JPH11311555A

JPH11311555A - 多層型流体振動形流量計

Info

Publication number: JPH11311555A
Application number: JP11931598A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 1998-04-28
Filing date: 1998-04-28
Publication date: 1999-11-09

Abstract

(57)【要約】【課題】ハウジング内に複数のノズル部材を重ねて設
置する際の組立の簡素化を図ることのできる多層型流体
振動形流量計を提供することを課題としている。【解決手段】ノズル流路２１０を構成するノズル部材
２を有し、ノズル流路２１０から噴出する噴流の流体振
動に基づいて流量を検出するように構成された流量測定
部ＦＭａを備えてなり、この流量測定部ＦＭａを仕切板
２０を介してハウジング１内に複数重ねるように設けて
なる多層型流体振動形流量計であって、仕切板２０を介
して上下に位置する流量測定部ＦＭａは、上下のノズル
部材２を仕切板２０に一体化した一体型流量測定部ＵＦ
Ｍａによって構成されていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出する流量
測定部を多層に構成した多層型流体振動形流量計に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】通常の流体振動形流量計としては、例え
ば図１１及び図１２に示す流体振動形流量計ＦＭが知ら
れている。この流体振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉
じられるハウジング１内に一対のノズル部材２、２を設
けることにより、同ハウジング１内にノズル流路２１０
を構成すると共に、このノズル流路２１０の上流側及び
下流側にそれぞれ上流側流路２００及び下流側流路２２
０を構成する構造になっている。下流側流路２２０に
は、ノズル流路２１０の延長線上（中心線Ｃ上）にター
ゲット３が設けられている。そして、ノズル流路２１０
を通って噴出するガス（流体）がターゲット３に衝突す
ることによって流体振動が発生し、この流体振動に基づ
いて流量を検出する原理になっている。

【０００３】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａを有しており、この溝１ａの表面をカ
バー５で覆うことによって、上流側流路２００、ノズル
流路２１０及び下流側流路２２０を２次元流路に構成し
ている。すなわち、上流側流路２００、ノズル流路２１
０及び下流側流路２２０は、溝１ａの底面を構成する底
壁部１１０からの高さ（図１１の紙面に直交する方向の
寸法（厚さ方向の寸法））が一定で、中心線Ｃを介して
左右対称の２次元流路となっている。

【０００４】また、ハウジング１には、流入口１ｂ及び
流出口１ｃが設けられている。さらに、ハウジング１に
は、カバー５を固定するためのねじ穴１ｅが形成されて
いると共に、ノズル部材２を固定するためのねじ穴（図
示せず）が底壁部１１０に形成されている。ねじ穴１ｅ
には、カバー５を固定するためのボルト６がねじ込まれ
るようになっている。また、上記底壁部１１０に設けた
図示しないねじ穴には、カバー５の外側から挿入され、
ノズル部材２に形成された第１の貫通孔２ａを通るボル
ト６ａや、ノズル部材２に形成された第２の貫通孔２ｂ
を通るボルト６ｂがねじ込まれるようになっている。

【０００５】下流側流路２２０における底壁部１１０に
は、中心線Ｃに対して左右対称の位置に圧力取出孔４が
２つ形成されている。さらに、下流側流路２２０におけ
る底壁部１１０には、ターゲット３の設定台部３ａを保
持する凹部１ｆが形成されている。設定台部３ａは、凹
部１ｆに嵌合した状態において、その上面が底壁部１１
０の表面と面一状になるようになっている。また、図１
２において、５１はパッキンである。

【０００６】そして、上記のように構成された流体振動
形流量計ＦＭにおいては、流体振動の周波数と、ガス
（流体）の流量あるいは流速が比例関係にあることか
ら、流量を測定することができる。

【０００７】なお、上記流体振動形流量計ＦＭは、ＬＰ
ガスの流量を測定するものであり、ＬＰガスの流体振動
を測定することになる。ただし、上記構造の流体振動形
流量計ＦＭにあっては、ＬＰガス以外の他の気体や、液
体の流量を測定することも可能である。

【０００８】ところで、上記流体振動形流量計ＦＭにお
いては、測定範囲が広く、かつ計測精度の優れたものを
得ることが重要である。しかし、これらの測定範囲や測
定精度は、例えば２次元流路の厚さ方向の寸法、ノズル
流路２１０の幅、ノズル流路２１０の長さ、ターゲット
３の位置、下流側流路２２０の形状等によって変化する
ことになる。

【０００９】すなわち、例えば小流量領域において測定
範囲が広く、かつ計測精度の優れたものがすで開発され
ていたとしても、これとは測定領域の異なる例えば大流
量の領域を測定するものを開発するには、上述した２次
元流路の厚さ寸法やノズル流路２１０の幅等として最良
のものを、再び実験を繰り返すことによって見つけ出さ
なければならない。したがって、流体振動形流量計ＦＭ
の開発には、多くの費用、時間等がかかるという問題が
ある。

【００１０】このため、本発明者は、公知にはしていな
いが、ハウジング１内を複数の仕切板で仕切ってこれら
の仕切板の間に既存のノズル部材２やターゲット３を配
置することにより、大流量の測定が可能な多層型流体振
動形流量計を開発している。すなわち、この多層型流体
振動形流量計は、既存の流体振動形流量計ＦＭと同一の
性能を有する流量測定部を仕切板を介して複数重ねるこ
とにより、大流量の測定が可能なものを得ている。この
ため、開発に要する費用及び時間等が少なくてすむとい
う特長がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記多層型
流体振動形流量計においては、流量測定部における例え
ばノズル部材２と仕切板とを交互に重ねるようにしてハ
ウジング１内に挿入し、上述したようなボルト６ａをカ
バー５の外側から貫通孔２ａ、２ｂに通すことによっ
て、仕切板及びノズル部材２をハウジング１に固定する
ことになる。このため、組立が複雑化してしまう欠点が
ある。

【００１２】この発明は上述した問題点を解決するため
になされたものであり、ハウジング内に複数のノズル部
材を重ねて設置する際の組立の簡素化を図ることのでき
る多層型流体振動形流量計を提供することを課題として
いる。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、ノズル流路（２１０）を構
成するノズル部材（２）を有し、前記ノズル流路（２１
０）から噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出
するように構成された流量測定部（ＦＭａ）を備えてな
り、この流量測定部（ＦＭａ）を仕切板（２０）を介し
てハウジング（１）内に複数重ねるように設けてなる多
層型流体振動形流量計であって、前記仕切板（２０）を
介して上下に位置する流量測定部（ＦＭａ）は、上下の
ノズル部材（２）を仕切板（２０）に一体化した一体型
流量測定部（ＵＦＭａ）によって構成されていることを
特徴としている。

【００１４】請求項２に係る発明は、請求項１に係る発
明において、ノズル流路（２１０）の出口側にターゲッ
ト（３）を設けてなり、一体型流量測定部（ＵＦＭａ）
は、前記ターゲット（３）を仕切板（２０）に一体化し
ていることを特徴としている。

【００１５】そして、上記のように構成された請求項１
に係る発明においては、上流側から流れてきた流体が各
流量測定部（ＦＭａ）を通って、下流側に流れ去るよう
になる。このため、一つの流量測定部（ＦＭａ）として
は、小流量領域を測定するために開発されたものであっ
ても、大流量の測定が可能になる。また、所定の流量測
定部（ＦＭａ）を閉塞することにより、小流量型のもの
に容易に変更することができる。したがって、小流量か
ら大流量に至る種々の領域の流量を測定することができ
る。

【００１６】しかも、小流量型の流量測定部（ＦＭａ）
を新たに開発するか、あるいは既に開発済みの小流量型
の流量測定部（ＦＭａ）を用いるだけですむから、開発
に要する費用、時間等の低減を図ることができる。すな
わち、小流量型の流量測定部（ＦＭａ）を一つ開発して
おくだけで、小流量から大流量まで測定可能なものを得
ることができる。したがって、測定領域が異なるごとに
新たに開発する必要がなくなるから、開発に要する費用
や時間等の低減を図ることができる。

【００１７】また、個々の流量測定部（ＦＭａ）として
は小流量領域を測定するものとなるから、全体としては
大流量を測定することができるにもかかわらず、小流量
測定型のものと同様の高い測定精度が得られるという利
点がある。

【００１８】さらに、仕切板（２０）を介して上下に位
置する流量測定部（ＦＭａ）が上下のノズル部材（２）
を仕切板（２０）に一体化した一体型流量測定部（ＵＦ
Ｍａ）によって構成されているから、例えば２層の多層
型流体振動形流量計を構成する場合には、ハウジング
（１）内に一体型流量測定部（ＵＦＭａ）を挿入するだ
けですむ。また、さらに多層の多層型流体振動形流量計
を構成する場合には、一体型流量測定部（ＵＦＭａ）と
一体型流量測定部（ＵＦＭａ）との間に例えば他の仕切
板を挿入することにより容易に可能になる。したがっ
て、組立の簡素化を図ることができる。

【００１９】すなわち、上述のように一体型流量測定部
（ＵＦＭａ）をハウジング（１）内に組み込むだけです
むから、組立が簡単になると共に、組立の高効率化、組
立工数の削減を図ることができる。

【００２０】そして、各流量測定部（ＦＭａ）が一体型
流量測定部（ＵＦＭａ）によって構成されているから、
ノズル部材（２）を所定の位置に正確に設置することが
できる。

【００２１】すなわち、一体型流量測定部（ＵＦＭａ）
を製造する段階で、ノズル部材（２）が仕切板（２０）
上の所定の位置に一体化されて、正確に位置決めされて
いるから、この一体型流量測定部（ＵＦＭａ）をハウジ
ング（１）内に組み込むだけで、ノズル部材（２）をハ
ウジング（１）内の所定の位置に正確に設置することが
できる。したがって、組立精度の向上を図ることができ
ると共に、不良率の低減を図ることができる。

【００２２】また、一体型流量測定部（ＵＦＭａ）によ
り部品点数の削減を図ることができる。しかも、一体型
流量測定部（ＵＦＭａ）はアルミダイキャストやプラス
チック成形等により容易に、かつ低コストで製造するこ
とができる。また、プラスチックで成形した場合には、
軽量化を図ることができる。

【００２３】請求項２に係る発明においては、ターゲッ
ト（３）が一体型流量測定部（ＵＦＭａ）の仕切板（２
０）に一体化されているから、組立の高効率化、組立工
数の低減、部品点数の低減、コストの低減等をさらに図
ることができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１〜図１０を参照して説明する。なお、
図１〜図８は第１実施例、図９及び図１０は第２実施例
を示している。

【００２５】まず、図１〜図８を参照して第１実施例を
説明する。ただし、図１１〜図１２に示す従来例の構成
要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を
簡略化する。

【００２６】この実施例で示す多層型流体振動形流量計
ＭＦＭは、図１〜図８に示すように、ノズル流路２１０
を構成するノズル部材２を有し、ノズル流路２１０から
噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するよう
に構成された流量測定部ＦＭａを備えてなり、この流量
測定部ＦＭａを仕切板２０を介してハウジング１内に複
数重ねるように設けてなるものであって、仕切板２０を
介して上下に位置する流量測定部ＦＭａは、上下のノズ
ル部材２を仕切板２０に一体化した一体型流量測定部Ｕ
ＦＭａによって構成されていることを特徴としている。

【００２７】以下、上記構成についてさらに詳細に説明
する。なお、流量測定部ＦＭａ及び一体型流量測定部Ｕ
ＦＭａについては、必要に応じて流量測定部ＦＭａの名
前で総称して説明する。

【００２８】この実施例で示す多層型流体振動形流量計
ＭＦＭは、流量測定部ＦＭａを２層に構成したものであ
り、１層目及び２層目が一体型流量測定部ＵＦＭａによ
って構成されている。

【００２９】すなわち、一体型流量測定部ＵＦＭａは、
図１〜図６に示すように、仕切板２０の上下に、一対の
ノズル部材２と、ターゲット３とを備えたものであり、
各ノズル部材２と仕切板２０とがプラスチックにより一
体に形成されている。ターゲット３は、その設定台部３
ａが仕切板２０の上下の各面に形成された凹部１ｆに嵌
合され、接着剤等により固定されるようになっている。

【００３０】仕切板２０は四角形の平板状に形成された
ものであり、ハウジング１におけるノズル流路２１０の
上流端から下流側流路２２０の下流端に至る溝１ａに嵌
まり、同溝１ａを上下に完全に仕切るように形成されて
いる。さらに、仕切板２０は、図１及び図５に示すよう
に、各ノズル部材２より上流側（流入口１ｂ側）に突出
しており、その先端部２０ａが半円状に形成されてい
る。すなわち、仕切板２０は、その半円状の先端部２０
ａにより、流入してくるＬＰガス（流体）に渦等の乱れ
を発生させることなく、同ＬＰガスを上下の各ノズル流
路２１０に案内するようになっている。

【００３１】また、仕切板２０及び上下の各ノズル部材
２には、図４〜図６に示すように、ボルト６１が挿通す
る貫通孔２ａが形成されている。この貫通孔２ａは、図
８に示すように、ハウジング１の底壁部１１０に形成さ
れたねじ穴１ｇに対応する位置に形成されている。そし
て、ボルト６１は、カバー５の外側から一体型流量測定
部ＵＦＭａにおける貫通孔２ａを通って、底壁部１１０
のねじ穴１ｇに螺合し、一体型流量測定部ＵＦＭａを、
底壁部１１０とカバー５とで挟持して固定するようにな
っている。

【００３２】なお、上述したノズル部材２及びターゲッ
ト３は、下側のもの、すなわち第１層目のものも、上側
のもの、すなわち第２層目のものも、同一の形状に形成
され、かつハウジング１内の上下方向において同一の位
置となるように設定されている。例えば、各ノズル部材
２の高さＨが図１に示すように、全て等しいもので構成
されている。

【００３３】一方、ハウジング１の底壁部１１０には、
上述したようにねじ穴１ｇが形成されているとともに、
上記第１層目のノズル流路２１０から流出する噴流の流
体振動を検出するための一対の圧力取出孔４が形成され
ている。この圧力取出孔４は、従来例と同様に、中心線
Ｃを介して左右対称の位置に配置されている。各圧力取
出孔４は、図示しない圧力センサに接続されている。圧
力センサは、上記噴流の流体振動を圧力により検出する
ようになっている。なお、第１層目のターゲット３は仕
切板２０の下面に取り付けられているため、底壁部１１
０にはターゲット３を取り付けるための凹部１ｆは設け
られていない。

【００３４】また、ハウジング１は、アルミニウムなど
の金属によって機械加工により一体に形成されている。
そして、ハウジング１に形成された流入口１ｂ及び流出
口１ｃは、図１、図３に示すように、２層の各流量測定
部ＦＭａの全てを同じ条件で開口するように、四角形に
形成されている。また、図３において、１ｉは流入口１
ｂに上流側の流路を接続するためのねじ穴である。

【００３５】上記のように構成された多層型流体振動形
流量計ＭＦＭにおいては、上流側から流入口１ｂを通っ
て流れてきたＬＰガス（流体）が一体型流量測定部ＵＦ
Ｍａによる第１層目及び第２層目の各流量測定部ＦＭａ
を通り、さらに流出口１ｃを通って、下流側に流れ去る
ようになる。このため、一つの流量測定部ＦＭａとして
は、小流量領域を測定するために開発されたものであっ
ても、大流量の測定が可能になる。また、所定の流量測
定部ＦＭａ（ただし、圧力取出孔４のない流量測定部Ｆ
Ｍａに限る、この実施例の場合は第２層目の流量測定部
ＦＭａ）を閉塞することにより、小流量型のものに容易
に変更することができる。したがって、小流量から大流
量に至る種々の領域の流量を測定することができる。

【００３６】しかも、小流量型の流量測定部ＦＭａを新
たに開発するか、あるいは既に開発済みの小流量型の流
量測定部ＦＭａを用いるだけですむから、開発に要する
費用、時間等の低減を図ることができる。すなわち、小
流量型の流量測定部ＦＭａを一つ開発しておくだけで、
小流量から大流量まで測定可能なものを得ることができ
る。したがって、測定領域が異なるごとに新たに開発す
る必要がなくなるから、開発に要する費用や時間等の低
減を図ることができる。

【００３７】また、個々の流量測定部ＦＭａとしては小
流量領域を測定するものとなるから、全体としては大流
量を測定することができるにもかかわらず、小流量測定
型のものと同様の高い測定精度が得られるという利点が
ある。

【００３８】さらに、仕切板２０を介して上下に位置す
る流量測定部ＦＭａが上下のノズル部材２を仕切板２０
に一体化した一体型流量測定部ＵＦＭａによって構成さ
れているから、２層の多層型流体振動形流量計を構成す
る場合には、ハウジング１内に一体型流量測定部ＵＦＭ
ａを挿入するだけですむ。したがって、組立の簡素化を
図ることができる。また、さらに多層の多層型流体振動
形流量計を構成する場合には、ハウジング１をさらに深
く構成すると共に、一体型流量測定部ＵＦＭａと一体型
流量測定部ＵＦＭａとの間に例えば他の仕切板（図示せ
ず）を挿入することにより容易に可能になる。

【００３９】すなわち、上述のように一体型流量測定部
ＵＦＭａをハウジング１内に組み込むだけですむから、
組立が簡単になると共に、組立の高効率化、組立工数の
削減を図ることができる。

【００４０】そして、各流量測定部ＦＭａが一体型流量
測定部ＵＦＭａによって構成されているから、ノズル部
材２を所定の位置に正確に設置することができる。

【００４１】すなわち、一体型流量測定部ＵＦＭａを製
造する段階で、ノズル部材２が仕切板２０上の所定の位
置に一体化されて、正確に位置決めされているから、こ
の一体型流量測定部ＵＦＭａをハウジング１内に組み込
むだけで、ノズル部材２をハウジング１内の所定の位置
に正確に設置することができる。したがって、組立精度
の向上を図ることができると共に、不良率の低減を図る
ことができる。

【００４２】また、一体型流量測定部ＵＦＭａにより部
品点数の削減を図ることができる。しかも、一体型流量
測定部ＵＦＭａは、一つの部品として一体化されている
からプラスチックを用いた射出成形により、簡単に、か
つ低コストで製造することができる。しかも、プラスチ
ックで成形することにより、軽量化を図ることができ
る。

【００４３】次に、この発明の第２実施例を図９及び図
１０を参照して説明する。ただし、第１実施例に示す構
成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明
を簡略化する。この実施例においては、ターゲット３を
仕切板２０に一体に形成していること、及び仕切板２０
の先端部２０ａを二等辺三角形状に突出形成しているこ
とを特徴としている。

【００４４】このように構成された多層型流体振動形流
量計ＭＦＭにおいては、ターゲット３が仕切板２０に一
体化されているから、さらに部品点数の削減、組立工数
の削減、組立の簡素化、組立の高効率化、コストの低減
等の効果がある。また、先端部２０ａを二等辺三角形状
に形成することにより、ＬＰガスを各流量測定部ＦＭａ
に均等に分けることができるとともに、渦等の乱れが発
生するのを防止することができる。

【００４５】なお、上記各実施例においては、流体とし
てＬＰガスの流量を測定する例を示したが、ＬＰガス以
外の他の気体や、液体の流量を測定することも可能であ
ることはいうまでもない。

【００４６】また、流量測定部ＦＭａとして２層のもの
を示したが、例えば各一体型流量測定部ＵＦＭａの間に
他の仕切板を設けることにより、流量測定部ＦＭａをさ
らに多層に重ねるように構成してもよい。これにより、
例えばｎ層に構成した場合には、一つの流量測定部ＦＭ
ａ（上記実施例では底壁部１１０側の第１層目の流量測
定部ＦＭａ）で測定した流量を単にｎ倍するだけで、実
際の流量を正確に求めることができる。また、測定でき
る最大流量も、個々の流量測定部ＦＭａで測定できる最
大流量のｎ倍になる。さらに、合計流量と振動周波数と
の関係より流量測定を行なうこともできる。

【００４７】さらに、上記実施例においては、一体型流
量測定部ＵＦＭａに圧力取出孔４を設けるように構成し
ていないが、この一体型流量測定部ＵＦＭａにおいて
も、仕切板２０に一対の圧力取出孔４を設け、かつこれ
らの圧力取出孔４をハウジング１の外側に引き出すよう
に構成することにより、第２層目の流量測定部ＦＭａに
おいて実際に流量を測定するようにしてもよい。この場
合には、第１層目及び第２層目で測定した流量の合計が
多層型流体振動形流量計ＭＦＭで測定した流量になる。
また、第２層目については、カバー５に圧力取出孔４を
設けることも可能である。

【００４８】一方、圧力取出孔４のない流量測定部ＦＭ
ａ（上記実施例では第２層目）においては、ターゲット
３を省略してもよい。この場合には、コストの低減を図
ることができる。ただし、圧力取出孔４のない流量測定
部ＦＭａと圧力取出孔４のある流量測定部ＦＭａとを同
じ条件にすることにより、各流量測定部ＦＭａに流れる
流量がより均等になるので、各圧力取出孔４のない流量
測定部ＦＭａにもターゲット３を設けることが好まし
い。

【００４９】また、一体型流量測定部ＵＦＭａについて
は、プラスチックにより一体に形成したが、アルミダイ
キャスト等により一体に形成してもよい。さらに、ハウ
ジング１についてはアルミニウム等の金属で構成した
が、例えばプラスチックを用いた射出成形や、アルミダ
イキャスト等により一体に成形したもので構成してもよ
い。

【００５０】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、上流側
から流れてきた流体が各流量測定部を通って、下流側に
流れ去るようになる。このため、一つの流量測定部とし
ては、小流量領域を測定するために開発されたものであ
っても、大流量の測定が可能になる。また、所定の流量
測定部を閉塞することにより、小流量型のものに容易に
変更することができる。したがって、小流量から大流量
に至る種々の領域の流量を測定することができる。

【００５１】しかも、小流量型の流量測定部を新たに開
発するか、あるいは既に開発済みの小流量型の流量測定
部を用いるだけですむから、開発に要する費用、時間等
の低減を図ることができる。すなわち、小流量型の流量
測定部を一つ開発しておくだけで、小流量から大流量ま
で測定可能なものを得ることができる。したがって、測
定領域が異なるごとに新たに開発する必要がなくなるか
ら、開発に要する費用や時間等の低減を図ることができ
る。

【００５２】また、個々の流量測定部としては小流量領
域を測定するものとなるから、全体としては大流量を測
定することができるにもかかわらず、小流量測定型のも
のと同様の高い測定精度が得られるという利点がある。

【００５３】さらに、仕切板を介して上下に位置する流
量測定部が上下のノズル部材を仕切板に一体化した一体
型流量測定部によって構成されているから、例えば２層
の多層型流体振動形流量計を構成する場合には、ハウジ
ング内に一体型流量測定部を挿入するだけですむ。ま
た、さらに多層の多層型流体振動形流量計を構成する場
合には、一体型流量測定部と一体型流量測定部との間に
例えば他の仕切板を挿入することにより容易に可能にな
る。したがって、組立の簡素化を図ることができる。

【００５４】すなわち、上述のように一体型流量測定部
をハウジング内に組み込むだけですむから、組立が簡単
になると共に、組立の高効率化、組立工数の削減を図る
ことができる。

【００５５】そして、各流量測定部が一体型流量測定部
によって構成されているから、ノズル部材を所定の位置
に正確に設置することができる。

【００５６】すなわち、一体型流量測定部を製造する段
階で、ノズル部材が仕切板上の所定の位置に一体化され
て、正確に位置決めされているから、この一体型流量測
定部をハウジング内に組み込むだけで、ノズル部材をハ
ウジング内の所定の位置に正確に設置することができ
る。したがって、組立精度の向上を図ることができると
共に、不良率の低減を図ることができる。

【００５７】また、一体型流量測定部により部品点数の
削減を図ることができる。しかも、一体型流量測定部は
アルミダイキャストやプラスチック成形等により容易
に、かつ低コストで製造することができる。また、プラ
スチックで成形した場合には、軽量化を図ることができ
る。

【００５８】請求項２に係る発明においては、ターゲッ
トが一体型流量測定部の仕切板に一体化されているか
ら、組立の高効率化、組立工数の低減、部品点数の低
減、コストの低減等をさらに図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施例として示した多層型流体
振動形流量計の断面図であって、図４のＩ−Ｉ線に沿う
断面図である。

【図２】同多層型流体振動形流量計を示す図であって、
図４のII−II線に沿う断面図である。

【図３】同多層型流体振動形流量計を示す図であって、
図４のIII方向からの矢視図である。

【図４】同多層型流体振動形流量計を示す要部破断平面
図である。

【図５】同多層型流体振動形流量計における一体型流量
測定部を示す斜視図である。

【図６】同多層型流体振動形流量計における一体型流量
測定部を示す平面図である。

【図７】同多層型流体振動形流量計におけるターゲット
を示す平面図である。

【図８】同多層型流体振動形流量計におけるハウジング
を示す平面図である。

【図９】この発明の第２実施例として示した多層型流体
振動形流量計の断面図であって、図４のＩ−Ｉ線に相当
する位置の断面図である。

【図１０】同多層型流体振動形流量計の断面図であっ
て、図４のII−II線に相当する位置の断面図である。

【図１１】従来例として示した流体振動形流量計の要部
破断平面図である。

【図１２】同流体振動形流量計を示す断面図であって、
図１１のXII−XII線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１ハウジング２ノズル部材３ターゲット２０仕切板２１０ノズル流路ＦＭａ流量測定部ＭＦＭ多層型流体振動形流量計ＵＦＭａ一体型流量測定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル流路を構成するノズル部材を有
し、前記ノズル流路から噴出する噴流の流体振動に基づ
いて流量を検出するように構成された流量測定部を備え
てなり、この流量測定部を仕切板を介してハウジング内
に複数重ねるように設けてなる多層型流体振動形流量計
であって、前記仕切板を介して上下に位置する流量測定部は、上下
のノズル部材を仕切板に一体化した一体型流量測定部に
よって構成されていることを特徴とする多層型流体振動
形流量計。
【請求項２】ノズル流路の出口側にターゲットを設け
てなり、一体型流量測定部は、前記ターゲットを仕切板
に一体化していることを特徴とする請求項１記載の多層
型流体振動形流量計。