JPH11281339A - コンプトン散乱による板厚測定装置 - Google Patents
コンプトン散乱による板厚測定装置Info
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- JPH11281339A JPH11281339A JP10083340A JP8334098A JPH11281339A JP H11281339 A JPH11281339 A JP H11281339A JP 10083340 A JP10083340 A JP 10083340A JP 8334098 A JP8334098 A JP 8334098A JP H11281339 A JPH11281339 A JP H11281339A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 コンプトン散乱を利用して板厚を測定する場
合に、板厚増加による放射線強度の飽和に影響されるこ
となく、正確に板厚測定をする。 【解決手段】 Ｘ線源１から板２に斜めに一次Ｘ線３を
照射すると、一次Ｘ線３が板２を透過することにより、
二次Ｘ線４が発生する。Ｘ線検出器５の検出面５ａに
は、格子上スリット６が配置されている。このため、二
次Ｘ線４のうち、板の厚さ方向（ｅ〜ｆ）で発生して検
出面５ａに向かい直進する成分のみが、格子上スリット
６を透過してＸ線検出器５にて検出される。信号処理装
置７は、Ｘ線検出器５で検出した検出幅（位置ｅ〜ｆの
距離に対応する）と、入射角度θを基に、板２の板厚Ｔ
を演算する。
合に、板厚増加による放射線強度の飽和に影響されるこ
となく、正確に板厚測定をする。 【解決手段】 Ｘ線源１から板２に斜めに一次Ｘ線３を
照射すると、一次Ｘ線３が板２を透過することにより、
二次Ｘ線４が発生する。Ｘ線検出器５の検出面５ａに
は、格子上スリット６が配置されている。このため、二
次Ｘ線４のうち、板の厚さ方向（ｅ〜ｆ）で発生して検
出面５ａに向かい直進する成分のみが、格子上スリット
６を透過してＸ線検出器５にて検出される。信号処理装
置７は、Ｘ線検出器５で検出した検出幅（位置ｅ〜ｆの
距離に対応する）と、入射角度θを基に、板２の板厚Ｔ
を演算する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコンプトン散乱によ
る板厚測定装置に関し、測定精度の向上を図るように工
夫したものである。なお、コンプトン散乱は、放射線
（Ｘ線やγ線）が物体を透過する際に、原子に衝突して
電子に吸収されずに跳ね返される時に発生する。
る板厚測定装置に関し、測定精度の向上を図るように工
夫したものである。なお、コンプトン散乱は、放射線
（Ｘ線やγ線）が物体を透過する際に、原子に衝突して
電子に吸収されずに跳ね返される時に発生する。
【０００２】
【従来の技術】鋼板等で作られた煙道においては、排ガ
スによる腐食等によって減肉すると、強度的な問題が生
じる。そこで、煙道内に入ることなく外部から保温材な
どの障害物を介して板厚を検査し、問題個所を特定・補
修する必要がある。かかる事情、つまり、外部から板厚
を検査して問題個所を特定・補修する必要があること
は、煙道の他に、燃焼炉などの立ち入りが困難な構造物
についても同様である。
スによる腐食等によって減肉すると、強度的な問題が生
じる。そこで、煙道内に入ることなく外部から保温材な
どの障害物を介して板厚を検査し、問題個所を特定・補
修する必要がある。かかる事情、つまり、外部から板厚
を検査して問題個所を特定・補修する必要があること
は、煙道の他に、燃焼炉などの立ち入りが困難な構造物
についても同様である。
【０００３】従来の金属板厚さ測定法としては、超音
波，渦電流を利用した測定法があるが、このような測定
法では、金属板の表面にセンサを接近させて測定する必
要がある。かかる従来の測定法で板厚測定をするために
は、プラントを停止して煙道内に人が入って内側から測
定するか、煙道の外側にある保温材を剥がして測定する
必要がある。
波，渦電流を利用した測定法があるが、このような測定
法では、金属板の表面にセンサを接近させて測定する必
要がある。かかる従来の測定法で板厚測定をするために
は、プラントを停止して煙道内に人が入って内側から測
定するか、煙道の外側にある保温材を剥がして測定する
必要がある。
【０００４】また、放射線の透過を利用した測定法で
は、放射線発生源または、計測器を煙道内に持ち込む必
要がある。このため、測定に時間がかかることや保温材
の再施工が必要となる等の問題があった。
は、放射線発生源または、計測器を煙道内に持ち込む必
要がある。このため、測定に時間がかかることや保温材
の再施工が必要となる等の問題があった。
【０００５】更に、従来では図１０に示すような技術が
あった。即ち、板０１の表面に向けてＸ線源０２から一
次Ｘ線０３を照射すると、コンプトン散乱により板０１
から二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４が発生する。この二次Ｘ
線（散乱Ｘ線）０４の強度（あらゆる方向に散乱する放
射線の総量）を、Ｘ線センサ０５により検出する。板０
１の板厚と、二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４の総強度は、図
１１に示す関係であることが判っているため、Ｘ線セン
サ０５により、二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４の総強度を検
出することにより、板厚を検出することができる。
あった。即ち、板０１の表面に向けてＸ線源０２から一
次Ｘ線０３を照射すると、コンプトン散乱により板０１
から二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４が発生する。この二次Ｘ
線（散乱Ｘ線）０４の強度（あらゆる方向に散乱する放
射線の総量）を、Ｘ線センサ０５により検出する。板０
１の板厚と、二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４の総強度は、図
１１に示す関係であることが判っているため、Ｘ線セン
サ０５により、二次Ｘ線（散乱Ｘ線）０４の総強度を検
出することにより、板厚を検出することができる。
【０００６】ところが、図１０に示す従来技術では、図
１１に示すように、板厚が増加するにつれて二次Ｘ線強
度が飽和する傾向にあり、板厚が厚くなると測定精度が
低下するという欠点があった。
１１に示すように、板厚が増加するにつれて二次Ｘ線強
度が飽和する傾向にあり、板厚が厚くなると測定精度が
低下するという欠点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の各技術では、プラントを停止する必要があったり、煙
道内に人や計測機器が入る必要があったり、厚い板厚に
なると測定精度が低下したりするという問題があった。
の各技術では、プラントを停止する必要があったり、煙
道内に人や計測機器が入る必要があったり、厚い板厚に
なると測定精度が低下したりするという問題があった。
【０００８】本発明は、上記従来技術に鑑み、散乱する
放射線を利用して板厚計測をする場合に、板の厚さの増
加による感度低下を防止して検出精度を向上させること
のできるコンプトン散乱による板厚測定装置を提供する
ことを目的とする。
放射線を利用して板厚計測をする場合に、板の厚さの増
加による感度低下を防止して検出精度を向上させること
のできるコンプトン散乱による板厚測定装置を提供する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、測定対象物である板に向けて一次放射線を
照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前記板を透
過する際にコンプトン散乱により発生した二次放射線を
検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の検出面に
配置されており、前記板の厚さ方向から発生して前記検
出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放射線のみ
を通過させるようにスリットが形成されているスリット
部材と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の
分布幅と、前記一次放射線が板に入射するときの入射角
とを基に、前記板の板厚を演算する信号処理装置と、を
有することを特徴とする。
明の構成は、測定対象物である板に向けて一次放射線を
照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前記板を透
過する際にコンプトン散乱により発生した二次放射線を
検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の検出面に
配置されており、前記板の厚さ方向から発生して前記検
出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放射線のみ
を通過させるようにスリットが形成されているスリット
部材と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の
分布幅と、前記一次放射線が板に入射するときの入射角
とを基に、前記板の板厚を演算する信号処理装置と、を
有することを特徴とする。
【００１０】また本発明の構成は、測定対象物である板
に向けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一
次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により
発生した二次放射線を検出する放射線検出器と、前記放
射線検出器の検出面に配置されており、前記板の厚さ方
向から発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに進行し
てくる二次放射線のみを通過させるようにスリットが形
成されているスリット部材とが一体に形成された検出ヘ
ッド部と、この検出ヘッド部を前記放射線発生源を回転
中心として回転できると共に、検出ヘッド部を前記板に
向けて前後方向移動させることのできる支持部と、前記
放射線検出器が第１の位置にあるときにこの放射線検出
器が検出する放射線強度と、前記放射線検出器が第１の
位置から回転して更に前後方向に移動したときに放射線
検出器が検出する放射線強度とが等しくなるように、検
出ヘッド部を回転・移動させ、検出ヘッド部の前後移動
量と回転径とを基に、前記一次放射線が板に入射すると
きの入射角度に対するズレ角度を演算するズレ角度検出
機能と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の
分布幅と、入射角とを基に、前記板の板厚を演算する板
厚検出機能とを持った信号処理装置と、を有することを
特徴とする。
に向けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一
次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により
発生した二次放射線を検出する放射線検出器と、前記放
射線検出器の検出面に配置されており、前記板の厚さ方
向から発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに進行し
てくる二次放射線のみを通過させるようにスリットが形
成されているスリット部材とが一体に形成された検出ヘ
ッド部と、この検出ヘッド部を前記放射線発生源を回転
中心として回転できると共に、検出ヘッド部を前記板に
向けて前後方向移動させることのできる支持部と、前記
放射線検出器が第１の位置にあるときにこの放射線検出
器が検出する放射線強度と、前記放射線検出器が第１の
位置から回転して更に前後方向に移動したときに放射線
検出器が検出する放射線強度とが等しくなるように、検
出ヘッド部を回転・移動させ、検出ヘッド部の前後移動
量と回転径とを基に、前記一次放射線が板に入射すると
きの入射角度に対するズレ角度を演算するズレ角度検出
機能と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の
分布幅と、入射角とを基に、前記板の板厚を演算する板
厚検出機能とを持った信号処理装置と、を有することを
特徴とする。
【００１１】また本発明の構成は、前記スリット部材の
各スリットには、多孔穴レンズを挿入していることを特
徴とする。
各スリットには、多孔穴レンズを挿入していることを特
徴とする。
【００１２】また本発明の構成は、測定対象物である板
に向けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一
次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により
発生した二次放射線の強度を検出する放射線検出器と、
前記放射線検出器の検出面に配置されており、焦点が前
記一次放射線の光軸に一致しているコーン状スリット
と、前記放射線検出器を前記一次放射線の光軸に平行な
方向に移動させることができるよう支持する支持部と、
前記放射線検出器を移動させているときに、この放射線
検出器により二次放射線を検出している間における移動
距離を検出し、この移動距離と前記一次放射線が板に入
射するときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する
信号処理装置と、を有することを特徴とする。
に向けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一
次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により
発生した二次放射線の強度を検出する放射線検出器と、
前記放射線検出器の検出面に配置されており、焦点が前
記一次放射線の光軸に一致しているコーン状スリット
と、前記放射線検出器を前記一次放射線の光軸に平行な
方向に移動させることができるよう支持する支持部と、
前記放射線検出器を移動させているときに、この放射線
検出器により二次放射線を検出している間における移動
距離を検出し、この移動距離と前記一次放射線が板に入
射するときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する
信号処理装置と、を有することを特徴とする。
【００１３】また本発明の構成は、前記放射線発生源
は、Ｘ線またはγ線を発生することを特徴とする。
は、Ｘ線またはγ線を発生することを特徴とする。
【００１４】また本発明の構成は、前記放射線検出器
は、マイクロチャンネルプレートまたはイメージングイ
ンテンシファイアで形成されていることを特徴とする。
は、マイクロチャンネルプレートまたはイメージングイ
ンテンシファイアで形成されていることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に基づき詳細に説明する。
に基づき詳細に説明する。
【００１６】図１は本発明の第１の実施の形態に係る板
厚測定装置を示す。同図に示すように、Ｘ線源（放射線
源）１は測定対象である板２の板厚測定点に向けて、一
次Ｘ線３を入射角度θとなるように斜めに照射する。照
射された一次Ｘ線３は、板２の上面２ａの位置ｅにて板
２に入射し、板２中を透過し、板２の下面２ｂの位置ｆ
にて板２から外部に出射する。一次Ｘ線３が板２を位置
ｅから位置ｆまで透過する過程で、コンプトン散乱によ
り二次Ｘ線４が発生する。
厚測定装置を示す。同図に示すように、Ｘ線源（放射線
源）１は測定対象である板２の板厚測定点に向けて、一
次Ｘ線３を入射角度θとなるように斜めに照射する。照
射された一次Ｘ線３は、板２の上面２ａの位置ｅにて板
２に入射し、板２中を透過し、板２の下面２ｂの位置ｆ
にて板２から外部に出射する。一次Ｘ線３が板２を位置
ｅから位置ｆまで透過する過程で、コンプトン散乱によ
り二次Ｘ線４が発生する。
【００１７】Ｘ線検出器（二次元放射線検出器）５は、
その検出面５ａが板２の上面２ａに対して斜めに対向す
る状態で配置されている。このＸ線検出器５としては、
Ｘ線やγ線に対して高感度なマイクロチャンネルプレー
トやイメージングインテンシファイア等を用いている。
しかも、本実施例で用いるＸ線検出器５は、位置分解機
能、即ち、検出面５ａのうち、どの位置にＸ線が入射し
たのかを検出することのできる機能を有している。
その検出面５ａが板２の上面２ａに対して斜めに対向す
る状態で配置されている。このＸ線検出器５としては、
Ｘ線やγ線に対して高感度なマイクロチャンネルプレー
トやイメージングインテンシファイア等を用いている。
しかも、本実施例で用いるＸ線検出器５は、位置分解機
能、即ち、検出面５ａのうち、どの位置にＸ線が入射し
たのかを検出することのできる機能を有している。
【００１８】前記Ｘ線検出器５の検出面５ａには、多段
の格子状スリット（スリット部材）６が配置されてい
る。この格子状スリット６は、例えば鉛板とプラスチッ
クフィルムを多段に積み重ねて形成されている。この格
子状スリット６は、そのスリットの向きが、板の厚さ方
向から発生する二次Ｘ線４のみを通過させる方向に向く
ように、つまり、入射位置ｅから出射位置ｆの間で発生
した二次Ｘ線４のうち検出面５ａに向かって真っ直ぐに
進行してくる二次Ｘ線４のみを通過させる方向に向くよ
うに、配置されている。なお、図１においてφは、二次
Ｘ線４のうち検出面５ａに向かって真っ直ぐに進行して
くるＸ線成分の出射角度を示している。
の格子状スリット（スリット部材）６が配置されてい
る。この格子状スリット６は、例えば鉛板とプラスチッ
クフィルムを多段に積み重ねて形成されている。この格
子状スリット６は、そのスリットの向きが、板の厚さ方
向から発生する二次Ｘ線４のみを通過させる方向に向く
ように、つまり、入射位置ｅから出射位置ｆの間で発生
した二次Ｘ線４のうち検出面５ａに向かって真っ直ぐに
進行してくる二次Ｘ線４のみを通過させる方向に向くよ
うに、配置されている。なお、図１においてφは、二次
Ｘ線４のうち検出面５ａに向かって真っ直ぐに進行して
くるＸ線成分の出射角度を示している。
【００１９】このため、例えば深さｔのｐ点において
は、透過距離ａだけ透過して減衰した一次Ｘ線３がコン
プトン散乱することにより二次Ｘ線４が発生し、この発
生した二次Ｘ線４のうち、Ｘ線検出器５に向かって進行
する成分は、透過距離ｂだけ透過することにより減衰
し、格子状スリット６を通過して、Ｘ線検出器５に入射
する。なお、発生した二次Ｘ線のうち、Ｘ線検出器５に
向かって直進していない成分は、スリット６により排除
される。なお、スリットピッチ分の誤差を取り除くた
め、任意のスリットを通過するＸ線強度が最大になるよ
うに、位置調整をしている。
は、透過距離ａだけ透過して減衰した一次Ｘ線３がコン
プトン散乱することにより二次Ｘ線４が発生し、この発
生した二次Ｘ線４のうち、Ｘ線検出器５に向かって進行
する成分は、透過距離ｂだけ透過することにより減衰
し、格子状スリット６を通過して、Ｘ線検出器５に入射
する。なお、発生した二次Ｘ線のうち、Ｘ線検出器５に
向かって直進していない成分は、スリット６により排除
される。なお、スリットピッチ分の誤差を取り除くた
め、任意のスリットを通過するＸ線強度が最大になるよ
うに、位置調整をしている。
【００２０】また前記Ｘ線検出器５は、その検出面５ａ
のうち、格子状スリット６の各スリットに対応した位置
を、スリット番号として位置認識することができる。そ
して、このＸ線検出器５は、二次Ｘ線４が通過してきた
スリットの本数を検出して（スリット番号を検出し
て）、二次Ｘ線４の分布幅（これは位置ｅから位置ｆま
での距離に対応している）を検出することができる。
のうち、格子状スリット６の各スリットに対応した位置
を、スリット番号として位置認識することができる。そ
して、このＸ線検出器５は、二次Ｘ線４が通過してきた
スリットの本数を検出して（スリット番号を検出し
て）、二次Ｘ線４の分布幅（これは位置ｅから位置ｆま
での距離に対応している）を検出することができる。
【００２１】格子状スリット６の各スリットを通過する
二次Ｘ線４の強度は板厚によって決まるので、図２に示
すように、指数的に変化し、下面２ｂでの二次Ｘ線強度
はゼロとなる。このため、前述したように、Ｘ線検出器
５は、二次Ｘ線４が通過してきたスリットの本数を検出
して（スリット番号を検出して）、二次Ｘ線４の分布幅
（これは位置ｅから位置ｆまでの距離に対応している）
を検出することができるのである。つまり、本実施の形
態では、各スリットを通過してくる二次Ｘ線４の総強度
を厚さ検出のために利用しているわけではなく、スリッ
トのうち二次Ｘ線４が入射しているものと入射していな
いものを判定し、二次Ｘ線４が入射しているスリットの
本数を離散的にカウントして、二次Ｘ線４の分布幅を検
出しているのであり、この点において従来技術に対して
技術的思想が大いに異なっている。
二次Ｘ線４の強度は板厚によって決まるので、図２に示
すように、指数的に変化し、下面２ｂでの二次Ｘ線強度
はゼロとなる。このため、前述したように、Ｘ線検出器
５は、二次Ｘ線４が通過してきたスリットの本数を検出
して（スリット番号を検出して）、二次Ｘ線４の分布幅
（これは位置ｅから位置ｆまでの距離に対応している）
を検出することができるのである。つまり、本実施の形
態では、各スリットを通過してくる二次Ｘ線４の総強度
を厚さ検出のために利用しているわけではなく、スリッ
トのうち二次Ｘ線４が入射しているものと入射していな
いものを判定し、二次Ｘ線４が入射しているスリットの
本数を離散的にカウントして、二次Ｘ線４の分布幅を検
出しているのであり、この点において従来技術に対して
技術的思想が大いに異なっている。
【００２２】信号処理装置７は、Ｘ線検出器５により検
出した二次Ｘ線４の分布幅（これは位置ｅから位置ｆま
での距離、即ち板の厚さ方向の長さに対応している）
と、入射角度θを基に、板２の板厚Ｔを演算する。かく
して、板２の板厚Ｔを正確に検出することができる。
出した二次Ｘ線４の分布幅（これは位置ｅから位置ｆま
での距離、即ち板の厚さ方向の長さに対応している）
と、入射角度θを基に、板２の板厚Ｔを演算する。かく
して、板２の板厚Ｔを正確に検出することができる。
【００２３】なお図３に示すように、格子状スリット６
のＸ線透過部分（各スリット）に、アルミニュウム等の
Ｘ線屈曲体に多孔穴をあけて形成した多孔穴レンズ８を
挿入してもよい。このように多孔穴レンズ８を挿入する
ことにより、Ｘ線の集光性を高めて分解能を向上させつ
つ、板２の上面２ａからの二次Ｘ線の進入を抑制して板
厚方向のＸ線測定分解能の精度向上を図ることができ
る。なお、図３において、６ａは鉛板、６ｂは多孔穴で
ある。
のＸ線透過部分（各スリット）に、アルミニュウム等の
Ｘ線屈曲体に多孔穴をあけて形成した多孔穴レンズ８を
挿入してもよい。このように多孔穴レンズ８を挿入する
ことにより、Ｘ線の集光性を高めて分解能を向上させつ
つ、板２の上面２ａからの二次Ｘ線の進入を抑制して板
厚方向のＸ線測定分解能の精度向上を図ることができ
る。なお、図３において、６ａは鉛板、６ｂは多孔穴で
ある。
【００２４】次に本発明の第２の実施の形態に係る板厚
測定装置を図４を参照して説明する。第２の実施の形態
では、一次Ｘ線３の入射角度を検出して、この入射角度
が設定した入射角度になるように傾き誤差を補正して厚
さ測定をするようにしたものである。このような工夫を
した理由は、煙道を形成する板２の外側は、保温材とそ
れを保護するための薄い鋼板で覆われているため、板２
の上面（表面）２ａが見えないので、外部から見ただけ
では、正確な入射角度を検出することができないからで
ある。
測定装置を図４を参照して説明する。第２の実施の形態
では、一次Ｘ線３の入射角度を検出して、この入射角度
が設定した入射角度になるように傾き誤差を補正して厚
さ測定をするようにしたものである。このような工夫を
した理由は、煙道を形成する板２の外側は、保温材とそ
れを保護するための薄い鋼板で覆われているため、板２
の上面（表面）２ａが見えないので、外部から見ただけ
では、正確な入射角度を検出することができないからで
ある。
【００２５】図４に示すように、第２の実施の形態に係
る板厚測定装置では、Ｘ線源１と、検出面１５ａに格子
状スリット６が配置されているＸ線検出器１５とが一体
となった検出ヘッド部１０が形成されている。この検出
ヘッド部１０は、支持部１１により支持されており、Ｘ
線源１を回転中心として検出ヘッド部１０が回転できる
とともに、検出ヘッド部１０全体が前後方向に移動する
ことができるように支持されている。
る板厚測定装置では、Ｘ線源１と、検出面１５ａに格子
状スリット６が配置されているＸ線検出器１５とが一体
となった検出ヘッド部１０が形成されている。この検出
ヘッド部１０は、支持部１１により支持されており、Ｘ
線源１を回転中心として検出ヘッド部１０が回転できる
とともに、検出ヘッド部１０全体が前後方向に移動する
ことができるように支持されている。
【００２６】Ｘ線検出器１５は、Ｘ線検出器５と同様な
位置分解機能と、入射した二次Ｘ線４の強度を検出する
機能とを合わせもっている。
位置分解機能と、入射した二次Ｘ線４の強度を検出する
機能とを合わせもっている。
【００２７】信号処理装置１７は、信号処理装置７と同
様に、Ｘ線検出器１５により検出した二次Ｘ線４の分布
幅と入射角度θを基に板２の板厚Ｔを演算する機能を有
している。更に信号処理装置１７は、Ｘ線検出器１５に
より検出したＸ線強度を記憶・比較すると共に、検出ヘ
ッド部１０の前後移動量を検出して、後述する演算をし
て、ズレ角度αを求める機能を有している。
様に、Ｘ線検出器１５により検出した二次Ｘ線４の分布
幅と入射角度θを基に板２の板厚Ｔを演算する機能を有
している。更に信号処理装置１７は、Ｘ線検出器１５に
より検出したＸ線強度を記憶・比較すると共に、検出ヘ
ッド部１０の前後移動量を検出して、後述する演算をし
て、ズレ角度αを求める機能を有している。
【００２８】一次Ｘ線３の入射角度θに対するズレ角度
αを検出するときには、Ｘ線検出器１５により、入射し
た二次Ｘ線４の強度を検出する機能を用いる。ズレ角度
αを検出するには、まずＸ線検出器１５をセンサ位置Ｉ
に位置させて、Ｘ線検出器１５に入射するＸ線強度を測
定する。
αを検出するときには、Ｘ線検出器１５により、入射し
た二次Ｘ線４の強度を検出する機能を用いる。ズレ角度
αを検出するには、まずＸ線検出器１５をセンサ位置Ｉ
に位置させて、Ｘ線検出器１５に入射するＸ線強度を測
定する。
【００２９】次に、検出ヘッド部１０を、Ｘ線源１を回
転中心として、１８０°回転して、Ｘ線検出器１５をセ
ンサ位置ＩＩに位置させる。この状態で（１８０°の回
転後）、検出ヘッド１０全体を前後方向に移動させ、Ｘ
線強度が、センサ位置ＩのときのＸ線強度と等しくなっ
たら前後移動を停止させる。この停止した位置をセンサ
位置ＩＩＩとする。
転中心として、１８０°回転して、Ｘ線検出器１５をセ
ンサ位置ＩＩに位置させる。この状態で（１８０°の回
転後）、検出ヘッド１０全体を前後方向に移動させ、Ｘ
線強度が、センサ位置ＩのときのＸ線強度と等しくなっ
たら前後移動を停止させる。この停止した位置をセンサ
位置ＩＩＩとする。
【００３０】センサ位置ＩＩからセンサ位置ＩＩＩまで
の前後移動量がＹであった場合には、信号処理装置１７
は、次式の演算をしてズレ角度αを求める。なお、Ｄは
回転径であり予め決まっている。 α＝tan Ｙ／Ｄ
の前後移動量がＹであった場合には、信号処理装置１７
は、次式の演算をしてズレ角度αを求める。なお、Ｄは
回転径であり予め決まっている。 α＝tan Ｙ／Ｄ
【００３１】上述したようにしてズレ角度αを検出した
ら、このズレ角度αだけ検出ヘッド部１０の角度を補正
し、一次Ｘ線３の入射角度θを正確に初期設定角度に合
わせることができる。入射角度θが初期設定角度になっ
たら、第１の実施の形態と同様な動作をして、板２の板
厚を測定する。
ら、このズレ角度αだけ検出ヘッド部１０の角度を補正
し、一次Ｘ線３の入射角度θを正確に初期設定角度に合
わせることができる。入射角度θが初期設定角度になっ
たら、第１の実施の形態と同様な動作をして、板２の板
厚を測定する。
【００３２】このように第２の実施の形態では、ズレ角
度αを求めて、板２に対する入射角度の補正ができるの
で、精度向上を図ることができる。
度αを求めて、板２に対する入射角度の補正ができるの
で、精度向上を図ることができる。
【００３３】次に本発明の第３の実施の形態に係る板厚
測定装置を図５を参照して説明する。同図に示すよう
に、Ｘ線源１は板２に対して斜めに一次Ｘ線３を照射
し、一次Ｘ線３の照射によるコンプトン散乱により二次
Ｘ線４が発生する。
測定装置を図５を参照して説明する。同図に示すよう
に、Ｘ線源１は板２に対して斜めに一次Ｘ線３を照射
し、一次Ｘ線３の照射によるコンプトン散乱により二次
Ｘ線４が発生する。
【００３４】Ｘ線検出器２５は、入射する二次Ｘ線４の
強度（総強度）を検出する機能を有している。つまり、
検出面２５ａに入射する二次Ｘ線４の強度信号を全面に
わたって積分して、Ｘ線強度を検出している。このＸ線
検出器２５は、支持部２０に支持されて、一次Ｘ線３の
光軸に平行な方向に移動することができるようになって
いる。
強度（総強度）を検出する機能を有している。つまり、
検出面２５ａに入射する二次Ｘ線４の強度信号を全面に
わたって積分して、Ｘ線強度を検出している。このＸ線
検出器２５は、支持部２０に支持されて、一次Ｘ線３の
光軸に平行な方向に移動することができるようになって
いる。
【００３５】またＸ線検出器２５の検出面２５ａには、
多層のコーン状スリット２６が配置されており、このコ
ーン状スリット２６の焦点が、一次Ｘ線３の光軸に一致
するように配置されている。このように、コーン状スリ
ット２６の焦点を、一次Ｘ線３の光軸に一致させている
ため、板２の上面２ａからの二次Ｘ線の進入を抑制して
板厚方向のＸ線測定分解能の精度向上を図ることができ
るようにしている。
多層のコーン状スリット２６が配置されており、このコ
ーン状スリット２６の焦点が、一次Ｘ線３の光軸に一致
するように配置されている。このように、コーン状スリ
ット２６の焦点を、一次Ｘ線３の光軸に一致させている
ため、板２の上面２ａからの二次Ｘ線の進入を抑制して
板厚方向のＸ線測定分解能の精度向上を図ることができ
るようにしている。
【００３６】信号処理装置２７は、Ｘ線検出器２５が二
次Ｘ線４を検出している間におけるＸ線検出器２５の移
動距離を検出すると共に、この移動距離と、入射角度と
から、板２の板厚Ｔを演算する。
次Ｘ線４を検出している間におけるＸ線検出器２５の移
動距離を検出すると共に、この移動距離と、入射角度と
から、板２の板厚Ｔを演算する。
【００３７】第３の実施の形態では、Ｘ線検出器２５及
びコーン状スリット２６を、支持部２０に沿い、一次Ｘ
線３の光軸と平行に移動させていく。このとき、コーン
状スリット２６の焦点が、位置ｅと位置ｆとの間にある
ときには、Ｘ線検出器２５は二次Ｘ線４を検出して検出
信号を出力する。したがって、Ｘ線検出器２５を移動さ
せていった時に、検出信号が出力されている間での、Ｘ
線検出器２５の移動距離を信号処理装置２７で検出す
る。この検出した移動距離が、位置ｅと位置ｆとの距離
に対応する。
びコーン状スリット２６を、支持部２０に沿い、一次Ｘ
線３の光軸と平行に移動させていく。このとき、コーン
状スリット２６の焦点が、位置ｅと位置ｆとの間にある
ときには、Ｘ線検出器２５は二次Ｘ線４を検出して検出
信号を出力する。したがって、Ｘ線検出器２５を移動さ
せていった時に、検出信号が出力されている間での、Ｘ
線検出器２５の移動距離を信号処理装置２７で検出す
る。この検出した移動距離が、位置ｅと位置ｆとの距離
に対応する。
【００３８】信号処理装置２７は、Ｘ線検出器２５の移
動距離（位置ｅと位置ｆとの距離に対応する）と、入射
角度θとを基に、板２の厚さＴを演算する。
動距離（位置ｅと位置ｆとの距離に対応する）と、入射
角度θとを基に、板２の厚さＴを演算する。
【００３９】図６は本発明の第４の実施の形態に係る板
厚測定装置の要部を示す。本実施の形態では、放射線発
生源としてγ線源３１を用いており、このγ線源３１は
一次γ線（エネルギーＥ1 ）３３を出力する。また、放
射線検出器として、エネルギー分解能を有する半導体や
ガス検出型の一次元または二次元のγ線検出器３５を用
いている。このγ線検出器３５の検出面３５ａには、ス
リット３６を配置している。なお、ガンマ線検出器３５
により検出した二次γ線（エネルギーＥ2 ）３４の分布
幅を基に、板２の板厚を検出する信号処理装置は図示省
略している。
厚測定装置の要部を示す。本実施の形態では、放射線発
生源としてγ線源３１を用いており、このγ線源３１は
一次γ線（エネルギーＥ1 ）３３を出力する。また、放
射線検出器として、エネルギー分解能を有する半導体や
ガス検出型の一次元または二次元のγ線検出器３５を用
いている。このγ線検出器３５の検出面３５ａには、ス
リット３６を配置している。なお、ガンマ線検出器３５
により検出した二次γ線（エネルギーＥ2 ）３４の分布
幅を基に、板２の板厚を検出する信号処理装置は図示省
略している。
【００４０】この第４の実施の形態では、γ線検出器３
５により、エネルギー強度がＥ2 のγ線（つまり、１回
散乱して発生した二次γ線３４）のみを選択して検出す
るようにしているので、多重散乱成分（２回目以降に散
乱して発生した成分）をキャンセルすることができ、計
測精度を向上させることができる。その理由を以下に説
明する。
５により、エネルギー強度がＥ2 のγ線（つまり、１回
散乱して発生した二次γ線３４）のみを選択して検出す
るようにしているので、多重散乱成分（２回目以降に散
乱して発生した成分）をキャンセルすることができ、計
測精度を向上させることができる。その理由を以下に説
明する。
【００４１】図７に示すように、入射γ線に対して散乱
γ線は、散乱角εをもって散乱する。このとき、図８に
示すように、散乱後のエネルギーは散乱角εによって変
化する。このため例えば、図６に示すような経路で散乱
が発生すると、図８に示すように、（１）まずエネルギ
ーＥ1 のγ線により、エネルギーＥ2 ，Ｅ3 ，Ｅ5 のγ
線が発生し、（２）エネルギーＥ3 のγ線によりエネル
ギーＥ4 のγ線が発生すると共に、エネルギーＥ5 のγ
線によりエネルギーＥ6 のγ線が発生する。
γ線は、散乱角εをもって散乱する。このとき、図８に
示すように、散乱後のエネルギーは散乱角εによって変
化する。このため例えば、図６に示すような経路で散乱
が発生すると、図８に示すように、（１）まずエネルギ
ーＥ1 のγ線により、エネルギーＥ2 ，Ｅ3 ，Ｅ5 のγ
線が発生し、（２）エネルギーＥ3 のγ線によりエネル
ギーＥ4 のγ線が発生すると共に、エネルギーＥ5 のγ
線によりエネルギーＥ6 のγ線が発生する。
【００４２】このため、図６に示すように、γ線検出器
３５には、エネルギーＥ1 ，Ｅ4 ，Ｅ6 のγ線が入射す
る。一方、γ線エネルギーは、図９に示すごとく分布し
ているので、γ線検出器３５により、エネルギー強度が
Ｅ2 のγ線（つまり、１回散乱して発生した二次γ線３
４）のみを選択して検出することにより、多重散乱成分
（２回目以降に散乱して発生した成分、上記例ではエネ
ルギー強度がＥ4 ，Ｅ 6 のγ線）をキャンセルすること
ができ、計測精度を向上させることができるのである。
３５には、エネルギーＥ1 ，Ｅ4 ，Ｅ6 のγ線が入射す
る。一方、γ線エネルギーは、図９に示すごとく分布し
ているので、γ線検出器３５により、エネルギー強度が
Ｅ2 のγ線（つまり、１回散乱して発生した二次γ線３
４）のみを選択して検出することにより、多重散乱成分
（２回目以降に散乱して発生した成分、上記例ではエネ
ルギー強度がＥ4 ，Ｅ 6 のγ線）をキャンセルすること
ができ、計測精度を向上させることができるのである。
【００４３】なお、スリット３６と一次元のγ線検出器
３５との組合せの代わりに、アパーチャーと０次元のγ
線検出器との組合せを用いるようにしてもよい。
３５との組合せの代わりに、アパーチャーと０次元のγ
線検出器との組合せを用いるようにしてもよい。
【００４４】
【発明の効果】以上実施の形態と共に具体的に説明した
ように、本発明では、測定対象物である板に向けて一次
放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前
記板を透過する際にコンプトン散乱により発生した二次
放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の
検出面に配置されており、前記板の厚さ方向から発生し
て前記検出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放
射線のみを通過させるようにスリットが形成されている
スリット部材と、前記放射線検出器により検出した二次
放射線の分布幅と、前記一次放射線が板に入射するとき
の入射角とを基に、前記板の板厚を演算する信号処理装
置と、を有する構成とした。
ように、本発明では、測定対象物である板に向けて一次
放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前
記板を透過する際にコンプトン散乱により発生した二次
放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の
検出面に配置されており、前記板の厚さ方向から発生し
て前記検出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放
射線のみを通過させるようにスリットが形成されている
スリット部材と、前記放射線検出器により検出した二次
放射線の分布幅と、前記一次放射線が板に入射するとき
の入射角とを基に、前記板の板厚を演算する信号処理装
置と、を有する構成とした。
【００４５】かかる構成として、二次放射線の分布幅を
利用して板厚検出をしているため、板厚増加による放射
線強度の飽和があっても、この飽和に影響されることな
く、板厚を正確に検出することができる。
利用して板厚検出をしているため、板厚増加による放射
線強度の飽和があっても、この飽和に影響されることな
く、板厚を正確に検出することができる。
【００４６】また本発明では、測定対象物である板に向
けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放
射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により発生
した二次放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線
検出器の検出面に配置されており、前記板の厚さ方向か
ら発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに進行してく
る二次放射線のみを通過させるようにスリットが形成さ
れているスリット部材とが一体に形成された検出ヘッド
部と、この検出ヘッド部を前記放射線発生源を回転中心
として回転できると共に、検出ヘッド部を前記板に向け
て前後方向移動させることのできる支持部と、前記放射
線検出器が第１の位置にあるときにこの放射線検出器が
検出する放射線強度と、前記放射線検出器が第１の位置
から回転して更に前後方向に移動したときに放射線検出
器が検出する放射線強度とが等しくなるように、検出ヘ
ッド部を回転・移動させ、検出ヘッド部の前後移動量と
回転径とを基に、前記一次放射線が板に入射するときの
入射角度に対するズレ角度を演算するズレ角度検出機能
と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の分布
幅と、入射角とを基に、前記板の板厚を演算する板厚検
出機能とを持った信号処理装置と、を有することを構成
とした。
けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放
射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により発生
した二次放射線を検出する放射線検出器と、前記放射線
検出器の検出面に配置されており、前記板の厚さ方向か
ら発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに進行してく
る二次放射線のみを通過させるようにスリットが形成さ
れているスリット部材とが一体に形成された検出ヘッド
部と、この検出ヘッド部を前記放射線発生源を回転中心
として回転できると共に、検出ヘッド部を前記板に向け
て前後方向移動させることのできる支持部と、前記放射
線検出器が第１の位置にあるときにこの放射線検出器が
検出する放射線強度と、前記放射線検出器が第１の位置
から回転して更に前後方向に移動したときに放射線検出
器が検出する放射線強度とが等しくなるように、検出ヘ
ッド部を回転・移動させ、検出ヘッド部の前後移動量と
回転径とを基に、前記一次放射線が板に入射するときの
入射角度に対するズレ角度を演算するズレ角度検出機能
と、前記放射線検出器により検出した二次放射線の分布
幅と、入射角とを基に、前記板の板厚を演算する板厚検
出機能とを持った信号処理装置と、を有することを構成
とした。
【００４７】かかる構成として、ズレ角度を演算できる
ので、このズレ角度分だけ入射角度を補正することによ
り、正確に板厚検出ができる。しかも、板が保温材等で
覆われていても、確実にズレ角度の演算ができるので、
保温材を剥がす等の作業が不要になる。
ので、このズレ角度分だけ入射角度を補正することによ
り、正確に板厚検出ができる。しかも、板が保温材等で
覆われていても、確実にズレ角度の演算ができるので、
保温材を剥がす等の作業が不要になる。
【００４８】また本発明では、前記スリット部材の各ス
リットには、多孔穴レンズを挿入した構成とした。かか
る構成としたため、放射線の集光性を高めて分解能を向
上させることができる。
リットには、多孔穴レンズを挿入した構成とした。かか
る構成としたため、放射線の集光性を高めて分解能を向
上させることができる。
【００４９】また本発明では、測定対象物である板に向
けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放
射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により発生
した二次放射線の強度を検出する放射線検出器と、前記
放射線検出器の検出面に配置されており、焦点が前記一
次放射線の光軸に一致しているコーン状スリットと、前
記放射線検出器を前記一次放射線の光軸に平行な方向に
移動させることができるよう支持する支持部と、前記放
射線検出器を移動させているときに、この放射線検出器
により二次放射線を検出している間における移動距離を
検出し、この移動距離と前記一次放射線が板に入射する
ときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する信号処
理装置と、を有する構成とした。
けて一次放射線を照射する放射線発生源と、前記一次放
射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱により発生
した二次放射線の強度を検出する放射線検出器と、前記
放射線検出器の検出面に配置されており、焦点が前記一
次放射線の光軸に一致しているコーン状スリットと、前
記放射線検出器を前記一次放射線の光軸に平行な方向に
移動させることができるよう支持する支持部と、前記放
射線検出器を移動させているときに、この放射線検出器
により二次放射線を検出している間における移動距離を
検出し、この移動距離と前記一次放射線が板に入射する
ときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する信号処
理装置と、を有する構成とした。
【００５０】かかる構成としたため、放射線検出器の移
動距離と入射角度から、板厚を正確に検出することがで
きる。
動距離と入射角度から、板厚を正確に検出することがで
きる。
【００５１】また本発明では、前記放射線発生源は、Ｘ
線またはγ線を発生したり、前記放射線検出器は、高感
度なものとするため、マイクロチャンネルプレートまた
はイメージングインテンシファイアで形成されている構
成とした。このようにすることにより、板厚測定がより
正確に実行できる。
線またはγ線を発生したり、前記放射線検出器は、高感
度なものとするため、マイクロチャンネルプレートまた
はイメージングインテンシファイアで形成されている構
成とした。このようにすることにより、板厚測定がより
正確に実行できる。
【００５２】このように本発明では、燃焼炉や煙道な
ど、人やロボットが立ち入ることのできない構造物の内
壁（板）が腐食などで板厚が減少しても、放射線を燃焼
炉や煙道の外部から照射することにより板厚測定を正確
に行うことができる。したがって、従来の測定方法とは
異なり、煙道内に人が入る必要がなく、また、煙道の外
側にある保温材を剥がすことなく、板厚の測定が正確に
できる。併せて、プラントの停止をすることなく、板厚
測定をすることができる。
ど、人やロボットが立ち入ることのできない構造物の内
壁（板）が腐食などで板厚が減少しても、放射線を燃焼
炉や煙道の外部から照射することにより板厚測定を正確
に行うことができる。したがって、従来の測定方法とは
異なり、煙道内に人が入る必要がなく、また、煙道の外
側にある保温材を剥がすことなく、板厚の測定が正確に
できる。併せて、プラントの停止をすることなく、板厚
測定をすることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るコンプトン散
乱による板厚測定装置を示す構成図。
乱による板厚測定装置を示す構成図。
【図２】スリット番号と二次Ｘ線強度との関係を示す特
性図。
性図。
【図３】多孔穴レンズを備えた格子状スリットを示す構
成図。
成図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るコンプトン散
乱による板厚測定装置を示す構成図。
乱による板厚測定装置を示す構成図。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係るコンプトン散
乱による板厚測定装置を示す構成図。
乱による板厚測定装置を示す構成図。
【図６】本発明の第４の実施の形態に係るコンプトン散
乱による板厚測定装置の要部を示す構成図。
乱による板厚測定装置の要部を示す構成図。
【図７】入射γ線と散乱γ線と散乱角との関係を示す説
明図。
明図。
【図８】散乱によってエネルギーが変化することを示す
特性図。
特性図。
【図９】γ線検出器に入射する散乱γ線のスペクトルの
一例を示す特性図。
一例を示す特性図。
【図１０】従来の板厚測定装置を示す構成図。
【図１１】板厚と散乱Ｘ線強度との関係を示す特性図。
１ Ｘ線源 ２ 板 ２ａ 上面 ２ｂ 下面 ３ 一次Ｘ線 ４ 二次Ｘ線 ５，１５，２５ Ｘ線検出器 ５ａ，１５ａ，２５ａ 検出面 ６ 格子状スリット ２６ コーン状スリット ７，１７，２７ 信号処理装置 ８ 多孔穴レンズ １０ 検出ヘッド部 １１ 支持部 ２０ 支持部 ３１ γ線源 ３３ 一次γ線 ３４ 二次γ線 ３５ γ線検出器 ３５ａ 検出面 ３６ スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柳沢 栄一 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 井手上 和夫 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 測定対象物である板に向けて一次放射線
を照射する放射線発生源と、 前記一次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱
により発生した二次放射線を検出する放射線検出器と、 前記放射線検出器の検出面に配置されており、前記板の
厚さ方向から発生して前記検出面に向かって真っ直ぐに
進行してくる二次放射線のみを通過させるようにスリッ
トが形成されているスリット部材と、 前記放射線検出器により検出した二次放射線の分布幅
と、前記一次放射線が板に入射するときの入射角とを基
に、前記板の板厚を演算する信号処理装置と、を有する
ことを特徴とするコンプトン散乱による板厚測定装置。 - 【請求項２】 測定対象物である板に向けて一次放射線
を照射する放射線発生源と、前記一次放射線が前記板を
透過する際にコンプトン散乱により発生した二次放射線
を検出する放射線検出器と、前記放射線検出器の検出面
に配置されており、前記板の厚さ方向から発生して前記
検出面に向かって真っ直ぐに進行してくる二次放射線の
みを通過させるようにスリットが形成されているスリッ
ト部材とが一体に形成された検出ヘッド部と、 この検出ヘッド部を前記放射線発生源を回転中心として
回転できると共に、検出ヘッド部を前記板に向けて前後
方向移動させることのできる支持部と、 前記放射線検出器が第１の位置にあるときにこの放射線
検出器が検出する放射線強度と、前記放射線検出器が第
１の位置から回転して更に前後方向に移動したときに放
射線検出器が検出する放射線強度とが等しくなるよう
に、検出ヘッド部を回転・移動させ、検出ヘッド部の前
後移動量と回転径とを基に、前記一次放射線が板に入射
するときの入射角度に対するズレ角度を演算するズレ角
度検出機能と、前記放射線検出器により検出した二次放
射線の分布幅と、入射角とを基に、前記板の板厚を演算
する板厚検出機能とを持った信号処理装置と、を有する
ことを特徴とするコンプトン散乱による板厚測定装置。 - 【請求項３】 前記スリット部材の各スリットには、多
孔穴レンズを挿入していることを特徴とする請求項１ま
たは請求項２のコンプトン散乱による板厚測定装置。 - 【請求項４】 測定対象物である板に向けて一次放射線
を照射する放射線発生源と、 前記一次放射線が前記板を透過する際にコンプトン散乱
により発生した二次放射線の強度を検出する放射線検出
器と、 前記放射線検出器の検出面に配置されており、焦点が前
記一次放射線の光軸に一致しているコーン状スリット
と、 前記放射線検出器を前記一次放射線の光軸に平行な方向
に移動させることができるよう支持する支持部と、 前記放射線検出器を移動させているときに、この放射線
検出器により二次放射線を検出している間における移動
距離を検出し、この移動距離と前記一次放射線が板に入
射するときの入射角とを基に、前記板の板厚を演算する
信号処理装置と、を有することを特徴とするコンプトン
散乱による板厚測定装置。 - 【請求項５】 前記放射線発生源は、Ｘ線またはγ線を
発生することを特徴とする請求項１または請求項２また
は請求項４のコンプトン散乱による板厚測定装置。 - 【請求項６】 前記放射線検出器は、マイクロチャンネ
ルプレートまたはイメージングインテンシファイアで形
成されていることを特徴とする請求項１または請求項２
または請求項４のコンプトン散乱による板厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08334098A JP3477363B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | コンプトン散乱による板厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08334098A JP3477363B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | コンプトン散乱による板厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281339A true JPH11281339A (ja) | 1999-10-15 |
| JP3477363B2 JP3477363B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=13799720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08334098A Expired - Fee Related JP3477363B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | コンプトン散乱による板厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3477363B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008145300A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Sharp Corp | 蛍光体層厚み判定方法および発光装置の製造方法 |
| JP2015232557A (ja) * | 2014-05-12 | 2015-12-24 | 一般財団法人電力中央研究所 | 非破壊検査方法およびその装置 |
| CN117109492A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 北京华力兴科技发展有限责任公司 | 一种高精度x射线测试方法 |
| CN117109488A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 北京华力兴科技发展有限责任公司 | 一种高精度x射线测厚仪 |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP08334098A patent/JP3477363B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN117109492A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 北京华力兴科技发展有限责任公司 | 一种高精度x射线测试方法 |
| CN117109488A (zh) * | 2023-10-23 | 2023-11-24 | 北京华力兴科技发展有限责任公司 | 一种高精度x射线测厚仪 |
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