JPH11291075A - レーザ加工機 - Google Patents

レーザ加工機

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JPH11291075A
JPH11291075A JP10117858A JP11785898A JPH11291075A JP H11291075 A JPH11291075 A JP H11291075A JP 10117858 A JP10117858 A JP 10117858A JP 11785898 A JP11785898 A JP 11785898A JP H11291075 A JPH11291075 A JP H11291075A
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昭夫 森下
Minoru Tashiro
稔 田代
Tetsukazu Kitamoto
哲一 北本
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1462Nozzles; Features related to nozzles
    • B23K26/1464Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
    • B23K26/1476Features inside the nozzle for feeding the fluid stream through the nozzle
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light

Abstract

(57)【要約】 【課題】レーザ光の焦点位置調整を人手を介さず行い、
トーチ付近を、複雑化、重量化させないこと。 【解決手段】内スリーブ部材21を有し、内スリーブ部
材21に外スリーブ部材22をZ軸方向に移動自在に設
け、内スリーブ部材21及び外スリーブ部材22の内部
にノズル45に達した形で光路KLを形成し、内スリー
ブ部材21の内部に光路KLの途中に配置した形で集光
レンズ50を設け、内スリーブ部材21及び外スリーブ
部材22の間にブレーキ機構16を、これらの相対移動
を拘束・拘束解除自在な形で設け、外スリーブ部材22
に係合溝43を形成し、係合部材56を外スリーブ部材
22がZ軸上の係合位置QPに配置された状態で、該外
スリーブ部材22に対して係合溝43を介して係合・係
合解除自在に設けて構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク表面に対す
るレーザ光の焦点位置を調整できるレ−ザ加工機に関す
る。
【0002】
【従来の技術】レーザ加工機においてワークを加工する
場合、ワークの材質や板厚等により、ワーク表面に対す
るレーザ光の焦点の最適な位置が様々である。そのため
加工に際しては、レーザ光の焦点の最適な位置を得るた
め、レーザ光の焦点位置調整を、具体的にはトーチのノ
ズル先端からレーザ光の焦点までの距離を調整する形で
行っている。従来、このような焦点位置調整は主にトー
チに設けられた公知の手動の調整機構を介して手作業に
より行われていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した焦点
位置調整を手作業により行うための作業者が必要とな
り、生産の無人化を進めるうえで不都合となっていた。
また、焦点位置調整用のサーボ制御機構を設けることに
より、焦点位置調整を自動で行おうとする試みもなされ
ているが、トーチ等にモータやアクチェータ等の駆動装
置を設ける構造となるため、トーチ付近が、複雑化、重
量化し不都合であった。
【0004】そこで本発明は上記事情に鑑み、レーザ光
の焦点位置調整を人手を介さず行うことができ、しかも
トーチ付近が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工
機を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】即ち本発明のうち第1の
発明は、サドル(6)を有し、前記サドル(6)にレ−
ザ加工ヘッド(7)を、ヘッド移動駆動手段(12)を
介して所定のZ軸方向に移動駆動自在に設けたレ−ザ加
工機(1)において、前記レ−ザ加工ヘッド(7)は第
1トーチ部材(21、210)を有し、前記第1トーチ
部材(21、210)に第2トーチ部材(22、22
0)をZ軸方向に移動自在に設け、前記第1及び第2ト
ーチ部材(21、22、210、220)のうち、一方
のトーチ部材にレーザ光射出ノズル(45、450)
を、他方のトーチ部材に集光レンズ(50、500)を
それぞれ設け、前記第1トーチ部材(21、210)の
内部及び前記第2トーチ部材(22、220)の内部
に、これら第1及び第2トーチ部材(21、22、21
0、220)に亙り、かつ前記集光レンズ(50、50
0)を通って前記レーザ光射出ノズル(45、450)
に達した形でレーザ光路(KL)を形成し、前記第1ト
ーチ部材(21、210)及び前記第2トーチ部材(2
2、220)の間に移動拘束手段(16、160)を、
これら第1及び第2トーチ部材(21、22、210、
220)間のZ軸方向における移動を拘束・拘束解除自
在な形で設け、前記第2トーチ部材(22、220)に
被係合部(43、700)を形成し、トーチ係合部材
(56、560)を、前記第2トーチ部材(22、22
0)がZ軸上の所定の係合位置(QP)に配置された状
態で、該第2トーチ部材(22、220)に対して前記
被係合部(43、700)を介して係合・係合解除自在
に設けて構成される。
【0006】また本発明のうち第2の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機(1)において、前記第1及び第
2トーチ部材(21、22)はスリーブ状の部材からな
り、前記第2トーチ部材(22)は、Z軸方向に移動自
在な形で前記第1トーチ部材(21)の外周側に挿嵌さ
れて設けられており、前記レーザ光射出ノズル(45)
は前記第2トーチ部材(22)の先端に設けられてお
り、前記集光レンズ(50)は前記第1トーチ部材(2
1)の内部に設けられている。
【0007】また本発明のうち第3の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機(1)において、前記第1及び第
2トーチ部材(210、220)はスリーブ状の部材か
らなり、前記第2トーチ部材(220)は、Z軸方向に
移動自在な形で前記第1トーチ部材(210)の内周側
に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出ノズル
(450)は前記第1トーチ部材(210)の先端に設
けられており、前記集光レンズ(500)は前記第2ト
ーチ部材(220)の内部に設けられている。
【0008】また本発明のうち第4の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機(1)において、前記レーザ光射
出ノズル(45、450)にアシストガス(AG)を供
給自在なアシストガス供給手段(36、360)を設
け、前記第1トーチ部材(21、210)及び前記第2
トーチ部材(22、220)間に、シリンダ(32、3
20)及び該シリンダ(32、320)内をZ軸方向に
相対的に移動自在なピストン(33、330)からなる
圧力バランス調整機構(31、310)を設け、前記シ
リンダ(32、320)及び前記ピストン(33、33
0)のうち、一方を前記第1トーチ部材(21、21
0)に、他方を前記第2トーチ部材(22、220)に
設け、前記第1トーチ部材(21、210)に設けられ
た前記シリンダ(32、320)又はピストン(33、
330)に第1受圧部(33a、320a)を形成し、
前記第2トーチ部材(22、220)に設けられた前記
ピストン(33、330)又はシリンダ(32、32
0)に第2受圧部(32a、330a)を、前記第1受
圧部(33a、320a)に対向した形で形成し、前記
アシストガス供給手段(36、360)を、前記圧力バ
ランス調整機構(31、310)の前記第1及び第2受
圧部(33a、32a、320a、330a)間に接続
し、前記圧力バランス調整機構(31、310)は、前
記アシストガス供給手段(36、360)からのアシス
トガス(AG)により、前記レーザ光射出ノズル(4
5、450)と前記集光レンズ(50、500)を互い
に接近させる方向に作動させるようになっている。
【0009】また本発明のうち第5の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機(1)において、前記トーチ係合
部材(56、560)に係合駆動手段(55)を、該ト
ーチ係合部材(56、560)を前記第2トーチ部材
(22、220)に対して係合駆動・係合解除駆動自在
に設けた。
【0010】なお、括弧内の番号等は、図面における対
応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述
は図面上の記載に限定拘束されるものではない。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づき説明する。図1は、本発明によるレーザ加工機
の一例を示した斜視図、図2は、サドルの内部側面等を
示した図、図3は、トーチユニット付近を示した断面
図、図4は、本発明によるレーザ加工機の別の一例であ
り、そのトーチユニット付近を示した断面図である。
【0012】レ−ザ加工機1は、図1に示すように機体
2を有しており、機体2上には上部にワ−ク搭載面3a
の形成されたテ−ブル3が矢印A、B方向(X軸方向)
に移動駆動自在に設けられている。機体2にはコラム5
がテ−ブル3上を跨ぐ形で設けられており、コラム5に
はサドル6が、矢印A、B方向とは直角の矢印C、D方
向(Y軸方向)に移動駆動自在に支持されている。
【0013】サドル6は、図2に示すようにコラム5に
沿って図中紙面と直角方向、即ち、矢印C、D方向(Y
軸方向)に移動駆動されるサドルベ−ス10を有してお
り、サドルベ−ス10には、矢印A、B方向(X軸方
向)及び矢印C、D方向(Y軸方向)と直角な矢印E、
F方向(Z軸方向)にガイドレ−ル11が設けられてい
る。ガイドレ−ル11にはレ−ザ加工ヘッド7が、該ガ
イドレ−ル11に沿って矢印E、F方向(Z軸方向)に
移動自在に支持されている。また、サドルベース10に
は、ボールねじからなる移動駆動装置12が設けられて
おり、前記レ−ザ加工ヘッド7は、この移動駆動装置1
2によりガイドレール11に沿って矢印E、F方向(Z
軸方向)に移動駆動され得るようになっている。
【0014】またコラム5には、前記サドル6よりも図
2の矢印B側の位置において、図示しないレーザ発振器
が設けられており、このレーザ発振器とレーザ加工ヘッ
ド7の間は公知のレーザ光路管13(図2に一部のみ図
示)によって接続されている。一方、レーザ加工ヘッド
7には、図2に示すように、前記レーザ光路管13に接
続した形で、矢印E、F方向(Z軸方向)に伸延した略
円筒状のヘッド光路管9が設けられており、ヘッド光路
管9の下端にはトーチユニット20が設けられている。
なお、ヘッド光路管9内には、レーザ光路管13から伝
達されてきたレーザ光を矢印F方向にトーチユニット2
0まで伝送し得るレーザ光路9aが形成されている。
【0015】トーチユニット20は、図3に示すように
矢印E、F方向(Z軸方向)に伸延した略円筒状の内ス
リーブ部材21を、前記ヘッド光路管9の下端に接続さ
れた形で有しており、内スリーブ部材21の外周には、
矢印E、F方向(Z軸方向)に伸延した筒状の外スリー
ブ部材22が、該内スリーブ部材21をガイドとして矢
印E、F方向(Z軸方向)に摺動移動自在に設けられて
いる。内スリーブ部材21の外周には、矢印E、F方向
(Z軸方向)に長さL1で伸延したキー溝20aが形成
されており、外スリーブ部材22の内周には前記キー溝
20aに摺動移動自在に係合した形のキー20bが突出
形成されている。これらキー溝20a及びキー20bに
より、外スリーブ部材22は内スリーブ部材21に対し
て略長さL1のストローク範囲内で矢印E、F方向(Z
軸方向)に摺動のみ自在となっている。
【0016】外スリーブ部材22の内周側には、内スリ
ーブ部材21及び外スリーブ部材22の中心軸CT1を
中心とした、基本的に円環形状に形成された第1シリン
ダ25が、前記内スリーブ部材21の外周面21bに隣
接した形で形成されており、第1シリンダ25は、これ
ら外スリーブ部材22と内スリーブ部材21によって気
密に包囲されている。外スリーブ部材22には、中心軸
CT1を中心とした略円環形状に形成されたコレット2
6が、内スリーブ部材21の外周部に挿嵌された形で設
けられており、該コレット26は外スリーブ部材22と
共に内スリーブ部材21に対して矢印E、F方向に摺動
自在になっている。コレット26は、その上側、即ち矢
印E側が外スリーブ部材22に固定されており、その下
側、即ち矢印F側は、下方向(矢印F方向)に外径が縮
小した形のテーパ部26aとなっている。テーパ部26
aには、図示しないスリ割が中心軸CT1を中心に放射
状に形成されている。
【0017】また、第1シリンダ25には、該第1シリ
ンダ25内を矢印E、F方向(Z軸方向)に摺動自在な
第1ピストン27が、前記コレット26よりも基本的に
下側(矢印F側)に配置された形で設けられており、第
1ピストン27の上部側には、前記コレット26のテー
パ部26aと係合自在なコレット係合部27aがテーパ
状に形成されている。第1シリンダ25には、該第1シ
リンダ25内で第1ピストン27を移動駆動するための
エアを供給するエア供給管路29が設けられている。な
お、後述する焦点位置調整時以外の状態では、第1ピス
トン27のコレット係合部27aがコレット26のテー
パ部26aと係合し、エア供給管路29を介して第1ピ
ストン27が矢印E方向に押圧されている。これによ
り、コレット26のテーパ部26aは内スリーブ部材2
1を締め付けた状態となり、内スリーブ部材21と外ス
リーブ部材22間の固定が実現している。即ち、上述し
たコレット26及び、第1シリンダ25、第1ピストン
27は、内スリーブ部材21と外スリーブ部材22の間
におけるブレーキ機構16となっている。
【0018】外スリーブ部材22の内周側には、前記第
1シリンダ25よりも下側(矢印F側)の位置に、中心
軸CT1を中心とした、基本的に円環形状に形成された
第2シリンダ32が、前記内スリーブ部材21の外周面
21bに隣接した形で形成されており、第2シリンダ3
2は、これら外スリーブ部材22と内スリーブ部材21
によって気密に包囲されている。第2シリンダ32に
は、該第2シリンダ32内を矢印E、F方向(Z軸方
向)に摺動自在な第2ピストン33が設けられている。
一方、内スリーブ部材21の外周には、リング状のスト
ッパ21aが挿嵌固定されており、このストッパ21a
は第2シリンダ32内で第2ピストン33よりも下側
(矢印F側)の位置に配置されている。なお、第2ピス
トン33の上面は受圧面33aとなっており、該受圧面
33aに対して矢印E、F方向に対向する形で位置した
第2シリンダ32の上端部の内壁面は受圧面32aとな
っている。また、これら第2シリンダ32及び第2ピス
トン33は圧力バランス調整機構31を構成している。
【0019】ところで、前記コラム5にはアシストガス
を供給自在な図示しないガスボンベ及び該ガスボンベか
らアシストガスを輸送するガス管等からなるガス輸送供
給手段35が設けられており、ガス輸送供給手段35の
先端は前記トーチユニット20の外スリーブ部材22に
接続されている。外スリーブ部材22には、該部材の材
料内部に穿設された形で、かつ前記ガス輸送供給手段3
5に接続した形で穴状のガス管路37が設けられてお
り、該ガス管路37の先端側は第1管路39及び第2管
路40に2股に分岐している。なお、これらガス輸送供
給手段35及びガス管路37はアシストガス供給手段3
6を構成している。
【0020】ガス管路37のうち第1管路39の先端は
外スリーブ部材22の内周面22aに開口部39aを形
成した形で開口している。なお、外スリーブ部材22の
下端側は、常に内スリーブ部材21の下端21cよりも
下方に突出した状態になるようになっており、開口部3
9aは、常に内スリーブ部材21の下端21cかそれよ
りも下方に位置するように配置され、従って開口部39
aは内スリーブ部材21によって閉塞されないように配
置されている(図3では開口部39aが内スリーブ部材
21の下端21cの位置に配置された状態を示してお
り、この状態では開口部39aの上半分だけが内スリー
ブ部材21と閉塞されることなく重なり合っている)。
一方、ガス管路37のうち第2管路40の先端は、第2
シリンダ32のうち、その上端付近、即ち第2ピストン
33よりも上側(矢印E側)で開口している。
【0021】内スリーブ部材21内は、前記ヘッド光路
管9を介して送られてきたレーザ光RZが更に下方向、
即ち矢印F方向に送られる光路KLとなっており、該光
路KLの途中には内スリーブ部材21によって支持固定
された形で集光レンズ50が設けられている。更に、光
路KLは、内スリーブ部材21の下端21cから下方
に、従って外スリーブ部材22内に亙って形成されてい
る。また、外スリーブ部材22の下端にはノズル45が
設けられており、前記光路KLは外スリーブ部材22か
ら更に矢印F方向にノズル45に至る形で形成されてい
る。
【0022】一方、サドルベース10には、図2に示す
ようにアクチェータ55が設けられており、アクチェー
タ55のロッド55aは図の矢印A、B方向に移動駆動
され得るようになっている(なお、このアクチェータ5
5はコラム5等に設けることも可能である)。ロッド5
5aの先端には上方から見た形が略U字型(即ち図の矢
印F方向に見た形が、図の矢印A方向に開口した略U字
型)となった係合部材56が設けられており、レーザ加
工ヘッド7が図2に示すような基準位置KJ(機械原点
の位置)に配置され、かつ外スリーブ部材22が内スリ
ーブ部材21に対して、上述したキー溝20a及びキー
20bにより規制された略長さL1のストローク一杯に
下方(矢印F方向)に配置された下限位置KG(外スリ
ーブ部材22の内スリーブ部材21に対する相対的な位
置)にある際、従って外スリーブ部材22がZ軸上の所
定の係合位置QPにある際には、前記係合部材56はト
ーチユニット20に対して矢印A、B方向に対向した形
で配置されるようになっている。また、トーチユニット
20には、図3に示すように、ノズル45のやや上方の
位置に、外スリーブ部材22の外周に中心軸CT1を中
心とした円環状に切り込んだ形で断面がV字型の係合溝
43が形成されており、外スリーブ部材22が係合位置
QPに配置された際には、上述した係合部材56と矢印
A、B方向に対向対応した位置に係合溝43が配置され
るようになっている。
【0023】レーザ加工機1は上述したように構成され
ているので、該レーザ加工機1により板状のワーク60
を加工するには以下のように行う。即ち、図1に示すよ
うにテーブル3のワーク搭載面3aにワーク60を設置
しておき、レーザ加工ヘッド7を移動駆動装置12を介
して矢印E、F方向(Z軸方向)に移動駆動させること
により、トーチユニット20のノズル45の先端45a
と加工すべきワーク60の表面との距離を一定に保ちつ
つ、テーブル3を矢印A、B方向(X軸方向)に移動駆
動させ、またサドル6を矢印C、D方向(Y軸方向)に
移動駆動させると共に、ノズル45の先端45aからレ
ーザ光RZを射出するようにしてワーク60への加工が
施される。レーザ光RZは、上述した図示しないレーザ
発振器からレーザ光路管13を介してレーザ加工ヘッド
7に到達し、更に該レーザ加工ヘッド7のヘッド光路管
9を介してトーチユニット20に到達し、トーチユニッ
ト20では光路KLを通り、集光レンズ50を通過する
形でノズル45の先端45aから外部に射出される。ま
た、ワーク60に向けてレーザ光RZを射出する際に
は、アシストガスAGも同時にワーク60に向けて放出
される。このアシストガスAGはアシストガス供給手段
36から開口部39aを介して外スリーブ部材22内に
放出され、該外スリーブ部材22からノズル45を通過
してその先端45aから外部に向けて下方、即ち矢印F
方向に放出される。
【0024】ところで、ワーク60の材質や板厚等によ
り、ワーク60の表面に対するレーザ光の焦点位置の調
整を行う必要がある。本実施例のレーザ加工機1では、
この焦点位置調整を、ノズル45の先端45aからレー
ザ光の焦点FCまでの距離D1を調整する形で行うよう
になっている(ノズル45の先端45aからワーク60
の表面までの距離は加工時に一定に保たれるので、該先
端45aから焦点FCまでの距離D1を調整することに
より、ワーク60の表面から焦点FCまでの距離を調整
するようになっている)。また集光レンズ50からレー
ザ光の焦点FCまでの距離D3は一定なので、上述した
距離D1は、集光レンズ50からノズル45の先端45
aまでの距離D2を然るべき大きさに設定することによ
り調整される。以下、本実施例のレーザ加工機1におい
て、ワーク60の表面に対するレーザ光の焦点位置調整
を説明する。
【0025】即ちまず、レーザ加工ヘッド7を移動駆動
装置12を介して矢印E方向(Z軸方向)に移動駆動さ
せて図2に示す所定の基準位置KJに位置決めする。次
いで、エア供給管路29を介してエアを供給することに
より第1ピストン27を矢印F方向に押圧駆動する。こ
れにより、該第1ピストン27のコレット係合部27a
とコレット26のテーパ26aとの係合が解除され(或
いは押圧が解除され)、コレット26による内スリーブ
部材21の締め付け固定が解除される。この時点で、内
スリーブ部材21と外スリーブ部材22との間の矢印
E、F方向における移動の拘束は、キー溝20aとキー
20bによるもの以外は無くなったので、外スリーブ部
材22はその自重により内スリーブ部材21に対して下
方(矢印E方向)に移動し、キー溝20aとキー20b
の係合により上述した下限位置KGで位置決めされる。
つまり外スリーブ部材22は係合位置QPに位置決めさ
れた。次いで、アクチェータ55によりロッド55aを
介して係合部材56を矢印A方向に移動駆動させる。ト
ーチユニット20の係合溝43が係合部材56に対向対
応した状態になっているので、矢印A方向に移動駆動さ
れた係合部材56は係合溝43に係合する。これにより
トーチユニット20の外スリーブ部材22及びノズル4
5側はサドルベース10側に固定された。(なお、アク
チェータ55がコラム5に設けられている場合には、ま
ずサドル6を矢印C、D方向に移動駆動させてコラム5
に対する所定の位置に位置決めしておき、続いて外スリ
ーブ部材22の係合位置QPでの位置決め及び、係合部
材56と係合溝43の係合を行って、トーチユニット2
0の外スリーブ部材22及びノズル45側をコラム5側
に固定する。)
【0026】ところで、外スリーブ部材22が内スリー
ブ部材21に対して下限位置KGに位置決めされた時点
で、内スリーブ部材21側の集光レンズ50から外スリ
ーブ部材22側のノズル45の先端45aまでの距離D
2が最大限長くなっている。従って、この距離D2を、
所望する距離D1の大きさに対応した然るべき長さにな
るように(即ち、本実施例の場合には距離D2を短くす
る形で)以下のように設定を行う。即ち、レーザ加工ヘ
ッド7を移動駆動装置12を介して下方である矢印F方
向(Z軸方向)に所望の量だけ移動駆動させる。上述し
たようにトーチユニット20の外スリーブ部材22及び
ノズル45側はサドルベース10側に固定されているの
で、ノズル45に対して内スリーブ部材21の集光レン
ズ50が矢印F方向(Z軸方向)に移動することとな
る。つまり、集光レンズ50からノズル45の先端45
aまでの距離D2が短くなる形で設定された。距離D2
が設定されたことにより、結果的にノズル45の先端4
5aと焦点FCの間の距離D1が所望の大きさに調整さ
れた。なお、外スリーブ部材22が内スリーブ部材21
に対して下限位置KGに位置決めされた時点での、集光
レンズ50からノズル45の先端45aまでの距離D2
は一定不変の値であり、既知の値となっていると共に、
レーザ加工ヘッド7の移動駆動装置12を介したZ軸方
向の移動は、極めて正確な移動量で行えるので、距離D
2の設定、従って距離D1の調整は極めて正確に行え
る。
【0027】次いで、エア供給管路29を介してエアを
供給することにより第1ピストン27を矢印E方向に移
動駆動する。これにより該第1ピストン27のコレット
係合部27aとコレット26のテーパ26aとを係合し
(或いは係合した状態で押圧し)、コレット26により
内スリーブ部材21を締め付け固定する。これにより、
内スリーブ部材21と外スリーブ部材22との間は互い
に固定された。その後、アクチェータ55によりロッド
55aを介して係合部材56を矢印B方向に移動駆動さ
せ、トーチユニット20の係合溝43から係合部材56
を係合解除させる。これによりトーチユニット20の外
スリーブ部材22及びノズル45側は内スリーブ部材2
1と共に、レーザ加工ヘッド7と一緒に矢印E、F方向
(Z軸方向)に移動駆動できる状態になった。この後、
ワーク60の加工を行うと、ノズル45の先端45aか
らワーク60の表面までの距離は焦点位置調整に関係無
く変化せず一定に保たれたままであるが、ノズル45の
先端45aから焦点FCまでの距離D1が調整されてい
るので、結果的にワーク60の表面から焦点FCまでの
距離が調整されている。
【0028】このように、本実施例のレーザ加工機1で
は焦点位置調整を手作業により行わずに済むため、この
焦点位置調整を行うための作業者が不要となり、生産の
無人化を進めるうえで好都合である。また、焦点位置調
整を行う際に、内スリーブ部材21側と外スリーブ部材
22側を相対的に移動駆動し、集光レンズ50とノズル
45の先端45aの間の距離D2を所望の大きさに設定
するための移動駆動手段がレーザ加工ヘッド7をZ軸方
向に移動駆動させるための移動駆動装置12で兼用され
ており、トーチユニット20等にモータやアクチェータ
等の駆動装置を別個に設けない構造となっている。従っ
て、トーチユニット20等が、複雑化、重量化せず好都
合なレーザ加工機1となっている。
【0029】また上述したように、アシストガスAGは
開口部39aを介して外スリーブ部材22内に放出され
ているので、外スリーブ部材22内に放出されたアシス
トガスAGが内スリーブ部材21の下端21cから該内
スリーブ部材21内に入り集光レンズ50を上方、即ち
矢印E方向に押圧し、ノズル45を下方、即ち矢印F方
向に押圧している。内スリーブ部材21に対する押圧力
はヘッド光路管9を介してレーザ加工ヘッド7側により
支持されており、ノズル45及び外スリーブ部材22に
対する押圧力は、基本的には、内スリーブ部材21と外
スリーブ部材22の間のブレーキ機構16等を介した固
定によって該内スリーブ部材21側により支持するよう
になっている。ところで、ガス管路37に送られたアシ
ストガスAGは第2管路40を通り第2シリンダ32に
も供給されており(即ち、受圧面32a、33aの間に
供給)、該第2シリンダ32に供給されたアシストガス
AGは第2ピストン33を下方、即ち矢印F方向に押圧
駆動する。上述したように第2ピストン33の下側(矢
印F側)には内スリーブ部材21に固定されたストッパ
21aが配置されているので、第2ピストン33が矢印
F方向に押圧駆動されることにより、外スリーブ部材2
2をストッパ21aに対して矢印E方向に押圧すること
になる。即ち、ノズル45側を内スリーブ部材21に接
近させようとする力が作用する。従って、上述した外ス
リーブ部材22に対する矢印F方向の押圧力は、圧力バ
ランス調整機構31による、ノズル45側を内スリーブ
部材21に接近させようとする力により打ち消され、そ
の結果、内スリーブ部材21と外スリーブ部材22の間
のアシストガスAGに起因する矢印E、F方向における
力は極力小さく抑えられる。これにより、ブレーキ機構
16による内スリーブ部材21と外スリーブ部材22の
間の制動力はアシストガスAGの圧力を考慮する必要が
なくなるので小さくて済み、その分、該ブレーキ機構1
6等の小型化が実現し、好都合である。
【0030】また、内スリーブ部材21に対して外スリ
ーブ部材22を拘束するブレーキ機構16は、コレット
26及びこれに係合する第1ピストン27等により構成
されているので、例えば、レーザ加工ヘッド7をワーク
に対して矢印F方向に移動させた際に、誤ってノズル4
5の先端45aをワークに衝突させてしまったような場
合に効果を発揮する。即ち、ノズル45の先端45aが
ワークに衝突すると、該ノズル45に固定されたさせて
外スリーブ部材22、更に該外スリーブ部材22に固定
されたコレット26が矢印E方向へ衝撃を受ける。コレ
ット26のテーパ部26aは上述したように矢印F方向
にとがったくさび状となっているので、この衝撃によっ
て第1ピストン27との係合が解除される(或いは緩め
られる)。つまり、内スリーブ部材21に対する外スリ
ーブ部材22の拘束が解除されるので(或いは緩められ
るので)、ノズル45がワークに衝突するやいなや、該
ノズル45及び外スリーブ部材22がワークとの衝突に
よる衝撃を吸収する形で、内スリーブ部材21に対し
て、従って前記ワークに対して矢印E方向に移動する。
これによりノズル45やワークに対する衝突時のダメー
ジは最小限に抑えられ安全性が高い。
【0031】なお上述した実施例では、圧力バランス調
整機構31の第2シリンダ32を外スリーブ部材22
に、第2ピストン33を内スリーブ部材21に設けてい
るが、圧力バランス調整機構31のシリンダを内スリー
ブ部材21等の第1トーチ部材に、ピストンを外スリー
ブ部材22等の第2トーチ部材に設けるようにしてもよ
い。
【0032】次に本発明によるレーザ加工機に関し、上
述した実施例とは別の実施例を説明する。この別の実施
例のレーザ加工機は、上述した実施例と比較すると、ト
ーチユニット20を除いてその他の構成は上述したレー
ザ加工機1と略同様の構成となっている。そこで図4を
参照しながら、上述した実施例とは異なる構成をもつト
ーチユニット200について説明する。即ち、このトー
チユニット200はレーザ加工ヘッド7等のレーザ加工
ヘッドに設けられたヘッド光路管9等のヘッド光路管の
下端に設けられており、トーチユニット200は、図4
に示すように矢印E、F方向に伸延した略円筒状の外ス
リーブ部材210を、前記ヘッド光路管の下端に接続さ
れた形で有している。外スリーブ部材210の内周側に
は、矢印E、F方向に伸延した筒状の内スリーブ部材2
20が、該外スリーブ部材210をガイドとして矢印
E、F方向に摺動移動自在に挿嵌されて設けられてお
り、内スリーブ部材220内には集光レンズ500が支
持固定されている。なお、外スリーブ部材210の下端
は内スリーブ部材220の位置より更に下方に延びてお
り、該下端にはノズル450が設けられている。このよ
うに、外スリーブ部材210内及び、内スリーブ部材2
20が挿嵌されている位置では該内スリーブ部材220
内は光路KLとなっており、前記ヘッド光路管を介して
送られてきたレーザ光RZは該光路KLを通って、従っ
て上述した集光レンズ500を通過する形で矢印F方向
にノズル450に至り、外部に射出されるようになって
いる。これら外スリーブ部材210と内スリーブ部材2
20の間のブレーキ機構160は、上述した実施例での
ブレーキ機構16と略同様に、外スリーブ部材210の
内周側に形成された第1シリンダ250、外スリーブ部
材210に形成されていると共に内スリーブ部材220
の外周部に挿嵌されたコレット260、該コレット26
0のテーパ部260aと係合自在な形で前記第1シリン
ダ250内に設けられた第1ピストン270等によって
構成されている。なお図4では表われていないが、第1
シリンダ250内で第1ピストン270を移動駆動する
ためのエアを供給するエア供給管路等が設けられてい
る。
【0033】内スリーブ部材220の外周部には中心軸
CT10に直角な方向に突出した形で棒状の係合突起7
00が設けられており、外スリーブ部材210には、前
記係合突起700に対応した形で矢印E、F方向に伸延
開口したスリット710が、該外スリーブ部材210の
内外を貫通した形で形成されている。上述した係合突起
700はスリット710を貫通した形で配置されてお
り、係合突起700は該スリット710の形成範囲内で
矢印E、F方向に移動できるようになっている。即ち内
スリーブ部材220は、係合突起700がスリット71
0内で上下移動できる範囲内で外スリーブ部材210に
対して矢印E、F方向に移動自在となっている。なお、
外スリーブ部材210には、係合突起700の矢印F側
に位置した形でストッパ720が形成されており、係合
突起700がスリット710内で矢印F方向に移動の限
界まで達すると同時に、該係合突起700がこのストッ
パ720に当接するようになっている。一方、サドルベ
ース(或いはコラム)には、上述した実施例でのアクチ
ェータ55と同様の図示しないアクチェータ等が設けら
れており、そのロッド550aはトーチユニット200
に対して水平方向に接近・後退駆動され得るようになっ
ている。ロッド550aの先端には上述した係合突起7
00の先端に係合自在な溝をもつ係合部560が設けら
れており、レーザ加工ヘッドが所定の基準位置(機械原
点の位置)に配置され、かつ内スリーブ部材220が外
スリーブ部材210に対して、上述した係合突起700
がストッパ720に当接する下限位置にある際には、係
合部560と係合突起700が水平方向に対向対応する
ようになっている。なお図4では二点鎖線で簡略化して
示しているが、アシストガスAGを供給するアシストガ
ス供給手段360が設けられており、該アシストガス供
給手段360により外スリーブ部材210内には、内ス
リーブ部材220よりも下方位置でアシストガスAGが
供給されるようになっている。
【0034】トーチユニット200は上述したように構
成されているので、ワークの表面に対するレーザ光の焦
点位置の調整を行うには、まずレーザ加工ヘッドを所定
の基準位置に位置決めし、ブレーキ機構160において
第1ピストン270とコレット260の係合を解除す
る。すると、外スリーブ部材210と内スリーブ部材2
20との間の矢印E、F方向における移動の拘束が無く
なるので、内スリーブ部材220はその自重により外ス
リーブ部材210に対して下方(矢印E方向)に移動
し、係合突起700がストッパ720に当接する下限位
置で位置決めされる。次いで、ロッド550aをトーチ
ユニット200に対して接近駆動させて、該ロッド55
0aの先端の係合部560を係合突起700に係合す
る。これによりトーチユニット200の内スリーブ部材
220側はサドルベース(或いはコラム)側に固定され
た。
【0035】ところで、内スリーブ部材220が外スリ
ーブ部材210に対して下限位置に位置決めされた時点
で、集光レンズ500からノズル450の先端までの距
離D2が最大限短くなっている。従って、この距離D2
を、所望する距離D1(ノズル450の先端とレーザ光
RZの焦点の間の距離)の大きさに対応した然るべき長
さになるように(即ち、本実施例の場合には距離D2を
長くする形で)以下のように設定を行う。即ち、レーザ
加工ヘッドを下方である矢印F方向(Z軸方向)に所望
の量だけ移動駆動させる。上述したように内スリーブ部
材220及び集光レンズ500側はサドルベース側に固
定されているので、集光レンズ500に対してノズル4
50が矢印F方向(Z軸方向)に移動することとなる。
つまり、集光レンズ500からノズル450の先端まで
の距離D2が長くなる形で設定された。距離D2が設定
されたことにより、結果的にノズル450の先端と焦点
の間の距離D1が所望の大きさに調整された。調整の後
は、ブレーキ機構160において外スリーブ部材210
と内スリーブ部材220との間を固定し、係合部560
と係合突起700の係合を解除してワークの加工を行う
ことになる。
【0036】このように、図4で示す実施例のレーザ加
工機でも焦点位置調整を手作業により行わずに済むた
め、この焦点位置調整を行うための作業者が不要とな
り、生産の無人化を進めるうえで好都合である。また、
焦点位置調整を行う際に、外スリーブ部材210側と内
スリーブ部材220側を相対的に移動駆動し、集光レン
ズ500とノズル450の先端の間の距離D2を所望の
大きさに設定するための移動駆動手段がレーザ加工ヘッ
ドをZ軸方向に移動駆動させるための移動駆動装置で兼
用されており、トーチユニット200等にモータやアク
チェータ等の駆動装置を別個に設けない構造となってい
る。従って、トーチユニット200等が、複雑化、重量
化せず好都合なレーザ加工機となっている。なお図4に
示すトーチユニット200に対しても、1番目の実施例
で述べた圧力バランス調整機構31と同様の圧力バラン
ス調整機構310を設けることも可能である。例えば、
図4に示すように、第2シリンダ320を外スリーブ部
材210に、第2ピストン330を内スリーブ部材22
0にそれぞれ設けると共に、第2シリンダ320側に矢
印F方向を向いた受圧面320aを、第2ピストン33
0側に矢印E方向を向いた受圧面330aを、互いに対
向した形でそれぞれ形成する。そして、これら受圧面3
20a、330a間に、第2シリンダ320内で第2ピ
ストン330を矢印F方向に駆動するためのアシストガ
スAGを供給するように、前記アシストガス供給手段3
60を接続するようにすればよい。
【0037】また上述した各実施例では、アクチェータ
55側の係合部材56(係合部560)と外スリーブ部
材22(内スリーブ部材220)の係合方法としては、
内スリーブ部材21(外スリーブ部材210)に対して
外スリーブ部材22(内スリーブ部材220)を下限位
置KGに位置決めすることにより外スリーブ部材22
(内スリーブ部材220)を係合位置QPに位置決めす
る形で行っている。しかし、係合部材56(係合部56
0)と外スリーブ部材22(内スリーブ部材220)の
係合はその他の方法でも可能である。例えば、直前の焦
点位置調整時に距離D2の大きさを設定した際のレーザ
加工ヘッド7のZ軸における座標位置を記憶する座標位
置記憶部を設ける。即ち、各焦点位置調整時には、レー
ザ加工ヘッド7を、前記座標位置記憶部に記憶した前回
の焦点位置調整時のZ軸における座標位置(即ち、アク
チェータのロッドを用いた前回の焦点位置調整が完了し
た状態のレーザ加工ヘッド7の位置)に位置決めする。
これにより、外スリーブ部材22(内スリーブ部材22
0)の係合溝43(係合突起700)は、アクチェータ
55側の係合部材56(係合部560)と対向対応する
係合位置QPに配置されるので、レーザ加工ヘッド7の
位置決め後、アクチェータ55によりロッド55a(ロ
ッド550a)を移動駆動すれば係合部材56(係合部
560)と外スリーブ部材22の係合溝43(内スリー
ブ部材220の係合突起700)の係合固定が完了す
る。なお、後の距離D2の設定は直前の焦点位置調整に
より設定された値に対して内スリーブ部材21(外スリ
ーブ部材210)を適宜な量だけZ軸方向に移動させる
形で行う。
【0038】
【発明の効果】以上説明したように本発明のうち第1の
発明は、サドル6等のサドルを有し、前記サドルにレ−
ザ加工ヘッド7等のレーザ加工ヘッドを、移動駆動装置
12等のヘッド移動駆動手段を介して所定のZ軸方向に
移動駆動自在に設けたレ−ザ加工機において、前記レ−
ザ加工ヘッドは内スリーブ部材21、外スリーブ部材2
10等の第1トーチ部材を有し、前記第1トーチ部材に
外スリーブ部材22、内スリーブ部材220等の第2ト
ーチ部材をZ軸方向に移動自在に設け、前記第1及び第
2トーチ部材のうち、一方のトーチ部材にノズル45、
450等のレーザ光射出ノズルを設け、他方のトーチ部
材に集光レンズ50、500等の集光レンズをそれぞれ
設け、前記第1トーチ部材の内部及び前記第2トーチ部
材の内部に、これら第1及び第2トーチ部材に亙り、か
つ前記集光レンズを通って前記レーザ光射出ノズルに達
した形で光路KL等のレーザ光路を形成し、前記第1ト
ーチ部材及び前記第2トーチ部材の間にブレーキ機構1
6、160等の移動拘束手段を、これら第1及び第2ト
ーチ部材間のZ軸方向における移動を拘束・拘束解除自
在な形で設け、前記第2トーチ部材に係合溝43、係合
突起700等の被係合部を形成し、係合部材56、係合
部560等のトーチ係合部材を、前記第2トーチ部材が
Z軸上の係合位置QP等の所定の係合位置に配置された
状態で、該第2トーチ部材に対して前記被係合部を介し
て係合・係合解除自在に設けて構成されるので、焦点位
置調整は、第2トーチ部材をトーチ係合部材でサドル
(或いはコラム)側に固定し、移動拘束手段において第
1及び第2トーチ部材間の移動拘束を解除した後、ヘッ
ド移動駆動手段を介してレ−ザ加工ヘッド側の第1トー
チ部材を第2トーチ部材に対してZ軸方向に移動駆動さ
せることにより、集光レンズとレーザ光射出ノズルの間
の距離をZ軸方向に調整する形で行われる。従って、本
発明によるレーザ加工機では焦点位置調整における集光
レンズとレーザ光射出ノズルの間の距離の調整を手作業
により行わずに済むため、生産の無人化を進めるうえで
好都合である。また、集光レンズとレーザ光射出ノズル
の間の距離の調整を行うための駆動手段がヘッド移動駆
動手段で兼用されており、レーザ光射出ノズル等の近傍
にモータやアクチェータ等の駆動装置を別個に設けない
構造となっているので、レーザ光射出ノズル等の近傍
が、複雑化、重量化せず好都合なレーザ加工機となって
いる。更に、ヘッド移動駆動手段で兼用することによ
り、Z軸方向での集光レンズとレーザ光射出ノズルの間
の距離の調整精度は高い。
【0039】また本発明のうち第2の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機において、前記第1及び第2トー
チ部材はスリーブ状の部材からなり、前記第2トーチ部
材は、Z軸方向に移動自在な形で前記第1トーチ部材の
外周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出
ノズルは前記第2トーチ部材の先端に設けられており、
前記集光レンズは前記第1トーチ部材の内部に設けられ
ているので、例えば焦点位置調整時などにレーザ加工ヘ
ッドをワークに向けて移動させ、誤ってレーザ光射出ノ
ズルの先端をワークに衝突させてしまったような場合に
は、第1トーチ部材に対して移動拘束手段により拘束さ
れていた第2トーチ部材が、該移動拘束手段による拘束
を解除したり或いは緩めたりする形で(或いは移動拘束
手段を破損させる形で)、上述した衝突による衝撃を吸
収する形で移動する。これにより、第1の発明による効
果に加えて、レーザ光射出ノズルやワークに対する衝突
時のダメージを最小限に抑えることができ安全性が高
い。
【0040】また本発明のうち第3の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機において、前記第1及び第2トー
チ部材はスリーブ状の部材からなり、前記第2トーチ部
材は、Z軸方向に移動自在な形で前記第1トーチ部材の
内周側に挿嵌されて設けられており、前記レーザ光射出
ノズルは前記第1トーチ部材の先端に設けられており、
前記集光レンズは前記第2トーチ部材の内部に設けられ
ているので、第1の発明による効果に加えて、操作ミス
等により移動拘束手段による第1及び第2トーチ部材間
の拘束が誤って解除されても、第1トーチ部材内に挿嵌
された第2トーチ部材が該第1トーチ部材内で移動する
だけで済み、レーザ光射出ノズルが不用意に移動してワ
ークに衝突するような事故を未然に防ぐことができ安全
性が高い。
【0041】また本発明のうち第4の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機において、前記レーザ光射出ノズ
ルにアシストガスを供給自在なアシストガス供給手段3
6、360等のアシストガス供給手段を設け、前記第1
トーチ部材及び前記第2トーチ部材間に、第2シリンダ
32、320等のシリンダ及び該シリンダ内をZ軸方向
に相対的に移動自在な第2ピストン33、330等のピ
ストンからなる圧力バランス調整機構31、310等の
圧力バランス調整機構を設け、前記シリンダ及び前記ピ
ストンのうち、一方を前記第1トーチ部材に、他方を前
記第2トーチ部材に設け、前記第1トーチ部材に設けら
れた前記シリンダ又はピストンに受圧面33a、320
a等の第1受圧部を形成し、前記第2トーチ部材に設け
られた前記ピストン又はシリンダに受圧面32a、33
0a等の第2受圧部を、前記第1受圧部に対向した形で
形成し、前記アシストガス供給手段を、前記圧力バラン
ス調整機構の前記第1及び第2受圧部間に接続し、前記
圧力バランス調整機構は、前記アシストガス供給手段か
らのアシストガスにより、前記レーザ光射出ノズルと前
記集光レンズを互いに接近させる方向に作動させるよう
になっている。従って、レーザ光射出ノズルに供給され
るアシストガスの圧力により、レーザ光射出ノズルと集
光レンズが互いに遠ざかる方向に力がかかるが、レーザ
光射出ノズルを集光レンズに接近させる方向に作動する
圧力バランス調整機構により力のバランスが調整され、
その結果、第1及び第2トーチ部材間のアシストガスに
起因するZ軸方向における力は極力小さく抑えられる。
これにより第1の発明による効果に加えて、移動拘束手
段による第1及び第2トーチ部材間の制動力はアシスト
ガスの圧力を考慮する必要がなくなるので小さくて済
み、その分、該移動拘束手段等の小型化が実現し、好都
合である。
【0042】また本発明のうち第5の発明は、第1の発
明によるレ−ザ加工機において、前記トーチ係合部材に
アクチェータ55等の係合駆動手段を、該トーチ係合部
材を前記第2トーチ部材に対して係合駆動・係合解除駆
動自在に設けたので、第1の発明による効果に加えて、
焦点位置調整を手作業により行わずに済むため、生産の
無人化を進めるうえで好都合である。また、係合駆動手
段をサドル(或いはコラム)側のトーチ係合部材に設け
ることにより、レーザ光射出ノズル等の近傍にモータや
アクチェータ等の駆動装置を別個に設けない構造となっ
ているので、レーザ光射出ノズル等の近傍が、複雑化、
重量化せず好都合である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明によるレーザ加工機の一例を示
した斜視図である。
【図2】図2は、サドルの内部側面等を示した図であ
る。
【図3】図3は、トーチユニット付近を示した断面図で
ある。
【図4】図4は、本発明によるレーザ加工機の別の一例
であり、そのトーチユニット付近を示した断面図であ
る。
【符号の説明】
1……レーザ加工機 6……サドル 7……レ−ザ加工ヘッド 12……ヘッド移動駆動手段(移動駆動装置) 16……移動拘束手段(ブレーキ機構) 21……第1トーチ部材(内スリーブ部材) 22……第2トーチ部材(外スリーブ部材) 31……圧力バランス調整機構 32……シリンダ(第2シリンダ) 32a……第2受圧部(受圧面) 33……ピストン(第2ピストン) 33a……第1受圧部(受圧面) 36……アシストガス供給手段 43……被係合部(係合溝) 45……レーザ光射出ノズル(ノズル) 50……集光レンズ 55……係合駆動手段(アクチェータ) 56……トーチ係合部材(係合部材) 160……移動拘束手段(ブレーキ機構) 210……第1トーチ部材(外スリーブ部材) 220……第2トーチ部材(内スリーブ部材) 310……圧力バランス調整機構 320……シリンダ(第2シリンダ) 320a……第1受圧部(受圧面) 330……ピストン(第2ピストン) 330a……第2受圧部(受圧面) 360……アシストガス供給手段 700……被係合部(係合突起) 450……レーザ光射出ノズル(ノズル) 500……集光レンズ 560……トーチ係合部材(係合部) KL……レーザ光路(光路) QP……係合位置

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】サドルを有し、 前記サドルにレ−ザ加工ヘッドを、ヘッド移動駆動手段
    を介して所定のZ軸方向に移動駆動自在に設けたレ−ザ
    加工機において、 前記レ−ザ加工ヘッドは第1トーチ部材を有し、 前記第1トーチ部材に第2トーチ部材をZ軸方向に移動
    自在に設け、 前記第1及び第2トーチ部材のうち、一方のトーチ部材
    にレーザ光射出ノズルを、他方のトーチ部材に集光レン
    ズをそれぞれ設け、 前記第1トーチ部材の内部及び前記第2トーチ部材の内
    部に、これら第1及び第2トーチ部材に亙り、かつ前記
    集光レンズを通って前記レーザ光射出ノズルに達した形
    でレーザ光路を形成し、 前記第1トーチ部材及び前記第2トーチ部材の間に移動
    拘束手段を、これら第1及び第2トーチ部材間のZ軸方
    向における移動を拘束・拘束解除自在な形で設け、 前記第2トーチ部材に被係合部を形成し、 トーチ係合部材を、前記第2トーチ部材がZ軸上の所定
    の係合位置に配置された状態で、該第2トーチ部材に対
    して前記被係合部を介して係合・係合解除自在に設けて
    構成したレ−ザ加工機。
  2. 【請求項2】前記第1及び第2トーチ部材はスリーブ状
    の部材からなり、 前記第2トーチ部材は、Z軸方向に移動自在な形で前記
    第1トーチ部材の外周側に挿嵌されて設けられており、 前記レーザ光射出ノズルは前記第2トーチ部材の先端に
    設けられており、 前記集光レンズは前記第1トーチ部材の内部に設けられ
    ていることを特徴とする請求項1記載のレ−ザ加工機。
  3. 【請求項3】前記第1及び第2トーチ部材はスリーブ状
    の部材からなり、 前記第2トーチ部材は、Z軸方向に移動自在な形で前記
    第1トーチ部材の内周側に挿嵌されて設けられており、 前記レーザ光射出ノズルは前記第1トーチ部材の先端に
    設けられており、 前記集光レンズは前記第2トーチ部材の内部に設けられ
    ていることを特徴とする請求項1記載のレ−ザ加工機。
  4. 【請求項4】前記レーザ光射出ノズルにアシストガスを
    供給自在なアシストガス供給手段を設け、 前記第1トーチ部材及び前記第2トーチ部材間に、シリ
    ンダ及び該シリンダ内をZ軸方向に相対的に移動自在な
    ピストンからなる圧力バランス調整機構を設け、 前記シリンダ及び前記ピストンのうち、一方を前記第1
    トーチ部材に、他方を前記第2トーチ部材に設け、 前記第1トーチ部材に設けられた前記シリンダ又はピス
    トンに第1受圧部を形成し、 前記第2トーチ部材に設けられた前記ピストン又はシリ
    ンダに第2受圧部を、前記第1受圧部に対向した形で形
    成し、 前記アシストガス供給手段を、前記圧力バランス調整機
    構の前記第1及び第2受圧部間に接続し、 前記圧力バランス調整機構は、前記アシストガス供給手
    段からのアシストガスにより、前記レーザ光射出ノズル
    と前記集光レンズを互いに接近させる方向に作動させる
    ようになっていることを特徴とする請求項1記載のレー
    ザ加工機。
  5. 【請求項5】前記トーチ係合部材に係合駆動手段を、該
    トーチ係合部材を前記第2トーチ部材に対して係合駆動
    ・係合解除駆動自在に設けたことを特徴とする請求項1
    記載のレ−ザ加工機。
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