JPH11291130A - フローティング支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上下方向に小型に構成可能で、しかも可動ベ
ースの移動抵抗を格段に小さくできるとともに、耐久性
にも優れたフローティング支持装置を提供する。 【解決手段】 可動ベース１１を固定ベース１０に対し
てフローティング支持するためのガイド手段２０とし
て、平坦な移動面２７内において、Ｘ軸方向及びＹ軸方
向に移動自在で且つ移動面２７に直交する軸心回りのθ
方向に回動自在に可動ベース１１を案内する面内方向ガ
イド手段を有し、面内方向ガイド手段は、平坦な移動面
２７を有する移動案内部材２５と、移動案内部材２５の
移動面２７にＸ軸方向とＹ軸方向とθ方向とに移動自在
に摺接して移動案内部材２７を受け止める受け部材２８
と、受け部材２８を含む空間を油密状にシールしてな
り、移動案内部材２５と受け部材２８間を潤滑する潤滑
油を充填した油室２２とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、多関節ロボットな
どのハンドを支持するのに好適なフローティング支持装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、自動車や電子機器等の組立ライ
ンや製造ラインにおいては、ライン上での作業を極力自
動化するため、多数の多関節ロボットが設置され、例え
ば、エンジンの組立ラインにおいては、パレットに位置
決めセットされたエンジンを、搬送装置によりパレット
とともにタクト送りし、多関節ロボットによりエンジン
に対して部品の組付作業などを順々に行っている。しか
し、パレットに対するエンジンの位置決め精度やエンジ
ン自体の製作精度、ロボットハンドの位置決め精度など
により、エンジン側の被組付位置に精度良く部品を位置
決めできないという問題がある。このため、エンジン側
の被組付位置と部品との位置ズレを吸収するため、アー
ムとハンド間にフローティング支持装置を介装した多関
節ロボットが広く採用されている。

【０００３】前記フローティング支持装置としては、例
えば、ゴムやバネなどの弾性体でアームとハンドとを連
結したもの（特開平４−２４１７３号公報参照）や、複
数の鋼球等を介してハンドをアームに移動自在に支持
し、バネなどの弾性体によりハンドを位置ズレのない初
期位置に復帰させるように構成したもの（特開平４−３
３１０８８号公報参照）が提案されているが、この種の
フローティング支持装置では、エンジン等のワークとそ
れに組付けられる部品との位置ズレが大きくなるにした
がって、ハンドを初期位置に復帰させようとする弾性体
の付勢力が大きくなり、組付時にワークや部品が傷つい
たり破損したりするという問題が発生することがある。

【０００４】このため、ワークと部品間の圧接力が小さ
くなるように、ハンドの初期位置への復帰動作をエアシ
リンダで行うように構成したものも種々提案されてい
る。例えば、特開平５−１０４４７３号公報には、ハン
ドの基端部に円板状のフローティングフランジを設け、
アームにフローティングフランジを囲繞するハウジング
を設け、フローティングフランジの上下両側にハウジン
グの上下の壁部に夫々当接する複数の鋼球を装着し、こ
れら複数の鋼球を介してハンドを、フローティングフラ
ンジを含む面内においてＸ、Ｙ軸方向に移動自在で、且
つフローティングフランジの軸心回りのθ方向に回動自
在に支持するとともに、ハウジングの上部に４つのエア
シリンダを放射状に組み込み、この４つのエアシリンダ
によりフローティングフランジを位置ズレのない初期位
置に復帰させるように構成したフローティング支持装置
が記載されている。また、特開平９−１５０３９１号公
報には、鋼球に代えてスラストブシュでフローティング
フランジを支持することで、フローティング支持装置の
製作コストを低減するとともに、フローティング支持装
置をスラストブシュの厚さ方向に小型に構成したものも
提案されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記特開平
９−１５０３９１号公報に記載のフローティング支持装
置では、フローティング支持装置の製作コストを低減で
き、しかもフローティング支持装置を上下方向に小型に
構成することが可能であるが、フローティングフランジ
とスラストブシュとが面接触するので、フローティング
支持状態においても、両者間の摺動抵抗が比較的大きく
なり、部品組付時などにおいて、かじりやこじりなどの
問題が発生し易いという問題がある。また、摺動部分が
摩耗し易く、定期的にフローティング支持装置を分解し
て清掃したり部品交換する必要があり、耐久性を十分に
確保し難いという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、上下方向に小型に構成可
能で、しかも可動ベースの移動抵抗を格段に小さくでき
るとともに、耐久性にも優れたフローティング支持装置
を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段及びその作用】請求項１に
係るフローティング支持装置は、固定ベース及び可動ベ
ースと、可動ベースを固定ベースに対してフローティン
グ支持するためのガイド手段であって、平坦な移動面内
において、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動自在で且つ移動
面に直交する軸心回りのθ方向に回動自在に可動ベース
を案内する面内方向ガイド手段とを有し、前記面内方向
ガイド手段は、前記平坦な移動面を有する移動案内部材
と、前記移動案内部材の移動面にＸ軸方向とＹ軸方向と
θ方向とに移動自在に摺接して移動案内部材を受け止め
る受け部材と、前記受け部材を含む空間を油密状にシー
ルしてなり、移動案内部材と受け部材間を潤滑する潤滑
油を充填した油室とを備えたものである。

【０００８】このフローティング支持装置においては、
移動案内部材の平坦な移動面を受け部材でＸ軸方向とＹ
軸方向とθ方向とに摺動自在に受けとめて、可動ベース
を固定ベースに対してフローティング支持するので、ボ
ールベアリングを用いて移動案内部材を移動自在に支持
する場合と比較して、フローティング支持装置を受け部
材の厚さ方向に対してコンパクトに構成できるととも
に、部品点数を少なくしてフローティング支持装置の製
作コストを低減できる。また、受け部材を含む空間を油
密状にシールして油室を形成しているので、受け部材と
移動案内部材の移動面間における摺動抵抗を低減して、
フローティング支持状態における可動ベースの移動抵抗
を小さくできるとともに、摩耗によるフローティング支
持装置の耐久性の低下を抑制できる。

【０００９】請求項２記載のフローティング支持装置
は、請求項１記載のフローティング支持装置において、
前記移動案内部材に摺接するシールリングで油室を油密
状にシールしたものである。移動案内部材は固定ベース
又は可動ベースに対してＸ軸方向とＹ軸方向とθ方向と
に相対移動するので、移動案内部材にシールリングを摺
接させて両者間を油密状にシールすることで、部品点数
を少なくしつつ油室を構成することが可能となる。

【００１０】請求項３記載のフローティング支持装置
は、請求項１又は２記載のフローティング支持装置にお
いて、前記固定ベースに可動ベース側へ延びる支軸を設
け、この支軸に球面受けを介して移動案内部材をα方向
に回動自在に案内支持する球面ガイド手段を設けたもの
である。このように、α方向に回動自在に可動ベースを
支持させると、フローティング支持状態における可動ベ
ースの移動自由度が大きくなる。

【００１１】請求項４記載のフローティング支持装置
は、請求項３記載のフローティング支持装置において、
前記移動案内部材の外周部にフランジ部を形成し、可動
ベースにフランジ部に外嵌する環状溝を形成し、フラン
ジ部に対面する環状溝の対向面とフランジ部間に受け部
材を装填したものである。

【００１２】請求項５記載のフローティング支持装置
は、請求項４記載のフローティング支持装置において、
前記フランジ部の基部に油孔を形成し、移動案内部材で
仕切られて２分割される油室を連通させたもである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。本実施例は、ロボットのア
ームとハンド間に介装されるハンドのフローティング支
持装置に本発明を適用した場合のものである。尚、本実
施例では、アーム側を上方、ハンド側を下方と定義して
説明する。図１、図２に示すように、フローティング支
持装置１は、アーム２の先端部に設けられたハンド取付
部２ａとハンド３間に介装され、図１に示すように、ア
ーム２に対してハンド３をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動自
在で且つＺ軸回りのθ方向、中心Ｐ（図３参照）回りの
α方向に回動自在に支持することで、ハンド３に保持し
た部品４と搬送装置等により搬送されるワーク５との僅
かな位置ズレを吸収し、組付時における部品４のこじり
やかじりを防止するように構成したものである。

【００１４】前記フローティング支持装置１は、図１〜
図３、図８（ａ）に示すように、アーム２のハンド取付
部２ａに固定された固定ベース１０と、下面にハンド３
が固定された可動ベース１１と、固定ベース１０に対し
て可動ベース１１をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動自在で且
つθ方向及びα方向に回動自在にフローティング支持す
るガイド手段２０と、固定ベース１０に対して可動ベー
ス１１を位置ズレのない図３に図示の初期位置に復帰さ
せる姿勢復帰手段４０とを備え、次のように構成されて
いる。

【００１５】可動ベース１１は、下面にハンド３が取付
けられる可動プレート１２と、可動プレート１２の上面
に固定されたハウジング１３と、ハウジング１３の上面
に固定された蓋部材１４とを備え、蓋部材１４の外周面
とハウジング１３の上面間には環状のシール部材１５が
装着され、シール部材１５の外周上部に形成したリップ
部１５ａは、固定ベース１０と可動ベース１１間の隙間
から塵や埃が侵入しないように、固定ベース１０に下面
に常時圧接されている。

【００１６】ガイド手段２０について説明すると、固定
ベース１０の下面中央部には下方へ延びる支軸２１が固
定され、支軸２１の下端近傍部には点Ｐを中心とした部
分球面２２を有する球面ガイド部材２３が外嵌固定さ
れ、球面ガイド部材２３には球面受け部材２４が外嵌さ
れ、図６に示すように、球面ガイド部材２３と球面受け
部材２４とは部分球面２２を介して点Ｐを中心にα方向
に角度α１の範囲内において回動自在に連結されてい
る。但し、可動ベース１１をα方向へ回動させる必要が
ない場合には、球面ガイド部材２３及び球面受け部材２
４を省略することも可能である。尚、この球面ガイド部
材２３と球面受け部材２４とが球面ガイド手段に相当す
る。

【００１７】球面受け部材２４には移動案内部材２５が
外嵌固定され、移動案内部材２５には外方へ延びるフラ
ンジ部２５ａが形成されている。可動ベース１１の内周
部には中央部側に向けて開口する環状溝２６が形成さ
れ、移動案内部材２５のフランジ部２５ａは環状溝２６
内に配置されている。環状溝２６の上下の対向面にはフ
ランジ部２５ａの上下の平坦な移動面２７に摺接する環
状の受け部材２８が夫々設けられ、フランジ部２５ａは
上下の受け部材２８間にＸ軸方向とＹ軸方向とθ方向と
に摺動自在に保持されている。尚、移動案内部材２５と
１対の受け部材２８とが面内方向ガイド手段に相当す
る。受け部材２８としては、移動面２７との摺動抵抗を
少なく設定するため、摩擦係数の小さい金属材料や合成
樹脂材料からなるものを利用できる。

【００１８】ハウジング１３の上部には中央部側へ延び
る鍔部３０が形成され、鍔部３０の下面には移動案内部
材２５の上面に摺動可能に圧接されるシールリング３１
が、座板３２を介して固定されている。可動ベース１１
の内側には可動プレート１２とハウジング１３と移動案
内部材２５と球面受け部材２４及び球面ガイド部材２３
とで囲まれる油室３３が形成され、油室３３内にはフラ
ンジ部２５ａの移動面２７と受け部材２８間を潤滑する
ための潤滑油が充填されている。潤滑油は油室３３にフ
ルに充填してもよいが、少なくともフランジ部２５ａと
受け部材２８間の摺動部分に潤滑油が供給されるように
構成してあれば、フルに充填する必要はない。

【００１９】フランジ部２５ａの基部には円周一定間隔
おきに、フランジ部２５ａを挟んで上下に分割される油
室３３を連通する油孔３４が形成され、可動ベース１１
には油室３３に対して潤滑油を供給するための図示外の
潤滑油供給通路が形成されている。但し、フランジ部２
５ａの移動面２７にシールリング３１を圧接させて油室
３３をシールするように構成してもよい。また、シール
リング３１に代えて、合成ゴム等からなる伸縮自在な膜
体を、移動案内部材２５とハウジング１３間に張設し
て、油室３３を油密状にシールしてもよい。尚、図示し
ていないが、可動プレート１２とハウジング１３間や移
動案内部材２５と球面受け部材２４間などのように、油
室３３に臨む部分にて結合される部材間には潤滑油の漏
れを防止するためシールを施すことになる。

【００２０】次に、前記ハンド３を位置ズレのない初期
位置に復帰させる姿勢復帰手段４０について説明する。
図３〜図５、図８（ａ）に示すように、ハウジング１３
の外周部内には上方へ向けて開口する環状のシリンダ孔
４１が形成され、シリンダ孔４１には環状のピストン部
材４２が気密摺動自在に装着され、シリンダ孔４１とピ
ストン部材４２とで復帰用シリンダ４３が構成されてい
る。蓋部材１４のうちのピストン部材４２に対面する部
分には円周一定間隔おきに３つの凹部４４が形成され、
この凹部４４内にはバネ部材４５が装填され、ピストン
部材４２はバネ部材４５により常時下方へ付勢されてい
る。尚、復帰用シリンダ４３としては油圧シリンダを用
いてもよい。また、復帰用シリンダ４３として複動シリ
ンダを用い、バネ部材４５を省略することも可能であ
る。更に、復帰用シリンダ４３に代えて、後述する３つ
の位置決め部材５０に対応させて、円柱状のピストン部
材を有する３つの復帰用シリンダをハウジング１３に組
み込んでもよい。

【００２１】ピストン部材４２の下側には作動室４６が
形成され、ハウジング１３には作動室４６内へ加圧エア
を供給するための図示外のエア通路が形成されている。
蓋部材１４にはピストン部材４２に対面する位置におい
て３つの貫通孔４７が円周一定間隔おきに形成され、貫
通孔４７内には鋼球からなる位置決めボール４８が上下
移動自在に装着され、ピストン部材４２には位置決めボ
ール４８を操作可能な操作ピン４９が固定されている。
尚、位置決めボール４８に代えて、先端に後述する位置
決め凹部５１に圧接される球面や円錐面を有する位置決
めピンを貫通孔４７内に移動自在に装着してもよい。

【００２２】固定ベース１０には貫通孔４７に対応させ
て位置決め部材５０が設けられ、位置決め部材５０の下
端には上方へ向けて縮径する円錐面状の位置決め凹部５
１が形成され、位置決め部材５０は固定ベース１０に対
する螺進量により位置決め凹部５１の高さを微調整でき
るように構成されている。尚、符号５４は、位置決め部
材５０の回転を規制するためのロックナットである。図
４、図５に示すように、固定ベース１０の下面には３つ
の位置規制孔５２が形成され、蓋部材１４には位置規制
孔５２内に延びる規制ピン５３が設けられ、位置規制孔
５２の内壁面で規制ピン５３の移動範囲が規制されるこ
とで、位置決めボール４８が位置決め凹部５１から離脱
することが防止されている。

【００２３】次に、前記フローティング支持装置１の作
用について説明する。ハンド３に保持した部品４等を自
動車等のワーク５に組付ける際には、作動室４６を大気
開放して、ハンド３をフローティング支持した状態で組
付けることになる。つまり、作動室４６を大気開放する
と、図６、図７に示すように、バネ部材４５の付勢力に
よりピストン部材４２がシリンダ孔４１の下部に移動
し、位置決めボール４８が貫通孔４７内に略完全に収容
され、ガイド手段２０の上下の受け部材２８を介して移
動案内部材２５が、初期位置からＸ軸方向、Ｙ軸方向に
移動自在で且つＺ軸回りのθ方向に回動自在な状態とな
るとともに、移動案内部材２５が球面受け部材２４及び
球面ガイド部材２３を介して中心Ｐ回りのα方向に回動
自在な状態となって、ハンド３がフローティング支持さ
れ、組付時におけるワーク５と部品４との位置ズレが吸
収されることになる。

【００２４】一方、作動室４６に加圧エアを供給する
と、ピストン部材４２とともに操作ピン４９が上方へ移
動し、３つの位置決めボール４８が位置決め凹部５１の
奥端部に移動しようとして、可動ベース１１がＸ軸方
向、Ｙ軸方向に移動するとともにθ方向に回転し、位置
決めボール４８が位置決め凹部５１に圧接されること
で、図３に示すように、ハンド３がＸ軸方向、Ｙ軸方
向、θ方向の初期位置に復帰するとともに、圧接による
反力で可動ベース１１が中心Ｐ回りに回動して、ハンド
３がα方向の初期位置に復帰することになる。ところ
で、可動ベース１１は、上下の受け部材２８がフランジ
部２５ａの移動面２７上を摺動することで、固定ベース
１０に対してＸ軸方向とＹ軸方向とθ方向とに移動する
が、両者の摺動部分は油室３３内に配置され、潤滑油に
より常時潤滑されるので、移動抵抗は大幅に少なくな
る。このため、可動ベース１１の移動がスムーズにな
り、フローティング支持状態においては、部品４の組付
時におけるこじりやかじりを防止でき、初期位置への復
帰時には、大きな復帰力を作用させることなく、可動ベ
ース１１を初期位置に復帰させることが可能となる。

【００２５】次に、本発明を適用可能な他の構成のフロ
ーティング支持装置について説明する。尚、前記実施例
と同一部材には同一符号を付してその詳細な説明を省略
する。 （１） 図８（ｂ）に示すフローティング支持装置１Ａ
のように、球面受け部材２４に固定された連結部材６０
であって、外周部に環状溝２６Ａを形成した連結部材６
０を設け、可動ベース１１Ａ側に移動案内部材２５Ａを
設け、移動案内部材２５Ａに中央部側へ延びるフランジ
部６１を形成して、該フランジ部６１を連結部材６０の
環状溝２６Ａ内に配置させ、フランジ部６１に対面する
環状溝２６Ａの対向面に受け部材２８を設け、上下の受
け部材２８でフランジ部６１を摺動自在に支持してもよ
い。

【００２６】（２） 図８（ｃ）に示すフローティング
支持装置１Ｂのように、球面受け部材２４Ｂを可動ベー
ス１１側に固定し、外周部が球面ガイド部材２３Ｂに固
定され、内周部に環状溝２６Ｂが形成された連結部材６
２を設け、移動案内部材２５Ｂを支軸２１に固定し、移
動案内部材２５Ｂの外周部に環状溝２６Ｂ内へ延びるフ
ランジ部６３を設け、フランジ部６３に対面する環状溝
２６Ｂの対向面に受け部材２８を設け、上下の受け部材
２８でフランジ部６３を摺動自在に支持してもよい。

【００２７】（３） 図８（ｄ）に示すフローティング
支持装置１Ｃのように、支軸２１に外周部に環状溝２６
Ｃを形成した連結部材６４を固定し、球面受け部材２４
Ｃを可動ベース１１側に固定し、外周部に環状溝２６Ｃ
内へ延びるフランジ部６５を形成した移動案内部材２５
Ｃを球面ガイド部材２３Ｃに固定し、フランジ部６５に
対面する環状溝２６Ｃの対向面に受け部材２８を設け、
上下の受け部材２８でフランジ部６５を摺動自在に支持
してもよい。

【００２８】尚、本実施例では、固定ベース１０側に位
置決め部材５０を設け、可動ベース１１側に位置決めボ
ール４８を設けたが、固定ベース１０側に位置決めボー
ル４８或いは半球状の突部を形成し、可動ベース１１側
に位置決め部材５０を上下移動自在に設け、復帰用シリ
ンダ４３で位置決め部材５０を上方へ操作して位置決め
凹部５１を位置決めボール４８や突部に圧接させること
で、可動ベース１１を初期位置に復帰させるように構成
してもよい。また、固定ベース１０側に復帰用シリンダ
４３を組み込み、位置決めボール４８を位置決め部材５
０に圧接させて、可動ベース１１を初期位置に復帰させ
るように構成することも可能である。また、本実施例で
は、ロボットのアーム２とハンド３間にフローティング
支持装置１を介設したが、ロボット以外の産業機器のハ
ンド取付部２ａとハンド３間に介設されるフローティン
グ支持装置に対しても本発明を同様に適用出来る。

【００２９】

【発明の効果】本発明に係るフローティング支持装置に
よれば、移動案内部材をその平坦な移動面に摺接する受
け部材で移動自在に受けとめて、可動ベースを固定ベー
スに対してフローティング支持するので、フローティン
グ支持装置を受け部材の厚さ方向にコンパクトに構成で
きるとともに、フローティング支持装置の製作コストを
低減できる。また、油室に充填した潤滑油により受け部
材と移動案内部材間の摺動部分が潤滑されるので、フロ
ーティング支持状態における可動ベースの移動抵抗を小
さくできるとともに、受け部材や移動案内部材の摩耗に
よる耐久性を抑制できる。またこのように可動ベースの
移動抵抗が小さくなると、例えば、このフローティング
支持装置を産業用ロボットのアームとハンド間に介装し
た場合には、ハンドに保持したパーツの組付時に、こじ
りやかじりが発生することを効果的に防止でき、パーツ
の組付性を向上できる。

【００３０】請求項２記載のように構成すると、少ない
部品点数で油室を油密状にシールすることが可能とな
る。請求項３記載のように構成すると、球面ガイド手段
によりα方向にも回動自在に可動ベースを固定ベースに
支持できるので、フローティング支持状態における可動
ベースの移動自由度が大きくなり、前述のように産業用
ロボットに適用した場合、パーツ組付時におけるこじり
やかじりを一層効果的に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 フローティング支持装置の作動説明図

【図２】 フローティング支持装置及びその付近の側面
図

【図３】 フローティング支持装置の縦断面図

【図４】 フローティング支持装置の要部縦断面図

【図５】 フローティング支持装置の平面図

【図６】 α方向に回動した状態における作動説明図

【図７】 Ｘ軸方向又はＹ軸方向に移動した状態におけ
る作動説明図

【図８】 フローティング支持装置の構成の概略説明図
で、（ａ）は図１〜７に記載のフローティング支持装置
の概略説明図、（ｂ）〜（ｄ）は夫々他の構成のフロー
ティング支持装置の概略説明図

【符号の説明】

１ フローティング支持装置 ２ アーム ２ａ ハンド取付部 ３ ハンド ４ 部品 ５ ワーク １０ 固定ベース １１ 可動ベ
ース １２ 可動プレート １３ ハウジ
ング １４ 蓋部材 １５ シール
部材 １５ａ リップ部 ２０ ガイド手段 ２１ 支軸 ２２ 部分球面 ２３ 球面ガ
イド部材 ２４ 球面受け部材 ２５ 移動案
内部材 ２５ａ フランジ部 ２６ 環状溝 ２７ 移動面 ２８ 受け部
材 ３０ 鍔部 ３１ シール
リング ３２ 座板 ３３ 油室 ３４ 油孔 ４０ 姿勢復帰手段 ４１ シリン
ダ孔 ４２ ピストン部材 ４３ 復帰用
シリンダ ４４ 凹部 ４５ バネ部
材 ４６ 作動室 ４７ 貫通孔 ４８ 位置決めボール ４９ 操作ピ
ン ５０ 位置決め部材 ５１ 位置決
め凹部 ５２ 位置規制孔 ５３ 規制ピ
ン １Ａ フローティング支持装置 １１Ａ 可動ベ
ース ２５Ａ 移動案内部材 ２６Ａ 環状溝 ６０ 連結部材 ６１ フラン
ジ部 １Ｂ フローティング支持装置 ２３Ｂ 球面ガ
イド部材 ２４Ｂ 球面受け部材 ２５Ｂ 移動案
内部材 ２６Ｂ 環状溝 ６２ 連結部
材 ６３ フランジ部 １Ｃ フローティング支持装置 ２３Ｃ 球面ガ
イド部材 ２４Ｃ 球面受け部材 ２５Ｃ 移動案
内部材 ２６Ｃ 環状溝 ６４ 連結部
材 ６５ フランジ部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定ベース及び可動ベースと、可動ベー
   スを固定ベースに対してフローティング支持するための
   ガイド手段であって、平坦な移動面内において、Ｘ軸方
   向及びＹ軸方向に移動自在で且つ移動面に直交する軸心
   回りのθ方向に回動自在に可動ベースを案内する面内方
   向ガイド手段とを有し、 前記面内方向ガイド手段は、 前記平坦な移動面を有する移動案内部材と、 前記移動案内部材の移動面にＸ軸方向とＹ軸方向とθ方
   向とに移動自在に摺接して移動案内部材を受け止める受
   け部材と、 前記受け部材を含む空間を油密状にシールしてなり、移
   動案内部材と受け部材間を潤滑する潤滑油を充填した油
   室と、 を備えたことを特徴とするフローティング支持装置。
2. 【請求項２】 前記移動案内部材に摺接するシールリン
   グで油室を油密状にシールした請求項１記載のフローテ
   ィング支持装置。
3. 【請求項３】 前記固定ベースに可動ベース側へ延びる
   支軸を設け、この支軸に球面受けを介して移動案内部材
   をα方向に回動自在に案内支持する球面ガイド手段を設
   けた請求項１又は２記載のフローティング支持装置。
4. 【請求項４】 前記移動案内部材の外周部にフランジ部
   を形成し、可動ベースにフランジ部に外嵌する環状溝を
   形成し、フランジ部に対面する環状溝の対向面とフラン
   ジ部間に受け部材を装填した請求項３記載のフローティ
   ング支持装置。
5. 【請求項５】 前記フランジ部の基部に油孔を形成し、
   移動案内部材で仕切られて２分割される油室を連通させ
   た請求項４記載のフローティング支持装置。