JPH11332259A - 調整駆動装置用の圧電式アクチュエ―タ - Google Patents

調整駆動装置用の圧電式アクチュエ―タ

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JPH11332259A
JPH11332259A JP11111184A JP11118499A JPH11332259A JP H11332259 A JPH11332259 A JP H11332259A JP 11111184 A JP11111184 A JP 11111184A JP 11118499 A JP11118499 A JP 11118499A JP H11332259 A JPH11332259 A JP H11332259A
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actuator
spring element
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drive
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JP11111184A
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Claus Zumstrull
ツムシュトゥルル クラウス
Wilhelm Frank
フランク ヴィルヘルム
Andreas Voigt
フォイクト アンドレアス
Carsten Schuh
シュー カルステン
Guenter Lewentz
レヴェンツ ギュンター
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    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H10N30/886—Mechanical prestressing means, e.g. springs
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    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00—Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/21—Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00—Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/26—Fuel-injection apparatus with elastically deformable elements other than coil springs

Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電式アクチュエータ及び調整駆動装置の運
動減衰特性を改良する。 【解決手段】 中空円筒形のばねエレメント４によって
包囲されたアクチュエータスタック３を備え、該アクチ
ュエータスタック３と一緒に前記ばねエレメント４をア
クチュエータ蓋２とアクチュエータ底１との間に締め込
んだ形式の、調整駆動装置ＳＢ用の圧電式アクチュエー
タにおいて、ばねエレメント４とアクチュエータスタッ
ク３との間にアクチュエータジャケット５３が配置され
ており、該アクチュエータジャケット内にアクチュエー
タスタック３、電気的接続端子６及び接続素子７が収納
されており、かつ前記ばねエレメント４が弾性コンパウ
ンド５５を介して摩擦接続式及び／又は形状嵌合式に前
記アクチュエータジャケット５３と結合されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、請求項１に上位概
念として記載した形式の調整駆動装置用の圧電式アクチ
ュエータ、請求項７に上位概念として記載した形式の圧
電式アクチュエータを備えた調整駆動装置及び請求項１
６及び請求項１７に上位概念として記載した形式の圧電
式アクチュエータの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電式アクチュエータは、例えば燃料噴
射弁の調整駆動装置において噴射ニードルを制御するた
め、ひいては内燃機関用の噴射動作を制御するために使
用される。
【０００３】ドイツ連邦共和国特許第３８４４１３４号
明細書に基づいて、圧電式アクチュエータを備えた調整
駆動装置はすでに公知であり、該調整駆動装置の圧電式
アクチュエータスタックは駆動ケーシング内に収容され
て中空円筒状のばねエレメントによって包囲されてお
り、しかも前記のアクチュエータスタック及びばねエレ
メントは、アクチュエータ蓋とシフト可能なアクチュエ
ータ底との間に締め込まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、圧電
式アクチュエータ及び調整駆動装置の減衰特性を改良す
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の圧電式アクチュエータの構成手段は、請求項１の特徴
部に記載した通り、ばねエレメントとアクチュエータス
タックとの間にアクチュエータジャケットが配置されて
おり、該アクチュエータジャケット内にアクチュエータ
スタック、電気的接続端子及び接続素子が収納されてお
り、かつ前記ばねエレメントが弾性コンパウンドを介し
て摩擦接続式及び／又は形状嵌合式に前記アクチュエー
タジャケットと結合されている点にある。
【０００６】また同一課題を解決するための本発明の圧
電式アクチュエータを備えた調整駆動装置の構成手段
は、請求項７の特徴部に記載した通り、駆動ケーシング
が、弾性コンパウンドを介してばねエレメントと摩擦接
続式及び／又は形状嵌合式に互いに結合されている点に
ある。
【０００７】更にまた同一課題を解決するための本発明
の圧電式アクチュエータの製造法の構成手段は、請求項
１６の特徴部によれば、アクチュエータジャケットの内
部に形成された中空プロフィール内に、アクチュエータ
スタック、電気的接続端子及び接続素子を収納し、前記
中空プロフィールに弾性コンパウンドを充填し、前記ア
クチュエータジャケットを中空円筒形のばねエレメント
内に挿嵌し、前記アクチュエータジャケット内に収納さ
れたアクチュエータスタックの両端面を、アクチュエー
タ底とアクチュエータ蓋との間に締め込み、前記のアク
チュエータ蓋及びアクチュエータ底を前記ばねエレメン
トと結合し、かつ前記ばねエレメントと前記アクチュエ
ータジャケットとの間の間隙に、弾性コンパウンドを少
なくとも部分的に充填する点にあり、また請求項１７の
特徴部によれば、アクチュエータスタック、電気的接続
端子及び接続素子を中空円筒形のばねエレメント内に収
納し、前記のばねエレメント及びアクチュエータスタッ
クの両端面をアクチュエータ底とアクチュエータ蓋によ
って封鎖し、前記のアクチュエータ底及びアクチュエー
タ蓋を前記ばねエレメントと結合し、かつ前記中空円筒
形のばねエレメントの内室に弾性コンパウンドを充填す
る点にある。
【０００８】
【発明の効果】本発明によって調整駆動装置の運動減衰
特性は改善され、ひいては調整駆動装置の動作確実性及
び精度が向上されるという利点が得られる。更なる利点
として、調整駆動装置の構成要素が互いに電気的に絶縁
され、かつ外的環境の影響に対して良好に防護される。
【０００９】本発明のその他の有利な構成及び改良は、
請求の範囲の従属項に記載した通りである。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に図面に基づいて本発明の実施
例を詳説する。
【００１１】図１に示したアクチュエータＳは、中空円
筒体として形成されたばねエレメント４を有し、該ばね
エレメントの開口は、アクチュエータ底１とアクチュエ
ータ蓋２によって閉鎖されている。前記のアクチュエー
タ底１とアクチュエータ蓋２は有利には円筒形に形成さ
れている。ばねエレメント４は、アクチュエータスタッ
ク３を内部に収納しかつ電気的接続端子６を内部に収納
したアクチュエータジャケット５３を包囲している。ア
クチュエータスタック３の端面はアクチュエータ蓋２の
カバー面とアクチュエータ底１のカバー面との間に扁平
に締め込まれており、かつアクチュエータスタック３
は、長手方向に膨張しないようにばねエレメント４によ
って予荷重をかけられている。
【００１２】アクチュエータ蓋２は軸方向で１つのリン
グ段部によって区分されており、該リング段部は、アク
チュエータＳの製造時にばねエレメント４に予荷重をか
ける間、ばねエレメント４のストッパとして役立ち、こ
うして有利に製造を単純化する。
【００１３】アクチュエータジャケット５３内には、有
利にはピン状に形成された電気的接続端子６が付加的に
挿入されており、該電気的接続端子は、アクチュエータ
スタック３の縦軸線に対して実質的に平行に方位づけら
れており、かつ殊に孔としてアクチュエータ蓋２内に形
成された端子スルーホール２１を通って外部へ導かれ
る。
【００１４】アクチュエータＳの外面が図２に示されて
いる。アクチュエータＳの電気的接続端子６はアクチュ
エータ蓋２を超えて突出している。アクチュエータ蓋２
とアクチュエータ底１との間に位置している中空円筒形
のばねエレメント４は多数の切欠部４１を有し、該切欠
部は殊に有利にはばねエレメント４の面全体にわたって
配分されている。切欠部４１の分布と形状が、ばねエレ
メント４のばね挙動を決定する。
【００１５】図３にはアクチュエータＳの構造が、図１
のＡ−Ａ線に沿った横断面図で図示されている。アクチ
ュエータスタック３は、上下に成層された多数の圧電素
子を有している。アクチュエータジャケット５３は中空
プロフィールを有し、該中空プロフィール内にアクチュ
エータスタック３が、電気的接続端子６及び接続素子７
と一緒に挿入されており、しかも弾性コンパウンド５５
が中空プロフィールを埋めている。接続素子７は殊に導
電薄膜として形成されており、かつ電気的接続端子６
を、アクチュエータスタック３の側面に装着された電極
に接続している。アクチュエータスタック３は、電気的
接続端子６を介して電気的に作動制御される。
【００１６】弾性コンパウンド５５は次のような材料特
性を有している。すなわち該弾性コンパウンドは電気絶
縁性、弾性及び振動減衰性であり、例えば−４０℃から
＋１５０℃の広い温度範囲にわたって温度安定性を有
し、かつ燃料、例えばディーゼルエンジンオイルに対し
て耐性である。更に弾性コンパウンド５５は、これを囲
む物体の表面に良好に粘着し、これによって物体間に摩
擦接続が生じる。殊に有利には弾性コンパウンド５５は
網状エラストマー、シリコーン又はＬＳＲ（液状シリコ
ーンゴム）から成っている。
【００１７】弾性コンパウンド５５は付加的に切欠部４
１、ばねエレメント４とアクチュエータジャケット５３
との間のギャップ及び電気的接続端子６とアクチュエー
タ底１との間の間隙を全的に又は少なくとも部分的に埋
めて、端子スルーホール２１の領域でアクチュエータＳ
の内室を封隙する。
【００１８】図４には、中空円筒形の駆動ケーシング９
内に収納されているアクチュエータＳを有する調整駆動
装置ＳＢの１実施例が図示されている。駆動ケーシング
９の一方の端面側開口では、アクチュエータ蓋２が円環
状の接合シーム１０を介して駆動ケーシング９と結合さ
れている。反対側の開口では、別の円環状の接合シーム
１０を介してダイヤフラム８が駆動ケーシング９の内面
と結合されている。
【００１９】調整駆動装置ＳＢの構成部分相互の耐久的
な密封結合は接合シーム１０を介して行なわれ、該接合
シームは殊に溶接、例えばレーザ溶接によって製作され
る。
【００２０】円筒形のアクチュエータ底１は軸方向でリ
ング段部によって底板１１と減径された底段部１２とに
区分されている。底段部１２はダイヤフラム８の中央開
口を通って部分的に外向きに導かれ、かつ接合シーム１
０を介してダイヤフラム８の開口縁と結合されている。
【００２１】アクチュエータＳはアクチュエータスタッ
ク３の作動制御によって軸方向に変位される。アクチュ
エータ蓋２は駆動ケーシング９と固着結合されているの
で、調整駆動装置ＳＢのアクチュエータ底１はダイヤフ
ラム８の方へ向かって変位され、それに伴ってダイヤフ
ラム８も連動され、それ相応に弾性変形する。前記変位
は例えば燃料噴射弁、特にディーゼルエンジンオイル噴
射弁の、調整駆動装置ＳＢに接続されたサーボ弁を、或
いは直接に噴射弁ニードルを作動制御する。
【００２２】弾性コンパウンド５５は、駆動ケーシング
９とばねエレメント４間のギャップ内、ばねエレメント
４とアクチュエータジャケット５３間のギャップ内、及
びアクチュエータジャケット５３とアクチュエータスタ
ック３間のギャップ内へ入り込んでいる。ギャップの夫
々対向した面相互はほぼ平行に方位づけられており、か
つアクチュエータスタック３及びばねエレメント４の軸
方向変位によって互いに非平行に運動する。この運動
は、振動減衰性の弾性コンパウンド５５に対して剪断運
動を及ぼし、その場合に生じる減衰値は、 ａ）剪断運動の振幅とギャップ幅との比、 ｂ）ギャップ長及び ｃ）ギャップの充填度、すなわち弾性コンパウンド５５
によって埋められたギャップの充填率に関連している。
【００２３】従って有利に減衰度は上記パラメータによ
って調整可能である。燃料噴射弁では、この減衰手段に
よって噴射弁ニードルの振動又は跳ね返りは阻止され、
これによって噴射時間は有利に短縮され、かつ許容不能
な噴射動作は避けられる。
【００２４】製作時に弾性コンパウンドで間隙を埋める
前に、弾性コンパウンド５５を包囲する物体の表面はプ
ライマーされ、すなわちプライマー物質が表面に塗被さ
れ、かつ弾性コンパウンド５５を包囲する物体への弾性
コンパウンド５５の付着を改善するために役立つ。或い
はプライマー物質が弾性コンパウンド５５内に入れられ
ている場合には、プライマーの製作段階を省くことが可
能である。
【００２５】１実施例ではアクチュエータジャケット５
３はポリアミド（ＰＡ）から成っている。ポリアミドの
弾性は、弾性コンパウンド５５よりも著しく低く、従っ
てアクチュエータスタック３及びばねエレメント４の変
位にごく僅かしか追従しない。アクチュエータジャケッ
ト５３は中空プロフィールを有し、該中空プロフィール
内にアクチュエータスタック３、電気的接続端子６及び
接続素子７が挿入されている。殊にポリアミドから成る
アクチュエータジャケット５３を備えたアクチュエータ
５５の製造法は、次の製作ステップを有している。すな
わち： ａ）アクチュエータスタック３、電気的接続端子６及び
接続素子７をアクチュエータジャケット５３の中空プロ
フィール内へ収納する。
【００２６】ｂ）次いで前記中空プロフィールに弾性コ
ンパウンド５５を充填して、アクチュエータスタック
３、電気的接続端子６及び接続素子７をアクチュエータ
ジャケット５３内に弾性的に埋込んだ状態にする。
【００２７】ｃ）前記アクチュエータジャケット５３を
円筒形のばねエレメント４内へ収納する。
【００２８】ｄ）前記アクチュエータスタック３をその
両端面でアクチュエータ底１とアクチュエータ蓋２との
間に締め込む。
【００２９】ｅ）前記のアクチュエータ蓋２及びアクチ
ュエータ底１を、接合シーム１０を介して前記ばねエレ
メント４と結合する。
【００３０】ｆ）前記のばねエレメント４とアクチュエ
ータジャケット５３との間の間隙に、弾性コンパウンド
４を少なくとも部分的に充填する。
【００３１】最後の３つの製作ステップの順序経過は前
記実施例とは異なっていてもよい。
【００３２】アクチュエータジャケット５３は、別の実
施例では弾性コンパウンド５５、殊にシリコーンから成
っている。
【００３３】弾性コンパウンド５５から成るアクチュエ
ータジャケット５３を備えたアクチュエータの製造法
は、次の製作ステップを有している。すなわち： ａ）アクチュエータスタック３、電気的接続端子６及び
接続素子７の少なくとも一部分にパッシベーション層
（表面不動態化層）でコーティングを施し、該パッシベ
ーション層は殊に弾性コンパウンド５５、例えばシリコ
ーンから成り、かつ、コーティングされた構成要素を、
以後の加工時に保護する。
【００３４】ｂ）アクチュエータスタック３、電気的接
続端子６及び接続素子７を円筒形のばねエレメント４内
へ収納する。
【００３５】ｃ）ばねエレメント４及びアクチュエータ
スタック３の両端面を、アクチュエータ底１及びアクチ
ュエータ蓋２によって閉鎖し、これによってアクチュエ
ータスタックに予荷重をかける。
【００３６】ｄ）殊に切欠部４１及び／又は端子スルー
ホール２１を通して、中空円筒形のばねエレメント４の
内室に弾性コンパウンド５５を充填し、これによって同
時にアクチュエータジャケット５３を製作する。その場
合、ばねエレメント４の表面に特に均等配分された切欠
部４１は、弾性コンパウンド５５の迅速な装入を有利に
容易にする。
【００３７】ｅ）前記場ねエレメント４の内室に弾性コ
ンパウンド５５を充填する前又は後に、アクチュエータ
底１及びアクチュエータ蓋２を、円環状の接合シーム１
０によって中空円筒形のばねエレメント４と結合する。
【００３８】この製造法の場合には、アクチュエータジ
ャケット５３を別個に製作する手間、並びにアクチュエ
ータスタック３、電気的接続端子６及び接続素子７をア
クチュエータジャケット５３内へ挿入する手間が省かれ
るので有利である。
【００３９】本発明のアクチュエータＳは、ばねエレメ
ント４と、殊にポリアミドから成るアクチュエータジャ
ケット５３との間の間隙内へ装入された弾性コンパウン
ド５５を有している。ばねエレメント４とアクチュエー
タジャケット５３との間の相対運動は、前記弾性コンパ
ウンド５５によって減衰される。アクチュエータスタッ
ク３とアクチュエータジャケット５３との間に狭いギャ
ップが形成されており、該ギャップ内に弾性コンパウン
ド５５が挿入されている場合には、前記相対運動は強く
減衰される。
【００４０】本発明の調整駆動装置ＳＢはアクチュエー
タＳを備え、その場合ばねエレメント４と駆動ケーシン
グ９との間の間隙内には弾性コンパウンド５５が装入さ
れている。ばねエレメント４と駆動ケーシング９との間
の相対運動は前記弾性コンパウンド５５によって減衰さ
れる。この実施形態ではアクチュエータジャケット５３
は弾性コンパウンド５５から成り、その場合、アクチュ
エータスタック３はばねエレメント４に対して相対運動
するが、この相対運動は、アクチュエータスタック３と
ばねエレメント４との距離が大きく隔たっていることに
基づいて、アクチュエータジャケット５３の弾性コンパ
ウンド５５によって弱く減衰される。
【００４１】その他の構成態様は、本発明の実施形態の
構成手段のコンビネーションによって得られる。該構成
手段のコンビネーションによって、相対運動の減衰率を
有利に調整することが可能である。
【００４２】弾性コンパウンド５５を包囲する表面構造
を形成することによって、例えば駆動ケーシング９の内
周面に設けた複数の円環状凹所９１（リング溝）を介し
て、アクチュエータジャケット５３の表面に設けた複数
の凹所を介して、或いはばねエレメント４の切欠部４１
を介して形状嵌合させることによって、弾性コンパウン
ド５５を包囲する表面に弾性コンパウンド５５を永久的
に付着することが強化され、従って一層確実な摩擦接続
が得られる。
【００４３】アクチュエータスタック５３、電気的接続
端子６及び接続素子７は、外界雰囲気の影響に対して多
重的に、つまりアクチュエータジャケット５３、弾性コ
ンパウンド５５及び円環状の接合シーム１０によって有
利に防護されている。
【００４４】駆動ケーシング９の材料は、著しく僅かな
温度係数で膨張し、かつアンバー（Ｉｎｖａｒ；３５％
Ｎｉ，６５％Ｆｅ）から成っているのが有利である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図３のＢ−Ｂ線に沿ったアクチュエータの縦断
面図である。
【図２】アクチュエータ全体の立体的な斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿ったアクチュエータの横断
面図である。
【図４】アクチュエータを備えた調整駆動装置の縦断面
図である。
【符号の説明】
Ｓ アクチュエータ、 ＳＢ 調整駆動装置、 １ ア
クチュエータ底、 ２アクチュエータ蓋、 ３ アクチ
ュエータスタック、 ４ ばねエレメント、６ 電気的
接続端子、 ７ 接続素子、 ８ ダイヤフラム、 ９
駆動ケーシング、 １０ 接合シーム、 １１ 底
板、 １２ 底段部、 ２１ 端子スルーホール、 ４
１ 切欠部、 ５３ アクチュエータジャケット、 ５
５ 弾性コンパウンド、 ９１ 円環状凹所又はリング
溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アンドレアス フォイクト ドイツ連邦共和国 レーゲンスブルク リ ービッヒシュトラーセ 27 (72)発明者 カルステン シュー ドイツ連邦共和国 バルトハム ブルネン シュトラーセ 73 (72)発明者 ギュンター レヴェンツ ドイツ連邦共和国 レーゲンスブルク レ ルヒェンヴェーク ５

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 中空円筒形のばねエレメント（４）によ
    って包囲されたアクチュエータスタック（３）を備え、
    該アクチュエータスタック（３）と一緒に前記ばねエレ
    メント（４）をアクチュエータ蓋（２）とアクチュエー
    タ底（１）との間に締め込んだ形式の、調整駆動装置
    （ＳＢ）用の圧電式アクチュエータ（Ｓ）において、 ばねエレメント（４）とアクチュエータスタック（３）
    との間にアクチュエータジャケット（５３）が配置され
    ており、該アクチュエータジャケット内にアクチュエー
    タスタック（３）、電気的接続端子（６）及び接続素子
    （７）が収納されており、かつ前記ばねエレメント
    （４）が弾性コンパウンド（５５）を介して摩擦接続式
    及び／又は形状嵌合式に前記アクチュエータジャケット
    （５３）と結合されていることを特徴とする、調整駆動
    装置用の圧電式アクチュエータ。
  2. 【請求項２】 ばねエレメント（４）が複数の切欠部
    （４１）を有し、該切欠部内に少なくとも部分的に弾性
    コンパウンド（５５）が装入されている、請求項１記載
    の調整駆動装置用の圧電式アクチュエータ。
  3. 【請求項３】 ばねエレメント（４）の切欠部（４１）
    がばねエレメント（４）の面に配分されている、請求項
    ２記載の調整駆動装置用の圧電式アクチュエータ。
  4. 【請求項４】 アクチュエータジャケット（５３）の表
    面が、表面構造を有し、該表面構造内に少なくとも部分
    的に弾性コンパウンド（５５）が装入されている、請求
    項１から３までのいずれか１項記載の調整駆動装置用の
    圧電式アクチュエータ。
  5. 【請求項５】 アクチュエータジャケット（５３）が弾
    性コンパウンド（５５）から成っている、請求項１から
    ４までのいずれか１項記載の調整駆動装置用の圧電式ア
    クチュエータ。
  6. 【請求項６】 弾性コンパウンド（５５）が、シリコー
    ンから成っている、請求項１から５までのいずれか１項
    記載の調整駆動装置用の圧電式アクチュエータ。
  7. 【請求項７】 駆動ケーシング（９）内に挿嵌された圧
    電式アクチュエータ（Ｓ）を備え、該圧電式アクチュエ
    ータ（Ｓ）には、中空円筒形のばねエレメント（４）に
    よって包囲されたアクチュエータスタック（３）を配備
    し、前記ばねエレメント（４）をアクチュエータスタッ
    ク（３）と一緒にアクチュエータ蓋（２）とアクチュエ
    ータ底（１）との間に締め込んでいる形式の調整駆動装
    置（ＳＢ）において、 駆動ケーシング（９）が、弾性コンパウンド（５５）を
    介してばねエレメント（４）と摩擦接続式及び／又は形
    状嵌合式に互いに結合されていることを特徴とする、圧
    電式アクチュエータを備えた調整駆動装置。
  8. 【請求項８】 駆動ケーシング（９）が両端面側に開口
    を有し、この両端面側開口が、アクチュエータ蓋（２）
    と、アクチュエータ底（１）に結合されていて中央開口
    を有するダイヤフラム（８）とによって閉鎖されてお
    り、前記中央開口を通って前記アクチュエータ底（１）
    が部分的に外向きに導かれている、請求項７記載の調整
    駆動装置。
  9. 【請求項９】 駆動ケーシング（９）の内周面が表面構
    造を有し、該表面構造内に少なくとも部分的に弾性コン
    パウンド（５５）が装入されている、請求項７又は８記
    載の調整駆動装置。
  10. 【請求項１０】 ばねエレメント（４）が複数の切欠部
    （４１）を有し、該切欠部内に少なくとも部分的に弾性
    コンパウンド（５５）が充填されている、請求項７から
    ９までのいずれか１項記載の調整駆動装置。
  11. 【請求項１１】 ばねエレメント（４）の複数の切欠部
    （４１）が、ばねエレメント（４）の面に配分されてい
    る、請求項１０記載の調整駆動装置。
  12. 【請求項１２】 アクチュエータジャケット（５３）の
    表面が表面構造を有し、該表面構造内に、少なくとも部
    分的に弾性コンパウンド（５５）が充填されている、請
    求項７から１１までのいずれか１項記載の調整駆動装
    置。
  13. 【請求項１３】 アクチュエータジャケット（５３）が
    弾性コンパウンド（５５）から成っている、請求項７か
    ら１２までのいずれか１項記載の調整駆動装置。
  14. 【請求項１４】 弾性コンパウンド（５５）がシリコー
    ンから成っている、請求項７から１３までのいずれか１
    項記載の調整駆動装置。
  15. 【請求項１５】 駆動ケーシング（９）がアンバーから
    成っている、請求項７から１４までのいずれか１項記載
    の調整駆動装置。
  16. 【請求項１６】 請求項１から６までのいずれか１項記
    載の調整駆動装置（ＳＢ）用の圧電式アクチュエータ
    （Ｓ）の製造法において、 アクチュエータジャケット（５３）の内部に形成された
    中空プロフィール内に、アクチュエータスタック
    （３）、電気的接続端子（６）及び接続素子（７）を収
    納し、前記中空プロフィールに弾性コンパウンド（５
    ５）を充填し、前記アクチュエータジャケット（５３）
    を中空円筒形のばねエレメント（４）内に挿嵌し、前記
    アクチュエータジャケット（５３）内に収納されたアク
    チュエータスタック（３）の両端面を、アクチュエータ
    底（１）とアクチュエータ蓋（２）との間に締め込み、
    前記のアクチュエータ蓋（２）及びアクチュエータ底
    （１）を前記ばねエレメント（４）と結合し、かつ前記
    ばねエレメント（４）と前記アクチュエータジャケット
    （５３）との間の間隙に、弾性コンパウンド（４）を少
    なくとも部分的に充填することを特徴とする、調整駆動
    装置用の圧電式アクチュエータの製造法。
  17. 【請求項１７】 請求項１から６までのいずれか１項記
    載の調整駆動装置（ＳＢ）用の圧電式アクチュエータ
    （Ｓ）の製造法において、 アクチュエータスタック（３）、電気的接続端子（６）
    及び接続素子（７）を中空円筒形のばねエレメント
    （４）内に収納し、前記のばねエレメント（４）及びア
    クチュエータスタック（３）の両端面をアクチュエータ
    底（１）とアクチュエータ蓋（２）によって封鎖し、前
    記のアクチュエータ底（１）及びアクチュエータ蓋
    （２）を前記ばねエレメント（４）と結合し、かつ前記
    中空円筒形のばねエレメント（４）の内室に弾性コンパ
    ウンド（５５）を充填することを特徴とする、調整駆動
    装置用の圧電式アクチュエータの製造法。
  18. 【請求項１８】 アクチュエータスタック（３）、電気
    的接続端子（６）及び接続素子（７）を中空円筒形のば
    ねエレメント（４）内に収納する前に、前記のアクチュ
    エータスタック（３）、電気的接続端子（６）及び接続
    素子（７）にパッシベーション層でコーティングを施
    す、請求項１７記載の調整駆動装置用の圧電式アクチュ
    エータの製造法。
JP11111184A 1998-04-22 1999-04-19 調整駆動装置用の圧電式アクチュエ―タ Withdrawn JPH11332259A (ja)

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