JPH11302040A - 紫外線発光ランプによる処理装置 - Google Patents
紫外線発光ランプによる処理装置Info
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- JPH11302040A JPH11302040A JP10122736A JP12273698A JPH11302040A JP H11302040 A JPH11302040 A JP H11302040A JP 10122736 A JP10122736 A JP 10122736A JP 12273698 A JP12273698 A JP 12273698A JP H11302040 A JPH11302040 A JP H11302040A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い精度で紫外線発光ランプ３を位置決めで
きる処理装置であって、紫外線発光ランプ３の交換作業
が極めて容易に行なえて、かつ、当該ランプ３の端部か
ら飛び出る外部リード３７の方向が装置の構造上の理由
から規制させることのない紫外線発光ランプによる処理
装置を提供することである。 【解決手段】発光管３１の端部小径部に管端部３２が取
り付けられた紫外線発光ランプ３と、この紫外線発光ラ
ンプ３からの照射光を被処理材に向けて反射させる集光
ミラー２よりなり、前記紫外線ランプ３に取り付けられ
た管端部３２には、発光管３１の伸びる方向と垂直な方
向に引っ張るバネ部材６がクリップ５を介して取り付け
られ、かつ、当該紫外線ランプ３はこのバネ部材６の引
っ張りによってＶ字ブロック４で集光ミラー２に当接し
て位置決めされることを特徴とする。
きる処理装置であって、紫外線発光ランプ３の交換作業
が極めて容易に行なえて、かつ、当該ランプ３の端部か
ら飛び出る外部リード３７の方向が装置の構造上の理由
から規制させることのない紫外線発光ランプによる処理
装置を提供することである。 【解決手段】発光管３１の端部小径部に管端部３２が取
り付けられた紫外線発光ランプ３と、この紫外線発光ラ
ンプ３からの照射光を被処理材に向けて反射させる集光
ミラー２よりなり、前記紫外線ランプ３に取り付けられ
た管端部３２には、発光管３１の伸びる方向と垂直な方
向に引っ張るバネ部材６がクリップ５を介して取り付け
られ、かつ、当該紫外線ランプ３はこのバネ部材６の引
っ張りによってＶ字ブロック４で集光ミラー２に当接し
て位置決めされることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は紫外線発光ランプ
による処理装置に関する。
による処理装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、光ファイバーの外表面に塗布された
紫外線硬化型コーティング剤を硬化させたり、印刷イン
キを乾燥させるために、紫外線発光ランプと使った紫外
線による処理装置が用いられている。
紫外線硬化型コーティング剤を硬化させたり、印刷イン
キを乾燥させるために、紫外線発光ランプと使った紫外
線による処理装置が用いられている。
【０００３】図５は、光ファイバーの外表面に塗布され
た紫外線硬化型コーティング剤を硬化させるための硬化
処理装置の一例を示すものである。また、図６はこの硬
化処理装置の破断された平面図を表す（図５の線Ｃ−Ｃ
断面における平面図）である。図５、図６においてはＦ
はコーティング剤が塗布された光ファイバーであり、こ
の光ファイバーＦは石英よりなる透光性パイプ５０の内
側を上方から下方へ向って走行している。５１、５１’
は紫外線発光ランプであり、５２、５２’は紫外線発光
ランプ５１、５１’からの照射光を光ファイバーＦの走
行路に向けて反射する樋状の楕円反射鏡である。
た紫外線硬化型コーティング剤を硬化させるための硬化
処理装置の一例を示すものである。また、図６はこの硬
化処理装置の破断された平面図を表す（図５の線Ｃ−Ｃ
断面における平面図）である。図５、図６においてはＦ
はコーティング剤が塗布された光ファイバーであり、こ
の光ファイバーＦは石英よりなる透光性パイプ５０の内
側を上方から下方へ向って走行している。５１、５１’
は紫外線発光ランプであり、５２、５２’は紫外線発光
ランプ５１、５１’からの照射光を光ファイバーＦの走
行路に向けて反射する樋状の楕円反射鏡である。
【０００４】楕円反射鏡５２（５２’）はその第一焦点
に紫外線発光ランプ５１が位置しており、その第二焦点
に光ファイバーＦの走行路が位置するよう、図示しない
支柱を介してケーシング６０に固定されている。
に紫外線発光ランプ５１が位置しており、その第二焦点
に光ファイバーＦの走行路が位置するよう、図示しない
支柱を介してケーシング６０に固定されている。
【０００５】この処理装置の上部には図示しないコーテ
ィング装置が設けられており、このコーティング装置に
よって、光ファイバーＦの外表面に未硬化のコーティン
グ剤が塗布される。そして、光ファイバーＦが透光性パ
イプ５０の内側を走行する間に、塗布された未硬化のコ
ーティング剤が紫外線発光ランプ５１および集光鏡５２
からの照射光によって硬化する。
ィング装置が設けられており、このコーティング装置に
よって、光ファイバーＦの外表面に未硬化のコーティン
グ剤が塗布される。そして、光ファイバーＦが透光性パ
イプ５０の内側を走行する間に、塗布された未硬化のコ
ーティング剤が紫外線発光ランプ５１および集光鏡５２
からの照射光によって硬化する。
【０００６】しかして、紫外線発光ランプ５１は楕円反
射鏡の第一焦点の位置に高い精度で支持されなくてはな
らない。図７、図８は、紫外線発光ランプを楕円反射鏡
の第一焦点の位置に支持するための従来の手段を示す説
明図である。図８は図７の線Ｄ−Ｄ断面の平面図であ
る。図７、図８において、５３は紫外線発光ランプ５１
の発光管であり、５４Ａ、５４Ｂは発光管５３の端部小
径部５３Ａ、５３Ｂに取り付けられた管端部である。８
１Ａ、８１Ｂは楕円反射鏡５２に対して特定の位置に設
けられたランプ支持台であり、ランプ支持台８１Ａ、８
１Ｂにはそれぞれ管端部挟み部材８２Ａ、８２Ｂがネジ
止めされている。紫外線発光ランプ５１の両端の管端部
５４Ａは、この管端部挟み部材８２Ａに挟んで楕円集光
鏡５２の第一焦点の位置に支持させている。
射鏡の第一焦点の位置に高い精度で支持されなくてはな
らない。図７、図８は、紫外線発光ランプを楕円反射鏡
の第一焦点の位置に支持するための従来の手段を示す説
明図である。図８は図７の線Ｄ−Ｄ断面の平面図であ
る。図７、図８において、５３は紫外線発光ランプ５１
の発光管であり、５４Ａ、５４Ｂは発光管５３の端部小
径部５３Ａ、５３Ｂに取り付けられた管端部である。８
１Ａ、８１Ｂは楕円反射鏡５２に対して特定の位置に設
けられたランプ支持台であり、ランプ支持台８１Ａ、８
１Ｂにはそれぞれ管端部挟み部材８２Ａ、８２Ｂがネジ
止めされている。紫外線発光ランプ５１の両端の管端部
５４Ａは、この管端部挟み部材８２Ａに挟んで楕円集光
鏡５２の第一焦点の位置に支持させている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような支持手段を有する処理装置では、楕円集光鏡の第
一焦点に紫外線発光ランプの発光管の中心軸、すなわ
ち、紫外線発光ランプの発光部を正確に支持させること
ができず、被処理材への集光性が不十分で照度が低くな
り、処理効率の低いものとなってしまう。すなわち、紫
外線発光ランプを構成する発光管は、その中央から両端
側へ伸びる直管部と端部小径部からなるが、その間に関
係が徐々に変化する傾斜部を有し、この傾斜部が発光管
の製造段階において歪みを生じ易く、また、発光管の管
端部小径部に管端部を取り付ける段階で芯出しが正確に
行われない場合がある。つまり、管端部の中心軸と発光
管の中心軸（紫外線発光ランプの発光部）とは必ずしも
一致しない。また、長期の使用により当該傾斜部分に変
形を生じることもある。従って、楕円反射鏡の第一焦点
への位置合わせを管端部を基準に行なっても、楕円集光
鏡の第一焦点と発光管の中心軸（紫外線発光ランプの発
光部）とを高い精度で一致させることが困難になる。
ような支持手段を有する処理装置では、楕円集光鏡の第
一焦点に紫外線発光ランプの発光管の中心軸、すなわ
ち、紫外線発光ランプの発光部を正確に支持させること
ができず、被処理材への集光性が不十分で照度が低くな
り、処理効率の低いものとなってしまう。すなわち、紫
外線発光ランプを構成する発光管は、その中央から両端
側へ伸びる直管部と端部小径部からなるが、その間に関
係が徐々に変化する傾斜部を有し、この傾斜部が発光管
の製造段階において歪みを生じ易く、また、発光管の管
端部小径部に管端部を取り付ける段階で芯出しが正確に
行われない場合がある。つまり、管端部の中心軸と発光
管の中心軸（紫外線発光ランプの発光部）とは必ずしも
一致しない。また、長期の使用により当該傾斜部分に変
形を生じることもある。従って、楕円反射鏡の第一焦点
への位置合わせを管端部を基準に行なっても、楕円集光
鏡の第一焦点と発光管の中心軸（紫外線発光ランプの発
光部）とを高い精度で一致させることが困難になる。
【０００８】このような問題を解決するために集光鏡に
はＶ字ブロックを設けてバネ部材等により、紫外線発光
ランプの発光管をこのＶ字ブロックに押し付けることで
正確な位置決めをする構造も知られている。（実開平５
−５１９３１号参照）
はＶ字ブロックを設けてバネ部材等により、紫外線発光
ランプの発光管をこのＶ字ブロックに押し付けることで
正確な位置決めをする構造も知られている。（実開平５
−５１９３１号参照）
【０００９】ところが、このような処理装置は、一般に
ランプを長時間にわたり連続点灯させるので寿命による
ランプ交換の頻度も多くなる。つまり、バネ部材等によ
って発光管を押し付ける構造が複雑であるとランプ交換
の作業が煩わしくなるという問題がある。また、発光管
の管端部からは給電用リードが外方に延び出るものであ
るが、この伸び出る方向は任意の方向に自在に選べるこ
とが都合がよい。つまり、ランプを固定する構造が複雑
等であり、外部リードの延び出る方向のこの構造との関
係で所定の方向に限定されるようなものであれば、給電
用リードを固定する端子台を設ける位置も限定され、そ
のために処理装置の小型化が妨げられ、紫外線発光ラン
プの冷却風の流れが乱され冷却条件が悪化したりするな
ど、極めて装置を使用するうえで条件が限定されること
になってしまう。
ランプを長時間にわたり連続点灯させるので寿命による
ランプ交換の頻度も多くなる。つまり、バネ部材等によ
って発光管を押し付ける構造が複雑であるとランプ交換
の作業が煩わしくなるという問題がある。また、発光管
の管端部からは給電用リードが外方に延び出るものであ
るが、この伸び出る方向は任意の方向に自在に選べるこ
とが都合がよい。つまり、ランプを固定する構造が複雑
等であり、外部リードの延び出る方向のこの構造との関
係で所定の方向に限定されるようなものであれば、給電
用リードを固定する端子台を設ける位置も限定され、そ
のために処理装置の小型化が妨げられ、紫外線発光ラン
プの冷却風の流れが乱され冷却条件が悪化したりするな
ど、極めて装置を使用するうえで条件が限定されること
になってしまう。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明が解
決しようとする課題は、高い精度で紫外線発光ランプを
位置決めできる処理装置であって、紫外線発光ランプの
交換作業が極めて容易に行なえて、かつ、当該ランプの
管端部から飛び出る外部リードの方向が装置の構造上の
理由から規制させることのない紫外線発光ランプによる
処理装置を提供することである。
決しようとする課題は、高い精度で紫外線発光ランプを
位置決めできる処理装置であって、紫外線発光ランプの
交換作業が極めて容易に行なえて、かつ、当該ランプの
管端部から飛び出る外部リードの方向が装置の構造上の
理由から規制させることのない紫外線発光ランプによる
処理装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明にかかる紫外線発ランプによる処理装置
は、紫外線発光ランプと、この紫外線発光ランプからの
照射光を被処理材に向けて反射させる集光ミラーよりな
り、前記紫外線ランプに取り付けられた管端部には、発
光管の伸びる方向と垂直な方向に引っ張るバネ部材がク
リップを介して取り付けられ、かつ、当該紫外線ランプ
はこのバネ部材の引っ張りによってＶ字ブロックで集光
ミラーに当接して位置決めされることを特徴とする。
に、この発明にかかる紫外線発ランプによる処理装置
は、紫外線発光ランプと、この紫外線発光ランプからの
照射光を被処理材に向けて反射させる集光ミラーよりな
り、前記紫外線ランプに取り付けられた管端部には、発
光管の伸びる方向と垂直な方向に引っ張るバネ部材がク
リップを介して取り付けられ、かつ、当該紫外線ランプ
はこのバネ部材の引っ張りによってＶ字ブロックで集光
ミラーに当接して位置決めされることを特徴とする。
【００１２】さらに請求項２に係る発明では、紫外線発
光ランプは、電極先端より端部側の非発光部が両電極間
の発光部に対して略直角に屈曲しており、全体の形状が
略コ字状であることを特徴とする。
光ランプは、電極先端より端部側の非発光部が両電極間
の発光部に対して略直角に屈曲しており、全体の形状が
略コ字状であることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、図面に基づいて本発明の
実施例の形態を具体的に説明する。図１、図２は本発明
の紫外線発光ランプによる処理装置の一例を示す。図２
は図１の線ＡーＡの断面の平面図である。ケーシング１
は２分割されており、一方的に冷却風の吸入口１１が形
成され、他方に排出口１２が形成されるている。そし
て、同じく２分割された反射鏡２がケーシング1内に配
置されている。反射鏡2は内面が鏡面である長尺な楕円
筒形のものであり、その焦点軸は垂直方向に向いてい
る。また、反射鏡２には冷却風通過孔２１が複数個設け
られている。ここで、ケーシング1の高さは約２８０ｍ
ｍである。
実施例の形態を具体的に説明する。図１、図２は本発明
の紫外線発光ランプによる処理装置の一例を示す。図２
は図１の線ＡーＡの断面の平面図である。ケーシング１
は２分割されており、一方的に冷却風の吸入口１１が形
成され、他方に排出口１２が形成されるている。そし
て、同じく２分割された反射鏡２がケーシング1内に配
置されている。反射鏡2は内面が鏡面である長尺な楕円
筒形のものであり、その焦点軸は垂直方向に向いてい
る。また、反射鏡２には冷却風通過孔２１が複数個設け
られている。ここで、ケーシング1の高さは約２８０ｍ
ｍである。
【００１４】ロングアーク型の放電ランプが反射鏡２内
に配置されているが、放電ランプ３は直線状の発光部は
反射鏡２の第一焦点軸上に位置している。一方、表面に
紫外線硬化型の樹脂からなるコーティング剤が塗布され
た光ファイバーＦは反射鏡２の第２焦点軸上を上方から
下方に向けて走行する。光ファイバーＦは内部に窒素ガ
スなどが流れて石英管７で覆われている。これはコーテ
ィング剤を紫外線を含む光で硬化するとき酸素が存在す
ると硬化反応が進みにくい性質があるためである。
に配置されているが、放電ランプ３は直線状の発光部は
反射鏡２の第一焦点軸上に位置している。一方、表面に
紫外線硬化型の樹脂からなるコーティング剤が塗布され
た光ファイバーＦは反射鏡２の第２焦点軸上を上方から
下方に向けて走行する。光ファイバーＦは内部に窒素ガ
スなどが流れて石英管７で覆われている。これはコーテ
ィング剤を紫外線を含む光で硬化するとき酸素が存在す
ると硬化反応が進みにくい性質があるためである。
【００１５】このように、放電ランプ３の発光部が反射
鏡２の第一焦点軸上に位置し、光ファイバーＦが反射鏡
２の第２焦点軸上を走行するので、放電ランプ３から放
射する紫外線を含む光は光ファイバーＦに集光して表面
に塗布されたコーティング剤を硬化する。このとき、吸
入口１１から流入した冷却風は反射鏡２の通過孔２１を
通って放電ランプ３を冷却し、他方の反射鏡２の通過孔
２１及び排出口１２を通って排出される。
鏡２の第一焦点軸上に位置し、光ファイバーＦが反射鏡
２の第２焦点軸上を走行するので、放電ランプ３から放
射する紫外線を含む光は光ファイバーＦに集光して表面
に塗布されたコーティング剤を硬化する。このとき、吸
入口１１から流入した冷却風は反射鏡２の通過孔２１を
通って放電ランプ３を冷却し、他方の反射鏡２の通過孔
２１及び排出口１２を通って排出される。
【００１６】放電ランプ３は、定格消費電力が７ｋＷの
メタルハライドランプであり、図３に示すように発光管
３１内に一対の電極３４,３４が対向配置されている。
また、発光管３１内には、１種または２種以上の金属を
含むガスが封入されている。従って、電極３４,３４の
先端間が発光部Ｌであり、発光部Ｌの長さは２５０ｍｍ
である。
メタルハライドランプであり、図３に示すように発光管
３１内に一対の電極３４,３４が対向配置されている。
また、発光管３１内には、１種または２種以上の金属を
含むガスが封入されている。従って、電極３４,３４の
先端間が発光部Ｌであり、発光部Ｌの長さは２５０ｍｍ
である。
【００１７】ここで、この実施例における発光管３１
は、通常の放電ランプと異なり、その管端部３２がそれ
ぞれ略直角に屈曲している。つまり、両方の管端部３
２，３２は同一平面上において同一方向に屈曲して全体
の形状が略コ字型になっている。従って、電極３４,３
４も先端部がＬ字状に屈曲している。管端部３２に続く
シール部３３にはモリブデン箔３５が埋設され、電極３
４の一端がモリブデン箔に溶接されている。そして、シ
ール部３３にはベース３６が取り付けられ、モリブデン
箔３５に電気的に接続されたリード線３７がベース３６
の端面から伸び出している。なお、ランプ取付や配線の
関係上から、管端部３２，３２が異なる方向に屈曲して
全体形状がクランク状をした放電ランプであってもよ
い。
は、通常の放電ランプと異なり、その管端部３２がそれ
ぞれ略直角に屈曲している。つまり、両方の管端部３
２，３２は同一平面上において同一方向に屈曲して全体
の形状が略コ字型になっている。従って、電極３４,３
４も先端部がＬ字状に屈曲している。管端部３２に続く
シール部３３にはモリブデン箔３５が埋設され、電極３
４の一端がモリブデン箔に溶接されている。そして、シ
ール部３３にはベース３６が取り付けられ、モリブデン
箔３５に電気的に接続されたリード線３７がベース３６
の端面から伸び出している。なお、ランプ取付や配線の
関係上から、管端部３２，３２が異なる方向に屈曲して
全体形状がクランク状をした放電ランプであってもよ
い。
【００１８】本発明の処理装置は、図１〜図４に示すよ
うに、反射鏡２の奥底部２ａに開口２２を設け、放電ラ
ンプ３の管端部３２を差し込む。そして、反射鏡２の奥
底部２ａに石英ガラスからなり、Ｖ字状の凹部４１を有
する支持部材４を複数個は位置し、放電ランプ３の発光
管３１を凹部４１に嵌め込んだ状態で支持部材４を当接
させて、両電極３４，３４間の発光部が反射鏡２の第一
焦点軸上に位置するようにする。また、ベース３６には
着脱自在なクリップ５を取り付ける。そして、クリップ
５にコイルスプリングからなるバネ部材６をつなげ、こ
のバネ部材６は一方がケーシング１に取り付けられる。
このバネ部材６の弾発力によって発光管３１を支持部材
４１に圧接させる。
うに、反射鏡２の奥底部２ａに開口２２を設け、放電ラ
ンプ３の管端部３２を差し込む。そして、反射鏡２の奥
底部２ａに石英ガラスからなり、Ｖ字状の凹部４１を有
する支持部材４を複数個は位置し、放電ランプ３の発光
管３１を凹部４１に嵌め込んだ状態で支持部材４を当接
させて、両電極３４，３４間の発光部が反射鏡２の第一
焦点軸上に位置するようにする。また、ベース３６には
着脱自在なクリップ５を取り付ける。そして、クリップ
５にコイルスプリングからなるバネ部材６をつなげ、こ
のバネ部材６は一方がケーシング１に取り付けられる。
このバネ部材６の弾発力によって発光管３１を支持部材
４１に圧接させる。
【００１９】このようなクリップ５は特に限定されるも
のではなく、管端部３２をその側面で簡単に挟圧できる
ものが適用される。また、図に示すようにクリップ５と
バネ部材６の間に連結具を介していても差し支えない
が、バネ部材６をクリップ５に直接取り付けてもよいこ
とはいうまでもない。
のではなく、管端部３２をその側面で簡単に挟圧できる
ものが適用される。また、図に示すようにクリップ５と
バネ部材６の間に連結具を介していても差し支えない
が、バネ部材６をクリップ５に直接取り付けてもよいこ
とはいうまでもない。
【００２０】ここで、上記実施例では、放電ランプは端
部の非発光部が発光部に対して略直角に屈曲した全体と
して略コ字形のものを示したが、このようなランプに限
定されるのではなく、棒状のランプであって、その管端
部にクリップを介してバネ部材を取り付けてもよい。
部の非発光部が発光部に対して略直角に屈曲した全体と
して略コ字形のものを示したが、このようなランプに限
定されるのではなく、棒状のランプであって、その管端
部にクリップを介してバネ部材を取り付けてもよい。
【００２１】また、光ファイバーに塗布されたコーティ
ング剤の硬化装置について説明したが、この発明はこの
ような装置に限定されるものではなく、紫外線発光ラン
プと反射ミラーによって処理装置であれば、その他の処
理装置にも広く適用することができる。
ング剤の硬化装置について説明したが、この発明はこの
ような装置に限定されるものではなく、紫外線発光ラン
プと反射ミラーによって処理装置であれば、その他の処
理装置にも広く適用することができる。
【００２２】また、複雑な構造を持って放電ランプの管
端部と接続していないので、放電ランプの管端部から外
方に伸びる外部リードは任意の方向から突出させること
が可能になる。従って、このような放電ランプが配置さ
れた環境、例えば、電気回路や冷却機構との関係で外部
リードの伸びる方向がある程度規制されても、その規制
に柔軟に対応することが可能となる。
端部と接続していないので、放電ランプの管端部から外
方に伸びる外部リードは任意の方向から突出させること
が可能になる。従って、このような放電ランプが配置さ
れた環境、例えば、電気回路や冷却機構との関係で外部
リードの伸びる方向がある程度規制されても、その規制
に柔軟に対応することが可能となる。
【００２３】
【発明の効果】以上、この発明に紫外線発光ランプによ
る処理装置では、紫外線発光ランプの管端部には、発光
管の伸びる方向と垂直な方向に引っ張るバネ部材がクリ
ップを介して取り付けられ、かつ、この紫外線発光ラン
プはこのバネ部材の引っ張りによってＶ字ブロックに集
光ミラーに当接して位置することができ、このような構
造をランプ交換が頻繁に行なわれる状況であっても極め
て簡単に行なうことができる。また、管端部から突出す
る外部リードの突き出る方向は、電気回路や冷却機構等
の周囲の部材によっても柔軟に対応でき、ある程度任意
の方向に伸ばすことが可能となる。
る処理装置では、紫外線発光ランプの管端部には、発光
管の伸びる方向と垂直な方向に引っ張るバネ部材がクリ
ップを介して取り付けられ、かつ、この紫外線発光ラン
プはこのバネ部材の引っ張りによってＶ字ブロックに集
光ミラーに当接して位置することができ、このような構
造をランプ交換が頻繁に行なわれる状況であっても極め
て簡単に行なうことができる。また、管端部から突出す
る外部リードの突き出る方向は、電気回路や冷却機構等
の周囲の部材によっても柔軟に対応でき、ある程度任意
の方向に伸ばすことが可能となる。
【図１】この発明の紫外線発光ランプによる処理装置の
断面図である。
断面図である。
【図２】図１のＡーＡ線における断面図である。
【図３】放電ランプを示す。
【図４】この発明の要部の拡大図である。
【図５】従来の紫外線発光ランプによる処理装置を示
す。
す。
【図６】従来の紫外線発光ランプによる処理装置の断面
図を示す。
図を示す。
１ ケーシング ２ 反射鏡 ３ 放電ランプ ３１ 発光管 ３２ 管端部 ３３ シール部 ３４ 電極 ３５ モリブデン箔 ３６ ベース ３７ リード線 ４ 支持部材 ４１ 凹部 ５ クリップ ６ バネ部材
【手続補正書】
【提出日】平成１０年７月３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の紫外線発光ランプによる処理装置の
断面図である。
断面図である。
【図２】図１のＡーＡ線における断面図である。
【図３】放電ランプを示す。
【図４】この発明の要部の拡大図である。
【図５】従来の紫外線発光ランプによる処理装置を示
す。
す。
【図６】従来の紫外線発光ランプによる処理装置の断面
図を示す。
図を示す。
【図７】従来の手段を説明する図である。
【図８】従来の手段を説明する図である。
【符号の説明】 １ ケーシング ２ 反射鏡 ３ 放電ランプ ３１ 発光管 ３２ 管端部 ３３ シール部 ３４ 電極 ３５ モリブデン箔 ３６ ベース ３７ リード線 ４ 支持部材 ４１ 凹部 ５ クリップ ６ バネ部材
Claims (2)
- 【請求項１】紫外線発光ランプと、この紫外線発光ラン
プからの照射光を被処理材に向けて反射させる集光ミラ
ーよりなる紫外線発光ランプによる処理装置において、 前記紫外線発光ランプの管端部には、発光管の伸びる方
向と垂直な方向に引っ張るバネ部材がクリップを介して
取り付けられ、かつ、当該紫外線発光ランプはこのバネ
部材の引っ張りによってＶ字ブロックで集光ミラーに当
接して位置決めされることを特徴とする紫外線発光ラン
プによる処理装置。 - 【請求項２】前記紫外線発光ランプは、電極先端より端
部側の非発光部が両電極間の発光部に対して略直角に屈
曲して全体として略コ字形の形状をしていることを特徴
とする請求項１に記載する紫外線発光ランプによる処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10122736A JPH11302040A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 紫外線発光ランプによる処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10122736A JPH11302040A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 紫外線発光ランプによる処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11302040A true JPH11302040A (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=14843329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10122736A Pending JPH11302040A (ja) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | 紫外線発光ランプによる処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11302040A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110690140A (zh) * | 2018-07-05 | 2020-01-14 | 细美事有限公司 | 基板处理设备和喷嘴单元 |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10122736A patent/JPH11302040A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110690140A (zh) * | 2018-07-05 | 2020-01-14 | 细美事有限公司 | 基板处理设备和喷嘴单元 |
| CN110690140B (zh) * | 2018-07-05 | 2024-04-12 | 细美事有限公司 | 基板处理设备和喷嘴单元 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040416 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040511 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040921 |