JPH11279709A - 高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法 - Google Patents
高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法Info
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- JPH11279709A JPH11279709A JP10185398A JP10185398A JPH11279709A JP H11279709 A JPH11279709 A JP H11279709A JP 10185398 A JP10185398 A JP 10185398A JP 10185398 A JP10185398 A JP 10185398A JP H11279709 A JPH11279709 A JP H11279709A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 剛性を確保するために重量増となることがな
い、高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法を
提供すること。 【解決手段】 重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓｉ：
１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４３．５％、
Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有し、
かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を満
たし、残部実質的にＦｅからなる組成の高ヤング率低熱
膨張鋳造合金を得る。
い、高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法を
提供すること。 【解決手段】 重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓｉ：
１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４３．５％、
Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有し、
かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を満
たし、残部実質的にＦｅからなる組成の高ヤング率低熱
膨張鋳造合金を得る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密機械部品等の
用途に適した高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製
造方法に関する。本発明の高ヤング率低熱膨張鋳造合金
は、（１）半導体関連機器、（２）計測機器、（３）工
作機械、（４）光学機器、（５）金型等に好適であり、
（１）としては、例えばポリッシングマシンやステッパ
ー等の定盤やアーム、スライシングマシンのロールフレ
ーム、ドライ真空ポンプのローター、実装装置の認識部
アーム、ボンディングマシンのラック、描画装置のブロ
ックやフレーム、シリコンウエハの研削盤のベースやコ
ラム、検査装置のトレイ、その他露光装置のベースやフ
レーム等が挙げられ、（２）としては、例えば直角度測
定機のゲージ、非接触板厚測定器のＣフレーム、薄膜厚
さ測定器のスピンドル、橋梁測定器の測定梁、超精密非
球面測定器のフレーム、光ジャイロのボビン、成分分析
装置のミラー台や光源台等が挙げられ、（３）として
は、例えば精密研削機のベース・コラム、センターレス
研磨機のスピンドルや検測機、切断機の刃物台、マシニ
ングセンターのスピンドルヘッド、円筒研削盤のマグネ
ットチャック、非球面加工機のテーブル、プリント基板
穴明け機のモーターケース、ワイヤー放電加工機の下ア
ーム、精密プレス機のコンロッド、ジグボーラーのコラ
ム等、（４）としては、例えば、測量望遠鏡の鏡筒、レ
ーザー発振機のベース、レーザー加工機のベースやフレ
ーム、天体望遠鏡のレンズ支持台、認識装置のハウジン
グ等が挙げられ、（５）としては、例えば、ＣＦＲＰ成
形型やＧＦＲＰ成形型の金型、プレス成形型の位置決め
治具、プラスチック射出成形型のホットランナー等が挙
げられる。
用途に適した高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製
造方法に関する。本発明の高ヤング率低熱膨張鋳造合金
は、（１）半導体関連機器、（２）計測機器、（３）工
作機械、（４）光学機器、（５）金型等に好適であり、
（１）としては、例えばポリッシングマシンやステッパ
ー等の定盤やアーム、スライシングマシンのロールフレ
ーム、ドライ真空ポンプのローター、実装装置の認識部
アーム、ボンディングマシンのラック、描画装置のブロ
ックやフレーム、シリコンウエハの研削盤のベースやコ
ラム、検査装置のトレイ、その他露光装置のベースやフ
レーム等が挙げられ、（２）としては、例えば直角度測
定機のゲージ、非接触板厚測定器のＣフレーム、薄膜厚
さ測定器のスピンドル、橋梁測定器の測定梁、超精密非
球面測定器のフレーム、光ジャイロのボビン、成分分析
装置のミラー台や光源台等が挙げられ、（３）として
は、例えば精密研削機のベース・コラム、センターレス
研磨機のスピンドルや検測機、切断機の刃物台、マシニ
ングセンターのスピンドルヘッド、円筒研削盤のマグネ
ットチャック、非球面加工機のテーブル、プリント基板
穴明け機のモーターケース、ワイヤー放電加工機の下ア
ーム、精密プレス機のコンロッド、ジグボーラーのコラ
ム等、（４）としては、例えば、測量望遠鏡の鏡筒、レ
ーザー発振機のベース、レーザー加工機のベースやフレ
ーム、天体望遠鏡のレンズ支持台、認識装置のハウジン
グ等が挙げられ、（５）としては、例えば、ＣＦＲＰ成
形型やＧＦＲＰ成形型の金型、プレス成形型の位置決め
治具、プラスチック射出成形型のホットランナー等が挙
げられる。
【０００２】
【従来の技術】従来より、実用的な低熱膨張合金として
インバー（３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金）、スーパーインバー
（３２％Ｎｉ−５％Ｃｏ−Ｆｅ合金）等が知られてお
り、その中でもスーパーインバー合金は室温から１００
℃の間の熱膨張係数が０〜１×１０-6／℃と著しく低い
ため、精密機械部品等の寸法精度が要求される用途に適
用されている。また、より高温での使用を考慮した４２
％Ｎｉ−Ｆｅ合金やコバール（２９％Ｎｉ−１７Ｃｏ−
Ｆｅ合金）があり、例えばコバールでは室温から４５０
℃の間の熱膨張係数がインバーやスーパーインバーより
小さい特徴があり、高温での熱変形が小さいことを要求
される用途に適用されている。これら精密機械部品等に
は、製品形状に近い鋳型内で鋳造して形成される鋳造合
金が用いられている。
インバー（３６％Ｎｉ−Ｆｅ合金）、スーパーインバー
（３２％Ｎｉ−５％Ｃｏ−Ｆｅ合金）等が知られてお
り、その中でもスーパーインバー合金は室温から１００
℃の間の熱膨張係数が０〜１×１０-6／℃と著しく低い
ため、精密機械部品等の寸法精度が要求される用途に適
用されている。また、より高温での使用を考慮した４２
％Ｎｉ−Ｆｅ合金やコバール（２９％Ｎｉ−１７Ｃｏ−
Ｆｅ合金）があり、例えばコバールでは室温から４５０
℃の間の熱膨張係数がインバーやスーパーインバーより
小さい特徴があり、高温での熱変形が小さいことを要求
される用途に適用されている。これら精密機械部品等に
は、製品形状に近い鋳型内で鋳造して形成される鋳造合
金が用いられている。
【０００３】しかしながら、これらの合金のヤング率
は、１．３×１０4ｋｇｆ／ｍｍ2以下で一般鋼の約２／
３と低く、精密測定機器の定盤などのように剛性が要求
される用途に適用しようとすると、剛性を保持するため
重量増にならざるを得ないという設計上の問題がある。
は、１．３×１０4ｋｇｆ／ｍｍ2以下で一般鋼の約２／
３と低く、精密測定機器の定盤などのように剛性が要求
される用途に適用しようとすると、剛性を保持するため
重量増にならざるを得ないという設計上の問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる事情に
鑑みてなされたものであって、剛性を確保するために重
量増となることがない、高ヤング率低熱膨張鋳造合金お
よびその製造方法を提供することを目的とする。
鑑みてなされたものであって、剛性を確保するために重
量増となることがない、高ヤング率低熱膨張鋳造合金お
よびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記課題を
解決すべく鋭意検討を重ねた結果、上述したインバー、
スーパーインバー、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金およびコバー
ル等の従来用いられている各種低熱膨張合金の組成を基
本組成とし、それに特定量のＷを添加することにより、
ヤング率の高い低熱膨張鋳造合金が得られることを見出
した。また、このような合金を７００〜９００℃から水
冷することにより熱膨張係数がさらに低下することを見
出した。
解決すべく鋭意検討を重ねた結果、上述したインバー、
スーパーインバー、４２％Ｎｉ−Ｆｅ合金およびコバー
ル等の従来用いられている各種低熱膨張合金の組成を基
本組成とし、それに特定量のＷを添加することにより、
ヤング率の高い低熱膨張鋳造合金が得られることを見出
した。また、このような合金を７００〜９００℃から水
冷することにより熱膨張係数がさらに低下することを見
出した。
【０００６】本発明は、このような知見に基づいてなさ
れたものであり、重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓ
ｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４３．５
％、Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有
し、かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％
を満たし、残部実質的にＦｅからなることを特徴とす
る、高ヤング率でかつ快削性を有する低熱膨張合金を提
供するものである。
れたものであり、重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓ
ｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４３．５
％、Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有
し、かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％
を満たし、残部実質的にＦｅからなることを特徴とす
る、高ヤング率でかつ快削性を有する低熱膨張合金を提
供するものである。
【０００７】また、本発明は、重量％にて、Ｃ：０．２
％以下、Ｓｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６
〜４２％、Ｃｏ：２〜２０％、Ｗ：１．５〜７％の範囲
で含有し、かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４
３．５％を満たし、残部実質的にＦｅからなることを特
徴とする、高ヤング率低熱膨張鋳造合金。
％以下、Ｓｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６
〜４２％、Ｃｏ：２〜２０％、Ｗ：１．５〜７％の範囲
で含有し、かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４
３．５％を満たし、残部実質的にＦｅからなることを特
徴とする、高ヤング率低熱膨張鋳造合金。
【０００８】さらにまた、本発明は、上記いずれかの組
成を有する素材を、７００℃以上９００℃以下の温度か
ら急冷することを特徴とする、高ヤング率でかつ快削性
を有する低熱膨張鋳造合金の製造方法を提供するもので
ある。
成を有する素材を、７００℃以上９００℃以下の温度か
ら急冷することを特徴とする、高ヤング率でかつ快削性
を有する低熱膨張鋳造合金の製造方法を提供するもので
ある。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明について具体的に説
明する。本発明の合金の基本組成は、重量％にて、Ｃ：
０．２％以下、Ｓｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎ
ｉ：２６〜４３．５％、Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５
〜７％、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を
満たし、残部実質的にＦｅである。
明する。本発明の合金の基本組成は、重量％にて、Ｃ：
０．２％以下、Ｓｉ：１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎ
ｉ：２６〜４３．５％、Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５
〜７％、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を
満たし、残部実質的にＦｅである。
【００１０】Ｃ：０．２％以下 Ｃは低熱膨張性に悪影響を与える元素であるため少ない
方が好ましい。したがって、Ｃ含有量を０．２％以下と
する。ただし、鋳造性を改善するため０．１％以上含有
していることが好ましい。
方が好ましい。したがって、Ｃ含有量を０．２％以下と
する。ただし、鋳造性を改善するため０．１％以上含有
していることが好ましい。
【００１１】Ｓｉ：１％以下 Ｓｉは脱酸剤として添加される元素であるが、１％を超
えると熱膨張係数の増加の影響が大きい。したがって、
Ｓｉ量を１％以下とする。ただし、溶湯の流動性を改善
するため、０．５％以上含有していることが好ましい。
えると熱膨張係数の増加の影響が大きい。したがって、
Ｓｉ量を１％以下とする。ただし、溶湯の流動性を改善
するため、０．５％以上含有していることが好ましい。
【００１２】Ｍｎ：１％以下 脱酸のためおよびＳを固定して加工性を向上させるため
に有効な元素であるが、１％を超えると熱膨張係数が増
大する。したがって、Ｍｎ量を１％以下とする。
に有効な元素であるが、１％を超えると熱膨張係数が増
大する。したがって、Ｍｎ量を１％以下とする。
【００１３】Ｎｉ：２６〜４３．５％ Ｎｉは、以下のＣｏとともに熱膨張の低下に必要な元素
である。Ｎｉ量が２６％未満ではＣｏ量を調節しても所
望の低熱膨張性が得られず、４３．５％を超える場合に
も低熱膨張性が得られないので、Ｎｉ量を２６〜４３．
５％の範囲とする。
である。Ｎｉ量が２６％未満ではＣｏ量を調節しても所
望の低熱膨張性が得られず、４３．５％を超える場合に
も低熱膨張性が得られないので、Ｎｉ量を２６〜４３．
５％の範囲とする。
【００１４】Ｃｏ：２０％以下 Ｃｏは、上述のＮｉとの組合せにより熱膨張係数の低下
を実現するために添加する元素であるが、２０％超では
熱膨張係数が高くなるため、２０％以下とする。なお、
Ｃｏがこの範囲では基本組成がインバー組成およびスー
パーインバー組成のいずれをも含むが、この中でも特
に、Ｃｏ：２〜２０％のスーパーインバー組成を基本組
成とすることが好ましい。ただし、この場合には、以下
のＮｉ当量を考慮すると、Ｎｉ：２６〜４２％となる。
を実現するために添加する元素であるが、２０％超では
熱膨張係数が高くなるため、２０％以下とする。なお、
Ｃｏがこの範囲では基本組成がインバー組成およびスー
パーインバー組成のいずれをも含むが、この中でも特
に、Ｃｏ：２〜２０％のスーパーインバー組成を基本組
成とすることが好ましい。ただし、この場合には、以下
のＮｉ当量を考慮すると、Ｎｉ：２６〜４２％となる。
【００１５】３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５
％ Ｎｉ＋０．８ＣｏはＮｉ当量であり、ＮｉおよびＣｏが
上記範囲を満足しても、Ｎｉ当量が３４．５％未満およ
び４３．５％超の場合には低い熱膨張係数が得られな
い。したがって、Ｎｉ当量を３４．５〜４３．５％の範
囲とする。
％ Ｎｉ＋０．８ＣｏはＮｉ当量であり、ＮｉおよびＣｏが
上記範囲を満足しても、Ｎｉ当量が３４．５％未満およ
び４３．５％超の場合には低い熱膨張係数が得られな
い。したがって、Ｎｉ当量を３４．５〜４３．５％の範
囲とする。
【００１６】なお、これらＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ当量は、低
熱膨張が要求される温度範囲に応じて好ましい範囲が異
なる。すなわち、２０〜１５０℃の範囲での熱膨張係数
を４×１０-6／℃以下とするためには、Ｎｉ：３０〜３
７．５％、Ｃｏ：８％以下、Ｎｉ当量：３４．５〜３
７．５％が好ましい。また、２０〜３００℃の範囲での
熱膨張係数を６×１０-6／℃以下とするためには、Ｎ
ｉ：２８〜４０．５％、Ｃｏ：１４％以下、Ｎｉ当量：
３７．５〜４０．５％が好ましい。さらに、２０〜４５
０℃の範囲での熱膨張係数を８×１０-6／℃以下とする
ためには、Ｎｉ：２６〜４３．５％、Ｃｏ：２０％以
下、Ｎｉ当量：４０．５〜４３．５％が好ましい。
熱膨張が要求される温度範囲に応じて好ましい範囲が異
なる。すなわち、２０〜１５０℃の範囲での熱膨張係数
を４×１０-6／℃以下とするためには、Ｎｉ：３０〜３
７．５％、Ｃｏ：８％以下、Ｎｉ当量：３４．５〜３
７．５％が好ましい。また、２０〜３００℃の範囲での
熱膨張係数を６×１０-6／℃以下とするためには、Ｎ
ｉ：２８〜４０．５％、Ｃｏ：１４％以下、Ｎｉ当量：
３７．５〜４０．５％が好ましい。さらに、２０〜４５
０℃の範囲での熱膨張係数を８×１０-6／℃以下とする
ためには、Ｎｉ：２６〜４３．５％、Ｃｏ：２０％以
下、Ｎｉ当量：４０．５〜４３．５％が好ましい。
【００１７】Ｗ：１．５〜７％ Ｗは、本発明にとって最も重要な元素であり、ヤング率
を上昇させる効果を有する。しかし、その量が１．５％
未満ではヤング率上昇効果が十分に発揮されず、７％を
超えると熱膨張係数が高くなってしまう。したがって、
Ｗ量を１．５〜７％の範囲とする。なお、Ｗの好ましい
範囲は２〜５％である。
を上昇させる効果を有する。しかし、その量が１．５％
未満ではヤング率上昇効果が十分に発揮されず、７％を
超えると熱膨張係数が高くなってしまう。したがって、
Ｗ量を１．５〜７％の範囲とする。なお、Ｗの好ましい
範囲は２〜５％である。
【００１８】本発明は、鋳型に鋳込んで製造する鋳造合
金を対象とするが、その製造条件に関しては、特に限定
されるものではない。
金を対象とするが、その製造条件に関しては、特に限定
されるものではない。
【００１９】ただし、本発明においては、所定の形状に
製造した素材を、７００〜９００℃の範囲の温度から急
冷することが好ましい。これにより、ＮｉやＣｏのミク
ロ偏析が緩和され、熱膨張係数を一層低下させることが
できる。なお、急冷の方法は水冷が好ましいが、空冷ま
たは油冷であってもよい。
製造した素材を、７００〜９００℃の範囲の温度から急
冷することが好ましい。これにより、ＮｉやＣｏのミク
ロ偏析が緩和され、熱膨張係数を一層低下させることが
できる。なお、急冷の方法は水冷が好ましいが、空冷ま
たは油冷であってもよい。
【００２０】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。高
周波誘導溶解炉により、表１に示す化学組成の合金を溶
解、鋳造し、φ３５ｍｍ×Ｌ２２０ｍｍの丸棒を得た。
なお、表１中、Ｎｏ．１〜４２は本発明材で、Ｎｏ．１
〜１４が低温用、Ｎｏ．１５〜２８が中温用、Ｎｏ．２
９〜４２が高温用である。また、表２中、Ｎｏ．４３〜
４７は低温用合金の比較材、Ｎｏ．５０〜５４は中温用
合金の比較材、Ｎｏ．５７〜６１は高温用合金の比較
材、Ｎｏ．６４〜６７はＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ当量のいずれ
かが外れる比較材である。さらに表２のＮｏ．４８，４
９は低温用合金の従来材、Ｎｏ．５５，５６は中温用合
金の従来材、Ｎｏ．６２，６３は高温用合金の従来材で
ある。
周波誘導溶解炉により、表１に示す化学組成の合金を溶
解、鋳造し、φ３５ｍｍ×Ｌ２２０ｍｍの丸棒を得た。
なお、表１中、Ｎｏ．１〜４２は本発明材で、Ｎｏ．１
〜１４が低温用、Ｎｏ．１５〜２８が中温用、Ｎｏ．２
９〜４２が高温用である。また、表２中、Ｎｏ．４３〜
４７は低温用合金の比較材、Ｎｏ．５０〜５４は中温用
合金の比較材、Ｎｏ．５７〜６１は高温用合金の比較
材、Ｎｏ．６４〜６７はＮｉ、Ｃｏ、Ｎｉ当量のいずれ
かが外れる比較材である。さらに表２のＮｏ．４８，４
９は低温用合金の従来材、Ｎｏ．５５，５６は中温用合
金の従来材、Ｎｏ．６２，６３は高温用合金の従来材で
ある。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】上記φ３５ｍｍ×Ｌ２２０ｍｍの丸棒を用
いて熱膨張係数およびヤング率を測定した。熱膨張係数
は、低温用合金では２０〜１５０℃、中温用合金では２
０〜３００℃、高温用合金では２０〜４５０℃の範囲で
測定した。これらの結果を表３、表４に示す。
いて熱膨張係数およびヤング率を測定した。熱膨張係数
は、低温用合金では２０〜１５０℃、中温用合金では２
０〜３００℃、高温用合金では２０〜４５０℃の範囲で
測定した。これらの結果を表３、表４に示す。
【００２４】
【表３】
【００２５】
【表４】
【００２６】表３に示すように、本発明例では所望の低
熱膨張性を維持しつつ、従来材よりも高いヤング率が得
られることが確認された。
熱膨張性を維持しつつ、従来材よりも高いヤング率が得
られることが確認された。
【００２７】これに対して、Ｎｉ、Ｃｏ量またはＮｉ当
量が本発明の範囲から外れる比較例のＮｏ．６４〜６７
は、熱膨張係数が大きく低熱膨張材としては不適当であ
った。また、Ｗ量が少ないＮｏ．４３，５０，５７はヤ
ング率が低かった。Ｗ量が多いＮｏ．４４，５１，５８
は熱膨張係数が大きい値を示した。さらに、Ｃ、Ｓｉ、
Ｍｎ量が本発明の範囲からはずれるＮｏ．４５〜４７，
５２〜５４，５９〜６１は熱膨張係数が大きい値を示し
た。
量が本発明の範囲から外れる比較例のＮｏ．６４〜６７
は、熱膨張係数が大きく低熱膨張材としては不適当であ
った。また、Ｗ量が少ないＮｏ．４３，５０，５７はヤ
ング率が低かった。Ｗ量が多いＮｏ．４４，５１，５８
は熱膨張係数が大きい値を示した。さらに、Ｃ、Ｓｉ、
Ｍｎ量が本発明の範囲からはずれるＮｏ．４５〜４７，
５２〜５４，５９〜６１は熱膨張係数が大きい値を示し
た。
【００２８】次に、上記Ｎｏ．１，２，１５，１６，２
９，３０の組成のφ３５ｍｍ×Ｌ２２０ｍｍ丸棒サンプ
ルを用いて、鋳造まま、および８５０℃から水冷した状
態の熱膨張係数を測定した。低温用のＮｏ．１，２は２
０〜１５０℃、中温用のＮｏ．１５，１６は２０〜３０
０℃、高温用のＮｏ．２９，３０は２０〜４５０℃で測
定した。その結果を表５に示す。
９，３０の組成のφ３５ｍｍ×Ｌ２２０ｍｍ丸棒サンプ
ルを用いて、鋳造まま、および８５０℃から水冷した状
態の熱膨張係数を測定した。低温用のＮｏ．１，２は２
０〜１５０℃、中温用のＮｏ．１５，１６は２０〜３０
０℃、高温用のＮｏ．２９，３０は２０〜４５０℃で測
定した。その結果を表５に示す。
【００２９】
【表５】
【００３０】表５に示すように、水冷することにより、
鋳造ままよりも熱膨張係数がさらに低下することが確認
された。
鋳造ままよりも熱膨張係数がさらに低下することが確認
された。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ヤング率が高い低熱膨張鋳造合金を得ることができる。
したがって、剛性を確保するために重量増となることが
ない。
ヤング率が高い低熱膨張鋳造合金を得ることができる。
したがって、剛性を確保するために重量増となることが
ない。
Claims (4)
- 【請求項１】 重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓｉ：
１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４３．５％、
Ｃｏ：２０％以下、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有し、
かつ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を満
たし、残部実質的にＦｅからなることを特徴とする、高
ヤング率低熱膨張鋳造合金。 - 【請求項２】 重量％にて、Ｃ：０．２％以下、Ｓｉ：
１％以下、Ｍｎ：１％以下、Ｎｉ：２６〜４２％、Ｃ
ｏ：２〜２０％、Ｗ：１．５〜７％の範囲で含有し、か
つ、３４．５％≦Ｎｉ＋０．８Ｃｏ≦４３．５％を満た
し、残部実質的にＦｅからなることを特徴とする、高ヤ
ング率低熱膨張鋳造合金。 - 【請求項３】 重量％でＷが２〜５％であることを特徴
とする、請求項１または請求項２に記載の高ヤング率低
熱膨張合金。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のいずれか１項
に記載の組成を有する素材を、７００℃以上９００℃以
下の温度から急冷することを特徴とする、高ヤング率低
熱膨張鋳造合金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10185398A JPH11279709A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10185398A JPH11279709A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11279709A true JPH11279709A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=14311606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10185398A Pending JPH11279709A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 高ヤング率低熱膨張鋳造合金およびその製造方法 |
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| JP (1) | JPH11279709A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016188400A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-04 | 日立金属株式会社 | 固溶強化型オーステナイト鋼薄板 |
| CN108807229A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-11-13 | 武汉新芯集成电路制造有限公司 | 一种键合机台的监测方法 |
| JP2020122188A (ja) * | 2019-01-30 | 2020-08-13 | 新報国製鉄株式会社 | 低熱膨張鋳物及びその製造方法 |
| WO2021192060A1 (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 新報国製鉄株式会社 | 低熱膨張鋳物及びその製造方法 |
| WO2021220352A1 (ja) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 新報国マテリアル株式会社 | 低熱膨張鋳物及びその製造方法 |
| JPWO2022014544A1 (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-20 | ||
| CN115216637A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-10-21 | 西安钢研功能材料股份有限公司 | 精密可伐合金箔材用合金锭的制备方法 |
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1998
- 1998-03-31 JP JP10185398A patent/JPH11279709A/ja active Pending
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| CN115216637A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-10-21 | 西安钢研功能材料股份有限公司 | 精密可伐合金箔材用合金锭的制备方法 |
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