JPH11295116A

JPH11295116A - 多層型流体振動形流量計

Info

Publication number: JPH11295116A
Application number: JP9959098A
Authority: JP
Inventors: Minoru Kumagai; 稔熊谷
Original assignee: Yazaki Corp
Current assignee: Yazaki Corp
Priority date: 1998-04-10
Filing date: 1998-04-10
Publication date: 1999-10-29

Abstract

(57)【要約】【課題】ハウジング内に複数重ねられたノズル部材を
所定の位置に正確に設置することのできる多層型流体振
動形流量計を提供することを課題としている。【解決手段】ノズル流路２１０を構成するノズル部材
２を有し、ノズル流路２１０から噴出する噴流の流体振
動に基づいて流量を検出するように構成された流量測定
部ＦＭａを備えてなり、この流量測定部ＦＭａをハウジ
ング１内に複数重ねるように設けてなる多層型流体振動
形流量計であって、流量測定部ＦＭａのうち少なくとも
一つは、ノズル部材２を取付基板８に取り付けてユニッ
ト化したユニット型流量測定部ＵＦＭａによって構成さ
れていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を計測する流量
測定部を多層に構成した多層型流体振動形流量計に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】通常の流体振動形流量計としては、例え
ば図１２及び図１３に示す流体振動形流量計ＦＭが知ら
れている。この流体振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉
じられるハウジング１内に一対のノズル部材２、２を設
けることにより、同ハウジング１内にノズル流路２１０
を構成すると共に、このノズル流路２１０の上流側及び
下流側にぞれぞれ上流側流路２００及び下流側流路２２
０を構成する構造になっている。下流側流路２２０に
は、ノズル流路２１０の延長線上（中心線Ｃ上）にター
ゲット３が設けられている。そして、ノズル流路２１０
を通って噴出するガス（流体）がターゲット３に衝突す
ることによって流体振動が発生し、この流体振動に基づ
いて流量を検出する原理になっている。

【０００３】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａを有しており、この溝１ａの表面をカ
バー５で覆うことによって、上流側流路２００、ノズル
流路２１０及び下流側流路２２０を２次元流路に構成し
ている。すなわち、上流側流路２００、ノズル流路２１
０及び下流側流路２２０は、溝１ａの底面を構成する底
壁部１１０からの高さ（図１２の紙面に直交する方向の
寸法（厚さ方向の寸法））が一定で、中心線Ｃを介して
左右対称の２次元流路となっている。

【０００４】また、ハウジング１には、流入口１ｂ及び
流出口１ｃが設けられている。さらに、ハウジング１に
は、カバー５を固定するためのねじ穴１ｅが形成されて
いると共に、ノズル部材２を固定するためのねじ穴（図
示せず）が底壁部１１０に形成されている。ねじ穴１ｅ
には、カバー５を固定するためのボルト６がねじ込まれ
るようになっている。また、上記底壁部１１０に設けた
図示しないねじ穴には、カバー５の外側から挿入され、
ノズル部材２に形成された第１の貫通孔２ａを通るボル
ト６ａや、ノズル部材２に形成された第２の貫通孔２ｂ
を通るボルト６ｂがねじ込まれるようになっている。

【０００５】下流側流路２２０における底壁部１１０に
は、中心線Ｃに対して左右対称の位置に圧力取出孔４が
２つ形成されている。さらに、下流側流路２２０におけ
る底壁部１１０には、ターゲット３の設定台部３ａを保
持する凹部１ｆが形成されている。設定台部３ａは、凹
部１ｆに嵌合した状態において、その上面が底壁部１１
０の表面と面一状になるようになっている。また、図１
３において、５１はパッキンである。

【０００６】そして、上記のように構成された流体振動
形流量計ＦＭにおいては、流体振動の周波数と、ガス
（流体）の流量あるいは流速が比例関係にあることか
ら、流量を測定することができる。

【０００７】なお、上記流体振動形流量計ＦＭは、ＬＰ
ガスの流量を測定するものであり、ＬＰガスの流体振動
を測定することになる。ただし、上記構造の流体振動形
流量計ＦＭにあっては、ＬＰガス以外の他の気体や、液
体の流量を測定することも可能である。

【０００８】ところで、上記流体振動形流量計ＦＭにお
いては、測定範囲が広く、かつ計測精度の優れたものを
得ることが重要である。しかし、これらの測定範囲や測
定精度は、例えば２次元流路の厚さ方向の寸法、ノズル
流路２１０の幅、ノズル流路２１０の長さ、ターゲット
３の位置、下流側流路２２０の形状等によって変化する
ことになる。

【０００９】すなわち、例えば小流量領域において測定
範囲が広く、かつ計測精度の優れたものがすで開発され
ていたとしても、これとは測定領域の異なる例えば大流
量の領域を測定するものを開発するには、上述した２次
元流路の厚さ寸法やノズル流路２１０の幅等として最良
のものを、再び実験を繰り返すことによって見つけ出さ
なければならない。したがって、流体振動形流量計ＦＭ
の開発には、多くの費用、時間等がかかるという問題が
ある。

【００１０】このため、本発明者は、公知にはしていな
いが、ハウジング１内を複数の仕切板で仕切ってこれら
の仕切板の間に既存のノズル部材２やターゲット３を配
置することにより、大流量の測定が可能な多層型流体振
動形流量計を開発している。すなわち、この多層型流体
振動形流量計は、既存の流体振動形流量計ＦＭと同一の
性能を有する流量測定部を仕切板を介して複数重ねるこ
とにより、大流量の測定が可能なものを得ている。この
ため、開発に要する費用及び時間等が少なくてすむとい
う特長がある。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記多層型
流体振動形流量計においては、流量測定部における例え
ばノズル部材２と仕切板とを交互に重ねるようにしてハ
ウジング１内に挿入し、上述したようなボルト６ａをカ
バー５の外側から貫通孔２ａ、２ｂに通すことによっ
て、仕切板及びノズル部材２をハウジング１に固定する
ことになる。このため、ボルト６ｂの締付により、ノズ
ル部材２が動いてノズル流路２１０の幅等が変化してし
まうことがある。しかし、ノズル部材２がカバー５や仕
切板の内側に配置されているため、ノズル部材２が動い
たとしても、どの程度動いたのか確認することができ
ず、また修正することもできないという問題がある。

【００１２】この発明は上述した問題点を解決するため
になされたものであり、ハウジング内に複数重ねられた
ノズル部材を所定の位置に正確に設置することのできる
多層型流体振動形流量計を提供することを課題としてい
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、ノズル流路（２１０）を構成するノズ
ル部材（２）を有し、前記ノズル流路（２１０）から噴
出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するように
構成された流量測定部（ＦＭａ）を備えてなり、この流
量測定部（ＦＭａ）をハウジング（１）内に複数重ねる
ように設けてなる多層型流体振動形流量計であって、前
記流量測定部（ＦＭａ）のうち少なくとも一つは、前記
ノズル部材（２）を取付基板（８）に取り付けてユニッ
ト化したユニット型流量測定部（ＵＦＭａ）によって構
成されていることを特徴としている。

【００１４】そして、上記のように構成された発明にお
いては、上流側から流れてきた流体が各流量測定部（Ｆ
Ｍａ）を通って、下流側に流れ去るようになる。このた
め、一つの流量測定部（ＦＭａ）としては、小流量領域
を測定するために開発されたものであっても、大流量の
測定が可能になる。また、所定の流量測定部（ＦＭａ）
を閉塞することにより、小流量型のものに容易に変更す
ることができる。したがって、小流量から大流量に至る
種々の領域の流量を測定することができる。

【００１５】しかも、小流量型の流量測定部（ＦＭａ）
を新たに開発するか、あるいは既に開発済みの小流量型
の流量測定部（ＦＭａ）を用いるだけですむから、開発
に要する費用、時間等の低減を図ることができる。すな
わち、小流量型の流量測定部（ＦＭａ）を一つ開発して
おくだけで、小流量から大流量まで測定可能なものを得
ることができる。したがって、測定領域が異なるごとに
新たに開発する必要がなくなるから、開発に要する費用
や時間等の低減を図ることができる。

【００１６】また、個々の流量測定部（ＦＭａ）として
は小流量領域を測定するものとなるから、全体としては
大流量を測定することができるにもかかわらず、小流量
測定型のものと同様の高い測定精度が得られるという利
点がある。

【００１７】さらに、流量測定部（ＦＭａ）のうち少な
くとも一つがノズル部材（２）を取付基板（８）に取り
付けたユニット型流量測定部（ＵＦＭａ）となっている
から、例えば２層の多層型流体振動形流量計を構成する
場合には、１層目についてはノズル部材（２）をハウジ
ング（１）にそのまま取り付け、２層目についてはユニ
ット型流量測定部（ＵＦＭａ）をハウジング（１）内に
挿入することが可能になる。また、３層以上の場合に
は、２層目以上の部分について、ユニット型流量測定部
（ＵＦＭａ）をハウジング（１）内に順次挿入すること
により、多層型流体振動形流量計を構成することができ
る。また、多層の全てをユニット型流量測定部（ＵＦＭ
ａ）によって構成することもできる。

【００１８】そして、１層目については、ユニット型流
量測定部（ＵＦＭａ）でない流量測定部（ＦＭａ）で構
成しても、２層目以上がユニット型流量測定部（ＵＦＭ
ａ）で構成されているから、２層目以上をハウジング
（１）に挿入する前に、ノズル部材（２）を容易にハウ
ジング（１）に固定することができると共に、同ノズル
部材（２）を所定の位置に正確に設置することができ
る。また、２層目以上については、ユニット型流量測定
部（ＵＦＭａ）によって構成されているから、ノズル部
材（２）を所定の位置に正確に設置することができる。

【００１９】すなわち、ユニット型流量測定部（ＵＦＭ
ａ）を製造する段階で、ノズル部材（２）を取付基板
（８）上の所定の位置に正確に取り付けることができる
から、このユニット型流量測定部（ＵＦＭａ）をハウジ
ング（１）内に組み込むだけで、ノズル部材（２）をハ
ウジング（１）内の所定の位置に正確に設置することが
できる。したがって、不良率の低減も図ることができ
る。しかも、上述のようにユニット型流量測定部（ＵＦ
Ｍａ）をハウジング（１）内に組み込むだけですむか
ら、組立が簡単になると共に、組立の効率化を図ること
ができる。

【００２０】また、各ユニット型流量測定部（ＵＦＭ
ａ）は、一つの部品としてユニット化されているから、
多層型流体振動形流量計を最終的に組み立てるラインと
は別のラインで組み立てることができる。すなわち、作
業の並列化を進めることができるから、単位時間当たり
の完成品の数を増加させることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１〜図１１を参照して説明する。ただ
し、図１２〜図１３に示す従来例の構成要素と共通する
要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化する。

【００２２】この実施例で示す多層型流体振動形流量計
ＭＦＭは、図１〜図１１に示すように、ノズル流路２１
０を構成するノズル部材２を有し、ノズル流路２１０か
ら噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するよ
うに構成された流量測定部ＦＭａを備えてなり、この流
量測定部ＦＭａをハウジング１内に複数重ねるように設
けてなるものであって、流量測定部ＦＭａのうち少なく
とも一つは、ノズル部材２を取付基板８に取り付けてユ
ニット化したユニット型流量測定部ＵＦＭａによって構
成されていることを特徴としている。

【００２３】以下、上記構成についてさらに詳細に説明
する。なお、流量測定部ＦＭａ及びユニット型流量測定
部ＵＦＭａについては、必要に応じて流量測定部ＦＭａ
の名前で総称して説明する。

【００２４】この実施例で示す多層型流体振動形流量計
ＭＦＭは、５層に構成されたものであり、１層目がユニ
ット型ではない流量測定部ＦＭａによって構成され、第
２層目以上がユニット型流量測定部ＵＦＭａによって構
成されている。各ユニット型流量測定部ＵＦＭａは、一
対のノズル部材２と、ターゲット３と、取付基板８とを
備えたもので構成されている。ただし、ノズル部材２及
びターゲット３は、ユニット型でない流量測定部ＦＭａ
においても、ユニット型流量測定部ＵＦＭａにおいて
も、同一のものを用い、かつハウジング１内の上下方向
（各ユニット型流量測定部ＵＦＭａが重なる方向）にお
いて同一の位置となるように設定している。

【００２５】ユニット型ではない流量測定部ＦＭａは、
図４、図７及び図１１に示すように、ノズル部材２及び
ターゲット３がハウジング１の底壁部１１０に直接取り
付けられている。すなわち、底壁部１１０には、図７に
示すように、ボルト６１が螺合する第１のねじ穴１ｇ
と、ボルト６２が螺合する第２のねじ穴１ｈと、ターゲ
ット３の設定台部３ａが嵌合する凹部１ｆと、圧力取出
孔４とが形成されている。

【００２６】各ノズル部材２には、ボルト６１が挿入す
る第１の貫通孔２ａと、ボルト６２が挿入する第２の貫
通孔２ｂとを有している。第２の貫通孔２ｂには、ボル
ト６２の頭部がノズル部材２の上面から突出するのを防
止するための沈み穴ぐり２ｃが形成されている。そし
て、ノズル部材２の第１の貫通孔２ａ及び第２の貫通孔
２ｂは、底壁部１１０に設けられた第１のねじ穴１ｇ及
び第２のねじ穴１ｈに対応する位置に形成されている。

【００２７】上記ボルト６１は、ハウジング１にカバー
５を取り付ける際に、同カバー５の外側から挿入して、
他のユニット型流量測定部ＵＦＭａと共にこの流量測定
部ＦＭａのノズル部材２を、ハウジング１の底壁部１１
０とカバー５とで挟持して固定するようになっている。
一方、ボルト６２は、各ノズル部材２を底壁部１１０の
所定の位置に固定するようになっている。

【００２８】ユニット型流量測定部ＵＦＭａは、図１〜
図１０に示すように、ノズル部材２及びターゲット３を
取付基板８に取り付けたものとなっている。すなわち、
取付基板８は、アルミニウム等の金属によって四角形の
平板状に形成されたものであり、ハウジング１における
ノズル流路２１０の上流端から下流側流路２２０の下流
端に至る溝１ａに嵌まり、同溝１ａを上下に完全に仕切
るように形成されている。そして、取付基板８の上流端
は、図４に示すように、上流側に半円状に盛り上がるよ
うに形成されており、この部分を流れるＬＰガス（流
体）に渦等の乱れが生じるのを防止するようになってい
る。

【００２９】また、取付基板８には、図８に示すよう
に、ボルト６１が挿通する貫通孔８ａと、ボルト６２が
螺合するねじ穴８ｂと、ターゲット３の設定台部３ａが
嵌合する凹部１ｆとが形成されている。貫通孔８ａ及び
ねじ穴８ｂは、ノズル部材２の第１の貫通孔２ａ及び第
２の貫通孔２ｂに対応する位置に形成されている。そし
て、ボルト６１は、上述の通り、カバー５の外側から各
ユニット型流量測定部ＵＦＭａにおけるノズル部材２の
第１の貫通孔２ａ、取付基板８の貫通孔８ａ、流量測定
部ＦＭａにおけるノズル部材２の第１の貫通孔２ａを通
って、底壁部１１０の第１のねじ穴１ｇに螺合し、各ユ
ニット型流量測定部ＵＦＭａ及び流量測定部ＦＭａを、
底壁部１１０とカバー５とで挟持して固定するようにな
っている。また、ボルト６２は、各ノズル部材２の第２
の貫通孔２ｂを通って、取付基板８のねじ穴８ｂに螺合
し、各ノズル部材２を取付基板８の所定の位置に固定す
るようになっている。

【００３０】一方、ハウジング１は、アルミニウムなど
の金属によって構成されたものであり、その流入口１ｂ
及び流出口１ｃが図４〜図６に示すように、５層の各流
量測定部ＦＭａの全てを同じ条件で開口するように、四
角形の縦長状に形成されている。また、図５において、
１ｉは流入口１ｂに上流側の流路を接続するためのねじ
穴であり、図６において、１ｊは流出口１ｃに下流側の
流路を接続するためのねじ穴である。

【００３１】上記のように構成された多層型流体振動形
流量計ＭＦＭにおいては、上流側から流入口１ｂを通っ
て流れてきたＬＰガス（流体）が各ユニット型流量測定
部ＵＦＭａ及び流量測定部ＦＭａを通り、さらに流出口
１ｃを通って、下流側に流れ去るようになる。このた
め、一つの流量測定部ＦＭａとしては、小流量領域を測
定するために開発されたものであっても、大流量の測定
が可能になる。また、所定の流量測定部ＦＭａを閉塞す
ることにより、小流量型のものに容易に変更することが
できる。したがって、小流量から大流量に至る種々の領
域の流量を測定することができる。

【００３２】しかも、小流量型の流量測定部ＦＭａを新
たに開発するか、あるいは既に開発済みの小流量型の流
量測定部ＦＭａを用いるだけですむから、開発に要する
費用、時間等の低減を図ることができる。すなわち、小
流量型の流量測定部ＦＭａを一つ開発しておくだけで、
小流量から大流量まで測定可能なものを得ることができ
る。したがって、測定領域が異なるごとに新たに開発す
る必要がなくなるから、開発に要する費用や時間等の低
減を図ることができる。

【００３３】また、個々の流量測定部ＦＭａとしては小
流量領域を測定するものとなるから、全体としては大流
量を測定することができるにもかかわらず、小流量測定
型のものと同様の高い測定精度が得られるという利点が
ある。

【００３４】そして、１層目については、ユニット型で
ない流量測定部ＦＭａで構成したが、ボルト６２によっ
てノズル部材２を容易にハウジング１に固定することが
できると共に、同ノズル部材２を所定の位置に正確に設
置することができる。また、２層目以上については、ユ
ニット型流量測定部ＵＦＭａによって構成されているか
ら、ノズル部材２を所定の位置に正確に設置することが
できる。

【００３５】すなわち、ユニット型流量測定部ＵＦＭａ
を製造する段階で、ノズル部材２を取付基板８上の所定
の位置に正確に取り付けることができるから、このユニ
ット型流量測定部ＵＦＭａをハウジング１内に組み込む
だけで、ノズル部材２をハウジング１内の所定の位置に
正確に設置することができる。したがって、不良率の低
減も図ることができる。しかも、上述のように流量測定
部ＦＭａをハウジング１内に組み込むだけですむから、
組立が簡単になると共に、組立の効率化を図ることがで
きる。

【００３６】また、各ユニット型流量測定部ＵＦＭａ
は、一つの部品としてユニット化されているから、多層
型流体振動形流量計を最終的に組み立てるラインとは別
のラインで組み立てることができる。すなわち、作業の
並列化を進めることができるから、単位時間当たりの完
成品の数を増加させることができる。

【００３７】また、取付基板８の先端を半円形状に形成
したから、この部分でＬＰガスの流れが乱れることがな
い。このため、圧力取出孔４を介して検出する噴流の振
動が安定すると共に、流量測定部ＦＭａ及び各ユニット
型流量測定部ＵＦＭａにＬＰガスが均等に流れるように
なる。したがって、流量の測定精度の向上を図ることが
できる。

【００３８】なお、上記各実施例においては、流体とし
てＬＰガスの流量を測定する例を示したが、ＬＰガス以
外の他の気体や、液体の流量を測定することも可能であ
ることはいうまでもない。

【００３９】また、流量測定部ＦＭａとして５層のもの
を示したが、この５層より層の数を多くしても、また少
なくしてもよい。そして、例えばｎ層に構成した場合に
は、一つの流量測定部ＦＭａで測定した流量を単にｎ倍
するだけで、実際の流量を正確に求めることができる。
また、測定できる最大流量も、個々の流量測定部ＦＭａ
で測定できる最大流量のｎ倍になる。

【００４０】さらに、最下位置の流量測定部ＦＭａのみ
を、ユニット型でない流量測定部ＦＭａで構成したが、
この最下位置の流量測定部ＦＭａもユニット型流量測定
部ＵＦＭａによって構成してもよい。ただし、この場合
には、取付基板８に上述したような一対の圧力取出孔４
を設け、これらの圧力取出孔４をハウジング１の外側に
引き出すような構成が必要になる。あるいは、カバー５
に圧力取出孔４を設ける方式が必要となる。

【００４１】また、上記実施例においては、ユニット型
流量測定部ＵＦＭａに圧力取出孔４を設けるように構成
していないが、このユニット型流量測定部ＵＦＭａにお
いても、取付基板８に一対の圧力取出孔４を設け、かつ
これらの圧力取出孔４をハウジング１の外側に引き出す
ように構成することにより、各ユニット型流量測定部Ｕ
ＦＭａにおいて実際に流量を測定するようにしてもよ
い。この場合には、各ユニット型流量測定部ＵＦＭａ及
び流量測定部ＦＭａで測定した流量の合計が多層型流体
振動形流量計で測定した流量になる。また、ユニット型
流量測定部ＵＦＭａの一つに圧力取出孔４を設けるよう
に構成し、他のユニット型流量測定部ＵＦＭａ及び流量
測定部ＦＭａに圧力取出孔４を設けないように構成する
ことも可能である。更に、全流量（合計流量）と流体振
動周波数の関係を求めることで流量測定を行なっても良
い。

【００４２】一方、圧力取出孔４のない流量測定部ＦＭ
ａ（上記実施例ではユニット型流量測定部ＵＦＭａ）お
いては、ターゲット３を省略してもよい。この場合に
は、取付基板８の上面に凹部１ｆを形成する必要がなく
なるので、コストの低減を図ることができる。ただし、
ユニット型流量測定部ＵＦＭａと圧力取出孔４のある流
量測定部ＦＭａとを同じ条件にすることにより、各ユニ
ット型流量測定部ＵＦＭａ及び流量測定部ＦＭａに流れ
る流量がより均等になるので、各ユニット型流量測定部
ＵＦＭａにもターゲット３を設けることが好ましい。

【００４３】また、ハウジング１や取付基板８をアルミ
ニウム等の金属で構成したが、例えば樹脂により射出成
形したもので構成してもよい。また、ノズル部材２や、
ターゲット３についても、金属や樹脂等で成形すること
が可能である。

【００４４】

【発明の効果】この発明においては、流量測定部のうち
少なくとも一つがノズル部材を取付基板に取り付けたユ
ニット型流量測定部となっているから、例えば２層の多
層型流体振動形流量計を構成する場合には、１層目につ
いてはノズル部材をハウジングにそのまま取り付け、２
層目についてはユニット型流量測定部をハウジング内に
挿入することが可能になる。また、３層以上の場合に
は、２層目以上の部分について、ユニット型流量測定部
をハウジング内に順次挿入することにより、多層型流体
振動形流量計を構成することができる。また、多層の全
てをユニット型流量測定部によって構成することもでき
る。

【００４５】そして、１層目については、ユニット型流
量測定部でない流量測定部で構成しても、２層目以上が
ユニット型流量測定部で構成されているから、２層目以
上をハウジングに挿入する前に、ノズル部材を容易にハ
ウジングに固定することができると共に、同ノズル部材
を所定の位置に正確に設置することができる。また、２
層目以上については、ユニット型流量測定部によって構
成されているから、ノズル部材を所定の位置に正確に設
置することができる。

【００４６】すなわち、ユニット型流量測定部を製造す
る段階で、ノズル部材を取付基板上の所定の位置に正確
に取り付けることができるから、このユニット型流量測
定部をハウジング内に組み込むだけで、ノズル部材をハ
ウジング内の所定の位置に正確に設置することができ
る。したがって、不良率の低減も図ることができる。し
かも、上述のようにユニット型流量測定部をハウジング
内に組み込むだけですむから、組立が簡単になると共
に、組立の効率化を図ることができる。

【００４７】また、各ユニット型流量測定部は、一つの
部品としてユニット化されているから、多層型流体振動
形流量計を最終的に組み立てるラインとは別のラインで
組み立てることができる。すなわち、作業の並列化を進
めることができるから、単位時間当たりの完成品の数を
増加させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例として示した多層型流体振
動形流量計の斜視図である。

【図２】同多層型流体振動形流量計におけるユニット型
流量測定部を示す斜視図である。

【図３】同多層型流体振動形流量計を示す要部破断平面
図である。

【図４】同多層型流体振動形流量計を示す断面図であっ
て、図３のIV−IV線に沿う断面図である。

【図５】同多層型流体振動形流量計を示す図であって、
図３のＶ方向からの矢視図である。

【図６】同多層型流体振動形流量計を示す図であって、
図３のVI方向からの矢視図である。

【図７】同多層型流体振動形流量計のハウジングを示す
平面図である。

【図８】同多層型流体振動形流量計の取付基板を示す平
面図である。

【図９】同多層型流体振動形流量計の各ノズル部材を示
す平面図である。

【図１０】同多層型流体振動形流量計のターゲットを示
す平面図である。

【図１１】同多層型流体振動形流量計を示す断面図であ
って、図３のXI−XI線に沿う断面図である。

【図１２】従来例として示した流体振動形流量計の要部
破断平面図である。

【図１３】同流体振動形流量計を示す断面図であって、
図１２のXIII−XIII線に沿う断面図である。

【符号の説明】

１ハウジング２ノズル部材８取付基板２１０ノズル流路ＦＭａ流量測定部ＭＦＭ多層型流体振動形流量計ＵＦＭａユニット型流量測定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル流路を構成するノズル部材を有
し、前記ノズル流路から噴出する噴流の流体振動に基づ
いて流量を検出するように構成された流量測定部を備え
てなり、この流量測定部をハウジング内に複数重ねるよ
うに設けてなる多層型流体振動形流量計であって、前記流量測定部のうち少なくとも一つは、前記ノズル部
材を取付基板に取り付けてユニット化したユニット型流
量測定部によって構成されていることを特徴とする多層
型流体振動形流量計。