- mgo
- sio
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/16—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay
- C04B35/20—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay rich in magnesium oxide, e.g. forsterite
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73921—Glass or ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
- H01B1/06—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances
- H01B1/08—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances oxides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】構造部品材料としての強度を維持した状態で導
電性を有するセラミックスを得る。 【解決手段】８０〜９３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複
合酸化物と、２０〜７重量％の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2
Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を含んで成り、その体積固有抵抗値
が１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・ｃｍの導電性セラミック
スとする。
電性を有するセラミックスを得る。 【解決手段】８０〜９３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複
合酸化物と、２０〜７重量％の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2
Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を含んで成り、その体積固有抵抗値
が１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・ｃｍの導電性セラミック
スとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性セラミック
スとして用いられ、静電気除去用部品や、静電気による
過電流防止用工具・治具・保治具、セラミックスヒ−タ
−、セラミックスセンサ、抵抗用基板等に使用される導
電性セラミックスに関するものである。
スとして用いられ、静電気除去用部品や、静電気による
過電流防止用工具・治具・保治具、セラミックスヒ−タ
−、セラミックスセンサ、抵抗用基板等に使用される導
電性セラミックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、導電性セラミックスとして用いら
れるセラミックスとしては、炭化珪素質セラミックスや
ランタンクロマイト等のペロブスカイト系セラミックス
があり、セラミックスヒ−タ−やセラミックスセンサ−
等に使用されている。
れるセラミックスとしては、炭化珪素質セラミックスや
ランタンクロマイト等のペロブスカイト系セラミックス
があり、セラミックスヒ−タ−やセラミックスセンサ−
等に使用されている。
【０００３】また、その他に構造部品材料用セラミック
スに導電性をもった金属酸化物、金属窒化物、金属炭化
物等を添加した導電性セラミックスも開発されており、
例えば、導電付与材としてＴｉＯ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ、
ＣｏＯ等を添加して還元雰囲気下で焼成したアルミナ質
やジルコニア質等の導電性セラミックスが知られている
（特開平２−２９５００９号、特開平１−２４３３８８
号公報参照）。
スに導電性をもった金属酸化物、金属窒化物、金属炭化
物等を添加した導電性セラミックスも開発されており、
例えば、導電付与材としてＴｉＯ2 、ＴｉＣ、ＮｉＯ、
ＣｏＯ等を添加して還元雰囲気下で焼成したアルミナ質
やジルコニア質等の導電性セラミックスが知られている
（特開平２−２９５００９号、特開平１−２４３３８８
号公報参照）。
【０００４】ところが、上記炭化珪素質セラミックスは
難焼結体であるために非酸化性雰囲気でかつ２０００℃
以上の温度で焼成しなければならず、また、ホットプレ
スを行う必要があることから生産性が悪くコストが高く
なるという問題点があった。
難焼結体であるために非酸化性雰囲気でかつ２０００℃
以上の温度で焼成しなければならず、また、ホットプレ
スを行う必要があることから生産性が悪くコストが高く
なるという問題点があった。
【０００５】又、ランタンクロマイト系ペロブスカイト
セラミックスについては、酸化雰囲気で焼成可能ではあ
るが原料単価が高くなる問題点があり、また導電付与材
としてＮｉＯ、ＣｏＯ等を添加したアルミナ質やジルコ
ニア質の導電性セラミックスでは、ホットプレスでの焼
成、或いは酸化雰囲気での焼成後、再度還元雰囲気での
焼成を行う必要が有り、いづれの焼成方法においても、
生産性と管理の困難性及びコストが高くなる問題点があ
った。
セラミックスについては、酸化雰囲気で焼成可能ではあ
るが原料単価が高くなる問題点があり、また導電付与材
としてＮｉＯ、ＣｏＯ等を添加したアルミナ質やジルコ
ニア質の導電性セラミックスでは、ホットプレスでの焼
成、或いは酸化雰囲気での焼成後、再度還元雰囲気での
焼成を行う必要が有り、いづれの焼成方法においても、
生産性と管理の困難性及びコストが高くなる問題点があ
った。
【０００６】一方、導電性材料として使用する場合、特
に、静電気除去及び静電気による過電流防止用工具・治
具・保治具に用いられる材料としては近年１０7 Ω・ｃ
ｍ〜１０11Ω・ｃｍの体積固有抵抗が要求されている。
このような導電性セラミックスとしては、導電付与材と
してＴｉＯ2 やＴｉＣを添加したアルミナ質の導電性セ
ラミックスがあるが、非酸化性雰囲気で焼成を行う必要
が有り、生産性と管理の困難性及びコストが高くなる問
題点があった。
に、静電気除去及び静電気による過電流防止用工具・治
具・保治具に用いられる材料としては近年１０7 Ω・ｃ
ｍ〜１０11Ω・ｃｍの体積固有抵抗が要求されている。
このような導電性セラミックスとしては、導電付与材と
してＴｉＯ2 やＴｉＣを添加したアルミナ質の導電性セ
ラミックスがあるが、非酸化性雰囲気で焼成を行う必要
が有り、生産性と管理の困難性及びコストが高くなる問
題点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑
み、体積固有抵抗が１０7 〜１０11Ω・ｃｍ、且つ曲げ
強度が１００ＭＰａ以上の導電性セラミックを得る為、
８０〜９３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と、
２０〜７重量％の酸化鉄から成る導電性セラミックスで
あることを特徴とする。
み、体積固有抵抗が１０7 〜１０11Ω・ｃｍ、且つ曲げ
強度が１００ＭＰａ以上の導電性セラミックを得る為、
８０〜９３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と、
２０〜７重量％の酸化鉄から成る導電性セラミックスで
あることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を説明す
る。
る。
【０００９】本発明に係わる導電性セラミックスは、Ｍ
ｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物を主体とし、導電性付与剤
として酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を含
んでなり、体積固有抵抗値が１０7 〜１０11Ω・ｃｍの
導電性を有するものである。
ｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物を主体とし、導電性付与剤
として酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を含
んでなり、体積固有抵抗値が１０7 〜１０11Ω・ｃｍの
導電性を有するものである。
【００１０】ここで、主体をなすＭｇＯとＳｉＯ2 の複
合酸化物とは、最終焼結体において主にＭｇ2 ＳｉＯ4
（フォルステライト）のことであり、他にＭｇＳｉＯ3
（エンスタタイト）を含んでいても良い。通常、Ｍｇ2
ＳｉＯ4 のみからなるセラミックスは１５０ＭＰａ程度
の曲げ強度をもった絶縁材料であるが、本件発明者はこ
のセラミックスに酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3
Ｏ4 ）を含有させることで導電性が得られることを見出
し、その体積固有抵抗値を１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・
ｃｍとしたものである。
合酸化物とは、最終焼結体において主にＭｇ2 ＳｉＯ4
（フォルステライト）のことであり、他にＭｇＳｉＯ3
（エンスタタイト）を含んでいても良い。通常、Ｍｇ2
ＳｉＯ4 のみからなるセラミックスは１５０ＭＰａ程度
の曲げ強度をもった絶縁材料であるが、本件発明者はこ
のセラミックスに酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3
Ｏ4 ）を含有させることで導電性が得られることを見出
し、その体積固有抵抗値を１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・
ｃｍとしたものである。
【００１１】導電付与材の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）は室温に於いて、その結晶構造が
ＦｅＯ、Ｆｅ3 Ｏ4 であれば１０-2Ω・ｃｍ程度の抵抗
値を有することから、これらの添加量を適宜調整するこ
とで１０7 〜１０11Ω・ｃｍの体積固有抵抗値をもった
導電性セラミックスとすることが出来る。
2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）は室温に於いて、その結晶構造が
ＦｅＯ、Ｆｅ3 Ｏ4 であれば１０-2Ω・ｃｍ程度の抵抗
値を有することから、これらの添加量を適宜調整するこ
とで１０7 〜１０11Ω・ｃｍの体積固有抵抗値をもった
導電性セラミックスとすることが出来る。
【００１２】この効果によって帯電する静電気を速やか
に逃して除去することができるため、本発明の導電性セ
ラミックスは、静電気を除去し帯電を防止するための除
電部材、あるいは静電気除去部材として好適に使用する
ことができる。具体的には、静電気による過電流防止用
工具・治具・保治具などとし用いることができ、その他
に、セラミックスヒ−タ−、セラミックスセンサ、抵抗
用基板等に使用することが出来る。
に逃して除去することができるため、本発明の導電性セ
ラミックスは、静電気を除去し帯電を防止するための除
電部材、あるいは静電気除去部材として好適に使用する
ことができる。具体的には、静電気による過電流防止用
工具・治具・保治具などとし用いることができ、その他
に、セラミックスヒ−タ−、セラミックスセンサ、抵抗
用基板等に使用することが出来る。
【００１３】但し、導電性を得る為に酸化鉄（ＦｅＯ、
Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）の含有量が多くなると曲げ強
度の機械的特性が大幅に低下して、上記用途に使用する
と破損する恐れがあり構造部品材料としては使用し難
い。その為、上記導電性セラミックスの曲げ強度は１０
０ＭＰａ以上有することが必要である。
Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）の含有量が多くなると曲げ強
度の機械的特性が大幅に低下して、上記用途に使用する
と破損する恐れがあり構造部品材料としては使用し難
い。その為、上記導電性セラミックスの曲げ強度は１０
０ＭＰａ以上有することが必要である。
【００１４】ところで、このような本発明の導電性セラ
ミックスを得るには、ＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と
してＭｇ2 ＳｉＯ4 やＭｇＳｉＯ3 を用意すると共に、
導電付与材として酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3
Ｏ4 ）を用意する。そして、上記Ｍｇ2 ＳｉＯ4 やＭｇ
ＳｉＯ3 から成る複合酸化物を８０〜９３重量％に対
し、酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を２０
〜７重量％の範囲で添加する。
ミックスを得るには、ＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と
してＭｇ2 ＳｉＯ4 やＭｇＳｉＯ3 を用意すると共に、
導電付与材として酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3
Ｏ4 ）を用意する。そして、上記Ｍｇ2 ＳｉＯ4 やＭｇ
ＳｉＯ3 から成る複合酸化物を８０〜９３重量％に対
し、酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を２０
〜７重量％の範囲で添加する。
【００１５】ここで、導電材付与材の添加量を上述のよ
うに限定する理由は、酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆ
ｅ3 Ｏ4 ）が７重量％未満であると酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆ
ｅ2Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を添加したことによる効果が薄
く、体積固有抵抗値を１０7〜１０11Ω・ｃｍとするこ
とが出来ないからであり、逆に２０重量％より多くなる
と緻密体が得られず、機械的強度が大幅に低下する為に
構造部品材料として使用出来ないからである。
うに限定する理由は、酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆ
ｅ3 Ｏ4 ）が７重量％未満であると酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆ
ｅ2Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を添加したことによる効果が薄
く、体積固有抵抗値を１０7〜１０11Ω・ｃｍとするこ
とが出来ないからであり、逆に２０重量％より多くなる
と緻密体が得られず、機械的強度が大幅に低下する為に
構造部品材料として使用出来ないからである。
【００１６】なお、本発明の導電性セラミックスは、上
記各成分以外に、Ａｌ2 Ｏ3 ，ＣａＯ，ＴｉＯ、ＢａＯ
を１重量％以下の範囲で含有していても良い。
記各成分以外に、Ａｌ2 Ｏ3 ，ＣａＯ，ＴｉＯ、ＢａＯ
を１重量％以下の範囲で含有していても良い。
【００１７】次に、添加混合した原料を型内に充填して
所定形状に成形した後、大気雰囲気中にて１２００〜１
３００℃の温度で１〜２時間程度の焼成を行うことによ
り本発明の導電性セラミックスを得ることが出来る。
所定形状に成形した後、大気雰囲気中にて１２００〜１
３００℃の温度で１〜２時間程度の焼成を行うことによ
り本発明の導電性セラミックスを得ることが出来る。
【００１８】このように本発明の導電性セラミックス
は、大気雰囲気中での焼成が可能である。尚、本発明に
おいて焼成雰囲気は大気雰囲気に限らず、非酸化雰囲気
や還元雰囲気であっても構わない。
は、大気雰囲気中での焼成が可能である。尚、本発明に
おいて焼成雰囲気は大気雰囲気に限らず、非酸化雰囲気
や還元雰囲気であっても構わない。
【００１９】また、本発明の導電性セラミックスは、２
ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及び／又はＭｇＳｉＯ3 の結晶構造を
有し、かつＭｇＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一
種以上の結晶を有することを特徴とする。これは導電性
を得るためには，後述の結晶構造が必要であり，２Ｍｇ
Ｏ・ＳｉＯ2 及び／又はＭｇＳｉＯ3 の結晶構造のみで
は導電性を得ることが出来ないためである。
ＭｇＯ・ＳｉＯ2 及び／又はＭｇＳｉＯ3 の結晶構造を
有し、かつＭｇＦｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一
種以上の結晶を有することを特徴とする。これは導電性
を得るためには，後述の結晶構造が必要であり，２Ｍｇ
Ｏ・ＳｉＯ2 及び／又はＭｇＳｉＯ3 の結晶構造のみで
は導電性を得ることが出来ないためである。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００２１】（実施例１）出発原料をなすＭｇＯとＳｉ
Ｏ2 の複合酸化物と、導電性付与材として酸化鉄をそれ
ぞれ用意し、表１、３、５に示すように添加量を変化さ
せた。それぞれの原料は水又は有機溶剤及び結合材を所
定の容器内に投入し、約１時間混合してスプレ−ドライ
ヤ−等でスラリ−を乾燥し、球形状の２次原料を作製し
た。次に、得られた２次原料を乾式プレスにて１．０ｔ
ｏｎ／ｃｍ2 の成形圧で所定の形状に成形した後、大気
雰囲気中にて１２００〜１３００℃の温度で約２時間焼
成を行った。
Ｏ2 の複合酸化物と、導電性付与材として酸化鉄をそれ
ぞれ用意し、表１、３、５に示すように添加量を変化さ
せた。それぞれの原料は水又は有機溶剤及び結合材を所
定の容器内に投入し、約１時間混合してスプレ−ドライ
ヤ−等でスラリ−を乾燥し、球形状の２次原料を作製し
た。次に、得られた２次原料を乾式プレスにて１．０ｔ
ｏｎ／ｃｍ2 の成形圧で所定の形状に成形した後、大気
雰囲気中にて１２００〜１３００℃の温度で約２時間焼
成を行った。
【００２２】そして、得られたセラミックスを直径６０
ｍｍ×厚さ２ｍｍの寸法に研削加工して体積固有抵抗値
を測定した後、３点曲げ強度の測定を行い、体積固有抵
抗値が１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・ｃｍの範囲内で、か
つ曲げ強度１００ＭＰａ以上を有するものを優れたもの
とした。
ｍｍ×厚さ２ｍｍの寸法に研削加工して体積固有抵抗値
を測定した後、３点曲げ強度の測定を行い、体積固有抵
抗値が１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・ｃｍの範囲内で、か
つ曲げ強度１００ＭＰａ以上を有するものを優れたもの
とした。
【００２３】結果は表２、４、６に示す通りである。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【表２】
【００２６】
【表３】
【００２７】
【表４】
【００２８】
【表５】
【００２９】
【表６】
【００３０】この結果、例えば表１、２より、試料Ｎｏ
１ではＦｅ2 Ｏ3 の含有量が多い為、導電性の効果は得
られたが体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ未満となって
しまった。
１ではＦｅ2 Ｏ3 の含有量が多い為、導電性の効果は得
られたが体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ未満となって
しまった。
【００３１】また、試料Ｎｏ６ではＦｅ2 Ｏ3 の添加量
が６重量％である為に曲げ強度は１５０ＭＰａと構造部
品材料として使用可能な強度を有していたものの、その
添加量が７％未満である為に酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添
加したことによる効果が薄く、体積固有抵抗値を１０11
Ω・ｃｍ未満とすることが出来なかった。
が６重量％である為に曲げ強度は１５０ＭＰａと構造部
品材料として使用可能な強度を有していたものの、その
添加量が７％未満である為に酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）を添
加したことによる効果が薄く、体積固有抵抗値を１０11
Ω・ｃｍ未満とすることが出来なかった。
【００３２】これに対し、試料Ｎｏ２〜５ではＦｅ2 Ｏ
3 の含有量が２０〜７重量％の範囲にある為に、体積固
有抵抗値を１０7 〜１０11Ω・ｃｍの範囲内とすること
が出来、又、曲げ強度も１００ＭＰａ以上を満足するこ
とが出来た。
3 の含有量が２０〜７重量％の範囲にある為に、体積固
有抵抗値を１０7 〜１０11Ω・ｃｍの範囲内とすること
が出来、又、曲げ強度も１００ＭＰａ以上を満足するこ
とが出来た。
【００３３】また、表３〜６においても、同様に本発明
の範囲内とすれば良好な結果であった。
の範囲内とすれば良好な結果であった。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば８０〜９
３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と、２０〜７
重量％の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を
含んで成り、その体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ〜１
０11Ω・ｃｍの導電性セラミックスとしたことにより、
構造部品材料としての強度を維持した状態で導電性を得
ることが出来、静電気除去用部品や、静電気による過電
流防止用工具・治具・保治具、セラミックスヒ−タ−、
セラミックスセンサ、抵抗用基板等の構造部品材料とし
て好適に使用することが出来る。 しかも、大気雰囲気
中での焼成が可能である為に製造工程を簡略化出来、生
産性を高めてコストを低くすることが出来る。
３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複合酸化物と、２０〜７
重量％の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を
含んで成り、その体積固有抵抗値が１０7 Ω・ｃｍ〜１
０11Ω・ｃｍの導電性セラミックスとしたことにより、
構造部品材料としての強度を維持した状態で導電性を得
ることが出来、静電気除去用部品や、静電気による過電
流防止用工具・治具・保治具、セラミックスヒ−タ−、
セラミックスセンサ、抵抗用基板等の構造部品材料とし
て好適に使用することが出来る。 しかも、大気雰囲気
中での焼成が可能である為に製造工程を簡略化出来、生
産性を高めてコストを低くすることが出来る。
Claims (2)
- 【請求項１】８０〜９３重量％のＭｇＯとＳｉＯ2 の複
合酸化物と、２０〜７重量％の酸化鉄（ＦｅＯ、Ｆｅ2
Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 ）を含んで成り、その体積固有抵抗値
が１０7 Ω・ｃｍ〜１０11Ω・ｃｍであることを特徴と
する導電性セラミックス。 - 【請求項２】上記セラミックスは、２ＭｇＯ・ＳｉＯ2
及び／又はＭｇＳｉＯ3 の結晶構造を有し、かつＭｇＦ
ｅ2 Ｏ3 、Ｆｅ3 Ｏ4 の少なくとも一種以上の結晶を有
することを特徴とする請求項１記載の導電性セラミック
ス。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10150445A JPH11343169A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 導電性セラミックス |
| US09/322,140 US6146551A (en) | 1998-05-29 | 1999-05-28 | Semiconductive ceramics and supporting member made of the same for supporting magnetic disk substrate |
| US09/706,916 US6558582B1 (en) | 1998-05-29 | 2000-11-06 | Semiconductive ceramics and supporting member made of the same for supporting magnetic disk substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10150445A JPH11343169A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 導電性セラミックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11343169A true JPH11343169A (ja) | 1999-12-14 |
Family
ID=15497099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10150445A Pending JPH11343169A (ja) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | 導電性セラミックス |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6146551A (ja) |
| JP (1) | JPH11343169A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006089357A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nippon Carbide Ind Co Inc | セラミック基板の製造方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11343169A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Kyocera Corp | 導電性セラミックス |
| JP2002133743A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 情報記録ディスク装置用ディスククランプ、及び、情報記録ディスク装置 |
| JP2003288766A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Kyocera Corp | 磁気ディスク基板用保持部材及びその製造方法 |
| US9034787B2 (en) * | 2009-05-29 | 2015-05-19 | Corning Incorporated | Ceramic articles and methods of producing ceramic articles |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464480A (en) * | 1993-07-16 | 1995-11-07 | Legacy Systems, Inc. | Process and apparatus for the treatment of semiconductor wafers in a fluid |
| US5969902A (en) * | 1995-03-15 | 1999-10-19 | Kyocera Corporation | Support magnetic disk substrate and magnetic disk unit using the support member composed of Forsterite and an iron based component |
| JPH11343169A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Kyocera Corp | 導電性セラミックス |
-
1998
- 1998-05-29 JP JP10150445A patent/JPH11343169A/ja active Pending
-
1999
- 1999-05-28 US US09/322,140 patent/US6146551A/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-11-06 US US09/706,916 patent/US6558582B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006089357A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Nippon Carbide Ind Co Inc | セラミック基板の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6558582B1 (en) | 2003-05-06 |
| US6146551A (en) | 2000-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6352951B1 (en) | Refractory material based on chromium corundum, a chromium corundum brick and the use of said brick | |
| EP1582509B1 (en) | Dense cordierite based sintered body | |
| KR20050085109A (ko) | 지르코니아 강화 알루미나 ｅｓｄ 안전성 세라믹 조성물,부품 및 이의 제조방법 | |
| GB2160858A (en) | Alumina-zirconia ceramic | |
| JPH0234556A (ja) | アルミナ・ジルコニアセラミック | |
| Sheng et al. | Preparation of glass-infiltrated 3Y-TZP/Al2O3/glass composites | |
| JPH11343169A (ja) | 導電性セラミックス | |
| JPH0582550B2 (ja) | ||
| JPS6156184B2 (ja) | ||
| JP2000211968A (ja) | 高耐久性圧電複合セラミックス及びその製法 | |
| JP2882877B2 (ja) | ジルコニア磁器及びその製造方法 | |
| JP3323076B2 (ja) | 導電性セラミックス | |
| JPH05238810A (ja) | 黒色アルミナ焼結体 | |
| JPH11310450A (ja) | 導電性セラミックス | |
| Jin et al. | Thermal and mechanical properties of porous Y-PSZ/zircon composites | |
| JP3329990B2 (ja) | 導電性セラミックス | |
| US2332343A (en) | Ceramic material | |
| JP2004043197A (ja) | セラミックスラリーの製造方法並びにセラミックグリーンシート及びセラミック焼結体 | |
| JP3359489B2 (ja) | 導電性セラミックス | |
| JP2002316869A (ja) | 耐熱性ムライト質焼結体からなるローラハースキルン用ローラ | |
| JP2001302337A (ja) | 耐熱衝撃抵抗性に優れたセラミック製熱処理用部材 | |
| JP4008997B2 (ja) | 半導電性セラミックス及びこれを用いた治工具、磁気ディスク基板用保持部材並びに磁気ディスク装置 | |
| JPS6037561B2 (ja) | 導電性複合セラミツクスの製造方法 | |
| JPH1053459A (ja) | アルミナ磁器組成物 | |
| JPH02199076A (ja) | セラミックス多孔体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050517 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050524 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051227 |