JPH11268236A - 強制加圧印刷方法、強制加圧印刷用スキージ及び強制加圧印刷装置 - Google Patents
強制加圧印刷方法、強制加圧印刷用スキージ及び強制加圧印刷装置Info
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- JPH11268236A JPH11268236A JP9071298A JP9071298A JPH11268236A JP H11268236 A JPH11268236 A JP H11268236A JP 9071298 A JP9071298 A JP 9071298A JP 9071298 A JP9071298 A JP 9071298A JP H11268236 A JPH11268236 A JP H11268236A
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Abstract
に向けて押し出して印刷することで、現状のスクリーン
印刷法が抱えている課題の多くを解決する。 【解決手段】 印刷対象物としての基板10に近接対向
させて支持されるスクリーン版1と、該スクリーン版1
に対向する印刷ペースト吐出用の先端開口及び該先端開
口に連通する印刷ペーストの供給経路を有している強制
加圧印刷用スキージ20と、前記供給経路に印刷ペース
トを加圧して供給する加圧供給手段としてのペーストタ
ンク30及び加圧ポンプ32とを備え、スキージ20の
先端開口から加圧により強制的に吐出された印刷ペース
ト3を前記スクリーン版1を通して基板10に転写又は
基板側の凹部又は穴部に充填する構成である。
Description
いて印刷ペーストを基板等に転写するスクリーン印刷技
術に係り、とくに印刷ペーストを強制的に加圧して印刷
対象物に向けて押し出して印刷可能な強制加圧印刷方
法、当該方法に用いる強制加圧印刷用スキージ及び強制
加圧印刷装置に関する。
高機能化に伴い、プリント配線基板等では、微細配線化
や小型チップ部品の実装化、スルーホール層間接続を活
用した多層配線化等による、小型化・高密度化の要求が
強く、様々な対応が図られている。このような状況にあ
って、ソルダレジスト形成、ビルドアップ配線基板層間
絶縁材形成、はんだペースト形成、スルーホール充填等
の技術に、スクリーン印刷法が定着している。しかし、
現状のスクリーン印刷法では、上記要求を実現するため
の課題も多い。
持たせたスキージでスクリーン版上の印刷ペーストを移
動させることによって生じる印刷ペーストのローリング
と、スキージがスクリーン版を介して押し付ける印圧
で、ペーストがスクリーン版のパターン開口部を通っ
て、基板に転写し成膜する方法である。
ュ版、メタルマスク版等)を用いたスクリーン印刷装置
の模式図を示す。この図において、1はスクリーン版、
2はスクリーン版を保持したスクリーン保持枠、3はス
クリーン版上に供給された印刷ペースト、4はスキー
ジ、5はスクレッパである。
上に印刷ペースト3を引き伸ばした後に、スキージ4が
スクリーン版1を基板10に押し付けながら、スクリー
ン版1上を移動することで(スキージングすること
で)、スクリーン版1のパターン開口部を通して印刷ペ
ースト3を基板10上に転写する。
ト材のスクリーン印刷では、50μm程度の乾燥膜厚が
必要になる場合もあり、1回印刷では成膜不可能な場合
が多く、通常は多数回重ね塗りを行っているのが現状で
ある。
填印刷では、パターンの微細化に伴いスルーホールも小
径化する傾向にあり、結果的にスルーホールアスペクト
比(深さ/直径)が大きくなる。特に、アスペクト比3
以上のスルーホールに、スクリーン印刷法でペーストを
完全に充填することは、事実上困難であることが通説で
ある。
ては、ペースト粘度や粘弾性等の物性、スクリーン版と
基板間のギャップ、版の製作状態、スキージ印圧、印刷
速度、角度、材質等、多くの要因のわずかな変化で、印
刷状態は大きく変動し易い。また、これらの要因が相互
に関連し、印刷状態に影響するため、印刷条件設定によ
る対応が、複雑かつ困難になり易い。
あるため、ペーストの中の揮発成分の気化による物性変
化、印刷時のペーストローリングによる、エアーやゴミ
の巻き込み等、構造自体による問題も大きい。
ーン印刷法が抱えている課題を、多くの点で解決できる
強制加圧印刷方法、強制加圧印刷用スキージ及び強制加
圧印刷装置を提供することを目的とする。
の実施の形態において明らかにする。
に、本発明の強制加圧印刷方法は、スクリーン版に対向
する先端開口から印刷ペーストを吐出する強制加圧印刷
用スキージを用い、該スキージの先端開口から加圧によ
り強制的に吐出された印刷ペーストを前記スクリーン版
を通して印刷対象物に転写又は印刷対象物の凹部又は穴
部に充填することを特徴としている。
リーン版に対向する印刷ペースト吐出用の先端開口と、
該先端開口に連通する印刷ペーストの供給経路とを備え
た構成としている。
記先端開口が位置する先端部が少なくとも弾性部材で構
成されていてもよい。
記供給経路を設けた本体部と、該本体部の下部に一体に
形成されていて前記先端開口が位置する先端部とを弾性
部材で構成し、前記本体部を囲む如く剛性のある補強部
材を設けた構成としてもよい。
に近接対向させて支持されるスクリーン版と、該スクリ
ーン版に対向する印刷ペースト吐出用の先端開口及び該
先端開口に連通する印刷ペーストの供給経路を有してい
る強制加圧印刷用スキージと、前記供給経路に印刷ペー
ストを加圧して供給する加圧供給手段とを備えた構成と
している。
方法、強制加圧印刷用スキージ及び強制加圧印刷装置の
実施の形態を図面に従って説明する。
を説明する。図1はスクリーン版(スクリーンメッシュ
版、メタルマスク版等)を用いたスクリーン印刷装置の
模式図であり、1はスクリーン版、2はスクリーン版を
保持したスクリーン保持枠である。印刷対象物としての
基板10は位置決め支持手段11にて位置決め支持さ
れ、前記スクリーン版1はスクリーン保持枠2で基板1
0上に近接対向する位置に支えられている。
でかつスクリーン版1上を往復移動自在であり(図示し
ない駆動機構で駆動されることで昇降及び直線往復運動
可能)、図2及び図3に示す如く印刷ペーストの供給経
路25を設けた本体部21と、該本体部21の下部に一
体に形成されていて供給経路25に連通した先端開口2
6が位置する先端部22とからなっている。先端部22
は本体部21よりも厚みが小さく、先端部22の先端面
(下端面)に開口した先端開口26はスキージ移動方向
の間隙が極めて狭いスリット形状である。先端開口26
はスクリーン版1の上面に対向する配置であり、印刷時
には先端開口26の周囲の先端部22先端面はスクリー
ン版1に密着状態とされる。
路25の上側開口となるペースト供給口27は、印刷ペ
ースト3を貯蔵した外部のペーストタンク30とチュー
ブ等の供給管路31で接続され、この供給管路31の途
中位置にペーストタンク30からの印刷ペースト3を強
制的に加圧して強制加圧印刷用スキージ20に送り出す
加圧ポンプ32が設けられている。これらのペーストタ
ンク30、供給管路31及び加圧ポンプ32は強制加圧
印刷用スキージ20内の供給経路25に印刷ペースト3
を加圧して供給する加圧供給手段を構成している。
は、従来のスクリーン印刷法で一般的に用いられるゴム
以外に、樹脂や金属製等でもよく、スクリーン版1と先
端部22の先端面が直接接触して摺動し、かつ印刷ペー
スト3が漏れないように先端開口26の周囲をシールす
る機能を持つものであればよい。
印刷用スキージ20を用いた基板10へのスクリーン印
刷は、図1のように強制加圧印刷用スキージ20を下げ
てスクリーン版1を基板面に接触させるとともに強制加
圧印刷用スキージ20の先端部22の先端面をスクリー
ン版1上面に密着させた状態とし、加圧ポンプ32で供
給経路25に印刷ペースト3を強制的に加圧供給しつつ
強制加圧印刷用スキージ20を横方向に移動させること
によって行う。これにより、スキージ20の先端開口2
6から加圧により強制的に吐出された印刷ペースト3が
スクリーン版1のパターン開口部を通して基板10に転
写又は基板10の凹部又は穴部(スルーホール等)に充
填されることになる。
の効果を得ることができる。
ペースト通過量は、強制加圧印刷用スキージ20へのペ
ースト加圧力と、スキージ印刷速度によって決まる。こ
れらの条件は単独に設定可能であり、ペースト粘度や粘
弾性等の物性に影響され難い。特に、厚膜パターン形成
や、高アスペクト比スルーホールへの充填印刷等でその
効果が大きい。
ージ20がスクリーン版1を基板10に押し付けながら
横移動する動作)の時だけ加圧ポンプ32を作動させて
ペーストを加圧し、かつペーストの押し出し量は、加圧
力で単独制御可能であることから、従来のスクリーン印
刷法では適用が難しかった、低粘度から高粘度まで、ペ
ースト粘度の適用可能範囲を拡大できる。
るスクリーン印刷法では、ペーストがスキージ密閉構造
内にあるため、ペースト物性の変化を防止でき、特に高
揮発性ペーストや嫌気性・感光性ペースト等で効果が大
きい。当然エアーやゴミの巻き込み防止効果も大きい。
るスクリーン印刷法では、膜厚形成に必要な量だけがス
クリーン版1を通って押し出されるので、ペーストの廃
棄量を最小限に抑えることができ、かつ、ペースト物性
の再調整は不要になる。
この場合、強制加圧印刷用スキージ20Aは、本体部2
1及び先端部22をゴム、樹脂等の弾性部材で構成し、
さらに本体部21の周囲を剛性のある補強部材40で囲
んだ構成を具備している。補強部材40は、例えば剛性
のある金属板を本体部21の周囲に嵌合するように折り
曲げ加工した補強板等で構成されている。なお、その他
の構成は前述した第1の実施の形態と同様である。
用スキージ20Aの本体部21及び先端部22が弾性を
持たせたゴムや樹脂で構成されているとき、高粘度ペー
ストを加圧してスクリーン印刷を実行する場合に本体部
21の変形が懸念されるが、補強部材40を設けたこと
で、本体部21の変形を防止することが可能である。換
言すれば、補強部材40を設けることを前提として本体
部21及び先端部22を弾性のあるゴム、樹脂等の同一
弾性材質で一体成形可能な利点があり、スキージングに
おいてスクリーン版1と先端部22の先端面とを確実に
密着させて、先端開口26から吐出された印刷ペースト
3が漏れないように先端開口26の周囲を確実にシール
するようにできる。
て、強制加圧印刷用スキージ部分の構成を図示してい
る。この場合、強制加圧印刷用スキージ20Bは、印刷
ペーストの供給経路25を設けたゴム、樹脂、金属等の
本体部21と、該本体部21の下部に一体的に取り付け
られていて供給経路25に連通した先端開口26が位置
するゴム、樹脂等の弾性部材からなる先端部22Aとか
らなっている。先端部22Aは本体部21よりも厚みが
小さく、先端部22Aの先端面(下端面)に開口した先
端開口26はスキージ移動方向の間隙が極めて狭いスリ
ット形状である。なお、その他の構成は前述した第1の
実施の形態と同様である。
がゴム、樹脂等の弾性部材で構成されることから、スキ
ージングにおいてスクリーン版と先端部22Aの先端面
とを確実に密着させて、先端開口26から吐出された印
刷ペーストが漏れないように先端開口26の周囲を確実
にシールすることが可能である。また、本体部21は変
形のない剛性部材で構成することが可能となる。
ストを加圧して供給する加圧供給手段の構成は適宜変更
可能であり、ペーストタンク30内部を加圧してペース
トタンク30から印刷ペーストが加圧供給される構成等
としてもよい。
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
下記の通りの効果を奏することができる。
圧印刷用スキージへのペースト加圧力と、スキージ印刷
速度によって決まる。これらの条件は単独に設定可能で
あり、ペースト粘度や粘弾性等の物性に影響され難い。
特に厚膜パターン形成や、高アスペクト比スルーホール
への充填印刷等でその効果が大きい。
レッパでスクリーン版上に印刷ペーストを引き伸ばした
後に、スキージングして印刷するのが一般的な動作方法
である。しかし、ペーストが極端に低粘度の場合、スク
レッパでペーストを引き伸ばしてからスキージングされ
るまでの時間で、スクリーン版開口部からペースト自重
によるタレが生じ、パターンが滲む問題が生じ易い。ま
た、ペーストが極端に高粘度の場合、スキージングによ
るペーストのローリングが生じにくいことや、ペースト
のスクリーン版通過抵抗の増大によって、スキージング
速度を極端に低速にする対応が必要になり、生産性の低
下を招く。
ーストを加圧し、かつペーストの押し出し量は、加圧力
で単独制御可能であることから、従来のスクリーン印刷
法では適用が難しかった、低粘度から高粘度まで、ペー
スト粘度の適用可能範囲を拡大できる。
ン版上の開放空間に置かれるため、有機溶剤型ペースト
では、揮発成分が気化しペースト物性が変化し易い。さ
らに、ペーストがスキージング毎に掻き回されるため、
ペースト中にエアーやゴミの巻き込みが生じ、絶縁レジ
ストでは絶縁不良等の大きな品質低下につながる。
場合は、印刷ペーストがスキージ密閉構造内にあるた
め、上記のようなペースト物性の変化を防止でき、特に
高揮発性ペーストや嫌気性・感光性ペースト等で効果が
大きい。当然エアーやゴミの巻き込み防止効果も大き
い。
ペーストのローリングを用いてパターン形成しているた
め、スクリーン版上には膜厚形成量以上の余分なペース
トが常に必要となる。印刷作業終了時や、スクリーン版
交換時には、スクリーン版上に残った余分なペーストを
回収し、回収後に物性調整を経て再使用するか、全量廃
棄する等の方法がとられる。
だけがスクリーン版を通って押し出されるので、ペース
トの廃棄量を最小限に抑えることができ、かつ、ペース
ト物性の再調整は不要になる。
用スキージ、及び強制加圧印刷装置の第1の実施の形態
を示す構成図である。
ージの正面図である。
る。
刷用スキージ部分の側面図である。
る。
Claims (5)
- 【請求項1】 スクリーン版に対向する先端開口から印
刷ペーストを吐出する強制加圧印刷用スキージを用い、
該スキージの先端開口から加圧により強制的に吐出され
た印刷ペーストを前記スクリーン版を通して印刷対象物
に転写又は印刷対象物の凹部又は穴部に充填することを
特徴とする強制加圧印刷方法。 - 【請求項2】 スクリーン版に対向する印刷ペースト吐
出用の先端開口と、該先端開口に連通する印刷ペースト
の供給経路とを備えたことを特徴とする強制加圧印刷用
スキージ。 - 【請求項3】 前記先端開口が位置する先端部が少なく
とも弾性部材で構成されている請求項2記載の強制加圧
印刷用スキージ。 - 【請求項4】 前記供給経路を設けた本体部と、該本体
部の下部に一体に形成されていて前記先端開口が位置す
る先端部とを弾性部材で構成し、前記本体部を囲む如く
剛性のある補強部材を設けた請求項2記載の強制加圧印
刷用スキージ。 - 【請求項5】 印刷対象物に近接対向させて支持される
スクリーン版と、該スクリーン版に対向する印刷ペース
ト吐出用の先端開口及び該先端開口に連通する印刷ペー
ストの供給経路を有している強制加圧印刷用スキージ
と、前記供給経路に印刷ペーストを加圧して供給する加
圧供給手段とを備えたことを特徴とする強制加圧印刷装
置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP09071298A JP3449529B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | 強制加圧印刷用スキージ及び強制加圧印刷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09071298A Expired - Fee Related JP3449529B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | 強制加圧印刷用スキージ及び強制加圧印刷装置 |
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Country | Link |
---|---|
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007096013A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Toray Ind Inc | 電子部品の製造方法 |
US7449067B2 (en) | 2003-11-03 | 2008-11-11 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for filling vias |
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-
1998
- 1998-03-20 JP JP09071298A patent/JP3449529B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US8846439B2 (en) | 2012-05-28 | 2014-09-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and apparatus for forming pattern |
US9223228B2 (en) | 2012-05-28 | 2015-12-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method and apparatus for forming pattern |
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---|---|
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