JPH11264899A - 電子/レーザ衝突型x線発生装置及びx線発生方法 - Google Patents
電子/レーザ衝突型x線発生装置及びx線発生方法Info
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- JPH11264899A JPH11264899A JP6862298A JP6862298A JPH11264899A JP H11264899 A JPH11264899 A JP H11264899A JP 6862298 A JP6862298 A JP 6862298A JP 6862298 A JP6862298 A JP 6862298A JP H11264899 A JPH11264899 A JP H11264899A
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Abstract
生させることができるX線発生装置を提供する。 【解決手段】 電子ビーム源が、パルス状電子ビームを
出射する。レーザ光学系が、電子ビーム源から出射され
たパルス状電子ビームに衝突するように、パルス状電子
ビームの出射に同期させて、パルス的に第1及び第2の
レーザ光を出射する。衝突により、単色のX線が発生す
る。
Description
置及びX線発生方法に関し、特に相互に異なる波長を有
する2つのX線を発生させることができるX線発生装置
及びX線発生方法に関する。
属のターゲットに衝突させ、電子の制動によってX線を
放射する方法、及びシンクロトロン軌道からX線を放射
する方法等が知られている。このようにして得られるX
線は、そのエネルギスペクトルが広い範囲に分布する白
色のX線である。白色のX線を分光することにより、単
色のX線を取り出すことができる。
ことにより、単色のX線を取り出すことができるが、よ
りエネルギ分解能を高めることが要望されている。さら
に、波長がわずかに異なる2つのX線を発生させる技術
が望まれている。
色の2つのX線を発生させることができるX線発生装置
及び方法を提供することである。
く、相互に異なる波長を有する単色の2つのX線を発生
させることができるX線発生装置及び方法を提供するこ
とである。
と、パルス状電子ビームを出射する電子ビーム源と、前
記電子ビーム源から出射されたパルス状電子ビームに衝
突するように、パルス状電子ビームの出射に同期させ
て、パルス的に第1及び第2のレーザ光を出射するレー
ザ光学系とを有するX線発生装置が提供される。
ると、逆コンプトン散乱過程により単色のX線が発生す
る。このX線のエネルギは、パルス状電子ビームのエネ
ルギ、レーザ光のエネルギ、衝突角に依存する。これら
のパラメータを変化させることにより、所望のエネルギ
のX線を発生させることができる。2つのレーザ光を衝
突させると、2つのX線が発生する。それぞれの衝突条
件を制御すれば、エネルギの異なる2つのX線を発生さ
せることができる。
ビームを出射する工程と、前記パルス状電子ビームに第
1のレーザ光を衝突させて第1のX線を発生させる工程
と、前記パルス状電子ビームに、前記第1のX線の波長
と異なる波長のX線が発生する条件で第2のレーザ光を
衝突させ、第2のX線を発生させる工程とを有するX線
発生方法が提供される。
間間隔で2つのパルス状電子ビームを出射する工程と、
前記パルス状電子ビームのうち先に出射された電子ビー
ムに第1のレーザ光を衝突させて第1のX線を発生させ
る工程と、前記パルス状電子ビームのうち後に出射され
た電子ビームに前記第1のX線の波長と異なる波長のX
線が発生する条件で第2のレーザ光を衝突させ、第2の
X線を発生させる工程とを有するX線発生方法が提供さ
れる。
のX線を発生させることができる。
よるX線発生装置及び方法について説明する。
よるX線発生装置は、電子ビーム源1、レーザ光学系
2、偏向手段3、及び撮像装置9を含んで構成される。
電子ビーム源1は、パルス状電子ビーム4を出射する。
パルス状電子ビームは、例えば、同一方向に進行する複
数の電子が集群された電子群である。このような電子ビ
ーム源1は、例えば図6を参照して後述するように、高
周波光電子銃(RFガン)とマイクロトロンとの組み合
わせにより構成される。このような構成により、エミッ
タンスが数π(mm・mrad)程度以下の電子ビーム
を得ることができる。
されたパルス状電子ビーム4に衝突するように、パルス
状電子ビーム4の出射に同期させて、パルス的に第1及
び第2のレーザ光を出射する。このようなレーザ光学系
2は、例えば、第1のレーザ光を出射する第1のレーザ
発振器2Aと第2のレーザ光を出射する第2のレーザ発
振器2Bにより構成される。これらのレーザ発振器とし
て、例えばテラワット級のレーザ出力が可能なTiサフ
ァイアレーザ装置を用いることができる。なお、短パル
スCO2 レーザ装置を用いることも可能である。
れたパルス状電子ビーム4の進行方向を曲げる。これ
は、例えば偏向電磁石により構成される。撮像装置9
は、第1及び第2のレーザ光の出射に同期させてシャッ
タを開き、X線による像を得ることができる。撮像装置
9として、例えば、ゲートモードを持つイメージインテ
ンシファイヤ付きのCCDカメラ等を用いることができ
る。
れたパルス状電子ビーム4に、第1のレーザ光5Aが衝
突した様子を示している。電子ビームにレーザ光を衝突
させると、単色の第1のX線6が発生する。第1のレー
ザ光5Aと衝突したパルス状電子ビーム4は、そのエネ
ルギをわずかに低下させ、ほぼそのまま直進する。第1
のX線6は、撮像装置9に入射する。撮像装置9の前に
被写体を配置することにより、被写体のX線像を得るこ
とができる。
1のレーザ光5Aと衝突した後に、第2のレーザ光5B
と衝突した様子を示している。この衝突により、第2の
X線7が発生する。第2のレーザ光5Bと衝突したパル
ス状電子ビーム4は、そのエネルギをわずかに低下さ
せ、ほぼそのまま直進する。第2のX線7も、第1のX
線6と同様に、撮像装置9に入射する。
ーム4は、第2のレーザ光5Bと衝突した後、偏向手段
3によってその進行方向を変える。このため、パルス状
電子ビーム4が撮像装置9に入射することを回避し、良
好なX線像を得ることができる。
の衝突によって発生するX線の性質を解析的に求めた。
以下、その解析結果について説明する。
0がz軸に沿って正の向きに進行している。レーザ光1
01が、原点において電子ビーム100に衝突する。こ
の衝突によりX線102が発生する。レーザ光101の
光軸とz軸の正の向きとのなす角(衝突角)をα、X線
102の光軸とz軸の負の向きとのなす角をθxとす
る。発明者らの計算によると、X線のエネルギExは、
の光速、E0 はレーザ光101のエネルギである。β
は、光速cに対する電子の速さve の比であり、
ギmc2 に対する電子のエネルギの比であり、
X線の進行方向を表し、
は、
のz軸の正の向き(電子ビーム100の進行方向)に、
最大エネルギのX線が放射される。
ギExは、入射するレーザ光101のエネルギE0 、レ
ーザ光101と電子ビーム100との衝突角α、及び電
子の静止エネルギmc2 に対する電子のエネルギの比γ
の関数となる。従って、E0、α、またはγを変化させ
ることにより、X線102のエネルギを変化させること
ができる。
向に放射されるX線のエネルギを、衝突角αの関数とし
て示すグラフである。横軸は衝突角αを単位「度」で表
し、縦軸はX線のエネルギを単位keVで表す。なお、
電子ビーム100のエネルギを150MeV、レーザ光
101の波長を1μmとした。図2(B)に示すよう
に、衝突角αを0〜180°の範囲で変化させることに
より、X線のエネルギを0〜約420keVの範囲で変
化させることができる。
ーザ光5Aとの衝突角と、図1(B)における電子ビー
ムと第2のレーザ光5Bとの衝突角とを、相互に異なら
せることにより、波長の異なる2つのX線6及び7を発
生させることができる。
ムとレーザ光との衝突による電子のエネルギの低下量は
わずかである。例えば、波長10μmのレーザ光を衝突
させた場合のエネルギの低下量は、電子の当初のエネル
ギの高々0.03%程度であり、波長1μmのレーザ光
を衝突させた場合のエネルギの低下量は、電子の当初の
エネルギの高々0.3%程度である。従って、図1
(A)及び図1(B)においてレーザ光と衝突したパル
ス状電子ビーム4は、ほとんどそのエネルギを低下させ
ることなく、そのまま直進する。
造影(アンジオグラフィ)に使用することにより、冠状
動脈の明確な像を得ることができる。以下、冠状動脈の
像を得る方法を、簡単に説明する。
127I)を注入する。沃素は、エネルギ33.17ke
VのX線を吸収し、k殻の電子がl殻に励起される。ま
ず、沃素により吸収されるエネルギのX線を用い、撮像
装置9により冠状動脈の像を得る。次に、沃素により吸
収されないエネルギのX線を用いて冠状動脈の像を得
る。この2つの像の差分を求めることにより、冠状動脈
のみが浮き上がった明確な像を得ることができる。
A及び5Bの出射に同期してシャッタを開くため、X線
が入射しない期間の外乱による影響を防止し、S/N比
の高い像を得ることができる。
ビームと第1のレーザ光との衝突角を、電子ビームと第
2のレーザ光との衝突角と異ならせることにより、エネ
ルギの異なる2つのX線6及び7を発生させる場合を説
明した。式(1)からわかるように、第1のレーザ光5
Aのエネルギと第2のレーザ光5Bのエネルギとを異な
らせることによっても、エネルギの異なる2つのX線6
及び7を発生させることができる。
て説明する。図1に示す第1の実施例では、レーザ光学
系2を2つのレーザ発振器2Aと2Bを含んで構成した
が、第2の実施例は、1つのレーザ発振器2Cのみを含
む。レーザ発振器2Cから出射したレーザ光が、ハーフ
ミラー2Dにより2つのレーザ光に分岐される。ハーフ
ミラー2Dを透過した第1のレーザ光5Aが、第1の衝
突点8の位置でパルス状電子ビーム4に衝突する。
子ビーム4は、ある時間経過後、第2の衝突点8aの位
置に至る。ハーフミラー2Dにより反射した第2のレー
ザ光5Bは、反射ミラー2Eにより反射し、第2の衝突
点8aの位置でパルス状電子ビーム4aに衝突する。
の第1のレーザ光の光路長LAと、分岐点から第2の衝
突点8aまでの第2のレーザ光の光路長LBとは相互に
異なる。この光路差(LB−LA)に相当する距離をレ
ーザ光が伝搬する時間が、パルス状電子ビーム4が第1
の衝突点8から第2の衝突点8aまで進む時間と等しく
なるような構成とすることにより、第1の衝突点8と第
2の衝突点8aの位置において、パルス状電子ビームと
レーザ光とを衝突させることができる。
て説明する。上記第1及び第2の実施例では、パルス状
電子ビームと第1のレーザ光との衝突点と、パルス状電
子ビームと第2のレーザ光との衝突点とが、時間的、空
間的に異なっている。第3の実施例では、2つの衝突点
が一致する。
Aから出射された第1のレーザ光5Aと、第2のレーザ
発振器2Bから出射された第2のレーザ光5Bとが、同
時にパルス状電子ビーム4に衝突する。この衝突によ
り、相互にエネルギの異なる2つのX線6及び7が同時
に発生する。なお、レーザ光学系2を、図3に示すよう
に1つのレーザ光を分岐させる構成としてもよい。
ば2波長X線によるポンプ−プローブ法に適用可能であ
る。2波長X線によるポンプ−プローブ法は、分子科学
の分野で電子励起状態を解明するための有力なツールと
なる。
て説明する。上記第1〜第3の実施例では、1つのパル
ス状電子ビームに第1及び第2のレーザ光を衝突させる
場合を説明した。第4の実施例では、2つのパルス状電
子ビームに、それぞれ第1のレーザ光及び第2のレーザ
光を衝突させる。
が、ある間隔で2つのパルス状電子ビーム4A及び4B
を出射する。レーザ光学系2から出射された第1のレー
ザ光5Aが、先に出射されたパルス状電子ビーム4Aに
衝突し、第1のX線6が発生する。
パルス状電子ビーム4Aは、偏向手段3によりその進行
方向を曲げられる。レーザ光学系2から出射された第2
のレーザ光5Bが、後に出射されたパルス状電子ビーム
4Bに衝突する。この衝突により第2のX線7が発生す
る。
は、パルス状電子ビーム4Aの出射と第1のレーザ光5
Aの出射とを同期させ、パルス状電子ビーム4Bの出射
と第2のレーザ光5Bの出射とを同期させることにより
行われる。
されてから次のX線が放射されるまでの時間間隔を比較
的自由に変えることが可能になる。このX線をポンプ−
プローブ法に利用することにより、ある状態と、特定の
時間経過後の状態とを直接観察することが可能になる。
能な電子ビーム源及びレーザ発振器を含む電子レーザ装
置の概略全体構成を示す。図6に示す電子レーザ装置
は、レーザ光学系2、撮像装置9、基準高周波信号発生
器10、逓倍器20、RFガン30、レーザ発振器5
0、及び電子ビーム加速器90を含んで構成される。レ
ーザ光学系2は、図1、3〜5に示すレーザ光学系2の
いずれかと同一のものである。撮像装置9は、図1に示
す撮像装置9と同一のものである。
数119MHzの周波数の安定した基準高周波信号si
g0 を発生する。基準高周波信号sig0 は、逓倍器2
0、レーザ発振器50、レーザ光学系2、及び撮像装置
9に入力される。逓倍器20は、入力された基準高周波
信号sig0 を、例えば24倍に逓倍し、2856MH
zの逓倍信号sig1 を出力する。逓倍信号sig
1 は、RFガン30に供給される。
ガン30は、フォトカソード31と加速空洞32とを含
んで構成される。レーザ発振器50から出力されたパル
スレーザ光hν0 がフォトカソード31に入射し、光電
子が放出される。逓倍器20から出力された逓倍信号s
ig1 が加速空洞32に印加され、加速空洞32内に高
周波電場が励起される。フォトカソード31から放出さ
れた光電子が高周波電場により加速されて、例えば時間
幅約350psのパルス状の電子ビームe0 が得られ
る。なお、必要に応じて、RFガン30の筐体を水冷し
てもよい。
レーザ発振器50は、全反射鏡51aと部分透過鏡51
bとからなる光共振器51、及び時間安定化回路60を
含んで構成される。光共振器51の光路内に、レーザ結
晶52、音響光学素子70、電子光学素子80、及び偏
光板54が配置されている。全反射鏡51aは、圧電素
子53により位置制御される。全反射鏡51aを移動さ
せることにより、光共振器51の共振器長を変えること
ができる。
フォトダイオード62、位相シフタ63を含んで構成さ
れる。フォトダイオード62は、光共振器51内に励起
されたレーザ光を検出して電気信号に変換する。この電
気信号は、位相検出器61に入力される。
から入力された電気信号と基準高周波信号sig0 との
位相を比較する。両信号の位相の比較結果は、位相シフ
タ63に入力される。また、両信号の位相の比較結果に
基づいて、位相のずれ量が減少する方向に光共振器51
の共振器長が変化するように、圧電素子53を制御す
る。
位相比較結果に基づいて両信号の位相のずれ量が減少す
る方向に基準高周波信号sig0 の位相をシフトさせ、
位相シフト後の高周波信号sig3 を音響光学素子70
に印加する。音響光学素子70は、時間安定化回路60
から印加された高周波信号sig3 に同期して、光共振
器51内を往復する光線束の伝搬損失を変化させる。
もしくはLiNbO3 等を用いたポッケルス素子により
構成される。電子光学素子80には、図7に示すRFガ
ンの加速空洞32内に励起されている電場に基づいて取
り出された信号sig2 が印加される。電子光学素子8
0は、その内部を通過する光の偏光方向を、信号sig
2 に同期して変化させる。
てほぼ45°傾いて配置されている。偏光板54に入射
する光の偏光方向に応じて、偏光板54を透過する成分
と偏光板54により反射される成分との比が変化する。
偏光板54により反射される成分は、光共振器51の損
失分になる。電子光学素子80が信号sig2 に同期し
て光の偏光方向を変化させるため、偏光板54を透過す
る成分の強度が、信号sig2 に同期して変化する。す
なわち、光共振器51内を往復する光の損失が信号si
g2 に同期して変化する。
ら出力された逓倍信号sig1 を印加してもよい。この
場合には、光共振器51内を往復する光の損失が逓倍信
号sig1 に同期して変化する。
が高周波信号sig3 に同期して変化し、偏光板54に
よる損失が信号sig2 に同期して変化する。このた
め、光共振器51は、119MHzの高周波信号sig
3 と2856MHzの高周波信号sig2 の双方に二重
に同期してレーザ発振する。発振したレーザ光の一部は
部分透過鏡51bを通して外部に放射され、パルスレー
ザ光hν0 が得られる。このため、高周波信号sig3
にのみ同期してレーザ発振する場合に比べて、RFガン
30の加速空洞32内に発生する高周波電場とパルスレ
ーザ光hν0 との位相を、より高精度に同期させること
ができる。RFガン30から出射されるパルス状電子ビ
ームe0 は、加速空洞32内に発生する高周波電場に同
期する。このため、パルス状電子ビームe0 と、レーザ
発振器50から出射されるパルスレーザ光hν0 との位
相を高精度に、例えば1ps程度の誤差で同期させるこ
とができる。
0とは、共に基準高周波信号sig 0 に同期して動作し
ている。しかし、信号sig2 による同期処理を行わな
い場合には、逓倍器20が要因となるジッタにより、レ
ーザ発振器50から出力される繰り返し周波数119M
Hzのパルスレーザ光とRFガン30の加速空洞に印加
される2856MHzの逓倍信号とを、高精度に同期さ
せることが困難である。図6に示す電子レーザ装置の場
合には、レーザ発振器50が、基準高周波信号sig0
のみならずRFガン30から取り出された信号sig2
にも同期してレーザ発振するため、RFガン30のフォ
トカソード31を照射するパルスレーザ光hν0 を、加
速空洞32に励起される高周波電場に高精度に同期させ
ることが可能になる。
加速部91を有するマイクロトロンにより構成される。
RFガン30から出射されたパルス状電子ビームe
0 が、電子ビーム加速器90の加速部91に入射する。
加速部91の図の右端から入射した電子ビームは、左端
から出射したところで折り返される。折り返された電子
ビームは加速部91の左端から再入射し、レーストラッ
ク型の軌道を描く。この軌道を周回する度に、電子ビー
ムが加速部91により加速される。なお、加速される
と、レーストラック型軌道の曲率半径が大きくなる。電
子ビームが所定のエネルギまで加速されると、電子ビー
ムをレーストラック型軌道から離脱させ、例えばエネル
ギ150MeV程度まで加速されたパルス状電子ビーム
4が取り出される。
る逓倍信号sig1 が入力されている。このため、逓倍
信号sig1 に同期した加速が行われ、より高いエネル
ギを有する電子ビーム4が得られる。パルス状電子ビー
ム4も、基準高周波信号sig0 と信号sig2 の双方
に高精度に同期する。
示すレーザ発振器と同様の構成とすれば、基準高周波信
号sig0 と信号sig2 の双方に同期して、第1及び
第2のレーザ光5A及び5Bを出射することができる。
すなわち、パルス状電子ビーム4の出射に高精度に同期
させて、第1及び第2のレーザ光5A及び5Bを出射す
ることができる。
が与えられており、基準高周波信号sig0 に同期して
シャッタの開閉が行われる。なお、撮像装置9に、信号
sig2 を入力し、基準高周波信号sig0 と信号si
g2 の双方に同期させてシャッタの開閉を行ってもよ
い。このようにして、第1及び第2のレーザ光5A及び
5Bの出射に同期して、シャッタの開閉を行うことがで
きる。
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
電子ビームとレーザ光とを衝突させることにより、単色
のX線を得ることができる。また、2つのレーザ光を異
なる条件で電子ビームに衝突させることにより、エネル
ギの異なる2つのX線を発生させることができる。
生方法を説明するための概略図である。
座標系を示す図であり、図2(B)は、X線のエネルギ
を電子ビームとレーザ光との衝突角の関数として示すグ
ラフである。
る。
生方法を説明するための概略図である。
生方法を説明するための概略図である。
置の概略図である。
Claims (17)
- 【請求項1】 パルス状電子ビームを出射する電子ビー
ム源と、 前記電子ビーム源から出射されたパルス状電子ビームに
衝突するように、パルス状電子ビームの出射に同期させ
て、パルス的に第1及び第2のレーザ光を出射するレー
ザ光学系とを有するX線発生装置。 - 【請求項2】 前記第1及び第2のレーザ光が、前記パ
ルス状電子ビームに、その進行方向に対して相互に異な
る角度で衝突する請求項1に記載のX線発生装置。 - 【請求項3】 前記レーザ光学系が、1つのレーザ光源
から出射したレーザ光を分岐光学系により2つのレーザ
光に分岐させることにより、前記第1及び第2のレーザ
光を得る請求項1または2に記載のX線発生装置。 - 【請求項4】 前記1つのレーザ光源から出射したレー
ザ光が分岐する分岐点から、前記第1のレーザ光が前記
パルス状電子ビームに衝突する第1の衝突点までの前記
第1のレーザ光の光路長と、前記分岐点から、前記第2
のレーザ光が前記パルス状電子ビームに衝突する第2の
衝突点までの前記第2のレーザ光の光路長との差が、前
記パルス状電子ビームが前記第1の衝突点から前記第2
の衝突点まで進む時間に対応するように、前記レーザ光
学系が構成されている請求項3に記載のX線発生装置。 - 【請求項5】 前記第1のレーザ光の波長が第2のレー
ザ光の波長と異なる請求項1に記載のX線発生装置。 - 【請求項6】 前記電子ビーム源から出射したあるパル
ス状電子ビームに、前記第1及び第2のレーザ光が、1
点で同時に衝突する請求項1〜5のいずれかに記載のX
線発生装置。 - 【請求項7】 前記電子ビーム源が、ある間隔で2つの
パルス状電子ビームを出射し、 前記レーザ光学系が、先に出射されたパルス状電子ビー
ムに前記第1のレーザ光を衝突させ、後に出射されたパ
ルス状電子ビームに前記第2のレーザ光を衝突させる請
求項1〜3、及び5のいずれかに記載のX線発生装置。 - 【請求項8】 さらに、前記第1及び第2のレーザ光に
衝突したパルス状電子ビームの進行方向を曲げる偏向手
段を有する請求項1〜7のいずれかに記載のX線発生装
置。 - 【請求項9】 さらに、前記パルス状電子ビームと前記
第1のレーザ光との衝突、及び前記パルス状電子ビーム
と前記第2のレーザ光の衝突により発生するX線を受光
する撮像装置であって、前記第1及び第2のレーザ光の
出射に同期してシャッタを開く撮像装置を有する請求項
1〜8のいずれかに記載のX線発生装置。 - 【請求項10】 パルス状電子ビームを出射する工程
と、 前記パルス状電子ビームに第1のレーザ光を衝突させて
第1のX線を発生させる工程と、 前記パルス状電子ビームに、前記第1のX線の波長と異
なる波長のX線が発生する条件で第2のレーザ光を衝突
させ、第2のX線を発生させる工程とを有するX線発生
方法。 - 【請求項11】 前記第1のレーザ光の波長が前記第2
のレーザ光の波長と異なる請求項10に記載のX線発生
方法。 - 【請求項12】 前記第1及び第2のX線を発生させる
工程において、前記第1及び第2のレーザ光が、前記パ
ルス状電子ビームの進行方向に対して相互に異なる角度
で衝突するように、前記第1及び第2のレーザ光を前記
パルス状電子ビームに衝突させる請求項10に記載のX
線発生方法。 - 【請求項13】 さらに、前記第2のX線を発生させる
工程の後、前記パルス状電子ビームの進行方向を曲げる
工程を含む請求項10〜12のいずれかに記載のX線発
生方法。 - 【請求項14】 ある時間間隔で2つのパルス状電子ビ
ームを出射する工程と、 前記パルス状電子ビームのうち先に出射された電子ビー
ムに第1のレーザ光を衝突させて第1のX線を発生させ
る工程と、 前記パルス状電子ビームのうち後に出射された電子ビー
ムに前記第1のX線の波長と異なる波長のX線が発生す
る条件で第2のレーザ光を衝突させ、第2のX線を発生
させる工程とを有するX線発生方法。 - 【請求項15】 前記第1のレーザ光の波長が前記第2
のレーザ光の波長と異なる請求項14に記載のX線発生
方法。 - 【請求項16】 前記第1及び第2のX線を発生させる
工程において、前記第1及び第2のレーザ光が、前記パ
ルス状電子ビームの進行方向に対して相互に異なる角度
で衝突するように、前記第1及び第2のレーザ光を前記
パルス状電子ビームに衝突させる請求項14に記載のX
線発生方法。 - 【請求項17】 さらに、前記第2のX線を発生させる
工程の後、前記パルス状電子ビームの進行方向を曲げる
工程を含む請求項14〜16のいずれかに記載のX線発
生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6862298A JP3398908B2 (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | 電子/レーザ衝突型x線発生装置及びx線発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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