JPH1062380A - ２つの測定領域を有する酸素分圧測定用センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は冒頭に言及した形式のセンサ
を提供することである。このセンサは２つの異なる測定
領域で駆動され、同時に２つの電極を雰囲気成分により
引き起こされる化学的影響から保護する。さらにこのセ
ンサは酸素分圧と出力信号との間で線形関係を有する。 【解決手段】 この課題は、酸素分圧センサを、第２の
電極は、固体電解質と気密に接合される第２のガス拡散
隔壁によって包囲されており、２つのガス拡散隔壁のガ
ス透過性は相互に異なり、電極は電流検出装置を介して
電圧源と接続されるように構成して解決される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気化学的酸素ポ
ンプセルを含み、このセルは酸素イオン導電固体電解質
を有し、この固体電解質に、相互に対向する表面で電極
が固定され、２つの電極のうちの１つが、固体電解質と
気密に接合される第１のガス拡散隔壁によって包囲され
ている形式の酸素分圧測定用センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】こうした酸素センサにおいては、固体電
解質に、２つの対向する側で電極が配置され、この電極
には、発生する測定セル電圧が印加される。そのことに
よって、酸素はセルのカソードからアノードへ“ポンピ
ング”される。なぜなら、電荷移動がセル内部において
酸素イオンによって行われるからである。印加電圧が上
昇すると、電流はセルの周囲雰囲気の酸素濃度に依存す
る飽和値に達する。

【０００３】センサのこの単純な実施形態においては飽
和電流は安定しない。なぜなら、この飽和電流はカソー
ドの分解に直接依存しているからである。ゆえにカソー
ドは拡散隔壁によって包囲される。この隔壁は気密に構
成され、小さなせん孔が設けられている。このせん孔を
通って雰囲気はカソードに到達することができる。

【０００４】このせん孔の大きさは、十分な高さの電圧
が印加されている場合に、所定の酸素濃度において達す
る飽和電流値がせん孔を通るガス拡散のみに依存する程
度に小さく構成される。そのため、このせん孔の幾何学
的配置が、飽和電流と酸素濃度との比、すなわちセンサ
の感度を定める。

【０００５】さらに注意すべきなのは、前記の酸素セン
サは所定の最大電圧によってしか駆動されないというこ
とである。この電圧を越えると、付加的な、酸素濃度及
びせん孔の幾何学的配置に依存しない導電性が生じ、こ
の導電性が測定結果を歪めてしまいかねない。

【０００６】最大電圧において発生する飽和電流の高さ
は、ちょうど、せん孔の幾何学的配置及び酸素濃度に依
存している。せん孔の大きさがセルの内部抵抗ととも
に、測定可能な酸素濃度の最高濃度、すなわち測定領域
の上限を定める。

【０００７】前記の公知のセンサがガス混合物またはガ
ス（酸素を除く）内部において駆動される場合、センサ
信号の影響を考慮しなければならない。この影響はおお
むね次のようなガス成分に帰せられる。すなわち、発生
すると分圧を低下させるガス成分（例えば窒素Ｎ_２）、
及び、センサ信号の活性の変化を導く（例えば二酸化硫
黄ＳＯ_２、水Ｈ_２Ｏ）種類のガス成分である。

【０００８】とりわけ二酸化硫黄ＳＯ_２は、センサ信号
の変化とセンサ寿命の短縮とを引き起こすガス成分であ
る。この変化の原因は、電極下部を白金硫黄化合物が被
覆することにある。なぜなら、この電極は比較的大部分
が保護されておらず、露出しているからである。白金硫
黄化合物によって、白金表面での持続的な影響が生じ、
センサの充分な機能に対して必要な接触反応がもはや完
全には行えなくなり、また、接触反応に対する活性表面
が減少する。この反応の結果、センサ寿命が著しく短縮
される。この反応は所定の適用分野に対しては許容され
ず、そのためその適用分野で使用することはできない。

【０００９】ガス成分ＳＯ_２は燃焼されるガス混合物の
ほとんどすべてにおいて少なくともわずかには存在して
いるので、上記の反応に関して改善が求められ所望され
る。似た状況が、他のガス成分、例えばＣＯ（一酸化炭
素）、ＣＯ_２（二酸化炭素）、ＮＯ_Ｘ（窒素酸化物）の
場合にも生じる。

【００１０】次のような別の欠点がこれまでに公知のセ
ンサにおいて生じる。１回の適用において様々な測定領
域が必要である場合には、複数のセンサを相互に並列的
に駆動しなければならない。なぜなら、各センサはその
構造に基づいて、固定された変更不可能な測定領域を有
するからである。多数のセンサを有する測定装置は、複
数のセンサ配線をしなければならない欠点、ひいては比
較的大きな構造コスト及び空間コストが必要であるとい
う欠点をともなう。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題はこうし
た欠点を回避し冒頭に言及した形式のセンサを提供する
ことである。このセンサは２つの異なる測定領域で駆動
され、同時に２つの電極を雰囲気成分により引き起こさ
れる化学的影響から保護する。さらにこのセンサが酸素
分圧と出力信号との間で線形関係を有するようにする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この課題は本発明によ
り、酸素分圧センサを、第２の電極は、固体電解質と気
密に接合される第２のガス拡散隔壁によって包囲されて
おり、２つのガス拡散隔壁のガス透過性は相互に異な
り、電極は電流検出装置を介して電圧源と接続されるよ
うに構成して解決される。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明によればセンサの構造は、
２つの別個のセンサを使用する場合と比較して格段に複
雑にはならない。センサ配線を簡単に変更することによ
って、本発明によるセンサは２つの別個のセンサの機能
を満たすように駆動される。

【００１４】電極を電圧源と接続することによって、本
発明によるセンサを“電流計測定法”により駆動するこ
とができる。そのことによってまず、酸素分圧と測定信
号（センサ電流）との間で線形関係が得られる。そのこ
とは例えば測定結果の更なる処理を容易にする。さら
に、電流計として駆動されるセンサは高い分解能を示
す。この高い分解能は、高い信号安定性と、測定信号の
温度依存性が小さいこととに結びついている。

【００１５】本発明の別の構成を、次のように設けるこ
とができる。すなわち、ガス拡散隔壁は気密の材料から
形成され、それぞれ少なくとも１つのせん孔を有する。

【００１６】このことによって、２つの隔壁のガス透過
性の正確な調整が可能となる。

【００１７】有利には、せん孔は相互に異なる直径を有
する。

【００１８】このことによって、２つのガス拡散隔壁を
厚く構成することができ、それは製造の際に有利であ
る。なぜなら、２つの隔壁を同一の原料プレートから裁
断することができるからである。

【００１９】本発明の別の構成により、せん孔は相互に
異なる長さを有する。

【００２０】このことによって、２つのせん孔は同一の
直径を有するように製造することができ、また同じ工具
によって製造することができる。

【００２１】本発明の格別に有利な実施形態では、固体
電解質はガス拡散隔壁とガラスによって気密に溶接され
ている。

【００２２】そのため容易に酸素ポンプセルと拡散隔壁
とを完全に気密に接合することができる。

【００２３】これに関係して本発明の別の構成では、ガ
ス拡散隔壁は固体電解質の材料から形成される。

【００２４】これにより固体電解質及びガス拡散隔壁の
膨張係数は完全に同一である。温度変化により引き起こ
される上記構造部分の変形は、気密な接合部が剥離する
ようなことにはいたらない。

【００２５】本発明の別の構成手段では、ガス拡散隔壁
は、ガラス、金属、ガラスセラミックのグループから選
択される１つの材料から形成される。

【００２６】これらの材料は、例えば酸化ジルコニウム
のような固体電解質と比べて、価格的に格段に有利であ
る。そのことはセンサ全体の生産コストの低減につなが
る。さらに、これらの材料はきわめて容易に加工するこ
とができ、とりわけ固体電解質におけるせん孔よりも小
さなせん孔を形成することができる。このことによっ
て、本発明によるセンサの動作温度は、固体電解質から
成る拡散隔壁を有するセンサにおける場合よりも低く維
持される。そのため、わずかな電力消費と、信頼性の向
上とが達成される。しかも上記の材料はすべて、ガス拡
散隔壁としての構成に必要な特性を有する。

【００２７】本発明の別の特徴は次の点にある。すなわ
ち、センサに対するヒータとして拡散隔壁のうち少なく
とも１つの外側に白金接合ワイヤを備えた白金トラック
が配置されている。

【００２８】この手段によりヒータが容易に製造でき、
ガス拡散隔壁上に直接に配置できることに基づいてセン
サの効率の良い加熱が可能である。

【００２９】これに関係して有利には、白金接合ワイヤ
に対する引っ張り軽減部として、拡散隔壁の表面にガラ
スペーストから成る素子が配置されており、この素子は
白金接合ワイヤのそれぞれを包囲している。

【００３０】この引っ張り軽減部は容易に製造され、許
容されない高い引っ張りから効果的に保護する。

【００３１】本発明の別の構成では、ガラス及びガラス
ペーストは種々異なるガラス粉末と有機結合剤との混合
から形成される。

【００３２】この手段により２つの材料は共通に加工さ
れる。

【００３３】本発明の有利な実施形態では、ガラス及び
ガラスペーストは、ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ_３、ＢａＯ、Ｋ
_２Ｏ、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３のグループから選択される
材料から形成される。

【００３４】この構成により、ガラスは酸素ポンプセル
に格別に良く適合する温度膨張係数を有する。

【００３５】

【実施例】本発明を以下に図面に即して詳細に説明す
る。

【００３６】図１に記載の従来技術によるセンサは酸素
ポンプセル１を含む。この酸素ポンプセルは、有利には
円筒形の固体電解質２０を有する。この固体電解質に対
する材料として、有利には酸化イットリウムにより安定
化された酸化ジルコニウムが使用される。

【００３７】固体電解質２０の上部及び下部に白金電極
４、５が配置されている。この白金電極は白金ワイヤ
６、１２を介して電圧源１１と接続されている。この電
源は定電圧を供給する。そのことにより、測定すべき酸
素分圧の大きさは電流の評価によって表される。すなわ
ち電圧源１１はセンサに対して供給を維持できる電流を
評価するのである。そのために、電極４、５が電流検出
装置１３を介して電圧源１１と接続されている。電流検
出装置は、図に記載の実施形態においては、電流計１３
により構成されている。

【００３８】センサのこのような駆動は電流計測定法と
も称され、同様に可能な電位差計動作とは異なってい
る。電位差計動作においては定電流がセンサに印加さ
れ、その際に生成される２つの電極４、５間の電位差
が、周囲雰囲気の酸素濃度に対する尺度をとなるのであ
る。これと異なり、上記センサの駆動は以下のような有
利な点を有する。

【００３９】電位差計として駆動されるセンサにおいて
は、測定量（酸素濃度）と測定信号（電極間の電圧）と
の関係は対数関係である。一方、電流計測定（センサ電
流）における測定信号は、酸素濃度についての線形関係
を、比較的高い酸素圧（Ｏ_２は０.１％ 以上）の領域に
おいて示す。そのため、測定信号の評価と更なる処理と
は電位差計測定法における場合よりもきわめて容易であ
る。

【００４０】多くの適用分野に対して関心のある、Ｏ_２
が０.１％（燃焼過程）から９６％（医療技術）までの
測定領域においては、電流計としてのセンサは高い信号
安定性と結びついた高い分解能を示す。電位差計として
駆動されるセンサは、もちろん対数的特徴に基づいて広
い測定領域を包含するが、そのことにより正確さと分解
能の点において、高い酸素濃度の測定に対してはむしろ
適さない。

【００４１】電流計としてのセンサの測定信号は電位差
計としてのセンサとは異なり、格別に温度依存性が小さ
い。正常な電位差計動作に必要な正確な温度制御は、多
くの場合に技術コスト上昇につながるものであるが、こ
れを省略することができる。

【００４２】センサの電位差計動作においては最終的に
次のことに注意を払わなければならない。すなわち、２
つの電極のうちの１つは、正確に既知の酸素濃度を有す
る基準雰囲気に、他の１つは測定すべき雰囲気にさらさ
れなければならない。基準雰囲気及び測定雰囲気は気密
に相互に分離しておかなければならず、また基準雰囲気
はこれに加えて相応の製造コストで生成されなければな
らない。

【００４３】電流計として駆動されるセンサはこれに対
して、完全にこのような基準雰囲気なしに済む。そのこ
とによって技術コストが節約でき、またセンサの構造空
間を小さく維持することができる。

【００４４】単純な構造、わずかな材料コスト、及び他
の上記の特性は、電流計としてのセンサの使用を種々の
適用例において可能にする。このことは従来、電位差計
としてのセンサによっては技術的または経済的に満足に
解決されなかった適用例においても可能である。

【００４５】図２には、この種の電流計としてのセンサ
の電流／電圧特性曲線が示されている。第１象限では特
性曲線は３つの異なる領域Ａ、Ｂ、Ｃを示している。領
域Ａにおいて、まずセンサ電流は固体電解質２０の内部
抵抗に従って上昇する。続いて領域Ｂにおいて飽和値に
達し、この値の大きさは拡散隔壁（横断面／長さ）の幾
何学的配置と、周囲雰囲気の酸素分圧とに依存する。セ
ンサ電圧が臨界電圧値Ｖ_Ｄまでさらに上昇すると、セン
サ電流の強い上昇が付加的な電気的伝導性に基づいて発
生する（領域Ｃ）。この領域Ｃは安定した評価に対して
援用することはもはやできない。

【００４６】第３象限においては、特性曲線は領域Ａ及
び領域Ｃのみを有する。上記の説明から、最大出力電流
は電池の内部抵抗と電圧値Ｖ_Ｄとによって定められるこ
とがわかる。センサの感度をできるかぎり大きくするた
めに、拡散隔壁の幾何学的配置（せん孔直径、せん孔長
さ）は、上記の測定領域限界が最大飽和電流に相応する
ように調整される。感度として、Ｉ_ｍａｘと上記の測定
領域限界との比が得られる。種々異なる適用分野に対し
て、センサに様々な上記の測定領域、例えば０〜１％、
０〜５％、０〜２５％、０〜９５％の領域が必要とされ
る。

【００４７】図３に示された本発明による酸素分圧測定
用センサは本来、図１に記載のセンサと同様に構成され
ている。このセンサは同様に電気化学的酸素ポンプセル
１を含む。この酸素ポンプセルは酸素イオン導電固体電
解質２０から形成され、この固体電解質に、相互に対向
する表面で電極４、５が固定されている。

【００４８】電極４は、固体電解質２０と気密に接合さ
れる第１のガス拡散隔壁２によって包囲されている。第
２の電極５は同様に、固体電解質２０と気密に接合され
る第２のガス拡散隔壁３によって包囲されている。

【００４９】２つのガス拡散隔壁２、３は、周囲雰囲気
が電極４、５へ直接侵入することを制限しなければなら
ない。ゆえにこの２つの隔壁は小さなガス透過性を有す
る。その場合に、２つの異なる測定領域上限を所期のよ
うに実現することに対して、２つの隔壁２、３のガス透
過率が相互に異なることが必須である。

【００５０】動作電圧が図３に示される手段において印
加されると、Ｏ_２イオンは電極４から電極５の方向へ移
動する。後から流れる周囲雰囲気に対して、せん孔７を
有する拡散隔壁２が作用する。したがって測定領域の上
限もこのせん孔７によって定められる。

【００５１】動作電圧の極性反転の際にＯ_２イオンの流
れの方向は逆転し、周囲雰囲気に対して隔壁３が作用
し、測定領域を定める。

【００５２】図４は以下の説明と関連して、本発明によ
るこの種のセンサの電流／電圧特性曲線を示している。
第１象限においても第３象限においても、領域Ａ、Ｂ、
Ｃは上記のように判別される。第３象限において測定領
域の上限が第１象限の１／３程度であり、これに対して
感度は第１象限の３倍程度であるということは明らかで
ある。ここから、２つの任意の測定領域上限の組み合わ
せが可能となることがわかる。

【００５３】この構成により単純な形式及び手段で変更
可能な測定領域が可能となり、同時に例えばガス成分の
二酸化硫黄ＳＯ_２による影響の有効な改善が得られる。
この構成は２つの測定領域の調整を同一のセンサ素子
で、領域変更に対して動作電圧の極性のみを変更すれば
よいようにして行うことができる。同時に上記の本発明
によれば、もはや露出されていない白金電極５の保護も
可能である。

【００５４】既に述べられた拡散隔壁２、３のガス透過
性は有利には、気密の材料が使用され、この材料に少な
くとも１つのせん孔７、１５が設けられるようにして達
成される。

【００５５】２つの隔壁２、３の異なるガス透過率を調
整することに対して種々異なる可能性が考えられる。２
つのせん孔７、１５は、図３には破線で示されているよ
うに、互いに異なる直径を有することができる。また、
第１の隔壁２に第１の数のせん孔７を設けることも、第
２の隔壁３に第２の数のせん孔１５を設けることもでき
る。ここで個々のせん孔７、１５は同一の直径または異
なる直径を有することができる。

【００５６】ガス透過性を調整する別の手段はせん孔
７、１５の長さについて行われる。図３に点線で示され
ているように、せん孔７、１５は電極４、５に対して互
いに異なる傾斜角を有する。そのことにより、異なるせ
ん孔の長さと、異なるガス拡散抵抗とが生じる。この関
係において本発明の範囲内で、２つの拡散隔壁２、３を
異なる厚さに構成し、それにより異なるせん孔の長さを
得ることもできる。

【００５７】拡散隔壁２、３に対する材料として、固体
電解質２０の材料、すなわち有利にはＹ_２Ｏ_３により安
定化されたＺｒＯ_２、または、ガラス、金属、ガラスセ
ラミックのグループから選択された１つの材料が使用さ
れる。

【００５８】有利に、ガラス、金属、ガラスセラミック
の材料のうち１つを使用する場合には、これらの材料は
例えばＺｒＯ_２よりも格段に安価に維持でき、容易に加
工できる。ガラスセラミックは格別に有利である。なぜ
なら、この材料においては、せん孔は酸化ジルコニウム
における場合よりも小さい直径で形成できるからであ
る。ガラスセラミックはさらに、格別に良好なガラス１
４との濡れ性を有する。それにより、ガラス１４と拡散
隔壁２、３との間に発生しうる隙間を回避することがで
きる。

【００５９】これまで説明された、気密でしかもせん孔
を有する構造部分を拡散隔壁２、３として使用すること
と並んで、多孔体を使用することも可能である。本発明
に関してこの場合にも重要であるのは、２つの隔壁２、
３での多孔性とガス透過率とを異なる大きさに選択する
ということである。

【００６０】固体電解質２０をガス拡散隔壁２、３と気
密に接合することは、有利にはガラス１４を用いて行わ
れる。製造の際にはこのガラス１４は溶融され、冷える
際に言及された構造部分と格別確実に相互接合する。

【００６１】センサに対するヒータは拡散隔壁２、３の
少なくとも１つの外側に配置される。この場合、最大の
効率は言うまでもなく、各隔壁２、３に一つずつヒータ
を使用する場合に達成される。ヒータは酸素ポンプセル
１の電極４、５と同様に白金トラック８から形成されて
おり、この白金トラック８は白金ワイヤ９を介して電圧
源に接続されている。

【００６２】白金接合ワイヤに対する引っ張り軽減部と
して、拡散隔壁２、３の表面にガラスペースト１０から
成る素子が配置されている。この素子は白金接合ワイヤ
９のそれぞれを包囲している。図１に記載の実施例に設
けられている引っ張り軽減部は、露出した電極５の接合
ワイヤ６に対するものであり、この引っ張り軽減部は、
本発明によって第２の拡散隔壁３をガラス１４により固
定することを前提として自動的に形成される。

【００６３】ガラス１４と、引っ張り軽減部を形成する
ガラスペースト１０との組成は、これらの材料で似た温
度特性が存在し、拡散隔壁２、３の温度特性に適合する
ように選択される。そのため、２つの材料、ガラスペー
スト１０及びガラス１４は、１つの製造段階において共
通に加工すなわち溶融することができる。

【００６４】ガラス１４及びガラスペースト１０は様々
なガラス粉末と有機結合剤との混合から形成される。

【００６５】有利と判明しているのは、ガラス１４及び
ガラスペースト１０は、ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ_３、Ｂａ
Ｏ、Ｋ_２Ｏ、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３のグループから選択
される材料から形成される場合である。この場合に、混
合比はＳｉＯ_２が５５％、Ｎａ_２Ｏ_３が５％、ＢａＯが
１７％、Ｋ_２Ｏが６％、Ａｌ_２Ｏ_３が３％、Ｂ_２Ｏ_３が
１４％であり、この混合比でガラスが形成される。この
ガラスの温度膨張係数は酸素ポンプセル１の温度膨張係
数に格別に良く適合する。この粉末をプレス可能に形成
するために結合剤としてプレクストルを約５％混入す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の技術によるセンサの正面からの断面図で
ある。

【図２】図１に記載のセンサの、特徴的な電流／電圧特
性曲線である。

【図３】本発明によるセンサの正面からの断面図であ
る。

【図４】図３に記載の本発明によるセンサの、特徴的な
電流／電圧特性曲線である。

【符号の説明】

２、３ ガス拡散隔壁 ４、５ 電極 ８ 白金トラック ９ 白金接合ワイヤ ７、１５ せん孔 １４ ガラス ２０ 固体電解質

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気化学的酸素ポンプセル（１）を含
   み、 該セルは酸素イオン導電固体電解質（２０）を有し、 該固体電解質に、相互に対向する表面で電極（４、５）
   が固定され、 該２つの電極のうちの１つ（４）が、前記固体電解質
   （２０）と気密に接合される第１のガス拡散隔壁（２）
   によって包囲されている形式のセンサにおいて、 第２の電極（５）は、前記固体電解質（２０）と気密に
   接合される第２のガス拡散隔壁（３）によって包囲され
   ており、 ２つのガス拡散隔壁（２、３）のガス透過性は相互に異
   なり、 前記電極（４、５）は、電流検出装置（１３）を介して
   電圧源（１１）と接続されている、ことを特徴とする酸
   素分圧測定用センサ。
2. 【請求項２】 前記ガス拡散隔壁（２、３）は気密の材
   料から形成され、それぞれ少なくとも１つのせん孔
   （７、１５）を有する、請求項１記載のセンサ。
3. 【請求項３】 前記せん孔（７、１５）は相互に異なる
   直径を有する、請求項２記載のセンサ。
4. 【請求項４】 前記せん孔（７、１５）は相互に異なる
   長さを有する、請求項２または３記載のセンサ。
5. 【請求項５】 前記固体電解質（２０）は前記ガス拡散
   隔壁（２、３）とガラス（１４）によって気密に溶接さ
   れている、請求項１から４までのいずれか１項記載のセ
   ンサ。
6. 【請求項６】 前記ガス拡散隔壁（２、３）は前記固体
   電解質（２０）の材料から形成される、請求項１から５
   までのいずれか１項記載のセンサ。
7. 【請求項７】 前記ガス拡散隔壁（２、３）は、ガラ
   ス、金属、ガラスセラミックのグループから選択される
   １つの材料から形成される、請求項１から５までのいず
   れか１項記載のセンサ。
8. 【請求項８】 センサに対するヒータとして、前記拡散
   隔壁（２、３）のうち少なくとも１つの外側に、白金接
   合ワイヤ（９）を備えた白金トラック（８）が配置され
   ている、請求項１から７までのいずれか１項記載のセン
   サ。
9. 【請求項９】 白金接合ワイヤ（９）に対する引っ張り
   軽減部として、拡散隔壁（２、３）の表面にガラスペー
   スト（１０）から成る素子が配置されており、該素子は
   白金接合ワイヤ（９）のそれぞれを包囲する、請求項８
   記載のセンサ。
10. 【請求項１０】 ガラス（１４）及びガラスペースト
    （１０）は、種々異なるガラス粉末と有機結合剤との混
    合から形成される、請求項９記載のセンサ。
11. 【請求項１１】 前記ガラス（１４）及びガラスペース
    ト（１０）は、ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ_３、ＢａＯ、Ｋ
    _２Ｏ、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｂ_２Ｏ_３のグループから選択される
    材料から形成される、請求項１０記載のセンサ。