JPH10111155A - 大流量型フルイディック流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 開発に要する多くの費用、時間等を削減する
ことのできる大流量型フルイディック流量計を提供する
ことにある。 【解決手段】 ノズル流路２１の出口部において生じる
流体振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量
測定手段Ｆを複数並列に設け、少なくとも一つのフルイ
ディック流量測定手段Ｆで検出した流体振動に基づい
て、全フルイディック流量測定手段Ｆを流れる流量を測
定するように構成してなり、少なくとも２つのフルイデ
ィック流量測定手段Ｆを、重ね合わせるようにして連結
していることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する噴出流体の流れに周期的な流体振動が生じ、こ
の周期的な流体振動の周波数と噴出流体の流速あるいは
流量との間に比例関係が存在することに基づいて、流体
の流量を検出するフルイディック流量計に関し、特に大
流量の測定が可能な大流量型フルイディック流量計に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】通常のフルイディック流量計としては、
例えば図２３に示すようなフルイディック流量計Ｆが知
られている。このフルイディック流量計Ｆは、ハウジン
グ１と、このハウジング１内に設けられたノズル部材
２、ターゲット３及び圧力センサ４とを備えている。

【０００３】ハウジング１は、直方体状の空間を形成す
べく凹状に形成された溝１ａを有しており、この溝１ａ
が流入口１ｂ及び流出口１ｃを介して他の流路に接続さ
れるようになっている。ノズル部材２は、左右対称の一
対のもので構成されており、溝１ａの下流側の部分を占
めるように設けられている。このため、ハウジング１内
には、ノズル部材２の上流側に流入空間１ｄが構成され
た状態になっている。また、各ノズル部材２は、上部が
平行に近接してノズル流路２１を構成するとともに、こ
のノズル流路２１の下流側に流量を検出するための測定
空間２２を構成するようになっている。この測定空間２
２は、ノズル流路２１から左右対称に円弧状に広がる壁
面２２ａ、２２ｂを有している。

【０００４】ターゲット３は、測定空間２２内にあっ
て、ノズル流路２１の延長線上に設けられている。ま
た、圧力センサ４は、測定空間２２内におけるノズル流
路２１の近傍にあって、同ノズル流路２１の左右に位置
しており、ノズル流路２１からの噴出流体の流れの流体
振動を圧力によって検出するようになっている。

【０００５】なお、ハウジング１は、溝１ａの上面側が
図示しないカバーによって、密閉されるようになってい
る。したがって、流入口１ｂに流入した流体は、流入空
間１ｄ、ノズル流路２１及び測定空間２２を通って流出
口１ｃから流出するようになっている。

【０００６】上記のように構成されたフルイディック流
量計Ｆにおいては、ノズル流路２１から流出する噴出流
体の流れが周期的に流体振動する。すなわち、ある時点
では噴出流体がターゲット３の一方の壁面３ａに沿って
流れ、一部は測定空間２２の一方の壁面２２ａに沿って
上昇しノズル流路２１の出口部へ戻り、他は流出口１ｃ
を通って流出する。また、ある時点では、同噴出流体が
ターゲット３の他方の壁面３ｂに沿ってあたかも吸寄せ
られるように流れる。このような噴出流体の流体振動が
測定空間２２内において周期的に発生する。

【０００７】そして、噴出流体が振動する周波数と、同
噴出流体の流速あるいは流量との間には比例関係がある
ことから、噴出流体の静圧を圧力センサ４で検出するこ
とにより、振動周波数を求め、流体の流量を測定するこ
とができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記フルイ
ディック流量計においては、ノズル流路２１の断面積に
よって、検出すべき流体の最大流量が自ずから定まって
くる。このため、より大流量の流量計を開発するには、
まず検出すべき流量に対応するノズル流路２１の断面積
を設定し、これに伴いノズル流路２１の長さや、ターゲ
ット３の位置及び形状、あるいは圧力センサ４の位置及
び形状等を新たに設計し直すとともに、種々の実験を繰
り返し行なわなければならない。したがって、より大流
量の流量計を開発するにあたっては、多くの費用、時間
等を要するという問題があった。

【０００９】この発明は上述した問題を解消するために
なされたもので、その目的は、開発に要する多くの費
用、時間等を削減することのできる大流量型フルイディ
ック流量計を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明は、ノズル流路の出口部におい
て生じる流体振動に基づいて流量を検出するフルイディ
ック流量測定手段を複数並列に設け、少なくとも一つの
フルイディック流量測定手段で検出した流体振動に基づ
いて、全フルイディック流量測定手段を流れる流量を測
定するように構成してなり、少なくとも２つのフルイデ
ィック流量測定手段を、重ね合わせるようにして連結し
ていることを特徴としている。

【００１１】請求項２に係る発明は、ノズル流路の出口
部において生じる流体振動に基づいて流量を検出するフ
ルイディック流量測定手段を複数並列に設け、少なくと
も一つのフルイディック流量測定手段で検出した流体振
動に基づいて、全フルイディック流量測定手段を流れる
流量を測定するように構成してなり、少なくとも２つの
フルイディック流量測定手段を、背中合わせに重ねるよ
うにして連結していることを特徴としている。

【００１２】請求項３に係る発明は、ノズル流路の出口
部において生じる流体振動に基づいて流量を検出するフ
ルイディック流量測定手段を複数並列に設け、少なくと
も一つのフルイディック流量測定手段で検出した流体振
動に基づいて、全フルイディック流量測定手段を流れる
流量を測定するように構成してなり、少なくとも２つの
フルイディック流量測定手段を、背中合わせに一体型に
構成したことを特徴としている。

【００１３】請求項４に係る発明は、ノズル流路の出口
部において生じる流体振動に基づいて流量を検出するフ
ルイディック流量測定手段を複数並列に設け、少なくと
も一つのフルイディック流量測定手段で検出した流体振
動に基づいて、全フルイディック流量測定手段を流れる
流量を測定するように構成してなり、ハウジングの壁部
を介して、少なくとも２つのフルイディック流量測定手
段を、背中合わせに一体型に構成したことを特徴として
いる。

【００１４】請求項５に係る発明は、ノズル流路の出口
部において生じる流体振動に基づいて流量を検出するフ
ルイディック流量測定手段を複数並列に設け、少なくと
も一つのフルイディック流量測定手段で検出した流体振
動に基づいて、全フルイディック流量測定手段を流れる
流量を測定するように構成してなり、背中合わせに一体
型に構成したフルイディック流量測定手段を、重ね合わ
せるようにして連結していることを特徴としている。

【００１５】請求項６に係る発明は、請求項１、請求項
２、請求項３、請求項４又は請求項５に係る発明におい
て、流量を検出するフルイディック流量測定手段以外の
フルイディック流量測定手段は、流量を検出するフルイ
ディック流量測定手段と同一の形状のものとして製造さ
れたものであるが、流量の検出機能を有さないダミーフ
ルイディック流量測定手段によって構成されていること
を特徴としている。

【００１６】請求項７に係る発明は、請求項１、請求項
２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求項６に係る
発明において、ハニカム状に区切られた複数の整流流路
を有する整流部材を、各フルイディック流量測定手段に
分岐する直前の主流路に設けたことを特徴としている。

【００１７】請求項８に係る発明は、請求項１、請求項
２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求
項７に係る発明において、ハニカム状に区切られた複数
の整流流路を有する整流部材を、主流路から各フルイデ
ィック流量測定手段に流入する直前の分岐流路に設けた
ことを特徴としている。

【００１８】そして、請求項１に係る発明においては、
フルイディック流量測定手段を複数並列に設けているた
め、各フルイディック流量測定手段の構造を同一のもの
で構成しておけば、各フルイディック流量測定手段には
同一の流量の流体が流れる。このため、少なくとも一つ
のフルイディック流量測定手段で流量を測定することに
よって、全フルイディック流量測定手段を流れる流量を
簡単に換算することができる。そして、フルイディック
流量測定手段としては、既存の低流量型のものを用いる
ことができるから、このフルイディック流量測定手段自
体を大型化する場合に比べて、その開発に要する費用、
時間等を大幅に削減することができる。

【００１９】しかも、フルイディック流測定手段を重ね
合わせるように連結しているため、コンパクトに構成す
ることができる。

【００２０】請求項２に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を、背中合わせに重ねるように連結
しているため、各フルイディック流量測定手段の表面側
から例えばカバーを介して内蔵された部品等の調整、交
換等を行なうことができる。したがって、フルイディッ
ク流量測定手段内への例えば部品の組み付けや、メンテ
ナンス等を簡単に行うことができるという利点がある。

【００２１】請求項３に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を、背中合わせに一体的に構成して
いるため、各フルイディック流量測定手段内への部品の
組み付けや、メンテナンスの容易性を損なうことなく、
よりコンパクトに構成することができるという利点があ
る。

【００２２】請求項４に係る発明においては、ハウジン
グの壁部を介して、フルイディック流量測定手段を、背
中合わせに一体型に構成しているため、各フルイディッ
ク流量測定手段内への部品の組み付けや、メンテナンス
の容易性を損なうことなく、よりコンパクトに構成する
ことができるとともに、ハウジングの壁部を共通化する
ことによって部品点数の低減や、ハウジングを加工する
工数の低減等を図ることができる。

【００２３】請求項５に係る発明においては、背中合わ
せに一体型に構成したフルイディック流量測定手段を、
重ね合わせるように連結しているため、より大流量のフ
ルイディック流量測定手段をコンパクトに構成すること
ができる。

【００２４】請求項６に係る発明においては、流量を検
出するフルイディック流量測定手段以外のフルイディッ
ク流量測定手段を、ダミーフルイディック流量測定手段
で構成しているため、価格の低減を図ることができる。

【００２５】請求項７に係る発明においては、整流部材
を、各フルイディック流量測定手段に分岐する直前の主
流路に設けているため、この整流部材によって流体の流
れる方向及び速度分布が一定に整えられる。このため、
各フルイディック流量測定手段に、圧力変動及び乱れが
少なく整流され、かつ安定した流体を供給することがで
きる。したがって、各フルイディック流量測定手段を通
過する流量の誤差を極めて小さくすることができる。

【００２６】請求項８に係る発明においては、整流部材
を、各フルイディック流量測定手段に流入する直前の分
岐流路に設けているため、整流部材が流体抵抗となり、
この整流部材の上流側の圧力が各分岐流路において同等
になる。このため、各整流部材を流れる流量が等しくな
る。しかも、各整流部材を流れることにより、流体の流
れの方向、及び速度分布が一定に整えられるため、各フ
ルイディック流量測定手段には速度変動がなく、整流さ
れ、安定した一定の流れの流体が供給されることにな
る。したがって、各フルイディック流量測定手段を通過
する流量の誤差をさらに低減することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
１〜図２２を参照して説明する。なお、図１〜図９は第
１実施の形態、図１０〜図１１は第２実施の形態、図１
２〜図１３は第３実施の形態、図１４〜図１６は第４実
施の形態、図１７〜図１８は第５実施の形態、図１９は
第６実施の形態、図２０は第７実施の形態、図２１は第
８実施の形態、図２２は第９実施の形態を示している。

【００２８】まず、図１〜図９を参照してこの発明の第
１実施の形態を説明する。ただし、図２３に示す従来例
の構成要素と共通する要素には同一の符号を付しその説
明を簡略化する。

【００２９】図１及び図２には、フルイディック流量測
定手段Ｆを２台用いた大流量型フルイディック流量計を
示している。各フルイディック流量測定手段Ｆには、流
入口１ｂの位置にガスフィーダ５が設けられており、こ
のガスフィーダ５に分岐管（分岐流路）６が連結されて
いる。そして、各分岐管６は、１つの主管（主流路）７
に集合するように連結されている。

【００３０】ガスフィーダ５は、図２に示すように、ハ
ウジング１の流入口１ｂに連続する直方体状の空間５１
ａを有するカバー部材５１を備えており、このカバー部
材５１がボルト５２によってハウジング１に固定されて
いる。カバー部材５１には分岐管６につながる円形状の
流入口５１ｂが形成されており、この流入口５１ｂの中
心に頂点５３ａを合わせるようにして、半円柱部材５３
が設けられている。この半円柱部材５３は、その底面部
５３ｂの中央がノズル流路２１の真上に位置しており、
上流から流れてくるプロパンガス等の流体がノズル流路
２１の入口部２１ａに直接当たるのを防止するようにな
っている。すなわち、分岐管６から流入する流体のもつ
動圧がノズル流路２１に直接作用するのを防止するよう
になっている。

【００３１】また、カバー部材５１内には、半円柱部材
５３の左右の各側面５３ｃ、５３ｃに対向するように拡
大流部材５４が設けられている。各拡大流部材５４に
は、流入口５１ｂから半円柱部材５３の各側面５３ｃに
対向するように斜めに延びる壁面５４ａが形成されてい
る。そして、これらの各壁面５４ａ、５４ａ及び各側面
５３ｃ、５３ｃによって、各分岐管６から流入する流量
を二等分する流路が構成されている。

【００３２】分岐管６は、円筒状に形成されており、カ
バー部材５１の流入口５１ｂの部分にねじや溶接等の手
段によって連結されている。そして、図１に示すよう
に、左右の各分岐管６は、内径や屈曲部の形状等が等し
く形成されているとともに、主管７から各カバー部材５
１までの長さが等しく形成されている。

【００３３】主管７は、上流側の端部に竹の子状の継手
部７ａを有しており、この継手部７ａを介してホースと
の接続を行うようになっている。この主管７はねじや溶
接等の手段によって分岐管６に連結されている。

【００３４】また、一方のフルイディック流量測定手段
Ｆの圧力センサ４は、図３に示すように、圧力検出回路
８に接続されている。圧力検出回路８は、圧力センサ４
で検知した圧力変化を電気信号に変換するように構成さ
れている。この圧力検出回路８は、さらに波形整形回路
９に接続されている。

【００３５】波形整形回路９は、電圧に変換された信号
から、ノイズ等の不要な成分を取り除くようになってい
る。この波形整形回路９は、さらに周波数検出回路１０
を通して流量算出回路１１に接続されている。

【００３６】周波数検出回路１０は、波形の整えられた
電気信号から周波数を検出するようになっている。流量
算出回路１１は、あらかじめ入力されている周波数と流
量との関係、及び接続されているフルイディック流量測
定手段Ｆの個数から、全フルイディック流量測定手段Ｆ
を流れる合計流量を算出するように構成されている。こ
の流量算出回路１１は、さらに流量表示装置１２に接続
されている。流量表示装置１２は、流量算出回路１１で
計算された流量を時事刻々とディスプレイ上に表示した
り、使用流量、積算流量等を必要に応じてプリントアウ
トすることが可能になっている。

【００３７】一方、各フルイディック流量測定手段Ｆ
は、図４〜図７に示すように、背中合わせに重ねるよう
にして連結されている。すなわち、各フルイディック流
量測定手段Ｆは、それぞれのハウジング１の壁部１１１
を密着させるようにして、背中合わせに連結されてい
る。

【００３８】そして、壁部１１１には、図４及び図５に
示すように、ターゲット３を固定するための凹部１１１
ａが設けられている。ターゲット３は、図４に示すよう
に、四角形状の板状に形成した設置台３０上に設けられ
ており、この設置台３０を上記凹部１１１ａに嵌め込む
ことによって、壁部１１１に固定されるようになってい
る。さらに、ハウジング１は、図１及び図５に示すよう
に、溝１ａの上面側がカバー１１２によって密閉される
ようになっている。したがって、流入口１ｂに流入した
流体は、図４に示すように、流入空間１ｄ、ノズル流路
２１及び測定空間２２を通って流出口１ｃから流出する
ようになっている。

【００３９】また、カバー１１２は、図１に示すよう
に、ボルト１１３によってハウジング１に固定されるよ
うになっており、ハウジング１には、図２に示すよう
に、ボルト１１３が螺合するねじ孔１０１が形成されて
いる。

【００４０】さらに、ノズル部材２には、図２に示すよ
うに、貫通孔２３が２つ対称な位置に形成されている。
各貫通孔２３には、ノズル部材２をハウジング１に固定
するボルト（図示せず）が挿入されるようになってい
る。そして、ハウジング１には、図４に示すように、ノ
ズル部材２の各貫通孔２３に対応する位置に、ねじ孔１
０２が貫通孔２３に対応する位置に設けられている。

【００４１】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、プロパンガス等の流体が図示
しないホースから主管７に流入し、さらに各分岐管６、
各ガスフィーダ５を介して、各フルイディック流量測定
手段Ｆに流入する。各フルイディック流量測定手段Ｆで
は、ノズル流路２１から噴出する噴出流体がある時点で
はターゲット３の一方の壁面３ａに沿って流れ、またあ
る時点では他方の壁面３ｂに沿って流れる流体振動が周
期的に発生する。

【００４２】この周期的な流体振動は、一方のフルイデ
ィック流量測定手段Ｆにおける圧力センサ４によって流
体の圧力変化として検出される。そして、この圧力変化
は、圧力検出回路８を介して電圧変化に変換され、その
電圧変化の波形は波形整形回路９によってノイズ等が取
り除かれる。このようにして整形された電圧変化の波形
から、その振動周波数が周波数検出回路１０によって検
出されることになる。そして、流量算出回路１１では、
あらかじめ入力されている流体が振動する周波数と、流
量との関係、及び接続されているフルイディック流量測
定手段Ｆの個数から、全フルイディック流量測定手段Ｆ
を流れる流量を算出する。この実施の形態の場合には、
２つのフルイディック流量測定手段Ｆを流れる合計流量
を算出する。このようにして、算出された流量は、流量
表示装置１２によってディスプレイ上に表示されたり、
使用流量、積算流量等がプリントアウトされたりする。

【００４３】また、上記のようにフルイディック流量測
定手段Ｆを並列に設けた大流量型フルイディック流量計
の誤差（器差）Ｅは、次ぎの（１）及び（２）式によっ
て求められる。

【００４４】

【数１】 Ｅ＝｛（Ｑcal −Ｑ）／Ｑcal ｝×１００ ［％］…（１） Ｑcal ＝Ｋ・ｆ …（２） ただし、Ｑは、全フルイディック流量測定手段Ｆを流れ
る合計流量の真値。Ｑcal は、全フルイディック流量測
定手段Ｆを流れる合計流量の計算値であり、ｆの関数で
表される。ｆは、一方のフルイディック流量測定手段Ｆ
において測定された噴出流体の振動周波数。Ｋは、流体
の物性及び並列に設けられたフルイディック流量計の個
数によって決定される定数。完全にＮ等分に分流が可能
な場合は、Ｋ＝Ｎ・Ｋ_１となる。この実施の形態の場合
は、Ｎ＝２である。ここで、Ｋ_１は１台のフルイディッ
クを用いた時の定数。

【００４５】上記（１）式から、測定すべき流量が２倍
になると、Ｑcal 及びＱも共に２倍になる。したがっ
て、本実施の形態のように、フルイディック流量測定手
段Ｆを２つ設けるように構成しても、誤差（器差）Ｅが
増加することがない。

【００４６】また、各分岐管６の長さが等しく、かつ同
一の形状に形成されているから、主管７から各分岐管６
への分流が均等に行われる。さらに、各分岐管６から各
ガスフィーダ５に供給された流体は、半円柱部材５３及
び案内部材５４によって、左右均等に別れてからフルイ
ディック流量測定手段Ｆの流入空間１ｄ内に入る。この
ため、流入空間１ｄ内には左右対称位置から流体が供給
されることになるから、同流入空間１ｄ内における流体
の動きが安定化する。しかも、半円柱部材５３によっ
て、分岐管６から流れてきた流体がノズル流路２１に直
接当たるのを防止することができるから、流入してきた
流体のもつ動圧がノズル流路の入口部２１ａに作用する
のを防止することができる。すなわち、動圧の違いによ
って、各フルイディック流量測定手段Ｆを通過する流量
に機差が生じるのを防止することができる。

【００４７】したがって、上記のように構成された大流
量型フルイディック流量計によれば、既存の低流量の同
一型のフルイディック流量測定手段Ｆを用いることによ
って、２倍の流量を測定することができる。このため、
フルイディック流量測定手段Ｆ自体を大型化することに
よって新たに大流量型のフルイディック流量計を開発す
る場合に比べて、その開発に要する費用、時間等を大幅
に削減することができる。

【００４８】また、各フルイディック流量測定手段Ｆ
を、壁部１１１を密接させて背中合わせに連結している
から、コンパクトに構成することができるとともに、各
フルイディック流量測定手段Ｆの表面側からカバー１１
２を介してハウジング１に内蔵された部品等の調整、交
換等を行なうことができる。すなわち、各フルイディッ
ク流量測定手段Ｆを連結した状態のまま、ノズル部材２
やターゲット３等の交換、調整等を行なうことができ
る。したがって、フルイディック流量測定手段Ｆ内への
例えば部品の組み付けや、メンテナンスが簡単になると
いう利点がある。

【００４９】次に、上記誤差（器差）Ｅに関する実験例
を図８及び図９に示す。図８に示すデータは、同一のフ
ルイディック流量測定手段Ｆを２台並列に設けて、最大
測定流量Ｑmax が６ｍ^３／ｈになるように構成した実験
結果であり、図９に示すデータは、同一のフルイディッ
ク流量測定手段Ｆを２台並列に設けて、最大測定流量Ｑ
max が８ｍ^３／ｈになるように構成した実験結果であ
る。図８においては、Ｑ／Ｑmax の比で約０．２以上の
区間（すなわち、流量Ｑが約１．２ｍ^３／ｈ以上の区
間）で極めて誤差が小さくなり、この区間で極めて精度
のよい測定が可能となる。一方、図９においては、Ｑ／
Ｑmax の比で約０．１５以上の区間（すなわち、流量Ｑ
が約１．２ｍ^３／ｈ以上の区間）で極めて誤差が小さく
なり、この区間で極めて精度のよい測定が可能となる。
なお、図８及び図９において、２点鎖線Ｓは、検定公差
（器差）を示している。

【００５０】次に、この発明の第２実施の形態を、図１
０及び図１１を参照して説明する。ただし、図１〜図７
に示す第１実施の形態の構成要素と共通する要素には同
一の符号を付しその説明を簡略化する。なお、図１０
は、図１のＸ−Ｘ線に沿う位置に相当する位置の断面図
である。この第２実施の形態が第１実施の形態と異なる
点は、主管７及び各分岐管６に整流部材１３が設けられ
ている点である。

【００５１】すなわち、整流部材１３は、各分岐管６へ
分岐する直前の主管７に設けられているとともに、各ガ
スフィーダ５に流入する直前の各分岐管６に設けられて
いる。これらの整流部材１３は、図１１に示すように、
円形パイプを束にした整流管で複数の整流流路１３ａを
有するものである。また、図１０において、１４は、整
流部材１３が下流側に移動するのを阻止するストッパで
ある。

【００５２】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、主管７に設けられた整流部材
１３によって、流体の流れる方向及び速度分布が一様に
整えられる。このため、圧力変動等の少ない安定した流
れの流体を各分岐管６に供給することができるととも
に、同流体を各分岐管６へ均等に分岐することができ
る。一方、各分岐管６に設けられた整流部材１３は、各
分岐管６に等しく設けられた流体抵抗となるので、これ
らの各整流部材１３の上流側の圧力が一定になる。この
ため、各整流部材１３を流れる流量が等しくなる。しか
も、各分岐管６に設けた整流部材１３によって、流体の
流れの方向及び速度分布が一様に整えられるから、流量
が等しく、かつ整流された流れの流体を各フルイディッ
ク流量測定手段Ｆに供給することができる。したがっ
て、各フルイディック流量測定手段Ｆを通過する流量の
誤差を極めて小さくすることができる。

【００５３】したがって、上記のように構成された大流
量型フルイディック流量計によれば、流体の流量をより
精度よく測定することができる。

【００５４】なお、上記第１及び第２実施の形態では、
流体としてプロパンガスの例を示したが、この流体とし
ては空気その他の気体でもよいし、また水や油等の液体
（ニュートン流体）であってもよい。

【００５５】また、上記各実施の形態においては、流量
の検出が可能なフルイディック流量測定手段Ｆを２台連
結するように構成したが、さらに多くのフルイディック
流量測定手段Ｆを連結するように構成してもよい。この
場合には、上記におけるＮが３以上になる。しかも、圧
力の検出を必要としないフルイディック流量測定手段Ｆ
については、本物のフルイディック流量測定手段Ｆを用
いずにダミーフルイディック流量測定手段を用いるよう
に構成してもよい。ただし、ダミーフルイディック流量
測定手段は、本物のフルイディック流量測定手段Ｆと内
部の形状、構造が同一のものとして製造されたものでな
ければならない。このようにダミーフルイディック流量
測定手段を用いれば、大流量型フルイディック流量計の
価格をさらに低減することができる。

【００５６】さらに、各フルイディック流量測定手段Ｆ
やダミーフルイディック流量測定手段に流入する流体
を、ソレノイドバルブ，コック等を用いて個々に止める
ことが可能なように構成してもよい。例えば、上記実施
の形態のように、２台のフルイディック流量測定手段Ｆ
を連結したものであれば、静圧を検出しない側のフルイ
ディック流量測定手段Ｆに流れる流量をソレノイドバル
ブ，コック等により止め、圧力を検出する側のフルイデ
ィック流量測定手段Ｆのみに流体が流れるようにする。
このようにすれば、例えば図８に示すＱmax が３ｍ^３／
ｈとなるから、Ｑ／Ｑmax の比で０．２の位置が０．６
ｍ^３／ｈになる。すなわち、０．６ｍ^３／ｈの小流量ま
で精度よく測定することができるようになる。したがっ
て、測定可能な流量の範囲を広げることができる。

【００５７】さらにまた、複数のフルイディック流量測
定手段Ｆにおいて圧力変化を測定し、この圧力変化に基
づいて流量を測定するように構成すれば、個々のフルイ
ディック流量測定手段の測定誤差が平均化されるから、
一つのフルイディック流量測定手段で測定する場合よ
り、測定精度を向上させることができる。

【００５８】次に、この発明の第３実施の形態を、図１
２及び図１３を参照して説明する。ただし、図１〜図７
に示す第１実施の形態の構成要素と共通する要素には同
一の符号を付しその説明を簡略化する。この第３実施の
形態が第１実施の形態と異なる点は、各フルイディック
流量測定手段Ｆを、裏面、表面及び側面で重ねるように
連結している点である。

【００５９】すなわち、各フルイディック流量測定手段
Ｆは、合計８つのものが壁部１１１、カバー１１２及び
側面のそれぞれを重ね合わせるようにして連結されてい
る。

【００６０】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、より大流量のもを提供するこ
とができる。しかも、各フルイディック流量測定手段Ｆ
を裏面、表面、側面を介して隙間無く連結することがで
きるから、コンパクトなものを提供することができる。

【００６１】なお、上記第３実施の形態においては、８
つのフルイディック流量測定手段Ｆを裏面、表面及び側
面を介して連結するように構成したが、８つより少なく
ても、多くてもよいことはいうまでもない。しかも、表
面同士のみを連結するように構成したり、側面同士のみ
を連結するように構成したりしてもよい。

【００６２】次に、この発明の第４実施の形態を、図１
４〜図１６を参照して説明する。ただし、図１〜図７に
示す第１実施の形態の構成要素と共通する要素には同一
の符号を付しその説明を簡略化する。この第４実施の形
態が第１実施の形態と異なる点は、ハウジング１の壁部
１１１を一体化することにより、２つのフルイディック
流量測定手段Ｆを背中合わせに一体型に構成している点
である。

【００６３】すなわち、ハウジング１には、図１４〜図
１６に示すように、壁部１１１の一方及び他方の両側に
溝１ａが形成されている。

【００６４】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、一枚の平板の一方の側及び他
方の両側から溝１ａを加工し、さらに、流入口１ｂ、流
出口１ｃ、凹部１１１ａ等を加工することにより、２つ
のフルイディック流量測定手段Ｆを収容する面対称のハ
ウジング１を作製することができる。すなわち、一枚の
板の一方の側に溝１ａ等を加工した後、この板を逆さに
して他方の側に同一形状の溝１ａ等を加工すればよいた
め、ハウジング１の加工工数の低減を図ることができ
る。しかも、ハウジング１の両側に、同一形状のノズル
部材２とターゲット３を取り付けるため、組立て方が簡
単で間違いが少ないという利点がある。さらに、カバー
１１２が表面側に位置した状態になるから、フルイディ
ック流量測定手段Ｆ内への例えば部品の組み付けや、メ
ンテナンスが簡単になるという利点もある。

【００６５】また、ダイカストでハウジング１を作製す
ると、一度に２個分のフルイディック流量測定手段Ｆを
収容可能なハウジング１を製造することができる。した
がって、ダイカストでハウジング１を作成することによ
って製造工程をさらに少なくすることができる。

【００６６】さらに、壁部１１１が２つのフルイディッ
ク流量測定手段Ｆの共有のものとなるため、部品点数を
低減することができるとともに、全体がコンパクトにな
るという利点がある。

【００６７】なお、上記第４実施の形態においては、壁
部１１１の一方の側及び他方の側のそれぞれに１つずつ
のフルイディック流量測定手段Ｆを設けるように構成し
たが、一方の側及び他方の側のぞれぞれに、２つ以上の
複数のフルイディック流量測定手段Ｆを設けるように構
成してもよい。

【００６８】次に、この発明の第５実施の形態を、図１
７〜図１８を参照して説明する。ただし、図１４〜図１
６に示す第４実施の形態の構成要素と共通する要素には
同一の符号を付しその説明を簡略化する。この第５実施
の形態が第４実施の形態と異なる点は、ハウジング１の
壁部１１１を介して一体型に構成したもの同士を、その
表面を介して連結している点である。

【００６９】すなわち、上記第４実施の形態で示した大
流量型フルイディック流量計を、図１７及び図１８に示
すように、カバー１１２の部分で重ね合わせて連結する
ことによって、さらに大きな大流量型フルイディック流
量計を構成している。

【００７０】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、より大流量のものを提供する
ことができる。しかも、ハウジング１が一体化されたフ
ルイディック流量測定手段Ｆを表面を介して隙間無く連
結することができるから、コンパクトなものを提供する
ことができる。

【００７１】次に、この発明の第６実施の形態を、図１
９を参照して説明する。ただし、図１４〜図１６に示す
第４実施の形態の構成要素と共通する要素には同一の符
号を付しその説明を簡略化する。この第６実施の形態が
第４実施の形態と異なる点は、ハウジング１の壁部１１
１を介して一体型に構成したもの同士を、その表面及び
側面を介して連結している点である。

【００７２】すなわち、上記第４実施の形態で示した大
流量型フルイディック流量計を、図１９に示すように、
カバー１１２の部分及び側面で重ね合わせて連結するこ
とによって、さらに大きな大流量型フルイディック流量
計を構成している。

【００７３】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、さらに大流量のものを提供す
ることができる。しかも、ハウジング１が一体化された
フルイディック流量測定手段Ｆを表面及び側面を介して
隙間無く連結することができるから、コンパクトなもの
を提供することができる。

【００７４】次に、この発明の第７実施の形態を、図２
０を参照して説明する。ただし、図１４〜図１６に示す
第４実施の形態の構成要素と共通する要素には同一の符
号を付しその説明を簡略化する。この第７実施の形態が
第４実施の形態と異なる点は、ハウジング１の壁部１１
１を三角柱状のもので一体化し、その壁部１１１の３方
の各側面に、３つのフルイディック流量測定手段Ｆを背
中合わせに一体型に構成している点である。

【００７５】すなわち、各ハウジング１は、三角柱状に
形成した壁部１１１を介して一体化されており、壁部１
１１の３方の各側面にフルイディック流量測定手段Ｆが
一体型に構成されている。そして、壁部１１１の３方の
各側面は、正三角形の各辺に位置するものとなってお
り、各フルイディック流量測定手段Ｆは、壁部１１１の
各側面から突出するように構成されている。

【００７６】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、壁部１１１が３つのフルイデ
ィック流量測定手段Ｆの共有のものとなるため、部品点
数を低減することができる。その他第４実施の形態と同
様の作用効果を奏する。

【００７７】次に、この発明の第８実施の形態を、図２
１を参照して説明する。ただし、図１４〜図１６に示す
第４実施の形態の構成要素と共通する要素には同一の符
号を付しその説明を簡略化する。この第８実施の形態が
第４実施の形態と異なる点は、ハウジング１の壁部１１
１を四角柱状のもので一体化し、その壁部１１１の４方
の各側面に、合計４つのフルイディック流量測定手段Ｆ
を一体型に構成している点である。

【００７８】すなわち、各ハウジング１は、四角柱状に
形成した壁部１１１を介して一体化されており、壁部１
１１の４方の各側面にフルイディック流量測定手段Ｆが
一体型に構成されている。そして、壁部１１１の４方の
各側面は、正方形の各辺に位置するものとなっており、
各フルイディック流量測定手段Ｆは、壁部１１１の各側
面から突出するように構成されている。

【００７９】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、壁部１１１が４つのフルイデ
ィック流量測定手段Ｆの共有のものとなるため、さらに
部品点数を低減することができる。その他第４実施の形
態と同様の作用効果を奏する。

【００８０】次に、この発明の第９実施の形態を、図２
２を参照して説明する。ただし、図２１に示す第８実施
の形態の構成要素と共通する要素には同一の符号を付し
その説明を簡略化する。この第９実施の形態が第８実施
の形態と異なる点は、平行に配置された一対のフルイデ
ィック流量測定手段Ｆが壁部１１１内に埋没するように
構成されている点である。

【００８１】すなわち、各ハウジング１は、互いに直交
する４つの側面を有する壁部１１１を介して一体化され
ている。そして、平行に配置された一対のフルイディッ
ク流量測定手段Ｆの表面間の距離が他の一対のフルイデ
ィック流量測定手段Ｆの幅寸法と等しくなるように構成
されている。

【００８２】上記のように構成された大流量型フルイデ
ィック流量計においては、平行に配置された一対のフル
イディック流量測定手段Ｆが壁部１１１内に埋没するよ
うに構成されているから、第８実施の形態に比べて、コ
ンパクトに構成することができる。その他第８実施の形
態と同様の作用効果を奏する。

【００８３】なお、上記各実施の形態においては、流体
振動の周波数を測定することによって流量を検出するよ
うに構成したが、流体振動の周期を測定することによっ
て流量を検出することも可能である。したがって、周期
を測定することによって流量を検出するように構成して
もよい。

【００８４】

【発明の効果】請求項１に係る発明においては、フルイ
ディック流量測定手段を複数並列に設けているため、各
フルイディック流量測定手段の構造を同一のもので構成
しておけば、各フルイディック流量測定手段には同一の
流量の流体が流れる。このため、少なくとも一つのフル
イディック流量測定手段で流量を測定することによっ
て、全フルイディック流量測定手段を流れる流量を簡単
に換算することができる。そして、フルイディック流量
測定手段としては、既存の流量範囲のフルイディック流
量測定手段を用いることができるから、このフルイディ
ック流量測定手段自体を大型化する場合に比べて、その
開発に要する費用、時間等を大幅に削減することができ
る。

【００８５】しかも、フルイディック流測定手段を重ね
合わせるように連結しているため、コンパクトに構成す
ることができる。

【００８６】請求項２に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を、背中合わせに重ねるように連結
しているため、各フルイディック流量測定手段の表面側
から、例えばカバーを介して内蔵された部品等の調整、
交換等を行なうことができる。したがって、フルイディ
ック流量測定手段内への例えば部品の組み付けや、メン
テナンス等を簡単に行うことができるという利点があ
る。

【００８７】請求項３に係る発明においては、フルイデ
ィック流量測定手段を、背中合わせに一体型に構成して
いるため、各フルイディック流量測定手段内への部品の
組み付けや、メンテナンスの容易性を損なうことなく、
よりコンパクトに構成することができるという利点があ
る。

【００８８】請求項４に係る発明においては、ハウジン
グの壁部を介して、フルイディック流量測定手段を、背
中合わせに一体型に構成しているため、各フルイディッ
ク流量測定手段内への部品の組み付けや、メンテナンス
の容易性を損なうことなく、よりコンパクトに構成する
ことができるとともに、ハウジングの壁部を共通化する
ことによって部品点数の低減や、ハウジングを加工する
工数の低減等を図ることができる。

【００８９】請求項５に係る発明においては、背中合わ
せに一体型に構成したフルイディック流量測定手段を、
重ね合わせるように連結しているため、より大流量のも
のをコンパクトに構成することができる。

【００９０】請求項６に係る発明においては、流量を検
出するフルイディック流量測定手段以外のフルイディッ
ク流量測定手段を、ダミーフルイディック流量測定手段
で構成しているため、価格の低減を図ることができる。

【００９１】請求項７に係る発明においては、整流部材
を、各フルイディック流量測定手段に分岐する直前の主
流路に設けているため、この整流部材によって流体の流
れる方向及び速度分布が一様に整えられる。このため、
各フルイディック流量測定手段に、圧力変動及び乱れの
少ない整流された流体を供給することができる。したが
って、各フルイディック流量測定手段を通過する流量の
誤差を極めて小さくすることができる。

【００９２】請求項８に係る発明においては、整流部材
を、各フルイディック流量測定手段に流入する直前の分
岐流路に設けているため、整流部材が流体抵抗となり、
この整流部材の上流側の圧力が各分岐流路において同等
になる。このため、各整流部材を流れる流量が等しくな
る。しかも、各整流部材を流れることにより、流体の流
れの方向、及び速度分布が一様に整えられるため、各フ
ルイディック流量測定手段には速度変動がない整流され
た一定の流れの流体が供給されることになる。したがっ
て、各フルイディック流量測定手段を通過する流量の誤
差をさらに低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施の形態として示した大流量
型フルイディック流量計の側面図。

【図２】同大流量型フルイディック流量計を示す断面図
であって、図１のII−II線に沿う断面図。

【図３】同大流量型フルイディック流量計のブロック
図。

【図４】同大流量型フルイディック流量計における各フ
ルイディック流量測定手段のハウジングを示す正面図。

【図５】同大流量型フルイディック流量計における各フ
ルイディック流量測定手段のハウジングを示す断面図で
あって、図４のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図。

【図６】同大流量型フルイディック流量計における各フ
ルイディック流量測定手段のハウジングの入口部を示す
図。

【図７】同大流量型フルイディック流量計における各フ
ルイディック流量測定手段のハウジングの出口部を示す
図。

【図８】同大流量型フルイディック流量計の実験結果を
示す図。

【図９】同大流量型フルイディック流量計の実験結果を
示す図。

【図１０】この発明の第２実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計の断面図であって、図１のＸ
−Ｘ線に沿う位置の断面図。

【図１１】同大流量型フルイディック流量計の整流部材
を示す斜視図。

【図１２】この発明の第３実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングを示す断面図。

【図１３】同大流量型フルイディック流量計における各
フルイディック流量測定手段のハウジングの入口部を示
す図。

【図１４】この発明の第４実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングを示す断面図。

【図１５】同大流量型フルイディック流量計における各
フルイディック流量測定手段のハウジングの入口部を示
す図。

【図１６】同大流量型フルイディック流量計における各
フルイディック流量測定手段のハウジングの出口部を示
す図。

【図１７】この発明の第５実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングを示す断面図。

【図１８】同大流量型フルイディック流量計における各
フルイディック流量測定手段のハウジングの入口部を示
す図。

【図１９】この発明の第６実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングの入口部を示す図。

【図２０】この発明の第７実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングの入口部を示す図。

【図２１】この発明の第８実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングの入口部を示す図。

【図２２】この発明の第９実施の形態として示した大流
量型フルイディック流量計における各フルイディック流
量測定手段のハウジングの入口部を示す図。

【図２３】従来例として示したフルイディック流量計の
断面図。

【符号の説明】

１ ハウジング ６ 分岐流路（分岐管） ７ 主流路（主管） １１ 流量算出回路 １３ 整流部材 １３ａ 整流流路 ２１ ノズル流路 １１１ 壁部 Ｆ フルイディック流量測定手段

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に設け、少なくとも一つのフルイディッ
   ク流量測定手段で検出した流体振動に基づいて、全フル
   イディック流量測定手段を流れる流量を測定するように
   構成してなり、少なくとも２つのフルイディック流量測
   定手段を、重ね合わせるようにして連結していることを
   特徴とする大流量型フルイディック流量計。
2. 【請求項２】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に設け、少なくとも一つのフルイディッ
   ク流量測定手段で検出した流体振動に基づいて、全フル
   イディック流量測定手段を流れる流量を測定するように
   構成してなり、少なくとも２つのフルイディック流量測
   定手段を、背中合わせに重ねるようにして連結している
   ことを特徴とする大流量型フルイディック流量計。
3. 【請求項３】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に設け、少なくとも一つのフルイディッ
   ク流量測定手段で検出した流体振動に基づいて、全フル
   イディック流量測定手段を流れる流量を測定するように
   構成してなり、少なくとも２つのフルイディック流量測
   定手段を、背中合わせに一体型に構成したことを特徴と
   する大流量型フルイディック流量計。
4. 【請求項４】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に設け、少なくとも一つのフルイディッ
   ク流量測定手段で検出した流体振動に基づいて、全フル
   イディック流量測定手段を流れる流量を測定するように
   構成してなり、ハウジングの壁部を介して、少なくとも
   ２つのフルイディック流量測定手段を、背中合わせに一
   体型に構成したことを特徴とする大流量型フルイディッ
   ク流量計。
5. 【請求項５】 ノズル流路の出口部において生じる流体
   振動に基づいて流量を検出するフルイディック流量測定
   手段を複数並列に設け、少なくとも一つのフルイディッ
   ク流量測定手段で検出した流体振動に基づいて、全フル
   イディック流量測定手段を流れる流量を測定するように
   構成してなり、背中合わせに一体型に構成したフルイデ
   ィック流量測定手段を、重ね合わせるようにして連結し
   ていることを特徴とする大流量型フルイディック流量
   計。
6. 【請求項６】 流量を検出するフルイディック流量測定
   手段以外のフルイディック流量測定手段は、流量を検出
   するフルイディック流量測定手段と同一の形状のものと
   して製造されたものであるが、流量の検出機能を有さな
   いダミーフルイディック流量測定手段によって構成され
   ていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項
   ３、請求項４又は請求項５記載の大流量型フルイディッ
   ク流量計。
7. 【請求項７】 ハニカム状に区切られた複数の整流流路
   を有する整流部材を、各フルイディック流量測定手段に
   分岐する直前の主流路に設けたことを特徴とする請求項
   １、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求
   項６記載の大流量型フルイディック流量計。
8. 【請求項８】 ハニカム状に区切られた複数の整流流路
   を有する整流部材を、主流路から各フルイディック流量
   測定手段に流入する直前の分岐流路に設けたことを特徴
   とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求
   項５、請求項６又は請求項７記載の大流量型フルイディ
   ック流量計。