JPH1128653A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH1128653A JPH1128653A JP21380197A JP21380197A JPH1128653A JP H1128653 A JPH1128653 A JP H1128653A JP 21380197 A JP21380197 A JP 21380197A JP 21380197 A JP21380197 A JP 21380197A JP H1128653 A JPH1128653 A JP H1128653A
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- Japan
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- polishing
- contact roller
- panel
- tape
- polished
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 研磨むらを減少するばかりでなく、幅の広い
研磨テープを使用するにも拘らず比較的小さいダミー板
を使用して装備を小型化することができる研磨装置を提
供すること。 【解決手段】 研磨テープＴを水平軸線のコンタクトロ
ーラ１０により被研磨パネルＷに押圧したまま摺擦掃引
するようにした研磨装置において、コンタクトローラ１
０を水平に旋回させずに水平な蛇行状態に駆動して研磨
テープを直線的に接触させたまま直角方向へ摺擦して被
研磨パネルＷをクリーニング兼仕上げ研磨するように
し、かつ長円状軌跡のもとに運行するエンドレス駆動体
１８によりコンタクトローラ１０を往復駆動し、これに
より均斉なに研磨と、ダミー板Ｄの小型化を実現する。
研磨テープを使用するにも拘らず比較的小さいダミー板
を使用して装備を小型化することができる研磨装置を提
供すること。 【解決手段】 研磨テープＴを水平軸線のコンタクトロ
ーラ１０により被研磨パネルＷに押圧したまま摺擦掃引
するようにした研磨装置において、コンタクトローラ１
０を水平に旋回させずに水平な蛇行状態に駆動して研磨
テープを直線的に接触させたまま直角方向へ摺擦して被
研磨パネルＷをクリーニング兼仕上げ研磨するように
し、かつ長円状軌跡のもとに運行するエンドレス駆動体
１８によりコンタクトローラ１０を往復駆動し、これに
より均斉なに研磨と、ダミー板Ｄの小型化を実現する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルの表面並び
に裏面をクリーニングを兼ねて研磨するのに適した研磨
装置に関し、他にメモリディスク，ハードディスク，半
導体基板，硝子等のクリーニング兼研磨に適用する装置
に関するものである。
に裏面をクリーニングを兼ねて研磨するのに適した研磨
装置に関し、他にメモリディスク，ハードディスク，半
導体基板，硝子等のクリーニング兼研磨に適用する装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の液晶パネルの表面研磨装置として
は、テープ表面に酸化アルミニウム等のパウダー状の研
摩材を付着させた研磨テープ（通称ラッピングテープ）
を水平軸線のコンタクトローラにより被研磨パネルに押
圧するようにすると共に、このコンタクトローラを垂直
軸線のもとに回転させるように構成した研磨ヘッドを設
けて、そのコンタクトローラ周面上の研磨テープが方形
平面の被研磨パネル面に押圧されたまま研磨ヘッドを連
続回転させつつ、クランク機構等の往復送り機構により
蛇行状に掃引するようにしている。
は、テープ表面に酸化アルミニウム等のパウダー状の研
摩材を付着させた研磨テープ（通称ラッピングテープ）
を水平軸線のコンタクトローラにより被研磨パネルに押
圧するようにすると共に、このコンタクトローラを垂直
軸線のもとに回転させるように構成した研磨ヘッドを設
けて、そのコンタクトローラ周面上の研磨テープが方形
平面の被研磨パネル面に押圧されたまま研磨ヘッドを連
続回転させつつ、クランク機構等の往復送り機構により
蛇行状に掃引するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術において
は、被研磨パネル面上に直線状に接触する研磨テープを
その中央付近が軸心となる状態のもとに連続回転させつ
つ掃引して研磨するのであるから、回転による周速度が
各部分において異なる関係上、研磨テープの中央付近の
掃引による摺擦程度と、それ以外の部分の掃引による摺
擦程度とに大差が生じ、従って研磨むらを生じることに
なる。
は、被研磨パネル面上に直線状に接触する研磨テープを
その中央付近が軸心となる状態のもとに連続回転させつ
つ掃引して研磨するのであるから、回転による周速度が
各部分において異なる関係上、研磨テープの中央付近の
掃引による摺擦程度と、それ以外の部分の掃引による摺
擦程度とに大差が生じ、従って研磨むらを生じることに
なる。
【０００４】往復送り機構にクランク機構を採用する
と、送り速度が常時変化する関係上、研磨むらが生じる
ことになる。
と、送り速度が常時変化する関係上、研磨むらが生じる
ことになる。
【０００５】比較的大型の研磨ヘッドを連続的に回転さ
せつつ蛇行させ、かつ研磨テープを使用の経過に伴い特
定方向へ巻き取る関係上、ダイナミックバランスの保持
が困難となり、研磨ヘッドの運動の複雑性と相俟って振
動を伴い易い傾向があり、このような振動によっても研
磨むらを生じることになる。
せつつ蛇行させ、かつ研磨テープを使用の経過に伴い特
定方向へ巻き取る関係上、ダイナミックバランスの保持
が困難となり、研磨ヘッドの運動の複雑性と相俟って振
動を伴い易い傾向があり、このような振動によっても研
磨むらを生じることになる。
【０００６】また、液晶パネルの表面研磨に当っては、
被研磨パネルを着脱自在に嵌合可能な枠状のダミー板を
用意してこのダミー板に被研磨パネルを嵌め込み保持し
たままクリーニングを兼ねて仕上げ研磨するのである
が、研磨ヘッドを回転させつつ掃引する関係上、ダミー
部分幅は旋回直径（研磨テープの幅）の少なくとも１／
３程度を必要とし、殊に研磨能率向上のために幅の広い
研磨テープを使用する場合には、大きいダミー板を必要
とし装置全体が大型化する。
被研磨パネルを着脱自在に嵌合可能な枠状のダミー板を
用意してこのダミー板に被研磨パネルを嵌め込み保持し
たままクリーニングを兼ねて仕上げ研磨するのである
が、研磨ヘッドを回転させつつ掃引する関係上、ダミー
部分幅は旋回直径（研磨テープの幅）の少なくとも１／
３程度を必要とし、殊に研磨能率向上のために幅の広い
研磨テープを使用する場合には、大きいダミー板を必要
とし装置全体が大型化する。
【０００７】そこで本発明の目的は、研磨むらを減少す
るばかりでなく、幅の広い研磨テープを使用するにも拘
らず比較的小さいダミー板を使用して装備を小型化する
ことができる研磨装置を提供することにある。
るばかりでなく、幅の広い研磨テープを使用するにも拘
らず比較的小さいダミー板を使用して装備を小型化する
ことができる研磨装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、研磨ヘッドを垂直軸線のもとに連続回転させ
ることなく、研磨ヘッドにおける研磨テープをコンタク
トローラにより被研磨パネルに押圧したまま、研磨ヘッ
ドを左右方向へ往復運動させつつ順次前後方向へ移動さ
せるように構成する。
するため、研磨ヘッドを垂直軸線のもとに連続回転させ
ることなく、研磨ヘッドにおける研磨テープをコンタク
トローラにより被研磨パネルに押圧したまま、研磨ヘッ
ドを左右方向へ往復運動させつつ順次前後方向へ移動さ
せるように構成する。
【０００９】研磨ヘッドを左右方向へ往復動させる駆動
機構としては、研磨ヘッドに上下方向のガイドとこのガ
イドに案内されるスライダとからなるスライド機構を設
けると共に、そのスライダを横長のほぼ長円軌道のもと
に運行するエンドレス駆動体に連結して長円軌道の両端
付近以外の部分において等速度のもとに研磨ヘッドを往
復運動させるようにし、なお往復運動のストロークの調
節は、長円軌道の長径の調節（駆動輪と従動輪との間隔
の調節）により行う。
機構としては、研磨ヘッドに上下方向のガイドとこのガ
イドに案内されるスライダとからなるスライド機構を設
けると共に、そのスライダを横長のほぼ長円軌道のもと
に運行するエンドレス駆動体に連結して長円軌道の両端
付近以外の部分において等速度のもとに研磨ヘッドを往
復運動させるようにし、なお往復運動のストロークの調
節は、長円軌道の長径の調節（駆動輪と従動輪との間隔
の調節）により行う。
【００１０】表面に微粒研磨材が付着した研磨テープを
回転運動によらず直線的に接触させたまま直角方向へ摺
擦することにより、研磨並びに払拭作用のもとに、被研
磨パネルはクリーニングを兼ねて仕上げ研磨され、しか
も往復運動しつつ順次に行換えすることによる蛇行によ
りむらを生じることなく均斉に研磨される。
回転運動によらず直線的に接触させたまま直角方向へ摺
擦することにより、研磨並びに払拭作用のもとに、被研
磨パネルはクリーニングを兼ねて仕上げ研磨され、しか
も往復運動しつつ順次に行換えすることによる蛇行によ
りむらを生じることなく均斉に研磨される。
【００１１】直線状に接触する研磨面を回転しない状態
のもとに蛇行させることにより、被研磨パネルの方形面
に適合し、かつ往復運動軌跡の両端の僅少部分を除いて
摺擦速度が等しく、従ってダミー板が小型で済む。
のもとに蛇行させることにより、被研磨パネルの方形面
に適合し、かつ往復運動軌跡の両端の僅少部分を除いて
摺擦速度が等しく、従ってダミー板が小型で済む。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明を添付図面の装置について
説明すると、図１ないし図３のように大体において、被
研磨パネルＷをダミー板Ｄに嵌め込み保持したままコン
ベアあるいはターンテーブル等により移送して所定位置
に不動状態にセットするようにし、かつ被研磨パネルＷ
の上方には、基台１上において台枠２を前後方向のスラ
イド機構３の案内のもとに、ブレーキモータまたはサー
ボモータの駆動のもとにボールネジ型等の送り機構（い
ずれも図示せず）により間欠的に前後方向に移動するこ
とができるようにすると共に、台枠２には支持枠４を左
右方向のスライド機構５の案内のもとに往復駆動機構６
により往復移動することができるようにし、かつ支持枠
４の下部には研磨ヘッド７を吊持状態に設けたまま、垂
直軸線のもとに９０゜旋回した位置に固定することがで
きるように構成する。
説明すると、図１ないし図３のように大体において、被
研磨パネルＷをダミー板Ｄに嵌め込み保持したままコン
ベアあるいはターンテーブル等により移送して所定位置
に不動状態にセットするようにし、かつ被研磨パネルＷ
の上方には、基台１上において台枠２を前後方向のスラ
イド機構３の案内のもとに、ブレーキモータまたはサー
ボモータの駆動のもとにボールネジ型等の送り機構（い
ずれも図示せず）により間欠的に前後方向に移動するこ
とができるようにすると共に、台枠２には支持枠４を左
右方向のスライド機構５の案内のもとに往復駆動機構６
により往復移動することができるようにし、かつ支持枠
４の下部には研磨ヘッド７を吊持状態に設けたまま、垂
直軸線のもとに９０゜旋回した位置に固定することがで
きるように構成する。
【００１３】研磨ヘッド７には繰出リール８および巻取
リール９並びに他のガイドローラ，テンションローラを
設けると共に、下端にコンタクトローラ１０を押圧シリ
ンダ１１により適正圧力のもとに下方へ押圧することが
できるように設け、かつ繰出リール８から繰り出される
研磨テープＴはこれをコンタクトローラ１０の下向き面
に当接させて巻取リール９において巻取モータ１２とし
てのトルクモータの間欠回転駆動もしくは低速回転駆動
により研磨テープＴ表面の劣化に伴い巻き取るようにす
る。
リール９並びに他のガイドローラ，テンションローラを
設けると共に、下端にコンタクトローラ１０を押圧シリ
ンダ１１により適正圧力のもとに下方へ押圧することが
できるように設け、かつ繰出リール８から繰り出される
研磨テープＴはこれをコンタクトローラ１０の下向き面
に当接させて巻取リール９において巻取モータ１２とし
てのトルクモータの間欠回転駆動もしくは低速回転駆動
により研磨テープＴ表面の劣化に伴い巻き取るようにす
る。
【００１４】前記往復駆動機構６としては、支持枠４に
上下方向のガイド１３とこのガイド１３に摺動するスラ
イダ１４とからなる受動用のスライド機構１５を設ける
と共に、台枠２に駆動輪１６，１７を研磨ヘッド７のス
トロークに対応してそれよりも適度に短い左右間隔に設
けてこれら両駆動輪１６，１７にタイミングベルト等の
エンドレス駆動体１８を掛け渡したまま、駆動輪１６を
サーボモータあるいはインバータ駆動型モータ等の変速
可能な往復駆動モータ１９により特定方向へ駆動するよ
うにし、かつ前記スライダ１４には回転軸２０を設けて
これにエンドレス駆動体１８の一部を連結することによ
り、スライダ１４をエンドレス駆動体１８の長円軌道に
沿い左右方向へ往復駆動するようにし、この往復動に伴
いスライド機構１５を左右方向へ往復駆動し、研磨ヘッ
ド７をエンドレス駆動体１８の長円軌道における長径の
ストロークのもとに往復駆動させるようにする。
上下方向のガイド１３とこのガイド１３に摺動するスラ
イダ１４とからなる受動用のスライド機構１５を設ける
と共に、台枠２に駆動輪１６，１７を研磨ヘッド７のス
トロークに対応してそれよりも適度に短い左右間隔に設
けてこれら両駆動輪１６，１７にタイミングベルト等の
エンドレス駆動体１８を掛け渡したまま、駆動輪１６を
サーボモータあるいはインバータ駆動型モータ等の変速
可能な往復駆動モータ１９により特定方向へ駆動するよ
うにし、かつ前記スライダ１４には回転軸２０を設けて
これにエンドレス駆動体１８の一部を連結することによ
り、スライダ１４をエンドレス駆動体１８の長円軌道に
沿い左右方向へ往復駆動するようにし、この往復動に伴
いスライド機構１５を左右方向へ往復駆動し、研磨ヘッ
ド７をエンドレス駆動体１８の長円軌道における長径の
ストロークのもとに往復駆動させるようにする。
【００１５】研磨ヘッド７のストロークの調節は、前記
両駆動輪１６，１７の間隔を拡縮する例えばネジ送り手
段等の調節機構（図示せず）を設けて両駆動輪１６，１
７の間隔を被研磨パネルＷの大きさに対応するように設
定すればよく、なお両駆動輪１６，１７の間隔を縮減し
た場合のエンドレス駆動体１８の弛緩を吸収するために
は、両駆動輪１６，１７の中間にアイドルプーリー２１
を望ましくは上下に２個設けてエンドレス駆動体１８を
屈曲させるようにするのがよい。
両駆動輪１６，１７の間隔を拡縮する例えばネジ送り手
段等の調節機構（図示せず）を設けて両駆動輪１６，１
７の間隔を被研磨パネルＷの大きさに対応するように設
定すればよく、なお両駆動輪１６，１７の間隔を縮減し
た場合のエンドレス駆動体１８の弛緩を吸収するために
は、両駆動輪１６，１７の中間にアイドルプーリー２１
を望ましくは上下に２個設けてエンドレス駆動体１８を
屈曲させるようにするのがよい。
【００１６】研磨ヘッド７を垂直軸線のもとに９０゜旋
回させるためには、研磨ヘッド７の垂直軸２２を支持枠
４における軸受２３に軸止すると共に、可逆型モータ２
４を設けてこのモータ２４における駆動プーリー２５と
垂直軸２２における受動プーリー２６とにわたり伝導ベ
ルト２７を掛け渡し、かつ垂直軸２２と軸受２３との間
に旋回位置規制用のストッパ（図示せず）を設けるよう
にすればよい。
回させるためには、研磨ヘッド７の垂直軸２２を支持枠
４における軸受２３に軸止すると共に、可逆型モータ２
４を設けてこのモータ２４における駆動プーリー２５と
垂直軸２２における受動プーリー２６とにわたり伝導ベ
ルト２７を掛け渡し、かつ垂直軸２２と軸受２３との間
に旋回位置規制用のストッパ（図示せず）を設けるよう
にすればよい。
【００１７】前記エンドレス駆動体１８としてはタイミ
ングベルトの他にチェーンまたはワイヤであってもよ
く、また被研磨パネルＷに対するコンタクトローラ１０
の加圧力を常時所定に保つための手段を講じることが望
ましいことは当然である。
ングベルトの他にチェーンまたはワイヤであってもよ
く、また被研磨パネルＷに対するコンタクトローラ１０
の加圧力を常時所定に保つための手段を講じることが望
ましいことは当然である。
【００１８】上記構成のもとに、被研磨パネルＷをダミ
ー板Ｄに嵌合して所定位置に不動状態にセットすると共
に、研磨ヘッド７における垂直軸２２を旋回位置規制用
のストッパの規制のもとに固定したまま、コンタクトロ
ーラ１０を図４のようにスタート位置Ｓにつけた後、往
復駆動機構６による左右方向への比較的高速な往復駆動
および送り機構による間欠的前後方向駆動とにより、コ
ンタクトローラ１０を図４のようにスタート位置Ｓから
ゴール位置Ｇまでの蛇行軌跡のもとに掃引し、必要に応
じて逆方向の蛇行軌跡のもとに掃引するようにする。
ー板Ｄに嵌合して所定位置に不動状態にセットすると共
に、研磨ヘッド７における垂直軸２２を旋回位置規制用
のストッパの規制のもとに固定したまま、コンタクトロ
ーラ１０を図４のようにスタート位置Ｓにつけた後、往
復駆動機構６による左右方向への比較的高速な往復駆動
および送り機構による間欠的前後方向駆動とにより、コ
ンタクトローラ１０を図４のようにスタート位置Ｓから
ゴール位置Ｇまでの蛇行軌跡のもとに掃引し、必要に応
じて逆方向の蛇行軌跡のもとに掃引するようにする。
【００１９】なお都合により上記工程の後に被研磨パネ
ルＷを９０゜旋回させてコンタクトローラ１０を前回の
蛇行軌跡とは直角関係のもとに蛇行させるようにするの
が望ましく、また被研磨パネルＷを旋回させることな
く、研磨ヘッド７を９０゜旋回して固定したまま、送り
機構による前後方向の往復駆動と往復駆動機構６による
間欠的左右方向駆動とにより、コンタクトローラ１０を
図５のようにスタート位置Ｓからゴール位置Ｇまでの蛇
行軌跡のもとに掃引し、必要に応じて逆方向の蛇行軌跡
のもとに掃引するようにしてもよい。
ルＷを９０゜旋回させてコンタクトローラ１０を前回の
蛇行軌跡とは直角関係のもとに蛇行させるようにするの
が望ましく、また被研磨パネルＷを旋回させることな
く、研磨ヘッド７を９０゜旋回して固定したまま、送り
機構による前後方向の往復駆動と往復駆動機構６による
間欠的左右方向駆動とにより、コンタクトローラ１０を
図５のようにスタート位置Ｓからゴール位置Ｇまでの蛇
行軌跡のもとに掃引し、必要に応じて逆方向の蛇行軌跡
のもとに掃引するようにしてもよい。
【００２０】被研磨パネルＷに対する研磨テープＴの対
接面の更新については、前記研磨の過程の適切時期に巻
取リール９を間欠的回転または低速回転して摩耗した部
分の研磨テープＴを順次に巻き取るようにすればよい。
接面の更新については、前記研磨の過程の適切時期に巻
取リール９を間欠的回転または低速回転して摩耗した部
分の研磨テープＴを順次に巻き取るようにすればよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次のような効果が得られる。
次のような効果が得られる。
【００２２】研磨テープＴを水平軸線のコンタクトロー
ラ１０により被研磨パネルＷに押圧したまま摺擦掃引す
るようにした研磨装置において、コンタクトローラ１０
を水平に旋回させることなく往復駆動機構６と送り機構
とにより水平な蛇行状態に駆動するようにしたから、こ
れにより回転運動によらず直線的に接触させたまま直角
方向へ摺擦して被研磨パネルＷをクリーニング兼仕上げ
研磨することができ、従って垂直軸線のもとに研磨テー
プＴの摺擦面を旋回させる従来型に比較して均斉に研磨
することができ、また直線状に接触する研磨テープＴの
摺擦面を回転しない状態のもとに蛇行させることによ
り、被研磨パネルＷの方形面に適合し、ダミー板Ｄが小
型で済む。
ラ１０により被研磨パネルＷに押圧したまま摺擦掃引す
るようにした研磨装置において、コンタクトローラ１０
を水平に旋回させることなく往復駆動機構６と送り機構
とにより水平な蛇行状態に駆動するようにしたから、こ
れにより回転運動によらず直線的に接触させたまま直角
方向へ摺擦して被研磨パネルＷをクリーニング兼仕上げ
研磨することができ、従って垂直軸線のもとに研磨テー
プＴの摺擦面を旋回させる従来型に比較して均斉に研磨
することができ、また直線状に接触する研磨テープＴの
摺擦面を回転しない状態のもとに蛇行させることによ
り、被研磨パネルＷの方形面に適合し、ダミー板Ｄが小
型で済む。
【００２３】往復駆動機構６として、長円状軌跡のもと
に運行するエンドレス駆動体１８により研磨ヘッド７を
往復駆動するようにしたから、この長円軌道における両
端の限定された以外の大部分の範囲において均等速度の
もとにコンタクトローラ１０を往復駆動することがで
き、従って均斉に研磨することができるほか、ダミー板
Ｄが小型で済む。
に運行するエンドレス駆動体１８により研磨ヘッド７を
往復駆動するようにしたから、この長円軌道における両
端の限定された以外の大部分の範囲において均等速度の
もとにコンタクトローラ１０を往復駆動することがで
き、従って均斉に研磨することができるほか、ダミー板
Ｄが小型で済む。
【図１】本発明装置を示す一部縦断正面図である。
【図２】図１の装置の一部縦断側面図である。
【図３】図１の装置の往復駆動機構の後方斜面図であ
る。
る。
【図４】コンタクトローラの移動軌跡の平面図である。
【図５】コンタクトローラの他の移動軌跡の平面図であ
る。
る。
１ ２ 台枠 ３ スライド機構 ４ 支持枠 ５ スライド機構 ６ 往復駆動機構 ７ 研磨ヘッド ８ 繰出リール ９ 巻取リール １０ コンタクトローラ １１ １３ ガイド １４ スライダ １５ スライド機構 １６ 駆動輪 １７ 駆動輪 １８ エンドレス駆動体 １９ 往復駆動モータ ２１ アイドルプーリー Ｗ 被研磨パネル Ｔ 研磨テープ Ｄ ダミー板
Claims (3)
- 【請求項１】 テープ表面にパウダー状の研摩材を付着
させた研磨テープ（Ｔ）を水平軸線のコンタクトローラ
（１０）により被研磨パネル（Ｗ）に押圧したまま摺擦
掃引するようにした研磨装置であって、被研磨パネル
（Ｗ）をダミー板（Ｄ）に保持したまま不動状態にセッ
トするようにし、かつ被研磨パネル（Ｗ）の上方には、
台枠（２）を前後方向のスライド機構（３）の案内のも
とに、送り機構により前後方向に移動することができる
ようにすると共に、台枠（２）には支持枠（４）を左右
方向のスライド機構（５）の案内のもとに往復駆動機構
（６）により往復移動することができるようにし、更に
支持枠（４）の下部には研磨ヘッド（７）を設けてこの
研磨ヘッド（７）には繰出リール（８）および巻取リー
ル（９）を設けると共に、下端にコンタクトローラ（１
０）を適正圧力のもとに下方へ押圧することができるよ
うに設け、繰出リール（８）から繰り出される研磨テー
プ（Ｔ）をコンタクトローラ（１０）の下向き面に当接
させて巻取リール（９）において研磨テープ（Ｔ）表面
の劣化に伴い巻き取るようにし、かつ研磨ヘッド（７）
はこれを往復駆動機構（６）によりコンタクトローラ
（１０）の軸線に対して直角な水平方向のもとに往復移
動するようにしたことを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 往復駆動機構（６）として、支持枠
（４）に上下方向のガイド（１３）とこのガイド（１
３）に摺動するスライダ（１４）とからなる受動用のス
ライド機構（１５）を設けると共に、台枠（２）に駆動
輪（１６），（１７）を研磨ヘッド（７）のストローク
に対応した左右間隔に設けてこれら両駆動輪（１６），
（１７）にエンドレス駆動体（１８）を掛け渡したま
ま、駆動輪（１６）を往復駆動モータ（１９）により駆
動するようにし、かつ前記スライダ（１４）にはエンド
レス駆動体（１８）の一部を連結して、スライダ（１
４）をエンドレス駆動体（１８）の長円軌道に沿い左右
方向へ往復駆動するようにし、この往復動に伴い研磨ヘ
ッド（７）をエンドレス駆動体（１８）の長円軌道にお
ける長径のストロークのもとに往復駆動するようにした
請求項１に記載の研磨装置。 - 【請求項３】 両駆動輪（１６），（１７）の間隔を拡
縮する調節機構を設けて研磨ヘッド（７）のストローク
を調節する構成とし、かつ両駆動輪（１６），（１７）
の間隔を縮減した場合のエンドレス駆動体（１８）の弛
緩を吸収するためのアイドルプーリー（２１）を両駆動
輪（１６），（１７）の中間に設けた請求項２に記載の
研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21380197A JPH1128653A (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21380197A JPH1128653A (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1128653A true JPH1128653A (ja) | 1999-02-02 |
Family
ID=16645279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21380197A Pending JPH1128653A (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1128653A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111421396A (zh) * | 2020-04-07 | 2020-07-17 | 台州学院 | 一种圆环形凹面抛光装置 |
| CN113084666A (zh) * | 2021-05-14 | 2021-07-09 | 大连富地重工机械制造有限公司 | 一种焊缝打磨装置 |
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1997
- 1997-07-04 JP JP21380197A patent/JPH1128653A/ja active Pending
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