JPH11339652A - シャドーマスクの搬送装置 - Google Patents
シャドーマスクの搬送装置Info
- Publication number
- JPH11339652A JPH11339652A JP14184398A JP14184398A JPH11339652A JP H11339652 A JPH11339652 A JP H11339652A JP 14184398 A JP14184398 A JP 14184398A JP 14184398 A JP14184398 A JP 14184398A JP H11339652 A JPH11339652 A JP H11339652A
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- JP
- Japan
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- Pending
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- Manipulator (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
シャドーマスク30を撓ますことなく搬送することので
きる搬送装置を提供すること。 【解決手段】シャドーマスクを保持する保持具として、
シャドーマスク周辺の無孔部を保持する真空保持具20
と、シャドーマスク中央の有孔部を保持する無接触保持
具10とを具備する搬送装置。
Description
シャドーマスクの搬送装置に関するものであり、特に、
シャドーマスクを撓ますことなく一枚づつ搬送するシャ
ドーマスクの搬送装置に関する。
する搬送装置としては、シャドーマスク周辺の無孔部を
真空パッドなどで吸引し保持して搬送する搬送装置が用
いられている。これは、真空パッドによる真空保持具で
はシャドーマスク中央の有孔部を保持するすることが出
来ないため周辺の無孔部のみを保持しているものであ
る。しかし、このようなシャドーマスク周辺の無孔部の
みを保持し搬送する搬送装置を用い、シャドーマスクを
水平搬送すると、特に大サイズのシャドーマスクにおい
ては、金属薄板であるシャドーマスクが撓んだ状態にな
り好ましいものではない。
用いたシャドーマスクを一枚づつ水平搬送する際に、シ
ャドーマスクを撓ますことなく一枚づつ搬送することの
できるシャドーマスクの搬送装置を提供するものであ
る。
クの搬送装置において、シャドーマスクを保持する保持
具として、シャドーマスク周辺の無孔部を保持する真空
保持具と、シャドーマスク中央の有孔部を保持する無接
触保持具とを具備することを特徴とするシャドーマスク
の搬送装置である。
クの搬送装置を、その実施形態に基づいて説明する。図
1は、本発明によるシャドーマスクの搬送装置の保持ユ
ニットの一実施例を断面で示す概略説明図である。図1
において、保持ユニット(1)は、真空保持具(2
0)、無接触保持具(10)などから構成され、真空保
持具(20)はシャドーマスク(30)周辺の無孔部
(31)に相当する位置に設けられている。真空保持具
(20)の底部には真空パッド(21)があり、シャド
ーマスク(30)周辺の無孔部(31)を保持するよう
になっている。点線矢印は空気の吸引を示している。
0)はシャドーマスク(30)中央の有孔部(32)に
相当する位置に設けられている。無接触保持具(10)
の底部には、溝(13)、無接触パッド(14)などが
あり、シャドーマスク(30)中央の有孔部(32)を
保持するようになっている。実線矢印は空気の吹き込み
を示しており、空気は通気管(11)、無接触パッド
(14)とシャドーマスク(30)とで形成される空間
(12)、溝(13)を経て外部に排出されるようにな
っている。この無接触パッド(14)は、無接触パッド
(14)とシャドーマスク(30)とで形成される空間
(12)の負圧作用により、シャドーマスク(30)を
保持するようになっている。
保持し搬送する状態を断面で示す説明図である。図2に
おいて、例えば、エッチング処理され一枚づつ裁断され
たシャドーマスク(30)が、積載台(40)上に積載
された状態を示しており、保持ユニット(1)がシャド
ーマスク(30)を一枚づつ保持し、例えば、検査台
(42)上に搬送する動作を示しているものである。矢
印で示すように、保持ユニット(1)は上下、及び左右
に移動し、一枚のシャドーマスク(30)が水平に保持
された状態で、積載台(40)上から検査台(42)上
に搬送されるものである。
(20)はシャドーマスク(30)周辺の無孔部(3
1)に相当する位置に設けられているので、シャドーマ
スク(30)周辺の無孔部(31)を保持している。ま
た、無接触保持具(10)はシャドーマスク(30)中
央の有孔部(32)に相当する位置に設けられているの
で、シャドーマスク(30)中央の有孔部(32)を保
持している。このため、シャドーマスク(30)を撓ま
すことなく搬送することができるものとなる。
の底部には、溝(13)、無接触パッド(14)などが
あり、吹き込まれた空気は無接触パッド(14)とシャ
ドーマスク(30)とで形成される空間(12)を通過
する際に、空気の流速が増加するため、この空間(1
2)の圧力が低下し、シャドーマスク(30)を吸引す
ることになるのである。
部に孔のある薄板においても、その孔に影響を受けるこ
となく吸引力として作用するものである。従って、シャ
ドーマスクを撓ますことなく一枚づつ搬送することがで
きるものとなる。
持具として、シャドーマスク周辺の無孔部を保持する真
空保持具と、シャドーマスク中央の有孔部を保持する無
接触保持具とを具備しているので、シャドーマスクを一
枚づつ水平搬送する際に、シャドーマスクを撓ますこと
なく一枚づつ搬送することのできるシャドーマスクの搬
送装置となる。
ユニットの一実施例を断面で示す概略説明図である。
る状態を断面で示す説明図である。
間 13…溝 14…無接触パッド 20…真空保持具 21…真空パッド 30…シャドーマスク 31…無孔部 32…有孔部 40…積載台 42…検査台
Claims (1)
- 【請求項1】シャドーマスクの搬送装置において、シャ
ドーマスクを保持する保持具として、シャドーマスク周
辺の無孔部を保持する真空保持具と、シャドーマスク中
央の有孔部を保持する無接触保持具とを具備することを
特徴とするシャドーマスクの搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14184398A JPH11339652A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | シャドーマスクの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14184398A JPH11339652A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | シャドーマスクの搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11339652A true JPH11339652A (ja) | 1999-12-10 |
Family
ID=15301457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14184398A Pending JPH11339652A (ja) | 1998-05-22 | 1998-05-22 | シャドーマスクの搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11339652A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010264551A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Lintec Corp | 板状部材の搬送装置及び搬送方法 |
-
1998
- 1998-05-22 JP JP14184398A patent/JPH11339652A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010264551A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Lintec Corp | 板状部材の搬送装置及び搬送方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050324 |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080603 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080724 |
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A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080819 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |