JPH11287927A - 光モジュール用光コネクタ及びこれの製造方法 - Google Patents
光モジュール用光コネクタ及びこれの製造方法Info
- Publication number
- JPH11287927A JPH11287927A JP9139998A JP9139998A JPH11287927A JP H11287927 A JPH11287927 A JP H11287927A JP 9139998 A JP9139998 A JP 9139998A JP 9139998 A JP9139998 A JP 9139998A JP H11287927 A JPH11287927 A JP H11287927A
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- JP
- Japan
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- optical
- optical fiber
- groove
- optical waveguide
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体基板に形成した光導波路に光ファイバ
素線を光学的に接続する光モジュール用光コネクタにお
いて、組立が容易な構造とその製造方法を提案する。 【解決手段】 光導波路の端部が露出した半導体基板の
端面に溝１１を介して突出部１２を形成し、この突出部
１２にＶ溝４を形成する。Ｖ溝の深さを適当値に選定す
ることにより、Ｖ溝４に挿入した短尺光ファイバ３の軸
芯と光導波路２の軸芯とを位置合わせすることができ
る。短尺光ファイバ３の突出部分に光ファイバ接続管５
を被せ、この光ファイバ接続管５を半導体基板の端面に
固定した構造にすることにより、位置合わせ作業を行わ
せることなく組立が完了する。
素線を光学的に接続する光モジュール用光コネクタにお
いて、組立が容易な構造とその製造方法を提案する。 【解決手段】 光導波路の端部が露出した半導体基板の
端面に溝１１を介して突出部１２を形成し、この突出部
１２にＶ溝４を形成する。Ｖ溝の深さを適当値に選定す
ることにより、Ｖ溝４に挿入した短尺光ファイバ３の軸
芯と光導波路２の軸芯とを位置合わせすることができ
る。短尺光ファイバ３の突出部分に光ファイバ接続管５
を被せ、この光ファイバ接続管５を半導体基板の端面に
固定した構造にすることにより、位置合わせ作業を行わ
せることなく組立が完了する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は基板に形成された
光導波路に光ファイバを光学的に接続することに用いら
れる光モジュール用光コネクタに関する。
光導波路に光ファイバを光学的に接続することに用いら
れる光モジュール用光コネクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より基板に形成した光導波路に光フ
ァイバを接続するには図５に示すように、光導波路２を
形成した半導体基板１の端面１Ａに光導波路２の端部を
露出させ、光導波路２の軸芯と一致させて半導体基板１
の端面１Ａに光ファイバ接続管５を装着し、この光ファ
イバ接続管５に光ファイバ素線６を挿入し、光導波路２
と光ファイバ素線６とを光学的に接続し、また切離しで
きる構造としている。
ァイバを接続するには図５に示すように、光導波路２を
形成した半導体基板１の端面１Ａに光導波路２の端部を
露出させ、光導波路２の軸芯と一致させて半導体基板１
の端面１Ａに光ファイバ接続管５を装着し、この光ファ
イバ接続管５に光ファイバ素線６を挿入し、光導波路２
と光ファイバ素線６とを光学的に接続し、また切離しで
きる構造としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】光ファイバ接続管５を
半導体基板１の端面１Ａに装着する場合、光ファイバ接
続管５の軸芯と光導波路２の軸芯とを合致させる必要が
ある。図６に光導波路２の端部を正面から見た状態を示
しているが、現実に光ファイバ接続管５の軸芯と光導波
路２の軸芯とを合致させて光ファイバ接続管５を半導体
基板１の端面に接着する作業はむずかしい。
半導体基板１の端面１Ａに装着する場合、光ファイバ接
続管５の軸芯と光導波路２の軸芯とを合致させる必要が
ある。図６に光導波路２の端部を正面から見た状態を示
しているが、現実に光ファイバ接続管５の軸芯と光導波
路２の軸芯とを合致させて光ファイバ接続管５を半導体
基板１の端面に接着する作業はむずかしい。
【０００４】具体的な方法としては図６に示すように、
光ファイバ接続管５の中心孔を通じて光導波路２の端部
を例えば工業用テレビカメラ等によって撮像して拡大表
示させ、その画像を利用して両者の軸芯を合致させ、合
致した状態で光ファイバ接続管５を半導体基板１の端面
１Ａに接着している。また、他の方法としては、光ファ
イバ接続管５に測定用の光ファイバを挿入し、この光フ
ァイバを介して受光器（特に図示しない）に接続し、光
導波路２から光を出射させて受光量を受光器でモニタさ
せ、受光量が最大となる位置で光ファイバ接続管５を半
導体基板１の端面に接着し、接着後に測定用光ファイバ
を引き抜く方法もある。
光ファイバ接続管５の中心孔を通じて光導波路２の端部
を例えば工業用テレビカメラ等によって撮像して拡大表
示させ、その画像を利用して両者の軸芯を合致させ、合
致した状態で光ファイバ接続管５を半導体基板１の端面
１Ａに接着している。また、他の方法としては、光ファ
イバ接続管５に測定用の光ファイバを挿入し、この光フ
ァイバを介して受光器（特に図示しない）に接続し、光
導波路２から光を出射させて受光量を受光器でモニタさ
せ、受光量が最大となる位置で光ファイバ接続管５を半
導体基板１の端面に接着し、接着後に測定用光ファイバ
を引き抜く方法もある。
【０００５】このように、従来は光ファイバ接続管５を
半導体基板１の端面１Ａに接着する作業に手間が掛かる
欠点がある。この発明の目的は組立が容易な光モジュー
ル用光コネクタの構造と、その製造方法を提供しようと
するものである。
半導体基板１の端面１Ａに接着する作業に手間が掛かる
欠点がある。この発明の目的は組立が容易な光モジュー
ル用光コネクタの構造と、その製造方法を提供しようと
するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明では光導波路の
端部が露出した半導体基板の端面に光導波路の軸芯と直
交する向きに形成される溝を介して基板と同一材料で突
出部を形成し、この突出部の光導波路の軸芯と一致する
位置にＶ溝を形成し、このＶ溝に短尺光ファイバ（長さ
が短い光ファイバ）を装着することにより、この短尺光
ファイバの軸芯と光導波路の軸芯とを合致させる。短尺
光ファイバをＶ溝内に固定し、更に突出部から突出した
短尺光ファイバに光ファイバ接続管を装着し、光ファイ
バ接続管の端部を基板の端面に接着剤等で固定すれば組
立が完了する。
端部が露出した半導体基板の端面に光導波路の軸芯と直
交する向きに形成される溝を介して基板と同一材料で突
出部を形成し、この突出部の光導波路の軸芯と一致する
位置にＶ溝を形成し、このＶ溝に短尺光ファイバ（長さ
が短い光ファイバ）を装着することにより、この短尺光
ファイバの軸芯と光導波路の軸芯とを合致させる。短尺
光ファイバをＶ溝内に固定し、更に突出部から突出した
短尺光ファイバに光ファイバ接続管を装着し、光ファイ
バ接続管の端部を基板の端面に接着剤等で固定すれば組
立が完了する。
【０００７】このように、この発明によれば光導波路の
端部が露出した基板の端面に、光導波路の軸芯と直交す
る溝を介して基板と同一材料の突出部を形成し、この突
出部にＶ溝を形成し、このＶ溝に光ファイバ（短い光フ
ァイバ）を装着すれば、短尺光ファイバの軸芯は光導波
路の軸芯に合致して支持される。この結果、短尺光ファ
イバに光ファイバ接続管を装着し、基板の端面に光ファ
イバ接続管を固定すれば光モジュール用光コネクタを完
成させることができる。
端部が露出した基板の端面に、光導波路の軸芯と直交す
る溝を介して基板と同一材料の突出部を形成し、この突
出部にＶ溝を形成し、このＶ溝に光ファイバ（短い光フ
ァイバ）を装着すれば、短尺光ファイバの軸芯は光導波
路の軸芯に合致して支持される。この結果、短尺光ファ
イバに光ファイバ接続管を装着し、基板の端面に光ファ
イバ接続管を固定すれば光モジュール用光コネクタを完
成させることができる。
【０００８】従って、この発明によれば組立が容易で、
しかも安価に作ることができる光モジュール用光コネク
タを提供することができる。
しかも安価に作ることができる光モジュール用光コネク
タを提供することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１乃至図４を用いて、この発明
による光モジュール用光コネクタの構造と、その製造方
法を説明する。図１はこの発明による光モジュール用光
コネクタの構造の一例を示し、図２乃至図４はその製造
方法を示している。先ず、図２乃至図４を用いて製造方
法について説明する。図中１は、例えばシリコンで構成
される半導体基板を示す。半導体基板１の端部にＶ溝４
を形成する。このＶ溝４を形成するにはエッチング法の
中でも周知の異方性エッチングと呼ばれているエッチン
グ方法を用いる。この異方性エッチング法はよく知られ
ているように、半導体基板１の表面に露出する結晶面と
エッチング液を適当に選択することにより実現される。
エッチング液としては、例えば水酸化ナトリウム等を用
いることができる。
による光モジュール用光コネクタの構造と、その製造方
法を説明する。図１はこの発明による光モジュール用光
コネクタの構造の一例を示し、図２乃至図４はその製造
方法を示している。先ず、図２乃至図４を用いて製造方
法について説明する。図中１は、例えばシリコンで構成
される半導体基板を示す。半導体基板１の端部にＶ溝４
を形成する。このＶ溝４を形成するにはエッチング法の
中でも周知の異方性エッチングと呼ばれているエッチン
グ方法を用いる。この異方性エッチング法はよく知られ
ているように、半導体基板１の表面に露出する結晶面と
エッチング液を適当に選択することにより実現される。
エッチング液としては、例えば水酸化ナトリウム等を用
いることができる。
【００１０】異方性エッチング法によれば、Ｖ字状にエ
ッチングが進行し、そのエッチングの深さはエッチング
時間に従って正確に制御することができる。従って、こ
のＶ溝４に装着する光ファイバ３（図１または図４参
照）の直径と、半導体基板１に形成する光導波路２の軸
芯位置が予め決められていればＶ溝４の深さを決定する
ことができ、エッチング時間を設定することにより、そ
の深さに形成することができる。
ッチングが進行し、そのエッチングの深さはエッチング
時間に従って正確に制御することができる。従って、こ
のＶ溝４に装着する光ファイバ３（図１または図４参
照）の直径と、半導体基板１に形成する光導波路２の軸
芯位置が予め決められていればＶ溝４の深さを決定する
ことができ、エッチング時間を設定することにより、そ
の深さに形成することができる。
【００１１】Ｖ溝４を形成した後に光導波路２を形成す
る。この光導波路２は一端がＶ溝４に接するか、或いは
近接し、他端が光素子７の装着予定位置まで延長して形
成する（図２参照）。次に、Ｖ溝４と光導波路２との間
に溝１１を形成する。溝１１はカッタ等により切削加工
により形成する。この切削加工により溝１１の一方の内
面に光導波路２の端部を露出させる。この光導波路２の
端部２Ａ（図３）が露出された面が図５に示した半導体
基板１の端面１Ａに相当し、溝１１を介して突出した部
分をここでは突出部１２と称することにする。
る。この光導波路２は一端がＶ溝４に接するか、或いは
近接し、他端が光素子７の装着予定位置まで延長して形
成する（図２参照）。次に、Ｖ溝４と光導波路２との間
に溝１１を形成する。溝１１はカッタ等により切削加工
により形成する。この切削加工により溝１１の一方の内
面に光導波路２の端部を露出させる。この光導波路２の
端部２Ａ（図３）が露出された面が図５に示した半導体
基板１の端面１Ａに相当し、溝１１を介して突出した部
分をここでは突出部１２と称することにする。
【００１２】光導波路２を形成した後にＶ溝４に短尺光
ファイバ３を装着する。短尺光ファイバ３は一端が端面
１Ａに接し、他端が突出部１２の端面から図１に示す光
ファイバ接続管５の長さの約半分程度突出する程度の長
さに選定する。短尺光ファイバ３をＶ溝４に配置した場
合、Ｖ溝４の深さを適当値に選定したから、短尺光ファ
イバ３の軸芯が光導波路２の軸芯にほぼ一致して配置さ
れる。従って、この段階で短尺光ファイバ３をＶ溝４内
に接着剤等で固定すると共に、半導体基板１の端面１Ａ
との接触部分も接着剤等で固定することができる（図４
参照）。
ファイバ３を装着する。短尺光ファイバ３は一端が端面
１Ａに接し、他端が突出部１２の端面から図１に示す光
ファイバ接続管５の長さの約半分程度突出する程度の長
さに選定する。短尺光ファイバ３をＶ溝４に配置した場
合、Ｖ溝４の深さを適当値に選定したから、短尺光ファ
イバ３の軸芯が光導波路２の軸芯にほぼ一致して配置さ
れる。従って、この段階で短尺光ファイバ３をＶ溝４内
に接着剤等で固定すると共に、半導体基板１の端面１Ａ
との接触部分も接着剤等で固定することができる（図４
参照）。
【００１３】短尺光ファイバ３をＶ溝４内に装着した後
に光ファイバ接続管５を短尺光ファイバ３の突出部分に
被せ、光ファイバ接続管５を突出部１２の端面に接着
し、また半導体基板１の上面に光素子７を実装すれば図
１に示す完成状態となる。光ファイバ接続管５に光ファ
イバ素線６を挿入すれば、光素子７を光導波路２と短尺
光ファイバ３を通じて光ファイバ素線６に接続すること
ができる。
に光ファイバ接続管５を短尺光ファイバ３の突出部分に
被せ、光ファイバ接続管５を突出部１２の端面に接着
し、また半導体基板１の上面に光素子７を実装すれば図
１に示す完成状態となる。光ファイバ接続管５に光ファ
イバ素線６を挿入すれば、光素子７を光導波路２と短尺
光ファイバ３を通じて光ファイバ素線６に接続すること
ができる。
【００１４】なお、光ファイバ素線６の先端を球面加工
するか、或いは短尺光ファイバ３と光ファイバ素線６の
接合面にマッチングオイルを満たすことにより、その接
合部分における損失を低減することができる。
するか、或いは短尺光ファイバ３と光ファイバ素線６の
接合面にマッチングオイルを満たすことにより、その接
合部分における損失を低減することができる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
Ｖ溝４の深さと、光導波路２の形成位置を精度よく作る
ことにより短尺光ファイバ３と光導波路２の端部２Ａと
の間の位置合わせを行う必要がなく、短尺光ファイバ３
と光導波路２との軸芯を精度よく合致させることができ
る。
Ｖ溝４の深さと、光導波路２の形成位置を精度よく作る
ことにより短尺光ファイバ３と光導波路２の端部２Ａと
の間の位置合わせを行う必要がなく、短尺光ファイバ３
と光導波路２との軸芯を精度よく合致させることができ
る。
【００１６】更に、光ファイバ接続管５の内径を光ファ
イバ５と６の外径に近い精度で形成することより、短尺
光ファイバ３と光ファイバ素線６との軸芯も精度よく合
致させることができる。この結果、従来より組立が容易
で、しかも損失の少ない光モジュール用光コネクタを提
供することができる利点が得られる。
イバ５と６の外径に近い精度で形成することより、短尺
光ファイバ３と光ファイバ素線６との軸芯も精度よく合
致させることができる。この結果、従来より組立が容易
で、しかも損失の少ない光モジュール用光コネクタを提
供することができる利点が得られる。
【図１】この発明による光モジュール用光コネクタの一
実施例を説明するための斜視図。
実施例を説明するための斜視図。
【図２】この発明による光モジュール用光コネクタの製
造方法を説明するための斜視図。
造方法を説明するための斜視図。
【図３】図２と同様の斜視図。
【図４】図２と同様の斜視図。
【図５】従来の技術を説明するための斜視図。
【図６】従来の技術の不都合を説明するための正面図。
１ 半導体基板 ２ 光導波路 ３ 短尺光ファイバ ４ Ｖ溝 ５ 光ファイバ接続管 ６ 光ファイバ素線 ７ 光素子 １１ 溝 １２ 突出部 １Ａ 端面 ２Ａ 光導波路の端部
Claims (2)
- 【請求項１】 光導波路が形成された半導体基板の上記
光導波路の端部が露出された端面に、光ファイバ接続管
の軸芯を上記光導波路の軸芯と一致させて装着し、この
光ファイバ接続管に光ファイバ素線を挿入して、上記光
導波路と光ファイバ素線とを光学的に接続する構造の光
モジュール用光コネクタにおいて、 上記光導波路の端面が露出された上記半導体基板の端面
に、上記光導波路の延長方向と直交する向きに形成した
溝を介して上記半導体基板と同一の材料で構成される突
出部を形成し、この突出部の上記光導波路の軸線と一致
する位置にＶ溝を形成し、このＶ溝に上記溝の溝幅とＶ
溝の長さ及び上記光ファイバ接続管の長さの１／２を加
えた長さにほぼ等しい長さを持つ短尺光ファイバを装着
し、この短尺光ファイバの軸芯と、上記光導波路の軸芯
とを上記Ｖ溝の深さに対応させて合致させ、この短尺光
ファイバの上記突出部から突出した部分に光ファイバ接
続管を被せ、この光ファイバ接続管の端面を上記突出部
の端面に接着して固定したことを特徴とする光モジュー
ル用光コネクタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の光モジュール用光コネク
タにおいて、上記半導体基板をシリコン基板とし、この
シリコン基板で形成した上記突出部に異方性エッチング
によりＶ溝を形成したことを特徴とする光モジュール用
光コネクタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9139998A JPH11287927A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | 光モジュール用光コネクタ及びこれの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9139998A JPH11287927A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | 光モジュール用光コネクタ及びこれの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11287927A true JPH11287927A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14025313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9139998A Pending JPH11287927A (ja) | 1998-04-03 | 1998-04-03 | 光モジュール用光コネクタ及びこれの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11287927A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1219993A3 (en) * | 2000-12-26 | 2003-08-13 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Optical device package |
| US10191216B2 (en) | 2016-08-30 | 2019-01-29 | Corning Optical Communications LLC | Fiber-to-waveguide optical interface device and components for photonic systems |
| US10228520B2 (en) | 2016-08-30 | 2019-03-12 | Corning Optical Communications LLC | Fiber-to-waveguide optical interface devices and coupling devices with lenses for photonic systems |
-
1998
- 1998-04-03 JP JP9139998A patent/JPH11287927A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1219993A3 (en) * | 2000-12-26 | 2003-08-13 | Japan Aviation Electronics Industry, Limited | Optical device package |
| US6739762B2 (en) | 2000-12-26 | 2004-05-25 | Japan Aviation Electronics Industry Limited | Optical device package |
| US10191216B2 (en) | 2016-08-30 | 2019-01-29 | Corning Optical Communications LLC | Fiber-to-waveguide optical interface device and components for photonic systems |
| US10228520B2 (en) | 2016-08-30 | 2019-03-12 | Corning Optical Communications LLC | Fiber-to-waveguide optical interface devices and coupling devices with lenses for photonic systems |
| US10488602B2 (en) | 2016-08-30 | 2019-11-26 | Corning Optical Communications LLC | Fiber-to-waveguide optical interface devices and coupling devices with lenses for photonic systems |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020702 |