JPH11271545A - Ｙ分岐光導波路 - Google Patents
Ｙ分岐光導波路Info
- Publication number
- JPH11271545A JPH11271545A JP7046598A JP7046598A JPH11271545A JP H11271545 A JPH11271545 A JP H11271545A JP 7046598 A JP7046598 A JP 7046598A JP 7046598 A JP7046598 A JP 7046598A JP H11271545 A JPH11271545 A JP H11271545A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- branch
- waveguide
- outside
- optical waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 設計値どおりの分岐比が得られるＹ分岐光導
波路を提供する。 【解決手段】 分岐側の導波路コア３４，３５の外側に
光の導波しないように独立したコアパターン３６を設け
ることにより、分岐側の導波路コア３４，３５にかかる
内側と外側との応力差を緩和することができる。このた
め、分岐側の導波路コア３４，３５が変形することがな
く、設計値どおりの分岐比を得ることができる。また、
導波路コア３２を伝搬する光がコアパターン３６に結合
することもない。
波路を提供する。 【解決手段】 分岐側の導波路コア３４，３５の外側に
光の導波しないように独立したコアパターン３６を設け
ることにより、分岐側の導波路コア３４，３５にかかる
内側と外側との応力差を緩和することができる。このた
め、分岐側の導波路コア３４，３５が変形することがな
く、設計値どおりの分岐比を得ることができる。また、
導波路コア３２を伝搬する光がコアパターン３６に結合
することもない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導波路型光部品に
関し、特に１入力２出力の機能を有するＹ分岐光導波路
の構造に関する。
関し、特に１入力２出力の機能を有するＹ分岐光導波路
の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のＹ分岐光導波路の平面図で
ある。
ある。
【０００３】直線状の導波路コア１１がＹ分岐部１２で
２本の導波路コア１３，１４に分割されている。この分
割により入力光を２つに分割して出力することができ
る。
２本の導波路コア１３，１４に分割されている。この分
割により入力光を２つに分割して出力することができ
る。
【０００４】図３は図２に示したＹ分岐光導波路のＡ−
Ａ線断面図である。
Ａ線断面図である。
【０００５】基板２１上に導波路コア１３，１４が形成
され、導波路コア１３，１４の周囲がクラッドガラス２
４で覆われている。導波路コア１３，１４の屈折率は、
基板２１及びクラッドガラス２４よりもわずかに高い。
また、基板２１の屈折率とクラッドガラス２４の屈折率
は等しい。
され、導波路コア１３，１４の周囲がクラッドガラス２
４で覆われている。導波路コア１３，１４の屈折率は、
基板２１及びクラッドガラス２４よりもわずかに高い。
また、基板２１の屈折率とクラッドガラス２４の屈折率
は等しい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クラッドガ
ラスは、火炎堆積法により多孔質ガラスを導波路コア上
に堆積した後、熱処理を施して透明ガラス化することで
形成される。透明ガラス化する過程において、多孔質ガ
ラスの体積収縮により導波路コアに応力が加わる。この
応力により、分岐側の導波路コアに変形が生じ、分岐比
が設計値からずれてしまうという問題があった。
ラスは、火炎堆積法により多孔質ガラスを導波路コア上
に堆積した後、熱処理を施して透明ガラス化することで
形成される。透明ガラス化する過程において、多孔質ガ
ラスの体積収縮により導波路コアに応力が加わる。この
応力により、分岐側の導波路コアに変形が生じ、分岐比
が設計値からずれてしまうという問題があった。
【０００７】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、設計値どおりの分岐比が得られるＹ分岐光導波路を
提供することにある。
し、設計値どおりの分岐比が得られるＹ分岐光導波路を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、１本の直線状の導波路コアを伝搬してきた
光を２方向に分岐するＹ分岐光導波路において、分岐側
の導波路コアの外側に光が導波しないように独立したコ
アパターンを設けたものである。
に本発明は、１本の直線状の導波路コアを伝搬してきた
光を２方向に分岐するＹ分岐光導波路において、分岐側
の導波路コアの外側に光が導波しないように独立したコ
アパターンを設けたものである。
【０００９】上記構成に加え本発明のＹ分岐光導波路の
分岐側の導波路コアの外側に独立して設けられたコアパ
ターンは導波路コアから１０μｍ以上離れているのが好
ましい。
分岐側の導波路コアの外側に独立して設けられたコアパ
ターンは導波路コアから１０μｍ以上離れているのが好
ましい。
【００１０】分岐側の導波路コアは、間隔が３〜４μｍ
程度であるのに対し、分岐側の導波路の外側には５００
〜６００μｍ程度の空間がある。従って分岐側の導波路
コアの内側に生じる応力と、導波路コアの外側から加わ
る応力との間に差が生じ、その結果、導波路コアに変形
が生じる。
程度であるのに対し、分岐側の導波路の外側には５００
〜６００μｍ程度の空間がある。従って分岐側の導波路
コアの内側に生じる応力と、導波路コアの外側から加わ
る応力との間に差が生じ、その結果、導波路コアに変形
が生じる。
【００１１】そこで、導波路コアの外側に光が導波しな
いように独立したコアパターンを設けることにより、分
岐側の導波路コアにかかる内側と外側との応力差を緩和
することができる。
いように独立したコアパターンを設けることにより、分
岐側の導波路コアにかかる内側と外側との応力差を緩和
することができる。
【００１２】独立したコアパターンは、導波路コアの外
側１０μｍ程度の位置に形成される。分岐側の導波路コ
アの間隔と同程度の間隔を設けることにより、分岐側の
導波路コアにかかる内側と外側との応力差を緩和するこ
とができる。また、導波路コアと独立したコアパターン
との間隔が狭いと、導波路コアを伝搬する光が独立した
コアパターンに結合してしまうので、１０μｍ以上離す
必要がある。
側１０μｍ程度の位置に形成される。分岐側の導波路コ
アの間隔と同程度の間隔を設けることにより、分岐側の
導波路コアにかかる内側と外側との応力差を緩和するこ
とができる。また、導波路コアと独立したコアパターン
との間隔が狭いと、導波路コアを伝搬する光が独立した
コアパターンに結合してしまうので、１０μｍ以上離す
必要がある。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００１４】図１は本発明のＹ分岐光導波路の一実施の
形態を示す平面図である。
形態を示す平面図である。
【００１５】石英基板３１の上に、直線状の導波路コア
３２と、導波路コア３２に接続されたＹ分岐部３３と、
Ｙ分岐部３３に接続された分岐側の導波路コア３４，３
５と、独立したコアパターン３６とが形成されている。
コアパターン３６は、導波路コア３４，３５の外側に独
立した状態で形成され、その間隔は少なくとも１０μｍ
である。コアパターン３６のサイズは、幅２０μｍであ
り、長さ５０μｍである。このコアパターン３６が導波
路コア３４，３５の外側にそれぞれ２０μｍ間隔で４個
配置されている。
３２と、導波路コア３２に接続されたＹ分岐部３３と、
Ｙ分岐部３３に接続された分岐側の導波路コア３４，３
５と、独立したコアパターン３６とが形成されている。
コアパターン３６は、導波路コア３４，３５の外側に独
立した状態で形成され、その間隔は少なくとも１０μｍ
である。コアパターン３６のサイズは、幅２０μｍであ
り、長さ５０μｍである。このコアパターン３６が導波
路コア３４，３５の外側にそれぞれ２０μｍ間隔で４個
配置されている。
【００１６】Ｙ分岐光導波路は、このような構造を有す
るため、導波路コアを伝搬する光が独立したコアパター
ン３６に結合することはなく、分岐比も設計値どおりと
なっていた。
るため、導波路コアを伝搬する光が独立したコアパター
ン３６に結合することはなく、分岐比も設計値どおりと
なっていた。
【００１７】本実施の形態では、コアパターン３６の数
が４個の場合で説明したが、６個であっても同様の効果
が得られる。また、石英基板３１の代わりにＳｉ基板を
用いてもよい。但し、Ｓｉ基板上に石英系ガラスを形成
した後、Ｙ分岐光導波路を形成する必要がある。
が４個の場合で説明したが、６個であっても同様の効果
が得られる。また、石英基板３１の代わりにＳｉ基板を
用いてもよい。但し、Ｓｉ基板上に石英系ガラスを形成
した後、Ｙ分岐光導波路を形成する必要がある。
【００１８】以上において本発明によれば、分岐側の導
波路コアは変形することがなく、設計値どおりの分岐比
を得ることができる。また、導波路コアを伝搬する光が
独立したコアパターンに結合することがない。
波路コアは変形することがなく、設計値どおりの分岐比
を得ることができる。また、導波路コアを伝搬する光が
独立したコアパターンに結合することがない。
【００１９】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００２０】分岐側の導波路コアの外側に光が導波しな
いように独立したコアパターンを設けることにより、設
計値どおりの分岐比が得られるＹ分岐光導波路の提供を
実現することができる。
いように独立したコアパターンを設けることにより、設
計値どおりの分岐比が得られるＹ分岐光導波路の提供を
実現することができる。
【図１】本発明のＹ分岐光導波路の一実施の形態を示す
平面図である。
平面図である。
【図２】従来のＹ分岐光導波路の平面図である。
【図３】図２に示したＹ分岐光導波路のＡ−Ａ線断面図
である。
である。
３１ 石英基板 ３２，３４，３５ 導波路コア ３６ コアパターン
Claims (2)
- 【請求項１】 １本の直線状の導波路コアを伝搬してき
た光を２方向に分岐するＹ分岐光導波路において、分岐
側の導波路コアの外側に光が導波しないように独立した
コアパターンを設けたことを特徴とするＹ分岐光導波
路。 - 【請求項２】 分岐側の導波路コアの外側に独立して設
けられたコアパターンは導波路コアから１０μｍ以上離
れている請求項１に記載のＹ分岐光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7046598A JPH11271545A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | Ｙ分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7046598A JPH11271545A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | Ｙ分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271545A true JPH11271545A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13432310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7046598A Pending JPH11271545A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | Ｙ分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271545A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7335875B2 (en) | 2004-05-27 | 2008-02-26 | Omron Corporation | Optical branching unit, and method of manufacturing the same |
-
1998
- 1998-03-19 JP JP7046598A patent/JPH11271545A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7335875B2 (en) | 2004-05-27 | 2008-02-26 | Omron Corporation | Optical branching unit, and method of manufacturing the same |
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