JPH11317894A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JPH11317894A
JPH11317894A JP10316184A JP31618498A JPH11317894A JP H11317894 A JPH11317894 A JP H11317894A JP 10316184 A JP10316184 A JP 10316184A JP 31618498 A JP31618498 A JP 31618498A JP H11317894 A JPH11317894 A JP H11317894A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 撮像素子、光学素子などの部品をリソグラフ
ィー等の手法を用いて一体化することで、小型化、低コ
スト化しうる、デジタルカメラ、電子内視鏡、PDA
(携帯情報端末)、テレビ電話、VTRカメラ、テレビ
カメラ等の電子撮像系、電子表示系等又はそれらの一部
を構成する板状ユニット等の光学装置を提供する。 【解決手段】 自由曲面プリズム230を組合せ撮像ユ
ニット231を用いてデジタルカメラ232を構成して
いる。自由曲面プリズム230は、自由曲面プリズム2
30に入射する物体からの光60と自由曲面プリズム2
30を出射して固体撮像素子55に入射する光線とが捩
れの関係になるように形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来のデジタルカメラ170は、図22
に示すように、CCD55、レンズ171、絞り17
3、シャッター174、レンズフォーカシング用ソレノ
イド175等をそれぞれ別体の部品として集めてこれら
を組立てることにより作られていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】そのため、部品点数が
多くなり、組立ても面倒で、製品の小型化、高精度化、
コストダウンに限界があった。そこで本発明は、撮像素
子、光学素子などの部品をリソグラフィー等の手法を用
いて一体化することで、小型化、低コスト化しうる、デ
ジタルカメラ、電子内視鏡、PDA(携帯情報端末)、
テレビ電話、VTRカメラ、テレビカメラ等の電子撮像
系、電子表示系等又はそれらの一部を構成する板状ユニ
ット等の光学装置の提供を課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明による光学装置は、撮像または観察方向と、
撮像素子または眼に入射する光線とが捩じれの関係にあ
る。
【0005】また、本発明による光学装置は、自由曲面
プリズムに入射する光線と、自由曲面プリズムを出射す
る光線とが捩じれの関係にある自由曲面プリズムを備え
ている。
【0006】また、本発明による光学装置は、製作プロ
セスにリソグラフィープロセスを含む、光学素子とアク
チュエーターとからなる可動光学素子を有している。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明による光学装置の実
施形態を図面を用いて説明する。
【0008】図1は、本発明の第1実施形態を示す図で
ある。本実施形態の光学装置は、レンズ181,18
2,183、プリズム184、ミラー185等を用いた
電子撮像ユニット180として構成されている。なお、
図中52はアルミコーティングされた薄膜53と電極5
4から成る反射鏡、55は固体撮像素子、56は基板、
57は電源、58はスイッチ、59は可変抵抗器であ
る。
【0009】反射鏡52は、例えば、オプティックス
コミュニケーションズ(Optics Communi
cations),140巻(1997年)187ない
し190頁に示されているメンブレインミラーのよう
に、薄膜53と電極54の間に電圧を印加すると静電気
力により薄膜53が変形してその焦点距離が変化するよ
うになっており、これによりピント調整ができるように
なっている。本実施形態の撮像装置では、物体からの光
60は、光学素子としてのレンズ181,182、プリ
ズム184のそれぞれの入射面および出射面で屈折さ
れ、反射鏡52によって反射され、ミラー185の反射
面で反射され、レンズ183で屈折されてから固体撮像
素子55に入射するようになっている。
【0010】このように、本実施形態の光学装置は、光
学素子181,182,184,185,183および
反射鏡52とで撮像光学系を構成している。そして、本
実施形態の構成では、特に、各光学素子の面と肉厚を最
適化することにより物体像の収差を最小にすることがで
きるようになっている。
【0011】図1の光学装置において、反射鏡52の形
状は、非点収差等を補正するためにY軸方向に長い楕円
形にするのがよく、具体的には、反射鏡52への入射光
と反射鏡52からの出射光を含む平面と反射鏡52とが
交わる方向に沿って長い楕円形にするのがよい。また、
図1の光学装置では、反射鏡52と固体撮像素子55と
をそれぞれ別体で作って基板56上に配置している。し
かし、反射鏡52はシリコンリソグラフィープロセス等
で作ることもできるので、基板56をシリコンで形成
し、固体撮像素子55と共にリソグラフィープロセスで
反射鏡52の少なくとも一部を基板56上に形成しても
よい。
【0012】これにより、固体撮像素子55と共に光学
素子の一つである反射鏡52とが一体化されるので、小
型化、低コスト化等の点で有利である。また反射鏡52
は固定焦点のミラーとして構成しても良い。この場合で
も反射鏡52はリソグラフィープロセスで作ることがで
きる。なお、反射鏡52、固体撮像素子55、基板56
を合わせて板状ユニット186と呼ぶことにする。板状
ユニットは光学装置の一例である。
【0013】又、図示を省略するが、基板56上に表示
素子の一つである反射型液晶ディスプレー又は透過型液
晶ディスプレー等の表示素子をリソグラフィープロセス
により一体的に形成してもよい。なお、この基板56
は、ガラスあるいは石英等の透明物質で形成してもよ
い。その場合は、このガラス基板上に薄膜トランジスタ
ー等の技術を用いて固体撮像素子や液晶ディスプレーを
形成すればよい。あるいは、これらの表示素子を別体で
作り、基板56上に配置してもよい。
【0014】光学素子181,182,184,18
5,183は、プラスチックモールドやガラスモールド
等で形成することにより任意の所望形状の曲面を容易に
形成することができ、製作も簡単である。なお、本実施
形態の撮像装置では、レンズ181のみがプリズム18
4から離れて形成されているが、レンズ181を設ける
ことなく収差を除去することができるように光学素子1
82,183,184,185,52を設計すれば、反
射鏡52を除く光学素子は一つの光学ブロックとなり組
立てが容易となる。
【0015】図2は、本発明の第2実施形態を示す図で
ある。本実施形態の撮像装置では、一つのシリコン基板
187の上に反射鏡52、マイクロマシン技術で作られ
た静電気力で動くマイクロシャッター188、撮像素子
55等は、リソグラフィープロセスで作られている。そ
して、このシリコン基板187とモールドで作った自由
曲面プリズム189とを組合わせれば、光学装置として
小型のデジタルカメラ用撮像ユニット180が出来上が
る。なお、マイクロシャッター188は、絞りを兼ねる
こともできるようになっている。
【0016】自由曲面プリズム189は、プラスチック
モールドで作ると安価にできる。また、自由曲面プリズ
ム189をエネルギー硬化型樹脂で作れば、熱可塑性樹
脂で作るよりも耐久性があるので好ましい。また、自由
曲面プリズム189を赤外光を吸収する性質の材質を用
いて構成して、赤外カットフィルター効果を持たせても
よい。あるいは、自由曲面プリズム189の光路中のい
づれかの面に赤外光を反射する干渉膜を設けて、赤外光
をカットするようにしてもよい。ミラー190は、シリ
コン基板187を凹面に加工し、アルミコートすること
によって形成されている。マイクロシャッター188
は、例えば、特開平10−39239号の図8,図9に
示されているようなシャッターを改良したものを用いる
ことができる。
【0017】図3は図2の光学装置を上方から見た、マ
イクロシャッター188付近の拡大図である。マイクロ
シャッター188は、固定電極191と遮光板192の
それぞれに設けられた電極193に電位差を与えること
によって、静電気力で二つの遮光板192を左右に開い
たり閉じたりすることができるようになっている。ここ
で、二つの遮光板192のそれぞれに、他方の遮光板1
92に近い側の中央に三角形の凹部を設け、かつ二枚の
遮光板192を段違いに設置して、遮光板192を途中
まで開いた状態で撮像を行えば絞りとして動作し、遮光
板192を完全に閉じればシャッターとなるようになっ
ている。電源196は+−の極性を変えることができる
ようになっており、それに伴い、二つの遮光板192は
逆方向に動くようになっている。また、二つの遮光板1
92は、完全に閉じた時には図2に示すように多少重な
るように設計されている。マイクロシャッター188
は、リソグラフィープロセスで反射鏡52、固体撮像素
子55と共に一緒に作ることができるというメリットが
ある。なお、マイクロシャッター188としては、上記
以外にも、特開平10−39239号の図47に示すよ
うなマイクロシャッターを用いてもよい。あるいは、本
実施形態の撮像装置に用いるシャッターとして、通常の
フィルムカメラのシャッターのように、バネで動作する
シャッターを製作して、これをシリコン基板187に設
置してもよい。
【0018】また、本実施形態の撮像装置を、例えば、
図2に示すように、別途に絞り197を設けた構成とし
てもよい。絞り197としては、フィルムカメラのレン
ズに用いるような虹彩絞りでもよく、または、図4に示
すような複数の穴あき板をスライドさせるような構成の
ものでもよい。あるいは、絞りの開口面積の変わらない
固定絞りであってもよい。また、絞りとしては、マイク
ロシャッター188を絞りとしてのみ動作させ、シャッ
ター機能については、固体撮像素子55の素子シャッタ
ーを用いて果たすようにしてもよい。また、本実施形態
の撮像装置を、電極54、ミラー190、マイクロシャ
ッター188、撮像素子55の少なくとも一つを別部品
として作り、残りの部材と共に一つの基板上に配置した
構成としてもよい。なお、本実施形態の撮像装置を、図
5に示すように、光学特性可変光学素子の一つである反
射鏡52の別の一例として、液晶可変焦点レンズをミラ
ーの前面に配置した液晶可変ミラー252等を配設した
構成としてもよい。
【0019】図5は、液晶可変ミラー252を用いた撮
像装置の一例(撮像装置253)を示す図である。液晶
可変ミラー252は、透明電極254とフレネルレンズ
状の基板255の表面にコートされた電極256との間
にツイストネマチック液晶257を配置した構成となっ
ている。ツイストネマチック液晶257のらせんピッチ
Pは、 P < 3λ ・・・(1) を満たすようになっている。ここで、λは光の波長であ
る。式(1)を満たすとき、ツイストネマチック液晶2
57は入射光の偏光方向によらず屈折率がほぼ等方的に
なるので、偏光板を設けることなくボケのない可変焦点
ミラーが得られる。なお、低コストのデジタルカメラな
どでは、ツイストネマチック液晶257のらせんピッチ
Pが、 P < 15λ ・・・(2) であっても実用上は使用できる場合もある。
【0020】図6は、本発明の第3実施形態を示す図で
ある。本実施形態の光学装置204は、透明基板198
に反射型LCD199、反射鏡52、固体撮像素子55
を設け、かつ光学ブロックである自由曲面プリズム18
9を組合せた構成となっている。透明基板198には、
光学素子であるレンズ200、ローパスフィルター20
1、IC203も合わせて設けられており、これらによ
り透明な板状ユニット202を形成している。IC20
3は、反射型LCD199、反射鏡52、固体撮像素子
55等をドライブするIC、あるいは制御、演算を行な
うCPU、メモリー等の機能をもつLSIである。固体
撮像素子55、反射鏡52、反射型LCD199、IC
203を、それぞれ別途に製作して、透明基板198に
貼りつけてもよいが、透明基板198の表面にアモルフ
ァスシリコン、低温ポリシリコン、連続粒界結晶シリコ
ン(’98.1.14付朝日新聞)等を材料として薄膜
トランジスター技術を用いて形成すれば、小型化、軽量
化、高精度化の面で有利である。
【0021】図7は、本実施形態の光学装置204に用
いるローパスフィルター201の斜視図である。ローパ
スフィルター201は、瞳分割型のローパスフィルター
であり、捩じれ関係にある二つの平面より構成されてい
る。なお、このローパスフィルター201も光学素子の
一つである。その他、本実施形態において透明基板19
8は、ガラス又は樹脂のモールドで作るのが良い。
【0022】本実施形態の光学装置204は、光を反
射、屈折する面を自由曲面プリズム189、透明な板状
ユニット202の両方に設けることができる点で、収差
の補正がしやすく、図2に示す実施形態の撮像ユニット
180よりすぐれている。なお、レンズ等の光学素子
は、例えばレンズ200bのように、透明部材の表面に
曲面状の樹脂薄膜205を貼りつけて作ってもよい。こ
のような方法を薄膜レンズ技術という。
【0023】図8は、本発明の第4実施形態を示す図で
ある。本実施形態の光学装置207は、透明な板状ユニ
ット202と板状ユニット186とを組合せることによ
り構成されている。なお、透明基板198とは別体にレ
ンズ208を設けると、収差補正の自由度がふえるの
で、収差補正上有利であるが、レンズ208は設けなく
てもよい。透明な板状ユニット202には、ディスプレ
ー209、IC203が設けられ、さらに薄膜レンズ技
術により製作したレンズ210,211が設けられてい
る。なお、レンズ212は、透明基板198を製作する
際にモールドの技術で透明基板198に一体形成されて
いる。板状ユニット186は、図2に示す実施形態の板
状ユニット186と同様に構成されている。斜線部21
4は、迷光を除くための黒い遮光用の膜であり、Cr−
CrO2 −Crの三層蒸着、黒い塗料の塗装、あるいは
印刷等で作れられている。なお、斜線部214は、必要
に応じて、透明基板198の表面、側面、内部に設けれ
ばよく、設けなくてもよい場合もある。
【0024】ディスプレー209の一例である液晶ディ
スプレーは薄膜トランジスター技術でガラス等の透明基
板上に作ることができるが、固体撮像素子55等はシリ
コン基板上でないと作りにくい。本実施形態の光学装置
207は、固体撮像素子55、ディスプレー209を設
けるべき基板を分けて構成したので、同一の基板上に作
るよりもコストが安くできる。なお、本実施形態の光学
装置207の透明基板198あるいはレンズ211の材
質に赤外光吸収効果を持たせて、赤外カットフィルター
の役割を持たせるようにしてもよい。あるいは、薄膜5
3又はレンズ212又は透明基板198等の表面に赤外
カット機能を有する干渉膜を設けてもよい。さらに、本
実施形態の光学装置207は、固体撮像素子55を取り
除き、光学系にたとえばオペラグラスのような観察機能
を持たせた表示装置として構成されてもよい。
【0025】図9は、本発明の第5実施形態を示す図で
ある。本実施形態の光学装置246は、板状ユニット2
45と自由曲面プリズム189とを組合せることにより
構成されている。板状ユニット245は、一つの基板2
40の上に、低品質のシリコン等からなる基板241に
反射鏡52とミラー190とマイクロシャッター188
を形成した板状ユニット243と、高品質のシリコンか
らなる基板242に基板240とIC203を形成した
板状ユニット244とを配設して構成されている。固体
撮像素子55、IC203等は高品質のシリコン上でな
いと形成しにくいが、ミラー190、マイクロシャッタ
ー188、反射鏡52等は低品質のシリコンでもよい。
本実施形態の光学装置246によれば、光学ユニットで
ある板状ユニット243,244を品質の異なる別個の
基板に形成したので、その分、高品質のシリコンの使用
量を減らすことができ、コスト上有利である。自由曲面
プリズム189には、足247,248が設けられてお
り、足247,248は、板状ユニット245と一体化
する時、各面間の光学的長さを所望の設計値通りに調整
できるようになっている。
【0026】図10は、本発明の第6実施形態を示す図
である。本実施形態の光学装置は、自由曲面プリズム1
89に板状ユニット243と固体撮像素子55とを組合
せてデジタルカメラ用撮像装置を構成している。本実施
形態の光学装置によれば、固体撮像素子55を低品質の
シリコン等からなる基板241から分離して構成したの
で、固体撮像素子55として市販のCCD等を使うこと
ができ、コストを低減することができる。なお、図示し
ていないが、本実施形態の光学装置にさらに別に液晶デ
ィスプレー等を設けて、デジタルカメラのファインダー
として用いるとよい。
【0027】また、本実施形態において反射鏡52とミ
ラー190とマイクロシャッター188とを一枚の基板
上に配置するかわりに、図11に示すように、それぞれ
別体に自由曲面プリズム189の周囲に配置してもよ
い。この場合、反射鏡52、ミラー190、マイクロシ
ャッター188等の光学部品を別個に作ることができる
ので、それらの部品を他製品の部品と共通化することが
可能になる。また、それぞれの光学部品の歩留り(製作
時の合格率)が悪い場合でも、良い部品だけを集めて製
品を作ることができるので、それぞれの光学部品を一枚
の基板上に作る場合と比べて製品としての歩留りを向上
させることができる。
【0028】また、図10に示すように、固体撮像素子
55の前面に透過率可変素子の一つである液晶シャッタ
ー249を配置しても良い。この場合、マイクロシャッ
ター188は絞りとして動作させてもよいし、液晶シャ
ッター249と合わせてシャッターとして動作させても
よい。あるいは、マイクロシャッター188を省いて、
液晶シャッター249と固体撮像素子55の素子シャッ
ター機能とでシャッターの動作をさせてもよい。なお、
液晶シャッター249には機械的可動部が無いので、マ
イクロシャッター188を省いた構成とすれば、機械的
な構造を簡単化できる。
【0029】図12は、本発明の第7実施形態を示す図
である。本実施形態の光学装置217は、可動光学素子
の一例である足付きレンズ216を設けた構成となって
いる。なお、光学装置217は、足付きレンズ216の
他に、透明基板198に、固体撮像素子55、自由曲面
プリズム189を組合せた構成となっている。足付きレ
ンズ216は、レンズ218の下にフリースペースオプ
ティックス(M. C. Wu, L. -Y. Lin, S-S. Lee, K. S.
J. Pister 著 Sensors and ActuatorsA50 (1995) 127-1
34 等を参照)のマイクロマシン技術等で作った足21
9が付いて構成されている足219は、後述の図17に
示す電極193bに相当する、静電気力でスライドする
電極219b(図13)に接続されており、電極219
bがスライドすることにより、図13に示す角θが変化
するように作られている。足219との交点P1 ,P2
は、角θが変化するとき、透明基板198の表面上を動
くようになっている。そして足付きレンズ216は、足
219の角θを変えてレンズ218と透明基板198と
の距離Zを変えることでピント調整ができるようになっ
ている。なお、図12に示す透明基板198と自由曲面
プリズム189との間には、物体からの光60が点Aに
おいて全反射するように、わずかに空気間隔が設けられ
ている。また、図13は、本実施形態の変形例として足
付きレンズ216と透明基板198と固体撮像素子55
とを組合せてなるシンプルな構成の撮像装置の一例を示
す図である。
【0030】図14は、本発明の第8実施形態を示す図
である。本実施形態の光学装置は、観察装置の一例とし
て、デジタルカメラのファインダーを構成している。本
実施形態の光学装置は、図12、図13に示す足付きレ
ンズ216のレンズ218をミラー218Bでおきかえ
た足付きミラー216Bを備えた構成となっている。な
お、本実施形態の光学装置は、足付きミラー216Bの
他に、透明基板198とレンズ211とからなる板状ユ
ニット186と、自由曲面プリズム189を備えてい
る。本実施形態の光学装置は、足219をスライドさせ
てミラー218Bと透明基板198との距離Zを変える
ことで視度調整を行なうことができるようになってい
る。
【0031】図12、図13に示す足付きレンズ216
は、可動光学素子の一つである可動レンズの一例として
用いたものである、可動レンズの他の例としては、静電
レンズがある。図15は、本発明の実施形態に用いる可
動レンズの他の例を示す静電レンズの構成概要図であ
る。静電レンズ220は、レンズ218、電極221,
222、ダンパー223などを備えた構成となってい
る。この静電レンズ220は、電極221と電極222
との間に電圧を掛けることにより、静電気力でレンズ2
18と透明基板198との間の距離を変えてピント合わ
せ、ズーミング等に用いることができるようになってい
る。なおダンパー223は、レンズ218を保持し、か
つレンズ218が移動するときの衝撃を緩和するように
なっている。なお、レンズ218を図16に示すような
ミラー225におきかえて可動ミラー226とし、これ
を本発明の実施形態に用いる可動光学素子としてもよ
い。
【0032】図16は、本発明の第9実施形態を示す図
である。本実施形態の光学装置228は、光学特性可変
光学素子の一つである反射鏡52、可動光学素子の一つ
である可動ミラー226、可動光学素子の一つである可
動レンズの一例である自走レンズ227を備えた構成と
なっている。また、光学装置228は、その他にシリコ
ン基板187と自由曲面プリズム189を備えている。
そして光学装置228は、反射鏡52の焦点距離、自走
レンズ227、ミラー225の位置を変えることによっ
てZOOMとフォーカスとを行うことができるようにな
っている。なお、本実施形態に用いる自由曲面プリズム
189を、赤外光を吸収する材料を用いて赤外カット効
果を持たせるようにしてもよい。自走レンズ227は、
図17に示すように、電極193a,193bと、電極
193bに固定されたレンズ218とを備えて構成され
ており、くし状の二つの電極193a,193bの間に
電位差を与えて静電気力で電極193bに固定されたレ
ンズ218を動かすことができるようになっている。
【0033】ところで、近年、デジタルカメラの小型化
が望まれており、特に、薄いカード型のデジタルカメラ
は携帯性に優れ便利である。しかし、図22に示すよう
な従来の光学系と電気系を組合せた撮像装置では小型化
に限界があった。そこで、本発明では、薄いカード型デ
ジタルカメラ等に用いる撮像装置、光学装置を提供する
こともできるようにしている。
【0034】図18は、本発明の第10実施形態を示す
図である。本実施形態の光学装置は、板状ユニットに光
学ブロックの一つである自由曲面プリズム230を組合
せた撮像ユニット231を用いてデジタルカメラ232
を構成している。デジタルカメラ232には、その他
に、例えば液晶ディスプレーなどのディスプレー209
が設けられている。そして、本実施形態のデジタルカメ
ラ232は、撮像ユニット231がデジタルカメラ23
2の厚さ方向と平行な方向に位置する物体を撮像するこ
とができるようになっている。図19、図20は、自由
曲面プリズム230の形状を詳しく示した図で、図19
は自由曲面プリズム230を上方からみた図、図20は
自由曲面プリズム230を物体側からみた図である。自
由曲面プリズム230は、物体からの光60を反射面R
1によって反射し、XY平面内で、且つ、反射鏡52に
向かう方向に向きを変え、反射鏡52により反射された
後に、反射面R2で反射されて固体撮像素子55と結像
することができるように形成されている。このように物
体から自由曲面プリズム230に入射する入射光60と
自由曲面プリズム230を出射して固体撮像素子55に
入射する光線mとが捩じれの関係になるように自由曲面
プリズム230の形を作れば、デジタルカメラ232の
厚さを固体撮像素子55の巾Wと同程度に薄型化するこ
とができる。なお、自由曲面プリズム230のかわり
に、固体撮像素子55に入射する光線mと物体からの入
射光60とが捩じれの関係になるように、通常用いるレ
ンズ、プリズム、図2に示す光学ブロック189のよう
な自由曲面プリズム等の光学素子を配置して光学系を形
成してもよい。また、自由曲面プリズム230の光路中
の面に、赤外光をカットする干渉膜233を設けて赤外
光をカットするようにしてもよい。
【0035】図21は本発明の第11実施形態を示す図
である。本実施形態の光学装置は、図18に示すデジタ
ルカメラとは別の一例で、図2に示す小型のデジタルカ
メラ用撮像ユニット180を用いてデジタルカメラ23
4を構成している。そして、本実施形態のデジタルカメ
ラ234は、小型のデジタルカメラ用撮像ユニット18
0がデジタルカメラ234の厚さ方向と直角方向の物体
が撮像できるようになっている。本実施形態のデジタル
カメラ234によれば、小型のデジタルカメラ用撮像ユ
ニット180が、物体からの入射光60とデジタルカメ
ラ234の厚さ方向とが直交するように配置されている
ので、デジタルカメラ234の厚さを薄くすることがで
きる。なお、デジタルカメラの撮像系には、図18,図
21に示す撮像ユニットの他に、本発明の板状ユニッ
ト、装置のいづれを用いてもよい。また、本発明の板状
ユニット、装置は、デジタルカメラ以外、例えばPDA
の光学系、撮像装置に用いてもよい。
【0036】ところで、近年、電子カメラ、ビデオカメ
ラ等の電子撮像装置が増えてきている。それらは図33
に示すように、固体撮像素子1にレンズ系2を組み合せ
たものがほとんどであった。しかしながら、上記のもの
は構造が複雑なため、部品点数が多く、組み立ても面倒
で、小型化、コストダウンに限界があった。そこで、本
発明では小型でコストの安い電子撮像装置を提供するこ
ともできるようにしている。
【0037】上記目的を達成する本発明の光学装置は、
一枚の透明基板の表面に少なくとも撮像素子と光学素子
とを配設し、それ自体で、あるいは別部品を追加するこ
とにより撮像機能を有するようになっている。
【0038】図23は、本発明の第12実施形態を示す
図である。第12実施形態の光学装置は、ガラス、結
晶、プラスチック等からなる一枚の透明基板3の両面
に、光学素子である自由曲面4、6、回折光学素子(以
下、DOEという)5を形成し、さらにシリコン薄膜技
術等を用いて固体撮像素子1を形成したものである。こ
れを板状撮像ユニット7と呼ぶ。自由曲面とは、非回転
対称面で構成される面であり、さらに、対称面を一面の
み有するもしくは対称面を有しない曲面である。自由曲
面は、屈折作用、反射作用のいずれにも用いられる。本
実施形態では、図示しない物体からの光7’は自由曲面
4で屈折され、オフアクシス型DOE5で偏向、反射さ
れ、自由曲面6で反射し、固体撮像素子1上に結像す
る。自由曲面4、6、DOE5で収差の補正がなされて
いるので、固体撮像素子1には通常のレンズ系で結像し
たのと同様の良好な画像が入射する。自由曲面4、6は
モールド等の方法で、またDOE5はモールドあるいは
リソグラフィ等の方法で、固体撮像素子1と同時に形成
してもよい。固体撮像素子1は透明基板3の上に直接リ
ソグラフィの手法で形成してもよいが、それが難しい場
合には固体撮像素子1を別個に製作しておきあとで透明
基板3と一体化してもよい。あるいは、図示していない
が、板状撮像ユニット7の外部にレンズ等の部品を追加
し、それらと板状撮像ユニット7とで撮像機能を有する
ように構成してもよい。
【0039】図24は、本発明の第13実施形態を示す
図である。第13実施形態の光学装置は、第12実施形
態における撮像ユニット7を、TFT液晶ディスプレー
8、周辺回路のIC9、マイクロプロセッサ10と一緒
に透明基板3の上に形成した、携帯情報端末装置用のユ
ニットである。撮像ユニット7にはさらに、メモリ、電
話等の機能をもつIC(LSI)を一緒に形成してもよ
い。また、透明基板3には電子撮像装置のファインダー
11も形成してある。これは、透明基板3上に視野枠を
設けただけの簡単なものでもよいし、図25に示すよう
に透明基板3の両面に凹レンズ12、凸レンズ13を設
け、ガリレオ望遠鏡型のファインダーとしたものなどで
もよい。あるいは、凹レンズ12、凸レンズ13の少な
くとも一方を透明基板3の外部に設け、透明基板3上の
レンズと合わせてファインダーとしてもよい。
【0040】図26は、本発明の第14実施形態を示す
図である。第14実施形態の光学装置は、焦点調整の可
能な板状撮像ユニットである。板状撮像ユニット14で
焦点調節をおこなう場合、図23に示したDOE5、自
由曲面6等の位置を機械的に動かすことは不可能であ
る。そこで、本実施形態の板状撮像ユニット14では、
焦点距離が可変の光学素子15を用いている。図27は
光学素子15の一例を示し、高分子分散液晶16を用い
た可変焦点DOE17である。透明基板18の少なくと
も一方の面に光の波長程度の溝が形成されており、透過
電極19に電圧を加えると液晶分子20の方向は図28
に示すように揃うので、高分子分散液晶16の屈折率は
下がる。一方、電圧を加えなければ液晶分子20の方向
はランダムなので高分子分散液晶16の屈折率は上が
る。したがって、可変焦点DOE17は電圧のON、O
FFで焦点距離を切り替えることができる。高分子分散
液晶16は、液晶分子20に対する重量比をある程度以
上(たとえば25%以上)に大きくすればほぼ固体にな
るので、高分子分散液晶16の右側には基板を設けなく
てもよい。また、図29に示すように高分子分散液晶1
6の右側の面および透明基板18の左側の面を曲面21
にして、レンズ作用、収差補正に用いてもよい。図27
および図29に示した例では、ともに、透明基板18の
右側の面をDOE面でなくフレネル面としてもよい。こ
のときDOE17は可変焦点フレネルレンズとして作用
する。さらに、図54に示すように、透明基板18の右
側の面を通常のレンズのような曲面としてもよい。
【0041】また、上述した透明基板3、18には赤外
カットフィルタの効果をもたせてもよい。図30は、本
発明の第15実施形態を示す図である。第15実施形態
の光学装置は、反射型の可変焦点フレネルミラー22を
用いた板状撮像ユニットである。可変焦点フレネルミラ
ー22は、図31に示すように反射面23が設けられて
おり、電圧の可変をスイッチ24の開閉または可変抵抗
25でおこなうことによってフレネル面26の屈折力が
変わるので可変焦点のフレネルミラーとして動作する。
フレネル面26の代わりにDOEとしてもよい。
【0042】なお、上記の実施形態における可変焦点D
OE17、フレネルミラー22は、板状撮像ユニット7
に用いるのみならず、図32に示すように通常の撮像装
置あるいは厚さの異なる光ディスク用の可変焦点レン
ズ、電子内視鏡、TVカメラ、フィルムカメラ等に用い
てもよい。また、用いる液晶としてはトラン系の液晶た
とえば大日本インキDON−605:N−1(日化協月
報1997年2月号p.14〜p.18)等を用いると
光学的異方性が大きく(Δn=0.283;Δnは光学
的異方性を表し、屈折率楕円体の主軸の長さの差であ
る)、液晶の粘性が低く、高速の焦点距離の切り換えが
できなおよい。次に、電子撮像系のひとつである電子内
視鏡あるいはファイバスコープ、硬性鏡等の内視鏡ある
いは工業用検査装置に用いられるライトガイド用の光源
光学系について述べる。
【0043】従来技術では図34に示すように、ライト
ガイド31の手前に非球面レンズ32があり、ランプ3
3からの光をライトガイド31の端面に集めるようにな
っている。ランプ33はランプ以外の光源たとえば半導
体レーザ等でもよい。ライトガイド31の入射面の法線
に対して入射光がなす角をθとし、入射光強度をIとす
ると、θとIとの関係は図35に示すようになる。Iの
値はθに対してほぼ一定値を保っておりθL のところで
光線がなくなるので0になる。入射光束の立体角を考え
れば入射光エネルギーが最大となるのはθ=θL の近傍
である。したがってライトガイド31は入射角θL の光
を伝達できるよう、 NA ≧ θL ・・・(3) を満たすことが必要であった。しかし、NAを大きくす
るにつれてライトガイドのガラスが黄色に着色し、色再
現の低下、伝送光量の低下を生ずる欠点があった。
【0044】以下、上記の従来技術の問題点を解決し得
る光源光学系について説明する。第1の例は、図36に
示すように、DCCレンズ34を配設し、ランプ33か
らの光束のうち中心と周辺とをDCCレンズ34の側面
34’での全反射により反転させ、集光レンズ35に入
射させるものである。なおDCCレンズ34とは、K.Ko
no et al.:Opt. Rev. 4(1997)423. に説明があるとお
り、両端が円錐形にへこみ側面が光を反射する円筒状の
光学素子であり、入射光を側面34’にて全反射させる
かあるいは側面に金属膜を付けて反射させ、入射光束の
うち中心の光線aと周辺の光線bとを反転し、集光レン
ズ35の周辺に光線aが、集光レンズ35の中心に光線
bが入射するようにする。このようにすると、θとIと
の関係は図37に示すように、中心では高く(理論的に
は無限大)周辺では低く(理論的には0)なるので、N
Aの小さいライトガイドでも大量の光量を伝送でき、前
述の問題点が解消する。なお、DCCレンズ34はガラ
ス、プラスチック、ゴム等の透明物質の成形あるいは研
削で作ることができる。図36に示した形状のDCC3
4が加工しにくい場合は、図38に示すように、二つの
部材36、37に分割して作ってもよく、とくに同形の
二つの部材に分割して作れば型が共有できコスト的に有
利である。
【0045】DCCレンズの設計例を以下に示す。図3
9に示すように、DCCレンズ34の中心厚をt、屈折
率をn、入射光束高(=射出光束高)をh、DCCレン
ズの頂角の1/2をα、φを下記式(5)で定義する
と、 t={1−cot α・cot (α+φ)}・h/cot (α+φ) ・・・(4) sin φ=cos α/n ・・・(5) の関係がある。ここで、n=1.53、h=12.7m
m、α=45°とすると、φ=27.527°、t=2
7.645mmとなるが、DCCレンズ34の直径Dを、
やや余裕をみて30mmとすると、tは下記式(6)の
t’ほど大きくする必要がある。
【0046】 t’=(D/2−h)・tan (90°−α−φ) ・・・(6) したがって、t=28.369mmとするのがよい。一
方、Dを2hより大きくしすぎるとコスト的に不利で、 D≦3h+5 ・・・(7) を満足させるのがよい。したがってtは、下記条件
(8)を満たすように決めるのがよい。
【0047】 0.6×{(1−cot α・cot (α+φ)/cot (α+φ)}×h≦t≦ {(1−cot α・cot (α+φ))/cot (α+φ)}×h+5(D/2−h) ・cot (α+φ) ・・・(8) 条件(8)の下限を下回ると光源中心付近の光束のケラ
レが生じ損であり、上限を上回ると光源周辺の光束のケ
ラレが生じ損である。以上のように、DCCレンズの中
心厚tは上記条件(5)、(8)を満たすように決める
とよい。なお、図38に示したようにDCCレンズ34
を二つに分割して製作した場合でも、その中心厚tとし
て36と37のそれぞれの中心厚の和をとれば上記条件
(5)、(7)、(8)を適用できる。また、図40に
示すようにランプ33の中心部のフィラメントが原因で
ランプ33からの射出光束の中心部が黒く抜けてしまう
場合がある。つまり、直径dの斜線部の光エネルギーが
ないのである。しかし、この場合もDCCレンズ34に
よって射出光束の黒い抜けをなくすことができる。
【0048】第2の例は、図41に示すように、DCC
レンズを二つに分割した一方の部材38を凸レンズ作用
をもつ曲面としたものである。この場合は集光レンズを
省略できるのでコスト低減ができるメリットがある。部
材38の断面の凸カーブ38’の半径をR、省略する集
光レンズの焦点距離をf、部材38の屈折率をnとする
と、 1/f≒(n−1)/R ・・・(9) を満たすようにRを決めればよい。本実施形態において
も部材36、38を一体とする形状にしてもよい。ま
た、同様にランプ33からの射出光束が平行光束でない
場合は部材36の入射面36’の断面形状を曲面にし
て、部材36内を通る光束が平行光束になるようにして
もよい。上記の他、部材36の射出面、部材38の入射
面をそれぞれ曲面とすることも可能である。
【0049】以上に説明した光源光学系によれば、NA
が比較的小さく着色の少ないライトガイドでも大量の光
量を伝送できる。次に、微小レンズを基板上に整列させ
る方法について述ペる。
【0050】内視鏡などに用いられるライトガイド用の
光源装置において、一般的には図42に示すように、ラ
イトガイド104の端面に凹レンズ100を配置する光
学系が知られている。また、ライトガイド光学系を大き
くすることなく配光特性を向上させる方法として、従来
技術では図43に示すように、球状レンズ101を基板
102上に2次元的にアレイ状に並べた球状レンズアレ
イ103をライトガイド104の端面に設ける方法が考
えられている。良好な配光特性を得るには、図44に示
すように、球状レンズ101が稠密に並んでいることが
望ましい。しかしここで用いられる球状レンズは数μm
程度であり、このような微粒子を稠密に整列させる手段
として重力を利用する方法が考えられるが、直径1μm
〜数十μm程度の微粒子を重力を用いて2次元的に規則
正しく整列させるのは極めて困難である。また、工業的
に量産を考えると、短時間で比較的面積の大きな基板に
形成させる必要が生ずる。
【0051】以下、上記の従来技術の問題点を解決し得
る方法について説明する。球状部材を分散させた液体中
に基板を入れ、基板を液体から引き上げる際、境界付近
では液体の表面張力と液体の蒸発に伴う流れが発生し微
粒子が基板上に結晶状に整列する、自己集積現象が知ら
れている(K.Nagayama ed.:"Protein Array -An Altern
ative Biomolecular System", Adv. Biophys.(Tokyo) 3
4(1997),Japan Scientific Soc.Press )。第1の例
は、微小レンズを基板上に整列させる手段としてこの自
己集積現象を利用するものである。図45に示すよう
に、微小球状レンズ101を分散させた液体105の中
に、基板102となる部材を浸し、基板102を垂直ま
たは水平に引き上げ液体を蒸発させることによって、微
小球状レンズ101を基板102上に稠密に整列させ、
球状レンズアレイを製作することができる。
【0052】第2の例は、図46に示すように、基板1
02上に球状レンズ101を分布させ、基板102を振
動させることにより、球状レンズ101を基板102に
整列させることができる。
【0053】以上に説明した方法により整列させた球状
レンズを接着剤等で固定すれば、規則正しく並んだ球状
レンズアレイを容易に製作できる。特に、比較的広い面
積の基板でも容易に製作でき工業的にもメリットがあ
る。
【0054】また、図47に示すように球状レンズアレ
イ103を2層にすると、さらに配光特性が向上する。
図48は、光源装置の配光特性すなわち射出光の角度θ
に対する強度Iの分布を示す。実線はライトガイド10
4の端面に凹レンズを配置した場合、破線は上記第1、
第2の例の単層レンズアレイを配置した場合、一点鎖線
は図47に示した2層レンズアレイを配置した場合を示
し、2層レンズアレイを配置した場合は配光特性が向上
している。
【0055】また、本手法で製作された球状レンズアレ
イは、図49に示すように、液晶表示素子のバックライ
トの集光にも適用できる。本図において、バックライト
109からの光束は球状レンズアレイ103を透過し液
晶表示素子110を照明する。これによってバックライ
ト109からの光を効率よく集光でき、明るい液晶表示
素子を実現できる。
【0056】さらに、図50に示すように、CCDなど
の撮像素子111の直前に本手法で製作した球状レンズ
アレイ103を設けることによって、撮像素子の開口効
率が大幅に向上する。
【0057】なお、基板上に整列した微小粒子を固定す
る方法としては、図51に示すように、接着剤113の
使用が考えられるが、粘性の高い接着剤を使用すると整
列した粒子の配列が乱れるおそれがある。また、接着剤
自体の化学的変化により、透過率が低下するおそれがあ
る。特に医療用内視鏡の場合、高温での滅菌作業が不可
欠なので接着剤を用いない方法が望ましい。そこで、図
52に示すように、もう1枚の基材112を用いて挟
み、両端を封止する方法が考えられる。さらに、図53
に示すように、基板または球状レンズを加熱することに
より溶かし、互いに固定させることもできる。
【0058】以上に説明した方法によれば、微小な球状
レンズを基板上に容易に稠密に並べることができ、内視
鏡先端部の小型化、液晶表示素子の明るいバックライ
ト、固体撮像素子の集光効率の向上等を実現することが
できる。
【0059】以上説明したように、本発明による光学装
置、撮像装置、表示装置、結像装置等は、以下の付記に
示す特徴を備えていることが好ましい。付記
【0060】1.一枚の基板に少なくとも光学素子、シ
ャッター、絞り、表示素子のうちの一つ以上と撮像素子
と、を配設した光学装置。
【0061】2.一枚の基板に光学素子、シャッター、
絞り、表示素子、撮像素子等のうちの二つ以上を配設し
た光学装置。
【0062】3.一枚の基板に光学素子、シャッター、
絞り等のうちの二つ以上を配設した光学装置。
【0063】4.一枚の基板に、少なくとも撮像素子、
光学素子、シャッター、絞り、のうちの一つ以上と表示
素子と、を配設した光学装置。
【0064】5.前記光学素子が、光学特性可変光学素
子であることを特徴とする付記項1ないし付記項4のい
づれかに記載の光学装置。
【0065】6.前記光学特性可変光学素子が、可変焦
点光学素子であることを特徴とする付記項5に記載の光
学装置。
【0066】7.前記光学特性可変光学素子が、可変焦
点ミラーであることを特徴とする付記項5に記載の光学
装置。
【0067】8.前記光学素子が、可動光学素子である
ことを特徴とする付記項1ないし付記項4のいづれかに
記載の光学装置。
【0068】9.前記光学素子が、薄膜レンズ技術を用
いて作られたことを特徴とする付記項1ないし付記項4
のいづれかに記載の光学装置。
【0069】10.前記光学素子が、ミラーであること
を特徴とする付記項1ないし付記項4のいづれかに記載
の光学装置。
【0070】11.前記光学素子が、赤外光カット機能
を有することを特徴とする付記項1ないし付記項4のい
づれかに記載の光学装置。
【0071】12.シリコン基板上に形成したことを特
徴とする付記項1ないし付記項11のいづれかに記載の
光学装置。
【0072】13.前記基板が透明であることを特徴と
する付記項1ないし付記項11のいづれかに記載の光学
装置。
【0073】14.前記基板が赤外光除去機能を有する
ことを特徴とする付記項13に記載の光学装置。
【0074】15.前記基板の少なくとも一部が不透明
であることを特徴とする付記項1ないし付記項14のい
づれかに記載の光学装置。
【0075】16.前記光学装置を製作するのにリソグ
ラフィープロセスを用いる付記項1ないし付記項15の
いづれかに記載の光学装置。
【0076】17.各種ICまたはLSIを含む付記項
1ないし付記項16のいづれかに記載の光学装置。
【0077】18.光学ブロックと前記光学装置とを備
えた付記項1ないし付記項17のいづれかに記載の装
置。
【0078】19.光学素子と光学ブロックと前記光学
装置とを備えた付記項1ないし付記項18のいづれかに
記載の装置。
【0079】20.前記光学ブロックが赤外光カット機
能を有する付記項18または付記項19に記載の装置。
【0080】21.付記項1ないし付記項11、付記項
17のいづれかに記載の光学装置と付記項13ないし付
記項15のいづれかに記載の透明な光学装置を組み合わ
せた装置。
【0081】22.光学素子、シャッター、絞り、表示
素子、撮像素子の一つ以上と光学ブロックとを備えた光
学装置。
【0082】23.光学素子、シャッター、絞り、表示
素子、撮像素子の二つ以上と光学ブロックとを備えた光
学装置。
【0083】24.光学ブロックの複数の面に対向して
光学素子、シャッター、絞り、表示素子、撮像素子のう
ちの二つ以上を配置した光学装置。
【0084】25.光学特性可変光学素子または可動光
学素子を少なくとも一つ含み、ZOOMを行う付記項1
ないし付記項17のいづれかに記載の光学装置または付
記項18ないし付記項21のいづれかに記載の装置を含
む光学装置。
【0085】26.付記項1ないし付記項25のいづれ
かに記載の装置を備えた撮像装置。
【0086】27.付記項1ないし付記項25のいづれ
かに記載の装置を備えた結像装置。
【0087】28.撮像または観察方向と、撮像素子ま
たは眼に入射する光線とが捩じれの関係にある光学装置
を用いた撮像装置。
【0088】29.撮像または観察方向と、撮像素子ま
たは眼に入射する光線とが捩じれの関係にある、付記項
1ないし付記項17のいづれかに記載の光学装置または
付記項18ないし付記項25のいづれかに記載の装置を
含む光学装置。
【0089】30.付記項1ないし付記項17のいづれ
かに記載の光学装置または付記項18ないし付記項25
のいづれかに記載の装置を含む、請求項2に記載の光学
装置。
【0090】31.撮像または観察方向が厚さ方向とほ
ぼ直角であることを特徴とする付記項1ないし付記項1
7のいづれかに記載の光学装置または付記項18ないし
付記項25のいづれかに記載の装置または付記項30に
記載の光学装置を含む撮像装置。
【0091】32.撮像または観察方向が厚さ方向とほ
ぼ平行であることを特徴とする付記項1ないし付記項1
7のいづれかに記載の光学装置または付記項18ないし
付記項25、請求項1、請求項2のいづれかに記載の装
置を含む撮像装置。
【0092】33.請求項3に記載の足つき光学素子。
【0093】34.請求項3に記載の静電光学素子。
【0094】35.請求項3に記載の自走光学素子。
【0095】36.フォーカスまたはズームを行う請求
項3に記載の可動光学素子を備えた光学装置。
【0096】37.静電気力又は電磁力によって駆動さ
れるリソグラフィープロセスを含む加工法で製作された
絞り。
【0097】38.静電気力又は電磁力によって駆動さ
れるリソグラフィープロセスを含む加工法で製作された
シャッター。
【0098】39.静電気力又は電磁力によって駆動さ
れるリソグラフィープロセスを含む加工法で製作された
絞りと兼用のシャッター。
【0099】40.固体撮像素子の素子シャッター機能
を用いる撮像装置。
【0100】41.透過率可変素子を備えた付記項40
に記載の撮像装置。
【0101】42.請求項1ないし請求項3、付記項1
ないし付記項37、付記項40に記載の撮像装置。
【0102】43.基板が不透明である。(遮光効果が
あり、フレア、ゴーストを抑制できる。)
【0103】44.基板が、光路上は透明であり、光路
外の少なくとも一部に遮光手段を設けている。(基板を
介して光学系を構成できるため薄型化できる。且つフレ
ア、ゴーストを抑えられる。)
【0104】45.基板の一方の面に光学素子と撮像素
子を並列させて配置した。
【0105】46.基板の一方の面に光学素子と表示素
子を並列させて配置した。
【0106】47.基板の一方の面に複数の光学手段を
並列させて配置した。(光学系、装置全体を薄型化でき
る。)
【0107】48.基板が透明であり、一部に内面反射
面を有する。(基板中で光路を折り返せるので、光学系
全体の薄型化がはかれる。)
【0108】49.光学素子と撮像素子とが互いに偏心
している。
【0109】50.基板が透明のほぼ平行平面板であ
り、且つ面の一部が曲面にて構成された光学面である。
【0110】51.主光線または光軸が屈曲している。
【0111】52.一枚の基板上に光学素子、シャッタ
ー、絞り、表示素子、撮像素子のうち複数を非共軸に配
置した光学装置。
【0112】53.一枚の基板上に光学素子、シャッタ
ー、絞り、表示素子の少なくともいづれかの素子と、前
記素子とは非共軸の撮像素子とを配置した光学装置。
【0113】54.光学特性可変光学素子を基板上に配
すると共に、上記基板上に更に、表示素子、撮像素子、
他の光学素子のうち何れかを配置した光学装置。
【0114】55.可動光学素子を基板上に配すると共
に、上記基板上に更に、表示素子、撮像素子、他の光学
素子のうち何れかを配置した光学装置。
【0115】56.反射面を有する基板上に更に、表示
素子、撮像素子、他の光学素子のうち何れかを配置した
光学装置。
【0116】57.赤外カットフィルターを有する基板
上に更に、表示素子、撮像素子、他の光学素子のうち何
れかを配置した光学装置。
【0117】58.一枚の透明基板の表面に少なくとも
撮像素子と光学素子とを配設し、撮像機能を有すること
を特徴とする板状撮像ユニット。
【0118】59.一枚の透明基板の表面に、撮像素子
と、少なくとも回折光学素子と曲面レンズと自由曲面の
うちの一つ以上とを配設し、撮像機能を有することを特
徴とする板状撮像ユニット。
【0119】60.一枚の透明基板の表面に、ファイン
ダーと撮像素子と、少なくとも回折光学素子と曲面レン
ズと自由曲面のうちの一つ以上とを配設し、撮像機能を
有することを特徴とする板状撮像ユニット。
【0120】61.一枚の透明基板の表面に、撮像素子
と表示装置と、少なくとも回折光学素子と曲面レンズと
自由曲面とファインダーのうち一つ以上とを配設し、撮
像機能を有することを特徴とする板状撮像ユニット。
【0121】62.製作段階でリソグラフィープロセス
を用いることを特徴とする、付記項58ないし付記項6
1のいづれかに記載の板状撮像ユニット。
【0122】63.可変焦点光学素子を備えたことを特
徴とする、付記項58ないし付記項62のいづれかに記
載の板状撮像ユニット。
【0123】64.前記透明基板が赤外カットフィルタ
効果を有することを特徴とする、付記項58ないし付記
項63のいづれかに記載の板状撮像ユニット。
【0124】65.付記項58ないし付記項64のいづ
れかに記載の板状撮像ユニットを備えた撮像装置。
【0125】66.付記項58ないし付記項64のいづ
れかに記載の板状撮像ユニットを備えた携帯情報端末装
置。
【0126】67.一枚の透明基板とその表面に形成さ
れた高分子分散液晶とからなることを特徴とする可変屈
折力光学素子。
【0127】68.一枚の透明基板とその表面に形成さ
れた高分子分散液晶とからなることを特徴とする可変焦
点光学素子。
【0128】69.一枚の透明基板とその表面に形成さ
れた高分子分散液晶とからなることを特徴とする可変焦
点回折光学素子。
【0129】70.液晶に対する高分子の重量比を25
%以上にしたことを特徴とする、付記項67ないし付記
項69のいづれかに記載の光学素子。
【0130】71.前記透明基板が赤外カットフィルタ
効果を有することを特徴とする、付記項67ないし付記
項70のいづれかに記載の光学素子。
【0131】72.付記項67ないし付記項71に記載
の光学素子を備えた撮像装置。
【0132】73.光線が透過する少なくとも一面が凹
曲面で、側面が光線を反射する光学素子を少なくとも一
つ備えたことを特徴とするライトガイド用光源光学系。
【0133】74.一面が光線が透過する凹曲面で、側
面が光線を反射する同形の光学素子二つを備えたことを
特徴とするライトガイド用光源光学系。
【0134】75.両端が光線が透過する凹曲面で、側
面が光線を反射する光学素子を備えたことを特徴とする
ライトガイド用光源光学系。
【0135】76.下記条件(5)、(8)を満たすこ
とを特徴とする、付記項73ないし付記項75のいづれ
かに記載のライトガイド用光源光学系。 sin φ=coS α/n ・・・(5) 0.6×{(1−cot α・cot (α+φ))/cot (α+φ)}×h≦t≦ {(1−cot α・cot (α+φ))/cot (α+φ)}×h+5(D/2−h) ・cot (α+φ) ・・・(8) ただし、φは式(5)で定義される角、αはDCCレン
ズの頂角の1/2、nはDCCレンズの屈折率、hは入
射光束高、tはDCCレンズの中心厚、DはDCCレン
ズの直径である。
【0136】77.下記条件(5)、(7)、(8)を
満たすことを特徴とする、付記項73ないし付記項75
のいづれかに記載のライトガイド用光源光学系。 sin φ=cos α/n ・・・(5) D≦3h+5 ・・・(7) 0.6×{(1−cot α・cot (α+φ))/cot (α+φ)}×h≦t≦ {(1−cot α・cot (α+φ))/cot (α+φ)}×h+5(D/2−h) ・cot (α+φ) ・・・(8) ただし、φは式(5)で定義される角、αはDCCレン
ズの頂角の1/2、nはDCCレンズの屈折率、hは入
射光束高、tはDCCレンズの中心厚、DはDCCレン
ズの直径である。
【0137】78.光線射出面の断面形状が下記条件
(9)を満たすことを特徴とする、付記項73ないし付
記項75のいづれかに記載のライトガイド用光源光学
系。 1/f≒(n−1)/R ・・・(9) ただし、RはDCCレンズを二つに分割した部材のうち
凸レンズ作用をもつ曲面とした一方の部材の断面の凸カ
ーブの半径をR、nは該部材の屈折率、fはこれにより
省略できる集光レンズの焦点距離である。
【0138】79.付記項73ないし付記項78のいづ
れかに記載の光学系を備えた光源装置。
【0139】80.基板上に球状レンズを稠密に整列さ
せる手段として自己集積現象を用いた球状レンズアレイ
の製作方法。
【0140】81.基板上に球状レンズを稠密に整列さ
せる手段として基板または球状レンズを振動させる球状
レンズアレイの製作方法。
【0141】82.球状レンズがガラスであることを特
徴とする、付記項80または付記項81に記載の方法。
【0142】83.球状レンズが樹脂であることを特徴
とする、付記項80または付記項81に記載の方法。
【0143】84.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作したレンズアレイを備えた照明光学
系。
【0144】85.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作したレンズアレイを備えた内視鏡用
照明光学系。
【0145】86.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作したレンズアレイを備えた顕微鏡用
照明光学系。
【0146】87.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作したレンズアレイを備えた液晶表示
素子のバックライト照明光学系。
【0147】88.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作したレンズアレイを備えた撮像素
子。
【0148】89.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作した球状レンズの基板への固定手段
として、接着剤を用いて固定する方法。
【0149】90.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作した球状レンズの基板への固定手段
として、別の基板を用いて前記球状レンズを挟むことに
より固定する方法。
【0150】91.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作した球状レンズの基板への固定手段
として、前記球状レンズまたは前記基板を加熱すること
により固定する方法。
【0151】92.付記項80または付記項81に記載
の方法によって製作した球状レンズアレイ。
【0152】93.付記項80または付記項81に記載
の方法によって球状レンズアレイを製造する製造装置。
【0153】94.一枚の透明基板の表面に少なくとも
撮像素子と光学素子とを配設した板状撮像ユニット。
【0154】95.一枚の透明基板の表面に、撮像素子
と、少なくとも回折光学素子と曲面レンズと自由曲面の
うちの一つ以上とを配設した板状撮像ユニット。
【0155】96.一枚の透明基板の表面に、ファイン
ダーと撮像素子と、少なくとも回折光学素子と曲面レン
ズと自由曲面のうちの一つ以上とを配設した板状撮像ユ
ニット。
【0156】97.一枚の透明基板の表面に、撮像素子
と表示装置と、少なくとも回折光学素子と曲面レンズと
自由曲面とファインダーのうちの一つ以上とを配設した
板状撮像ユニット。
【0157】98.制作段階でリソグラフィープロセス
を用いることを特徴とする、付記項94ないし付記項9
7のいづれかに記載の板状撮像ユニット。
【0158】99.可変焦点光学素子を備えたことを特
徴とする、付記項94ないし付記項98のいづれかに記
載の板状撮像ユニット。
【0159】100.前記透明基板が赤外カットフィル
タ効果を有することを特徴とする、付記項94ないし付
記項99のいづれかに記載の板状撮像ユニット。
【0160】101.付記項94ないし付記項100の
いづれかに記載の板状撮像ユニットを備えた撮像装置。
【0161】102.付記項94ないし付記項100の
いづれかに記載の板状撮像ユニットを備えた携帯情報端
末装置。
【0162】
【発明の効果】以上に示したように、本発明によれば、
小型でコストの安い撮像装置、観察装置等の光学装置あ
るいはそれらに用いられるユニット等の部品を実現する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態を示す図である。
【図2】 本発明の第2実施形態を示す図である。
【図3】 図2の光学装置を上方から見たマイクロシャ
ッター付近の拡大図である。
【図4】 本発明の第2実施形態に用いる絞りの変形例
を示す図である。
【図5】 本発明の第2実施形態の変形例として、光学
特性可変光学素子の一つである可変焦点ミラーの別の一
例である液晶可変焦点レンズをミラーの前面に配置した
液晶可変ミラーを用いた撮像装置の一例を示す図であ
る。
【図6】 本発明の第3実施形態を示す図である。
【図7】 本発明の第3実施形態の撮像装置に用いるロ
ーパスフィルターの斜視図で、捩じれ関係にある二つの
平面よりなる瞳分割型のローパスフィルターを示す。
【図8】 本発明の第4実施形態を示す図である。
【図9】 本発明の第5実施形態を示す図である。
【図10】 本発明の第6実施形態を示す図である。
【図11】 本発明の第6実施形態の変形例を示す図で
ある。
【図12】 本発明の第7実施形態を示す図である。
【図13】 本発明の第7実施形態の変形例として足付
きレンズと透明基板と固体撮像素子とを組合せてなるシ
ンプルな構成の撮像装置の一例を示す図である。
【図14】 本発明の第8実施形態を示す図である。
【図15】 本発明の実施形態に用いる可動レンズの他
の例として静電レンズを示す図である。
【図16】 本発明の第9実施形態を示す図である。
【図17】 本発明の第9実施形態に用いる自走レンズ
の構成概要図である。
【図18】 本発明の第10実施形態を示す図である。
【図19】 本発明の第10実施形態に用いる自由曲面
プリズムを上方からみた図である。
【図20】 本発明の第10実施形態に用いる自由曲面
プリズムを物体側からみた図である。
【図21】 本発明の第11実施形態を示す図である。
【図22】 デジタルカメラの従来例を示す図である。
【図23】 本発明の第12実施形態を示す図である。
【図24】 本発明の第13実施形態を示す図である。
【図25】 本発明の第13実施形態のファインダ部の
断面図である。
【図26】 本発明の第14実施形態を示す図である。
【図27】 本発明の第14実施形態に用いる光学素子
を示す図である。
【図28】 電圧を加えたときの液晶分子の状態を示す
図である。
【図29】 光学素子の変形例を示す図である。
【図30】 本発明の第15実施形態を示す図である。
【図31】 本発明の第15実施形態に用いる可変焦点
フレネルミラーを示す図である。
【図32】 可変焦点DOEの応用例を示す図である。
【図33】 撮像装置の従来例を示す図である。
【図34】 ライトガイド用の光源光学系の従来例を示
す図である。
【図35】 従来例において入射角と入射光強度との関
係を示す図である。
【図36】 光源光学系の第1の例を示す図である。
【図37】 第1の例において入射角と入射光強度との
関係を示す図である。
【図38】 DCCレンズの変形例を示す図である。
【図39】 DCCレンズの設計例を説明するための図
である。
【図40】 DCCレンズの効果を示す図である。
【図41】 光源光学系の第2の例を示す図である。
【図42】 ライトガイドの先端部の従来例を示す図で
ある。
【図43】 ライトガイドの先端部に球状レンズアレイ
を設けた例を示す図である。
【図44】 球状レンズが稠密に並んだ状態を示す図で
ある。
【図45】 微小レンズを基板上に整列させる方法の第
1の例を示す図である。
【図46】 微小レンズを基板上に整列させる方法の第
2の例を示す図である。
【図47】 球状レンズアレイを2層にした例を示す図
である。
【図48】 各種の光源装置の配光特性を比較する図で
ある。
【図49】 球状レンズアレイの応用例を示す図であ
る。
【図50】 球状レンズアレイの別の応用例を示す図で
ある。
【図51】 基板上に整列した微小粒子を固定する方法
を示す図である。
【図52】 基板上に整列した微小粒子を固定する別の
方法を示す図である。
【図53】 基板上に整列した微小粒子を固定するさら
に別の方法を示す図である。
【図54】 本発明の第3実施形態に用いる光学素子の
別の変形例を示す図である。
【符号の説明】
1 固体撮像素子 2 レンズ系 3、18、198 透明基板 4、6 自由曲面 5 回折光学素子(DOE) 7、14 板状撮像ユニット 7’ 光 8 TFT液晶ディスプレー 9、203 IC 10 マイクロプロセッサ 11 ファインダ 12、100 凹レンズ 13 凸レンズ 15 光学素子 16 高分子分散液晶 17 可変焦点DOE 19 透過電極 20 液晶分子 21 曲面 22 可変焦点フレネルミラー 23 反射面 24、58 スイッチ 25 可変抵抗 26 フレネル面 31、104 ライトガイド 32 非球面レンズ 33 ランプ 34 DCCレンズ 34’ 側面 35 集光レンズ a、b 光線 36、37、38 部材 36’ 入射面 38’ 凸カーブ 52 可変焦点ミラー 53 薄膜 54、193、193a、193b、219b、22
1、222、256電極 55 固体撮像素子,CCD 56、102、240 基板 57、196 電源 59 可変抵抗器 60 物体からの光 101 球状レンズ 103 球状レンズアレイ 105 液体 109 バックライト 110 液晶表示素子 111 撮像素子 112 基材 113 接着剤 170、232、234 デジタルカメラ 171、181、182、183、200、200b、
208、210、211、212、218 レンズ 173、197 絞り 174 シャッター 175 レンズフォーカシング用ソレノイド 180 電子撮像ユニット 184 プリズム 185、190、218B、225 ミラー 186、243、244、245 板状ユニット 187 シリコン基板 188 マイクロシャッター 189、230 自由曲面プリズム 191 固定電極 192 遮光板 199 反射型LCD 201 ローパスフィルター 202 透明な板状ユニット 204、207、217、228、246、253
撮像装置 205 曲面状の樹脂薄膜 209 ディスプレー 214 斜線部 216 足付きレンズ 216B 足付きミラー 219、247、248 足 220 静電レンズ 223 ダンパー 226 可動ミラー 227 自走レンズ 231 撮像ユニット 233 干渉膜 241 低品質のシリコン等からなる基板 242 高品質のシリコンからなる基板 249 液晶シャッター 252 液晶可変ミラー 254 透明電極 255 フレネルレンズ状の基板 257 ツイストネマチック液晶

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 撮像または観察方向と、撮像素子または
    眼に入射する光線とが捩じれの関係にある光学装置。
  2. 【請求項2】 自由曲面プリズムに入射する光線と、自
    由曲面プリズムを出射する光線とが捩じれの関係にある
    自由曲面プリズムを備えた光学装置。
  3. 【請求項3】 製作プロセスにリソグラフィープロセス
    を含む、光学素子とアクチュエーターとからなる可動光
    学素子。
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Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002189173A (ja) * 2000-08-08 2002-07-05 Olympus Optical Co Ltd 光学装置
JP2002214662A (ja) * 2001-01-23 2002-07-31 Olympus Optical Co Ltd 光学装置の振れ補正装置
US6603608B2 (en) 2000-08-23 2003-08-05 Olympus Optical Co., Ltd. Variable focal length optical element and optical system using the same
US6801370B2 (en) 2001-09-27 2004-10-05 Olympus Corporation Imaging optical system
US6839190B2 (en) 2002-07-31 2005-01-04 Olympus Optical Co., Ltd. Optical apparatus and imaging apparatus using the same
US6917460B2 (en) 2002-11-12 2005-07-12 Olympus Corporation Imaging apparatus and controlling method thereof
US7019919B2 (en) 2001-09-17 2006-03-28 Olympus Corporation Optical system and imaging device
JP2006317547A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Olympus Imaging Corp 反射光学系組立ユニットと、反射光学系組立ユニットを用いた撮像装置
CN1304871C (zh) * 2002-11-12 2007-03-14 奥林巴斯株式会社 摄像装置及其控制方法
US7212353B2 (en) 2004-03-31 2007-05-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical element, optical system, and optical device
CN100349032C (zh) * 2002-11-18 2007-11-14 奥林巴斯株式会社 摄像装置及其控制方法
US7405884B2 (en) 2000-12-21 2008-07-29 Olympus Corporation Optical apparatus
JP2008276260A (ja) * 2008-07-29 2008-11-13 Olympus Corp 撮像装置
CN100434963C (zh) * 2006-03-16 2008-11-19 中国地质大学(武汉) 可变形反射镜
JP2009104160A (ja) * 2008-12-17 2009-05-14 Olympus Corp ズームレンズ及びそれを有する電子撮像装置
US20100033647A1 (en) * 2008-08-08 2010-02-11 Sharp Kabushiki Kaisha Display element and electronic element module, manufacturing method of the display element and electronic element module,and electronic information device
JP2014215519A (ja) * 2013-04-26 2014-11-17 Tdk株式会社 撮像装置
WO2023161278A1 (de) * 2022-02-24 2023-08-31 tooz technologies GmbH Optisches bauteil sowie verfahren und gussform zu dessen herstellung

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002189173A (ja) * 2000-08-08 2002-07-05 Olympus Optical Co Ltd 光学装置
US6603608B2 (en) 2000-08-23 2003-08-05 Olympus Optical Co., Ltd. Variable focal length optical element and optical system using the same
US7405884B2 (en) 2000-12-21 2008-07-29 Olympus Corporation Optical apparatus
JP2002214662A (ja) * 2001-01-23 2002-07-31 Olympus Optical Co Ltd 光学装置の振れ補正装置
US7019919B2 (en) 2001-09-17 2006-03-28 Olympus Corporation Optical system and imaging device
US6801370B2 (en) 2001-09-27 2004-10-05 Olympus Corporation Imaging optical system
US6839190B2 (en) 2002-07-31 2005-01-04 Olympus Optical Co., Ltd. Optical apparatus and imaging apparatus using the same
US6917460B2 (en) 2002-11-12 2005-07-12 Olympus Corporation Imaging apparatus and controlling method thereof
CN1304871C (zh) * 2002-11-12 2007-03-14 奥林巴斯株式会社 摄像装置及其控制方法
CN100349032C (zh) * 2002-11-18 2007-11-14 奥林巴斯株式会社 摄像装置及其控制方法
US7212353B2 (en) 2004-03-31 2007-05-01 Canon Kabushiki Kaisha Optical element, optical system, and optical device
JP2006317547A (ja) * 2005-05-10 2006-11-24 Olympus Imaging Corp 反射光学系組立ユニットと、反射光学系組立ユニットを用いた撮像装置
CN100434963C (zh) * 2006-03-16 2008-11-19 中国地质大学(武汉) 可变形反射镜
JP2008276260A (ja) * 2008-07-29 2008-11-13 Olympus Corp 撮像装置
JP4685907B2 (ja) * 2008-07-29 2011-05-18 オリンパス株式会社 撮像装置
US20100033647A1 (en) * 2008-08-08 2010-02-11 Sharp Kabushiki Kaisha Display element and electronic element module, manufacturing method of the display element and electronic element module,and electronic information device
JP2010045463A (ja) * 2008-08-08 2010-02-25 Sharp Corp 表示素子・電子素子モジュールおよびその製造方法、電子情報機器
US8704961B2 (en) * 2008-08-08 2014-04-22 Sharp Kabushiki Kaisha Display element having a lens being formed as part of a translucent support substrate having a display disposed thereon
JP2009104160A (ja) * 2008-12-17 2009-05-14 Olympus Corp ズームレンズ及びそれを有する電子撮像装置
JP4666669B2 (ja) * 2008-12-17 2011-04-06 オリンパス株式会社 ズームレンズ及びそれを有する電子撮像装置
JP2014215519A (ja) * 2013-04-26 2014-11-17 Tdk株式会社 撮像装置
WO2023161278A1 (de) * 2022-02-24 2023-08-31 tooz technologies GmbH Optisches bauteil sowie verfahren und gussform zu dessen herstellung

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