JPH11312310A - ヘッドアセンブリ及びサスペンション - Google Patents

ヘッドアセンブリ及びサスペンション

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JPH11312310A
JPH11312310A JP10118038A JP11803898A JPH11312310A JP H11312310 A JPH11312310 A JP H11312310A JP 10118038 A JP10118038 A JP 10118038A JP 11803898 A JP11803898 A JP 11803898A JP H11312310 A JPH11312310 A JP H11312310A
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head
lead lines
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bonding
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眞司 平岡
Kazumasa Shiraishi
一雅 白石
Takuro Tsuruta
琢郎 鶴田
Noboru Yamanaka
昇 山中
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、静電気に起因するMR素子
の焼損を未然に防止することのできるヘッドアセンブリ
を提供することである。 【解決手段】 ヘッドアセンブリであって、サスペンシ
ョンと、サスペンションの先端部に搭載された磁気抵抗
効果素子を有するヘッドスライダと、それぞれの一端が
磁気抵抗効果素子に接続されたサスペンション上に形成
された一対のリードラインを含んでいる。ヘッドアセン
ブリは更に、一対のリードラインにボンディングにより
接続された金属ボールを含んでいる。ヘッドアセンブリ
単体で取り扱うときには、金属ボールにより一対のリー
ドラインが短絡されているため、静電気に起因する電流
が磁気抵抗効果素子に流れてこれを焼損するが防止され
る。ヘッドアセンブリをアクチュエータアームに取り付
けた後には、金属ボールは除去されて一対のリードライ
ン間を電気的に開放する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータの磁気
ディスク装置に用いられるヘッドアセンブリに関する。
【0002】近年、磁気ディスク装置の小型化、高密度
化に伴い、ヘッドスライダの浮上量が減少し、ごく低浮
上あるいはスライダが記録媒体に接触する接触記録/再
生の実現が望まれている。
【0003】また、従来の磁気誘導ヘッドは、磁気ディ
スクの小径化により周速(ヘッドと媒体との間の相対速
度)が減少すると、再生出力が劣化する。そこで、再生
出力が周速に依存せず、低周速でも大出力の得られる磁
気抵抗効果ヘッド(MRヘッド)又は巨大磁気抵抗効果
ヘッド(GMRヘッド)の開発が望まれている。尚、本
明細書で使用する磁気抵抗効果ヘッド(MRヘッド)と
いう用語は、巨大磁気抵抗効果ヘッド(GMRヘッド)
も含むものとする。
【0004】
【従来の技術】MRヘッドは磁気抵抗効果素子に一定の
センス電流を供給して、記録媒体の記録トラックから漏
洩する信号磁界の大きさの変化を抵抗変化に変換し、媒
体に記録された情報を電圧値の変化として再生する。
【0005】MRヘッドは一般的に、ヘッドスライダに
薄膜プロセス等で形成した磁気抵抗効果素子(MR素
子)が一体成形されて構成されている。ヘッドスライダ
は更にデータ書き込み用のコイルを有しており、ステン
レス鋼から形成されたサスペンションの先端部に接着等
により搭載される。
【0006】MR素子及びコイルを磁気ディスク装置の
記録再生回路へと接続するためのリードラインは、サス
ペンションに印刷された銅パターンから構成されてい
る。サスペンションをアクチュエータアームの先端部に
取り付けることにより、MR素子及びコイルがフレキシ
ブルプリント配線板(FPC)等を介して記録再生回路
へと接続される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のMRヘッドスラ
イダを支持するサスペンションでは、MR素子の端子間
を接続する一対のリードラインあるいはこれらのリード
ラインとMR素子の磁気シールドに接続された接地ライ
ンの間は電気的に開放状態となっている。
【0008】従って、静電気に帯電した作業者がMRヘ
ッドスライダを搭載したサスペンションを取り扱った
り、合成樹脂等の帯電しやすいケース等に入れて持ち運
びを行なうと、帯電による過大電流がMR素子を流れて
MR素子が焼損したり、あるいはMR素子と磁気シール
ド間で帯電した静電気が放電してMR素子を焼損する等
の問題があった。
【0009】よって本発明の目的は、静電気に起因する
MR素子の焼損を未然に防止することのできるヘッドア
センブリを提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明によると、ヘッド
アセンブリであって、サスペンションと;前記サスペン
ションの先端部に搭載された磁気抵抗効果素子を有する
ヘッドスライダと;それぞれの一端が前記磁気抵抗効果
素子に接続された、前記サスペンション上に形成された
一対のリードラインと;前記一対のリードラインにボン
ディングにより接続された金属ボールと;を具備したこ
とを特徴とするヘッドアセンブリが提供される。
【0011】好ましくは、金属ボールは金ボールから構
成されており、一対のリードラインは金で被覆されてい
る。ボンディング機械のキャピラリに高周波振動を印加
しながらボンディングすることにより、金の拡散結合に
より金ボールと一対のリードラインが接続される。
【0012】サスペンションは一般的にその側縁から垂
れ下がったタブを有しており、一対のリードラインはこ
のタブまで伸長してタブ上に形成された端子に接続され
ている。よって、上記構成に代えてタブ上のリードライ
ンを金属ボールによりボンディング接続するようにして
もよい。
【0013】本発明の他の側面によると、ヘッドアセン
ブリであって、サスペンションと;前記サスペンション
の先端部分に搭載された磁気抵抗効果素子と該磁気抵抗
効果素子の磁気シールドを有するヘッドスライダと;そ
れぞれの一端が前記磁気抵抗効果素子に接続された、前
記サスペンション上に形成された一対のリードライン
と;一端が前記磁気シールドに接続された、前記サスペ
ンション上に形成された接地ラインと;前記一対のリー
ドラインにボンディングにより接続された第1金属ボー
ルと;前記一対のリードラインの一方と前記接地ライン
にボンディングにより接続された第2金属ボールと;を
具備したことを特徴とするヘッドアセンブリが提供され
る。
【0014】本発明の更に他の側面によると、磁気抵抗
効果素子を有するヘッドスライダを支持するサスペンシ
ョンであって、それぞれ前記磁気抵抗効果素子に接続さ
れるべき一端を有する前記サスペンション上に形成され
た一対のリードラインと;前記一対のリードラインにボ
ンディングにより接続された金属ボールと;を具備した
ことを特徴とするサスペンションが提供される。
【0015】
【発明の実施の形態】図1を参照すると、本発明のヘッ
ドアセンブリを搭載した磁気ディスク装置の斜視図が示
されている。符号12はベース14とカバー16とから
構成されるハウジング(ディスクエンクロージャ)であ
る。
【0016】ベース14上にはインナーハブモータによ
って回転駆動される図示しないスピンドルハブが設けら
れている。スピンドルハブには磁気ディスク20と図示
しないスペーサが交互に挿入され、ディスククランプ1
8をスピンドルハブにネジ締結することにより、複数枚
の磁気ディスク20が所定間隔離間してスピンドルハブ
に取り付けられる。
【0017】符号22はアクチュエータアームアセンブ
リ26と磁気回路28とから構成されるロータリーアク
チュエータを示している。アクチュエータアームアセン
ブリ26は、ベース14に固定されたシャフト24周り
に回転可能に取り付けられている。
【0018】図2及び図3に最も良く示されるように、
アクチュエータアームアセンブリ26は、シャフト24
周りに回転可能に取り付けられたアクチュエータブロッ
ク29と、アクチュエータアーム29から一方向に伸長
した複数のアクチュエータアーム30と、アクチュエー
タアーム30と反対方向に伸長したコイル支持部材36
を含んでいる。
【0019】各アクチュエータアーム30の先端部には
ヘッドアセンブリ35が固定されている。ヘッドアセン
ブリ35はヘッドスライダ32と、先端部にヘッドスラ
イダ32を搭載したサスペンション34とから構成され
る。
【0020】コイル支持部材36によりコイル38が支
持されている。磁気回路28と、磁気回路28のギャッ
プ中に挿入されるコイル38とでボイスコイルモータ
(VCM)40が構成される。
【0021】符号42はヘッドスライダ32に搭載され
たMR素子からの信号を取り出すメインフレキシブルプ
リント配線板(メインFPC)を示しており、図2に示
すようにその一端がアクチュエータブロック29の側面
に固定されている。メインFPC42の中間部分は固定
部材44に固定されており、メインFPC42の他端が
図示しないコネクタに電気的に接続されている。
【0022】図3に最も良く示されるように、中継FP
C50がアクチュエータアーム30の側面に接着され、
更に中継FPC50の端子52とヘッドアセンブリ35
のタブ70に形成された端子とがボンディング接続さ
れ、中継FPC50の端子54とメインFPC42の端
子43とがボンディング接続される。
【0023】図1を再び参照すると、ベース14上に環
状パッキンアセンブリ46が搭載されており、パッキン
アセンブリ46を間に挟んでカバー16をベース14に
ネジ締結することにより、ハウジング12内が密封され
る。
【0024】図4は本発明第1実施形態のヘッドアセン
ブリ35の斜視図を示しており、図5はその側面図を示
している。例えば、ステンレス鋼から形成されたサスペ
ンション34の先端部には図6に詳細に示されたMRヘ
ッド32aを有するヘッドスライダ32が搭載されてお
り、その基端部にはアクチュエータアーム32にかしめ
固定するためのスペーサ80が溶接等により固定されて
いる。
【0025】サスペンション34上には一対のリードラ
イン58,60からなるMR配線パターン56と、同じ
く一対のリードライン64,66からなるコイル配線パ
ターン62が印刷により形成されている。各リードライ
ン58,60,64,66は主に銅からなり、銅の上に
ニッケルを介して金が蒸着されている。
【0026】リードライン58,60の一端はMRヘッ
ド32のMR素子の端子にそれぞれ金ボール59により
ボンディング接続されている。一方、リードライン6
4,66の一端はMRヘッド32のコイルにそれぞれ金
ボール65によりボンディング接続されている。
【0027】図5に示されるように、サスペンション3
4の両側部にはサスペンションの剛性を確保するための
一対のリブ(一方のみ図示)68がサスペンション34
と一体的に形成されている。
【0028】更に、サスペンション34のサイドエッジ
からタブ70が垂れ下がっており、このタブ70上に4
個の端子72,74,76,78が形成されている。各
端子72,74,76,78はそれぞれリードライン5
8,60,64,66に接続されている。
【0029】図6に示されるようにMRヘッド32a
は、導電性基板86と、該導電性基板86上に積層され
た例えばアルミナ(Al2 3 )からなる非磁性絶縁層
88を有している。
【0030】非磁性絶縁層88内には、例えばニッケル
−鉄(Ni−Fe)から形成された第1及び第2磁気シ
ールド90,92が埋め込まれている。第1及び第2磁
気シールド90,92はヘッド32aの先端面(媒体対
向面)95に再生分解能を向上させるためのギャップ9
4を画成している。
【0031】非磁性絶縁層88内には一端がヘッド32
aの先端面95に露出した、例えばニッケル−鉄(Ni
−Fe)から形成された磁気抵抗効果素子(MR素子)
96が埋め込まれている。
【0032】特に図示しないが、磁気抵抗効果素子96
の一対の端子にはセンス電流源が接続されており、磁気
抵抗効果素子96にはセンス電流源から一定のセンス電
流が供給される。
【0033】符号104は一端がMRヘッド32aの先
端面95に露出し、他端が第2磁気シールド92に結合
した磁極であり、磁極104と第2磁気シールド92の
結合部を概略中心として導体コイル102が巻回されて
いる。
【0034】コイル102に記録すべき情報で変調され
た電流を流すことにより、電流値に応じた磁界が誘導さ
れて磁気ディスク20の記録トラックに情報を磁気的に
記録することができる。
【0035】磁気ディスク20に記録された情報の読み
出しには磁気抵抗効果素子96を利用する。即ち、磁気
ディスク20の記録トラックからの信号磁束はヘッド3
2a内に受け入れられ、磁気抵抗効果素子96に流入
し、磁気抵抗効果素子96を磁化させる。磁気抵抗効果
素子96を通過した磁束は、第1及び第2磁気シールド
90,92に吸収される。
【0036】磁気抵抗効果素子96は信号磁束の大きさ
の変化に応じて、その抵抗値が変化する。磁気抵抗効果
素子96にはセンス電流源から一定のセンス電流が供給
されているので、抵抗値の変化に応じて一対の端子間の
電圧が変化し、磁気ディスク20に記録された情報を電
圧信号として再生することができる。
【0037】図4のB部分の拡大図である図7を参照す
ると、MR配線パターン56の一対のリードライン5
8,60はそれぞれその幅が広くなった幅広部58a,
60aを有している。
【0038】図8に示すように、各リードライン58,
60はステンレス鋼から形成されたサスペンション34
上に絶縁膜82を介して形成されている。他の絶縁膜8
3が絶縁膜82上に形成されている。
【0039】上述したように、各リードライン58,6
0は主に銅から形成されており、銅の上にニッケルを蒸
着し更にニッケルの上に金が蒸着されている。これは、
コイル配線パターン62のリードライン64,66も同
様である。よって、各リードライン58,60,64,
66の表面は金でカバーされている。
【0040】MR配線パターン56の一対のリードライ
ン58,60は幅広部58a,60aにおいて金ボール
84によりボンディング接続されている。ボンディング
は良く知られたボンディング機械を使用して達成され
る。
【0041】図9はボンディング機械のキャピラリ10
8の先端部分断面図を示している。キャピラリ108の
中心穴109に金線110が挿入されており、図示しな
い電極とキャピラリ108間でスパークを発生させて金
線110の先端に金ボール112を形成する。
【0042】そして、キャピラリ108を矢印A方向に
移動して、80gf〜100gfの力でワーク114に
押し付けながら、キャピラリ108に矢印B方向、即ち
横方向の高周波振動を印加する。この高周波振動により
金ボール112と表面に金被覆を有するワーク114が
拡散結合し、金ボール112がワーク114にボンディ
ングされる。
【0043】図7及び図8に示した本実施形態では、キ
ャピラリ108に印加する高周波振動により金ボール8
4とリードライン58,60の金とが拡散結合すること
により、金ボール84がリードライン58,60にボン
ディング接続される。
【0044】本実施形態では、ヘッドアセンブリ35の
電気的特性を測定するために、リードライン58,60
にボンディング接続された金ボール84を取り外し、測
定終了後に再びリードライン58,60を金ボール84
でボンディング接続する必要がある。このため、金ボー
ル84のリードライン58,60に対する接合強度を調
整する必要がある。
【0045】最適な接合強度について図10のグラフを
用いて説明する。横軸はボンディング機械の目盛りを示
しており、目盛りが増加するとパワーが増加する。即
ち、目盛りが増加するとキャピラリ108を横方向に振
動するパワーが増加する。縦軸は接合強度(gf)を示
している。
【0046】金ボールを半永久的にワークに接続する通
常のボンディングでは、接合強度140〜108gf程
度が必要である。しかし本実施形態では、電気的特性試
験のために金ボール84をある程度容易に取り外す必要
があるため、60〜100gfの範囲内の接合強度が望
ましい。キャピラリ108のワークに対する押し付け力
は80gf,90gf,100gfと3段階変化させ
た。
【0047】以下、本実施形態のヘッドアセンブリ35
を使用した磁気ディスク装置の組み立て工程について説
明する。まず、MR配線パターン56及びコイル配線パ
ターン62を有するサスペンション34のMR配線パタ
ーン56の一対のリードライン58,60に金ボール8
4をボンディング接続して、リードライン58,60を
短絡する。
【0048】次いで、サスペンション34の先端部にM
Rヘッド32を接着し、MRヘッド32の各端子と各リ
ードライン58,60,64,66を電気的に接続して
ヘッドアセンブリ35を組み立てる。この接続もボンデ
ィングにより行なわれる。
【0049】次いで、ヘッドアセンブリ35の浮上量を
測定する。次いで、金ボール84を取り外して一対のリ
ードライン58,60を電気的に開放した後、ヘッドア
センブリ35の電気的な特性を測定する。金ボール84
の取り外しは、機械的に力を加えることにより行なう
か、又は水等の洗浄液中で高周波洗浄を行なうことによ
り達成する。
【0050】ヘッドアセンブリ35の電気的な特性測定
が終了したら、再び一対のリードライン58,60を金
ボール84でボンディング接続し、リードライン58,
60を短絡する。
【0051】その後、ヘッドアセンブリ35をアクチュ
エータアーム30の先端部にかしめ固定する。次いで、
図3に示すように中継FPC50をアクチュエータアー
ム30の側面に接着し、中継FPC50の各端子52と
ヘッドアセンブリ35の各端子とをボンディング接続
し、中継FPC50の各端子54とメインFPC42の
各端子43とをボンディング接続する。
【0052】各端子間のボンディング接続終了後、金ボ
ール84を取り外してリードライン58,60の間を電
気的に開放する。次いで、磁気ディスク装置を最終的に
組み立てる。
【0053】本実施形態によれば、ヘッドアセンブリ3
5を単体で取り扱うときには、MR素子96に接続され
たリードライン58,60間が金ボール84により短絡
されているので、静電気等が原因で発生した電流は金ボ
ール84を流れ、この電流がMR素子96を流れること
が防止される。これにより、MR素子96が静電気が原
因で発生した電流により焼損されることが防止される。
【0054】図11を参照すると、本発明第2実施形態
のヘッドアセンブリ35′の斜視図が示されている。本
実施形態では、一対のリードライン120,122から
なるMR配線パターン118と同じく一対のリードライ
ン126,128からなるコイル配線パターン124が
サスペンション34′上に形成されている。
【0055】サスペンション34′の側縁からはタブ1
30が垂れ下がっており、各リードライン120,12
2,126,128はこのタブ130上まで伸長して、
それぞれ端子132,134,136,138に接続さ
れている。
【0056】そしてMR配線パターン118のリードラ
イン120,122はタブ130上でボンディングされ
た金ボール140により短絡されている。符号129は
リブを示しており、131はかしめ用の穴を示してい
る。
【0057】本実施形態では、短絡用の金ボール140
がタブ130上に形成されているため、複数のヘッドア
センブリが搭載されたアクチュエータにおいて、金ボー
ル140の着脱を比較的容易に行なうことができる。
【0058】図12を参照すると、本発明第3実施形態
の要部拡大図が示されている。本実施形態では、サスペ
ンション34′上に一対のリードライン120,122
に加えて、第1及び第2磁気シールド90,92を接地
するための接地ライン144が形成されている。
【0059】リードライン120,122間は金ボール
146でボンディング接続されており、リードライン1
22と接地ライン144の間は金ボール148でボンデ
ィング接続されている。
【0060】本実施形態によると、リードライン12
0,122間及びリードライン122と接地ライン14
4の間がそれぞれ短絡されているので、静電気等が原因
で発生した電流がこれらの金ボール146,148を流
れる。
【0061】その結果、静電気等が原因で発生した電流
がMR素子96を流れることが防止されると共に、MR
素子96と磁気シールド90,92間で放電することが
防止され、MR素子96が焼損することが防止される。
【0062】本実施形態の変形例として、リードライン
120,122の間に接地ライン144を形成し、金ボ
ール146でリードライン120と接地ライン144を
ボンディング接続し、金ボール148でリードライン1
22と接地ライン144をボンディング接続するように
してもよい。符号142はサスペンション34′に固定
されたスペーサを示している。
【0063】上述した各実施形態はMR素子の焼損を防
止しているが本発明はこれに限定されるものではなく、
静電気に弱い他のヘッド素子にも同様に適用可能であ
る。
【0064】
【発明の効果】本発明のヘッドアセンブリは以上詳述し
たように構成したので、ヘッドアセンブリ単体で取り扱
うときにはMR素子の端子間及び/又はMR素子と磁気
シールド間が電気的に短絡状態となっているため、MR
素子の端子間に静電気による過大電流が加わってもこの
電流はボンディング接続された金属ボールを流れる。こ
れにより、静電気の帯電に起因する過大電流がMR素子
を流れることが防止される。
【0065】更に、MR素子と磁気シールド間は短絡に
より同電位に近い状態となっているため、MR素子と磁
気シールド間で帯電した静電気が放電を起こすことが防
止される。その結果、静電気に起因するMR素子の焼損
を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のヘッドアセンブリを具備した磁気ディ
スク装置の斜視図である。
【図2】アクチュエータアームアセンブリの平面図であ
る。
【図3】アクチュエータアームアセンブリの側面図であ
る。
【図4】本発明第1実施形態に係るヘッドアセンブリの
平面図である。
【図5】第1実施形態のヘッドアセンブリ側面図であ
る。
【図6】MRヘッド部分の断面図である。
【図7】図4のB部分拡大図である。
【図8】図7の8−8線に沿った断面図である。
【図9】ボンディング機械のキャピラリの先端部分断面
図である。
【図10】ボンディングパワーを変化させたときの接合
強度を示す図である。
【図11】本発明第2実施形態に係るヘッドアセンブリ
の斜視図である。
【図12】本発明第3実施形態の要部拡大図である。
【符号の説明】
32 ヘッドスライダ 32a MRヘッド 34 サスペンション 35 ヘッドアセンブリ 56 MR配線パターン 58,60,64,66 リードライン 62 コイル配線パターン 84 金ボール
フロントページの続き (72)発明者 白石 一雅 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 鶴田 琢郎 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 山中 昇 東京都中央区日本橋一丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ヘッドアセンブリであって、 サスペンションと;前記サスペンションの先端部に搭載
    されたヘッド素子を有するヘッドスライダと;それぞれ
    の一端が前記ヘッド素子に接続された、前記サスペンシ
    ョン上に形成された一対のリードラインと;前記一対の
    リードラインにボンディングにより接続された第1金属
    ボールと;を具備したことを特徴とするヘッドアセンブ
    リ。
  2. 【請求項2】 前記第1金属ボールは金ボールから構成
    される請求項1記載のヘッドアセンブリ。
  3. 【請求項3】 前記一対のリードラインはそれぞれ金で
    被覆されており、前記ボンディングはボンディング機械
    のキャピラリに高周波振動を印加しながら行なうことに
    より、前記金ボールと前記一対のリードラインの金被覆
    とを拡散結合することを特徴とする請求項2記載のヘッ
    ドアセンブリ。
  4. 【請求項4】 前記サスペンションの側縁から垂れ下が
    ったタブを更に具備し;前記一対のリードラインは前記
    タブまで伸長しており、前記第1金属ボールは前記タブ
    上に設けられている請求項1記載のヘッドアセンブリ。
  5. 【請求項5】 前記ヘッド素子は磁気抵抗効果素子から
    構成される請求項1記載のヘッドアセンブリ。
  6. 【請求項6】 前記ヘッドスライダは前記ヘッド素子の
    磁気シールドを有しており;一端が前記磁気シールドに
    接続された、前記サスペンション上に形成された接地ラ
    インと;前記一対のリードラインの一方と前記接地ライ
    ンにボンディングにより接続された第2金属ボールと;
    を更に具備した請求項1記載のヘッドアセンブリ。
  7. 【請求項7】 ヘッドアセンブリであって、サスペンシ
    ョンと;前記サスペンションの先端部に搭載されたヘッ
    ド素子を有するヘッドスライドと;それぞれの一端がボ
    ンディングされた第1金属ボールにより前記ヘッド素子
    の端子に接続された、前記サスペンション上に形成され
    た一対のリードラインと;前記一対のリードラインにボ
    ンディングにより接続された第2金属ボールと;を具備
    したことを特徴とするヘッドアセンブリ。
  8. 【請求項8】 前記第1及び第2金属ボールは金ボール
    から構成される請求項7記載のヘッドアセンブリ。
  9. 【請求項9】 前記一対のリードラインはそれぞれ金で
    被覆されており、前記ボンディングはボンディング機械
    のキャピラリに高周波振動を印加しながら行なうことに
    より、前記金ボールと前記一対のリードラインの金被覆
    とを拡散結合することを特徴とする請求項8記載のヘッ
    ドアセンブリ。
  10. 【請求項10】 ヘッド素子を有するヘッドスライダを
    支持するサスペンションであって、 それぞれ前記ヘッド素子に接続されるべき一端を有する
    前記サスペンション上に形成された一対のリードライン
    と;前記一対のリードラインにボンディングにより接続
    された金属ボールと;を具備したことを特徴とするサス
    ペンション。
  11. 【請求項11】 前記金属ボールは金ボールから構成さ
    れることを特徴とする請求項10記載のサスペンショ
    ン。
  12. 【請求項12】 前記一対のリードラインはそれぞれ金
    で被覆されており、前記ボンディングはボンディング機
    械のキャピラリに高周波振動を印加しながら行なうこと
    により、前記金ボールと前記一対のリードラインの金被
    覆とを拡散結合することを特徴とする請求項11記載の
    サスペンション。
  13. 【請求項13】 前記ヘッド素子は磁気抵抗効果素子か
    ら構成される請求項10記載のサスペンション。
  14. 【請求項14】 前記サスペンションの側縁から垂れ下
    がったタブを更に具備し;前記一対のリードラインは前
    記タブ上まで伸長しており、前記金属ボールは前記タブ
    上に設けられている請求項10記載のサスペンション。
  15. 【請求項15】 ヘッド素子と該ヘッド素子の磁気シー
    ルドを有するヘッドスライダを支持するサスペンション
    であって、 それぞれ前記ヘッド素子に接続されるべき一端を有する
    前記サスペンション上に形成された一対のリードライン
    と;前記磁気シールドに接続されるべき一端を有する前
    記サスペンション上に形成された接地ラインと;前記一
    対のリードラインにボンディングにより接続された第1
    金属ボールと;前記一対のリードラインの一方と前記接
    地ラインにボンディングにより接続された第2金属ボー
    ルと;を具備したことを特徴とするサスペンション。
  16. 【請求項16】 前記第1及び第2金属ボールはそれぞ
    れ金ボールから構成される請求項15記載のサスペンシ
    ョン。
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