JPH11271629A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】接続する顕微鏡のタイプや光路の方向等に拘ら
ず、常に顕微鏡の接眼レンズで観察する試料の画像方向
と同じ走査方向の画像を取得する。 【解決手段】光源109 からの光を第１方向に走査させる
第１のスキャナ107 と、光源109 からの光を第１の方向
に垂直な第２の方向に走査させる第２のスキャナ108
と、スキャナ107,108 によって試料上の領域の任意の位
置に光源109 からの光を照射させるスキャナ制御回路10
6aとを備え、顕微鏡112 に取付けて光源109からの光を
試料101 上で２次元的に走査させる光走査装置112 にお
いて、顕微鏡112 の対物レンズ102 からの光路の画像方
向情報を認識する認識手段106bと、試料101 の光像に応
じたスキャナ107,108 の操作方向情報を記憶してある記
憶部106cとをさらに備え、スキャナ制御回路106aは、認
識手段106bで認識した画像方向情報により記憶部106cの
操作方向情報に基きスキャナ107,108 を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特に走査型光学顕
微鏡等において顕微鏡に取付けられる光走査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に走査型光学顕微鏡は、光源からの
光を試料に対して予め決められたＸ，Ｙ方向に走査させ
るスキャニングユニットと試料からの光を検出する検出
手段を備えた構成となっている。

【０００３】特開平８−３３４６９８号公報によると、
光源からの光を試料に対して走査させるスキャニングユ
ニットと、試料からの光を検出する検出手段とを備えた
走査型光学顕微鏡において、スキャニングユニットから
試料に至る光路中に試料に対する走査方向を回転させる
イメージローテータを設けた走査型光学顕微鏡が考案さ
れ、光学素子を用いて試料とスキャニングユニットとの
間の光路を回転させることによって走査方向を相対的に
変えるようにしている。

【０００４】特開平９−２１９７０号公報によると、光
源からの光を所定の方向（以下「第１の方向」と略称す
る）に走査させる第１のスキャナと、光源からの光を第
１の方向に垂直な方向（以下「第２の方向」と略称す
る）に往復走査させる第２のスキャナとを備え、光源か
らの光を試料上で二次元的に走査させる光走査装置にお
いて、第２のスキャナから試料に至るまでの光路中に、
第２のスキャナによって往路及び復路のそれぞれの方向
に走査される光の試料上における走査方向を一致させる
調整手段を設けた光走査装置が考案されている。

【０００５】また、特開平５−６６３５５号公報による
と、所定の方向に向けて取付けられた光ビームを振る光
偏向器と、光偏向器からの光ビームの光路上に適宜挿入
され、光ビームの射出方向を変える手段とを備える光ビ
ーム走査装置が考案されており、正立型、倒立型を問わ
ずどのような顕微鏡にも適応できるようにされている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一般的な走査型光学顕
微鏡では、光源からの光を試料に対して予め決められた
Ｘ、Ｙ方向に走査させる光走査装置と試料からの光を検
出する検出手段を備えた構成となっている。この光走査
装置と組み合わされ試料を観察するための顕微鏡には倒
立型と正立型の大きく２種に分けられ、さらに倒立型顕
微鏡においても光走査装置を取り付ける光路は顕微鏡の
側面及び底面の２種類存在し、正立型顕微鏡においても
対物レンズの光軸に対する光走査装置の方向は倒立型顕
微鏡の場合と同様に複数存在する。

【０００７】したがって、光走査装置内の走査方向を固
定してしまうと組合わせる顕微鏡のタイプや取付ける光
路の方向によって試料を走査する方向が異なるので、取
得した画像データをそのままモニタに表示すると顕微鏡
の接眼レンズを通して肉眼で観察した場合またはテレビ
カメラによって観察した場合とで画像の向きや裏表が必
ずしも一致しなくなる。

【０００８】特開平８−３３４６９８号公報によると、
イメージローテータを用いて試料とスキャングユニット
との間の光路を回転させることによってスキャナ方向を
相対的に変えるようにしている。しかし、この方法では
光学素子によって光路を複数回反射等をさせて画像の加
工を行なっているので画像情報のロスが出る可能性もあ
り、またイメージローテータという構成要素が増えてし
まうという欠点がある。

【０００９】さらに、イメージローテータでは光軸に対
する回転方向の補正はできるが、ミラー等による光路の
反射回数による画像の裏表の反転に対しては補正ができ
ないという欠点がある。

【００１０】同様に特開平９−２１９７０号公報、特開
平５−６６３５５号公報においても組合わせる顕微鏡の
タイプや取付ける光路の方向によって、顕微鏡の接眼レ
ンズを通して観察した場合、またはテレビカメラで観察
した場合と画像の向きや裏表が必ずしも一致しなくなる
という欠点を払拭することはできない。

【００１１】また、走査方向を固定した状態で試料を走
査して画像データを取得した後に画像処理によりモニタ
への表示方向をコントロールすることで、接眼レンズを
通した観察やテレビ観察像と同じ方向の画像をモニタ表
示することも可能であるが、この場合、１画面分の画像
データを全て取込んだ後でないと画像処理が実行できで
きないこと、画像処理時間が必要になることから、画面
表示サイクルが遅くなってしまうという欠点がある。

【００１２】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、接続される顕微鏡
のタイプや光路の方向などの光学的な条件に拘らず、常
に顕微鏡の接眼レンズで観察したときの試料の画像方向
またはテレビカメラ等の撮像装置で観察したときの画像
方向と同じ方向の走査画像を取得することが可能な光走
査装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
光源からの光をその光軸に直交した平面上の所定の第１
の方向に走査させる第１のスキャナと、上記光源からの
光をその光軸に直交した平面上の上記第１の方向に垂直
な第２の方向に走査させる第２のスキャナと、上記第１
のスキャナと第２のスキャナによって走査可能な試料上
の領域の任意の位置に上記光源からの光を照射させるス
キャナ制御手段とを備え、顕微鏡に取付けて上記光源か
らの光を試料上で２次元的に走査させる光走査装置にお
いて、上記顕微鏡の対物レンズからの光路の画像方向情
報を認識する認識手段と、上記試料の光像に応じた上記
第１及び第２のスキャナの操作方向情報を記憶してある
記憶部とをさらに備え、上記スキャナ制御手段は、上記
認識手段で認識した画像方向情報に応じて、上記記憶部
の操作方向情報に基づいて上記顕微鏡の接眼レンズで観
察する画像の方向と一致するような順序で試料を走査す
るように上記第１及び第２のスキャナを制御することを
特徴とする。

【００１４】このような構成とした結果、接続される顕
微鏡のタイプや光路の方向などの光学的な条件に拘ら
ず、常に顕微鏡の接眼レンズで観察したときの試料の画
像方向と同じ方向の走査画像を取得することができる。

【００１５】請求項２記載の発明は、光源からの光をそ
の光軸に直交した平面上の所定の第１の方向に走査させ
る第１のスキャナと、上記光源からの光をその光軸に直
交した平面上の上記第１の方向に垂直な第２の方向に走
査させる第２のスキャナと、上記第１のスキャナと第２
のスキャナによって走査可能な試料上の領域の任意の位
置に上記光源からの光を照射させるスキャナ制御手段と
を備え、顕微鏡に取付けて上記光源からの光を試料上で
２次元的に走査させる光走査装置であって、上記顕微鏡
からの光像を撮像する撮像手段と、走査によって得られ
る光信号から画像情報を検出する光検出器と、上記撮像
手段で撮像した光像の画像情報と上記光検出機で検出し
た画像情報とを比較して画像の方向を判断する比較回路
とをさらに備え、上記スキャナ制御手段は、上記比較回
路の判断結果に基づいて撮像手段で目視観察する画像の
方向と一致するような順序で試料を走査するように上記
第１及び第２のスキャナを制御することを特徴とする。

【００１６】このような構成とした結果、接続される顕
微鏡のタイプや光路の方向などの光学的な条件に拘ら
ず、常に撮像手段で観察したときの画像方向と同じ方向
の走査画像を取得することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下本発明
の光走査装置の第１の実施の形態を図面を参照して説明
する。図１はその構成を示すもので、光源１０９から発
せられた光ビームはミラーで反射され、このミラーで反
射された光ビームは光走査装置１１８内のダイクロイッ
クミラー１１０でさらに反射される。ダイクロイックミ
ラー１１０で反射された光ビームは、共にスキャナ制御
回路１０６ａによってそれぞれドライバ１０７ａ，１０
８ａに駆動制御される第２スキャナ１０８及び第１スキ
ャナ１０７を介して顕徽鏡１１２内に導かれる。

【００１８】光路中に挿脱可能に構成されるＢＩプリズ
ム１０３が光路外にある場合、顕微鏡１１２に導かれた
光ビームは、ミラー１０４で反射され対物レンズ１０２
を介して試料１０１に照射される。また、該ＢＩプリズ
ム１０３が光路中に挿入されている場合は通常の顕微鏡
観察を行なうため、上記光源１０９からの光ビームは顕
微鏡１１２には入射することなく、試料１０１の光像を
対物レンズ１０２を介して接眼レンズ１１７で観察でき
るようにしている。このように、必要に応じてＢＩプリ
ズム１０３を挿脱することでこれら第１スキャナ１０７
及び第２スキャナ１０８によって走査可能な試料１０１
上の領域の任意の位置に光源１０９からの光ビームを照
射させる機能を有している。

【００１９】また、光源１０９からの光ビームを受けた
試料１０１上で光ビームを照射した位置から発せられる
反射光、あるいは蛍光といった光は、対物レンズ１０
２、ミラー１０４、第１スキャナ１０７、第２スキャナ
１０８を介した後にダイクロイックミラー１１０を透過
してフォトディテクタ１１１に導かれる。

【００２０】このフォトディテクタ１１１は、受けた光
を光電変換してその輝度に応じた電気信号を発する。フ
ォトディテクタ１１１が発した電気信号はディテクタ信
号処理回路１１３により所定の処理を加えられて画像デ
ータメモリ１１４に順次記憶することによって、試料１
０１の画像データを取得する。画像データメモリ１１４
に記憶された画像データは、画像表示回路１１５によっ
て読出されてモニタ１１６で表示される。

【００２１】しかして、上記顕微鏡１１２側の光走査装
置１１８との接続部近傍に、この顕微鏡１１２で得られ
る画像の方向を表わす情報を格納した画像方向情報格納
部１０５があり、この画像方向情報格納部１０５が上記
光走査装置１１８内の認識手段１０６ｂと接続される。
画像方向情報格納部１０５としては、例えば顕微鏡１１
２から光走査装置１１８に至るまでに試料１０１からの
光が反射した回数や曲げられた方向などの光路情報、同
様に接眼レンズ１１７に至るまでに試料１０１からの光
が反射した回数や曲げられた方向などの光路情報を識別
するできてきな接点の組合わせ、またはそれら画像方向
情報を記録したバーコード等の記録媒体が用いられ、こ
のような画像方向情報格納部１０５から読出された情報
は、光走査装置１１８側の上記認識手段１０６ｂに送出
される。

【００２２】認識手段１０６ｂでは、画像方向情報格納
部１０５からの情報により、記憶部１０６ｃに記憶され
ている合計８パターンのスキャナの走査方向情報の中か
ら適正な走査方向パターンを選択し、上記スキャナ制御
回路１０６ａに出力する。

【００２３】上記のような構成にあって、通常、顕微鏡
１１２を用いて試料１０１を観察する場合には、観察す
る顕微鏡１１２のタイプが倒立型や正立型であったり、
光路がプリズムなどによって折り曲げられるなど光路条
件は様々である。これらの条件によって、例えば試料１
０１が図２に示すような形状をしているものであって
も、観察する光路中の条件によって図３（ａ）〜（ｈ）
のいずれかのような見え方となり、そのままでは観察者
が接眼レンズ１１７を通して直接観察した場合と光走査
装置１１８で画像データを取得した画像データをモニタ
１１６で表示した場合とで得られる画像の位置関係に食
い違いが生じてしまう。

【００２４】そこでスキャナ制御回路１０６ａに接続さ
れた認識手段１０６ｂが画像方向情報格納部１０５から
得られる画像方向の情報から記憶部１０６ｃを参照して
該当する各スキャナの走査方向情報を読出してスキャナ
制御回路１０６ａに出力し、スキャナ制御回路１０６ａ
はこの認識手段１０６ｂからの情報に従って実際にドラ
イバ１０７ａ，１０８ａを介して第１スキャナ１０７及
び第２スキャナ１０８をそれぞれ駆動し、接眼レンズ１
１７で観察した場合と同じ方向の画像がモニタ１１６で
も表示できるような順序で試料１０１を走査するように
制御を実行するものである。

【００２５】例えば、図２に示すような形状の試料１０
１を観察している場合において接眼レンズ１１７での観
察では図３（ａ）の方向の画像が観察されており、一
方、光走査装置１１８の入射位置においては図３（ｇ）
の方向の画像が導かれているという画像方向情報を認識
手段１０６ｂが受取ったものとする。

【００２６】この場合、認識手段１０６ｂは、通常モニ
タ１１６に画像を表示する走査方向は図４に示すような
画面上部の水平走査線から下部の走査線へ、各水平走査
線内で左から右へ走査しながら順次移動するよう走査方
向となるので、この図４のような順序でモニタ１１６に
画像信号を送ったときに顕微鏡１１２の接眼レンズ１１
７で観察した画像と同じ方向となるようにするために
は、図５に示すような方向で試料１０１を走査するよう
な各スキャナの走査方向情報を記憶部１０６ｃから読出
してスキャナ制御回路１０６ａに出力する。スキャナ制
御回路１０６ａは、この情報に従ってドライバ１０７
ａ，１０８ａを介して第１スキャナ１０７及び第２スキ
ャナ１０８を駆動制御する。

【００２７】このようにして、試料１０１を観察する場
合に、接眼レンズ１１７で観察しても光走査装置１１８
を使用してモニタ１１６の画面で観察しても同じ方向の
画像で観察することが可能となる。

【００２８】なお、上記第１の実施の形態では、画像方
向情報格納部１０５による光学的条件の認識方法を顕微
鏡１１２と光走査装置１１８との接続部近傍に設けたも
のであるとして説明したが、他にも、画像方向情報格納
部１０５に代えて、例えば複数の画像方向情報を表した
シールを添付しておくことで、スキャナ制御回路１０６
ａへ外部入力するようにしてもよい。

【００２９】また、第１の実施の形態では、第１スキャ
ナ１０７及び第２スキャナ１０８によって試料１０１に
光ビームを２次元的に走査する場合の例について述べた
が、例えば第１スキャナ１０７、第２スキャナ１０８で
それぞれ１個のミラーを制御して２次元的に走査させる
場合、第１スキャナ、第２スキャナで共通する１個のミ
ラーを制御して２次元的に走査させるものとした場合で
も同様の光ビームの走査が可能である。

【００３０】（第２の実施の形態）以下本発明の光走査
装置の第２の実施の形態を図面を参照して説明する。図
６はその構成を示すもので、光源２１２から発せられた
光ビームはミラーで反射し、該ミラーで反射した光ビー
ムは光走査装置２２１内のダイクロイックミラー２１３
でさらに反射される。ダイクロイックミラー１１０で反
射された光ビームは、スキャナ制御回路２１０によって
ドライバ２０８ａ，２０９ａの駆動で制御される第２ス
キャナ２０９及び第１スキャナ２０８を介して顕微鏡２
１７内に導かれる。

【００３１】光路中に挿脱可能に構成されたＢＩプリズ
ム２０３が光路外にある場合、顕微鏡２１７に導かれた
光ビームは、ミラー２０４で反射され対物レンズ２０２
を介して試料２０１に照射される。また、ＢＩプリズム
２０３が光路中に挿入されている場合は通常の顕微鏡観
察を行なうために、上記光源２１２からの光ビームは顕
微鏡２１７には入射することなく、試料２０１の光像を
対物レンズ２０２を介して接眼レンズ２２０で観察でき
るようにしている。このように、必要に応じてＢＩプリ
ズム２０３を挿脱することで接眼レンズ２２０による目
視観察とスキャナによる試料２０１の走査とを切換えら
れるようになっている。

【００３２】さらに、上記ミラー２０４も光路に挿脱可
能となっており、ＢＩプリズム２０３及びミラー２０４
を共に光路から外したときには撮像手段であるテレビカ
メラ２０５によって試料２０１の画像を観察できるよう
になっている。

【００３３】したがって、ＢＩプリズム２０３及びミラ
ー２０４をそれぞれ光路に挿脱することで、接眼レンズ
２２０による観察、テレビカメラ２０５による観察、光
走査装置２２１による試料２０１の走査を使い分けるこ
とができる。

【００３４】上記第１のスキャナ２０８は光源２１２か
らの光ビームを観察光軸に垂直な平面に沿った所定の第
１の方向に走査させ、第２のスキャナ２０９は光源２１
２からの光ビームを同じく観察光軸に垂直な平面に沿っ
た、上記第１の方向と直交する第２の方向に走査させる
ように構成されるもので、スキャナ制御回路２１０がこ
れら第１のスキャナ２０８及び第２のスキャナ２０９に
よって走査可能な試料２０１上の領域の任意の位置に光
源２１２からの光ビームを照射させ、光を照射した位置
の試料２０１からの光量をフォトディテクタ２１６によ
って順次検出し、試料２０１の画像データを取得する機
能を有している。

【００３５】光源２１２からの光ビームを受けた試料２
０１から発せられる反射光、あるいは蛍光でなる光は、
対物レンズ２０２、ミラー２０４、第１スキャナ２０
８、第２スキャナ２０９を介した後にダイクロイックミ
ラー２１３を透過して光検出器であるフォトディテクタ
２１６に導かれる。

【００３６】このフォトディテクタ２１６は、受けた光
を光電変換してその輝度に応じた電気信号を発する。フ
ォトディテクタ２１６が発した電気信号はディテクタ信
号処理回路２１５により所定の処理を加えられて画像デ
ータメモリ２１４に順次記憶することによって、試料２
０１の画像データを取得する。画像メモリ２１４に記憶
された画像データは、画像表示回路２１８によって読出
されてモニタ２１９で表示される。

【００３７】また、ＢＩプリズム２０３及びミラー２０
４を共に光路から外してテレビカメラ２０５で観察する
場合には、テレビカメラ２０５での撮像により得た画像
信号はテレビ信号処理回路２０６に送られ、このテレビ
信号処理回路２０６で構成画素の２値化を含む所定の処
理を加えられた後に画像データメモリ２０７に記憶さ
れ、必要により画像比較回路２１１、上記画像データメ
モリ２１４を介して画像表示回路２１８に送られ、モニ
タ２１９より表示される。

【００３８】上記画像比較回路２１１は、テレビカメラ
２０５で撮像した試料２０１の２値化された画像データ
を画像データメモリ２０７から読出す一方、光ビームの
走査によって得た試料２０１の２値化された画像データ
を画像データメモリ２１４から読出し、これら読出した
画像データの両者の画像パターンを比較して、テレビカ
メラ２０５でとらえた画像に対して光走査によって取得
した画像データがどのような方向に回転しているか、ま
たは画像の反転の有無を判断し、その結果をスキャナ制
御回路２１０へ送出する。スキャナ制御回路２１０はそ
の結果に基づいて光走査による画像データ取得の際に試
料２０１をどのような順序で走査すれば良いのかを判断
し、第１スキャナ２０８及び第２スキャナ２０９を動作
させるようにする。

【００３９】通常、顕微鏡２１７を用いて試料２０１を
観察する場合には、観察する顕微鏡２１７のタイプが倒
立型や正立型であったり、光路がプリズムなどによって
折り曲げられるなど光路条件は様々である。そのため、
これらの条件によって、例えば試料２０１が図２に示す
ような形状をしているものであっても、観察する光路中
の条件によって図３（ａ）〜（ｈ）のいずれかのような
見え方となり、そのままでは観察者がモニタ２１９で観
察した場合と光走査装置２２１で画像データを取得した
場合で得られる画像の位置関係に食い違いが生じてしま
う可能性があった。

【００４０】そこで上述したような構成とすることによ
って、画像比較回路２１１では、初期設定時に予め用意
されている基準試料を試料２０１として用い、テレビカ
メラ２０５による画像と光走査による画像の２値化パタ
ーンを種々回転または反転して類似度を比較し、所定の
しきい値以下で最も類似度の高いものの回転角、反転有
無内容から試料２０１を走査する順序を判断した結果を
スキャナ制御回路２１０に送出する。

【００４１】これを受けたスキャナ制御回路２１０で
は、テレビカメラ２０５で観察した場合と同じ方向の画
像がモニタ２１９で表示できるような順序で試料２０１
を走査するように制御を実行するものである。

【００４２】このようにして、試料２０１を観察する場
合に、テレビカメラ２０５で撮像した場合でも光走査装
置２２１を使用して光走査した場合でも同じ方向の画像
をモニタ２１９で表示されて観察することが可能とな
る。

【００４３】なお、上記第２の実施の形態では、第１ス
キャナ２０８及び第２スキャナ２０９によって試料２０
１に光ビームを２次元的に走査する場合の例について述
べたが、例えば第１スキャナ２０８、第２スキャナ２０
９でそれぞれ１個のミラーを制御して２次元的に走査さ
せる場合、第１スキャナ２０８、第２スキャナ２０９で
共通する１個のミラーを制御して２次元的に走査させる
ものとした場合でも同様の光ビームの走査が可能であ
る。

【００４４】なお、上記第１及び第２の実施の形態で
は、いずれも光走査装置内にスキャナ制御回路と記憶部
及び認識手段を一体に備えるものとして説明したが、本
発明はこれに限ることなく、その少なくとも一部を光走
査装置に接続された外部の例えばデータ処理装置上に構
築して制御処理を実行するものとしてもよい。

【００４５】

【発明の効果】請求項１記載の発明のような構成とした
結果、接続される顕微鏡のタイプや光路の方向などの光
学的な条件に拘らず、常に顕微鏡の接眼レンズで観察し
たときの試料の画像方向と同じ方向の走査画像を取得す
ることができる。

【００４６】請求項２記載の発明のような構成とした結
果、接続される顕微鏡のタイプや光路の方向などの光学
的な条件に拘らず、常にテレビカメラ等の撮像装置で観
察したときの画像方向と同じ方向の走査画像を取得する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る構成を示す
図。

【図２】同実施の形態に係る動作を説明するための図。

【図３】同実施の形態に係る動作を説明するための図。

【図４】同実施の形態に係る動作を説明するための図。

【図５】同実施の形態に係る動作を説明するための図。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係る構成を示す
図。

【符号の説明】

１０１…試料 １０２…対物レンズ １０３…ＢＩプリズム １０４…ミラー １０５…接続光路認識部 １０６ａ…スキャナ制御回路 １０６ｂ…認識手段 １０６ｃ…記憶部 １０７…第１スキャナ １０８…第２スキャナ １０９…光源 １１０…ダイクロイックミラー １１１…フォトディテクタ １１２…顕微鏡 １１３…ディテクタ信号処理回路 １１４…画像データメモリ １１５…画像表示回路 １１６…モニタ １１７…接眼レンズ １１８…光走査装置 ２０１…試料 ２０２…対物レンズ ２０３…ＢＩプリズム ２０４…ミラー ２０５…テレビカメラ ２０６…テレビ信号処理回路 ２０７…画像データメモリ ２０８…第１スキャナ ２０９…第２スキャナ ２１０…スキャナ制御回路 ２１１…画像比較回路 ２１２…光源 ２１３…ダイクロイックミラー ２１４…画像データメモリ ２１５…ディテクタ信号処理回路 ２１６…フォトディテクタ ２１７…顕微鏡 ２１８…画像表示回路 ２１９…モニタ ２２０…接眼レンズ ２２１…光走査装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源からの光をその光軸に直交した平面
   上の所定の第１の方向に走査させる第１のスキャナと、 上記光源からの光をその光軸に直交した平面上の上記第
   １の方向に垂直な第２の方向に走査させる第２のスキャ
   ナと、 上記第１のスキャナと第２のスキャナによって走査可能
   な試料上の領域の任意の位置に上記光源からの光を照射
   させるスキャナ制御手段とを備え、 顕微鏡に取付けて上記光源からの光を試料上で２次元的
   に走査させる光走査装置において、 上記顕微鏡の対物レンズからの光路の画像方向情報を認
   識する認識手段と、 上記試料の光像に応じた上記第１及び第２のスキャナの
   操作方向情報を記憶してある記憶部とをさらに備え、 上記スキャナ制御手段は、上記認識手段で認識した画像
   方向情報に応じて、上記記憶部の操作方向情報に基づい
   て上記顕微鏡の接眼レンズで観察する画像の方向と一致
   するような順序で試料を走査するように上記第１及び第
   ２のスキャナを制御することを特徴とする光走査装置。
2. 【請求項２】 光源からの光をその光軸に直交した平面
   上の所定の第１の方向に走査させる第１のスキャナと、 上記光源からの光をその光軸に直交した平面上の上記第
   １の方向に垂直な第２の方向に走査させる第２のスキャ
   ナと、 上記第１のスキャナと第２のスキャナによって走査可能
   な試料上の領域の任意の位置に上記光源からの光を照射
   させるスキャナ制御手段とを備え、 顕微鏡に取付けて上記光源からの光を試料上で２次元的
   に走査させる光走査装置であって、 上記顕微鏡からの光像を撮像する撮像手段と、 走査によって得られる光信号から画像情報を検出する光
   検出器と、 上記撮像手段で撮像した光像の画像情報と上記光検出機
   で検出した画像情報とを比較して画像の方向を判断する
   比較回路とをさらに備え、 上記スキャナ制御手段は、上記比較回路の判断結果に基
   づいて撮像手段で目視観察する画像の方向と一致するよ
   うな順序で試料を走査するように上記第１及び第２のス
   キャナを制御することを特徴とする光走査装置。