JPH11281708A - デバイス測定機構 - Google Patents
デバイス測定機構Info
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- JPH11281708A JPH11281708A JP7960598A JP7960598A JPH11281708A JP H11281708 A JPH11281708 A JP H11281708A JP 7960598 A JP7960598 A JP 7960598A JP 7960598 A JP7960598 A JP 7960598A JP H11281708 A JPH11281708 A JP H11281708A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 デバイス測定機構において、被測定デバイス
の大きさ等にばらつきがある場合でも、そのばらつきに
応じて、測定ハンドの移動量を自動的に調整して、測定
ハンドからソケットに加わる余分な力を低減する。 【解決手段】 被測定デバイスであるＩＣ１１の電気的
特性を測定するＩＣソケット１３と、保持したＩＣ１１
をソケット１３と対向する位置に水平搬送する測定ハン
ド２と、測定ハンド２を上下方向に可動させる駆動機構
と、ＩＣ１１とＩＣソケット１３の上下方向の距離を検
出するレーザ変位計１４と、レーザ変位計１４により検
出された距離に基づいて駆動機構による測定ハンド２の
移動量を制御する制御部とを備える。
の大きさ等にばらつきがある場合でも、そのばらつきに
応じて、測定ハンドの移動量を自動的に調整して、測定
ハンドからソケットに加わる余分な力を低減する。 【解決手段】 被測定デバイスであるＩＣ１１の電気的
特性を測定するＩＣソケット１３と、保持したＩＣ１１
をソケット１３と対向する位置に水平搬送する測定ハン
ド２と、測定ハンド２を上下方向に可動させる駆動機構
と、ＩＣ１１とＩＣソケット１３の上下方向の距離を検
出するレーザ変位計１４と、レーザ変位計１４により検
出された距離に基づいて駆動機構による測定ハンド２の
移動量を制御する制御部とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オートハンドラの
デバイス測定機構に関し、特に、表面実装型パッケージ
を選別する水平搬送方式オートハンドラに使用されるデ
バイス測定機構に関する。
デバイス測定機構に関し、特に、表面実装型パッケージ
を選別する水平搬送方式オートハンドラに使用されるデ
バイス測定機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面実装型パッケージを選別する水平搬
送方式のオートハンドラに、例えば、次に示すような、
デバイス測定機構が用いられている。図２は、従来のデ
バイス測定機構の一例を示す正面図であり、図２におい
て、１は吸着ヘッド、２は測定ハンド、３はハンドベー
ス、４はリニアガイド、５はインデキシング装置、６は
ローラフォロワ、７、８はプッシュロッド、１１はＩＣ
（被測定デバイス）、１２は供給収容シャトル、１３は
ＩＣソケット（ソケット）、１５は基準ベースである。
また、図３は、図２のデバイス測定機構を示す平面図で
ある。図３において、９は溝カム、１０はカムフォロワ
である。
送方式のオートハンドラに、例えば、次に示すような、
デバイス測定機構が用いられている。図２は、従来のデ
バイス測定機構の一例を示す正面図であり、図２におい
て、１は吸着ヘッド、２は測定ハンド、３はハンドベー
ス、４はリニアガイド、５はインデキシング装置、６は
ローラフォロワ、７、８はプッシュロッド、１１はＩＣ
（被測定デバイス）、１２は供給収容シャトル、１３は
ＩＣソケット（ソケット）、１５は基準ベースである。
また、図３は、図２のデバイス測定機構を示す平面図で
ある。図３において、９は溝カム、１０はカムフォロワ
である。
【０００３】ハンドベース３は、略円筒状に形成され、
その外周面上には、図３に示すように、２本１組のリニ
アガイド４，…が８箇所設置されている。各リニアガイ
ド４，…には、それぞれ測定ハンド２，…が、上下方向
に摺動可能な状態で固定されている。ハンドベース３
は、インデキシング装置５の駆動により、９０°毎に間
欠的に回転運動する。それに伴い、測定ハンド２，…
は、図３のＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順に回転移動し、それぞれ
の位置で所定時間停止する。測定ハンド２，２がＤ位置
で停止すると、各測定ハンド２，２に設けられた２個１
組のローラフォロワ６，…の間にプッシュロッド８の下
端部が嵌入して、プッシュロッド８の上端側に接続され
たアクチュエータが駆動する。すると、測定ハンド２，
２は、Ｄ位置において上昇または下降して、その吸着ヘ
ッド１，１でＩＣ１１，１１を、供給収容シャトル１２
から取り出したり、供給収容シャトル１２に収容したり
する。
その外周面上には、図３に示すように、２本１組のリニ
アガイド４，…が８箇所設置されている。各リニアガイ
ド４，…には、それぞれ測定ハンド２，…が、上下方向
に摺動可能な状態で固定されている。ハンドベース３
は、インデキシング装置５の駆動により、９０°毎に間
欠的に回転運動する。それに伴い、測定ハンド２，…
は、図３のＡ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順に回転移動し、それぞれ
の位置で所定時間停止する。測定ハンド２，２がＤ位置
で停止すると、各測定ハンド２，２に設けられた２個１
組のローラフォロワ６，…の間にプッシュロッド８の下
端部が嵌入して、プッシュロッド８の上端側に接続され
たアクチュエータが駆動する。すると、測定ハンド２，
２は、Ｄ位置において上昇または下降して、その吸着ヘ
ッド１，１でＩＣ１１，１１を、供給収容シャトル１２
から取り出したり、供給収容シャトル１２に収容したり
する。
【０００４】そして、測定ハンド２，２がＤ→Ａ→Ｂと
旋回してＢ位置で停止すると、測定ハンド２，２のロー
ラフォロワ６，…の間にプッシュロッド７の下端部が嵌
入して、プッシュロッド７の上端側に接続されたアクチ
ュエータ（駆動機構）が駆動する。すると、測定ハンド
２，２は、Ｂ位置において下降して、その吸着ヘッド
１，１が保持するＩＣ１１，１１をＩＣソケット１３に
押し付ける。このときプッシュロッド７による上下方向
の移動量は図２に示すストロークＦとなる。上記アクチ
ュエータには、例えば、サーボモータとボールネジの組
み合わせによる直動機構、或いはエアシリンダなどがあ
る。Ｂ位置において、ＩＣ１１，１１の測定が終了する
と、測定ハンド２，２がストロークＦだけ上昇する。そ
の後、ハンドベース３の回転により、測定ハンド２，２
は、Ｃ→Ｄと旋回し、Ｄ位置において、測定終了したＩ
Ｃ１１，１１を供給収容シャトル１２に収容する。
旋回してＢ位置で停止すると、測定ハンド２，２のロー
ラフォロワ６，…の間にプッシュロッド７の下端部が嵌
入して、プッシュロッド７の上端側に接続されたアクチ
ュエータ（駆動機構）が駆動する。すると、測定ハンド
２，２は、Ｂ位置において下降して、その吸着ヘッド
１，１が保持するＩＣ１１，１１をＩＣソケット１３に
押し付ける。このときプッシュロッド７による上下方向
の移動量は図２に示すストロークＦとなる。上記アクチ
ュエータには、例えば、サーボモータとボールネジの組
み合わせによる直動機構、或いはエアシリンダなどがあ
る。Ｂ位置において、ＩＣ１１，１１の測定が終了する
と、測定ハンド２，２がストロークＦだけ上昇する。そ
の後、ハンドベース３の回転により、測定ハンド２，２
は、Ｃ→Ｄと旋回し、Ｄ位置において、測定終了したＩ
Ｃ１１，１１を供給収容シャトル１２に収容する。
【０００５】また、測定ハンド２，２は、Ｄ位置からＢ
位置に移動する際、そのカムフォロワ１０，１０（図
３）が溝カム９（図３）に案内されて、下降する。同様
に、Ｂ位置からＤ位置に移動する際には、測定ハンド２
が上昇する。溝カム９による、測定ハンド２，２の上下
方向の移動量は、図２に示されるストロークＥであり、
溝カム９の設計寸法により固定された値である。
位置に移動する際、そのカムフォロワ１０，１０（図
３）が溝カム９（図３）に案内されて、下降する。同様
に、Ｂ位置からＤ位置に移動する際には、測定ハンド２
が上昇する。溝カム９による、測定ハンド２，２の上下
方向の移動量は、図２に示されるストロークＥであり、
溝カム９の設計寸法により固定された値である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のデバイス測定機
構では、Ｂ位置において測定ハンド２，２を上下方向に
可動させる駆動機構に、サーボモータとボールネジの組
み合わせによる直動機構が採用されることが多く、その
場合のストロークＦの値はほぼ一定で、例えば、次に示
すような問題があった。
構では、Ｂ位置において測定ハンド２，２を上下方向に
可動させる駆動機構に、サーボモータとボールネジの組
み合わせによる直動機構が採用されることが多く、その
場合のストロークＦの値はほぼ一定で、例えば、次に示
すような問題があった。
【０００７】第１に、ＩＣの品種が変わる場合に、その
ＩＣに合わせてストロークＦの値を設定し直すことはで
きたが、同一品種の同一ロットのＩＣの中でのばらつき
に合わせてストロークＦの値を変更することはできなか
った。そのため、ＩＣのばらつきの大きさを考慮し、ス
トロークＦの値を大目に設定することで対応していた
が、ＩＣソケットに余分な力が加わる場合があり、それ
がＩＣソケットの寿命に大きな影響を与えていた。
ＩＣに合わせてストロークＦの値を設定し直すことはで
きたが、同一品種の同一ロットのＩＣの中でのばらつき
に合わせてストロークＦの値を変更することはできなか
った。そのため、ＩＣのばらつきの大きさを考慮し、ス
トロークＦの値を大目に設定することで対応していた
が、ＩＣソケットに余分な力が加わる場合があり、それ
がＩＣソケットの寿命に大きな影響を与えていた。
【０００８】第２に、８組装備されている測定ハンド
２，…の組立精度のばらつきにより、実際には、各測定
ハンド２，…が下降した時の停止位置にばらつきが発生
していた。そのため、第１の問題と同様、ＩＣソケット
に余分な力が加わる場合があり、ＩＣソケットの寿命を
短くすることがあった。また、上記停止位置のばらつき
を考慮して、各測定ハンド２，…毎にストロークＦの値
を変えることはできたが、各測定ハンド２，…毎に最適
なストロークＦの値を決定するために、各測定ハンド
２，…毎に試行錯誤を繰り返す必要があり、多大な時間
が費やされていた。
２，…の組立精度のばらつきにより、実際には、各測定
ハンド２，…が下降した時の停止位置にばらつきが発生
していた。そのため、第１の問題と同様、ＩＣソケット
に余分な力が加わる場合があり、ＩＣソケットの寿命を
短くすることがあった。また、上記停止位置のばらつき
を考慮して、各測定ハンド２，…毎にストロークＦの値
を変えることはできたが、各測定ハンド２，…毎に最適
なストロークＦの値を決定するために、各測定ハンド
２，…毎に試行錯誤を繰り返す必要があり、多大な時間
が費やされていた。
【０００９】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、ＩＣなどの被測定デバイスの大
きさ等にばらつきがある場合でも、そのばらつきに応じ
て、測定ハンドの移動量を自動的に調整して、測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力を低減するデバイス測
定機構を提供することを目的とする。
ためになされたもので、ＩＣなどの被測定デバイスの大
きさ等にばらつきがある場合でも、そのばらつきに応じ
て、測定ハンドの移動量を自動的に調整して、測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力を低減するデバイス測
定機構を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、被測定デバイスの電気的特
性を測定するソケットと、保持した前記被測定デバイス
を前記ソケットと対向する位置に搬送し、搬送した前記
被測定デバイスを前記ソケットに押し付ける測定ハンド
と、を備えたデバイス測定機構において、前記ソケット
に対向する位置へ搬送された前記被測定デバイスと前記
ソケットの距離を検出する距離検出手段と、前記距離検
出手段により検出された前記距離に基づいて、前記被測
定デバイスを前記ソケットに押し付ける際の前記測定ハ
ンドの移動量を制御する制御部と、を備える。
め、請求項１記載の発明は、被測定デバイスの電気的特
性を測定するソケットと、保持した前記被測定デバイス
を前記ソケットと対向する位置に搬送し、搬送した前記
被測定デバイスを前記ソケットに押し付ける測定ハンド
と、を備えたデバイス測定機構において、前記ソケット
に対向する位置へ搬送された前記被測定デバイスと前記
ソケットの距離を検出する距離検出手段と、前記距離検
出手段により検出された前記距離に基づいて、前記被測
定デバイスを前記ソケットに押し付ける際の前記測定ハ
ンドの移動量を制御する制御部と、を備える。
【００１１】請求項１記載の発明によれば、ソケットに
対向する位置に搬送された被測定デバイスとソケットの
距離を検出する距離検出手段と、距離検出手段により検
出された前記距離に基づいて被測定デバイスをソケット
に押し付ける際の測定ハンドの移動量を制御する制御部
とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつき
がある場合でも、そのばらつきに応じて、被測定デバイ
スをソケットに押し付ける際の測定ハンドの移動量が自
動的に調整される。従って、被測定デバイスをソケット
に押し付ける際に測定ハンドからソケットに加わる余分
な力が低減される。
対向する位置に搬送された被測定デバイスとソケットの
距離を検出する距離検出手段と、距離検出手段により検
出された前記距離に基づいて被測定デバイスをソケット
に押し付ける際の測定ハンドの移動量を制御する制御部
とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつき
がある場合でも、そのばらつきに応じて、被測定デバイ
スをソケットに押し付ける際の測定ハンドの移動量が自
動的に調整される。従って、被測定デバイスをソケット
に押し付ける際に測定ハンドからソケットに加わる余分
な力が低減される。
【００１２】ここで、距離検出手段として、例えば、レ
ーザ変位計などの検出器が挙げられる。
ーザ変位計などの検出器が挙げられる。
【００１３】請求項２記載の発明は、被測定デバイスの
電気的特性を測定するソケットと、保持した前記被測定
デバイスを前記ソケットと対向する位置に水平搬送する
測定ハンドと、前記測定ハンドを上下方向に可動させる
駆動機構と、を備えたデバイス測定機構において、前記
被測定デバイスと前記ソケットの上下方向の距離を検出
する距離検出手段と、前記距離検出手段により検出され
た前記距離に基づいて、前記駆動機構による前記測定ハ
ンドの移動量を制御する制御部と、を備える。
電気的特性を測定するソケットと、保持した前記被測定
デバイスを前記ソケットと対向する位置に水平搬送する
測定ハンドと、前記測定ハンドを上下方向に可動させる
駆動機構と、を備えたデバイス測定機構において、前記
被測定デバイスと前記ソケットの上下方向の距離を検出
する距離検出手段と、前記距離検出手段により検出され
た前記距離に基づいて、前記駆動機構による前記測定ハ
ンドの移動量を制御する制御部と、を備える。
【００１４】請求項２記載の発明によれば、被測定デバ
イスとソケットの上下方向の距離を検出する距離検出手
段と、距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、駆動機構による測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、駆動機構に
よる測定ハンドの移動量が自動的に調整される。従っ
て、駆動機構により測定ハンドが移動する際に測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力が低減される。
イスとソケットの上下方向の距離を検出する距離検出手
段と、距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、駆動機構による測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、駆動機構に
よる測定ハンドの移動量が自動的に調整される。従っ
て、駆動機構により測定ハンドが移動する際に測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力が低減される。
【００１５】請求項３記載の発明は、請求項２記載のデ
バイス測定機構であって、前記測定ハンドが、回転自在
なハンドベースの側壁面に、上下方向へ摺動可能な状態
で設けられている。
バイス測定機構であって、前記測定ハンドが、回転自在
なハンドベースの側壁面に、上下方向へ摺動可能な状態
で設けられている。
【００１６】請求項３記載の発明によれば、測定ハンド
が回転自在なハンドベースの側壁面に上下方向へ摺動可
能な状態で設けられているため、駆動機構は測定ハンド
を上下方向に可動することができる。
が回転自在なハンドベースの側壁面に上下方向へ摺動可
能な状態で設けられているため、駆動機構は測定ハンド
を上下方向に可動することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図１の図面を参照しながら説明する。
いて、図１の図面を参照しながら説明する。
【００１８】図１は、本発明に係るデバイス測定機構を
示す正面図である。
示す正面図である。
【００１９】この実施の形態のデバイス測定機構は、図
１に示すように、ハンドベース３と、被測定デバイスで
あるＩＣ１１，…の電気的特性を測定するＩＣソケット
１３と、ハンドベース３の回転により供給収容シャトル
１２のＩＣ１１，…をＩＣソケット１３と対向する位置
（Ｂ位置）に搬送する測定ハンド２，…と、Ｂ位置に移
動した測定ハンド２，２を上下方向に可動させる駆動機
構と、Ａ位置におけるＩＣ１１，１１とＩＣソケット１
３の距離を検出するレーザ変位計１４，１４（距離検出
手段）と、駆動機構を制御する制御部（図には現れな
い）等により構成される。
１に示すように、ハンドベース３と、被測定デバイスで
あるＩＣ１１，…の電気的特性を測定するＩＣソケット
１３と、ハンドベース３の回転により供給収容シャトル
１２のＩＣ１１，…をＩＣソケット１３と対向する位置
（Ｂ位置）に搬送する測定ハンド２，…と、Ｂ位置に移
動した測定ハンド２，２を上下方向に可動させる駆動機
構と、Ａ位置におけるＩＣ１１，１１とＩＣソケット１
３の距離を検出するレーザ変位計１４，１４（距離検出
手段）と、駆動機構を制御する制御部（図には現れな
い）等により構成される。
【００２０】ハンドベース３は、略円筒状に形成され、
その外周面上には、リニアガイド４，…を介して、測定
ハンド２，…が上下方向に摺動可能な状態で設けられて
いる。ハンドベース３の上方位置には、インデキシング
装置５が設けられ、該インデキシング装置５によって、
ハンドベース３が９０°毎に停止しながら、間欠的に回
転運動する。それに伴い、測定ハンド２，…は、図３の
Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順に回転移動し、それぞれの位置で所
定時間停止する。また、測定ハンド２，２は、Ａ位置か
らＢ位置に移動する際、そのカムフォロワ１０が溝カム
９（図３）に案内されてストロークＥだけ下降する。同
様に、Ｂ位置からＤ位置に移動する際には、測定ハンド
２，２はストロークＥだけ上昇する。溝カム９による、
測定ハンド２，２の下降、上昇のストロークＥは、溝カ
ム９の設計寸法により固定された値である。
その外周面上には、リニアガイド４，…を介して、測定
ハンド２，…が上下方向に摺動可能な状態で設けられて
いる。ハンドベース３の上方位置には、インデキシング
装置５が設けられ、該インデキシング装置５によって、
ハンドベース３が９０°毎に停止しながら、間欠的に回
転運動する。それに伴い、測定ハンド２，…は、図３の
Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄの順に回転移動し、それぞれの位置で所
定時間停止する。また、測定ハンド２，２は、Ａ位置か
らＢ位置に移動する際、そのカムフォロワ１０が溝カム
９（図３）に案内されてストロークＥだけ下降する。同
様に、Ｂ位置からＤ位置に移動する際には、測定ハンド
２，２はストロークＥだけ上昇する。溝カム９による、
測定ハンド２，２の下降、上昇のストロークＥは、溝カ
ム９の設計寸法により固定された値である。
【００２１】測定ハンド２，…の旋回軌道の下方位置に
は、Ａ位置にレーザ変位計１４，１４、Ｂ位置にＩＣソ
ケット１３、Ｄ位置に供給収容シャトル１２がそれぞれ
配設されている。
は、Ａ位置にレーザ変位計１４，１４、Ｂ位置にＩＣソ
ケット１３、Ｄ位置に供給収容シャトル１２がそれぞれ
配設されている。
【００２２】レーザ変位計１４，１４は、基準ベース１
５の上面に上向きに設置され、Ａ位置に来た測定ハンド
２，２が保持するＩＣ１１，１１それぞれの、リード裏
面までの距離Ｈを計測して、測定結果を制御部に出力す
る。駆動機構は、例えば、サーボモータとボールネジの
組み合わせによる直動機構により構成され、制御部によ
る制御の下、プッシュロッド７、８を介して、Ｂ位置ま
たはＤ位置に来た測定ハンド２，２を、上下方向に可動
させる。制御部は、ＣＰＵ（Central Proccessing Uni
t）を有し、レーザ変位計１４，１４から出力された測
定結果に基づいて、駆動機構を制御して測定ハンド２，
２のストロークＦを調整する。
５の上面に上向きに設置され、Ａ位置に来た測定ハンド
２，２が保持するＩＣ１１，１１それぞれの、リード裏
面までの距離Ｈを計測して、測定結果を制御部に出力す
る。駆動機構は、例えば、サーボモータとボールネジの
組み合わせによる直動機構により構成され、制御部によ
る制御の下、プッシュロッド７、８を介して、Ｂ位置ま
たはＤ位置に来た測定ハンド２，２を、上下方向に可動
させる。制御部は、ＣＰＵ（Central Proccessing Uni
t）を有し、レーザ変位計１４，１４から出力された測
定結果に基づいて、駆動機構を制御して測定ハンド２，
２のストロークＦを調整する。
【００２３】次に、この実施の形態のデバイス測定機構
の動作について説明する。
の動作について説明する。
【００２４】Ｄ位置において、供給収容シャトル１２か
らＩＣ１１，１１を取り出した測定ハンド２，２は、イ
ンデキシング装置５によるハンドベース３の回転によ
り、Ａ位置に移動して所定時間停止する。このとき、各
レーザ変位計１４，１４は、Ａ位置の測定ハンド２，２
が保持する前記ＩＣ１１，１１のリード裏面までの距離
Ｈを計測し、制御部（図示省略）に出力する。
らＩＣ１１，１１を取り出した測定ハンド２，２は、イ
ンデキシング装置５によるハンドベース３の回転によ
り、Ａ位置に移動して所定時間停止する。このとき、各
レーザ変位計１４，１４は、Ａ位置の測定ハンド２，２
が保持する前記ＩＣ１１，１１のリード裏面までの距離
Ｈを計測し、制御部（図示省略）に出力する。
【００２５】所定時間経過して、ハンドベース３が回転
すると、前記ＩＣ１１，１１を保持した測定ハンド２，
２は、Ｂ位置に移動して所定時間停止する。Ａ位置から
Ｂ位置に移動する間に、測定ハンド２，２は、そのカム
フォロワ１０（図３）が溝カム９（図３）に案内され
て、ストロークＥだけ下降する。また、測定ハンド２，
２がＡ位置からＢ位置に移動する間に、制御部では、レ
ーザ変位計１４，１４から出力された距離Ｈから、以下
の式（１）により、Ｂ位置における測定ハンド２，２の
移動量（ストロークＦ）を算出する。Ｆ＝Ｇ＋Ｈ＋Ｊ−
Ｅ ・・・（１）式（１）において、ＦはＢ位置に
おける測定ハンド２，２の上下方向の移動量、ＧはＩＣ
ソケット１３の接続面と基準ベース１５の下面との上下
方向の距離、Ｈはレーザ変位計１４，１４による計測値
（レーザ変位計１４，１４の上端部からＡ位置のＩＣ１
１，１１のリード裏面までの距離）、Ｊはレーザ変位計
１４，１４の上端から基準ベース１５の下面までの距
離、ＥはＡ位置からＢ位置に移動する間に測定ハンド
２，２が下降する距離である。これらの中で、Ｅ及びＪ
は、固定値として入力されており、Ｇは、ＩＣの品種或
いはＩＣソケットの品種により変更される場合があるた
め、ＩＣの測定前に、別途手動入力される。
すると、前記ＩＣ１１，１１を保持した測定ハンド２，
２は、Ｂ位置に移動して所定時間停止する。Ａ位置から
Ｂ位置に移動する間に、測定ハンド２，２は、そのカム
フォロワ１０（図３）が溝カム９（図３）に案内され
て、ストロークＥだけ下降する。また、測定ハンド２，
２がＡ位置からＢ位置に移動する間に、制御部では、レ
ーザ変位計１４，１４から出力された距離Ｈから、以下
の式（１）により、Ｂ位置における測定ハンド２，２の
移動量（ストロークＦ）を算出する。Ｆ＝Ｇ＋Ｈ＋Ｊ−
Ｅ ・・・（１）式（１）において、ＦはＢ位置に
おける測定ハンド２，２の上下方向の移動量、ＧはＩＣ
ソケット１３の接続面と基準ベース１５の下面との上下
方向の距離、Ｈはレーザ変位計１４，１４による計測値
（レーザ変位計１４，１４の上端部からＡ位置のＩＣ１
１，１１のリード裏面までの距離）、Ｊはレーザ変位計
１４，１４の上端から基準ベース１５の下面までの距
離、ＥはＡ位置からＢ位置に移動する間に測定ハンド
２，２が下降する距離である。これらの中で、Ｅ及びＪ
は、固定値として入力されており、Ｇは、ＩＣの品種或
いはＩＣソケットの品種により変更される場合があるた
め、ＩＣの測定前に、別途手動入力される。
【００２６】そして、制御部は、駆動機構を制御して、
Ｂ位置の測定ハンド２，２を上記ストロークＦだけ下方
向に移動させる。すると、測定ハンド２，２に保持され
た前記ＩＣ１１，１１は、対向するＩＣソケット１３に
押し付けられ、ＩＣソケット１３によって電気的特性が
測定される。ＩＣソケット１３が測定している間、Ａ位
置では、レーザ変位計１４，１４により、次に測定され
るＩＣ１１，１１に対する距離Ｈが計測され、計測結果
が制御部に出力される。ＩＣソケット１３Ｂによる測定
が終了すると、制御部の制御により測定ハンド２，２が
ストロークＦだけ上昇する。その後、測定ハンド２，２
は、ハンドベース３の回転により、Ｃ→Ｄと旋回して、
Ｄ位置において、測定終了した前記ＩＣ１１，１１を、
供給収容シャトル１２に収容する。
Ｂ位置の測定ハンド２，２を上記ストロークＦだけ下方
向に移動させる。すると、測定ハンド２，２に保持され
た前記ＩＣ１１，１１は、対向するＩＣソケット１３に
押し付けられ、ＩＣソケット１３によって電気的特性が
測定される。ＩＣソケット１３が測定している間、Ａ位
置では、レーザ変位計１４，１４により、次に測定され
るＩＣ１１，１１に対する距離Ｈが計測され、計測結果
が制御部に出力される。ＩＣソケット１３Ｂによる測定
が終了すると、制御部の制御により測定ハンド２，２が
ストロークＦだけ上昇する。その後、測定ハンド２，２
は、ハンドベース３の回転により、Ｃ→Ｄと旋回して、
Ｄ位置において、測定終了した前記ＩＣ１１，１１を、
供給収容シャトル１２に収容する。
【００２７】この実施の形態のデバイス測定機構によれ
ば、レーザ変位計１４，１４による測定結果に基づいて
Ｂ位置における測定ハンド２，２のストロークＦが決定
されるため、ＩＣ１１，１１の大きさ等にばらつきがあ
る場合でも、そのばらつきに応じて、Ｂ位置における測
定ハンド２，２のストロークＦが自動的に調整される。
従って、ＩＣ１１，１１をＩＣソケット１３に押し付け
る際測定ハンド２，２からＩＣソケット１３に加わる余
分な力が低減される。
ば、レーザ変位計１４，１４による測定結果に基づいて
Ｂ位置における測定ハンド２，２のストロークＦが決定
されるため、ＩＣ１１，１１の大きさ等にばらつきがあ
る場合でも、そのばらつきに応じて、Ｂ位置における測
定ハンド２，２のストロークＦが自動的に調整される。
従って、ＩＣ１１，１１をＩＣソケット１３に押し付け
る際測定ハンド２，２からＩＣソケット１３に加わる余
分な力が低減される。
【００２８】なお、距離検出手段は、この実施の形態で
示したレーザ変位計１４，１４に限られるものではな
く、測定ハンド２，２の移動量（ストロークＦ）を検出
できれば、その検出方法、設置位置或いは設置数は適宜
変更可能である。
示したレーザ変位計１４，１４に限られるものではな
く、測定ハンド２，２の移動量（ストロークＦ）を検出
できれば、その検出方法、設置位置或いは設置数は適宜
変更可能である。
【００２９】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、ソケット
に対向する位置に搬送された被測定デバイスとソケット
の距離を検出する距離検出手段と、距離検出手段により
検出された前記距離に基づいて被測定デバイスをソケッ
トに押し付ける際の測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、被測定デバ
イスをソケットに押し付ける際の測定ハンドの移動量が
自動的に調整される。従って、被測定デバイスをソケッ
トに押し付ける際に測定ハンドからソケットに加わる余
分な力が低減される。
に対向する位置に搬送された被測定デバイスとソケット
の距離を検出する距離検出手段と、距離検出手段により
検出された前記距離に基づいて被測定デバイスをソケッ
トに押し付ける際の測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、被測定デバ
イスをソケットに押し付ける際の測定ハンドの移動量が
自動的に調整される。従って、被測定デバイスをソケッ
トに押し付ける際に測定ハンドからソケットに加わる余
分な力が低減される。
【００３０】請求項２記載の発明によれば、被測定デバ
イスとソケットの上下方向の距離を検出する距離検出手
段と、距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、駆動機構による測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、駆動機構に
よる測定ハンドの移動量が自動的に調整される。従っ
て、駆動機構により測定ハンドが移動する際に測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力が低減される。
イスとソケットの上下方向の距離を検出する距離検出手
段と、距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、駆動機構による測定ハンドの移動量を制御する制御
部とを備えたため、被測定デバイスの大きさ等にばらつ
きがある場合でも、そのばらつきに応じて、駆動機構に
よる測定ハンドの移動量が自動的に調整される。従っ
て、駆動機構により測定ハンドが移動する際に測定ハン
ドからソケットに加わる余分な力が低減される。
【００３１】請求項３記載の発明によれば、測定ハンド
が回転自在なハンドベースの側壁面に上下方向へ摺動可
能な状態で設けられているため、駆動機構は測定ハンド
を上下方向に可動することができる。
が回転自在なハンドベースの側壁面に上下方向へ摺動可
能な状態で設けられているため、駆動機構は測定ハンド
を上下方向に可動することができる。
【図１】本発明に係るデバイス測定機構を示す正面図で
ある。
ある。
【図２】従来のデバイス測定機構の一例を示す正面図で
【図３】図２のデバイス測定機構を示す平面図である。
１ 吸着ヘッド ２ 測定ハンド ３ ハンドベース ４ リニアガイド ５ インデキシング装置 ６ ローラフォロワ ７、８ プッシュロッド ９ 溝カム １０ カムフォロワ １１ ＩＣ（被測定デバイス） １２ 供給収容シャトル １３ ＩＣソケット（ソケット） １４ レーザ変位計（距離検出手段） １５ 基準ベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 23/32 Ｈ０１Ｌ 23/32 Ｂ
Claims (3)
- 【請求項１】被測定デバイスの電気的特性を測定するソ
ケットと、 保持した前記被測定デバイスを前記ソケットと対向する
位置に搬送し、搬送した前記被測定デバイスを前記ソケ
ットに押し付ける測定ハンドと、 を備えたデバイス測定機構において、 前記ソケットに対向する位置へ搬送された前記被測定デ
バイスと前記ソケットの距離を検出する距離検出手段
と、 前記距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、前記被測定デバイスを前記ソケットに押し付ける際
の前記測定ハンドの移動量を制御する制御部と、を備え
たことを特徴とするデバイス測定機構。 - 【請求項２】被測定デバイスの電気的特性を測定するソ
ケットと、 保持した前記被測定デバイスを前記ソケットと対向する
位置に水平搬送する測定ハンドと、 前記測定ハンドを上下方向に可動させる駆動機構と、 を備えたデバイス測定機構において、 前記被測定デバイスと前記ソケットの上下方向の距離を
検出する距離検出手段と、 前記距離検出手段により検出された前記距離に基づい
て、前記駆動機構による前記測定ハンドの移動量を制御
する制御部と、 を備えたことを特徴とするデバイス測定機構。 - 【請求項３】前記測定ハンドは、回転自在なハンドベー
スの側壁面に、上下方向へ摺動可能な状態で設けられて
いることを特徴とする請求項２記載のデバイス測定機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7960598A JPH11281708A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | デバイス測定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7960598A JPH11281708A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | デバイス測定機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281708A true JPH11281708A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13694657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7960598A Pending JPH11281708A (ja) | 1998-03-26 | 1998-03-26 | デバイス測定機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11281708A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002063322A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Seiko Epson Corporation | Member exchanger, method of controlling member exchanger, ic inspection method, ic handler, and ic inspector |
| CN105940311A (zh) * | 2013-12-03 | 2016-09-14 | 株式会社幸福日本 | Ic处理机 |
-
1998
- 1998-03-26 JP JP7960598A patent/JPH11281708A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002063322A1 (en) * | 2001-02-08 | 2002-08-15 | Seiko Epson Corporation | Member exchanger, method of controlling member exchanger, ic inspection method, ic handler, and ic inspector |
| US6984973B2 (en) | 2001-02-08 | 2006-01-10 | Seiko Epson Corporation | Part transfer apparatus, control method for part transfer apparatus, IC test method, IC handler, and IC test apparatus |
| CN105940311A (zh) * | 2013-12-03 | 2016-09-14 | 株式会社幸福日本 | Ic处理机 |
| US20160356843A1 (en) * | 2013-12-03 | 2016-12-08 | Happyjapan, Inc. | Ic handler |
| US10222413B2 (en) * | 2013-12-03 | 2019-03-05 | Happyjapan Inc. | IC handler |
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