JPH11311551A - ターゲット及び流体振動形流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高さの異なるものをより低コストで製造する
ことができるターゲット及びそのターゲットを用いた流
体振動形流量計を提供することを課題としている。 【解決手段】 基準ターゲット３１と、この基準ターゲ
ット３１の上に重ねるように設けられる補助ターゲット
３２とを備えてなり、補助ターゲット３２によって高さ
が変更可能に構成されていることを特徴とするターゲッ
ト３０によって、同ターゲット３０のコストの低減及び
流体振動形流量計ＦＭのコストの低減を図っている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ノズル流路から
噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出する流体
振動形流量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の流体振動形流量計としては、例
えば図２〜図４に示すものが知られている。これらの図
に示す流体振動形流量計ＦＭは、カバー５で閉じられる
ハウジング１内に一対のノズル部材２、２を設けること
により、同ハウジング１内にノズル流路２１０を構成す
ると共に、このノズル流路２１０の上流側及び下流側に
それぞれ上流側流路２００及び下流側流路２２０を構成
する構造になっている。

【０００３】下流側流路２２０には、ノズル流路２１０
の延長線上（中心線Ｃ上）にターゲット３が設けられて
いる。ターゲット３は、円弧状の断面形状を有する柱状
のもので構成されており、その下端部には、四角形状の
設定台部３ａが一体的に形成されている。そして、ノズ
ル流路２１０を通って噴出するガス（流体）がターゲッ
ト３に衝突することによって流体振動が発生し、この流
体振動に基づいて流量を検出する原理になっている。

【０００４】上記ハウジング１は、凹状に形成された箱
型矩形状の溝１ａを有しており、この溝１ａの表面をカ
バー５で覆うことによって、上流側流路２００、ノズル
流路２１０及び下流側流路２２０を２次元流路に構成し
ている。すなわち、上流側流路２００、ノズル流路２１
０及び下流側流路２２０は、溝１ａの底面を構成する底
壁部１１０からの高さ（図７の紙面に直交する方向の寸
法（厚さ方向の寸法））Ｈが一定で、中心線Ｃを介して
左右対称の２次元流路となっている。

【０００５】また、ハウジング１には、流入口１ｂ及び
流出口１ｃが設けられている。さらに、ハウジング１に
は、カバー５を固定するためのねじ穴１ｅが形成されて
いると共に、ノズル部材２を固定するためのねじ穴（図
示せず）が形成されている。ねじ穴１ｅには、カバー５
を固定するためのボルト６がねじ込まれるようになって
いる。そして、ノズル部材２には、上記ボルト６の通る
貫通孔２ａが形成されていると共に、ノズル部材２をハ
ウジング１に固定するためのボルト７の貫通孔２ｂが形
成されている。

【０００６】下流側流路２２０における底壁部１１０に
は、中心線Ｃに対して左右対称の位置に圧力取出孔４が
２つ形成されている。さらに、下流側流路２２０におけ
る底壁部１１０には、ターゲット３に一体に形成された
設定台部３ａを保持する凹部１ｆが形成されている。設
定台部３ａは、凹部１ｆに嵌合した状態において、その
上面が底壁部１１０の表面と面一状になるようになって
いる。そして、ターゲット３は、図３及び図４に示すよ
うに、その高さＨが２次元流路の高さＨと一致するよう
に設定されている。また、図３において、５１はパッキ
ンである。

【０００７】そして、上記のように構成された流体振動
形流量計ＦＭにおいては、流体振動の周波数と、ガス
（流体）の流量あるいは流速が比例関係にあることか
ら、流量を測定することができる。

【０００８】なお、上記流体振動形流量計ＦＭは、ＬＰ
ガスの流量を測定するものである。ただし、上記構造の
流体振動形流量計ＦＭにあっては、ＬＰガス以外の他の
気体や、液体の流量を測定することも可能である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記流体振
動形流量計ＦＭにおいては、ターゲット３の高さＨが２
次元流路の高さＨと一致するように構成されているか
ら、２次元流路の高さの異なる毎に、ターゲット３も異
なるものを用いなければならない。この場合、ターゲッ
ト３の高さが高くなるにしたがって、製造が困難にな
り、かつ製造コストも高くなってしまうことになる。こ
のため、高さの異なる全体としてのターゲット３あるい
は流体振動形流量計ＦＭのコストを上昇させてしまうと
いう問題があった。

【００１０】この発明は上記問題を解決するためになさ
れたものであり、高さの異なるものをより低コストで製
造することができるターゲット及びそのターゲットを用
いた流体振動形流量計を提供することを課題としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載のターゲットは、基準ターゲット（３
１）と、この基準ターゲット（３１）の上に重ねるよう
に設けられる補助ターゲット（３２）とを備えてなり、
前記補助ターゲット（３２）によって高さが変更可能に
構成されていることを特徴としている。

【００１２】請求項２記載のターゲットは、請求項１記
載のターゲットにおいて、基準ターゲット（３１）と補
助ターゲット（３２）とがピン（３３）を介して接続さ
れるようになっていることを特徴としている。

【００１３】請求項３記載の流体振動形流量計は、高さ
方向の寸法が一定の２次元流路としてのノズル流路（２
１０）及び下流側流路（２２０）を備えていると共に、
前記下流側流路（２２０）におけるノズル流路（２１
０）の延長線上に設けられ、前記２次元流路の高さ方向
に立設されたターゲットを備えてなり、前記ノズル流路
（２１０）から下流側流路（２２０）に噴出する噴流の
流体振動に基づいて流量を検出するように構成された流
体振動形流量計であって、前記ターゲットは請求項１記
載のターゲット（３０）によって構成されていることを
特徴としている。

【００１４】請求項４記載の流体振動形流量計は、高さ
方向の寸法が一定の２次元流路としてのノズル流路（２
１０）及び下流側流路（２２０）を備えていると共に、
前記下流側流路（２２０）におけるノズル流路（２１
０）の延長線上に設けられ、前記２次元流路の高さ方向
に立設されたターゲットを備えてなり、前記ノズル流路
（２１０）から下流側流路（２２０）に噴出する噴流の
流体振動に基づいて流量を検出するように構成された流
体振動形流量計であって、前記ターゲットは請求項２記
載のターゲット（３０）によって構成されていることを
特徴としている。

【００１５】そして、上記のように構成された請求項１
記載のターゲットにおいては、基準ターゲット（３１）
と、この基準ターゲット（３１）の上に重ねるように設
けられる補助ターゲット（３２）とを備えた構成になっ
ているから、基準ターゲット（３１）及び補助ターゲッ
ト（３２）を高さの低いもので構成することができる。
したがって、基準ターゲット（３１）と補助ターゲット
（３２）とを組み合わせることによって高さの高いター
ゲットを構成することができると共に、その高さの高い
ターゲットのコストの低減を図ることができる。

【００１６】すなわち、高さの高い一体のターゲットを
例えばダイカストにより金属で成形する場合には、抜き
勾配を大きくとらないと成形が困難になる。このため、
高さの高いターゲットをダイカストで成形する場合に
は、高さ方向に沿ってテーパ状に幅の異なる精度的に劣
ったターゲットしか得られないことになる。しかし、こ
の請求項１に係る発明のように、高さの低い基準ターゲ
ット（３１）や補助ターゲット（３２）をダイカストで
製造する場合には、抜き勾配の小さな精度の良いものを
容易に得ることができる。しかも、基準ターゲット（３
１）としては共通の高さに設定しておくことができるか
ら、基準ターゲット（３１）を成形する金型は一種類の
もので済むという利点がある。そして、補助ターゲット
（３２）については、高さの異なる毎に異なる金型が必
要になるものの、その金型は小さなもので済むという利
点がある。したがって、ダイカストで高さの異なるター
ゲットを成形する場合には、精度の良いものを容易に製
造することができると共に、コストの低減を図ることが
できる。

【００１７】同様にして、樹脂（高分子材料）を用いて
高さの異なるターゲットを射出成形する場合も、上述し
たダイカストの場合と同様に、精度の良いものを容易に
製造することができると共に、コストの低減を図ること
ができる。しかも、基準ターゲット（３１）及び補助タ
ーゲット（３２）の高さが低くなることから、射出成形
によるヒケ等の変形、ゆがみなどを防止することができ
る。

【００１８】また、例えばフライス盤等による機械加工
によって、ターゲットを加工する場合には、加工できる
ターゲットの高さに限界があって、あまり高さの高いタ
ーゲットについては加工することができない。しかし、
請求項１に係る発明においては、高さの低い基準ターゲ
ット（３１）と補助ターゲット（３２）とに分割されて
いるから、フライス盤等のような機械加工によっても、
容易に加工することができる。したがって、フライス盤
等のような機械加工によって高さの異なるターゲットを
加工する場合も、精度の良いものを容易に製造すること
ができると共に、コストの低減を図ることができる。

【００１９】請求項２記載のターゲットにおいては、基
準ターゲット（３１）と補助ターゲット（３２）とがピ
ン（３３）を介して接続されているから、これらの基準
ターゲット（３１）と補助ターゲット（３２）とを心が
一致するように連結することができる。すなわち、基準
ターゲット（３１）と補助ターゲット（３２）とのつな
ぎ目の部分において、段差が生じるのを防止することが
できる。しかも、ワンタッチで簡単に基準ターゲット
（３１）と補助ターゲット（３２）とを接続することが
できるという利点がある。したがって、ネジ等によって
連結する場合に比して、組立工数の低減を図ることがで
きる。

【００２０】請求項３記載の流体振動形流量計において
は、請求項１記載のコストの低いターゲットを用いてい
るから、コストの低減を図ることができる。しかも、そ
のターゲットの精度が高いことから、流量の測定精度の
向上を図ることができる。

【００２１】請求項４記載の流体振動形流量計において
は、請求項２記載の精度のより高いターゲットを用いて
いるから、さらに流量の測定精度の向上を図ることがで
きる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を実
施例に基づき図１を参照して説明する。ただし、図２〜
図４に示す従来例の構成要素と共通する要素には同一の
符号を付し、その説明を省略する。

【００２３】この実施例で示すターゲット３０は、図１
に示すように、基準ターゲット３１と、この基準ターゲ
ット３１の上に重ねるように設けられる補助ターゲット
３２とを備えてなり、補助ターゲット３２によって高さ
が変更可能に構成されていることを特徴としている。そ
して、基準ターゲット３１と補助ターゲット３２とがピ
ン３３を介して接続されるようになっている。このよう
に構成されたターゲット３０は、例えば図２に示す流体
振動形流量計ＦＭのターゲット３と同一の位置に設置さ
れている。すなわち、流体振動形流量計ＦＭは、高さ方
向の寸法が一定の２次元流路としてのノズル流路２１０
及び下流側流路２２０を備えていると共に、前記下流側
流路２２０におけるノズル流路２１０の延長線上に設け
られ、２次元流路の高さ方向に立設されたターゲットを
備えてなり、ノズル流路２１０から下流側流路２２０に
噴出する噴流の流体振動に基づいて流量を検出するよう
に構成されたものであり、ターゲットは上記ターゲット
３０によって構成されている。

【００２４】基準ターゲット３１の下端部には、図１に
示すように、従来例で示した設定台部３ａがそのまま一
体的に形成されている。したがって、基準ターゲット３
１は、設定台部３ａによって、下流側流路２２０におけ
る底壁部１１０の凹部１ｆに固定され、底壁部１１０の
表面と面一状の設定台部３ａの上面から垂直に立ち上が
るようになっている。また、基準ターゲット３１の上端
面には、所定の間隔をおいて２つのピン嵌合孔３１ａが
形成されている。

【００２５】補助ターゲット３１の下端面及び上端面の
それぞれには、上記基準ターゲット３１に設けられたピ
ン嵌合孔３１ａと同一の位置にピン嵌合孔３２ａが形成
されている。

【００２６】ピン３３は、平行ピンによって構成されて
おり、上記ピン嵌合孔３１ａ、３２ａに打ち込まれるこ
とにより、基準ターゲット３１の上に補助ターゲット３
２を確実に連結するようになっている。そして、基準タ
ーゲット３１の高さがｈであるのに対して、補助ターゲ
ット３２の高さがΔｈになっており、これらを積み重ね
ることにより、流体振動形流量計ＦＭの２次元流路の高
さＨになるようになっている。すなわち、Ｈ＝ｈ＋Δｈ
となっている。

【００２７】上記のように構成されたターゲット３０に
おいては、基準ターゲット３１と、補助ターゲット３２
とを備えた構成になっているから、基準ターゲット３１
及び補助ターゲット３２を高さの低いもので構成するこ
とができる。したがって、基準ターゲット３１と補助タ
ーゲット３２とを組み合わせることによって高さの高い
ターゲット３０を構成することができると共に、この高
さの高いターゲット３０のコストの低減を図ることがで
きる。

【００２８】すなわち、高さの高い一体のターゲットを
例えばダイカストにより金属で成形する場合には、抜き
勾配を大きくとらないと成形が困難になる。このため、
高さの高いターゲットをダイカストで成形した場合に
は、高さ方向にテーパ状の変形が大きなものとなってし
まい、精度的に劣ったターゲットになってしまうことに
なる。しかし、この実施例のように、高さの低い基準タ
ーゲット３１や補助ターゲット３２をダイカストで製造
する場合には、抜き勾配の小さな精度の良いものを容易
に得ることができる。しかも、基準ターゲット３１とし
ては共通の高さに設定しておくことができるから、基準
ターゲット３１を設定台部３ａと共に成形する金型は一
種類のもので済むという利点がある。そして、補助ター
ゲット３２については、高さの異なる毎に異なる金型で
成形することになるが、その金型は小さなもので済むと
いう利点がある。したがって、ダイカストで高さの異な
るターゲット３０を成形する場合には、精度の良いもの
を容易に製造することができると共に、コストの低減を
図ることができる。

【００２９】同様にして、樹脂（高分子材料）を用いて
高さの異なるターゲットを射出成形する場合も、上述し
たダイカストの場合と同様に、精度の良いものを容易に
製造することができると共に、コストの低減を図ること
ができる。しかも、基準ターゲット３１及び補助ターゲ
ット３２の高さが低くなることから、射出成形によるヒ
ケ等の変形、ゆがみなどを防止することができる。

【００３０】また、例えばフライス盤等による機械加工
によって、ターゲットを加工する場合には、加工できる
ターゲットの高さに限界があって、あまり高さの高いタ
ーゲットについては加工することができない。しかし、
この実施例のターゲット３０においては、高さの低い基
準ターゲット３１と補助ターゲット３２とに分割されて
いるから、フライス盤等による機械加工によっても、容
易に加工することができる。したがって、フライス盤等
による機械加工によって高さの異なるターゲット３０を
加工する場合も、精度の良いものを容易に製造すること
ができると共に、コストの低減を図ることができる。

【００３１】一方、基準ターゲット３１と補助ターゲッ
ト３２とをピン３３によって接続するようになっている
から、これらの基準ターゲット３１と補助ターゲット３
２とは心がずれることなく正確に連結することができ
る。すなわち、基準ターゲット３１と補助ターゲット３
２とのつなぎ目の部分において、段差が生じるのを防止
することができる。しかも、ワンタッチで簡単に基準タ
ーゲット３１と補助ターゲット３２とを接続することが
できるという利点がある。したがって、ネジ等を用いて
連結する場合に比べて作業能率の向上を図ることができ
る。

【００３２】さらに、上述したようなコストの低いター
ゲット３０を流体振動形流量計ＦＭに用いることによっ
て、この流体振動形流量計ＦＭ自体のコストの低減を図
ることができる。しかも、ターゲット３０の精度が向上
することから、流体振動形流量計ＦＭによる流量の測定
精度の向上を図ることができる。さらに、精度が高く、
高さの高いターゲット３０を提供することができること
から、流体振動形流量計ＦＭにおける２次元流路の高さ
Ｈの範囲を広げることができるという利点がある。

【００３３】また、従来用いていたターゲット３を基準
ターゲット３１として再利用することもできる。

【００３４】なお、上記実施例で示した流体振動形流量
計ＦＭは、流体としてＬＰガスの流量を測定するもので
あるが、ＬＰガス以外の他の気体や、液体の流量を測定
することも可能である。

【００３５】また、補助ターゲット３２を一つ設けた例
を示したが、２以上の複数の補助ターゲット３２をピン
３３を介してさらに重ねるように設けてもよい。この場
合には、ターゲットの高さの範囲をより広げることがで
きる。また、補助ターゲット３２を一つしか設けないこ
とが明らかである場合は、一方の面側、例えば上端面側
のピン嵌合孔３２ａは形成しなくてもよい。

【００３６】さらに、２本のピン３２で、基準ターゲッ
ト３１と補助ターゲット３２とを連結するように構成し
たが、１本あるいは３本以上のピン３３で基準ターゲッ
ト３１と補助ターゲット３２とを連結するように構成し
てもよい。同様にして、１本あるいは３本以上のピン３
２で補助ターゲット３２同士を連結するようにしてもよ
い。ただし、接続したもの同士の相対回転を避けるた
め、２以上のピン３３を用いて連結することが好まし
い。

【００３７】

【発明の効果】請求項１記載のターゲットにおいては、
基準ターゲットと、この基準ターゲットの上に重ねるよ
うに設けられる補助ターゲットとを備えた構成になって
いるから、基準ターゲット及び補助ターゲットを高さの
低いもので構成することができる。したがって、基準タ
ーゲットと補助ターゲットとを組み合わせることによっ
て高さの高いターゲットを構成することができると共
に、その高さの高いターゲットのコストの低減を図るこ
とができる。

【００３８】すなわち、高さの高い一体のターゲットを
例えばダイカストにより金属で成形する場合には、抜き
勾配を大きくとらないと成形が困難になる。このため、
高さの高いターゲットをダイカストで成形する場合に
は、高さ方向に沿ってテーパ状に幅の異なる精度的に劣
ったターゲットしか得られないことになる。しかし、こ
の請求項１に係る発明のように、高さの低い基準ターゲ
ットや補助ターゲットをダイカストで製造する場合に
は、抜き勾配の小さな精度の良いものを容易に得ること
ができる。しかも、基準ターゲットとしては共通の高さ
に設定しておくことができるから、基準ターゲットを成
形する金型は一種類のもので済むという利点がある。そ
して、補助ターゲットについては、高さの異なる毎に異
なる金型が必要になるものの、その金型は小さなもので
済むという利点がある。したがって、ダイカストでター
ゲットを成形する場合には、精度の良いものを容易に製
造することができると共に、コストの低減を図ることが
できる。

【００３９】同様にして、樹脂（高分子材料）を用いて
ターゲットを射出成形する場合も、上述したダイカスト
の場合と同様に、精度の良いものを容易に製造すること
ができると共に、コストの低減を図ることができる。し
かも、基準ターゲット及び補助ターゲットの高さが低く
なることから、射出成形によるヒケ等の変形、ゆがみな
どを防止することができる。

【００４０】また、例えばフライス盤等による機械加工
によって、ターゲットを加工する場合には、加工できる
ターゲットの高さに限界があって、あまり高さの高いタ
ーゲットについては加工することができない。しかし、
請求項１に係る発明においては、高さの低い基準ターゲ
ットと補助ターゲットとに分割されているから、フライ
ス盤等のような機械加工によっても、容易に加工するこ
とができる。したがって、フライス盤等のような機械加
工によってターゲットを加工する場合も、精度の良いも
のを容易に製造することができると共に、コストの低減
を図ることができる。

【００４１】請求項２記載のターゲットにおいては、基
準ターゲットと補助ターゲットとがピンを介して接続さ
れているから、これらの基準ターゲットと補助ターゲッ
トとを心が一致するように連結することができる。すな
わち、基準ターゲットと補助ターゲットとのつなぎ目の
部分において、段差が生じるのを防止することができ
る。しかも、ワンタッチで簡単に基準ターゲットと補助
ターゲットとを接続することができるという利点があ
る。したがって、ネジ等によって連結する場合に比し
て、組立工数の低減を図ることができる。

【００４２】請求項３記載の流体振動形流量計において
は、請求項１記載のコストの低いターゲットを用いてい
るから、コストの低減を図ることができる。しかも、そ
のターゲットの精度が高いことから、流量の測定精度の
向上を図ることができる。

【００４３】請求項４記載の流体振動形流量計において
は、請求項２記載の精度のより高いターゲットを用いて
いるから、さらに流量の測定精度の向上を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例として示したターゲットの
分解斜視図である。

【図２】従来例として示した流体振動形流量計の正面図
である。

【図３】同流体振動形流量計を示す断面図であって、図
２のIII−III線に沿う断面図である。

【図４】同流体振動形流量計で用いるターゲットを示す
斜視図である。

【符号の説明】

３０ ターゲット ３１ 基準ターゲット ３２ 補助ターゲット ３３ ピン ２１０ ノズル流路 ２２０ 下流側流路 ＦＭ 流体振動形流量計

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準ターゲットと、この基準ターゲット
   の上に重ねるように設けられる補助ターゲットとを備え
   てなり、前記補助ターゲットによって高さが変更可能に
   構成されていることを特徴とするターゲット。
2. 【請求項２】 基準ターゲットと補助ターゲットとがピ
   ンを介して接続されるようになっていることを特徴とす
   る請求項１記載のターゲット。
3. 【請求項３】 高さ方向の寸法が一定の２次元流路とし
   てのノズル流路及び下流側流路を備えていると共に、前
   記下流側流路におけるノズル流路の延長線上に設けら
   れ、前記２次元流路の高さ方向に立設されたターゲット
   を備えてなり、前記ノズル流路から下流側流路に噴出す
   る噴流の流体振動に基づいて流量を検出するように構成
   された流体振動形流量計であって、 前記ターゲットは請求項１記載のターゲットによって構
   成されていることを特徴とする流体振動形流量計。
4. 【請求項４】 高さ方向の寸法が一定の２次元流路とし
   てのノズル流路及び下流側流路を備えていると共に、前
   記下流側流路におけるノズル流路の延長線上に設けら
   れ、前記２次元流路の高さ方向に立設されたターゲット
   を備えてなり、前記ノズル流路から下流側流路に噴出す
   る噴流の流体振動に基づいて流量を検出するように構成
   された流体振動形流量計であって、 前記ターゲットは請求項２記載のターゲットによって構
   成されていることを特徴とする流体振動形流量計。