JPH10310845A - 高強度低熱膨張合金 - Google Patents
高強度低熱膨張合金Info
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- JPH10310845A JPH10310845A JP12207897A JP12207897A JPH10310845A JP H10310845 A JPH10310845 A JP H10310845A JP 12207897 A JP12207897 A JP 12207897A JP 12207897 A JP12207897 A JP 12207897A JP H10310845 A JPH10310845 A JP H10310845A
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Abstract
熱膨張係数を兼ね備えた高強度低熱膨張合金を得る。 【解決手段】 C:0.15wt%以下、 Si:0.5 wt%以下、 Mn:0.5 wt%以下、 Ti:0.5 〜4.0 wt%、 Al:2.0 wt%以下 を含み、かつ Ni:30.7〜43.0wt%、 Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、残部は実質的にFeの組
成とする。
Description
や半導体関連、レーザー加工機さらには超精密加工機器
において、強度のみならず熱的な形状安定性が必要とさ
れる治工具や露光装置および高精密旋盤のベット等の用
途に供して好適な高強度低熱膨張合金に関するものであ
る。
レーザー加工機さらには超精密加工機器の部品材料とし
て、熱的に安定なインバー合金が使用されていて、その
需要も日増しに増加する傾向にある。しかしながら、イ
ンバー合金やスーパーインバー合金は強度が低いため、
例えば大形旋盤加工でのボーリングバーやバイトホルダ
ーなど高負荷がかかる部分には使用できない。
がさらに大型化されるのに伴い、そのベット部分に使用
されるインバー合金やスーパーインバー合金について
も、その剛性の面から、大型、重量化が図られている
が、建造物等の制約から大型化はもはや限界にきてい
る。
CとV,Nbを添加し、さらに冷間加工誘起マルテンサイ
ト変態を応用した架空送電線用材料(例えば特開平6−
346193号公報、特開平5−171858号公報、特開平7−22
8947号公報)が知られているが、これらの合金はいずれ
も強い冷間加工を必要とするため、大型品には適さな
い。
ンサイト系合金やNi基の時効析出合金等が数多く存在す
るが、何れも熱膨張係数は14〜23×10-6/℃程度にすぎ
ず、高精度が要求される半導体関連、レーザー加工機お
よび超精密加工機器の部品材料としては使用できない。
は、常温での引張強さが 1100 MPa 程度と通常のインバ
ー合金やスーパーインバー合金の約2倍の高強度と、熱
膨張係数が4×10-6/℃以下の低熱膨張性とを併せ持つ
合金は存在せず、その開発が望まれていた。
もので、高い強度と低い熱膨張係数という相反する二つ
の特性を兼ね備えた高強度低熱膨張合金を提案すること
を目的とする。
の目的を達成すべく、前述した冷間加工誘起マルテンサ
イト等による強化ではなく、時効処理によって結晶粒内
外に微細なNi3(Ti, Al) を析出させて強化する析出強化
法について検討した。しかしながら、TiやAlをインバー
合金やスーパーインバー合金に添加するとマルテンサイ
ト開始温度が急激に上昇し、熱膨張係数の急激な増大を
招く不利が生じた。
く、さらに研究を重ねた結果、Niの一部をCoで置換する
ことによって、所期した目的が有利に達成されることの
知見を得た。この発明は、上記の知見に立脚するもので
ある。
りである。 1. C:0.15wt%以下、Si:0.5 wt%以下、Mn:0.5
wt%以下、Ti:0.5 〜4.0 wt%、Al:2.0 wt%以下を含
み、かつNi:30.7〜43.0wt%、Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、残部は実質的にFeの組
成になることを特徴とする高強度低熱膨張合金(第1発
明)。
下、Mn:0.5 wt%以下、Ti:0.5 〜4.0 wt%、Al:2.0
wt%以下を含み、かつNi:30.7〜43.0wt%、Co:14wt%
以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらにV,W,Nbおよ
びMoのうちから選んだ一種または二種以上:1wt%以下
を含有し、残部は実質的にFeの組成になることを特徴と
する高強度低熱膨張合金(第2発明)。
下、Mn:0.5 wt%以下、Ti:0.5 〜4.0 wt%、Al:2.0
wt%以下を含み、かつNi:30.7〜43.0wt%、Co:14wt%
以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらにS,Pb, Caおよ
びSeのうちから選んだ少なくとも一種:0.5 wt%以下を
含有し、残部は実質的にFeの組成になることを特徴とす
る高強度低熱膨張合金(第3発明)。
下、Mn:0.5 wt%以下、Ti:0.5 〜4.0 wt%、Al:2.0
wt%以下を含み、かつNi:30.7〜43.0wt%、Co:14wt%
以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらにV,W,Nbおよ
びMoのうちから選んだ一種または二種以上:1wt%以
下、S,Pb, CaおよびSeのうちから選んだ少なくとも一
種:0.5 wt%以下を含有し、残部は実質的にFeの組成に
なることを特徴とする高強度低熱膨張合金(第4発
明)。
る。まず、この発明において、合金の成分組成を上記の
範囲に限定した理由について説明する。 C:0.15wt%以下 Cは、オーステナイトに溶け込んで地の強化に寄与する
だけでなく、Tiと結合しTiCの炭化物を形成して強度を
向上させる有用元素であるが、多量に含有されるとマル
テンサイト変態を生じ熱膨張係数が大きくなるだけでな
く、後述する時効析出に必要なTiの量を低減して実質的
な強度の低下をもたらすので、0.15wt%以下に限定し
た。
量が 0.5wt%を超えるとキュリー点が低温側に移行し熱
膨張係数が大きくなるので、Si量は 0.5wt%以下に限定
した。
するが、含有量が0.5wt%を超えるとやはり熱膨張係数
が大きくなるので、Mn量は 0.5wt%以下に限定した。
析出させ、強度を著しく上昇させる有用元素である。し
かしながら、含有量が 0.5wt%に満たないとその添加効
果に乏しく、一方 4.0wt%を超えるとキュリー点が極端
に低温側に移行し熱膨張係数が大きくなるので、Ti量は
0.5〜4.0 wt%の範囲に限定した。
化合物Ni−(Ti, Al)を析出させ、時効後の強度を著しく
上昇させる。しかしながら、含有量が 2.0wt%を超える
とキュリー点が極端に低温側に移行し熱膨張係数が大き
くなるので、Al量は 2.0wt%以下に限定した。
微細に析出させることにより、強度を著しく向上させる
有用元素である。しかしながら、含有量が30.7wt%に満
たないとマルテンサイト変態によって熱膨張係数の上昇
を招き、後述するCoの添加によっても4×10-6/℃以下
の低熱膨張性を得ることができず、一方43.0wt%以上に
なると自発体積磁歪の減少によりやはり熱膨張係数が大
きくなるので、Ni量は30.7wt%以上、43.0wt%未満の範
囲に限定した。
置換することによって、熱膨張係数を効果的に小さくす
ることができる。特に、常温近辺での最小の熱膨張係数
が得られるのは14.0wt%以下の範囲であるので、Coはこ
の範囲に限定した。特に好適な範囲は 2.0〜10.0wt%で
ある。
の低減に有効に寄与するが、上記の範囲で添加したとし
ても必ずしも良好な結果が得られるというわけではな
く、熱膨張係数の効果的な低減には、NiとCoの合計量を
ある範囲におさめる必要がある。
響について調べた結果を整理して示す。図中、斜線で示
した領域が4×10-6/℃以下の熱膨張係数が得られた好
適領域である。これに対し、(Ni+0.8Co)が43.0を超え
る領域Aでは、(Ni+Co)が多量に含まれ、自発体積磁
歪が減少するため、熱膨張係数が4×10-6/℃以上と急
激に大きくなった。また、(Ni+0.8Co)が37.7を下回る
領域Bでは、マルテンサイト変態温度が急激に上昇する
ため、やはり熱膨張係数は4×10-6/℃以上となった。
さらに、領域Cは、常温近辺での熱膨張係数を効果的に
減少できるほどの自発体積磁歪を与えるNi量を確保でき
ず、また一部はマルテンサイト変態も生じるたは、熱膨
張係数は4×10-6/℃以上の大きな値となった。
発明ではさらに強度改善成分としてV,W,NbおよびMo
のうちから選んだ一種または二種以上を、また被削性改
善成分としてS,Pb,CaおよびSのうちから選んだ少な
くとも一種を適宜添加することができる。以下、これら
の選択成分の適正成分組成範囲について説明する。 V,W,Nbおよび/またはMo:1wt%以下 V,W,NbおよびMoはいずれも、遊離のCと結びついて
炭化物を形成し、強度の向上に有効に寄与するが、1wt
%を超える多量の添加は熱膨張係数を大きくするので、
1wt%以下で添加する必要がある。
下 S,Pb,Caおよび/またはSeはいずれも、切削性を向上
させるのに有用な元素であり、単独または複合して添加
することができる。しかしながら、これらの量が0.5 wt
%を超えると熱間加工性および鋳造性が害されるので、
含有量は 0.5wt%以下に限定した。
1)をそれぞれ、7.5 kg真空中で誘導溶解し、65mmφの
インゴットを作製した。ついで、No.12, 19 を除き各イ
ンゴットを1050℃〜1100℃で熱間鍛造し、直径:13mmの
丸棒を作成した。一方、No.12, 19 はインゴットから直
接、直径:13mmの丸棒に削りだした。その後、No.20, 2
1 の参考例(インバー合金およびスーパーインバー合
金)以外については、所定の長さに切断後、1100℃, 1
hの溶体化処理を施したのち、700 ℃,4hの時効処理
を施して、引張試験片、熱膨張係数測定試験片、硬度試
験片を作成した。かような試験片を用いて、引張強さ、
熱膨張係数および硬度について調査した結果を、表2に
示す。
作成し、引張速度:3mm/minでオートグラフで引張試験
を行って測定した。熱膨張係数は、5D×50mmの試料を
作成し、−40℃〜 100℃間を昇温速度:1℃/minで測定
した。硬さは、No.1〜19はロックウエルCで、一方 No.
20,21はロックウエルBで測定した。
本成分を決定する条件で、本発明条件内の組成No.1〜7
は熱膨張係数も4×10-6/℃以下と鉄の1/3以下の小
さな値を示し、強度も1000 MPa以上の高強度を示してい
る。これに対し、 No.13〜15はいずれも、強度は1100 M
Paと高い値を示したが、No.13 は(Ni+Co)<37.7の領
域Bに属するため、マルテンサイト変態が生じて熱膨張
係数が 9.6×10-6/℃と大きくなり、またNo.14 は逆に
(Ni+Co)>43.0の領域Aに属するため、自発体積磁歪
の減少により、常温近辺の熱膨張係数は5.7×10-6/℃
と大きな値を示した。さらに、No.15 は、37.7≦(Ni+
Co)≦43.0の適正範囲に入っているものの、Niが 30.01
wt%と低く、領域Cに属するために、熱膨張係数は 8.8
×10-6/℃と大きな値を示した。
加した例であるが、本発明の範囲を満足しているので、
それぞれ 1000 MPa 以上の高強度と4×10-6/℃以下の
低い熱膨張係数を有している。なお、No.12 は鋳造の例
である。これに対し、比較例のNo.16 は、Cが高くマル
テンサイト変態が−40℃以上で生じるため、熱膨張係数
が 7.6×10-6/℃と大きな値を示した。No.17 は、(W
+Mo)が 1.0wt%超含まれ、さらにAlが 2.0wt%超含ま
れた例で、強度は1300 MPaと高強度を示すものの、熱膨
張係数は 5.2×10-6/℃と大きな値を示す。No.18 は、
(V+Nb)が 1.0wt%超含まれた場合の例で、強度は14
00 MPaと高いけれども、熱膨張係数は 5.8×10-6/℃と
大きな値を示した。No.19 は、Tiが5wt%と上限を超え
て含有された鋳造での例であるが、強度は1400 MPaと高
いものの、熱膨張係数は 6.8×10-6/℃と大きな値を示
した。
ない従来のインバー合金(No.19)、スーパーインバー合
金(No.20)であるが、これらの合金はいずれも、熱膨張
係数が小さく良好な値を示すけれども、Ti,Alを含まな
いために時効硬化性がなく引張強さは 465 MPa程度と低
い値しか得られなかった。
反する特性とされた高い強度と低い熱膨張係数を兼ね備
えた高強度低熱膨張合金を安定した得ることができる。
である。
Claims (4)
- 【請求項1】C:0.15wt%以下、 Si:0.5 wt%以下、 Mn:0.5 wt%以下、 Ti:0.5 〜4.0 wt%、 Al:2.0 wt%以下 を含み、かつ Ni:30.7〜43.0wt%、 Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、残部は実質的にFeの組
成になることを特徴とする高強度低熱膨張合金。 - 【請求項2】C:0.15wt%以下、 Si:0.5 wt%以下、 Mn:0.5 wt%以下、 Ti:0.5 〜4.0 wt%、 Al:2.0 wt%以下 を含み、かつ Ni:30.7〜43.0wt%、 Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらに V,W,NbおよびMoのうちから選んだ一種または二種以
上:1wt%以下 を含有し、残部は実質的にFeの組成になることを特徴と
する高強度低熱膨張合金。 - 【請求項3】C:0.15wt%以下、 Si:0.5 wt%以下、 Mn:0.5 wt%以下、 Ti:0.5 〜4.0 wt%、 Al:2.0 wt%以下 を含み、かつ Ni:30.7〜43.0wt%、 Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらに S,Pb, CaおよびSeのうちから選んだ少なくとも一種:
0.5 wt%以下 を含有し、残部は実質的にFeの組成になることを特徴と
する高強度低熱膨張合金。 - 【請求項4】C:0.15wt%以下、 Si:0.5 wt%以下、 Mn:0.5 wt%以下、 Ti:0.5 〜4.0 wt%、 Al:2.0 wt%以下 を含み、かつ Ni:30.7〜43.0wt%、 Co:14wt%以下を、 37.7≦Ni+0.8 Co≦43.0 を満足する範囲において含有し、さらに V,W,NbおよびMoのうちから選んだ一種または二種以
上:1wt%以下、 S,Pb, CaおよびSeのうちから選んだ少なくとも一種:
0.5 wt%以下 を含有し、残部は実質的にFeの組成になることを特徴と
する高強度低熱膨張合金。
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- 1997-05-13 JP JP12207897A patent/JP3730360B2/ja not_active Expired - Lifetime
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