JPH11316195A - 透明板の表面欠陥検出装置 - Google Patents

透明板の表面欠陥検出装置

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JPH11316195A JP12096598A JP12096598A JPH11316195A JP H11316195 A JPH11316195 A JP H11316195A JP 12096598 A JP12096598 A JP 12096598A JP 12096598 A JP12096598 A JP 12096598A JP H11316195 A JPH11316195 A JP H11316195A
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Teruhito Yoshida
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Takeshi Kojima
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