JPH11341367A - ラインセンサカメラ - Google Patents

ラインセンサカメラ

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JPH11341367A
JPH11341367A JP10146260A JP14626098A JPH11341367A JP H11341367 A JPH11341367 A JP H11341367A JP 10146260 A JP10146260 A JP 10146260A JP 14626098 A JP14626098 A JP 14626098A JP H11341367 A JPH11341367 A JP H11341367A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ラインセンサを使用して画素ずらしを適用した
撮像装置において、ラインセンサを使った場合特有の問
題点を考慮し、エリアセンサよりも幅の広い領域を画素
ずらしにより解像度を高めて撮像可能な装置を提供する
ことにある。 【解決手段】その一つの事例として、構成するラインセ
ンサ素子11上に被写体4の像を結像させるための結像
手段3と、複数の画素列11a、11bを、所定の長さ
ずつ周期をずらした位置に形成してなるラインセンサ素
子11と、該ラインセンサ素子11の各画素列11a、
11bを独立したタイミングで動作させて撮像を行い画
像データとして出力する電気回路部分12とからなるラ
インセンサカメラ1としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、画素ずらし手法に
より画素周期よりも高解像度な画像を撮像可能なライン
センサカメラに関するものである。
【0002】
【従来の技術】CCDやCMOSなどの感光素子を使用
したデジタルカメラの解像度を決定する要素の一つとし
て、素子上に形成されている画素間の周期がある。例え
ば画素数が同じならば画素間の周期が短いほど高解像度
の画像が得られる。しかし、画素間の周期を短くすれば
必然的に画素サイズが小さくなり、感度やダイナミック
レンジなど感光素子の性能低下を招くことになる。
【0003】ここで画素サイズを変えないで感光素子の
性能を維持したまま、解像度を上げた画像を得る方法と
して、画素ずらしと呼ばれる方法が従来より知られてい
る。これは、撮像した画像に対して、感光素子の画素間
の周期の1/n(nは正整数)だけ位置をずらした画像
を撮像し元の画像と合成して、解像度を上げた画像を得
る方法である。
【0004】この、画素ずらしと呼ばれる方法は、エリ
アセンサを使った撮像装置に適用され、既に実現してい
る。エリアセンサで画素ずらしによる高解像度の画像を
得る方法としては、被写体を移動させて複数回撮像した
画像を合成する方法、エリアセンサカメラを移動させて
複数回撮像した画像を合成する方法、光学素子によりエ
リアセンサ素子の面上での結像位置をずらして複数回撮
像した画像を合成する方法、ビームスプリッターで像を
分けて複数のエリアセンサカメラで撮像した画像を合成
する方法などがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ライン
センサを使った撮像装置で画素ずらしを適用したものは
今までなく、エリアセンサを使った場合との相違点やラ
インセンサを使った場合の特有の問題点についての検討
も行われていなかった。
【0006】エリアセンサが、画素を2次元に並べた感
光素子であるのに対して、ラインセンサは画素を1次元
的に並べた感光素子である。従って、ラインセンサが2
次元的な画像を得るためには、その画素の並び方向と垂
直な方向に被写体あるいはラインセンサ自体を動かさな
ければならないという特徴がある。
【0007】しかしラインセンサは、比較的容易に画素
数の多い感光素子を製作できるというメリットがある。
例えばCCDエリアセンサでは、1000×1000程
度の画素数になると画素全てに欠陥がない素子を製作す
るのは困難であるが、CCDラインセンサでは5000
画素程度の素子が比較的容易に製作されている。従って
ラインセンサを使えば、エリアセンサよりも幅の広い領
域を観察することができるメリットがある。
【0008】本発明は、ラインセンサを使用して画素ず
らしを適用した撮像装置に関するものであり、その課題
とするところは、ラインセンサを使った場合特有の問題
点を考慮し、エリアセンサよりも幅の広い領域を画素ず
らしにより解像度を高めて撮像可能な装置を提供するこ
とにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項1の発明では、画素ずら
し手法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像出
来るラインセンサカメラであって、それを構成するライ
ンセンサ素子上に被写体の像を結像させるための結像手
段と、複数の画素列を、所定の長さずつ周期をずらした
位置に形成してなるラインセンサ素子と、該ラインセン
サ素子の各画素列を独立したタイミングで動作させて撮
像を行い画像データとして出力する電気回路部分とから
なることを特徴とするラインセンサカメラとしたもので
ある。
【0010】また、請求項2の発明では、画素ずらし手
法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像出来る
ラインセンサカメラであって、それを構成するラインセ
ンサ素子上に被写体の像を結像させるための結像手段
と、その結像光を複数の光路に分けるビームスプリッタ
ーと、該ビームスプリッターにより分けられた前記結像
光をそれぞれ受光するラインセンサ素子群と、該ライン
センサ素子群を各々独立したタイミングで動作させて撮
像を行い画像データとして出力する電気回路部分とから
なることを特徴とするラインセンサカメラとしたもので
ある。
【0011】また、請求項3の発明では、画素ずらし手
法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像出来る
ラインセンサカメラであって、被写体からの光を平行光
にする被写体側結像手段と、該平行光を常光線と異常光
線に分ける複屈折偏光子と、該複屈折偏光子からの光を
ラインセンサ素子上に結像するラインセンサ側結像手段
と、複屈折偏光子により分けられた常光線の像と異常光
線の像のそれぞれを受光するラインセンサ素子群と、該
ラインセンサ素子群を各々独立したタイミングで動作さ
せて撮像を行い画像データとして出力する電気回路部分
とからなることを特徴とするラインセンサカメラとした
ものである。
【0012】また、請求項4の発明では、画素ずらし手
法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像出来る
ラインセンサカメラであって、被写体からの光をライン
センサ素子上に結像する結像手段と、該結像光を常光線
と異常光線に分ける複屈折偏光子と、複屈折偏光子によ
り分けられた常光線の像と異常光線の像のそれぞれを受
光するラインセンサ素子群と、該ラインセンサ素子群を
各々独立したタイミングで動作させて撮像を行い画像デ
ータとして出力する電気回路部分とからなることを特徴
とするラインセンサカメラとしたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて詳細に説明する。本発明のラインセンサカメラ
において、まず請求項1の発明は、図1に示すように、
画素ずらし手法により、画素周期よりも高解像度な画像
を撮像出来るラインセンサカメラ(1)であって、それ
を構成するラインセンサ素子(11)上に被写体(4)
の像を結像させるための結像手段(3)と、図2に示す
ように、複数の画素列a、b(11a、11b)を、所
定の長さずつ周期をずらした位置に形成してなるライン
センサ素子(11)と、該ラインセンサ素子(11)の
各画素列a、b(11a、11b)を独立したタイミン
グで動作させて撮像を行い画像データとして出力する電
気回路部分(12)とからなることを特徴とするもので
ある。
【0014】上記のように、ラインセンサ素子(11)
の画素ずらしを適用したラインセンサカメラ(1)によ
れば、ラインセンサ素子(11)上に形成された複数の
画素列a、b(11a、11b)で、被写体(4)に結
像する撮像位置(4a、4b)の像が所定の量だけずれ
た画像を撮像されるので、ラインセンサ素子(11)を
形成する画素(10)の周期よりも高解像度で撮像する
ことが可能となる。
【0015】以下に上記請求項1の発明のラインセンサ
カメラについて、事例を挙げながらより詳しく、具体的
に説明する。図1は、請求項1の発明のラインセンサカ
メラの一事例を示す概略図であり、この図に示す被写体
(4)は、搬送装置(2)により搬送装置(2)に近接
するパルス発生器(70)の方向すなわち搬送方向
(Y)に、撮像位置a(4a)およびb(4b)付近ま
で搬送される。また搬送装置(2)は、パルス発生器
(70)より搬送距離に応じた電気信号パルス(Sp)
をラインセンサカメラ(1)に送るものである。
【0016】図1に示す結像手段(3)は、上記撮像位
置a、b(4a、4b)からの光をラインセンサ素子
(11)上に、所定の倍率で結像させるものであり、そ
の結像手段(3)としては各種撮影レンズ、顕微鏡など
の光学装置を用いることが出来る。
【0017】また、図1に示すラインセンサカメラ
(1)は、ラインセンサ素子(11)および電気回路部
分(12)からなり、そのラインセンサ素子(11)上
には例えば二つの画素列a、b(11a、11b)が形
成されており、上記結像手段(3)により撮像位置a
(4a)の像は画素列a(11a)上に、撮像位置b
(4b)の像は画素列b(11b)上に結像する。また
電気回路部分(12)はラインセンサ素子(11)の各
画素列a、b(11a、11b)のデータを読み出し、
出力データ(Sd)として出力する。出力データ(S
d)としては各画素列a、b(11a、11b)のデー
タを合成した画像データでもよいし、後段の処理回路で
画像合成が可能ならば各画素列a、b(11a、11
b)のデータそのものでもよい。
【0018】ここで、上述した構成の請求項1の発明の
ラインセンサカメラ(1)による動作等を図1を用いて
具体的に説明すると、まず、被写体(4)が搬送装置
(2)により撮像される撮影位置a(4a)付近まで運
ばれてくると、位置検出手段(図示せず)がそれを検知
し撮像開始信号をラインセンサカメラ(1)に送る。ま
た、照明光照射手段(図示せず)からの照明光により照
らされた撮像位置a(4a)および撮像位置b(4b)
の像はそれぞれ、結像手段(3)によりラインセンサ素
子(11)上の画素列a(11a)およびb(11b)
上で結像する。そして電気回路部分(12)は、前記搬
送装置(2)に近接するパルス発生器(70)からの電
気信号パルス(Sp)が与えるタイミングで、ラインセ
ンサ素子(11)の各画素列a、b(11a、11b)
から画像データを読み出す。
【0019】次に図2、図3に示すラインセンサ素子
(11)は各画素列a、b(11a、11b)からな
り、その各画素列a、b(11a、11b)は、感光領
域となる多数の画素(10)からなっている。この各画
素(10)の感光領域のサイズをu×v、画素の並び方
向の周期をPu、画素列a、b(11a、11b)間の
周期をPvとする。上記図1で示した被写体(4)の搬
送方向(Y)に被写体(4)を搬送するとその像は、図
2、図3に示すように、画素列a(11a)から画素列
b(11b)の方向(Y’)に動いていくものとし、図
2に示すように、画素(10)の並びの方向に1/2周
期シフトさせた場合と、図3に示すように、シフトさせ
ない場合とがある。
【0020】また、図4に示すように、電気回路部分
(12)が画素列a、b(11a、11b)のそれぞれ
からデータを読み出すタイミングを与える水平同期信号
パルスa、b(S4a、S4b)であり、その両パルス
(S4a、S4b)とも、搬送装置(2)が搬送した距
離に応じて出す信号パルス(Sp)をもとに発生するも
のとする。そして画素列a(11a)を駆動する水平同
期信号パルスa(S4a)は、被写体(4)の撮像開始
位置が撮像位置a(4a)に来たことを知らせる撮像開
始信号が来た時点(ts)から発生し始めるものとす
る。また画素列b(11b)を駆動する水平同期信号パ
ルスb(S4b)は、撮像開始信号が来た時点(ts)
から時間Tiだけ遅れて発生し始めるものとする。上記
両パルス(S4a、S4b)とも信号パルスの周期はT
vとする。
【0021】以上のような条件で図11に示すx方向に
1/2周期シフトする方法で画素ずらしの画像データを
撮像したい場合には、そのラインセンサ素子(11)は
図2に示すような1/2シフトした画素列a、b(11
a、11b)の配置のものを使用し、時間(Ti)を、
被写体(4)の像がラインセンサ素子(11)上でPv
だけ進む時間とし、周期Tvを被写体(4)の像がライ
ンセンサ素子(11)上でvだけ進む時間とすればよ
い。このとき画素列a(11a)の各画素(10)の視
野は、図11に示すように、実線で示す四角形のように
なり、また、画素列b(11b)の各画素(10)の視
野は、破線で示す四角形のようになり、両四角形がx方
向に1/2周期ずれた形となる。
【0022】また、図12に示すようにy方向に1/2
周期シフトする方法で画素ずらしの画像データを撮像し
たい場合には、そのラインセンサ素子(11)は図3の
ようなシフトしない画素列a、b(11a、11b)の
配置のものを使用し、時間Tiを、被写体(4)の像が
ラインセンサ素子(11)上で(Pv+v/2)だけ進
む時間とし、周期Tvを被写体(4)の像がラインセン
サ素子(11)でvだけ進む時間とすればよい。このと
き画素列a(11a)の各画素(10)の視野は、図1
2に示すように実線で示す四角形のようになり、画素列
b(11b)の各画素(10)の視野は破線で示す四角
形のようになり、両四角形がy方向に1/2周期ずれた
形となる。
【0023】また、図13のように(x+y)方向に1
/2周期シフトする方法で画素ずらしの画像データを撮
像したい場合には、そのラインセンサ素子(11)は図
2のような1/2シフトした画素列a、b(11a、1
1b)の配置のものを使用し、時間Tiを、被写体
(4)の像がラインセンサ素子(11)上で(Pv+v
/2)だけ進む時間とし、周期Tvを被写体(4)の像
がラインセンサ素子(11)上でvだけ進む時間とすれ
ばよい。このとき各画素列a(11a)の各画素(1
0)の視野は実線で示す四角形のようになり、画素列b
(11b)の各画素(10)の視野は破線で示す四角形
のようになり、両四角形がxとy方向に1/2周期ずれ
た形となる。
【0024】更に、図14に示すように前記3事例のシ
フト方法を全て重ね合わせて画素ずらしの画像データを
撮像したい場合には、そのラインセンサ素子(11)は
図2のような画素列a(11a)と画素列b(11b)
とが1/2シフトした配置のものを使用し、時間Ti
を、被写体(4)の像がラインセンサ素子(11)上で
Pvだけ進む時間とし、周期Tvを被写体(4)の像が
ラインセンサ素子(11)上でv/2だけ進む時間とす
ればよい。このとき画素列a(11a)の各画素(1
0)の視野中心は図14に示す□または●になり、画素
列b(11b)の各画素(10)の視野は図14に示す
○または■になる。撮像は図14のようにしておき、画
像合成のときに使用するデータを選ぶ事もできる。例え
ば□と○のデータのみを使えば図13に示すようなxと
y方向にシフトした形と等価な画像を合成することがで
きる。
【0025】以上のような請求項1の発明の事例では、
2本の画素列a、b(11a、11b)とし画素(1
0)の並び方向へシフトする場合はそのシフト量を画素
間周期の1/2としたが、画素列をn本とし画素の並び
方向への各画素列のシフト量を、画素間周期の1/n、
2/n、....(n−1)/nとして解像度を上げる
こともできる。また、画素列がn本の場合、第(k+
1)番目の画素列を駆動する水平同期信号は、第1番目
の画素列の水平同期信号よりも被写体(4)の像がライ
ンセンサ素子(11)上で(Pv×k)だけ進む時間だ
け遅れて発生し始め、周期Tvは被写体(4)の像がラ
インセンサ素子(11)上で(v/n)だけ進む時間と
すれば、搬送方向(Y)へ1/n、2/n、....
(n−1)/nシフトさせた画像のセットを撮像するこ
とが出来る。
【0026】また、上記事例では、結像手段(3)とラ
インセンサカメラ(1)を固定して被写体(4)のほう
を搬送装置(2)で移動させるものとしたが、被写体
(4)を固定して結像手段(3)とラインセンサカメラ
(1)を連結した状態で移動させるようにしてもよい。
【0027】続いて、本発明のラインセンサカメラにお
いて、請求項2の発明は、図5に示すように、画素ずら
し手法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像可
能なラインセンサカメラ(1)であって、それを構成す
る複数のラインセンサ素子(11)上に被写体(4)の
像を結像させるための結像手段(3)と、その結像光を
複数の光路(4f)に分けるビームスプリッター(B
s)と、該ビームスプリッターに(Bs)より分けられ
た前記結像光をそれぞれ受光するラインセンサ素子(1
1)群と、該ラインセンサ素子(11)群を各々独立し
たタイミングで動作させて撮像を行い画像データとして
出力する電気回路部分(12)とからなることを特徴と
するものである。
【0028】上記のような請求項2の発明の画素ずらし
を適用したラインセンサカメラ(1)によれば、ビーム
スプリッター(Bs)により結像光を複数の光路(4
f)に分け、分けられた結像光をそれぞれ所定の量だけ
結像位置をずらして複数のラインセンサ素子(11)で
撮像することにより、ラインセンサの画素の周期よりも
高解像度で撮像することが可能となる。
【0029】以下に上記請求項2の発明のラインセンサ
カメラについて、事例を挙げながらより詳しく、具体的
に説明する。図5は、請求項2の発明の一事例の構成を
示す概略図であり、被写体(4)、搬送装置(2)およ
び結像手段(3)の構成や動作は、上記請求項1の発明
の事例と同じであるので説明は省略する。この事例のラ
インセンサカメラ(1)は、この他にビームスプリッタ
ー(Bs)、二つのラインセンサ素子a(51a)およ
びラインセンサ素子b(51b)、電気回路部分(1
2)から構成される。
【0030】上記ビームスプリッター(Bs)は結像手
段(3)を通ってきた光の光路(4f)を2つに分け、
各ラインセンサ素子a、b(51a、51b)へ導く。
このビームスプリッター(Bs)としてはペリクルビー
ムスプリッターやキューブビームスプリッター等の光学
素子を用いることが出来る。
【0031】また、ラインセンサ素子a、b(51a、
51b)としては、画素列1本だけの通常のラインセン
サCCD素子などを使用することができる。ラインセン
サ素子a、b(51a、51b)の画素列の位置が、被
写体(4)からの光がビームスプリッター(Bs)を通
った後に結像する点になるよう配置する。また二つのラ
インセンサ素子a、b(51a、51b)の配置は、搬
送方向(Y)にはずらさない場合には図6(a)に示す
ように、1/2周期ずらす場合は図7(a)に示すよう
にすればよい。更に、画素の並び方向にずらさない場合
と1/2周期ずらした場合の、ラインセンサ素子a、b
(51a、51b)の各画素の視野の重なりを図6
(b)、図6(c)、図7(b)、図7(c)に示し
た。
【0032】上述した請求項2の発明の事例に示した構
成の画素ずらしを適用したラインセンサカメラによりな
される動作を、図5を用いて説明すると、被写体(4)
が搬送装置(2)により撮像位置a(4a)付近まで運
ばれてくると、位置検出手段(図示せず)がそれを検知
し撮像開始信号をラインセンサカメラ(1)に送る。ま
た、照明光照射手段(図示せず)からの照明光により照
らされた撮像位置a(4a)付近の像は、結像手段
(3)を通った後ビームスプリッター(Bs)により2
つに分けられ、二つのラインセンサ素子a、b(51
a、51b)上に結像する。一方電気回路部分(12)
は、搬送装置(2)からの電気信号パルス(Sp)が与
えるタイミングで、二つのラインセンサ素子a、b(5
1a、51b)のそれぞれからデータを読み出し、デー
タSdとして出力する。このデータSdとしては各ライ
ンセンサ素子のデータを合成した画像データでもよい
し、後段の処理回路で画像合成が可能ならば各ラインセ
ンサ素子a、b(51a、51b)のデータそのもので
もよい。
【0033】以上のような条件で図11のようにx方向
に1/2周期シフトする方法で画素ずらしの画像データ
を撮像したい場合には、二つのラインセンサ素子a、b
(51a、51b)の配置を、図6(a)に示すように
して被写体(4)の搬送方向(Y)には同じ撮像位置a
(4a)を観察するようにし、図6(c)に示すように
画素の並び方向には1/2周期ずらしてやればよい。こ
の場合、ラインセンサ素子a、b(51a、51b)を
駆動する水平同期信号は共通のものを使用することが出
来る。
【0034】また、図12に示すようにy方向に1/2
周期シフトする方法で画素ずらしの画像データを撮像し
たい場合には、二つのラインセンサ素子a、b(51
a、51b)の配置を、図7(a)に示すようにして搬
送方向(Y)の1画素の視野の1/2だけずれた撮像位
置a(4a)およびb(4b)を観察するようにし、図
7(b)のように画素の並び方向にはずらさないように
してやればよい。この場合、二つのラインセンサ素子
a、b(51a、51b)を駆動する水平同期信号は共
通のものを使用することが出来る。
【0035】あるいは、ラインセンサ素子a、b(51
a、51b)の配置を、図6(a)に示すようにして搬
送方向(Y)には同じ撮像位置(4a)を観察するよう
にし、図6(b)に示すように画素の並び方向にもずら
さないようにして、ラインセンサ素子a、b(51a、
51b)を駆動する水平同期信号の位相が半周期ずれた
ものを使用しても図12に示すような画素ずらしの画像
データを撮像することができる。
【0036】また、図13に示すように、(x+y)方
向に1/2周期シフトする方法で画素ずらしの画像デー
タを撮像したい場合には、二つのラインセンサ素子a、
b(51a、51b)の配置を、図7(a)に示すよう
にして搬送方向(Y)の1画素の視野の1/2だけずれ
た撮像位置a(4a)およびb(4b)を観察するよう
にし、図7(c)に示すように、画素の並び方向にも1
/2周期ずらしてやればよい。この場合、ラインセンサ
素子a、b(51a、51b)を駆動する水平同期信号
は共通のものを使用することが出来る。
【0037】あるいは、二つのラインセンサ素子a、b
(51a、51b)の配置を、図6(a)に示すように
して搬送方向(Y)には同じ撮像位置(4a)を観察す
るようにし、図6(c)に示すように画素の並び方向に
は1/2周期ずらして、二つのラインセンサ素子a、b
(51a、51b)を駆動する水平同期信号の位相が半
周期ずれたものを使用しても図13に示すような画素ず
らしの画像データを撮像することができる。
【0038】更に、図14に示すように、上記3種類の
シフト方法を全て重ね合わせて画素ずらしの画像データ
を撮像したい場合には、図6(c)あるいは図7(c)
に示すように画素の並び方向に1/2周期ずらして、ラ
インセンサ素子a、b(51a、51b)を駆動する水
平同期信号は共通のものを使用すればよい。ただしこの
場合の水平同期信号の周期は上記3種類のシフト方法の
場合の1/2にする必要がある。
【0039】このときラインセンサ素子a(51a)の
各画素の視野中心は図14に示す□または●になり、ラ
インセンサ素子b(51b)の各画素の視野は図14に
示す○または■になる。この時の撮像は図14に示すよ
うにしておき、画像合成のときに使用するデータを選ぶ
事もできる。例えば□と○のデータのみを使えば図13
に示すようなxとyに1/2シフトした場合と等価の画
像を合成することができる。
【0040】なお、上記事例では使用するラインセンサ
素子を2個としたが、ビームスプリッター(Bs)の後
段にさらに別のビームスプリッターを付ければ、ライン
センサ素子の数をさらに増やすことも可能である。例え
ば図8に示すように3個のビームスプリッターBs、B
s’、Bs”と、4個のラインセンサ素子a、b、c、
d(51a、51b、51c、51d)を使用すること
も可能である。
【0041】また、本発明のラインセンサカメラにおい
て、請求項3の発明は、図9に示すように、画素ずらし
手法により、画素周期よりも高解像度な画像を撮像出来
るラインセンサカメラ(1)であって、被写体(4)か
らの光を平行光にする被写体側結像手段(3a)と、該
平行光を常光線(4f1)と異常光線(4f2)に分け
る複屈折偏光子(62)と、該複屈折偏光子(62)か
らの光をラインセンサ素子上に結像するラインセンサ側
結像手段(3b)と、複屈折偏光子(62)により分け
られた常光線(4f1)の像と異常光線(4f2)の像
のそれぞれを受光するラインセンサ素子群(例えばa
(51a)、b(51b))と、該ラインセンサ素子群
を各々独立したタイミングで動作させて撮像を行い画像
データとして出力する電気回路部分(12)とからなる
ことを特徴とするものである。
【0042】上記のような請求項3の発明の画像ずらし
を適用したラインセンサカメラ(1)によれば、複屈折
偏光子(62)により平行光または結像光を常光線(4
f1)と異常光線(4f2)に分け、それぞれを所定の
量だけ結像位置をずらしてラインセンサ素子で撮像する
ことにより、ラインセンサの画素の周期よりも高解像度
で撮像することが可能となる。
【0043】以下に上記請求項3の発明のラインセンサ
カメラについて、事例を挙げながらより詳しく、具体的
に説明する。図9は、請求項3の発明の一事例の構成を
示す概略図であり、被写体(4)、搬送装置(2)およ
び構成や動作は上記請求項1の発明の場合と同じである
ので説明は省略する。このラインセンサカメラ(1)に
使用するスリット(SL)は、撮像位置a(4a)以外
からの光が結像手段(3)に入らないようにするため
に、被写体(4)と結像手段(3)の間に配置される。
【0044】上記結像手段(3)は、被写体側結像手段
(3a)、複屈折偏光子(62)およびラインセンサ側
結像手段(3b)からなり、被写体(4)の撮像位置a
(4a)からの光は被写体側結像手段(3a)により平
行光となり、複屈折偏光子(62)に入射し常光線(4
f1)と異常光線(4f2)に分けられる。その後、ラ
インセンサ側結像手段(3b)により結像するが、常光
線(4f1)の像と異常光線(4f2)の像は異なった
位置に結像する。前記複屈折偏光子(62)は、複屈折
を起こす方向が搬送方向(Y)と平行になるように配置
する。
【0045】請求項3の発明の一事例のラインセンサカ
メラ(1)は、二つのラインセンサ素子a、b(51
a、51b)と、電気回路部分(12)とから構成され
る。また二つのラインセンサ素子a、b(51a、51
b)はそれぞれ撮像位置(4a)の、常光線(4f1)
の像、異常光線(4f2)の像が結像する位置に配置さ
れる。電気回路部分(12)の動作は上記請求項2の発
明の場合と同様であるので説明は省略する。
【0046】本事例では、二つのラインセンサ素子a、
b(51a、51b)は搬送方向(Y)には同じ撮像位
置(4a)を観察することになる。このラインセンサ素
子a、b(51a、51b)を画素の並びの方向にずら
さないか、1/2周期ずらすことにより、さらにライン
センサ素子a、b(51a、51b)を駆動する水平同
期信号の周期や位相を選ぶことにより、前記請求項2の
発明の事例で説明したのと同様に、図11〜14のよう
な画素ずらしの画像データを撮像することができる。
【0047】さらにまた、本発明のラインセンサカメラ
において、請求項4の発明は、図10に示すように、画
素ずらし手法により、画素周期よりも高解像度な画像を
撮像出来るラインセンサカメラ(1)であって、被写体
(4)からの光をラインセンサ素子上に結像する結像手
段(3)と、該結像光を常光線(4f1)と異常光線
(4f2)に分ける複屈折偏光子(62)と、複屈折偏
光子(62)により分けられた常光線(4f1)の像と
異常光線(4f2)の像のそれぞれを受光するラインセ
ンサ素子群(例えばa(51a)、b(51b))と、
該ラインセンサ素子群を各々独立したタイミングで動作
させて撮像を行い画像データとして出力する電気回路部
分(12)とからなることを特徴とするものである。
【0048】上記のような請求項4の発明の画像ずらし
を適用したラインセンサカメラ(1)によれば、複屈折
偏光子(62)により平行光または結像光を常光線(4
f1)と異常光線(4f2)に分け、それぞれを所定の
量だけ結像位置をずらしてラインセンサ素子で撮像する
ことにより、ラインセンサの画素の周期よりも高解像度
で撮像することが可能となる。
【0049】以下に上記請求項4の発明のラインセンサ
カメラについて、具体的に説明する。図10は、請求項
4の発明の一事例の構成を表す概略図であり、結像手段
(3)をのぞいては前記請求項3の発明の事例と同様で
あるので、結像手段(3)についてのみ説明する。この
事例での結像手段(3)は、被写体側結合手段(3a)
と複屈折偏光子(62)からなり、被写体(4)の撮像
位置a(4a)から発した光は、被写体側結合手段(3
a)を通った後、複屈折偏光子(62)により常光線
(4f1)と異常光線(4f2)に分けられ、それぞれ
対応するラインセンサ素子a、b(51a、51b)上
に結像する。その後の動作は前記請求項3の発明の事例
と同様であるので説明は省略する。
【0050】
【発明の効果】本発明は以上の構成であるから、下記に
示す如き効果がある。即ち、構成するラインセンサ素子
上に被写体の像を結像させるための結像手段と、複数の
画素列を、所定の長さずつ周期をずらした位置に形成し
てなるラインセンサ素子と、該ラインセンサ素子の各画
素列を独立したタイミングで動作させて撮像を行い画像
データとして出力する電気回路部分とからなるラインセ
ンサカメラ、または構成するラインセンサ素子上に被写
体の像を結像させるための結像手段と、その結像光を複
数の光路に分けるビームスプリッターと、該ビームスプ
リッターにより分けられた前記結像光をそれぞれ受光す
るラインセンサ素子群と、該ラインセンサ素子群を各々
独立したタイミングで動作させて撮像を行い画像データ
として出力する電気回路部分とからなるラインセンサカ
メラ、または被写体からの光を平行光にする被写体側結
像手段と、該平行光を常光線と異常光線に分ける複屈折
偏光子と、該複屈折偏光子からの光をラインセンサ素子
上に結像するラインセンサ側結像手段と、複屈折偏光子
により分けられた常光線の像と異常光線の像のそれぞれ
を受光するラインセンサ素子群と、該ラインセンサ素子
群を各々独立したタイミングで動作させて撮像を行い画
像データとして出力する電気回路部分とからなるライン
センサカメラ、または被写体からの光をラインセンサ素
子上に結像する結像手段と、結像光を常光線と異常光線
に分ける複屈折偏光子と、複屈折偏光子により分けられ
た常光線の像と異常光線の像のそれぞれを受光するライ
ンセンサ素子群と、該ラインセンサ素子群を各々独立し
たタイミングで動作させて撮像を行い画像データとして
出力する電気回路部分とからなるラインセンサカメラの
ように、画素ずらしを適用したラインセンサカメラとす
ることにより、エリアセンサよりも広い幅の領域を解像
度を高めて撮像できるという効果がある。
【0051】従って本発明は、種々の被写体の表面検査
等の如き用途においてのラインセンサカメラとして、優
れた実用上の効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のうちの請求項1の発明の一実施の形態
を示すラインセンサカメラの概略図である。
【図2】請求項1の発明の一実施の形態を示すもので、
ラインセンサ素子上の画素列配置の一事例を表す図であ
る。
【図3】請求項1の発明の一実施の形態を示すもので、
ラインセンサ素子上の画素列配置の他の一事例を表す図
である。
【図4】請求項1の発明の一実施の形態を示すもので、
画素列からデータを読みだすタイミングを与える水平同
期信号の概略を示す図である。
【図5】本発明のうちの請求項2の発明の一実施の形態
を示すラインセンサカメラの概略図である。
【図6】請求項2の発明の一実施の形態を示すもので、
(a)は、ラインセンサ素子の配置の一事例を表す概略
図である。(b)は、ラインセンサ素子上の画素列配置
の一事例を表す図である。(c)は、ラインセンサ素子
上の画素列配置の他の一事例を表す図である。
【図7】請求項2の発明の一実施の形態を示すもので、
(a)は、ラインセンサ素子の配置の他の一事例を表す
概略図である。(b)は、ラインセンサ素子上の画素列
配置の一事例を表す図である。(c)は、ラインセンサ
素子上の画素列配置の他の一事例を表す図である。
【図8】請求項2の発明の一実施の形態を示すもので、
ラインセンサ素子の配置のさらに他の一事例を表す概略
図である。
【図9】本発明のうちの請求項3の発明の一実施の形態
を示すラインセンサカメラの概略図である。
【図10】本発明のうちの請求項4の発明の一実施の形
態を示すラインセンサカメラの概略図である。
【図11】本発明の一実施の形態を示すもので、画素を
x軸方向に1/2シフトさせたときの各画素の視野の重
複状態を表す図である。
【図12】本発明の一実施の形態を示すもので、画素を
y軸方向に1/2シフトさせたときの各画素の視野の重
複状態を表す図である。
【図13】本発明の一実施の形態を示すもので、画素を
(x+y)軸方向に1/2シフトさせたときの各画素の
視野の重複状態を表す図である。
【図14】本発明の一実施の形態を示すもので、画素を
x軸、y軸および(x+y)軸方向に1/2シフトさせ
合成させたときの各画素の視野の重複状態を表す図であ
る。
【符号の説明】
1‥‥ラインセンサカメラ 2‥‥搬送装置 3‥‥結像手段 3a‥‥被写体側結像手段 3b‥‥ラインセンサ側結像手段 4‥‥被写体 4a‥‥撮像位置a 4b‥‥撮像位置b 4f‥‥光路 4f1‥‥常光線 4f2‥‥異常光線 10‥‥画素 11‥‥ラインセンサ素子 11a‥‥画素列a 11b‥‥画素列b 12‥‥電気回路部分 51a‥‥ラインセンサ素子a 51b‥‥ラインセンサ素子b 51c‥‥ラインセンサ素子c 51d‥‥ラインセンサ素子d 62‥‥複屈折偏光子 70‥‥パルス発生器 Bs‥‥ビームスプリッター Pu‥‥各画素間の、画素の並び方向の周期の長さ Pv‥‥画素列間の周期の長さ Sp‥‥電気信号パルス Sd‥‥出力データ S4a‥‥水平信号パルスa S4b‥‥水平信号パルスb SL‥‥スリット ts‥‥撮像開始信号がきた時点 Tv‥‥水平同期信号の周期 Ti‥‥水平同期信号の第1パルスの間の時間 u‥‥画素の並び方向のサイズ v‥‥画素の並び方向と垂直な方向のサイズ Y‥‥被写体の搬送方向 Y’‥‥被写体の像がラインセンサ上を動く方向

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】画素ずらし手法により、画素周期よりも高
    解像度な画像を撮像出来るラインセンサカメラであっ
    て、それを構成するラインセンサ素子上に被写体の像を
    結像させるための結像手段と、複数の画素列を、所定の
    長さずつ周期をずらした位置に形成してなるラインセン
    サ素子と、該ラインセンサ素子の各画素列を独立したタ
    イミングで動作させて撮像を行い画像データとして出力
    する電気回路部分とからなることを特徴とするラインセ
    ンサカメラ。
  2. 【請求項2】画素ずらし手法により、画素周期よりも高
    解像度な画像を撮像出来るラインセンサカメラであっ
    て、それを構成するラインセンサ素子上に被写体の像を
    結像させるための結像手段と、その結像光を複数の光路
    に分けるビームスプリッターと、該ビームスプリッター
    により分けられた前記結像光をそれぞれ受光するライン
    センサ素子群と、該ラインセンサ素子群を各々独立した
    タイミングで動作させて撮像を行い画像データとして出
    力する電気回路部分とからなることを特徴とするライン
    センサカメラ。
  3. 【請求項3】画素ずらし手法により、画素周期よりも高
    解像度な画像を撮像出来るラインセンサカメラであっ
    て、被写体からの光を平行光にする被写体側結像手段
    と、該平行光を常光線と異常光線に分ける複屈折偏光子
    と、該複屈折偏光子からの光をラインセンサ素子上に結
    像するラインセンサ側結像手段と、複屈折偏光子により
    分けられた常光線の像と異常光線の像のそれぞれを受光
    するラインセンサ素子群と、該ラインセンサ素子群を各
    々独立したタイミングで動作させて撮像を行い画像デー
    タとして出力する電気回路部分とからなることを特徴と
    するラインセンサカメラ。
  4. 【請求項4】画素ずらし手法により、画素周期よりも高
    解像度な画像を撮像出来るラインセンサカメラであっ
    て、被写体からの光をラインセンサ素子上に結像する結
    像手段と、結像光を常光線と異常光線に分ける複屈折偏
    光子と、複屈折偏光子により分けられた常光線の像と異
    常光線の像のそれぞれを受光するラインセンサ素子群
    と、該ラインセンサ素子群を各々独立したタイミングで
    動作させて撮像を行い画像データとして出力する電気回
    路部分とからなることを特徴とするラインセンサカメ
    ラ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008257697A (ja) * 2001-10-26 2008-10-23 Symbol Technologies Inc バーコード・シンボルの像を形成するための半導体デバイス
JP2009080064A (ja) * 2007-09-27 2009-04-16 Nuflare Technology Inc パターン検査装置及びパターン検査方法
JP2009128094A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Nuflare Technology Inc パターン検査装置及びパターン検査方法
JP2021185389A (ja) * 2020-03-06 2021-12-09 フロンティアシステム株式会社 表面検査装置

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