JPH0511130A - Ｙ分岐光導波路 - Google Patents
Ｙ分岐光導波路Info
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- JPH0511130A JPH0511130A JP18411691A JP18411691A JPH0511130A JP H0511130 A JPH0511130 A JP H0511130A JP 18411691 A JP18411691 A JP 18411691A JP 18411691 A JP18411691 A JP 18411691A JP H0511130 A JPH0511130 A JP H0511130A
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- optical waveguide
- optical
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 一段のみならず多段に接続しても過剰損失が
極めて小さいＹ分岐光導波路を提供することにある。 【構成】 １本の光導波路（１）の光を２本の光導波路
（３，３）に分ける分岐導波路において、光の波長を
λ、光導波路の屈折率をｎ、光導波路内の光のスポット
サイズをｗ1 とし、 l0 ＝ｎw1 2 ／λとし、１本の光導
波路（１）が２本の光導波路（３，３）に分離するまで
のテーパ状光分岐部（２）の長さＬが ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 なる関係を満足しているＹ分岐光導波路である。
極めて小さいＹ分岐光導波路を提供することにある。 【構成】 １本の光導波路（１）の光を２本の光導波路
（３，３）に分ける分岐導波路において、光の波長を
λ、光導波路の屈折率をｎ、光導波路内の光のスポット
サイズをｗ1 とし、 l0 ＝ｎw1 2 ／λとし、１本の光導
波路（１）が２本の光導波路（３，３）に分離するまで
のテーパ状光分岐部（２）の長さＬが ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 なる関係を満足しているＹ分岐光導波路である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信システムにおけ
る光信号分配に必須の光部品であるＹ分岐光導波路に関
するものである。
る光信号分配に必須の光部品であるＹ分岐光導波路に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】１本の入力光導波路中の光パワーを、２
本の出力光導波路に分岐するＹ分岐光導波路としては、
従来、図９に示すような構造のものが知られている。図
９において、７は入力光導波路、８はテーパ状光分岐
部、９は出力光導波路である。１本の光導波路が２本の
光導波路に分離するまでのテーパ状光分岐部の傾き角θ
t は従来 1／250 （ラディアン）以下の十分小さい値に
決められていた（例えば西原、春名、栖原共著、「光集
積回路」、オーム社、1985年、p.265 参照）。例えば光
導波路のコア半幅をａ、テーパ状分岐部の長さをＬとす
ると、 なる関係が成り立つから、従来のＹ分岐光導波路におい
ては、テーパ状分岐部の長さＬは典型的にはコア半幅が
ａ＝４μｍのときＬ＞1000μｍ程度の長さであった。こ
のようなＹ分岐光導波路を多段に用いて、例えば図２に
示すような１×８スプリッタを構成すると、過剰損失が
大きくなるという問題が従来のＹ分岐光導波路にはあっ
た。
本の出力光導波路に分岐するＹ分岐光導波路としては、
従来、図９に示すような構造のものが知られている。図
９において、７は入力光導波路、８はテーパ状光分岐
部、９は出力光導波路である。１本の光導波路が２本の
光導波路に分離するまでのテーパ状光分岐部の傾き角θ
t は従来 1／250 （ラディアン）以下の十分小さい値に
決められていた（例えば西原、春名、栖原共著、「光集
積回路」、オーム社、1985年、p.265 参照）。例えば光
導波路のコア半幅をａ、テーパ状分岐部の長さをＬとす
ると、 なる関係が成り立つから、従来のＹ分岐光導波路におい
ては、テーパ状分岐部の長さＬは典型的にはコア半幅が
ａ＝４μｍのときＬ＞1000μｍ程度の長さであった。こ
のようなＹ分岐光導波路を多段に用いて、例えば図２に
示すような１×８スプリッタを構成すると、過剰損失が
大きくなるという問題が従来のＹ分岐光導波路にはあっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来の
技術に鑑みてなされたものであり、一段のみならず多段
に接続しても過剰損失が極めて小さいＹ分岐光導波路を
提供することにある。
技術に鑑みてなされたものであり、一段のみならず多段
に接続しても過剰損失が極めて小さいＹ分岐光導波路を
提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のＹ分岐光導波路
の構成は、１本の光導波路の光を２本の光導波路に分け
る分岐導波路において、光の波長をλ、光導波路の屈折
率をｎ、光導波路内の光のスポットサイズをｗ1 とし、
l0 ＝ｎw1 2 ／λとするとき、１本の光導波路が２本の
光導波路に分離するまでのテーパ状光分岐部の長さＬが ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 (3) なる関係を満足するようにする。
の構成は、１本の光導波路の光を２本の光導波路に分け
る分岐導波路において、光の波長をλ、光導波路の屈折
率をｎ、光導波路内の光のスポットサイズをｗ1 とし、
l0 ＝ｎw1 2 ／λとするとき、１本の光導波路が２本の
光導波路に分離するまでのテーパ状光分岐部の長さＬが ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 (3) なる関係を満足するようにする。
【０００５】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例の
構成図である。図１に示すように、この実施例のＹ分岐
光導波路は、入力光導波路１、テーパ状光分岐部２およ
び出力光導波路３を有している。屈折率ｎの光導波路の
コアは、屈折率ｎ0 のクラッドで覆って構成され、コア
の全幅および厚さは、それぞれ２ａおよび２ｔであり、
テーパ状光分岐部の長さはＬである。Ｙ分岐光導波路の
過剰損失を最小にするためのテーパ状光分岐部の長さＬ
の設計は、ビーム伝搬法（M.D. Feit 他、「Light prop
agation in graded-index optical fibers」, Appl. Op
t., vol.17, no.24, pp.3990−3998 (1978) を用いて行
った。
参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例の
構成図である。図１に示すように、この実施例のＹ分岐
光導波路は、入力光導波路１、テーパ状光分岐部２およ
び出力光導波路３を有している。屈折率ｎの光導波路の
コアは、屈折率ｎ0 のクラッドで覆って構成され、コア
の全幅および厚さは、それぞれ２ａおよび２ｔであり、
テーパ状光分岐部の長さはＬである。Ｙ分岐光導波路の
過剰損失を最小にするためのテーパ状光分岐部の長さＬ
の設計は、ビーム伝搬法（M.D. Feit 他、「Light prop
agation in graded-index optical fibers」, Appl. Op
t., vol.17, no.24, pp.3990−3998 (1978) を用いて行
った。
【０００６】Ｙ分岐光導波路の伝搬特性を検討するため
には、図２に示すように、Ｙ分岐光導波路を多段（図２
においては、３段）に接続した１×Ｎ（図２において
は、Ｎ＝８）スプリッタの伝搬特性を調べる方が、一段
のみのＹ分岐光導波路で調べるより詳細に評価できる。
には、図２に示すように、Ｙ分岐光導波路を多段（図２
においては、３段）に接続した１×Ｎ（図２において
は、Ｎ＝８）スプリッタの伝搬特性を調べる方が、一段
のみのＹ分岐光導波路で調べるより詳細に評価できる。
【０００７】図３は、シミュレーションで求めた従来の
１×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝
８μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μ
ｍ、テーパ状光分岐部の長さＬ＝1000μｍ）の光強度伝
搬の様子を示す。
１×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝
８μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μ
ｍ、テーパ状光分岐部の長さＬ＝1000μｍ）の光強度伝
搬の様子を示す。
【０００８】また図４は、シミュレーションで求めた本
発明の実施例の１×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μ
ｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の
波長λ＝1.55μｍ、テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μ
ｍ）の光強度伝搬の様子を示す。
発明の実施例の１×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μ
ｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の
波長λ＝1.55μｍ、テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μ
ｍ）の光強度伝搬の様子を示す。
【０００９】図３に示す従来型の１×８スプリッタと、
図４に示す本発明の実施例の１×８スプリッタの平均過
剰損失（８分の１の本質的な分岐損失を除いた損失）
は、それぞれ0.25 dＢおよび0.05 dＢである。このよう
に、従来型１×８スプリッタに比べて本発明の実施例の
１×８スプリッタの平均過剰損失が小さいのは、以下の
ような理由による。すなわち図３と図４を比較すると明
らかなように、従来の１×８スプリッタにおいては、光
の蛇行が大きいので、光導波路からの放射損失が大きく
なるためである。したがって、Ｙ分岐光導波路の過剰損
失を低減するためには、光の蛇行を極力小さくすること
が重要であることがわかる。
図４に示す本発明の実施例の１×８スプリッタの平均過
剰損失（８分の１の本質的な分岐損失を除いた損失）
は、それぞれ0.25 dＢおよび0.05 dＢである。このよう
に、従来型１×８スプリッタに比べて本発明の実施例の
１×８スプリッタの平均過剰損失が小さいのは、以下の
ような理由による。すなわち図３と図４を比較すると明
らかなように、従来の１×８スプリッタにおいては、光
の蛇行が大きいので、光導波路からの放射損失が大きく
なるためである。したがって、Ｙ分岐光導波路の過剰損
失を低減するためには、光の蛇行を極力小さくすること
が重要であることがわかる。
【００１０】図５、図６、図７には、種々の異なる光導
波路からなる１×８スプリッタに対して、用いているＹ
分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰損
失との関係をシミュレーションした結果を示す。図５、
図６、図７において、光導波路のコア幅２ａ、コア厚２
ｔ、コアとクラッドの比屈折率差Δ＝（ｎ−ｎ0 ）／ｎ
0 は、それぞれ ２ａ＝２ｔ＝８μｍ、Δ＝0.3 ％、λ＝1.55μｍ ・・・図５ ２ａ＝２ｔ＝７μｍ、Δ＝0.5 ％、λ＝1.3 μｍ ・・・図６ ２ａ＝２ｔ＝６μｍ、Δ＝0.75％、λ＝1.55μｍ ・・・図７ である。それぞれの図において、ｗ1 （ｅを自然対数の
底として、光強度分布が中心の１／ｅになる位置）は、
光導波路内の光のスポットサイズであり、 l0 はｎw1 2
／λで与えられる定数である。図５、図６、図７に示す
ように、最小損失からの損失増加が 0.1 dＢ以内の条件
を求めると ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 (4) なる関係式が得られる。
波路からなる１×８スプリッタに対して、用いているＹ
分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰損
失との関係をシミュレーションした結果を示す。図５、
図６、図７において、光導波路のコア幅２ａ、コア厚２
ｔ、コアとクラッドの比屈折率差Δ＝（ｎ−ｎ0 ）／ｎ
0 は、それぞれ ２ａ＝２ｔ＝８μｍ、Δ＝0.3 ％、λ＝1.55μｍ ・・・図５ ２ａ＝２ｔ＝７μｍ、Δ＝0.5 ％、λ＝1.3 μｍ ・・・図６ ２ａ＝２ｔ＝６μｍ、Δ＝0.75％、λ＝1.55μｍ ・・・図７ である。それぞれの図において、ｗ1 （ｅを自然対数の
底として、光強度分布が中心の１／ｅになる位置）は、
光導波路内の光のスポットサイズであり、 l0 はｎw1 2
／λで与えられる定数である。図５、図６、図７に示す
ように、最小損失からの損失増加が 0.1 dＢ以内の条件
を求めると ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 (4) なる関係式が得られる。
【００１１】光の波長λ＝1.55μｍ、光導波路の屈折率
ｎ＝1.45、コア半幅ａ＝４μｍ、コアとクラッドの比屈
折率差Δ＝0.3 ％のとき、光導波路内の光のスポットサ
イズはｗ1 ＝4.2 μｍであるから、 l0 ＝ｎw1 2 ／λ＝
16.5μｍであり、式(4) より決まるテーパ状光分岐部の
長さＬは Ｌ＝ 82.5 〜 330 （μｍ） (5) と従来のＹ分岐光導波路に比べて数分の一から10の１以
下と短くなるので、Ｙ分岐光導波路を用いた光デバイス
の小型化に対しても、本発明の実施例のＹ分岐光導波路
は有利である。
ｎ＝1.45、コア半幅ａ＝４μｍ、コアとクラッドの比屈
折率差Δ＝0.3 ％のとき、光導波路内の光のスポットサ
イズはｗ1 ＝4.2 μｍであるから、 l0 ＝ｎw1 2 ／λ＝
16.5μｍであり、式(4) より決まるテーパ状光分岐部の
長さＬは Ｌ＝ 82.5 〜 330 （μｍ） (5) と従来のＹ分岐光導波路に比べて数分の一から10の１以
下と短くなるので、Ｙ分岐光導波路を用いた光デバイス
の小型化に対しても、本発明の実施例のＹ分岐光導波路
は有利である。
【００１２】前記のＹ分岐光導波路の計算機シミュレー
ションを元に、石英系光導波路を用いて１×８スプリッ
タの作製を行った。まず、Ｓｉ基板上に火炎堆積法によ
ってＳｉＯ2 下部クラッド層を堆積し、次にＴｉＯ2 ま
たはＧｅＯ2 をドーパンとして添加したＳｉＯ2 ガラス
のコア層を堆積した後に、電気炉で透明ガラス化した。
次に、計算機シミュレーションを元に作製したマスクパ
ターン（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比
屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、テーパ状
光分岐部の長さＬ＝165 μｍの設計）を用いてコア層を
エッチングして、所定の１×８スプリッタ光導波路を形
成し、最後に、ＳｉＯ2 上部クラッド層を堆積した。
ションを元に、石英系光導波路を用いて１×８スプリッ
タの作製を行った。まず、Ｓｉ基板上に火炎堆積法によ
ってＳｉＯ2 下部クラッド層を堆積し、次にＴｉＯ2 ま
たはＧｅＯ2 をドーパンとして添加したＳｉＯ2 ガラス
のコア層を堆積した後に、電気炉で透明ガラス化した。
次に、計算機シミュレーションを元に作製したマスクパ
ターン（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比
屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、テーパ状
光分岐部の長さＬ＝165 μｍの設計）を用いてコア層を
エッチングして、所定の１×８スプリッタ光導波路を形
成し、最後に、ＳｉＯ2 上部クラッド層を堆積した。
【００１３】図８は、作製された本発明の実施例の１×
８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）
および従来の１×８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長
さＬ＝1000μｍ）の各出力光導波路からの規格化光出力
（８分の１の本質的な分岐損失および入出力光ファイバ
との結合損、光導波路の伝搬損失を除いた損失）を示し
たものである。この実施例の１×８スプリッタの平均過
剰損失は0.08 dＢ、従来の１×８スプリッタの平均過剰
損失は 0.3 dＢであり、さらにこの実施例の１×８スプ
リッタの出力のバラツキは、従来の１×８スプリッタに
比べて極めて小さいことがわかる。これから、計算機シ
ミュレーションによるＹ分岐光導波路の設計（図２〜図
７）の妥当性が確認された。
８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）
および従来の１×８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長
さＬ＝1000μｍ）の各出力光導波路からの規格化光出力
（８分の１の本質的な分岐損失および入出力光ファイバ
との結合損、光導波路の伝搬損失を除いた損失）を示し
たものである。この実施例の１×８スプリッタの平均過
剰損失は0.08 dＢ、従来の１×８スプリッタの平均過剰
損失は 0.3 dＢであり、さらにこの実施例の１×８スプ
リッタの出力のバラツキは、従来の１×８スプリッタに
比べて極めて小さいことがわかる。これから、計算機シ
ミュレーションによるＹ分岐光導波路の設計（図２〜図
７）の妥当性が確認された。
【００１４】なお図５、図６、図７において 0.1 dＢと
規定した最小損失からの損失増加は、本発明の実施例の
Ｙ分岐光導波路が用いられるシステムによって異なる。
すなわち、最小平均過剰損失からの損失増加が 0.2 dＢ
以内というような、本発明の実施例よりも緩るめの条件
を用いる場合には、式(1) のテーパ状光分岐部の長さＬ
を規定する条件は、より広くなることは明らかである。
規定した最小損失からの損失増加は、本発明の実施例の
Ｙ分岐光導波路が用いられるシステムによって異なる。
すなわち、最小平均過剰損失からの損失増加が 0.2 dＢ
以内というような、本発明の実施例よりも緩るめの条件
を用いる場合には、式(1) のテーパ状光分岐部の長さＬ
を規定する条件は、より広くなることは明らかである。
【００１５】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明のＹ分岐光導波路は、任意の１本の光
導波路に入射した光パワーを、２本または多数本の出力
光導波路に低損失、かつ均一に分岐できるので、光通信
システム、光信号処理等における光信号分配において大
きな利点がある。
たように、本発明のＹ分岐光導波路は、任意の１本の光
導波路に入射した光パワーを、２本または多数本の出力
光導波路に低損失、かつ均一に分岐できるので、光通信
システム、光信号処理等における光信号分配において大
きな利点がある。
【図１】本発明の一実施例にかかわるＹ分岐光導波路の
構成図である。
構成図である。
【図２】Ｙ分岐光導波路を３段に接続して構成した１×
８スプリッタを示す図である。
８スプリッタを示す図である。
【図３】シミュレーションで求めた従来の１×８スプリ
ッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比屈
折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、テーパ状光
分岐部の長さＬ＝1000μｍ）の光強度伝搬の様子を示す
図である。
ッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比屈
折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、テーパ状光
分岐部の長さＬ＝1000μｍ）の光強度伝搬の様子を示す
図である。
【図４】シミュレーションで求めた本発明の実施例の１
×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８
μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、
テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）の光強度伝搬の
様子を示す図である。
×８スプリッタ（コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８
μｍ、比屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍ、
テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）の光強度伝搬の
様子を示す図である。
【図５】コア幅２ａ＝８μｍ、コア厚２ｔ＝８μｍ、比
屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
屈折率差Δ＝0.3 ％、光の波長λ＝1.55μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
【図６】コア幅２ａ＝７μｍ、コア厚２ｔ＝７μｍ、比
屈折率差Δ＝0.5 ％、光の波長λ＝1.3 μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
屈折率差Δ＝0.5 ％、光の波長λ＝1.3 μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
【図７】コア幅２ａ＝６μｍ、コア厚２ｔ＝６μｍ、比
屈折率差Δ＝0.75％、光の波長λ＝1.55μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
屈折率差Δ＝0.75％、光の波長λ＝1.55μｍの場合の、
Ｙ分岐光導波路のテーパ状光分岐部の長さＬと平均過剰
損失との関係を示す図である。
【図８】作製された本発明の実施例の１×８スプリッタ
（テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）および従来の
１×８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長さＬ＝1000μ
ｍ）の各出力光導波路からの規格化光出力（８分の１の
本質的な分岐損失および入出力光ファイバとの結合損、
光導波路の伝搬損失を除いた損失）を示した図である。
（テーパ状光分岐部の長さＬ＝165 μｍ）および従来の
１×８スプリッタ（テーパ状光分岐部の長さＬ＝1000μ
ｍ）の各出力光導波路からの規格化光出力（８分の１の
本質的な分岐損失および入出力光ファイバとの結合損、
光導波路の伝搬損失を除いた損失）を示した図である。
【図９】従来のＹ分岐光導波路の構造を示す図である。
１ 入力光導波路 ２ テーパ状光分岐部 ３ 出力光導波路 ４ １×８スプリッタの光導波路 ５ 光強度分布 ６ 光強度分布 ７ 入力光導波路 ８ テーパ状光分岐部 ９ 出力光導波路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 １本の光導波路の光を２本の光導波路に
分ける分岐導波路において、光の波長をλ、光導波路の
屈折率をｎ、光導波路内の光のスポットサイズをｗ1 と
し、 l0 ＝ｎw1 2 ／λとし、１本の光導波路が２本の光
導波路に分離するまでのテーパ状光分岐部の長さＬが ５ l0 ≦Ｌ≦ 20 l0 (1) なる関係を満足することを特徴とするＹ分岐光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18411691A JPH0511130A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18411691A JPH0511130A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511130A true JPH0511130A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=16147664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18411691A Pending JPH0511130A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511130A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5586209A (en) * | 1993-11-01 | 1996-12-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical branching device |
| US5627928A (en) * | 1993-11-01 | 1997-05-06 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical branching device |
| US5757995A (en) * | 1995-12-27 | 1998-05-26 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical coupler |
| US6404957B1 (en) | 1997-11-05 | 2002-06-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Optical power divider and fabrication method thereof |
| US6553164B1 (en) | 1999-10-28 | 2003-04-22 | Oki Electric Industry, Co., Ltd. | Y-branch waveguide |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP18411691A patent/JPH0511130A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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