JPH11278659A - 基板収納ケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蓋部を開けてレチクル等の基板を出し入れす
る際に、容易に基板を取り扱える構造とした基板収納ケ
ースを提供することを課題とする。 【解決手段】 基板（４３）を支持する基板支持部（４
１１）と、上記基板支持部（４１１）を包囲可能な複数
の側面部（４１２，４１３，４２４，４２５）と、上記
基板支持部（４１１）と対向し開閉可能な上面部（４２
１）とを備え、上記基板（４３）を収納する箱状の基板
収納ケースにおいて、上記複数の側面部（４１２，４１
３，４２４，４２５）のうちの少なくとも２つの側面部
（４２４，４２５）が上記上面部（４２１）に形成され
ているよう構成することにより、蓋部（４２）を開けて
レチクル等の基板（４３）を出し入れする際に、容易に
基板（４３）を取り扱える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣやＬＣＤの素
子を製造する際の回路原版として使用するマスクやレチ
クル等のガラスプレート、又は、上記マスクや上記レチ
クル上に形成されている回路パターンが転写されるシリ
コンウエハ等の基板を収納するためのレチクルケース等
の基板収納ケースに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣやＬＣＤの素子を製造する際の回路
原版として使用するマスクやレチクル等のガラスプレー
ト、または、上記マスクやレチクル上に形成されている
回路パターンが転写されるシリコンウエハ等の基板は、
極めて高いレベルで塵等の異物の付着を防止する必要が
あるため、収納専用のケースに入れて保管されている。

【０００３】従来、この種のケースは、特公平１−３６
２５５号公報または特公昭６３−１８７３４号公報で開
示されているように、前方および上方が開放された箱状
のケースに開閉自在に蓋を取り付け、その蓋を開けてそ
の箱状のケース内にレチクル等の基板を収納するように
なっていた。

【０００４】図９は、蓋が途中まで開いている状態を示
した従来の基板収納ケースの１つであるレチクルケース
の斜視図であり、図１０はその正面図である。ただし、
図９に示されている蓋部９２は図１０では図示省略して
ある。

【０００５】図９において、レチクルケースは、本体部
９１と蓋部９２とによって構成されている。上記本体部
９１は、レチクル９３を支持するレチクル支持部９１１
と、上記レチクル支持部９１１を包囲するように、上記
レチクル支持部９１１の左側と右側と後側の各縁に取付
けられた左側側面部９１２と右側側面部９１３と後側側
面部９１５とによって構成されている。上記蓋部９２
は、閉じた状態において、上記レチクル支持部９１１と
対向する上面部９２１と、上記左側側面部９１２と上記
右側側面部９１３と上記後側側面部９１５の各側面部と
共に上記レチクル支持部９１１を包囲する前側側面部９
２４とによって構成されている。前蓋となる上記前側側
面部９２４は、上記上面部９２１に開閉自在に取付けら
れ、また、上記蓋部９２は、上記本体部９１に開閉自在
に取付けられ、内部にレチクル９３を収納することがで
きる。

【０００６】レチクル支持部９１１の中央寄りには、レ
チクル９３をほぼ水平に載置する２本のレール状の載置
部９４が取付けられている。また、載置部９４上に載置
されたレチクル９３を係り止めるためのストッパーとな
るピン状の係止部９５が、上記載置部９４および上記レ
チクル支持部９１１に、レチクル９３の各辺毎に２本ず
つ、全部で８本取付けられている。なお、図９には全部
で８本の係止部９５のうち載置部９４上の手前側に取付
けられた２本だけが示されており、図１０にはこの２本
の他にレチクル支持部９１１上の左右手前側に取付けら
れた２本も示されている。

【０００７】左側側面部９１２および右側側面部９１３
の外側には、レチクルライブラリにレチクルケースを装
着する際に、レチクルケースをガイドするためのガイド
部９６が取付けられている。

【０００８】このようなレチクルケースにおいて、レチ
クル９３を出し入れする形態として、前側側面部９２４
のみが開く形態と、前側側面部９２４のみならず上面部
９２１を含めた蓋部９２全体が開く形態とがある。前者
は、レチクルライブラリに装着されている状態のレチク
ルケースに、露光装置等の吸着アーム等が、レチクル９
３を出し入れする場合であり、後者は、レチクルライブ
ラリからレチクルケースを取り外して、比較的小さなサ
イズのレチクル９３は手で、比較的大きなサイズのレチ
クル９３は所定のハンドリング工具を用いて、レチクル
９３を出し入れする場合である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなレチクルケースでは、蓋部を開け、中に収納され
ているレチクル等を取り出そうとした場合、手であるい
はハンドリング工具を用いて、レチクルを対辺方向ある
いは対角方向に挟む必要が生じることがあるが、レチク
ルケース本体の左側側面部あるいは右側側面部あるいは
後側側面部が邪魔をして、レチクルを挟み難いという問
題点があった。

【００１０】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、蓋部を開けてレチクル等の基板を出し
入れする際に、容易に基板を取り扱える構造とした基板
収納ケースを提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、以下の手段を採用した。すなわち、本発明
は、基板を支持する基板支持部と、上記基板支持部を包
囲可能な複数の側面部と、上記基板支持部と対向し開閉
可能な上面部とを備え、上記基板を収納する箱状の基板
収納ケースにおいて、上記複数の側面部のうちの少なく
とも２つの側面部が上記上面部に形成されていることを
特徴とする基板収納ケースである。少なくとも２つの側
面部が上面部に形成されていることにより、これら側面
部と上面部とが一体となって蓋部を構成することにな
り、この蓋部が開いた状態において、基板収納ケース周
囲の少なくとも２辺の高さが基板の下面の高さよりも低
くなるので、基板支持部に支持する基板の周りを邪魔す
るものが無くなる。よって、手や工具で基板を出し入れ
する際には、側面部によって邪魔されることなく、容易
に基板を取り扱うことが可能となる。

【００１２】また、本発明は、上記上面部に形成された
２つの側面部は対向していることを特徴とする基板収納
ケースである。上面部に形成されている２つの側面部が
対向していることにより、蓋部が開いた状態において、
基板収納ケース周囲の対向している２辺の高さが基板の
下面の高さよりも低くなるので、基板支持部に支持する
基板の対向している２辺を邪魔するものが無くなる。よ
って、手や工具で基板を出し入れする際には、側面部に
よって邪魔されることなく、基板を左右若しくは前後等
から挟持するといった取り扱いを容易に行うことが可能
となる。

【００１３】また、本発明は、上記基板は、回路パター
ンが形成されたレチクルであることを特徴とする基板収
納ケースである。少なくとも２つの側面部が上面部に形
成されていることにより、蓋部が開いた状態において、
基板収納ケース周囲の少なくとも２辺の高さがレチクル
の下面の高さよりも低くなるので、基板支持部に支持す
るレチクルの周りを邪魔するものが無くなり、やはり同
様に、手や工具でレチクルを出し入れする際の操作を容
易にすることができる。

【００１４】また、本発明は、基板を載置する基板支持
部を内部に有し、かつ、該基板支持部の少なくとも前方
および上方が開放された本体部と、該本体部の開放部分
に対して開閉自在な蓋部とを備えた箱状の基板収納ケー
スにおいて、該基板支持部に載置された該基板の対辺方
向または対角方向を手または所定の工具で挟持可能なよ
うに、該本体部を構成する側面部の少なくとも一部の高
さを該基板支持部の基板載置面よりも低くしたことを特
徴とする基板収納ケースである。

【００１５】側面部の少なくとも一部の高さを基板支持
部の基板載置面よりも低くすることにより、蓋部が開い
た状態において、基板収納ケース周囲の少なくとも一部
の高さが基板の下面の高さよりも低くなり、その低くな
った部分を介して手または所定の工具で基板の対辺方向
または対角方向を挟持できるので、手や工具で基板を出
し入れする際の操作が容易になる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の第
１の実施の形態における基板収納ケースの斜視図であっ
て、蓋が途中まで開いている状態を示しており、図２は
その正面図である。ただし、図１に示されている蓋部１
２は図２では図示省略してある。

【００１７】図１において、基板収納ケースは、レチク
ル等の基板１３を支持する基板支持部１１１と蓋部１２
とからなり、全体で箱状のケースを構成している。上記
蓋部１２は、閉じた状態において、上記基板支持部１１
１と対向する上面部１２１と、上記基板支持部１１１を
包囲するように、上記基板支持部１１１の左側と右側と
前側と後側の各縁に取付けられた左側側面部１２２と右
側側面部１２３と前側側面部１２４と後側側面部１２５
とによって構成されている。前蓋となる上記前側側面部
１２４は、開閉用ヒンジ等により上記上面部１２１に開
閉自在に取付けられ、また、後側側面部１２５と基板支
持部１１１との間にも開閉用ヒンジ等を設けることによ
り、上記蓋部１２は上記基板支持部１１１に開閉自在に
取付けられ、内部に基板１３を収納することができる。

【００１８】基板支持部１１１は、その中央寄りに、基
板１３をほぼ水平に載置する２本のレール状の載置部１
４を有している。また、載置部１４上に載置された基板
１３を係り止めるためのストッパーとなるピン状の係止
部１５が、上記載置部１４および上記基板支持部１１１
に、基板１３の角辺毎に２本ずつ、全部で８本取付けら
れている。なお、図１には全部で８本の係止部１５のう
ち載置部１４上の手前側２本と基板支持部１１１条の右
側の２本が示されており、図２には載置部１４上の手前
側の２本と基板支持部１１１上の左右手前側の２本が示
されている。

【００１９】基板１３は、上記８本の係止部１５に囲ま
れるようにして上記載置部１４の上に載置され、上記基
板収納ケースの内部に収納される。このような基板収納
ケースにおいて、上記蓋部１２を開けると、上記基板１
３の周囲を包囲していた全側面部が、すなわち、上記左
側側面部１２２と上記右側側面部１２３と上記前側側面
部１２４と上記後側側面部１２５とが、上記上面部１２
１と共に全体的に斜め上後方に移動するため、上記基板
１３の周囲４方が開放される。図１においては、基板支
持部１１１の左側と右側の縁に、上面部１２１に取付け
られている左側側面部及び右側側面部のそれぞれの一部
１１２、１１３が取り残された形状になっているが、こ
の取り残された部分は、その高さが、上記載置部１４の
高さよりも低くなっている。

【００２０】また、上記基板支持部１１１の左端および
右端には、レチクルライブラリ等の基板保管庫に基板収
納ケースを装着する際に、基板収納ケースをガイドする
ためのガイド部１６が取付けられている。

【００２１】このような基板収納ケース内に収納されて
いる基板１３を手で取り出す場合は、基板収納ケースの
前方および後方から、あるいは、左方および右方から基
板１３を挟んで、すなわち、基板１３を対辺方向に挟ん
で、上方に持ち上げて取り出す。また、基板１３の角を
挟んで、すなわち、基板１３を対角方向に挟んでも取り
出すことが出来る。さらに、基板１３が比較的小さく軽
ければ、例えば、前方および右方から挟んでも取り出す
ことが出来る。

【００２２】つまり、このような基板収納ケースでは、
あらゆる方向のうち少なくとも２方向から基板１３を挟
むことが出来れば、基板１３を取り出すことが出来る。
逆に、基板１３を基板収納ケースに収納する場合も、取
り出す場合と同様にして挟んで、基板１３を上記載置部
１４に載置して収納する。

【００２３】なお、基板１３を挟むのが手ではなく、所
定のハンドリング工具であっても、手の場合と同様であ
る。図３は、上述の第１の実施の形態における基板収納
ケースの変形例である第２の実施の形態における基板収
納ケースの斜視図であって、蓋が途中まで開いている状
態を示している。

【００２４】図３において、図１に示した第１の実施の
形態の基板収納ケースと異なっているのは、基板支持部
３１１の左側と右側の各縁に、上面部３２１に取付けら
れている左側側面部３２２及び右側側面部３２３のそれ
ぞれの一部が無いことである。また、基板支持部３１１
の左側および右側の各縁にガイド部３６が取付けられて
いるのではなく、基板支持部３１１を左右方向に少し大
き目にすることで、基板支持部３１１の左側および右側
の各縁がガイド部３６を兼用している点も異なってい
る。他の部位については同様であり、基板の出し入れに
ついても同様である。

【００２５】図４は、本発明の第３の実施の形態におけ
る基板収納ケースの斜視図であって、蓋が途中まで開い
ている状態を示しており、図５はその正面図である。た
だし、図４に示されている蓋部４２は図５では図示省略
してある。

【００２６】図４において、基板収納ケースは、本体部
４１と蓋部４２とによって構成されている。上記本体部
４１は、レチクル等の基板４３を支持する基板支持部４
１１と、上記基板支持部４１１を包囲するように、上記
基板支持部４１１の左側と右側の各縁に取付けられた左
側側面部４１２と右側側面部４１３とによって構成され
ている。上記蓋部４２は、閉じた状態において、上記基
板支持部４１１と対向する上面部４２１と、上記左側側
面部４１２と上記右側側面部４１３の各側面部と共に上
記基板支持部４１１を包囲する前側側面部４２４と後側
側面部４２５とによって構成されている。前蓋となる上
記前側側面部４２４は、上記上面部４２１に開閉自在に
取付けられ、また、上記蓋部４２は、上記本体部４１に
開閉自在に取付けられ、内部に基板４３を収納すること
ができる。

【００２７】基板支持部４１１の中央寄りには、基板４
３をほぼ水平に載置する２本のレール状の載置部４４が
取付けられている。また、載置部４４上に載置された基
板４３を係り止めるためのストッパーとなるピン状の係
止部４５が、上記載置部４４および上記基板支持部４１
１に、基板４３の各辺毎に２本ずつ、全部で８本取付け
られている。なお、図４には全部で８本の係止部４５の
うち載置部４４上の手前側に取付けられた２本だけが示
されており、図５にはこの２本の他に基板支持部４１１
上の左右手前側に取付けられた２本も示されている。

【００２８】基板４３は、上記８本の係止部４５に囲ま
れるようにして上記載置部４４の上に載置され、上記基
板収納ケースの内部に収納される。このような基板収納
ケースにおいて、上記蓋部４２を開けると、上記基板４
３の周囲を包囲していた全側面部のうち、上記前側側面
部４２４と上記後側側面部４２５の２つの側面部が、上
記上面部４２１と共に全体的に斜め上後方に移動するた
め、上記基板４３の周囲のうち、前方と後方の２方が開
放される。

【００２９】また、左側側面部４１２および右側側面部
４１３の外側には、レチクルライブラリ等の基板保管庫
に基板収納ケースを装着する際に、基板収納ケースをガ
イドするためのガイド部４６が取付けられている。

【００３０】このような基板収納ケース内に収納されて
いる基板４３を手で取り出す場合は、基板収納ケースの
前方および後方から基板４３を挟んで、すなわち、基板
４３を前後方向に挟んで、上方に持ち上げて取り出す。

【００３１】逆に、基板４３を基板収納ケースに収納す
る場合も、取り出す場合と同様にして挟んで、基板４３
を上記載置部４４に載置して収納する。なお、基板４３
を挟むのが手ではなく、所定のハンドリング工具であっ
ても、手の場合と同様であるのは、第１の実施の形態お
よび第２の実施の形態と同じである。

【００３２】この第３の実施の形態の基板収納ケース
は、第１の実施の形態の基板収納ケースと比べて、基板
収納ケースを閉じた状態におけるガイド部４６の位置
が、従来の基板収納ケースと同じにすることが出来るの
で、互換性を保ってレチクルライブラリ等の基板保管庫
に装着することが出来る。

【００３３】図６は、上述の第３の実施の形態における
基板収納ケースの変形例である第４の実施の形態におけ
る基板収納ケースの斜視図であって、蓋が途中まで開い
ている状態を示している。

【００３４】図６において、図４に示した第３の実施の
形態の基板収納ケースと異なっているのは、前側側面部
６１４が、上面部６２１ではなく、基板支持部６１１に
開閉自在に取付けられている点のみである。他の部位に
ついては同様である。

【００３５】このような基板収納ケースにおいて、上記
蓋部６２を開けると、上記上面部６２１は斜め上後方に
移動し、そして、上記基板６３の周囲を包囲していた全
側面部のうち上記後側側面部６２５は後方に傾斜する。
さらに、上記前側側面部６１４は、前方に向けて開ける
ことが出来る。従って、上記基板６３の周囲のうち、前
方と後方の２方が開放される。

【００３６】基板の出し入れについても図４に示した第
３の実施の形態の基板収納ケースと同様である。図７
は、本発明の第５の実施の形態における基板収納ケース
の斜視図であって、蓋が途中まで開いている状態を示し
ている。

【００３７】図７において、基板収納ケースは、本体部
７１と蓋部７２とによって構成されている。上記本体部
７１は、レチクル等の基板７３を支持する基板支持部７
１１と、上記基板支持部７１１を包囲するように、上記
基板支持部７１１の左側と右側と後側の各縁に取付けら
れた左側側面部の一部７１２と右側側面部の一部７１３
と後側側面部７１５とによって構成されている。上記蓋
部７２は、閉じた状態において、上記基板支持部７１１
と対向する上面部７２１と、上記左側側面部の一部７１
２と上記右側側面部の一部７１３と共に上記基板支持部
７１１を包囲する前側側面部７２４と左側側面部の他の
一部７２２と右側側面部の他の一部７２３とによって構
成されている。前蓋となる上記前側側面部７２４は、上
記上面部７２１に開閉自在に取付けられ、また、上記蓋
部７２は、上記本体部７１に開閉自在に取付けられ、内
部に基板７３を収納することができる。

【００３８】基板支持部７１１の中央寄りには、基板７
３をほぼ水平に載置する２本のレール状の載置部７４が
取付けられている。また、載置部７４上に載置された基
板７３を係り止めるためのストッパーとなるピン状の係
止部７５が、上記載置部７４および上記基板支持部７１
１に８本取付けられているが、図示してある係止部７５
は３本だけである。

【００３９】基板７３は、上記８本の係止部７５に囲ま
れるようにして上記載置部７４の上に載置され、上記基
板収納ケースの内部に収納される。このような基板収納
ケースにおいて、上記蓋部７２を開けると、上記基板７
３の周囲を包囲していた全側面部のうち、上記左側側面
部の他の一部７２２と上記右側側面部の他の一部７２３
と上記前側側面部７２４とが、上記上面部７２１と共に
全体的に斜め上後方に移動するため、完全ではないが上
記基板７３の周囲のうち左方の一部と右方の一部と前方
の３方が開放される。

【００４０】また、本体部７１側の左側側面部の一部７
１２および右側側面部の一部７１３の外側には、レチク
ルライブラリ等の基板保管庫に基板収納ケースを装着す
る際に、基板収納ケースをガイドするためのガイド部７
６が取付けられている。

【００４１】このような基板収納ケース内に収納されて
いる基板７３を手で取り出す場合は、基板収納ケースの
前方側の左方および右方から、すなわち、本体部７１の
周囲の前方側の左右２ヶ所から基板７３を挟んで、上方
に持ち上げて取り出す。

【００４２】この第７図では、左側側面部の他の一部７
２２および右側側面部の他の一部７２３は、上面部７２
１の前方側に取付けられているが、これらの取付け箇所
は、それぞれ上面部７２１の後方側でも中央付近でも構
わない。

【００４３】逆に、基板７３を基板収納ケースに収納す
る場合も、取り出す場合と同様にして挟んで、基板７３
を上記載置部７４に載置して収納する。なお、基板７３
を挟むのが手ではなく、所定のハンドリング工具であっ
ても、手の場合と同様であるのは、第１の実施の形態、
第２の実施の形態、第３の実施の形態および第４の実施
の形態と同じである。

【００４４】この第５の実施の形態の基板収納ケース
は、第１の実施の形態や第２の実施の形態の基板収納ケ
ースと比べて、基板収納ケースを閉じた状態におけるガ
イド部７６の位置が、従来の基板収納ケースと同じにす
ることが出来るので、互換性を保ってレチクルライブラ
リ等の基板保管庫に装着することが出来る。また、第３
の実施の形態や第４の実施の形態の基板収納ケースと比
べて、蓋部７２を開ける際、蓋部７２が基板収納ケース
を載せている机などに接触して開けにくいというような
ことがない。

【００４５】図８は、本発明の第６の実施の形態におけ
る基板収納ケースの斜視図であって、蓋が途中まで開い
ている状態を示している。図８において、基板収納ケー
スは、本体部８１と蓋部８２とによって構成されてい
る。上記本体部８１は、レチクル等の基板８３を支持す
る基板支持部８１１と、上記基板支持部８１１を包囲す
るように、上記基板支持部８１１の左側と右側と前側と
後側の各縁に取付けられた左側側面部８１２と右側側面
部８１３と前側側面部の一部８１４と後側側面部の一部
８１５とによって構成されている。上記蓋部８２は、閉
じた状態において、上記基板支持部８１１と対向する上
面部８２１と、上記左側側面部８１２と上記右側側面部
８１３と上記前側側面部の一部８１４と上記後側側面部
の一部８１５と共に上記基板支持部８１１を包囲する前
側側面部の他の一部８２４と後側側面部の他の一部８２
５とによって構成されている。前蓋となる上記前側側面
部の他の一部８２４は、上記上面部８２１に開閉自在に
取付けられ、また、上記蓋部８２は、上記本体部８１に
開閉自在に取付けられ、内部に基板８３を収納すること
ができる。

【００４６】基板支持部８１１の中央寄りには、基板８
３をほぼ水平に載置する２本のレール状の載置部８４が
取付けられている。また、載置部８４上に載置された基
板８３を係り止めるためのストッパーとなるピン状の係
止部８５が、上記載置部８４および上記基板支持部８１
１に８本取付けられているが、図示してある係止部８５
は上記載置部８４に取付けられている２本だけである。

【００４７】基板８３は、上記８本の係止部８５に囲ま
れるようにして上記載置部８４の上に載置され、上記基
板収納ケースの内部に収納される。このような基板収納
ケースにおいて、上記蓋部８２を開けると、上記基板８
３の周囲を包囲していた全側面部のうち、上記前側側面
部の他の一部８２４と上記後側側面部の他の一部８２５
とが、上記上面部８２１と共に全体的に斜め上後方に移
動するため、完全ではないが上記基板８３の周囲のうち
前方と後方の一部の２方が開放される。

【００４８】また、左側側面部８１２および右側側面部
８１３の外側には、レチクルライブラリ等の基板保管庫
に基板収納ケースを装着する際に、基板収納ケースをガ
イドするためのガイド部８６が取付けられている。

【００４９】このような基板収納ケース内に収納されて
いる基板８３を手で取り出す場合は、基板収納ケースの
前方および右方側の後方から、すなわち、本体部８１の
周囲の前後２ヶ所から基板８３を挟んで、上方に持ち上
げて取り出す。

【００５０】この第８図では、後側側面部の他の一部８
２５は、上面部８２１の右方側に取付けられているが、
この箇所は、上面部８２１の左方側でも中央付近のみで
も構わない。また、基板支持部８１１の前側の縁に取付
けられている前側側面部の一部８１４は、その高さが、
上記載置部４の高さよりも低くなっている。

【００５１】逆に、基板８３を基板収納ケースに収納す
る場合も、取り出す場合と同様にして挟んで、基板８３
を上記載置部８４に載置して収納する。なお、基板８３
を挟むのが手ではなく、所定のハンドリング工具であっ
ても、手の場合と同様であるのは、第１の実施の形態、
第２の実施の形態、第３の実施の形態、第４の実施の形
態および第５の実施の形態と同じである。

【００５２】この第６の実施の形態の基板収納ケース
は、第１の実施の形態や第２の実施の形態の基板収納ケ
ースと比べて、基板収納ケースを閉じた状態におけるガ
イド部８６の位置が、従来の基板収納ケースと同じにす
ることが出来るので、互換性を保ってレチクルライブラ
リ等の基板保管庫に装着することが出来る。

【００５３】以上の説明では、基板収納ケースに収納す
る基板をレチクル等の基板としたが、本発明が適用され
る基板収納ケースは、ＩＣやＬＣＤの素子を製造する際
の回路原版として使用するマスク、あるいは、マスクや
レチクル上に形成されている回路パターンが転写される
シリコンウエハを収納するケースでも構わない。

【００５４】また、基板収納ケースの形状を直方体で図
示したが、この形状は、円柱状でも角や辺を有しない丸
みを帯びた形状でも、基板が収納できる箱状のものであ
れば構わない。

【００５５】また、基板の形状を四角板状で図示した
が、この形状は、円盤状でも六角板状でも、板状のもの
であれば構わない。また、基板を載置する載置部を２本
のレール状としたが、１本であっても３本であっても構
わないし、板状でもピン状でも構わない。つまり、基板
を載置することが出来れば、数や形状は任意である。

【００５６】また、基板を係り止める係止部を８本のピ
ン状としたが、４本であっても１０本であっても構わな
いし、形状もピン状である必要はない。つまり、基板を
載置部上で移動しないように係り止めることが出来れ
ば、数や形状は任意である。

【００５７】さらに、基板収納ケースの側面部のうち、
基板載置面の高さより低くする箇所も、以上に述べた実
施の形態に限定されるものではなく、手や工具を使って
基板を挟持可能な範囲内で、その他様々な箇所に設定可
能である。

【００５８】このように、本発明は、上述の各実施の形
態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種
々の構成または形状を取ることが出来る。

【００５９】

【発明の効果】本発明によれば、少なくとも２つの側面
部が上面部に形成されていることにより、蓋部が開いた
状態において、基板収納ケース周囲の少なくとも２辺の
高さが基板の下面の高さより低くなるので、基板支持部
に支持する基板の周りを邪魔するものが無くなり、基板
を収納するという基板収納ケース本来の機能を損なうこ
となく、容易に基板を挟み、出し入れすることができ
る。

【００６０】また、上面部に形成されている２つの側面
部が対向していることにより、蓋部が開いた状態におい
て、基板収納ケース周囲の対向している２辺の高さが基
板の下面の高さよりも低くなるので、基板支持部に支持
する基板の対向している２辺を邪魔するものが無くな
り、基板を収納するという基板収納ケース本来の機能を
損なうことなく、より容易に基板を挟むことができる。

【００６１】また、少なくとも２つの側面部が上面部に
形成されていることにより、蓋部が開いた状態におい
て、基板収納ケース周囲の少なくとも２辺の高さがレチ
クルの下面の高さより低くなるので、基板支持部に支持
するレチクルの周りを邪魔するものが無くなり、基板を
収納するという基板収納ケース本来の機能を損なうこと
なく、容易にレチクルを挟み、出し入れすることができ
る。

【００６２】また、側面部の少なくとも一部の高さを基
板支持部の基板載置面よりも低くすることにより、蓋部
が開いた状態において、基板収納ケース周囲の少なくと
も２辺の高さが基板の下面の高さより低くなるので、基
板支持部に支持する基板の周りを邪魔するものが無くな
り、基板を収納するという基板収納ケース本来の機能を
損なうことなく、容易に基板を挟み、出し入れすること
ができる。

【００６３】特に、サイズの大きなレチクル等の基板
は、手で直接挟むことが出来なくなり、何らかの工具を
用いることになるが、基板周囲に側面部がある場合では
受けざるを得ない工具の形状や大きさ等の制約を受けず
にすみ、これら工具の形状や大きさの自由度が広がる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図２】図１で示した本発明の基板収納ケースの正面図
である。

【図３】本発明の第２の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図４】本発明の第３の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図５】図４で示した本発明の基板収納ケースの正面図
である。

【図６】本発明の第４の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図７】本発明の第５の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図８】本発明の第６の実施の形態における基板収納ケ
ースの斜視図である。

【図９】従来のレチクルケースの斜視図である。

【図１０】図９で示した従来のレチクルケースの正面図
である。

【符号の説明】

１２ 蓋部 １３ 基板 ４１ 本体部 ４２ 蓋部 ４３ 基板 １１１ 基板支持部 １１２ 左側側面部の他の一部 １１３ 右側側面部の他の一部 １２１ 上面部 １２２ 左側側面部の一部 １２３ 右側側面部の一部 １２４ 前側側面部 １２５ 後側側面部 ４１１ 基板支持部 ４１２ 左側側面部 ４１３ 右側側面部 ４２１ 上面部 ４２４ 前側側面部 ４２５ 後側側面部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を支持する基板支持部と、前記基板
   支持部を包囲可能な複数の側面部と、前記基板支持部と
   対向し開閉可能な上面部とを備え、前記基板を収納する
   箱状の基板収納ケースにおいて、 前記複数の側面部のうちの少なくとも２つの側面部が前
   記上面部に形成されていることを特徴とする基板収納ケ
   ース。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板収納ケースにおい
   て、 前記上面部に形成された２つの側面部は対向しているこ
   とを特徴とする基板収納ケース。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２記載の基板収納
   ケースにおいて、 前記基板は、回路パターンが形成されたレチクルである
   ことを特徴とする基板収納ケース。
4. 【請求項４】 基板を載置する基板支持部を内部に有
   し、かつ、該基板支持部の少なくとも前方および上方が
   開放された本体部と、該本体部の開放部分に対して開閉
   自在な蓋部とを備えた箱状の基板収納ケースにおいて、 該基板支持部に載置された該基板の対辺方向または対角
   方向を手または所定の工具で挟持可能なように、該本体
   部を構成する側面部の少なくとも一部の高さを該基板支
   持部の基板載置面よりも低くしたことを特徴とする基板
   収納ケース。