JPH11330192A - ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】キャリアから所定の装置にウェハを搬送する際
の、ウェハの取り忘れに起因する不良品の発生を防止す
る。 【解決手段】図の左側である装置外部に配置されたキャ
リア３がキャリア移載機１によりキャリアストッカ４に
順次積み込まれる。キャリアストッカ４に積み込まれた
キャリア３内には複数枚のウェハ２が収容されており、
ウェハ移載機５によってキャリア３からボート６にウェ
ハ２が移載される。この後、キャリア移載機１に取り付
けられたウェハ検知装置４１は上方または下方に移動し
ながら、キャリア３内にウェハ２の取り忘れがないかを
検知し、取り忘れが検知された場合には、その旨を装置
の使用者に知らせる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハを搬送する
ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ウェハに所定の熱処理を行うために、複
数枚のウェハを収容しているキャリアとボートとの間で
ウェハを搬送する装置が用いられている。これらの装置
では、キャリア内に収容されている全てのウェハを取り
出して、ボート側に搬送する。この後、ボートに収容さ
れたウェハに所定の熱処理が行われる。このようにして
熱処理が行われたウェハは、ボートから取り出されて再
びキャリアに収容される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な搬送装置では、キャリア内に収容されている複数枚の
ウェハを取り出すときに、搬送ミス等によりウェハを取
り忘れることがある。このようなキャリア内に取り忘れ
られたウェハは、所定の熱処理が施されないため、不良
品となってしまう。また、ウェハの取り忘れの原因が、
例えばウェハを取り出すアームの位置ずれによるもので
ある場合には、この後、次のキャリアからウェハを取り
出すときにも、同様の取り忘れが生じてしまうことにな
る。

【０００４】本発明は、上記の事情を考慮してなされた
ものであり、キャリアから所定の装置にウェハを搬送す
る際の、ウェハの取り忘れに起因する不良品の発生を防
止することができるウェハ搬送装置およびウェハ搬送方
法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１に記載のウェハ搬送装置は、キャ
リアに収容されているウェハを所定の装置に搬送する装
置であって、前記キャリア内における前記ウェハの有無
を検知する検知手段と、前記キャリア内に収容された前
記ウェハを前記キャリアから前記ボートに搬送した後
に、前記検知手段により前記キャリア内に前記ウェハが
あることが検知された場合に、前記キャリア内に前記ウ
ェハがあることを使用者に報知する報知手段とを具備す
ることを特徴とする。

【０００６】この構成によれば、キャリアからウェハを
取り出す際に、ウェハの取り忘れがあった場合には、キ
ャリア内にウェハの取り忘れがあることを使用者に報知
することができる。これにより使用者は装置の復旧作業
等を行い、装置を正常な状態に戻してからウェハの搬送
作業を行うことができる。従って、キャリア内における
ウェハの取り忘れに起因する不良品の発生を防止するこ
とができる。

【０００７】また、請求項２に記載のウェハ搬送装置
は、請求項１に記載のウェハ搬送装置において、前記キ
ャリアを複数収容することが可能なキャリアストッカを
具備し、前記検知手段は、前記キャリアストッカに収容
されている複数の前記キャリアに沿って移動可能になさ
れており、前記キャリアストッカに収容されている複数
の前記キャリア内における前記ウェハの有無を検知する
ことを特徴とする。

【０００８】この構成によれば、検知手段が移動するこ
とによりキャリアストッカに収容された複数のキャリア
内におけるウェハの有無を短時間で効率よく検知するこ
とができる。

【０００９】また、請求項３に記載のウェハ搬送装置
は、請求項２に記載のウェハ搬送装置において、前記検
知手段は、前記キャリア内に前記ウェハが収容されてい
るときの前記ウェハの側面となる位置に向けて検出光を
照射し、前記ウェハからの反射光が検出されるか否かに
よって、前記キャリア内における前記ウェハの有無を検
知することを特徴とする。

【００１０】この構成によれば、キャリア内に複数のウ
ェハが配置されているときのウェハの側面となる位置に
向けて検出光を照射し、ウェハがキャリア内に取り残さ
れている場合には、ウェハからの反射光が検知されるか
否かによって、ウェハの有無を検知することができる。
これによりキャリアに収容可能なウェハの枚数に対応し
て検出装置を設ける必要がなく、１つの検出装置で連続
して複数のキャリア内におけるウェハの有無を検知する
ことができる。従って、簡易な構成でありながら、キャ
リア内におけるウェハの有無をより短時間で効率よく検
知することができる。

【００１１】また、請求項４に記載のウェハ搬送方法
は、キャリアに収容されているウェハを所定の装置に搬
送する方法であって、前記キャリア内に収容されている
前記ウェハを前記キャリアから前記所定の装置に搬送し
た後に、前記キャリア内における前記ウェハの有無を検
知する第１の過程と、前記第１の過程により前記キャリ
ア内に前記ウェハがあることが検知された場合に、前記
キャリア内に前記ウェハがあることを使用者に報知する
第２の過程とを具備することを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。 Ａ．第１実施形態 Ａ−１．ウェハ搬送装置の構成 図１は本発明の第１実施形態に係るウェハ搬送装置を示
す。図１において、符号１は、キャリア移載機を示す。
キャリア移載機１は、図の上下方向に移動可能になされ
ており、図における左側の装置外部から搬送されてくる
キャリア３を取り出してキャリアストッカ４内に積み込
む。このキャリア３には、複数枚のウェハ２が積層配置
されている。キャリアストッカ４は、キャリア３を上下
方向に複数（図示は６個）収容することが可能であり、
キャリア移載機１によりキャリアストッカ４内にキャリ
ア３が順次積み込まれる。

【００１３】キャリアストッカ４の図中の右側には、ウ
ェハ移載機５が上下方向に移動可能に配設されている。
ウェハ移載機５は、キャリアストッカ４に積み込まれた
キャリア３に積層配置されているウェハ２を取り出して
ボート６内に収容する。ボート６は、昇降機７により上
下方向に移動可能になされており、ウェハ移載機５によ
ってウェハ２が収容された後に、上方の熱処理炉８内に
移動するようになっている。このようにしてウェハ２が
熱処理炉８内に搬入され、所定の熱処理が行われる。

【００１４】次に、キャリア３からボート６にウェハ２
を搬送した後に、キャリア３内にウェハ２の取り忘れが
ないかを検知する構成について説明する。キャリアスト
ッカ４の上方には、ウェハ検知装置（検知手段）１０が
配置されており、検出時には、キャリア移載機１により
キャリア３が、図において破線で示す位置に移動させら
れるようになっている。

【００１５】図２に示すように、ウェハ検知装置１０に
は、キャリア３のウェハ２の収容枚数と同数の凹部２１
が形成されている。各凹部２１の上下の面に互いに向き
合うように、発光素子２２と受光素子２３とがそれぞれ
配置されている。

【００１６】ここで、図２中の一点鎖線はウェハ２の有
無を検出するときの、キャリア３内に収容されるウェハ
２の位置を示す。この構成により、キャリア３内にウェ
ハ２が残っている場合には、一点鎖線で示す位置にウェ
ハ２が存在することとなり、発光素子２２の発する検出
光が受光素子２３に受光されないことになる。

【００１７】次に、ウェハ検知装置１０によってキャリ
ア３内にウェハ２の取り忘れが検知された場合に、その
旨をウェハ搬送装置の使用者に知らせる報知システム
（報知手段）について説明する。図３に示すように、こ
の報知システム２７は、制御部２４と、アラーム２５
と、表示装置２６とから構成されている。

【００１８】制御部２４は、ウェハ検知装置１０のいず
れかの受光素子２３で対応する発光素子２２の発する検
出光が受光されない、すなわちキャリア３内にウェハ２
の取り忘れがあった場合には、使用者にウェハ２の取り
忘れがあったことを知らせる。このウェハ搬送装置で
は、アラーム２５がブザーを鳴らすとともに、表示装置
２６にウェハ２の取り忘れがあることを表示することに
より警報を発して使用者に報知している。なお、ウェハ
検知装置１０によりウェハ２の取り忘れが検知された場
合に、この装置の搬送動作を自動的に停止させて、使用
者にウェハ２の取り忘れがあったことを知らせるように
してもよい。

【００１９】次に、所定の熱処理が施されたウェハ２を
キャリア３に収容するときの動作について説明する。上
述したように熱処理炉８内でウェハ２に熱処理が施され
た後には、ボート６は図１に示す位置に下降するように
なっている。ウェハ移載機５は、ボード６から熱処理の
施されたウェハ２を取り出し、取り出したウェハ２をキ
ャリアストッカ４内のキャリア３内に積層配置する。キ
ャリア移載機１は、熱処理の施されたウェハ２が収容さ
れたキャリア３をキャリアストッカ４から取り出し、図
中の左側の装置外部に移動させる。

【００２０】Ａ−２．ウェハの搬送方法 次に、上述の実施形態に係るウェハ搬送装置を用いてウ
ェハを搬送する方法について説明する。図４に示すよう
に、まず、ステップＳ１で複数のウェハ２が収容された
キャリア３がキャリアストッカ４内に順次積み込まれ
る。そして、キャリアストッカ４にキャリア３が積み込
まれると、ステップＳ２でキャリアストッカ４に積み込
まれたキャリア３内に収容されているウェハ２がウェハ
移載機５により取り出され、ボート６に移載される。

【００２１】ウェハ移載機５によるウェハ２の移載作業
が終了すると、ステップＳ３でキャリア移載機１によっ
て、ウェハ２が取り出されたキャリア３が、ウェハ検知
装置１０に隣接する位置まで移動させられる。そして、
ウェハ検知装置１０がキャリア３内におけるウェハ２の
有無を検知する。

【００２２】ここで、キャリア３内にウェハ２が残って
いた、すなわちウェハ２の取り忘れがあった場合には、
ステップＳ４で報知システム２７が警報を発して使用者
にウェハの取り忘れがあることを知らせる。この後、ス
テップＳ５で使用者による復旧作業が行われ、このウェ
ハ搬送装置を正常状態に戻してからステップＳ１に戻
り、搬送作業が再開される。

【００２３】ステップＳ３でキャリア３内にウェハ２が
検知されない場合には、ステップＳ６でボート６が熱処
理炉８内に移動させられることによりウェハ２が熱処理
炉８へ搬入される。そして、ステップＳ７でウェハ２に
所定の熱処理が施され、ステップＳ８で熱処理が施され
たウェハ２が熱処理炉８から搬出される。この後、ステ
ップＳ９でボート６からキャリアストッカ４内のキャリ
ア３に熱処理済みのウェハ２が収容され、ステップＳ１
０で熱処理済みのウェハ２が収容されたキャリア３が装
置外部へ搬出される。この後はステップＳ１に戻り、次
に本装置に搬送されてくるキャリア３に同様の処理がな
される。

【００２４】Ａ−３．効果 本実施形態に係るウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法
によれば、キャリア３内のウェハ２をボート６に移載す
る作業において、ウェハ２の取り忘れがあった場合に
も、ウェハ検知装置１０がウェハ２の取り忘れがあるこ
とを検知し、報知システム２７により本装置の使用者に
警報を発することができる。これにより使用者はウェハ
２の搬送作業を停止し、必要な復旧作業を行って正常な
状態に戻してから、ウェハ搬送装置を搬送状態に復帰さ
せることができる。従って、キャリア３内にウェハ２が
取り忘れられたまま、それ以後の工程（熱処理等）に進
むことがなくなり、不良品の発生を防止することができ
る。

【００２５】なお、上述の実施形態に係るウェハ搬送装
置において、ウェハ検知装置１０を設ける位置は、図１
に示す位置に限らず、他の構成要素に干渉しない位置で
あればよい。例えば、キャリアストッカ４内に積み込ま
れたキャリア３に対応する位置にウェハ検知装置１０を
設けるようにしてもよい。このようにすれば、ウェハ２
の有無を検知するためにキャリア３を移動させる必要が
なくなる。

【００２６】Ｂ．第２実施形態 図５は、本発明の第２実施形態に係るウェハ搬送装置を
示す。本実施形態では、第１実施形態におけるウェハ検
知装置１０の代わりに、ウェハ検知装置４１がキャリア
移載機１に取り付けられている。すなわち、ウェハ検知
装置４１は、キャリアストッカ４に沿って上下方向に移
動可能になされている。

【００２７】図６に示すように、ウェハ検知装置４１に
は、図の右側であるキャリアストッカ４側に受光素子４
２と発光素子４３とが配設されており、検出時には、発
光素子４３が図中矢印で示す方向に検出光を発する。ま
た、受光素子４２と発光素子４３との間には、遮光板４
４が配設されている。

【００２８】ここで、図６中の一点鎖線はウェハ２の有
無を検出するときに、キャリア３内に収容されるウェハ
２の位置を示すものであり、キャリア３内にウェハ２の
取り忘れがある場合には、発光素子４３の発する検出光
が取り忘れられたウェハ２の側面付近を照射することに
なる。

【００２９】この構成の下、ウェハ検知装置４１はキャ
リアストッカ４に沿って上方若しくは下方に移動しなが
ら検出光を発し、複数のキャリア３内のウェハ２の有無
を連続して検知する。

【００３０】図７（ａ）、（ｂ）は、受光素子４２の受
光する光量とウェハ検知装置４１の移動距離との関係を
示す図であり、縦軸はウェハ検知装置４１の移動距離、
横軸は受光素子４２の受光量を示している。図７（ａ）
は、キャリア３内にウェハ２が残っていない、すなわち
ウェハ２の取り忘れがない場合を示す図であり、この場
合には、受光素子４２により受光される光量はほとんど
変化しない。

【００３１】一方、図７（ｂ）に示すように、キャリア
３内にウェハ２が残っている、すなわちウェハ２の取り
忘れがあった場合には、Ａ，Ｂ点の２箇所で受光素子４
２の受光量が増加する。これは、Ａ，Ｂ点にそれぞれウ
ェハ２が残っており、ウェハ検知装置４１がこの２点の
側方を移動したときに、ウェハ２の側面付近からの反射
光を受光したためである。

【００３２】このように受光素子４２の受光量が増加し
た場合には、図３に示す制御部２４によってウェハ２の
取り忘れがあったものと判断され、これにより第１実施
形態と同様に報知システム２７が使用者に警報を発す
る。

【００３３】本実施形態では、ウェハ検知装置４１が移
動しながら、複数のキャリア３内におけるウェハ２の有
無の検知を行うことができる。また、キャリア３内に収
容できるウェハ２の枚数に対応して受光素子４２および
発光素子４３を設ける必要がなく、１組の受光素子４２
および発光素子４３により検知を行うことできる。従っ
て、簡易な構成でありながら、複数のキャリア３内にお
けるウェハ２の有無を短時間で効率よく検知することが
できる。

【００３４】なお、ウェハ検知装置４１はキャリア移載
機１に取り付ける以外にも、ウェハ移載機５に取り付け
るようにしてもよい。この場合、キャリア３内における
ウェハ２の有無を検知するだけでなく、熱処理済みのウ
ェハ２をボート６からキャリア３に移載した後に、ボー
ト６内にウェハ２の取り忘れがないかを検知するように
してもよい。

【００３５】また、新たにキャリアストッカ４に沿って
上下方向に移動可能な部材を設け、この部材にウェハ検
知装置４１を取り付けるようにしてもよい。また、ウェ
ハ検知装置４１の代わりにウェハ検知装置１０を、キャ
リアストッカ４に沿って上下方向に移動可能に設けるよ
うにしてもよい。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
キャリアから所定の装置にウェハを搬送する際の、ウェ
ハの取り忘れに起因する不良品の発生を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態に係るウェハ搬送装置
を示す側面図である。

【図２】 前記ウェハ搬送装置の構成要素であるウェハ
検知装置を示す図である。

【図３】 前記ウェハ検知装置の検知結果に基づいて警
報を発する報知システムの構成を示すブロック図であ
る。

【図４】 前記ウェハ搬送装置を用いてウェハを搬送す
る工程を示すフローチャートである。

【図５】 本発明の第２実施形態に係るウェハ搬送装置
を示す側面図である。

【図６】 前記第２実施形態に係るウェハ搬送装置の構
成要素であるウェハ検知装置付近を示す図である。

【図７】 （ａ）は、図６に示すウェハ検知装置におい
てウェハが検知されなかった場合の、受光素子の受光量
とウェハ検知装置の移動距離との関係を示す図であり、
（ｂ）は、図６に示すウェハ検知装置においてウェハが
検知された場合の、受光素子の受光量とウェハ検知装置
の移動距離との関係を示す図である。

【符号の説明】

１…キャリア移載機、２…ウェハ、３…キャリア、４…
キャリアストッカ、５…ウェハ移載機、６…ボート、８
…熱処理炉、１０…ウェハ検知装置（検知手段）、２２
…発光素子、２３…受光素子、２４…制御部、２７…報
知システム（報知手段）、４１…ウェハ検知装置（検知
手段）、４２…受光素子、４３…発光素子

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 キャリアに収容されているウェハを所定
   の装置に搬送する装置であって、 前記キャリア内における前記ウェハの有無を検知する検
   知手段と、 前記キャリア内に収容された前記ウェハを前記キャリア
   から前記ボートに搬送した後に、前記検知手段により前
   記キャリア内に前記ウェハがあることが検知された場合
   に、前記キャリア内に前記ウェハがあることを使用者に
   報知する報知手段とを具備することを特徴とするウェハ
   搬送装置。
2. 【請求項２】 前記キャリアを複数収容することが可能
   なキャリアストッカを具備し、 前記検知手段は、前記キャリアストッカに収容されてい
   る複数の前記キャリアに沿って移動可能になされてお
   り、前記キャリアストッカに収容されている複数の前記
   キャリア内における前記ウェハの有無を検知することを
   特徴とする請求項１に記載のウェハ搬送装置。
3. 【請求項３】 前記検知手段は、前記キャリア内に前記
   ウェハが収容されているときの前記ウェハの側面となる
   位置に向けて検出光を照射し、前記ウェハからの反射光
   が検出されるか否かによって、前記キャリア内における
   前記ウェハの有無を検知することを特徴とする請求項２
   に記載のウェハ搬送装置。
4. 【請求項４】 キャリアに収容されているウェハを所定
   の装置に搬送する方法であって、 前記キャリア内に収容されている前記ウェハを前記キャ
   リアから前記所定の装置に搬送した後に、前記キャリア
   内における前記ウェハの有無を検知する第１の過程と、 前記第１の過程により前記キャリア内に前記ウェハがあ
   ることが検知された場合に、前記キャリア内に前記ウェ
   ハがあることを使用者に報知する第２の過程とを具備す
   ることを特徴とするウェハ搬送方法。