JPH1026544A

JPH1026544A - 流体振動形流量計

Info

Publication number: JPH1026544A
Application number: JP18345996A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 1996-07-12
Filing date: 1996-07-12
Publication date: 1998-01-27

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】流路の形状、寸法を簡単な構造の部材で構成
することのできる流体振動形流量計を提供する。【解決手段】ノズル流路２１０を通って噴出する流体
がターゲット３に衝突することによって生じる流体振動
に基づいて流量を測定する流体振動形流量計であって、
一対のノズル部材２は、ノズル流路２１０を構成するノ
ズル形成面２１を有するとともに、このノズル形成面２
１の下流側にあって下流側流路２２０を構成する下流側
流路形成面２２を有しており、ノズル流路２１０、上流
側流路１ｄ及び下流側流路２２０の深さＨを所定の深さ
に設定し、ノズル流路２１０の出口からターゲット３ま
での距離Ｌｊを所定の寸法に設定し、ノズル流路２１０
の幅（Ｗ）を所定の寸法に設定することにより、下流側
流路２２０の形状を簡単な形状に構成したことを特徴と
している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する流体がターゲットに衝突するときに生じる流体
振動に基づいて流量を測定する流体振動形流量計に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、特
開平４−１６０３２１号公報、特開平４−２７８４２１
号公報、特開平４−２７８４２２号公報等に示すものが
知られている。これらの公報に示されている流体振動形
流量計は、流路の形状や寸法について測定精度との関係
より検討したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記流体振
動形流量計においては、所定の測定領域の流量を正確に
測定するため、流路の形状及び寸法の決定方式が複雑に
なっているという問題があった。

【０００４】この発明は上述した問題点を解消すること
を目的とするものであり、流路の形状及び寸法の決定を
簡単な方法で構成することのできる流体振動形流量計を
提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、カバーで閉じられるハウジ
ング内に一対のノズル部材を設けることにより、同ハウ
ジング内にノズル流路を構成するとともに、このノズル
流路の上流側及び下流側にぞれぞれ上流側流路及び下流
側流路を構成し、前記下流側流路には前記ノズル流路の
延長線上にターゲットを設けてなり、前記ノズル流路を
通って噴出する流体がターゲットに衝突することによっ
て生じる流体振動に基づいて流量を測定する流体振動形
流量計において、前記一対のノズル部材は、前記ノズル
流路を構成するノズル形成面を有するとともに、このノ
ズル形成面の下流側にあって前記下流側流路を構成する
下流側流路形成面を有しており、前記ノズル流路、上流
側流路及び下流側流路の深さを所定の深さに設定し、前
記ノズル流路の出口からターゲットまでの距離を所定の
寸法に設定し、ノズル流路の幅を所定の寸法に設定する
ことにより、下流側流路の形状を簡単な形状に構成した
ことを特徴としている。

【０００６】請求項２に係る発明は、カバーで閉じられ
ハウジング内に一対のノズル部材を設けることにより、
同ハウジング内にノズル流路を構成するとともに、この
ノズル流路の上流側及び下流側にぞれぞれ上流側流路及
び下流側流路を構成し、前記下流側流路には前記ノズル
流路の延長線上にターゲットを設けてなり、前記ノズル
流路を通って噴出する流体がターゲットに衝突すること
によって生じる流体振動に基づいて流量を測定する流体
振動形流量計において、前記一対のノズル部材は、前記
ノズル流路を構成するノズル形成面を有するとともに、
このノズル形成面の下流側にあって前記下流側流路を構
成する下流側流路形成面を有しており、前記ノズル流路
の幅を所定の寸法に設定し、下流側流路の形状を所定の
形状に設定してなり、前記ノズル流路、上流側流路及び
下流側流路の深さを所定の深さに変更するとともに、ノ
ズル流路の出口からターゲットまでの距離を所定の寸法
に変更することにより、流量の計測範囲を変更できるよ
うに構成したことを特徴としている。

【０００７】請求項３に係る発明は、ハウジングには、
一対のノズル部材をそれぞれ嵌め込むためのノズル用凹
部、及びターゲットを嵌め込むためのターゲット用凹部
が設けられていることを特徴としている。

【０００８】請求項４に係る発明は、ハウジング、ノズ
ル部材及びターゲットのそれぞれと、カバーとの間に第
１のパッキンを設け、ノズル用凹部とノズル部材との間
に第２のパッキンを設けたことを特徴としている。

【０００９】そして、請求項１に係る発明においては、
ノズル流路、上流側流路及び下流側流路の深さを所定の
深さに設定し、前記ノズル流路の出口からターゲットま
での距離を所定の寸法に設定し、ノズル流路の幅を所定
の寸法に設定しているため、下流側流路の形状を簡単な
形状に構成することができる。したがって、下流側流路
の形状を開発するのに複雑な手法を必要としなくてよ
く、開発のためのコスト及び時間の低減を図ることがで
きる。

【００１０】請求項２に係る発明においては、ノズル流
路の幅を所定の寸法に設定し、下流側流路の形状を所定
の形状に設定しているため、ノズル流路、上流側流路及
び下流側流路の深さを所定の深さに変更するとともに、
ノズル流路の出口からターゲットまでの距離を所定の寸
法に変更することにより、流量の計測範囲が異なり、か
つ計測精度の優れた流体振動形流量計を構成することが
できる。したがって、低コストでかつ短時間で流量の計
測範囲の異なる素子を開発することができる。

【００１１】請求項３に係る発明においては、一対のノ
ズル部材をそれぞれ嵌め込むためのノズル用凹部、及び
ターゲットを嵌め込むためのターゲット用凹部をハウジ
ングに設けているため、ノズル部材を簡単に取り付ける
ことができるとともに、距離の異なるターゲットに簡単
に取り替えることができる。

【００１２】請求項４に係る発明においては、カバー
と、ハウジング、ノズル部材及びターゲットとの間に第
１のパッキンを設け、ノズル用凹部とノズル部材との間
に第２のパッキンを設けているため、ハウジングとノズ
ル部材との隙間や、カバーとノズル部材との隙間を通っ
て流体が上流側流路から下流側流路に流れるのを防止す
ることができる。したがって、流量を正確に測定するこ
とができる。また、ノズル部材、ターゲットの寸法公差
や、表面粗度を第１のパッキン及び第２のパッキンで吸
収することができるため、これらのノズル部材、ターゲ
ットとしては寸法公差や表面粗度において精度の低いも
のを採用することができる。したがって、コストの低減
を図ることができる。さらに、ノズル用凹部における第
２のパッキンの厚さを変えることにより、形状が同一で
あれば異なる厚さのノズル部材を設置することができ
る。従って、一度使用したノズル部材を、再度、異なる
深さの流体振動形流量計の素子に使用することができ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
１〜図１１を参照して説明する。ただし、図１〜図４は
第１の実施の形態、図５〜図７は第１の実施の形態の実
験結果の例、図８〜図９は第２の実施の形態の実験結果
の例、図１０〜図１１は第３の実施の形態を示してい
る。

【００１４】まず、第１の実施の形態について図１〜図
７を参照して説明する。図１において、Ｆは流体振動形
流量計であり、この流体振動形流量計Ｆは、カバー５で
閉じられるハウジング１内に一対のノズル部材２、２を
設けることにより、同ハウジング１内にノズル流路２１
０を構成するとともに、このノズル流路２１０の上流側
及び下流側にぞれぞれ上流側流路１ｄ及び下流側流路２
２０を構成し、前記下流側流路２２には前記ノズル流路
２１０の延長線上にターゲット３を設けてなり、前記ノ
ズル流路２１０を通って噴出する流体がターゲット３に
衝突することによって生じる流体振動に基づいて流量を
測定する。

【００１５】上記ハウジング１は、凹状に形成された溝
１ａによって構成されており、この溝１ａの上部をカバ
ー５で覆うことによって、直方体状の流路を構成する構
造となっている。さらに、ハウジング１は、流入口１ｂ
及び流出口１ｃを介して他の流路に接続されるように構
成されている。また、ハウジング１には、ターゲット３
に衝突して流体振動する噴流の流体振動周波数を検出す
る圧力センサ４が２個設置されている。

【００１６】上記ノズル部材２は、左右対称の一対のも
ので構成されており、溝１ａの下流側の角１ｋに詰める
ように左右対称の位置に設けられている。また、ノズル
部材２は、その上流側のノズル形成面２１が平行に近接
してノズル流路２１０を構成するとともに、ノズル形成
面２１の下流側に形成された下流側流路形成面２２によ
って下流側流路２２０を構成する。

【００１７】ターゲット３は、下流側流路２２０内にあ
って、ノズル流路２１の延長線上に設けられている。そ
して、このターゲット３は、四角形状の台座３０の上に
一体に形成されたものであり、台座３０の部分のみがハ
ウジング１に形成されたターゲット用凹部１ｇに沈み込
むように嵌合する構造になっている。また、圧力センサ
４は、下流側流路２２０内におけるノズル流路２１の出
口近傍にあって、同ノズル流路２１の延長線をはさんで
左右対称の位置に設けられており、流体振動の周波数を
圧力によって検出する方式となっている。

【００１８】そして、ノズル流路２１０、上流側流路１
ｄ及び下流側流路２２０の深さＨを所定の深さに設定
し、ノズル流路２１０の出口からターゲット３までの距
離Ｌｊを所定の寸法に設定し、ノズル流路２１０の幅Ｗ
を所定の寸法に設定することにより、下流側流路２２の
形状を簡単な形状に構成している。

【００１９】すなわち、各ノズル部材２は、図３に示す
ように、上流から下流への流れ方向に延在する板状のも
ので構成されている。そして、各ノズル部材２の流れ方
向に延在する全寸法Ｌ１は４０ｍｍ〜７０ｍｍに形成さ
れ、流れに直交する方向の寸法は、ノズル形成面２１か
らこのノズル形成面２１と反対側の背側縁２３までの寸
法Ｄ１が２８．４５ｍｍ〜２９．０５ｍｍに形成され、
ノズル部材２の上流側の上端縁２４とノズル形成面２１
との角部２５は半径ｒ１が５ｍｍの円弧状の曲面によっ
て形成されている。

【００２０】また、下流側流路形成面２２は、下流側の
下端縁２６からノズル形成面２１の出口までの寸法Ｌ２
が３４．９ｍｍ〜３５．１ｍｍに形成されたものであっ
て、ノズル形成面２１の出口から形成された第１の円弧
面２２ａと、この第１の円弧面２２ａより下流側に位置
する第２の円弧面２２ｂと、この第２の円弧面２２ｂと
第１の円弧面２２ａとを接線方向において滑らかにつな
ぐ第１の直線面２２ｃと、前記下端縁２６から上流側に
延びる第２の直線面２２ｄと、この第２の直線面２２ｄ
と前記第２の円弧面２２ｂとを滑らかにつなぐ第３の円
弧面２２ｅとを有している。

【００２１】上記第１の円弧面２２ａは、前記背側縁２
３から流れに直交し、かつ下流側流路形成面２２側に向
かう寸法Ｄ２が２９．９ｍｍ〜３０．１ｍｍの位置であ
って、下端縁２６から上流側に向かう寸法Ｌ５が２０．
９ｍｍ〜２１．１ｍｍの位置に中心を有し、半径ｒ２が
１４ｍｍの円弧となるように形成され、第２の円弧面２
２ｂは、前記背側縁２３から流れに直交し、かつ下流側
流路形成面２２側に向かう寸法Ｄ３が１９．５ｍｍの位
置であって、下端縁２６から上流側に向かう寸法Ｌ３が
１４．５ｍｍの位置に中心を有し、半径ｒ３が７ｍｍの
円弧となるように形成され、第３の円弧面２２ｅは、前
記背側縁２３から流れに直交し、かつ下流側流路形成面
２２側に向かう寸法Ｄ５が１５．５ｍｍの位置であっ
て、下端縁２６から上流側に向かう寸法Ｌ４が３ｍｍの
位置に中心を有し、半径ｒ４が５ｍｍの円弧となるよう
に形成され、第２の直線面２２ｄから背側縁２３までの
寸法Ｄ４が２０．５ｍｍに形成されている。

【００２２】また、ノズル部材２の厚さＴが７．５ｍｍ
に形成されている。したがって、図１〜図２に示すよう
に、ハウジング１の溝１ａの深さＨも７．５ｍｍに形成
されており、ノズル流路２１０、上流側流路１ｄ及び下
流側流路２２０の深さＨがすべて７．５ｍｍに形成され
ている。さらに、各ノズル形成面２１、２１間の幅であ
るノズル流路２１０の幅Ｗが１．９ｍｍ〜３．１ｍｍに
設定されている。また、ノズル流路２１０の出口、すな
わちノズル形成面２１の下端からターゲット３までの距
離Ｌｊは、台座３０の上に一体に形成されるターゲット
３の位置により、任意に設定可能である。

【００２３】そして、上述したように、ノズル部材２の
全寸法Ｌ１を４０ｍｍ〜７０ｍｍに設定しているのは、
４０ｍｍを下回ると、ノズル部材２の角部２５の半径ｒ
１の円弧状曲面が短くなり、ノズル流路２１０から噴出
される噴流が安定しなくなるからであり、７０ｍｍを上
回るとノズル流路２１０が長くなり過ぎて流体抵抗が大
きくなるからである。ノズル形成面２１から背側縁２３
までの寸法Ｄ１を２８．４５ｍｍ〜２９．０５ｍｍに形
成しているのは、この範囲を越えると、各ノズル形成面
２１で構成されるノズル流路２１０の幅Ｗの影響が大き
くなって、噴流の流体振動が安定しなくなり、流量の測
定誤差が大きくなってしまうからである。各ノズル部材
２の上流側の上端縁２４とノズル形成面２１との角部２
５を半径ｒ１が５ｍｍの円弧状の曲面で形成しているの
は、この半径ｒ１の曲面で形成すると、上流側流路１ｄ
からノズル流路２１０内への流れの乱れが少なくなり、
連続的かつスムーズに流れを縮流させることができる。
従って、流れの乱れを防止し、有効な整流作用を有する
こととなる。

【００２４】さらに、下流側流路形成面２２の寸法であ
って、下流側の下端縁２６からノズル形成面２１の下端
までの寸法Ｌ２を３４．９ｍｍ〜３５．１ｍｍに形成し
たのは、この範囲を越えると、流量の測定誤差が大きく
なってしまうからである。また、第１の円弧面２２ａ
を、前記背側縁２３から流れに直交し、かつ下流側流路
形成面２２側に向かう寸法Ｄ２が２９．９ｍｍ〜３０．
１ｍｍの位置であって、下端縁２６から上流側に向かう
寸法Ｌ５が２０．９ｍｍ〜２１．１ｍｍの位置に中心を
有し、半径ｒ２が１４ｍｍの円弧となるように形成して
いること、第２の円弧面２２ｂを、背側縁２３から流れ
に直交し、かつ下流側流路形成面２２側に向かう寸法Ｄ
３が１９．５ｍｍの位置であって、下端縁２６から上流
側に向かう寸法Ｌ３が１４．５ｍｍの位置に中心を有
し、半径ｒ３が７ｍｍの円弧となるように形成している
こと、第３の円弧面２２ｅを、前記背側縁２３から流れ
に直交し、かつ下流側流路形成面２２側に向かう寸法Ｄ
５が１５．５ｍｍの位置であって、下端縁２６から上流
側に向かう寸法Ｌ４が３ｍｍの位置に中心を有し、半径
ｒ４が５ｍｍの円弧となるように形成していること、第
２の直線面２２ｄから背側縁２３までの寸法Ｄ４を２
０．５ｍｍに形成していること、ノズル流路２１０、上
流側流路１ｄ及び下流側流路２２０の深さＨを７．５ｍ
ｍに設定していること、ノズル流路２１０の幅Ｗを１．
９ｍｍ〜３．１ｍｍに設定していること、ノズル流路２
１０の出口からターゲット３までの距離Ｌｊを可変の方
式にしていることによって、流量の計測誤差を小さくす
ることが可能である。

【００２５】また、図１において、６はカバー５をハウ
ジング１に取り付けるためのボルトである。さらに、図
４において、１ｅはボルト６を捩じ込むための捩子穴で
あり、１ｆはノズル部材２をハウジング１に固定するた
めの図示しないボルトを捩じ込むための捩子穴である。
また、図３において、２ａは上記ボルト６を貫通させる
ための貫通孔であり、２ｂはノズル部材２をハウジング
１に固定するために図示しないボルトを通すための固定
穴である。さらに、図２において、符号７はハウジング
１、ノズル部材２及びターゲット３のそれぞれと、カバ
ー５との間に設けられた第１のパッキンである。

【００２６】上記のように構成された流体振動形流量計
Ｆにおいては、ノズル流路２１０から噴出するプロパン
ガス等の流体がターゲット３に当たることによって流体
振動が生じる。この流体振動の周波数は圧力取出し口４
を通し、図示しない圧力センサーで検出することができ
る。そして、流体振動の周波数と、流量との間に比例関
係があることから、流量を測定することができる。

【００２７】そして、ノズル流路２１０、上流側流路１
ｄ及び下流側流路２２０の深さＨを７．５ｍｍに設定
し、前記ノズル流路２１０の出口からターゲット３まで
の距離Ｌｊを可変方式の状態にし、ノズル流路２１０の
幅Ｗを１．９ｍｍ〜３．１ｍｍに設定しているため、流
量を正確に測定することができるとともに、下流側流路
２２の形状を簡単な形状のもので構成することができ
る。したがって、下流側流路２２の形状を開発するのに
複雑な手法を必要としなくてよいという利点がある。

【００２８】また、ハウジング１、ノズル部材２及びタ
ーゲット３のそれぞれと、カバー５との間に第１のパッ
キン７を設けているため、ノズル部材２及びターゲット
３の寸法公差や、表面粗度を第１のパッキン７で吸収す
ることができる。したがって、ノズル部材２の上・下表
面及びターゲット３については台座３０について寸法公
差や表面粗度において精度の低いものを採用することが
できるため、コストの低減を図ることができる。

【００２９】さらに、ハウジング１にはターゲット３の
台座３０の部分を嵌め込んで固定するためのターゲット
用凹部１ｇが設けられているから、台座３０上の位置の
異なるターゲット３を複数用意することにより、ノズル
流路２１０の出口からターゲット３までの距離Ｌｊを適
切な寸法に簡単に変更することができる。

【００３０】次に、上記流体振動形流量計Ｆの測定結果
の一例を図５に示す。なお、図５において、ｄは流入口
１ｂの上流側に取付ける図示しないガス供給路内に設置
する半円柱の直径である。当該半円柱は、流体振動形流
量計Ｆに流入するガスの流れを整流する目的で取付ける
ものである。上記寸法の流体振動形流量計Ｆは最大計測
流量Ｑｍａｘが４ｍ³／ｈであり、検定公差は最大流量
Ｑｍａｘから（１／１０）Ｑｍａｘの範囲で−１．５％
〜＋１．５％の誤差範囲であり、（１／１０）Ｑｍａｘ
から最小計測流量の範囲で−３．０％〜＋３．０％の誤
差範囲である。換言すれば、検定公差は、最大計測流量
Ｑｍａｘが４ｍ³／ｈから０．４ｍ³／ｈの範囲で−
１．５％〜＋１．５％の誤差範囲となっており、０．４
ｍ³／ｈから０．２ｍ³／ｈの範囲で−３．０％〜＋
３．０％の誤差範囲となっている。したがって、図５に
示す測定誤差（器差）Ｅ（％）は上記検定公差内に入っ
ており、上記流体振動形流量計Ｆは最大計測流量Ｑｍａ
ｘが４ｍ³／ｈのガスメータ用のものとして測定精度が
優れたものであることがわかる。また、本実験ではガス
の流量を、温度２９３Ｋ，圧力０．１０１３ＭＰａの状
態の値である。

【００３１】なお、上記実験例では全寸法Ｌ１が５５ｍ
ｍのノズル部材２の例を示したが、全寸法Ｌ１が４０ｍ
ｍ〜７０ｍｍの範囲のノズル部材２でも図５で示した測
定結果と同様の良好な結果が得られる。

【００３２】また、ノズル流路２１０の出口からターゲ
ット３までの距離Ｌｊを１３ｍｍに設定したときの実験
結果の例を図６に示し、距離Ｌｊを１５ｍｍに設定した
ときの実験結果の例を図７に示す。このように、距離Ｌ
ｊを１４ｍｍからずらすことによって、流量の計測精度
が多少悪化することがわかる。したがって、上記実施の
形態で示した距離ＬｊをＬｊ＝１４ｍｍとすると、非常
に良好な結果となることがわかる。

【００３３】上記測定誤差（器差）Ｅ（％）は、下記の
式によって計算される。

【００３４】

【数１】Ｅ＝｛（Ｑｃａｌ−Ｑ）／Ｑｃａｌ｝×１００［％］ …（１）Ｑｃａｌ＝Ｋ×ｆ …（２）ただし、Ｑは実際に流れたガスの流量（実流量）であ
り、Ｑｃａｌは式（２）を用いて計算により得られた流
量であり、ｆの関数で表わされる。ｆは、流体振動形流
量計Ｆにおいて測定された噴出流体の流体振動周波数で
あり、Ｋは、実流量Ｑと流体振動周波数ｆの直線関係よ
り、最小二乗法を用いて求めた比例定数である。

【００３５】次に、この発明の第２の実施形態を説明す
る。この第２の実施形態は、図１〜図３において、各ノ
ズル部材２の全寸法Ｌ１，ノズル形成面２１から背側縁
２３までの寸法Ｄ１及びノズル流路２１０、上流側流路
１ｄ及び下流側流路２２０の深さＨ、ノズル流路２１０
の出口からターゲット３までの距離Ｌｊのみが異なって
おり、その他は第１の実施形態の構成要素と同一であ
る。

【００３６】すなわち、全寸法Ｌ１は５４．９ｍｍ〜７
０．０ｍｍに形成され、寸法Ｄ１は、２８．７０ｍｍ〜
２８．８０ｍｍに形成され、深さＨが５．０ｍｍ〜７．
５ｍｍに形成され、距離Ｌｊが１３．０ｍｍ〜１５．０
ｍｍに形成されている。そして、他の部分の寸法、形状
は第１の実施形態と同様に形成されているから、深さＨ
に応じて、流量の測定範囲が変化し、しかもぞれぞれの
測定範囲において測定精度が非常に優れている。

【００３７】上記第２の実施の形態の流体振動形流量計
Ｆの実験結果の例を図８及び図９に示す。ただし、図８
は深さＨを５．０ｍｍに設定し、距離Ｌｊを１３．８ｍ
ｍに設定したときの測定結果例であり、図９は深さＨを
７．５ｍｍに設定し、距離Ｌｊを１４．０ｍｍに設定し
たときの測定結果例である。

【００３８】まず、深さＨ＝５．０ｍｍ、距離Ｌｊ＝１
３．８ｍｍに設定した場合においては、図８に示すよう
に、０．１２ｍ³／ｈ〜２．５ｍ³／ｈのガスの流量範
囲内において、誤差（器差）Ｅが上述した検定公差内に
入り、流量を正確に計測することができる。また、深さ
Ｈが７．５ｍｍ、距離Ｌｊ＝１４．０ｍｍに設定した場
合においては、図９に示すように、０．２ｍ³／ｈ〜４
ｍ³／ｈのガスの流量範囲内において、誤差（器差）Ｅ
が検定公差内に入り、流量を正確に計測できることが確
認できる。したがって、このように測定領域の異なる流
体振動形流量計Ｆを開発する際に、ノズル形成面２１、
下流側流路形成面２２やターゲット３の形状等について
設計し直す必要がないため、開発コスト及び時間の低減
を図ることができる。

【００３９】次に、この発明の第３実施形態を図１０及
び図１１を参照して説明する。ただし、図１〜図４に示
す第１実施形態の構成要素と共通する要素には同一の符
号を付しその説明を簡略化する。この第３実施形態が第
１実施形態と異なる点は、ハウジング１にノズル用凹部
１ｈ、１ｈが設けられ、各ノズル用凹部１ｈに第２のパ
ッキン８が設けられている点である。

【００４０】すなわち、ハウジング１には、図１０〜図
１１に示すように、一対のノズル部材２をそれぞれ嵌め
込むためのノズル用凹部１ｈ、１ｈが設けられており、
各ノズル用凹部１ｈと各ノズル部材２との間には、第２
のパッキン８が設けられている。また、ノズル部材２の
厚さＴは、第２のパッキン８上のノズル用凹部１ｈに入
る分だけ、深さＨより厚く形成されている。従って、深
さＨがＨ＝７．５ｍｍの流体振動形流量計に使用したノ
ズル部材２を、深さＨ＝５ｍｍの場合にも、深さを変え
たノズル用凹部１ｈ，１ｈを設けることにより使用可能
となる。

【００４１】上記のように構成された流体振動形流量計
Ｆにおいては、ハウジング１にノズル用凹部１ｈを設け
ているため、ノズル部材２をハウジング１に簡単に取り
付けることができる。また、ノズル部材２をハウジング
１にボルト（図示しない）で固定する時に容易に固定で
きる。しかも、ノズル部材２とカバー５との間に第１の
パッキン７を設け、ノズル用凹部１ｈとノズル部材２と
の間に第２のパッキン８を設けているため、ハウジング
１とノズル部材２との隙間、及びカバー５とノズル部材
２との隙間を通って流体が上流側流路１ｄから下流側流
路２２０に流出するのを防止することができる。したが
って、流量を正確に測定することができる。また、ノズ
ル部材２の上・下表面、ターゲット３の台座３０の寸法
公差や、表面粗度を第１のパッキン７及び第２のパッキ
ン８で吸収することができるため、これらのノズル部材
２の上・下表面、ターゲット３の台座３０としては寸法
公差や表面粗度において精度の低いものを採用すること
ができる。したがって、コストの低減を図ることができ
る。さらに、ノズル用凹部１ｈにおける第２のパッキン
８の厚さを変えることにより、異なる厚さのノズル部材
２を設置することができる利点がある。

【００４２】なお、上記各実施の形態においては、流体
振動の周波数から流量を測定するように構成したが、流
体振動の周期から流量を測定するように構成したもので
あってもよい。

【００４３】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、ノズル
流路、上流側流路及び下流側流路の深さを所定の深さに
設定し、前記ノズル流路の出口からターゲットまでの距
離を所定の寸法に設定し、ノズル流路の幅を所定の寸法
に設定しているため、下流側流路の形状を簡単な形状に
構成することができる。したがって、下流側流路の形状
を開発するのに複雑な手法を必要としなくてよく、開発
のためのコスト及び時間の低減を図ることができる。

【００４４】請求項２に係る発明においては、ノズル流
路の幅を所定の寸法に設定し、下流側流路の形状を所定
の形状に設定してあるため、ノズル流路、上流側流路及
び下流側流路の深さを所定の深さに変更するとともに、
ノズル流路の出口からターゲットまでの距離を所定の寸
法に変更することにより、流量の測定範囲が異なり、か
つ測定精度の優れた流体振動形流量計を構成することが
できる。したがって、低コストでかつ短時間で流量の測
定範囲の異なる流体振動形流量計を開発することができ
る。

【００４５】請求項３に係る発明においては、一対のノ
ズル部材をそれぞれ嵌め込むためのノズル用凹部、及び
ターゲットを嵌め込むためのターゲット用凹部をハウジ
ングに設けてあるため、ノズル部材を簡単に取り付ける
ことができるとともに、距離の異なるターゲットに簡単
に取り替えることができる。

【００４６】請求項４に係る発明においては、カバー
と、ハウジング、ノズル部材及びターゲットとの間に第
１のパッキンを設け、ノズル用凹部とノズル部材との間
に第２のパッキンを設けているため、ハウジングとノズ
ル部材との隙間や、カバーとノズル部材との隙間を通っ
て流体が上流側流路から下流側流路に漏れるのを防止す
ることができる。したがって、流量を正確に測定するこ
とができる。また、ノズル部材の上・下表面、ターゲッ
トの台座３０の寸法公差や、表面粗度を第１のパッキン
及び第２のパッキンで吸収することができるため、これ
らのノズル部材、ターゲットとしては寸法公差や表面粗
度において精度の低いものを採用することができる。し
たがって、コストの低減を図ることができる。さらに、
ノズル用凹部における第２のパッキンの厚さを変えるこ
とにより、異なる厚さのノズル部材を設置することがで
きる。また、厚さの異なるノズル部材を使用することが
できるため、多少厚さの厚いノズル部材を作成すれば各
種寸法の深さに対応できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態として示した流体
振動形流量計の破断平面図。

【図２】同流体振動形流量計を示す図であって、図１の
Ａ−Ａ線に沿う断面図。

【図３】同流体振動形流量計のノズル部材を示す図であ
って、（ａ）は一方のノズル部材を示す正面図、（ｂ）
は他方のノズル部材を示す正面図、（ｃ）は一方のノズ
ル部材を示す底面図。

【図４】同流体振動形流量計のハウジングを示す平面
図。

【図５】同流体振動形流量計の測定結果を示す図。

【図６】同流体振動形流量計の他の測定結果を示す図。

【図７】同流体振動形流量計のさらに他の測定結果を示
す図。

【図８】この発明の第２の実施の形態として示した流体
振動形流量計の測定結果を示す図。

【図９】同流体振動形流量計の他の測定結果を示す図。

【図１０】この発明の第３の実施の形態として示した流
体振動形流量計の断面図であって、図１のＡ−Ａ線に相
当する位置の断面図。

【図１１】同流体振動形流量計のハウジングを示す平面
図。

【符号の説明】

１ハウジング１ｄ上流側流路２ノズル部材３ターゲット５カバー７第一パッキン８第二パッキン２１ノズル形成面２１０ノズル流路２２下流側流路形成面２２０下流側流路Ｆ流体振動形流量計Ｈ流路の深さＬｊノズル流路の出口からターゲットまでの距離Ｔノズル部材の厚さＷノズル流路の幅

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カバーで閉じられるハウジング内に一対
のノズル部材を設けることにより、同ハウジング内にノ
ズル流路を構成するとともに、このノズル流路の上流側
及び下流側にぞれぞれ上流側流路及び下流側流路を構成
し、前記下流側流路には前記ノズル流路の延長線上にタ
ーゲットを設けてなり、前記ノズル流路を通って噴出す
る流体がターゲットに衝突することによって生じる流体
振動に基づいて流量を測定する流体振動形流量計におい
て、前記一対のノズル部材は、前記ノズル流路を構成するノ
ズル形成面を有するとともに、このノズル形成面の下流
側にあって前記下流側流路を構成する下流側流路形成面
を有しており、前記ノズル流路、上流側流路及び下流側流路の深さを所
定の深さに設定し、前記ノズル流路の出口からターゲッ
トまでの距離を所定の寸法に設定し、ノズル流路の幅を
所定の寸法に設定することにより、下流側流路の形状を
簡単な形状に構成したことを特徴とする流体振動形流量
計。
【請求項２】カバーで閉じられハウジング内に一対の
ノズル部材を設けることにより、同ハウジング内にノズ
ル流路を構成するとともに、このノズル流路の上流側及
び下流側にぞれぞれ上流側流路及び下流側流路を構成
し、前記下流側流路には前記ノズル流路の延長線上にタ
ーゲットを設けてなり、前記ノズル流路を通って噴出す
る流体がターゲットに衝突することによって生じる流体
振動に基づいて流量を測定する流体振動形流量計におい
て、前記一対のノズル部材は、前記ノズル流路を構成するノ
ズル形成面を有するとともに、このノズル形成面の下流
側にあって前記下流側流路を構成する下流側流路形成面
を有しており、前記ノズル流路の幅を所定の寸法に設定し、下流側流路
の形状を所定の形状に設定してなり、前記ノズル流路、
上流側流路及び下流側流路の深さを所定の深さに変更す
るとともに、ノズル流路の出口からターゲットまでの距
離を所定の寸法に変更することにより、流量の計測範囲
を変更できるように構成したことを特徴とする流体振動
形流量計。
【請求項３】ハウジングには、一対のノズル部材をそ
れぞれ嵌め込むためのノズル用凹部、及びターゲットを
嵌め込むためのターゲット用凹部が設けられていること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の流体振動形流
量計。
【請求項４】ハウジング、ノズル部材及びターゲット
のそれぞれと、カバーとの間に第１のパッキンを設け、
ノズル用凹部とノズル部材との間に第２のパッキンを設
けたことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３
記載の流体振動形流量計。