CN117976589A - 晶圆传输机及晶圆扫描映射方法 - Google Patents

晶圆传输机及晶圆扫描映射方法 Download PDF

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CN117976589A CN202410087693.6A CN202410087693A CN117976589A CN 117976589 A CN117976589 A CN 117976589A CN 202410087693 A CN202410087693 A CN 202410087693A CN 117976589 A CN117976589 A CN 117976589A
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Abstract

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆传输机及晶圆扫描映射方法。晶圆扫描映射方法，包括：当第三接收端未触发时，获取第二接收端和第三接收端接收信号的时间差t，以及第二接收端和第三接收端在对每层槽位扫描过程中的触发时间T；基于t和T分别与多个时间阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。本发明提供的晶圆传输机及晶圆扫描映射方法，用以解决现有技术中传输机只能晶圆检测左右倾斜，检测能力低的缺陷，能够检测晶圆左右倾斜、前后倾斜、叠片以及突出，提升对非正常放置晶圆的检测能力。

Description

晶圆传输机及晶圆扫描映射方法
技术领域
本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种晶圆传输机及晶圆扫描映射方法。
背景技术
晶圆在半导体制造过程中需要在不同的工艺模块之间进行高效传输和定位，Wafer Sorter(晶圆传输机)是连接这些模块的关键装备，能够在不受污染的条件下准确传输晶圆。Wafer Sorter包括存储晶圆的晶圆盒(FOUP)，承载晶圆盒的装载端口(LoadPort)，以及操作机械手，操作机械手用于从晶圆盒中取出和放置晶圆。通过将晶圆盒放置在装载端口上，开门器执行开盒动作，操作机械手将晶圆从一个装载端口传输到另一个装载端口。
晶圆传输机在操作晶圆存储载体前，需要对内部晶圆进行Mapping扫描，并将数据反馈到FA系统以确定制成安全性。Mapping可以检测晶圆载体盒内的状态，如叠片、斜片和有无状态等。然而，目前的晶圆传输机只能检测晶圆左右倾斜，无法检测晶圆前后倾斜以及其他非正常放置晶圆(如晶圆突出)。并且，随着半导体行业的降本增效，越来越多种类的载体盒被应用到集成电路生产中，这种非正常放置状态变得越来越常见。
因此，亟需一种晶圆传输机及晶圆扫描映射方法以解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种晶圆传输机及晶圆扫描映射方法，用以解决现有技术中传输机只能晶圆检测左右倾斜，检测能力低的缺陷，能够检测晶圆左右倾斜、前后倾斜、叠片以及突出，提升对非正常放置晶圆的检测能力。
本发明第一方面提供一种晶圆传输机，包括：机架、晶圆盒、传感模块和升降机构，所述晶圆盒和所述升降机构均设于所述机架，所述传感模块与所述升降机构连接，所述升降机构用于驱动所述传感模块升降；
所述传感模块包括传感器支架、发射端、第一接收端、第二接收端和第三接收端，所述传感器支架包括第一安装部和第二安装端，所述第一安装端位于所述晶圆盒的盒门的一侧，所述第二安装端位于所述晶圆盒的盒门的另一侧，所述发射端设于所述第一安装端，所述第一接收端和所述第二接收端均设于所述第二安装端，所述第三接收端设于所述传感器支架，所述发射端、所述第一接收端、所述第二接收端和所述第三接收端均位于O-XY平面上；
其中，所述发射端位于O-XY平面的原点，所述第一接收端位于O-XY平面的X轴，所述第二接收端与所述第一接收端在Y方向上具有第一间距，所述第三接收端与所述发射端在X方向上具有第二间距，所述第三接收端与所述第一接收端在Y方向上具有第三间距。
根据本发明提供的晶圆传输机，所述第一接收端和所述第二接收端在X方向上的间距为0，所述第二接收端与所述第三接收端在X方向上具有第四间距。
根据本发明提供的晶圆传输机，还包括门板组件，所述门板组件与所述升降机构连接，所述传感器支架设于所述门板组件，所述门板组件包括用于开启所述晶圆盒的盒门的盒门开启机构。
根据本发明提供的晶圆传输机，所述传感器支架为U型支架，所述U型支架与所述机架连接。
本发明第二方面提供一种应用于上任一项所述的晶圆传输机的晶圆扫描映射方法，包括：
当第三接收端未触发时，获取第一接收端对当前槽位扫描过程中触发时的脉冲数L，以及第一接收端和第二接收端对当前槽位扫描过程中的触发时间差T；
基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。
根据本发明提供的晶圆扫描映射方法，所述基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态，包括：
计算晶圆厚度，将T与预设时间阈值t进行比对，并将L分别与预设脉冲数阈值m和n进行比对，m＞n，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态。
根据本发明提供的晶圆扫描映射方法，所述将T与t进行比对，并将L分别与m和n进行比对，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态，包括：
当T≥t时，判断当前槽位晶圆的放置状态为前后倾斜状态；
当T＜t且L≥m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为左右倾斜状态；
当T＜t且L＜n时，判断当前槽位晶圆的放置状态为正常状态；
当T＜t且n≤L＜m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为叠片状态。
根据本发明提供的晶圆扫描映射方法，还包括：
当第三接收端触发时，判断当前槽位晶圆的放置状态为突出状态。
本发明第三方面提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上任一项所述晶圆扫描映射方法。
本发明第四方面提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上任一项所述晶圆扫描映射方法。
本发明提供的晶圆传输机及晶圆扫描映射方法，能够对位于晶圆盒内的晶圆进行扫描映射，检测晶圆的正常放置状态、叠片放置状态、左右倾斜放置状态、前后倾斜放置状态以及突出放置状态等。解决了现有技术中传输机只能晶圆检测左右倾斜，检测能力低的缺陷，提升对晶圆盒内非正常放置晶圆的检测能力。
本发明的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的晶圆输送机的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的晶圆输送机的传感模块中发射端、第一接收端、第二接收端和第三接收端的位置示意图；
图3是本发明实施例提供的晶圆扫描映射方法的流程示意图；
图4是本发明实施例提供的晶圆输送机中传感模块的扫描映射示意图；
图5是本发明实施例提供的晶圆扫描映射方法的逻辑框图。
图6是本发明提供的电子设备的结构示意图。
附图标记：
1、机架；2、晶圆盒；3、传感模块；301、传感器支架；302、发射端；303、第一接收端；304、第二接收端；305、第三接收端；4、升降机构；5、clamp夹爪；6、门板组件；7、table平台；8、正常放置晶圆；9、叠片放置晶圆；10、左右倾斜放置晶圆；11、前后倾斜放置晶圆；12、突出放置晶圆；
610、处理器；620、通信接口；630、存储器；640、通信总线。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
下面结合图1至图5描述本发明提供的晶圆传输机及晶圆扫描映射方法。
如图1和图2所示，本发明第一方面提供一种晶圆传输机，包括：机架1、晶圆盒2、传感模块3和升降机构4，晶圆盒2和升降机构4均设于机架1，传感模块3与升降机构4连接，升降机构4用于驱动传感模块3升降；
传感模块3包括传感器支架301、发射端302、第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305，传感器支架301包括第一安装端和第二安装端，第一安装端位于晶圆盒2的盒门的一侧，第二安装端位于晶圆盒2的盒门的另一侧，发射端302设于第一安装端，第一接收端303和第二接收端304均设于第二安装端，第三接收端305设于传感器支架301，发射端302、第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305均位于O-XY平面上；
其中，发射端302位于O-XY平面的原点，第一接收端303位于O-XY平面的X轴，第二接收端304与第一接收端303在Y方向上具有第一间距，第三接收端305与发射端302在X方向上具有二间距，第三接收端305与第一接收端303在Y方向上具有第三间距。
具体地，如图1所示，本实施例中，本发明提供的晶圆传输机还包括clamp夹爪5、门板组件6和table平台7，table平台7设于机架1上，clamp夹爪5和晶圆盒2均设于table平台7上，门板组件6与升降机构4连接，传感器模块设于门板组件6的顶部。
本实施例中，门板组件6的顶部设有直线驱动机构(图1中未示出)，传感器模块与直线驱动机构连接，直线驱动机构用于驱动传感器模块进入晶圆盒2内进行扫描映射。
晶圆盒2内沿竖向间隔设有多个用于装载晶圆的槽位，正常情况下，每个槽位装载有单块晶圆。晶圆传输分为五个动作，具体如下：第一个动作为clamp，clamp夹爪5勾住晶圆盒2底部；第二个动作为table平台7上的驱动机构带动晶圆盒2向前(图1中向右)移动与门板组件6连接；第三个动作为门板组件6内的盒门开启机构将晶圆盒2的盒门打开；第四个动作为门板组件6带动晶圆盒2向后(图1中左向)移动；第五个动作为门板组件6带动晶圆盒2的盒门向下移动，此过程中，开启位于门板组件6顶部的传感模块3对晶圆盒2内的晶圆进行扫描映射。
需要说明的是，上述的O-XY平面如图2中所示，以发射端302为原点O，图2中水平向右的方向为X轴方向，图2中竖直向下的方向为Y轴方向。
如图2所示，本实施例中，传感器支架301为U型支架，U型支架包括底架、第一侧架和第二侧架，底架的两端分别与第一侧架和第二侧架连接，发射端302位于第一侧架的端部，第一接收端303位于第二侧架的端部，第二接收端304位于第二侧架的中部，第三接收端305位于底架的右侧，且U型支架位于门板组件6的顶部且位于晶圆盒2的盒门设置，U型支架的中心线与晶圆盒2的中心线对齐当，使得直线驱动机构驱动U型支架进入晶圆盒2内时，能够使发射端302位于晶圆盒2内的一侧(图2中所述左侧)，第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305位于晶圆盒2内的另一侧(图2中所述右侧)，并且在扫描映射时，发射端302能够分别与第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305形成不同的角度(以上述X轴作为参照)，从而能够在扫描映射的过程中，根据第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305的接收情况，判断当前槽位晶圆的放置状态。
需要说明的是，在一些实施例中，也可以将第三接收端305设于第二侧架，并且第三接收端305位于第二接收端304的下方(图2所示方向)。
本实施例中，发射端302包括但不限于LED、激光等，接收端包括但不限于光电晶体管、光电二极管等。
本发明提供的晶圆传输机，能够对位于晶圆盒2内的晶圆进行扫描映射，检测晶圆的正常放置状态、叠片放置状态、左右倾斜放置状态、前后倾斜放置状态以及突出放置状态等。解决了现有技术中传输机只能晶圆检测左右倾斜，检测能力低的缺陷，提升对晶圆盒2内非正常放置晶圆8的检测能力。
如图2所示，在本发明实施例中，第一接收端303和第二接收端304在X方向上的间距为0，第二接收端304与第三接收端305在X方向上具有第四间距。如此，将第一接收端303和第二接收端304设于第二侧架上，将第三接收端305设于底架上，以X轴作为参照，构建沿设定方向布置的发射端302与第三接收端305时，能够显著降低U型支架的尺寸，并缩短检测距离。
下面对本发明提供的晶圆扫描映射方法进行描述，下文描述的晶圆扫描映射方法与上文描述的晶圆传输机可相互对应参照。
如图3所示，本发明第二方面提供一种应用于上任一项实施例提供的晶圆传输机的晶圆扫描映射方法，包括：
S310、当第三接收端305未触发时，获取第一接收端对当前槽位扫描过程中触发时的脉冲数L，以及第一接收端和第二接收端对当前槽位扫描过程中的触发时间差T；
S320、基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。
需要说明的是，上述“第三接收端305未触发”对应第三接收端305接收到发射端302发出的信号，相应地，第三接收端305触发对应第三接收端305未接收到发射端302发出的信号。
本发明提供的晶圆扫描映射方法，应用于上述任一项实施例提供的晶圆传输机，通过升降机构4带动传感器支架301升降时，通过传感器支架301上构建的发射端302与第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305的不同位置关系，在对各个槽位内的晶圆进行扫描映射时，能够判断当前槽位晶圆的多种放置情况，包括正常放置晶圆8、叠片放置晶圆9、左右倾斜放置晶圆10、前后倾斜放置晶圆11以及突出放置晶圆12，解决了现有技术中传输机只能晶圆检测左右倾斜，检测能力低的缺陷，提升对非正常放置晶圆8的检测能力。
具体地，在本发明实施例中，基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态，包括：
计算晶圆厚度，将T与预设时间阈值t进行比对，并将L分别与预设脉冲数阈值m和n进行比对，m＞n，且m、n满足c＞m＞b＞n＞a(a、b、c为脉冲信号，表明m、n可在一定范围内波动)，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态。
通过设定时间阈值t以及脉冲阈值m、n，能够通过T和t的比对结果，以及L分别与m和n的比对结果，对当前槽位晶圆的放置情况进行判断。具体如下：
当T≥t时，判断当前槽位晶圆的放置状态为前后倾斜状态；
当T＜t且L≥m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为左右倾斜状态；
当T＜t且L＜n时，判断当前槽位晶圆的放置状态为正常状态；
当T＜t且n≤L＜m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为叠片状态。
下面就本发明提供的晶圆扫描映射方法的工作原理以及工作流程进行具体示例说明，请参照图3至图5。
如图5所示，晶圆扫描映射之前，打开晶圆盒2的盒门，利用升降机构4驱动门板组件6移动，并带传感模块3到达扫描映射的初始位置(高度)，再通过直线驱动机构将传感器支架301移动至晶圆内的设定位置并检测传感器直接是否移动到位，当传感器支架301移动到位之后，升降机构4驱动门板组件6移动并带动传感模块3移动，在此过程中，依次计算并存储对每个槽位中的晶圆进行扫描映射时第一接收端303、第二接收端304和第三接收端305信号触发时间以及结束时间。
检测第三接收端305是否触发，当第三接收端305触发时(第三接收端305未接收到发射端302发出的信号)，表明当前槽位的晶圆突出，将发射端302发出的信号阻挡，导致第三接收端305未能接收到发射端302发出的信号，此时应当报警宕机。
当第三接收端305未触发时，计算晶圆厚度，将T与预设时间阈值t进行比对，并将L分别与预设脉冲数阈值m和n进行比对，m＞n，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态，具体如下：
当T≥t时，判断当前槽位晶圆的放置状态为前后倾斜状态；
当T＜t且L≥m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为左右倾斜状态；
当T＜t且L＜n时，判断当前槽位晶圆的放置状态为正常状态；
当T＜t且n≤L＜m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为叠片状态。
判断每个槽位内晶圆的放置状态后，将晶圆所在槽位的位置和对应晶圆的放置情况进行数据储存。然后判断所有槽位内的晶圆是否扫描映射完毕，当所有槽位内的晶圆扫描映射完毕后通过直线驱动机构将传感器支架301移动至晶圆盒2外，检测传感器支架301是否移动到位，若传感器支架301移动到位，则通过升降机构4驱动传感器支架301至开门终止位置。
图4为晶圆在晶圆盒2中各种状态下的扫描映射过程以及传感模块3扫描的数值。其中，a1、a2对应晶圆正常放置工况；b1、b2对应晶圆叠片放置工况；c1、c2对应晶圆左右倾斜放置工况；t1为时间信号，对应晶圆前后倾斜放置工况。
图6示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图6所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)610、通信接口(Communications Interface)620、存储器(memory)630和通信总线640，其中，处理器610，通信接口620，存储器630通过通信总线640完成相互间的通信。处理器610可以调用存储器630中的逻辑指令，以执行晶圆扫描映射方法，该方法包括：
S310、当第三接收端305未触发时，获取第一接收端对当前槽位扫描过程中触发时的脉冲数L，以及第一接收端和第二接收端对当前槽位扫描过程中的触发时间差T；
S320、基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。
此外，上述的存储器630中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
又一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的晶圆扫描映射方法，该方法包括：
S310、当第三接收端305未触发时，获取第一接收端对当前槽位扫描过程中触发时的脉冲数L，以及第一接收端和第二接收端对当前槽位扫描过程中的触发时间差T；
S320、基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。
通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种晶圆传输机，其特征在于，包括：机架、晶圆盒、传感模块和升降机构，所述晶圆盒和所述升降机构均设于所述机架，所述传感模块与所述升降机构连接，所述升降机构用于驱动所述传感模块升降；
所述传感模块包括传感器支架、发射端、第一接收端、第二接收端和第三接收端，所述传感器支架包括第一安装部和第二安装端，所述第一安装端位于所述晶圆盒的盒门的一侧，所述第二安装端位于所述晶圆盒的盒门的另一侧，所述发射端设于所述第一安装端，所述第一接收端和所述第二接收端均设于所述第二安装端，所述第三接收端设于所述传感器支架，所述发射端、所述第一接收端、所述第二接收端和所述第三接收端均位于O-XY平面上；
其中，所述发射端位于O-XY平面的原点，所述第一接收端位于O-XY平面的X轴，所述第二接收端与所述第一接收端在Y方向上具有第一间距，所述第三接收端与所述发射端在X方向上具有第二间距，所述第三接收端与所述第一接收端在Y方向上具有第三间距。
2.根据权利要求1所述的晶圆传输机，其特征在于，所述第一接收端和所述第二接收端在X方向上的间距为0，所述第二接收端与所述第三接收端在X方向上具有第四间距。
3.根据权利要求1所述的晶圆传输机，其特征在于，还包括门板组件，所述门板组件与所述升降机构连接，所述传感器支架设于所述门板组件，所述门板组件包括用于开启所述晶圆盒的盒门的盒门开启机构。
4.根据权利要求1所述的晶圆传输机，其特征在于，所述传感器支架为U型支架，所述U型支架与所述机架连接。
5.一种应用于权利要求1至4任一项所述的晶圆传输机的晶圆扫描映射方法，其特征在于，包括：
当第三接收端未触发时，获取第一接收端对当前槽位扫描过程中触发时的脉冲数L，以及第一接收端和第二接收端对当前槽位扫描过程中的触发时间差T；
基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态。
6.根据权利要求5所述的晶圆扫描映射方法，其特征在于，所述基于T与预设时间阈值，以及L分别与多个预设脉冲阈值，判断前槽位晶圆的放置状态，包括：
计算晶圆厚度，将T与预设时间阈值t进行比对，并将L分别与预设脉冲数阈值m和n进行比对，m＞n，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态。
7.根据权利要求6所述的晶圆扫描映射方法，其特征在于，所述将T与t进行比对，并将L分别与m和n进行比对，根据比对结果判断当前槽位晶圆的放置状态，包括：
当T≥t时，判断当前槽位晶圆的放置状态为前后倾斜状态；
当T＜t且L≥m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为左右倾斜状态；
当T＜t且L＜n时，判断当前槽位晶圆的放置状态为正常状态；
当T＜t且n≤L＜m时，判断当前槽位晶圆的放置状态为叠片状态。
8.根据权利要求5所述的晶圆扫描映射方法，其特征在于，还包括：
当第三接收端触发时，判断当前槽位晶圆的放置状态为突出状态。
9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求5至8任一项所述晶圆扫描映射方法。
10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求5至8任一项所述晶圆扫描映射方法。
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