JPH11281614A - ガスセンサー素子 - Google Patents
ガスセンサー素子Info
- Publication number
- JPH11281614A JPH11281614A JP10080683A JP8068398A JPH11281614A JP H11281614 A JPH11281614 A JP H11281614A JP 10080683 A JP10080683 A JP 10080683A JP 8068398 A JP8068398 A JP 8068398A JP H11281614 A JPH11281614 A JP H11281614A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas sensor
- sensor element
- inorganic adhesive
- ion conductor
- alumina
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ガスセンサ−素子を構成する部品同志を無機接
着剤の熱膨張を利用して圧接力をうるようにした小型化
・安価・高感度化を達成することができるガスセンサー
素子を得る。 【解決手段】加熱手段を有するアルミナ板４上に検知極
１および固体基準極２を配置し、前記検知極および固体
基準極上にアルカリ金属イオン導電体３を配置し、前記
アルミナ板とアルカリ金属イオン導電体とを耐熱性に富
んだ無機接着剤６で接着したことを特徴とするガスセン
サー素子。
着剤の熱膨張を利用して圧接力をうるようにした小型化
・安価・高感度化を達成することができるガスセンサー
素子を得る。 【解決手段】加熱手段を有するアルミナ板４上に検知極
１および固体基準極２を配置し、前記検知極および固体
基準極上にアルカリ金属イオン導電体３を配置し、前記
アルミナ板とアルカリ金属イオン導電体とを耐熱性に富
んだ無機接着剤６で接着したことを特徴とするガスセン
サー素子。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気相中のＣＯ2 濃
度を主として測定し，その他ＮＯｘおよびＳＯｘを測定
するための小型でかつガス濃度を精度良く検出できる高
温作動式のガスセンサ−素子に関するものであり、さら
に詳細には、ガスセンサ−素子を構成する部品同志をボ
ルトなどによる機械的圧接や溶融等による接合ではな
く、無機接着剤の熱膨張を利用して圧接力をうるように
した小型化・安価・高感度化を達成することができるガ
スセンサー素子に関するものである。
度を主として測定し，その他ＮＯｘおよびＳＯｘを測定
するための小型でかつガス濃度を精度良く検出できる高
温作動式のガスセンサ−素子に関するものであり、さら
に詳細には、ガスセンサ−素子を構成する部品同志をボ
ルトなどによる機械的圧接や溶融等による接合ではな
く、無機接着剤の熱膨張を利用して圧接力をうるように
した小型化・安価・高感度化を達成することができるガ
スセンサー素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】大気環境汚染に対処するために、近年に
なって気相中のＣＯ2 濃度を主として、あるいは、その
他ＮＯｘおよびＳＯｘを測定することが可能なガスセン
サ−の開発が積極的に行われている。こうしたガスセン
サーの内、たとえばＣＯ2 センサ−は、主として交通機
関の居室、住宅、オフィスなどの限定された空間のガス
濃度管理、施設園芸などでのＣＯ2 濃度を検知制御する
などの分野において有用であり、他方、ＮＯｘおよびＳ
Ｏｘのセンサ−は大気汚染に対する環境保全のために不
可欠のものである。上記目的を達成するためのガスセン
サ−として、アルカリ金属イオン導電体の両端に検知
極、固体基準極を設けた高温において作動するいわゆる
濃淡電池型のものが種々提案されており、例えば、この
タイプからなるＣＯ2 ガスセンサ−は、同センサーを測
定ガス中に置くだけで、標準ガスを用いることなく正確
にＣＯ 2 濃度を測定することが出来る。
なって気相中のＣＯ2 濃度を主として、あるいは、その
他ＮＯｘおよびＳＯｘを測定することが可能なガスセン
サ−の開発が積極的に行われている。こうしたガスセン
サーの内、たとえばＣＯ2 センサ−は、主として交通機
関の居室、住宅、オフィスなどの限定された空間のガス
濃度管理、施設園芸などでのＣＯ2 濃度を検知制御する
などの分野において有用であり、他方、ＮＯｘおよびＳ
Ｏｘのセンサ−は大気汚染に対する環境保全のために不
可欠のものである。上記目的を達成するためのガスセン
サ−として、アルカリ金属イオン導電体の両端に検知
極、固体基準極を設けた高温において作動するいわゆる
濃淡電池型のものが種々提案されており、例えば、この
タイプからなるＣＯ2 ガスセンサ−は、同センサーを測
定ガス中に置くだけで、標準ガスを用いることなく正確
にＣＯ 2 濃度を測定することが出来る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
なＣＯ2 ガスセンサーは、測定効率を上げるためにセン
サーを構成するＣＯ2 ガスと解離平衡にあるアルカリ金
属炭酸塩（検知極）とアルカリ金属イオン導電体との間
を、イオン伝達可能でかつ耐熱性が高く（３００°Ｃ程
度以上）また当該材料の熱膨張率の差を吸収しつつ高強
度に接合する必要がある。このため、この形式のガスセ
ンサ−素子では、素子を構成する部品が耐熱性、電荷可
動性（イオン導電性・電子電導性）等を備えている必要
があり，また、それらの部品の接合は、接合または被接
合材料いずれかの溶融接合が必要となる。
なＣＯ2 ガスセンサーは、測定効率を上げるためにセン
サーを構成するＣＯ2 ガスと解離平衡にあるアルカリ金
属炭酸塩（検知極）とアルカリ金属イオン導電体との間
を、イオン伝達可能でかつ耐熱性が高く（３００°Ｃ程
度以上）また当該材料の熱膨張率の差を吸収しつつ高強
度に接合する必要がある。このため、この形式のガスセ
ンサ−素子では、素子を構成する部品が耐熱性、電荷可
動性（イオン導電性・電子電導性）等を備えている必要
があり，また、それらの部品の接合は、接合または被接
合材料いずれかの溶融接合が必要となる。
【０００４】しかし、アルカリ金属炭酸塩（検知極）と
アルカリ金属イオン導電体の間を熱的に強引に接着させ
る場合、かなり高い温度下で長時間にわたって加熱する
必要があり、たとえばアルカリ金属炭酸塩として炭酸リ
チウムを使用した場合、炭酸リチウムの融点（７２０°
Ｃ）以上の温度に加熱すると炭酸リチウムが溶融してし
まいガスの拡散のために必要な検知極中の空隙が完全に
消滅してしまう。さらには、炭酸リチウムとＬＩＳＩＣ
ＯＮなどのアルカリ金属イオン導電体とが反応してしま
い、界面にリチウムの高濃度の層が生成して起動力のド
リフトを起こしてしまう、高温反応生成物がセンサ−性
能に悪影響を及ぼし，測定精度・寿命の低下を引き起こ
す等の問題が発生する。
アルカリ金属イオン導電体の間を熱的に強引に接着させ
る場合、かなり高い温度下で長時間にわたって加熱する
必要があり、たとえばアルカリ金属炭酸塩として炭酸リ
チウムを使用した場合、炭酸リチウムの融点（７２０°
Ｃ）以上の温度に加熱すると炭酸リチウムが溶融してし
まいガスの拡散のために必要な検知極中の空隙が完全に
消滅してしまう。さらには、炭酸リチウムとＬＩＳＩＣ
ＯＮなどのアルカリ金属イオン導電体とが反応してしま
い、界面にリチウムの高濃度の層が生成して起動力のド
リフトを起こしてしまう、高温反応生成物がセンサ−性
能に悪影響を及ぼし，測定精度・寿命の低下を引き起こ
す等の問題が発生する。
【０００５】また、上述の溶融固化以外の手段による接
合には、部品を機械的に圧接する方法が考えられるが、
従来の圧接法では，素子部品同士を押し付けるために素
子と反応性がなくかつ耐熱性のある専用の部品（ねじ・
バネ等）を必要とするため、構成部品が多くなり、か
つ、ガスセンサー素子自体のサイズも大きくなり、小型
の熱伝導式のヒ−タでは温度分布が悪くなる。この結
果、ヒ−タも大きくせざるを得ず消費電力が大きくな
り、小型化がますます困難となるという問題がある。
合には、部品を機械的に圧接する方法が考えられるが、
従来の圧接法では，素子部品同士を押し付けるために素
子と反応性がなくかつ耐熱性のある専用の部品（ねじ・
バネ等）を必要とするため、構成部品が多くなり、か
つ、ガスセンサー素子自体のサイズも大きくなり、小型
の熱伝導式のヒ−タでは温度分布が悪くなる。この結
果、ヒ−タも大きくせざるを得ず消費電力が大きくな
り、小型化がますます困難となるという問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、高温
作動ガスセンサ−素子において，耐熱性大なる無機接着
剤を間接的に使用し素子部品を圧接することにより（言
い換えると、無機接着剤の熱膨張を利用して圧接力を得
るようにすることにより）、構成部品も少なく単純な構
造からなり、部品界面の反応生成物の発生を防止できセ
ンサ−の測定精度と寿命を改善出来る小型のガスセンサ
ー素子を提供し、上記諸問題を解決することを目的とす
る。
作動ガスセンサ−素子において，耐熱性大なる無機接着
剤を間接的に使用し素子部品を圧接することにより（言
い換えると、無機接着剤の熱膨張を利用して圧接力を得
るようにすることにより）、構成部品も少なく単純な構
造からなり、部品界面の反応生成物の発生を防止できセ
ンサ−の測定精度と寿命を改善出来る小型のガスセンサ
ー素子を提供し、上記諸問題を解決することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このため、本発明が採用
した技術解決手段は、加熱手段を有するアルミナ板上に
検知極および固体基準極を配置し、前記検知極および固
体基準極上にアルカリ金属イオン導電体を配置し、前記
アルミナ板とアルカリ金属イオン導電体とを耐熱性に富
んだ無機接着剤で接着したことを特徴とするガスセンサ
ー素子であり、
した技術解決手段は、加熱手段を有するアルミナ板上に
検知極および固体基準極を配置し、前記検知極および固
体基準極上にアルカリ金属イオン導電体を配置し、前記
アルミナ板とアルカリ金属イオン導電体とを耐熱性に富
んだ無機接着剤で接着したことを特徴とするガスセンサ
ー素子であり、
【０００８】加熱手段を有するアルミナ板とアルミナ蓋
とによって空間を形成し、該空間内のアルミナ板上に検
知極および固体基準極を配置し、前記検知極および固体
基準極上にアルカリ金属イオン導電体を配置し、前記ア
ルカリ金属イオン導電体とアルミナ蓋とを耐熱性に富ん
だ無機接着剤６で接着したことを特徴とするガスセンサ
ー素子である。
とによって空間を形成し、該空間内のアルミナ板上に検
知極および固体基準極を配置し、前記検知極および固体
基準極上にアルカリ金属イオン導電体を配置し、前記ア
ルカリ金属イオン導電体とアルミナ蓋とを耐熱性に富ん
だ無機接着剤６で接着したことを特徴とするガスセンサ
ー素子である。
【０００９】
【実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実施の形
態を説明すると、図１は第１実施形態に係わるガスセン
サー素子の断面図である。図において、アルミナ板４上
には、コーティング層８を介して検知極を形成する炭酸
リチウムペレット１と、固体基準極を形成する（ＬｉＦ
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ 5 Ｏ8 ）ペレット２とを分離載置し、
さらに前述の炭酸リチウムペレット１と、（ＬｉＦｅＯ
2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２の上に、アルカリ金属
イオン導電体としてのリチウムイオン導電体３を載置
し、この状態で、リチウムイオン導電体３とアルミナ板
４とを周囲複数箇所において耐熱性の無機接着剤（ここ
ではアルミナ系接着剤を使用）６で接着する。なお、こ
の無機接着剤６の熱膨張係数は、炭酸リチウムペレット
１、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２の熱
膨張係数よりも小さいものを使用することが重要であ
る。
態を説明すると、図１は第１実施形態に係わるガスセン
サー素子の断面図である。図において、アルミナ板４上
には、コーティング層８を介して検知極を形成する炭酸
リチウムペレット１と、固体基準極を形成する（ＬｉＦ
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ 5 Ｏ8 ）ペレット２とを分離載置し、
さらに前述の炭酸リチウムペレット１と、（ＬｉＦｅＯ
2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２の上に、アルカリ金属
イオン導電体としてのリチウムイオン導電体３を載置
し、この状態で、リチウムイオン導電体３とアルミナ板
４とを周囲複数箇所において耐熱性の無機接着剤（ここ
ではアルミナ系接着剤を使用）６で接着する。なお、こ
の無機接着剤６の熱膨張係数は、炭酸リチウムペレット
１、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２の熱
膨張係数よりも小さいものを使用することが重要であ
る。
【００１０】前記炭酸リチウムペレット１と、（ＬｉＦ
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２には両者間の電位
差を検知するためのリード線７ｂ、７ｃが接続されて、
また、アルミナ板４の裏面には白金ヒータ５が配置さ
れ、白金ヒータ５にはヒータ用リード線７ａが接続され
ている。
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２には両者間の電位
差を検知するためのリード線７ｂ、７ｃが接続されて、
また、アルミナ板４の裏面には白金ヒータ５が配置さ
れ、白金ヒータ５にはヒータ用リード線７ａが接続され
ている。
【００１１】以上のように構成されたガスセンサーは白
金ヒータ５によって所定の温度（約５００°Ｃ前後）に
加熱された状態で使用され、公知の理論によってＣＯ2
ガス濃度を検出できるが、測定状態（加熱状態）におい
て、上記実施形態のものでは、リチウムイオン導電体３
とアルミナ板４との間を接着している無機接着剤６の熱
膨張係数が、両者間に配置されている炭酸リチウムペレ
ット１、（ＬｉＦｅＯ 2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２
の熱膨張係数よりも小さいために、無機接着剤６に常に
引っ張り力が発生することになり、この引っ張り力によ
ってリチウムイオン導電体３とアルミナ板４と間の検知
極１および固体基準極には圧接力が作用する。このた
め、従来のような機械的圧接手段が不要となり、構成部
品が少なく単純な構造で、小型であり、部品界面の反応
生成物の発生を防止でき、さらにセンサ−の測定精度と
寿命を改善出来るガスセンサーを得ることができる。な
お、リチウムイオン導電体３とアルミナ板４との接着箇
所は本例では４箇所としてあるが、ガスセンサー素子の
大きさ形状等によって自由に変更することができる。
金ヒータ５によって所定の温度（約５００°Ｃ前後）に
加熱された状態で使用され、公知の理論によってＣＯ2
ガス濃度を検出できるが、測定状態（加熱状態）におい
て、上記実施形態のものでは、リチウムイオン導電体３
とアルミナ板４との間を接着している無機接着剤６の熱
膨張係数が、両者間に配置されている炭酸リチウムペレ
ット１、（ＬｉＦｅＯ 2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２
の熱膨張係数よりも小さいために、無機接着剤６に常に
引っ張り力が発生することになり、この引っ張り力によ
ってリチウムイオン導電体３とアルミナ板４と間の検知
極１および固体基準極には圧接力が作用する。このた
め、従来のような機械的圧接手段が不要となり、構成部
品が少なく単純な構造で、小型であり、部品界面の反応
生成物の発生を防止でき、さらにセンサ−の測定精度と
寿命を改善出来るガスセンサーを得ることができる。な
お、リチウムイオン導電体３とアルミナ板４との接着箇
所は本例では４箇所としてあるが、ガスセンサー素子の
大きさ形状等によって自由に変更することができる。
【００１２】次に、本発明の第２実施形態に係わるガス
センサー素子を図２を参照して説明する。図において、
４はアルミナ板であり、その周囲には、立設したフラン
ジ４ａが形成され、そのフランジ４ａ上面にはアルミナ
蓋４ｂが固定され、箱状を形成している。アルミナ板４
とアルミナ蓋４ｂとによって形成された空間内のアルミ
ナ板４上には、コーティング層８を介して検知極を形成
する炭酸リチウムペレット１と、固体基準極を形成する
（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２とが分離
載置され、さらに炭酸リチウムペレット１と、（ＬｉＦ
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5Ｏ8 ）ペレット２の上にはリチウム
イオン導電体３が載置される。そしてリチウムイオン導
電体３とアルミナ蓋４ｂとの間をアルミナ系接着剤（無
機接着剤）６で接着する。前記炭酸リチウムペレット１
と、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２には
両者間の電位差を検知するためのリード線７ｂ、７ｃが
接続され、また、アルミナ板４の裏面には白金ヒータ５
が配置され、白金ヒータ５にはヒータ用リード線７ａが
接続されている。
センサー素子を図２を参照して説明する。図において、
４はアルミナ板であり、その周囲には、立設したフラン
ジ４ａが形成され、そのフランジ４ａ上面にはアルミナ
蓋４ｂが固定され、箱状を形成している。アルミナ板４
とアルミナ蓋４ｂとによって形成された空間内のアルミ
ナ板４上には、コーティング層８を介して検知極を形成
する炭酸リチウムペレット１と、固体基準極を形成する
（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２とが分離
載置され、さらに炭酸リチウムペレット１と、（ＬｉＦ
ｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5Ｏ8 ）ペレット２の上にはリチウム
イオン導電体３が載置される。そしてリチウムイオン導
電体３とアルミナ蓋４ｂとの間をアルミナ系接着剤（無
機接着剤）６で接着する。前記炭酸リチウムペレット１
と、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）ペレット２には
両者間の電位差を検知するためのリード線７ｂ、７ｃが
接続され、また、アルミナ板４の裏面には白金ヒータ５
が配置され、白金ヒータ５にはヒータ用リード線７ａが
接続されている。
【００１３】以上のように構成されたガスセンサーは白
金ヒータ５によって所定の温度（約５００°Ｃ前後）に
加熱された状態で使用され、公知の理論によってＣＯ2
ガス濃度を検出できるが、測定状態（加熱状態）におい
て、上記実施形態のものでは、リチウムイオン導電体３
とアルミナ板４とが熱膨張すると同時に、無機接着剤６
も熱膨張するため、各部材内に熱膨張による圧縮力が発
生し、この圧縮力によってリチウムイオン導電体３とア
ルミナ板４と間に圧接力が発生する。このため、本実施
形態においても従来のような機械的圧接手段が不要とな
り、構成部品が少なく単純な構造で小型であり、部品界
面の反応生成物の発生を防止でき、さらにセンサ−の測
定精度と寿命を改善出来るガスセンサーを得ることがで
きる。なお本実施形態では、無機接着剤および、炭酸リ
チウムペレット１、（ＬｉＦｅＯ 2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）
ペレット２が熱膨張時においていずれも圧縮力を発生
し、この圧縮力によって各部材間の圧接力を得ることが
できるため、無機接着剤は第１実施形態のように、炭酸
リチウムペレット１、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ
5 Ｏ 8 ）ペレット２の熱膨張係数よりも小さいものを使
用する必要はない。
金ヒータ５によって所定の温度（約５００°Ｃ前後）に
加熱された状態で使用され、公知の理論によってＣＯ2
ガス濃度を検出できるが、測定状態（加熱状態）におい
て、上記実施形態のものでは、リチウムイオン導電体３
とアルミナ板４とが熱膨張すると同時に、無機接着剤６
も熱膨張するため、各部材内に熱膨張による圧縮力が発
生し、この圧縮力によってリチウムイオン導電体３とア
ルミナ板４と間に圧接力が発生する。このため、本実施
形態においても従来のような機械的圧接手段が不要とな
り、構成部品が少なく単純な構造で小型であり、部品界
面の反応生成物の発生を防止でき、さらにセンサ−の測
定精度と寿命を改善出来るガスセンサーを得ることがで
きる。なお本実施形態では、無機接着剤および、炭酸リ
チウムペレット１、（ＬｉＦｅＯ 2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）
ペレット２が熱膨張時においていずれも圧縮力を発生
し、この圧縮力によって各部材間の圧接力を得ることが
できるため、無機接着剤は第１実施形態のように、炭酸
リチウムペレット１、（ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ
5 Ｏ 8 ）ペレット２の熱膨張係数よりも小さいものを使
用する必要はない。
【００１４】
【発明の効果】以上詳細に述べた如く本発明によれば、
高温作動ガスセンサ−において，耐熱性大なる無機接着
剤を間接的に使用し素子部品を圧接する構造としたた
め、ガスセンサー素子の構成部品を少なくすることがで
き、小型で単純な構造のガスセンサーを得ることができ
る。また、部品界面の反応生成物の発生を防止でき、ガ
スセンサ−の測定精度と寿命を改善出来る。また、無機
接着剤の熱膨張を利用して圧接力を得ることができるた
め、無機接着剤の選択、基板の材質の選択により，圧接
力を自由に制御することができる、等の優れた効果を奏
することができる。
高温作動ガスセンサ−において，耐熱性大なる無機接着
剤を間接的に使用し素子部品を圧接する構造としたた
め、ガスセンサー素子の構成部品を少なくすることがで
き、小型で単純な構造のガスセンサーを得ることができ
る。また、部品界面の反応生成物の発生を防止でき、ガ
スセンサ−の測定精度と寿命を改善出来る。また、無機
接着剤の熱膨張を利用して圧接力を得ることができるた
め、無機接着剤の選択、基板の材質の選択により，圧接
力を自由に制御することができる、等の優れた効果を奏
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係わるガスセンサ−素
子の断面図である。
子の断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係わるガスセンサ−素
子の断面図である。
子の断面図である。
１ 炭酸リチウムペレット ２ （ＬｉＦｅＯ2 ＋ＬｉＦｅ5 Ｏ8 ）
ペレット ３ リチウムイオン導電体 ４ アルミナ板 ５ 白金ヒ−タ ６ 耐熱性の無機接着剤（アルミナ系接
着剤） ７ リ−ド線 ８ コ−ティング層
ペレット ３ リチウムイオン導電体 ４ アルミナ板 ５ 白金ヒ−タ ６ 耐熱性の無機接着剤（アルミナ系接
着剤） ７ リ−ド線 ８ コ−ティング層
Claims (3)
- 【請求項１】加熱手段を有するアルミナ板４上に検知極
１および固体基準極２を配置し、前記検知極および固体
基準極上にアルカリ金属イオン導電体３を配置し、前記
アルミナ板とアルカリ金属イオン導電体とを耐熱性に富
んだ無機接着剤６で接着したことを特徴とするガスセン
サー素子。 - 【請求項２】前記無機接着剤６の熱膨張係数は、検知極
１、固体基準極２の熱膨張係数よりも小さいものを使用
することを特徴とする請求項１に記載のガスセンサー素
子。 - 【請求項３】加熱手段を有するアルミナ板４とアルミナ
蓋４ｂとによって空間を形成し、該空間内のアルミナ板
４上に検知極１および固体基準極２を配置し、前記検知
極および固体基準極上にアルカリ金属イオン導電体３を
配置し、前記アルカリ金属イオン導電体３とアルミナ蓋
４ｂとを耐熱性に富んだ無機接着剤６で接着したことを
特徴とするガスセンサー素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10080683A JPH11281614A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ガスセンサー素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10080683A JPH11281614A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ガスセンサー素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281614A true JPH11281614A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13725153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10080683A Withdrawn JPH11281614A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | ガスセンサー素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11281614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005106442A1 (de) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Markus Gruber | Messzelle sowie verfahren zum herstellen einer messzelle und messvorrichtung zur aufnahme einer derartigen messzelle |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP10080683A patent/JPH11281614A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005106442A1 (de) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Markus Gruber | Messzelle sowie verfahren zum herstellen einer messzelle und messvorrichtung zur aufnahme einer derartigen messzelle |
| US7487682B2 (en) | 2004-04-30 | 2009-02-10 | Markus Gruber | Measuring cell as well as constructing methods for a measuring cell and measuring apparatus with a mount for such a measuring cell |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |