JPH11340212A - 表面波プラズマ蝕刻装置 - Google Patents
表面波プラズマ蝕刻装置Info
- Publication number
- JPH11340212A JPH11340212A JP11043721A JP4372199A JPH11340212A JP H11340212 A JPH11340212 A JP H11340212A JP 11043721 A JP11043721 A JP 11043721A JP 4372199 A JP4372199 A JP 4372199A JP H11340212 A JPH11340212 A JP H11340212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- microwave
- surface wave
- wave plasma
- plasma etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 9
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 6
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- -1 for example Polymers 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/3065—Plasma etching; Reactive-ion etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32192—Microwave generated discharge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
と蝕刻工程進行のための下部領域200よりなる。上部
領域は上部及び下部ガラス板110,114の間に介在
したマイクロ波制限用板116を含む。これにより、マ
イクロ波制限用板が上部及び下部ガラス板の間に介在し
て、プラズマによりマイクロ波制限用板がスパッタリン
グされて汚染粒子として作用する問題点が防止される。
Description
刻装置に係り、特に表面波プラズマ蝕刻装置に関する。
たウェーハを処理できる半導体製造装置に対する要求が
増大している。特に、大径化したウェーハ上に均一な大
きさに正確な臨界寸法の微細パターンを形成するために
は広い面積に亙ってプラズマを形成できる蝕刻装置が必
要である。
マ蝕刻装置がアキモト等の論文(Takeshi Akimoto, Eiji
Ikawa, Toshiaki Sango, Kyouichi Komachi, Katuo Ka
tayama and Tosiki Ebata. “Oxide Etching Using Sur
face Wave Coupled Plasma”. Jpn.J.Appl.Phys.Vol.33
(1994) pp7037-7041)に開示されている。
蝕刻装置はマイクロ波(2.45GHz)による励起に
よって広い面積に亙って均一にプラズマを生成する。絶
縁板、例えばポリマー板を通じて表面波プラズマ蝕刻装
置内に導入されたマイクロ波は接地された上部金属電極
により限定された入射部位を通じて蝕刻チャンバ内に導
入される。
内では下部電極に高周波電力のような高電力が印加され
ることが一般的である。従って、高電力が印加される
と、プラズマは蝕刻対象物ばかりでなく、上部金属電極
にも作用する。従って、プラズマによりスパッタリング
された金属粒子が金属汚染粒子として作用するだけでな
く、蝕刻工程進行時蝕刻対象物のウェーハ上に落ちてパ
ターンの異常を発生させてしまうことになる。
する技術的課題は、金属汚染粒子が発生しない表面波プ
ラズマ蝕刻装置を提供することである。
るための本発明に係る表面波プラズマ蝕刻装置は、マイ
クロ波放射のための上部領域と蝕刻工程進行のための下
部領域よりなり、前記上部領域は、マイクロ波供給及び
導入部、絶縁板、上部及び下部ガラス板、マイクロ波制
限用板、マイクロ波ガイドよりなる。絶縁板は前記マイ
クロ波供給及び導入部と連結されて横長に設置される。
上部及び下部ガラス板は前記絶縁板と離隔して前記絶縁
板と平行に設置される。マイクロ波制限用板は上部及び
下部ガラス板の間に介在される。マイクロ波ガイドは絶
縁板の外側表面、上部ガラス板の側壁及びマイクロ波制
限用板の側壁に形成される。下部領域は上部領域を支持
するチャンバ壁よりなった蝕刻チャンバを含む。
リマー板で、上部及び下部ガラス板は蝕刻工程のオン/
オフによって温度が急激に変化しない温度耐性が大きい
物質、例えば石英で、マイクロ波制限用板は金属板で形
成することが望ましい。特に、下部ガラス板は蝕刻工程
のオン/オフによる急激な温度変化を抑制するために一
定の温度を維持できる厚さで形成されることが望まし
い。
の間及びマイクロ波制限用板と下部ガラス板との間に付
着力を向上させるためのバッファ層をさらに具備でき
る。
ーディングされる下部電極及び前記下部電極に連結され
た高周波電源を具備し、前記チャンバ壁は前記高周波電
源から印加される高周波電力に対して接地機能をするこ
とができる体積を有するように形成されることが望まし
い。
部及び下部ガラス板の間に介在され、プラズマによりマ
イクロ波制限用板がスパッタリングされて汚染粒子とし
て作用する問題点が防止される。
発明の望ましい実施形態を説明することによって本発明
を詳細に説明する。しかし、本発明は以下に開示される
実施形態に限らず相異なる多様な形態で具現でき、単に
本実施形態は本発明の開示を完全にし、通常の知識を有
する者に発明の範ちゅうを完全に知らせるために提供さ
れることである。添付した図面で多数の構成要素の厚さ
は明瞭性のために強調されたものである。また、図面で
同一な参照符号は同一な部材を示す。
波プラズマ蝕刻装置の断面図が、図2には図1のA領域
を拡大した拡大断面図が示されている。以下、図1及び
図2を参考して本発明に係る表面波プラズマ蝕刻装置を
説明する。
クロ波(2.45GHz)による励起によりプラズマを
生成し、これを利用して蝕刻工程を進行する装置であ
る。本発明に係る表面波プラズマ蝕刻装置は大きく上部
領域100と下部領域200よりなる。上部領域100
はマイクロ波を導入し、表面マイクロ波を生成し、マイ
クロ波を制限する機能をする領域である。下部領域20
0は上部領域100から導入されたマイクロ波により形
成されたプラズマを使用して蝕刻工程を進行する蝕刻チ
ャンバである。
部102、マイクロ波ガイド104及び106、絶縁板
108、上部ガラス板110、下部ガラス板114、及
びマイクロ波制限用板116よりなっている。
域100の上端外側に設置され、絶縁板108はマイク
ロ波供給及び導入部102と連結されて横長に上部領域
100の上端に設置される。マイクロ波供給及び導入部
102は表面波プラズマ蝕刻装置内にマイクロ波を供給
及び導入させる。絶縁板108は導入されたマイクロ波
を伝達し表面波を発生させる。絶縁板108はフッ化炭
素系ポリマー、例えばテフロンで形成されることが望ま
しい。
108の上面と、絶縁板108、上部ガラス板110及
びマイクロ波制限用板116の側面に設置される。マイ
クロ波ガイド104、106はマイクロ波が蝕刻チャン
バの外部に放射されることを防止する役割をする。従っ
て、マイクロ波ガイド104、106はマイクロ波が透
過できない金属板で形成されることが望ましい。さらに
望ましくはアルミニウム板または陽極酸化処理されたア
ルミニウム板で形成されることが望ましい。
に所定距離に離隔して配置され、絶縁板108と上部ガ
ラス板110との間の領域112は空気で満たされる。
下部ガラス板114も上部ガラス板110と平行に配置
される。上部ガラス板110と下部ガラス板114は絶
縁板108と下部領域200とを構成する真空状態の蝕
刻チャンバの間にマイクロ波をカップリングするために
設置される。上部ガラス板110と下部ガラス板114
は蝕刻工程のオン/オフにより温度が急激に変化しない
温度耐性の大きな物質で形成されることが望ましい。従
って、石英で形成されることが望ましい。特に下部ガラ
ス板114は温度が急激に変化してポリマーが吸着され
る問題点を防止するために、急激に温度が変化しなく一
定の温度を維持できる厚さに形成する。
110と下部ガラス板114との間に設置される。マイ
クロ波制限用板116は蝕刻対象物上にだけプラズマが
形成されるように、絶縁板108から放射されるマイク
ロ波を蝕刻対象物に対応する領域に制限する機能をす
る。従って、マイクロ波制限用板116はマイクロ波の
透過されない金属板よりなり、蝕刻対象物の領域に当る
部位を除外した領域にだけ形成される。従って、マイク
ロ波制限用板116はアルミニウムまたは陽極酸化処理
されたアルミニウムで形成されることが望ましい。
ロ波制限用板116と上、下部ガラス板110、114
との間にさらに具備して、マイクロ波制限用板116と
上、下部ガラス板110、114との間の付着力を向上
させることが望ましい。バッファ層117、119は窒
化チタン膜またはタンタル膜などを使用して形成するこ
とが望ましい。
電極208、高周波電源212及び排気口218よりな
る。
し、上部領域100を支持する。また、チャンバ壁20
2は高周波電源212から印加される高周波電源に対す
る接地役割ができる体積を有するように形成されること
が望ましい。
ように蝕刻装置の底面に設置される。下部電極208に
は高周波電源212が連結されて高周波電力が印加され
る。下部電極208上には蝕刻対象物210がローディ
ングされる。
使用した蝕刻方法を簡単に説明すれば次の通りである。
まずマイクロ波供給及び導入部102から導入されたマ
イクロ波は絶縁板108から上、下部ガラス板110、
114方向に放射される。放射されたマイクロ波は上部
ガラス板110と下部ガラス板114との間に設置され
ているマイクロ波制限用板116により制限されて下部
領域200に入射される。入射されたマイクロ波214
は蝕刻ガスを励起させてプラズマ216を生成する。こ
のように生成されたプラズマ216が下部電極208上
にローディングされた蝕刻対象物210に作用して蝕刻
工程が進行される。この時、下部電極208には高周波
電源212を通して高周波電力が印加されて蝕刻対象物
に入射されるプラズマのエネルギーを調節する。反応が
完了され、残留するプラズマ216は排気口218を通
じて排気される。
プラズマ蝕刻装置を示す部分拡大断面図である。
ド106、上部ガラス板110及びマイクロ波制限用板
116が支持部204によって支持され、下部ガラス板
114はチャンバ壁203によって支持され、チャンバ
壁203と支持部204はO−リング206により連結
されている点を除いて、その他は図1の構成要素と同一
である。
することによって支持機能をさらに強化させ、チャンバ
壁203と支持部204とをO−リング206により連
結することによってチャンバ内部をより確実に真空状態
にしうる。
に説明するが、この実験例が本発明を制限することでは
ない。
プラズマ蝕刻装置を用いた蝕刻工程>上部電極がプラズ
マによりスパッタリングされる問題点を解決するため
に、アキモト等の論文(Takeshi Akimoto et al. supra)
に開示されている表面波プラズマ蝕刻装置から上部電極
を除去した後、この装置を使用して蝕刻工程を進行し
た。
て金属汚染粒子が発生する問題点は解決されたが、チャ
ンバ壁の上部がスパッタリングに弱くなる新たな問題点
が発生した。
があることが分かった。
形成された表面波プラズマ蝕刻装置を用いた蝕刻工程>
今度は上部電極がプラズマに露出されることを防止する
ためにアキモト等の論文(Takeshi Akimoto et al.supr
a)に開示されている表面波プラズマ蝕刻装置でプラズマ
に露出される上部電極表面にガラス板を形成した。本実
験例ではガラス板を2mm厚さの石英薄板を使用した。
このように形成された装置を使用して蝕刻工程を進行し
た。その結果、上部電極が石英薄板によりプラズマから
保護されるため、金属汚染粒子の発生は顕著に減少した
が、石英薄板の温度が蝕刻工程のオン/オフに応じて7
0℃乃至280℃に急激に変化し、石英薄板の表面にポ
リマーが多量吸着された。
の温度が急激に変化して高温状態を維持できないからで
ある。
は急激に温度が変化しなく蝕刻時に一定の温度を維持し
てポリマーの吸着を防止可能に形成されるべきことが分
かった。
ラス板及び下部ガラス板の間にマイクロ波制限用板が設
置された表面波プラズマ蝕刻装置を用いた蝕刻工程>前
述した実験例1及び2の結果を基にして本発明の第1実
施形態のように、上部ガラス板及び下部ガラス板の間に
マイクロ波制限用板が設置された表面波プラズマ蝕刻装
置を形成した。このように形成された表面波プラズマ蝕
刻装置を使用して蝕刻工程を実施した。
ラズマが蝕刻対象物上にだけ形成されてチャンバの上段
がスパッタリングされる問題点が解決され、マイクロ波
制限用板が下部ガラス板によりプラズマから保護されて
スパッタリングにより金属汚染粒子を形成する問題点も
解決された。そして、下部ガラス板を蝕刻工程時急激に
温度が変化せず、一定の温度を維持できる厚さに形成し
たので、ポリマーが吸着され、これらが再び汚染源とし
て作用する問題点も防止された。
マイクロ波制限用板によりプラズマを蝕刻対象物に集中
させうる。従って、プラズマがチャンバの上段をスパッ
タリングさせる問題点が防止される。また、マイクロ波
制限用板が一対のガラス板の間にサンドウィッチ状に設
置されるので、マイクロ波制限用板が蝕刻途中プラズマ
に露出されない。従ってプラズマによりマイクロ波制限
用板がスパッタリングされて汚染粒子、例えば金属汚染
粒子を発生させる問題点も防止される。またマイクロ波
制限用板をプラズマより保護する下部ガラス板を温度が
急激に変化しない構造に形成することによって、願わな
いポリマーが吸着されることも防止できる効果がある。
蝕刻装置の断面図である。
蝕刻装置の拡大断面図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 マイクロ波放射のための上部領域と蝕刻
工程の進行のための下部領域よりなる表面波プラズマ蝕
刻装置において、 前記上部領域は、 マイクロ波供給及び導入部と、 前記マイクロ波供給及び導入部と連結されて横長に設置
された絶縁板と、 前記絶縁板と離隔して前記絶縁板と平行に設置された上
部及び下部ガラス板と、 前記上部及び下部ガラス板の間に介在されたマイクロ波
制限用板と、 前記絶縁板の外側表面と前記絶縁板、前記上部ガラス板
及び前記マイクロ波制限用板の側壁に形成されたマイク
ロ波ガイドとを含み、 前記下部領域は、 前記上部領域を支持するチャンバ壁よりなった蝕刻チャ
ンバを含むことを特徴とする表面波プラズマ蝕刻装置。 - 【請求項2】 前記絶縁板はフッ化炭素系ポリマー板よ
りなることを特徴とする請求項1に記載の表面波プラズ
マ蝕刻装置。 - 【請求項3】 前記上部及び下部ガラス板は蝕刻工程の
オン/オフによって温度が急激に変化しない温度耐性の
大きな物質よりなることを特徴とする請求項1に記載の
表面波プラズマ蝕刻装置。 - 【請求項4】 前記温度耐性の大きな物質は石英である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面波プラズマ蝕刻
装置。 - 【請求項5】 前記下部ガラス板は蝕刻工程のオン/オ
フによって急激に温度が変化することを抑制するために
一定の温度を維持できる厚さに形成されていることを特
徴とする請求項1に記載の表面波プラズマ蝕刻装置。 - 【請求項6】 前記マイクロ波制限用板は金属板よりな
ることを特徴とする請求項1に記載の表面波プラズマ蝕
刻装置。 - 【請求項7】 前記マイクロ波制限用板と前記上部ガラ
ス板との間及び前記マイクロ波制限用板と前記下部ガラ
ス板との間に付着力を向上させうるバッファ層をさらに
具備することを特徴とする請求項1に記載の表面波プラ
ズマ蝕刻装置。 - 【請求項8】 前記蝕刻チャンバは蝕刻対象物がローデ
ィングされる下部電極と、 前記下部電極に連結された高周波電源を具備し、 前記チャンバ壁は前記高周波電源から印加される高周波
電力に対して接地機能をすることができる体積を有する
ように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の表
面波プラズマ蝕刻装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR98P14068 | 1998-04-20 | ||
KR1019980014068A KR100263902B1 (ko) | 1998-04-20 | 1998-04-20 | 표면 파 플라즈마 식각장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11340212A true JPH11340212A (ja) | 1999-12-10 |
JP3651564B2 JP3651564B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=19536486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04372199A Expired - Fee Related JP3651564B2 (ja) | 1998-04-20 | 1999-02-22 | 表面波プラズマ蝕刻装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6228210B1 (ja) |
JP (1) | JP3651564B2 (ja) |
KR (1) | KR100263902B1 (ja) |
TW (1) | TW407316B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100319894B1 (ko) * | 1999-07-13 | 2002-01-10 | 윤종용 | 표면파 플라즈마 식각장치를 이용한 반도체 웨이퍼 상의 물질막 식각방법 |
JP2009518854A (ja) * | 2005-12-07 | 2009-05-07 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | 基板損失のない表面層除去のための中圧プラズマシステム |
US7938081B2 (en) * | 2006-09-12 | 2011-05-10 | Tokyo Electron Limited | Radial line slot antenna having a conductive layer |
KR20210150883A (ko) * | 2020-06-04 | 2021-12-13 | 삼성전자주식회사 | 기판 처리 장치 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5024716A (en) * | 1988-01-20 | 1991-06-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus for etching, ashing and film-formation |
US6091045A (en) * | 1996-03-28 | 2000-07-18 | Sumitomo Metal Industries, Inc. | Plasma processing apparatus utilizing a microwave window having a thinner inner area |
-
1998
- 1998-04-20 KR KR1019980014068A patent/KR100263902B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-12-24 TW TW087121619A patent/TW407316B/zh not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-02-22 JP JP04372199A patent/JP3651564B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-04-20 US US09/295,629 patent/US6228210B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW407316B (en) | 2000-10-01 |
US6228210B1 (en) | 2001-05-08 |
KR100263902B1 (ko) | 2000-09-01 |
KR19990080666A (ko) | 1999-11-15 |
JP3651564B2 (ja) | 2005-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5593539A (en) | Plasma source for etching | |
KR20020043446A (ko) | 플라즈마 프로세스 장치 | |
JP2002093788A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2019110047A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP3164195B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP2001313286A (ja) | 平行平板型ドライエッチング装置 | |
JP3651564B2 (ja) | 表面波プラズマ蝕刻装置 | |
JP2005044822A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2000315682A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH02106925A (ja) | ドライエッチング装置 | |
JP3192352B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5021556B2 (ja) | 放電装置 | |
JPH11195500A (ja) | 表面処理装置 | |
JP3266076B2 (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置及びその実施に使用する対向電極 | |
JPH0794480A (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
JP2000164392A (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置 | |
JP3042347B2 (ja) | プラズマ装置 | |
JP4686668B2 (ja) | プラズマ処理方法と装置 | |
JP3373466B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP3796265B2 (ja) | プラズマ処理方法、プラズマ処理装置、半導体装置の製造方法及びマイクロ波分散板 | |
JP4052735B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2003124193A (ja) | マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ処理方法 | |
JPH11185993A (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
JP3020621B2 (ja) | プラズマエッチング方法 | |
JPH06120140A (ja) | 半導体製造方法および装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040810 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080304 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090304 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100304 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |