CN117109488B

CN117109488B - 一种高精度x射线测厚仪

Info

Publication number: CN117109488B
Application number: CN202311368976.XA
Authority: CN
Inventors: 曲海波; 赵杰; 赵永丰; 王虎
Original assignee: Beijing Hualixing Sci Tech Development Co Ltd
Current assignee: Beijing Hualixing Sci Tech Development Co Ltd
Priority date: 2023-10-23
Filing date: 2023-10-23
Publication date: 2024-01-23
Anticipated expiration: 2043-10-23
Also published as: CN117109488A

Abstract

本发明涉及射线测厚技术领域，具体提供了一种高精度X射线测厚仪，其包括基座、第一反射板和第二反射板、发射器和探测器；基座包括底座和连接板，底座固定于地面或其他固定基础上，连接板的第一端连接于底座；第一反射板和第二反射板连接于连接板的第二端；第一反射板上设置有第一反射平面，第二反射板上设置有第二反射平面，第一反射平面和第二反射平面平行且间隔设置，第一反射平面和第二反射平面之间形成用以放置工件的容纳空间。高精度X射线测厚仪通过发射一次X射线，使得X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次，最终求得工件的平均厚度，提高了工件厚度的测定效率。

Description

一种高精度X射线测厚仪

技术领域

本发明涉及射线测厚技术领域，特别是涉及一种高精度X射线测厚仪。

背景技术

X射线测厚仪是一种基于X射线穿透原理的厚度测量设备。当X射线穿过物质时，其强度会因物质的吸收、散射等因素而减弱。物质的厚度越大，对X射线的吸收作用越强，透射出来的X射线强度就越低。因此，通过测量透射出来的X射线强度，可以推算出物质的厚度。在实际应用中，X射线测厚仪通常由X射线源、探测器、信号处理及控制系统等组成。当X射线源发射出的X射线照射到被测物体上时，探测器会接收透射出来的X射线，并将其转化为电信号。控制系统则对电信号进行处理，从而得到被测物体的厚度。

现有技术当中，有人提出了一些利用X射线进行测厚的技术方案，如中国专利CN102607476B公开了一种可调节高精度X射线测厚仪及测试方法，其组成包括连接架（1），所述的连接架一端连接具有高性能X射线管（2）的X射线发射装置（3），所述的连接架另一端连接具有X射线接收电离室（14）的X射线接收装置（5），通过发射X射线测量带材厚度。

但是，包括上述专利在内的现有技术中，进行测量时都是发出一次射线得到一次测量结果，效率较低。

公开于本申请背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请的一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

基于此，有必要针对目前的X射线测厚时所存在的效率较低问题，提供一种高精度X射线测厚仪。

上述目的通过下述技术方案实现：

本发明第一方面实施例提供了一种高精度X射线测试方法，其包括以下步骤：

S100，获取工件长度S、工件设计厚度T、工件吸收系数μ和测量精度参数P，并基于工件设计厚度T获取反射层间距H，基于工件长度S和测量精度参数P获取反射次数N；

S200，将工件放置于两个相互平行的反射层之间，两个反射层之间的间距为H；

S300，发射器以倾斜角度θ2向工件发射射线强度为E0的X射线，通过探测器接收X射线并获取接收时的接收强度E1，其中，θ2=arctan（P/H）；

S400，若接收强度E1大于或等于探测器可接收最小强度E3，则执行步骤S900；

S900，计算工件的测试平均厚度D= -（LnE1-LnE0/μN）*cosθ2。

在其中一个实施例中，步骤S400还包括：

若接收强度E1小于探测器可接收最小强度E3，则执行步骤S500；

S500，增加发射射线强度至E4=E0+△E；若E4小于最大射线强度E2，则执行步骤S400。

在其中一个实施例中，步骤S500还包括：

若E4大于或等于最大射线强度E2，则执行步骤S600；

S600，工件厚度大于20mm时，执行步骤S700；否则，执行步骤S800；

S700，以第二测量模式对工件进行测量；第二测量模式下，工件长度方向的两端设置有两个发射器，工件长度方向的中间设置有探测器；

S800，以第三测量模式对工件进行测量；第二测量模式下，工件长度方向的两端设置有两个发射器和两个探测器。

在其中一个实施例中，步骤S700包括：

发射器以倾斜角度θ3向工件发射射线强度为E0的X射线，通过探测器接收X射线并获取接收时的接收强度E1，θ3＜θ2。

在其中一个实施例中，步骤S700后还包括：

S710，若接收强度E1大于或等于探测器可接收最小强度E3，则执行步骤S900；

若接收强度E1小于探测器可接收最小强度E3，则增加发射射线强度至E4=E0+△E；若E4小于最大射线强度E2，则执行步骤S710。

在其中一个实施例中，第二测量模式下，步骤S900包括：

分别计算两条射线测得的工件的测试平均厚度D= -（LnE1-LnE0/μN）*cosθ3，并求均值。

在其中一个实施例中，步骤S800包括：

发射器以倾斜角度θ4向工件发射射线强度为E0的X射线，通过探测器接收X射线并获取接收时的接收强度E1，θ4＞θ2。

在其中一个实施例中，步骤S800后还包括：

S810，若接收强度E1大于或等于探测器可接收最小强度E3，则执行步骤S900；

若接收强度E1小于探测器可接收最小强度E3，则增加发射射线强度至E4=E0+△E；若E4小于最大射线强度E2，则执行步骤S810。

在其中一个实施例中，第三测量模式下，步骤S900包括：

分别计算两条射线测得的工件的测试平均厚度D= -（LnE1-LnE0/μN）*cosθ4，并求均值。

在其中一个实施例中，反射层间距H大小为1.05T-1.2T。

本发明第一方面实施例提供的高精度X射线测试方法的有益效果是：

通过发射一次X射线，使得X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次，最终求得工件的平均厚度，提高了工件厚度的测定效率。

本发明第二方面实施例提供了一种高精度X射线测厚仪，其包括：

基座，所述基座包括底座和连接板，所述底座固定于地面或其他固定基础上，所述连接板的第一端连接于所述底座；

第一反射板和第二反射板，所述第一反射板和所述第二反射板连接于所述连接板的第二端；所述第一反射板上设置有第一反射平面，所述第二反射板上设置有第二反射平面，所述第一反射平面和所述第二反射平面平行且间隔设置，所述第一反射平面和所述第二反射平面之间形成用以放置工件的容纳空间；

发射器，所述发射器数量为一个、两个或多个，所述发射器设置于所述第一反射板靠近所述连接板的一端处和/或所述第一反射板远离所述连接板的一端处；

探测器，所述探测器数量为一个、两个或多个，所述探测器设置于所述第一反射板靠近所述连接板的一端处和/或所述第一反射板远离所述连接板的一端处。

在其中一个实施例中，所述第一反射平面和所述第二反射平面之间的距离可调。

在其中一个实施例中，所述第一反射板和所述第二反射板均可沿竖直方向相对于所述连接板滑动。

在其中一个实施例中，所述第一反射板和所述第二反射板均包括多个反射单元，多个反射单元可拆卸地连接为一体并形成所述第一反射板或所述第二反射板。

在其中一个实施例中，所述反射单元包括固连为一体的水平板和竖直板，所述水平板和所述竖直板互相垂直，所述水平板具有反射子面，多个相邻的反射子面拼接形成所述第一反射平面或所述第二反射平面，相邻两个所述反射单元上的所述竖直板固定连接。

在其中一个实施例中，沿远离所述连接板的方向，所述竖直板的尺寸逐渐减小。

在其中一个实施例中，所述水平板的两端分别设置有卡接槽和卡接凸台，相邻两个所述水平板通过所述卡接槽和所述卡接凸台卡接；所述竖直板上设置有连接凸台和连接孔，相邻两个所述竖直板通过所述连接凸台和所述连接孔紧固连接。

在其中一个实施例中，所述连接板包括固定部和转动部，所述固定部固定连接于所述基座，所述转动部可转动地连接于所述固定部，所述第一反射板和所述第二反射板连接于所述转动部。

在其中一个实施例中，所述固定部上穿设有第一转动轮，所述转动轮用以带动所述转动部相对于所述固定部转动，所述转动部能够相对于所述固定部转动0-90°，所述转动部能够停留并保持于任意转动位置。

在其中一个实施例中，所述连接板上设置有转动杆、第一连接滑块、第二连接滑块和第二转动轮，所述转动杆包括光滑段和螺纹段，所述第一连接滑块设置于所述螺纹段，所述第二连接滑块设置于所述光滑段，所述转动杆转动驱动所述第一连接滑块沿所述转动杆轴向移动，所述第一反射板固定连接于所述第一连接滑块，所述第二反射板固定连接于所述第二连接滑块，所述第二转动轮固定连接于所述转动杆一端。

本发明第二方面实施例提供的高精度X射线测厚仪的有益效果是：

附图说明

图1为本发明第一方面实施例的提供的高精度X射线测试方法的流程图；

图2为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪的结构示意图；

图3为图2中高精度X射线测厚仪沿另一视向的结构示意图；

图4为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪的剖视图；

图5为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪的结构示意图，图中部分探测器位于第一反射板的中间位置；

图6为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪的结构示意图，图中转动部相对于固定部转动90°；

图7为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪中探测器的结构示意图；

图8为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪中第一反射板的结构示意图；

图9为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪中反射单元的结构示意图；

图10为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪中发射器的结构示意图；

图11为本发明第二方面一实施例提供的高精度X射线测厚仪中转动杆的结构示意图。

其中：

100、基座；110、底座；120、连接板；121、固定部；122、转动部；123、转动杆；124、第一连接滑块；125、第二连接滑块；126、第二转动轮；127、第一转动轮；210、第一反射板；220、第二反射板；230、反射单元；231、水平板；232、竖直板；310、发射器；320、探测器。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本文中为组件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本发明第一方面实施例提供了一种高精度X射线测试方法，其适用于对工件的厚度进行非接触式测定，特别适用于厚度较小的金属片材、金属带材的厚度测定，如铜板、钢铁带材等。特别的，本发明第一方面实施例提供的高精度X射线测试方法，能够通过本发明第二方面实施例提供的高精度X射线测厚仪实施。

具体的，如图1所示，高精度X射线测试方法包括以下步骤：

S100，获取工件长度S、工件设计厚度T、工件吸收系数μ和测量精度参数P，并基于工件设计厚度T获取反射层间距H，基于工件长度S和测量精度参数P获取穿透次数N；

S200，将工件放置于两个相互平行的反射层之间，两个反射层之间的间距为H；将两个互相平行的反射层其中一个称为上反射层，另一个称为下反射层；可以理解的是，上反射层、下反射层仅是为了便于描述做出的区分，并不意味着其二者必须严格按照空间上的上下方位布置，例如两个反射层也可按照空间上的左右方位布置；

S900，计算工件的测试平均厚度D= -（LnE1-LnE0/μN）*cosθ2。

上述步骤中，X射线发射后，首先照射到上反射层上，经上反射层反射后首次穿过工件，并照射至下反射层上，再经下反射层反射后再次穿过工件，并照射至上反射层上；X光穿过N次工件后被探测器接收。

工件长度S通过实际测量获得，工件设计厚度T根据工件的设计方案获得，工件吸收系数μ（又称衰减系数μ）根据工件的材质确定。上反射层和下反射层之间的间距H根据工件设计厚度T确定，工件厚度T越大，反射层间距H越大。测量精度参数P根据工件加工精度需求确定，本实施例当中，测量精度参数P为X射线的相邻两个反射点在工件长度方向上的间距；测量精度参数P越大，测量效率越高，测量精度参数P越小，测量精度越高。

在工件长度方向的两端分别设置有发射器和探测器，发射器以倾斜角度θ2向工件发射射线强度为E0的X射线，通过探测器接收X射线并获取接收时的接收强度E1。其中，θ2=arctan（P/H），倾斜角度θ2根据工件设计厚度T和测量精度P确定。根据接收强度E1和发射强度E1可计算出工件的测试平均厚度D= -（LnE1-LnE0/μN）*cosθ2。该测量模式为第一测量模式。

由此，本实施例提供的高精度X射线测试方法，可通过发射一次X射线，使得X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次，最终求得工件的平均厚度，提高了工件厚度的测定效率。

需要注意的是，为了减少或避免X射线在反射层上进行反射时的损耗，使得X射线在两个反射层之间进行全反射或近似于进行全反射，发射角度θ2应当大于一定角度，该角度基于发射射线强度和反射层材质确定。此外，过高的X射线强度可能会对人体或环境造成伤害，因此需要考虑到安全因素，限制X射线强度的范围。还要考虑X射线的测量精度因素，X射线强度过高会使得信噪比降低，从而影响测量精度，因此需要控制X射线强度在一定的范围内，以保证测量精度；本实施例中，发射强度E0不应当大于安全强度E2，接收强度E1不应当小于最小接收强度E3。X射线的强度是指单位时间内射出的X射线光子数量。它通常用强度单位伦琴或来表示。伦琴通常用于测量X射线辐射量，表示单位质量空气中电离对数与光束路径长度的比值，用符号R表示，1伦琴等于空气中1升体积的电离对数，X射线的强度可以通过控制发射电压来调节。

在其中一个实施例中，步骤S400包括：

若接收强度E1大于或等于探测器可接收最小强度E3，则执行步骤S900；

本实施例当中，当发射强度E0较小时，会导致探测器无法接收或无法准确接收到X射线，此时应当增大发射强度，在增大发射强度后再次判断探测器是否接收到超过最小接收强度E3的X射线，若仍未接收到超过最小接收强度E3的X射线，则重复上述步骤，直至探测器接收到超过最小接收强度E3的X射线。

在其中一个实施例中，步骤S500包括：

增加发射射线强度至E4=E0+△E；若E4小于最大射线强度E2，则执行步骤S400；若E4大于或等于最大射线强度E2，则执行步骤S600；

S700，以第二测量模式对工件进行测量；

S800，以第三测量模式对工件进行测量。

本实施例当中，当发射强度E0较小时，会导致探测器无法接收或无法准确接收到X射线，此时应当增大发射强度，在增大发射强度后再次判断探测器是否接收到超过最小接收强度E3的X射线，若仍未接收到超过最小接收强度E3的X射线，则重复上述步骤，直至探测器接收到超过最小接收强度E3的X射线。在探测器未接收到超过最小接收强度E3的X射线，而增大发射强度的过程中，若发射强度已经超过了安全强度E2，则需要调整测量模式。

除第一测量模式外，高精度X射线测试方法还包括第二测量模式和第三测量模式：第二测量模式通过在工件长度方向的两端设置两个发射器，在工件长度方向上的中间位置处设置探测器，由此减少单条射线穿过工件的次数，进而在不增加发射强度的前提下，增大探测器的接收强度；第三测量模式通过在工件长度方向的两端分别设置两个发射器和探测器，并增大发射倾斜角度θ2，由此减少单条射线穿过工件的次数，进而在不增加发射强度的前提下，增大探测器的接收强度。

相对于第一测量模式来说，第二测量模式的入射角不变，第三测量模式的入射角更大，对于在最后的厚度计算中，由于在单次穿过工件时的路径更长，入射角更大的测量模式比入射角更小的测量模式更容易出现误差，且吸收的X射线强度更大。所以第二测量模式更适合测量厚度较大的工件，入射角更大的第三测量模式更适合测量厚度较小的工件。

在其中一个实施例中，步骤S700包括：

本实施例中，第二测量模式下，由于单条射线穿过工件的次数减少，使得探测器的接收强度增加，可以按照初始发射强度E0发射X射线。并且，若发射倾斜角度不变，单条射线穿过工件的次数减半，使得探测器的接收强度增加幅度较大，此时可以减小发射倾斜角度，使得单条射线穿过工件的次数增加（但应当小于第一测量模式下射线穿过工件的次数），由此提高测量精度。

在其中一个实施例中，步骤S700后还包括：

本实施例中，若探测器能够接收到超过可接收最小强度E3的X射线，则按照探测器接收到的射线强度即可计算出工件的平均厚度。当发射强度E0较小时，会导致探测器无法接收或无法准确接收到X射线，此时应当增大发射强度，在增大发射强度后再次判断探测器是否接收到超过最小接收强度E3的X射线，若仍未接收到超过最小接收强度E3的X射线，则重复上述步骤，直至探测器接收到超过最小接收强度E3的X射线。

在其中一个实施例中，第二测量模式下，步骤S900包括：

可以理解的是，第二测量模式下，发射倾斜角度相同时，单条射线穿过工件的次数为第一测量模式下的一半。

在其中一个实施例中，步骤S800包括：

本实施例中，第三测量模式下，通过增大发射倾斜角度，使得单条射线穿过工件的次数减少，由此减少射线强度的衰减，使得探测器能够接收到的射线强度增大；由于单条射线穿过工件的次数减少，使得探测器的接收强度增加，可以按照初始发射强度E0发射X射线。

在其中一个实施例中，步骤S800后还包括：

在其中一个实施例中，第三测量模式下，步骤S900包括：

在其中一个实施例中，反射层间距H大小基于工件设计厚度T确定，可选地，反射层间距H大小为1.05T-1.2T。

本发明第二方面实施例提供了一种高精度X射线测厚仪，其适用于对工件的厚度进行非接触式测定，特别适用于厚度较小的金属片材、金属带材的厚度测定，如铜板、钢铁带材等。特别的，本发明第二方面实施例提供的高精度X射线测厚仪，能够按照本发明第一方面实施例提供的高精度X射线测试方法对工件厚度进行测定。

具体的，如图2-图11所示，本发明提供的高精度X射线测厚仪包括基座100、第一反射板210和第二反射板220、发射器310和探测器320。

基座100作为整个设备的安装基础，基座100包括底座110和连接板120，底座110固定于地面或其他固定基础上。连接板120具有第一端和第二端，第一端通常处于水平高度较低的位置，第二端通常处于水平高度较高的位置，连接板120的第一端连接于底座110。

第一反射板210和第二反射板220连接于连接板120的第二端，通常情况下为了便于放置待测试工件，第一反射板210和第二反射板220沿水平方向设置。第一反射板210上设置有第一反射平面，第二反射板220上设置有第二反射平面，第一反射平面和第二反射平面平行且间隔设置，第一反射平面和第二反射平面能够对X射线进行反射，第一反射平面和第二反射平面之间形成用以放置工件的容纳空间。

发射器310数量为一个、两个或多个，发射器310设置于第一反射板210靠近连接板120的一端处和/或第一反射板210远离连接板120的一端处，发射器310用以发射X射线至容纳空间和工件。探测器320数量为一个、两个或多个，探测器320设置于第一反射板210靠近连接板120的一端处和/或第一反射板210远离连接板120的一端处，探测器320用以接收X射线。发射器310和探测器320的角度可调。需要说明的是，通常情况下为了便于测定和计算，发射器310和探测器320一一对应设置，但是发射器310和探测器320也可按照多个发射器310对应一个探测器320的方式设置。

测试时，将待测工件放置于第一反射板210和第二反射板220之间，将发射器310倾斜于第一反射平面或第二反射平面设置，X射线以倾斜角度射入第一反射板210和第二反射板220之间。X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次，最终求得工件的平均厚度。

由此，本实施例提供的高精度X射线测厚仪，通过发射一次X射线，使得X射线在两个反射层之间进行多次反射并穿过工件多次，最终求得工件的平均厚度，提高了工件厚度的测定效率。

在其中一个实施例当中，为了适应不同厚度的工件，第一反射平面和第二反射平面之间的距离可调。具体的，第一反射板210和第二反射板220均能够相对于连接板120沿着垂直于第一反射平面或第二反射平面的方向滑动；或第一反射板210能够相对于连接板120沿着垂直于第一反射平面或第二反射平面的方向滑动，第二反射板220相对于连接板120固定；或第二反射板220能够相对于连接板120沿着垂直于第一反射平面或第二反射平面的方向滑动，第一反射板210相对于连接板120固定。通过调节第一反射板210和第二反射板220之间的距离，进而调节第一反射平面和第二反射平面之间的距离。

在其中一个实施例当中，以第一反射板210能够相对于连接板120沿着垂直于第一反射平面或第二反射平面的方向滑动，第二反射板220相对于连接板120固定为例进行说明，为了实现第一反射板210和/或第二反射板220的距离调节，在连接板120上穿设有转动杆123，转动杆123的轴线方向垂直于第一反射平面或第二反射平面，转动杆123一端设置有第二转动轮126，第二转动轮126转动能够带动转动杆123转动；转动杆123上包括光滑段和螺纹端。连接板120上还设置有第一连接滑块124和第二连接滑块125，第一连接滑块124上设置有螺纹孔，第一连接滑块124套设于转动杆123上的螺纹段，并通过螺纹孔与螺纹段活动连接；第二连接滑块125上设置有通孔，第二连接滑块125套设于转动杆123上的光滑段，第二连接滑块125能够相对于转动杆123转动，转动杆123上还设置有限位凸台，限位凸台使得第二连接滑块125不能够沿转动杆123的轴向滑动。当通过手动或自动方式转动第二转动轮126时，带动转动杆123转动，转动杆123转动通过螺纹段带动第一连接滑块124沿转动杆123轴向相对于转动杆123移动，此时第二连接滑块125沿转动杆123轴向与转动杆123保持相对静止，由此实现第一连接滑块124和第二连接滑块125的距离调节，进而实现第一反射板210和第二反射板220的距离调节。

在其中一个实施例当中，为了实现对不同长度工件的测定，第一反射板210和第二反射板220的长度设置为可以调节。具体的，第一反射板210和第二反射板220均包括多个反射单元230，每个反射单元230上都设置有反射子面，多个反射单元230可拆卸地连接为一体并形成第一反射板210或第二反射板220，在多个反射单元230拼装为一体后，多个反射子面共同形成第一反射平面或第二反射平面。当需要对第一反射板210和第二反射板220的长度进行调节时，通过增加或减少反射单元230的数量即可完成第一反射板210和第二反射板220的长度调节。需要说明的是，由于多个反射单元230在连接为一体后，相邻两个反射单元230之间存在接缝，也即由多个反射子面构成的第一反射平面或第二反射平面上具有多个接缝，此时可以通过调节发射器310发出的X射线的倾斜角度，使得X射线不照射至接缝处；例如，可以将X射线的倾斜角度调节为使得X射线相邻两个反射点之间沿第一反射板210长度方向上的间距与反射单元230长度互为质数。

在其中一个实施例当中，为了进一步加强多个反射单元230连接后的稳定性，反射单元230包括固连为一体的水平板231和竖直板232，水平板231和竖直板232互相垂直，水平板231具有反射子面，多个相邻的反射子面拼接形成第一反射平面或第二反射平面，相邻两个反射单元230上的竖直板232固定连接为一体。

在其中一个实施例当中，由于第一反射板210和第二反射板220均是一端与连接板120连接，其结构近似于悬臂结构，为了加强结构稳定性，沿远离连接板120的方向，竖直板232的尺寸逐渐减小，由此使得沿远离连接板120的方向，反射单元230的重量逐渐减小。

在其中一个实施例当中，水平板231的两端分别设置有卡接槽和卡接凸台，相邻两个水平板231通过卡接槽和卡接凸台卡接；竖直板232上设置有连接凸台和连接孔，相邻两个竖直板232通过连接凸台和连接孔紧固连接。

在其中一个实施例当中，连接板120包括固定部121和转动部122，固定部121固定连接于基座100，转动部122可转动地连接于固定部121，第一反射板210和第二反射板220连接于转动部122。

在其中一个实施例当中，固定部121上穿设有第一转动轮127，转动轮用以带动转动部122相对于固定部121转动，转动部122能够相对于固定部121转动0-90°，转动部122能够停留并保持于任意转动位置。由此，便于第一反射板210和第二反射板220的拼接安装。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims

1.一种高精度X射线测厚仪，其特征在于，包括：

探测器，所述探测器数量为一个、两个或多个，所述探测器设置于所述第一反射板靠近所述连接板的一端处和/或所述第一反射板远离所述连接板的一端处；

所述第一反射板和所述第二反射板均包括多个反射单元，多个反射单元可拆卸地连接为一体并形成所述第一反射板或所述第二反射板；

所述反射单元包括固连为一体的水平板和竖直板，所述水平板和所述竖直板互相垂直，所述水平板具有反射子面，多个相邻的反射子面拼接形成所述第一反射平面或所述第二反射平面，相邻两个所述反射单元上的所述竖直板固定连接。

2.根据权利要求1所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述第一反射平面和所述第二反射平面之间的距离可调。

3.根据权利要求2所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述第一反射板和所述第二反射板均可沿竖直方向相对于所述连接板滑动。

4.根据权利要求1所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，沿远离所述连接板的方向，所述竖直板的尺寸逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述水平板的两端分别设置有卡接槽和卡接凸台，相邻两个所述水平板通过所述卡接槽和所述卡接凸台卡接；所述竖直板上设置有连接凸台和连接孔，相邻两个所述竖直板通过所述连接凸台和所述连接孔紧固连接。

6.根据权利要求1、4、5中任一项所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述连接板包括固定部和转动部，所述固定部固定连接于所述基座，所述转动部可转动地连接于所述固定部，所述第一反射板和所述第二反射板连接于所述转动部。

7.根据权利要求6所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述固定部上穿设有第一转动轮，所述转动轮用以带动所述转动部相对于所述固定部转动，所述转动部能够相对于所述固定部转动0-90°，所述转动部能够停留并保持于任意转动位置。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的高精度X射线测厚仪，其特征在于，所述连接板上设置有转动杆、第一连接滑块、第二连接滑块和第二转动轮，所述转动杆包括光滑段和螺纹段，所述第一连接滑块设置于所述螺纹段，所述第二连接滑块设置于所述光滑段，所述转动杆转动驱动所述第一连接滑块沿所述转动杆轴向移动，所述第一反射板固定连接于所述第一连接滑块，所述第二反射板固定连接于所述第二连接滑块，所述第二转动轮固定连接于所述转动杆一端。