JPH11258350A

JPH11258350A - 非接触型表面汚染検査装置および方法

Info

Publication number: JPH11258350A
Application number: JP5694298A
Authority: JP
Inventors: Takuji Fukazawa; 拓司深澤; Kouichi Nitsutou; 光一日塔
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-03-09
Filing date: 1998-03-09
Publication date: 1999-09-24
Anticipated expiration: 2018-03-09
Also published as: JP3272293B2

Abstract

(57)【要約】【課題】検査対象物の母材や検査対象物の表面に塗装さ
れた塗膜を損傷させることなく非接触にて表面汚染検査
を行い、従来の汚染検査に見られるような汚染物が付着
した濾紙やフィルター等の２次廃棄物を低減し、汚染部
位拡大の防止を図った非接触型表面汚染検査装置および
方法を提供する。【解決手段】検査対象物２の表面に付着した汚染物３を
レーザ光照射手段４からのレーザ光の照射によって検査
対象物２から微粒子化して脱離させ、脱離した汚染物３
を固体の捕集部材１８に直接捕集し、捕集された汚染物
３から放出される放射線を放射線測定手段２０により測
定し、検査対象物２の表面汚染部位および表面汚染密度
を非接触にて検査し、放射線測定終了後、捕集部材１８
に付着した汚染物３を捕集部材再生手段２４により脱離
させ、捕集部材１８を再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物である検
査対象物の表面汚染部位、表面汚染密度を非接触にて検
出し、汚染物を捕集する捕集部材を再生する非接触型表
面汚染検査装置および方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】原子力産業、放射線医療、放射線取扱施
設、化学あるいは医療産業などの放射性物質または毒性
物質を取り扱う産業ならびに研究機関において、被測定
物である物体表面の放射能の付着の有無の検知、特に放
射能による表面汚染部位の特定や、表面汚染量の測定
を、いかに信頼性高く且つ効率良く実施するかが問題と
なっている。

【０００３】従来、放射能により汚染されている物体表
面の状況を検査する方法として、スミヤ法とダイレクト
サーベイ法とがある。

【０００４】スミヤ法は、被測定物である物体表面を濾
紙で拭き取り、濾紙上に付着した放射能を測定すること
により、物体表面の放射能汚染密度を間接的に評価する
方法である。

【０００５】また、ダイレクトサーベイ法は、被測定物
である物体表面の汚染状況を直接測定する方法であり、
ＧＭ管やＮａＩ（Ｔｌ）等のシンチレータを用いた放射
線検出器により物体表面から放出される放射線量を計測
することで物体表面の汚染状況を直接測定する方法であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
濾紙を用いたスミヤ法では、被測定物の物体表面に濾紙
を押し付け、表面汚染部位を擦り、濾紙に汚染物が転着
しなければ表面汚染を測定できない。また、物体表面を
濾紙で擦ることにより表面汚染部位が拡大してしまい、
表面汚染が確認された場合にも表面汚染部位の特定が困
難であるといった事態が起こる。

【０００７】さらに、汚染物質を転着した濾紙を放射線
検出器の前面に設置し、放射線計測終了後、この濾紙を
放射線検出器の前面から排出または排除するといった操
作が必要になり、手間がかかるとともに２次廃棄物とし
ての使用済み濾紙が発生してしまう。濾紙を扱う一連の
操作が機械化されている場合には、装置のコストが高く
なる。

【０００８】またさらに、被測定物である物体表面への
汚染物の付着状況は、非測定物の物体表面状態や形状な
どにより異なる一方、物体表面への濾紙の押し付け方や
押し付け圧力の大小により汚染物の拭き取れ方が異な
り、濾紙への汚染物の転着量にばらつきが生じる。とく
に、被測定物の物体表面上に凹凸があり、凹部分に汚染
物が入り込んで付着している状態では、汚染物を濾紙に
転着させることが困難である。したがって、スミヤ法で
は凹凸面の汚染検査が実施できないことがある。

【０００９】他方、ダイレクトサーベイ法では、被測定
物の物体汚染表面を非接触で検査できるために、スミヤ
法で生じた問題に対処できるが、測定物自身が放射線を
放出するものである場合、例えば、放射性廃棄物が収納
されたドラム缶などの容器では、容器表面のみの汚染状
況を測定することができない。ダイレクトサーベイ法で
は周辺の放射線環境レベルの影響、特に被測定物が放出
する放射線レベルの影響を受けやすい問題がある。

【００１０】被測定物の物体表面に付着した汚染物を、
非接触かつドライな方法で除染処理する表面処理技術に
レーザを用いた除染技術（特公平１−４５０３９）が開
示されている。

【００１１】この除染技術は、除染する酸化物層の厚さ
よりも実質的に大きい幅で熱透過を達成するのに十分な
エネルギ密度のレーザ光を除染する酸化物層に走査する
ものである。

【００１２】しかし、このレーザ除染技術では物体表面
に付着した汚染物だけでなく、放射性核種を取り込んで
いない酸化物層も同時に除去されるため、母材が金属で
ある場合には、物体表面の除染処理後に、腐食防止のた
めの酸化膜形成処理を別途酸化剤などで施工する必要が
ある。

【００１３】また、除染された汚染物を捕集して、捕集
した汚染物の放射線を計測するシステムになっておら
ず、汚染検査を実施する場合には、フィルタ等への捕集
を行い、そのフィルタを放射線計測することになり、汚
染物を保持したフィルタを放射線検出器の前面に設置
し、放射線計測後、そのフィルタを放射線検出器の前面
から排出または排除するといった操作が必要になり、手
間がかかるとともに２次廃棄物としての使用済みフィル
タが発生してしまう。

【００１４】さらに、物体表面の除染処理後に酸化剤に
よる酸化被膜形成処理が必要になることに着目し、被測
定物の物体表面除染と改質層の形成を一度に行いうるレ
ーザ除染方法として特願平６−２４６０５４の明細書お
よび図面に開示された技術がある。

【００１５】この除染方法は、除染を行う酸化物層に第
１のレーザ光を照射して放射性酸化物を除去した後、そ
の放射性酸化物を除去した物体表面に第２のレーザ光を
照射するとともに酸化剤などの改質材を供給して表面改
質層を形成するようにしたものである。

【００１６】しかしながら、このレーザ除染方法では、
被測定物の物体表面の汚染部位を特定することが困難で
あり、物体表面のどこが局所的に汚染しているのか検出
することができない。このため、物体表面汚染が局所的
であっても、表面汚染部位以外の不必要箇所まで除染処
理を行い、その後に酸化被膜形成処理を行っており、効
率のよい有効的な表面処理とはいえなかった。さらに、
汚染検査だけならば除染により汚染物質を母材ごと剥離
して、それから表面処理を行うのは効率的でない。除染
した汚染物を回収して汚染検査を行う場合には、上述の
フィルタ等への回収および放射線計測に関わる手間や２
次廃棄物の発生などの問題がある。

【００１７】また、一般に、レーザ除染方法では、アブ
レーションを用いて被測定物の表面層を剥離させたり、
あるいは表面層を除去させてしまうため、汚染していな
い表面層（有益な酸化膜や塗装膜、または金属母材その
もの）まで痛めてしまい、表面汚染検査装置として好ま
しいものでなかった。

【００１８】本発明は上述した事情を考慮して成された
もので、その目的は、検査対象物の母材や検査対象物の
表面に塗装された塗膜を損傷させることなく非接触にて
表面汚染検査を行い、従来の汚染検査に見られるような
汚染物が付着した濾紙やフィルター等の２次廃棄物を低
減し、汚染部位拡大の防止を図った非接触型表面汚染検
査装置および方法を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、検査
対象物の表面に付着した汚染物にレーザ光を照射し、汚
染物を微粒子化して脱離させるレーザー光照射手段と、
前記検査対象物から脱離した汚染物を捕集する捕集手段
と、この捕集手段に捕集された汚染物から放出される放
射線を測定する放射線測定手段とを備え、前記検査対象
物の表面汚染部位および表面汚染密度の検査を非接触に
て行う非接触型表面汚染検査装置であって、前記捕集手
段は、前記検査対象物から脱離した汚染物の微粒子をそ
の表面上に直接付着させる固体の捕集部材と、前記検査
対象物から脱離した汚染物の微粒子を前記捕集部材に吸
着させる吸着機構とを備えたことを特徴とする。

【００２０】本発明によれば、レーザ光の照射により、
非接触で検査対象物に付着した汚染物を検査することが
できる。しかも、汚染物の捕集は、固体の捕集部材に直
接汚染物を捕集するので、その捕集部材は、放射線測定
およびその後の処理について従来使用していたフィルタ
式の構成のものと異なり濾過装置を必要とせず、操作が
容易となる。

【００２１】請求項２の発明は、請求項１記載の非接触
型表面汚染検査装置において、捕集部材に付着した汚染
物をレーザ光の照射により脱離させ、捕集部材を再生す
る捕集部材再生手段を備えたことを特徴とする。

【００２２】本発明によれば、固体の捕集部材を使用
し、捕集部材再生手段との組み合わせて使用することに
よって捕集部材に付着した汚染物を容易に脱離させ、再
生させるので、汚染物が付着したフィルタや紙などを多
量に生じた従来のものと比べて２次廃棄物を低減でき
る。

【００２３】請求項３の発明は、請求項１または２記載
の非接触型表面汚染検査装置において、検査対象物の表
面から脱離した汚染物を周りの空気とともに吸引して回
収する吸引手段と、この吸引手段の吸引口に汚染物を案
内するガイドとを備え、前記吸引手段の吸引経路に捕集
手段を設けたことを特徴とする。

【００２４】本発明によれば、吸引手段と案内ガイドと
を使用し、検査対象物の表面から空気中に飛散した汚染
物を周りの空気とともに吸引するので、脱離した汚染物
の拡大を防止できる。さらに、吸引手段の吸引経路に捕
集手段を設けたので捕集効率が高まる。

【００２５】請求項４の発明は、請求項１から３までの
いずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置において、
レーザ光照射手段は可撓性接続手段を介して固体レーザ
発信機に接続され、前記レーザ光照射手段は検査対象物
の表面に０．４Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ
光を照射させる光学系を備えたことを特徴とする。

【００２６】本発明によれば、検査対象物の表面に０．
４Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ光を照射させ
る光学系を備えているので、従来過度に検査対象物の表
面を剥離していたものと比べ検査対象物の表面に損傷を
与えない。

【００２７】請求項５の発明は、請求項１から４までの
いずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置において、
吸着機構は、検査対象物と捕集手段との間に電界を生じ
させる電界発生手段を備えたことを特徴とする。

【００２８】本発明によれば、電界発生手段により、検
査対象物から微粒子化して脱離し、イオン化した汚染物
を捕集部材に容易に吸着できる。

【００２９】請求項６の発明は、請求項１から４までの
いずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置において、
レーザ光照射手段は、検査対象物の表面に照射されるレ
ーザ光の断面形状を円、長円、または矩形に整形し、か
つレーザ光のエネルギ密度分布を均一化させる光学系を
備えたことを特徴とする。

【００３０】本発明によれば、汚染部位の形状に合わせ
てレーザ光の断面形状を整形するので、効率よく汚染物
を捕集できる。

【００３１】請求項７の発明は、請求項４記載の非接触
型表面汚染検査装置において、可撓性接続手段は、少な
くとも１つの屈曲部を有し、この屈曲部は一定の軸方向
に回転自在な関節型の接続機構によって接続され、前記
屈曲部の関節にはレーザ光の反射ミラーが設けられた多
関節ミラー型の導光管であることを特徴とする。

【００３２】本発明によれば、可撓性接続手段は、多関
節ミラー型の導光管であるので、３次元的自在にレーザ
光を照射できるので、検査対象物の表面の任意の箇所に
レーザ光を照射できる。

【００３３】請求項８の発明は、請求項４記載の非接触
型表面汚染検査装置において、可撓性接続手段はマルチ
バンドルファイバであり、このマルチバンドルファイバ
の入出射部にはレーザ光軸と垂直に複数のレンズを配置
したマルチレンズである光学系を備えたことを特徴とす
る。

【００３４】本発明によれば、可撓性接続手段は、マル
チバンドルファイバであるので、３次元的自在にレーザ
光を照射できるので、検査対象物の表面の任意の箇所に
レーザ光を照射できる。さらに、このマルチバンドルフ
ァイバの入出射部にはマルチレンズである光学系を備え
たので、レーザ光の整形を容易に行える。

【００３５】請求項９の発明は、請求項１から４までの
いずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置において、
捕集部材は、平板状、筒状、円弧板状であることを特徴
とする。

【００３６】請求項１０の発明は、請求項９記載の非接
触型表面汚染検査装置において、捕集部材は、汚染物を
捕集する捕集面上に溝またはグレーティングを設けたこ
とを特徴とする。

【００３７】本発明によれば、捕集部材は、捕集面上に
溝またはグレーティングを設けたので、汚染物との接触
面積を増大させ、捕集効率を高めることができる。

【００３８】請求項１１の発明は、請求項９記載の非接
触型表面汚染検査装置において、捕集部材には、雰囲気
ガスの一部が通過する複数の細孔を穿設したことを特徴
とする。

【００３９】本発明によれば、捕集部材には、複数の細
孔を穿設したので、汚染物の吸引時に、空気が細孔を通
過し、吸引手段の圧力損失を低減できる。

【００４０】請求項１２の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集部材再生手段は、レーザ光の少なくとも一部を
捕集部材に照射する光学系と、捕集部材をレーザ光で走
査することにより汚染物を再脱離して捕集部材を再生す
る捕集部材再生装置とを備え、この捕集部材再生装置
は、圧電素子であるピエゾ素子を用いた反射体であるピ
エゾミラースキャナー、電流量の制御により駆動可能な
反射体であるガルバノメータスキャナー、ポリゴンミラ
ースキャナー、または音響光学素子を用いた音響光学素
子変調器であることを特徴とする。

【００４１】請求項１３の発明は、請求項３記載の非接
触型表面汚染検査装置において、吸引経路に光透過部を
設け、前記吸引経路内に設けられた捕集部材は、汚染物
を吸引する軸方向に対向し、かつ前記光透過部からのレ
ーザ光に対して傾斜する角度をもって設置したことを特
徴とする。

【００４２】本発明によれば、汚染物の捕集と捕集部材
の再生とを同じ場所で行うので、装置構成を簡略化でき
る。

【００４３】請求項１４の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集部材は汚染物を捕集する位置と、放射線を測定
する位置と、汚染物を除去し、捕集部材を再生する位置
とに移動する捕集部材移動機構を備えたことを特徴とす
る。

【００４４】本発明によれば、捕集部材は捕集部材移動
機構を備えているので、人手による移動作業が不要とな
り、放射線被爆を低減できる。

【００４５】請求項１５の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集部材は、汚染物を捕集する位置と、放射線を測
定する位置と、捕集部材を再生する位置とに移動可能な
カセット式の構造を有したことを特徴とする。

【００４６】本発明によれば、捕集部材はカセット式の
構造を有しているので、装置構成を簡略化できる。

【００４７】請求項１６の発明は、請求項１２記載の非
接触型表面汚染検査装置において、捕集部材は、レーザ
光の波長に対し光学的に透明であり、捕集部再生手段
は、捕集部材の汚染物が付着した面に向かう方向および
汚染物が付着していない面に向かう方向のうち、少なく
とも一方向から捕集部材にレーザ光を照射する光学系を
備えたことを特徴とする。

【００４８】本発明によれば、捕集部材は、レーザ光の
波長に対し光学的に透明であるので、捕集部材の汚染物
が付着した捕集面側と捕集面の裏側とのどちら側からで
もレーザ光を照射できるので、捕集部材再生手段の配置
上の制約が少なくなる。

【００４９】請求項１７の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、少なくとも一部が導電体である捕集部
材を備え、前記導電体に直流電圧を印加する電源と、こ
の電源から印加する直流電圧を制御する制御手段とによ
り、検査対象物から脱離した汚染物の微粒子の捕集と、
捕集部材の再生とを行うことを特徴とする。

【００５０】本発明によれば、制御手段により汚染物の
捕集時には、電界を発生させ、捕集部材の再生時には電
界を発生させない制御を行うので、汚染物の捕集と捕集
部材の再生とを効率良く実施できる。

【００５１】請求項１８の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、少なくとも一部が半永久的に電気的に
正または負に分極しているエレクトリック部材からなる
捕集部材を備えたことを特徴とする。

【００５２】本発明によれば、外部から電圧を印加する
必要がないので、捕集部材の構成を簡略化できる。

【００５３】請求項１９の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、互いに絶縁された複数の捕集部材と、
この各捕集部材間に電界を生じさせる電界発生手段とを
備えたことを特徴とする。

【００５４】本発明によれば、電界発生手段により捕集
部材間に電界が発生するのでマイナスイオンに保持され
た汚染物とプラスイオンに保持された汚染物との両方の
イオンに保持された汚染物を捕集できる。

【００５５】請求項２０の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、検査対象物と捕集部材との間に電界を
生じさせる電界発生手段を備えたことを特徴とする。

【００５６】本発明によれば、電界発生手段により生じ
た電界により、イオンに保持された汚染物を静電的に捕
集でき、汚染物の捕集効率が一層高まる。

【００５７】請求項２１の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、コロナ放電またはアーク放電し、検査
対象物から脱離した汚染物の微粒子をイオン化させるイ
オン化手段を備えたことを特徴とする。

【００５８】本発明によれば、イオン化手段により空気
中のイオン濃度が高まり、帯電した捕集部材への汚染物
の捕集効率が高まる。

【００５９】請求項２２の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集手段は、捕集位置で一定の軸心回りに間欠回転
される捕集部材を備え、この捕集部材の外周面に対向す
る複数の位置に汚染物の捕集作業と同時に駆動される放
射線測定手段および捕集部材再生手段を備えたことを特
徴とする。

【００６０】本発明によれば、汚染物の捕集と放射線の
測定と捕集部材の再生とを同時期に行うことができるの
で、作業工程を短縮化できる。

【００６１】請求項２３の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、捕集部材は平板状であり、この捕集部材の捕集面の
反対側の面に放射線測定手段の固体シンチレータを配置
し、捕集部材と放射線測定手段とが一体化した構成とし
たことを特徴とする。

【００６２】本発明によれば、捕集部材と放射線測定手
段とが一体化しているので装置構成を簡略化できる。

【００６３】請求項２４の発明は、請求項２３記載の非
接触型表面汚染検査装置において、放射線測定手段の固
体シンチレータは、フッ化カルシウムシンチレータ、ガ
ラスシンチレータ、プラスチックシンチレータ、硫化亜
鉛シンチレータ、またはセラミックシンチレータである
ことを特徴とする。

【００６４】請求項２５の発明は、請求項２３記載の非
接触型表面汚染検査装置において、放射線測定手段の固
体シンチレータは、シンチレータ本体の表面に金属蒸着
膜をコーティングするとともに、この金属蒸着膜の表面
にガラス面をコーティングまたは接着し、さらにガラス
面の表面に捕集部材としてレーザ光を反射する誘電体多
層膜をコーティングしたものであることを特徴とする。

【００６５】本発明によれば、誘電体多層膜により、捕
集部材再生用のレーザ光を反射するので、蒸着膜のレー
ザ光による損傷を防ぐことができる。

【００６６】請求項２６の発明は、請求項１から４まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、吸引手段は、検査対象物から脱離した汚染物を吸引
する主配管と、捕集部材から脱離した汚染物を吸引する
バイパス配管とを備えたことを特徴とする。

【００６７】本発明によれば、バイパス配管とを備えた
ことにより、捕集部材から脱離した汚染物の回収を確実
に行うことができる。

【００６８】請求項２７の発明は、請求項１から３まで
のいずれかに記載の非接触型表面汚染検査装置におい
て、レーザ光照射手段は、クロム酸鉛を含む塗装顔料が
塗装されている検査対象物表面に、赤外線領域の波長の
レーザ光を照射する光学系を備えたことを特徴とする。

【００６９】本発明によれば、赤外線領域の波長のレー
ザ光を照射することにより、クロム酸鉛を含む塗装顔料
が塗装されている検査対象物表面を損傷させることなく
検査ができる。

【００７０】請求項２８の発明は、検査対象物の表面に
付着した汚染物をレーザ光の照射によって微粒子化して
脱離させ、前記検査対象物から脱離した汚染物を捕集
し、捕集された汚染物から放出される放射線を測定し、
前記検査対象物の表面汚染部位および表面汚染密度を非
接触にて行う非接触型表面汚染検査方法であって、前記
検査対象物から脱離した汚染物を固体の捕集部材に直接
捕集し、この捕集した汚染物に基づいて検査対象物の表
面汚染を検査することを特徴とする。

【００７１】本発明によれば、レーザ光を照射すること
により非接触で、検査対象物に付着した汚染物を検査す
ることができる。しかも、汚染物の捕集は、固体の捕集
部材に直接汚染物を捕集するので、従来使用していたフ
ィルタ式の捕集方法と異なり、放射線測定およびその後
の処理について濾過装置を必要とせず、操作が容易とな
る。

【００７２】請求項２９の発明は、請求項２８記載の非
接触型表面汚染検査方法において、放射線測定終了後、
捕集部材に付着した汚染物を脱離させることにより捕集
部材を再生することを特徴とする。

【００７３】本発明によれば、捕集部材を再生するの
で、捕集部材の再使用が可能となり、従来発生していた
汚染物の付着したフィルタや紙などの２次廃棄物を低減
できる。

【００７４】請求項３０の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集部材に導く工程では、微粒子化した汚染物を周りの
空気とともに吸引することを特徴とする。

【００７５】本発明によれば、空中に飛散した汚染物を
周りの空気とともに吸引するので、空中に飛散した汚染
物の拡大を防止できる。

【００７６】請求項３１の発明は、請求項３０記載の非
接触型表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工
程では、吸気による捕集、検査対象物と捕集部材との間
に電界を生じさせることによる捕集のうち少なくともい
ずれかを行うことを特徴とする。

【００７７】本発明によれば、吸気もしくは電界の作用
により汚染物の捕集を行うので、比較的容易な方法で汚
染物の捕集を行うことができる。

【００７８】請求項３２の発明は、請求項２９記載の非
接触型表面汚染検査方法において、捕集手段を再生する
工程では、捕集部材に付着した汚染物をレーザ光の照射
により脱離させることを特徴とする。

【００７９】本発明によれば、レーザ光の照射により捕
集部材の再生を行うので、乾式で捕集部材の再生を行う
ことができる。

【００８０】請求項３３の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、捕集部材
を再生する工程では、光学的に透明な捕集部材を使用
し、汚染物が付着した捕集部材の捕集面に向かう方向、
汚染物が付着していない捕集部材の捕集面に向かう方向
のうち少なくともいずれか一方向からレーザ光を照射す
ることを特徴とする。

【００８１】本発明によれば、光学的に透明な捕集部材
を使用するので、レーザ光を照射位置を制限しない。

【００８２】請求項３４の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
脱離する工程では、検査対象物および捕集部材に０．４
Ｊ／ｃｍ²以下のレーザ光を照射することを特徴とす
る。

【００８３】本発明によれば、０．４Ｊ／ｃｍ²以下の
レーザ光を使用するので、検査対象物および捕集部材に
損傷を与えず、健全性を保つことができる。

【００８４】請求項３５の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、捕集部材に外部から電気エネルギを
加えることを特徴とする。

【００８５】本発明によれば、汚染物を静電的に捕集す
るので、従来フィルタなどでは透過して捕集できなかっ
た微粒子も捕集することができ、汚染物をより確実に捕
集できる。

【００８６】請求項３６の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、捕集部材として半永久的に電気エネ
ルギをもつ部材を使用することを特徴とする。

【００８７】本発明によれば、捕集部材として半永久的
に電気エネルギをもつ部材を使用するので、電圧を印加
する装置を必要とせず、装置構成を簡略化できる。

【００８８】請求項３７の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、互いに絶縁された複数の捕集部材の
少なくともひとつの捕集部材に電圧を印加し、各捕集部
材間に電界を生じさせることを特徴とする。

【００８９】本発明によれば、マイナスイオン保持され
た汚染物とプラスイオンに保持された汚染物とを捕集で
き、捕集効率を高めることができる。

【００９０】請求項３８の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、捕集部材に電圧を印加し、検査対象
物と捕集部材との間に電界を生じさせることを特徴とす
る。

【００９１】本発明によれば、汚染物を静電的に捕集す
るので、従来フィルタなどでは透過して捕集できなかっ
た微粒子状の汚染物も捕集でき、汚染物の捕集効率を高
めることができる。

【００９２】請求項３９の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、汚染物の流路を遮る位置に設けられ
た捕集部材を使用することを特徴とする。

【００９３】本発明によれば、捕集部材は、汚染物の流
路を遮る位置に設けられるので、吸引された汚染物の粒
子の慣性衝突による捕集効果があり、捕集効率を高める
ことができる。

【００９４】請求項４０の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、溝またはグレーティングを有した捕
集部材を使用することを特徴とする。

【００９５】本発明によれば、溝またはグレーティング
により、汚染物との接触面積が広がり、捕集効率を高め
ることができる。

【００９６】請求項４１の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集する工程では、複数の細孔が穿設された捕集部材を
使用することを特徴とする。

【００９７】本発明によれば、細孔を空気が通過し、汚
染物吸引の際の圧力損失を防止できる。

【００９８】請求項４２の発明は、請求項２９記載の非
接触型表面汚染検査方法において、捕集部材を再生する
工程では、捕集部材の捕集面を検査対象物の表面に対し
て傾斜させ、かつ前記捕集面に対して傾斜する方向に再
生用のレーザ光を照射することを特徴とする。

【００９９】請求項４３の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、汚染物を
捕集した捕集部材を放射線測定位置に移動させ、放射線
測定終了後、捕集部材再生位置に移動させ、捕集部材再
生終了後、汚染物捕集位置に移動させることを特徴とす
る。

【０１００】請求項４４の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、捕集位置
で一定の軸心回りの回転機構によって間欠回転可能に構
成された捕集手段により、捕集部材の外周面に対向する
複数の位置で汚染物の捕集と、放射線測定と、捕集手段
の再生とを同時に行うことを特徴とする。

【０１０１】本発明によれば、汚染物の捕集と、放射線
測定と、捕集手段の再生とを同時に行うので、検査時間
を短縮化できる。

【０１０２】請求項４５の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、固体の放
射線測定手段の検出素子面に設けられた捕集部材の表面
上に汚染物を捕集することを特徴とする。

【０１０３】本発明によれば、固体の放射線測定手段の
検出素子面に設けられた捕集部材の表面上に汚染物を捕
集するので、装置が簡略化され、駆動部が少なくなるの
で、コストが低減され、信頼性が向上する。

【０１０４】請求項４６の発明は、請求項４５記載の非
接触型表面汚染検査方法において、放射線測定手段であ
る固体シンチレータを遮光膜で被覆し、この遮光膜を薄
膜で被覆することを特徴とする。

【０１０５】本発明によれば、放射線測定手段である固
体シンチレータを使用することで装置を小型化すること
ができる。

【０１０６】請求項４７の発明は、請求項４６記載の非
接触型表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工
程では、導電体の遮光膜または薄膜に電圧を印加するこ
とを特徴とする。

【０１０７】請求項４８の発明は、請求項４５記載の非
接触型表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工
程では、誘電体の遮光膜または薄膜に電圧を間接的に印
加することを特徴とする。

【０１０８】請求項４９の発明は、請求項２９記載の非
接触型表面汚染検査方法において、捕集部材から脱離し
た汚染物を周りの空気とともに吸引し、ガス成分と粒子
成分とに分離し、ガス成分は排気し、粒子成分は回収す
ることを特徴とする。

【０１０９】本発明によれば、ガス成分は排気し、粒子
成分は回収するので、汚染物の回収を確実に行うことが
できる。

【０１１０】請求項５０の発明は、請求項２９記載の非
接触型表面汚染検査方法において、捕集部材を再生する
工程では、捕集部材に付着した汚染物を拭き取るか、ま
たは液体で洗浄することを特徴とする。

【０１１１】請求項５１の発明は、請求項２８または２
９記載の非接触型表面汚染検査方法において、クロム酸
鉛を含む塗装顔料が塗装されている検査対象物表面に、
赤外線領域の波長のレーザ光を照射することを特徴とす
る。

【０１１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る非接触型表面
汚染検査装置および方法の実施の形態を図面に基づいて
説明する。

【０１１３】第１の実施の形態（図１〜図５）本発明に係る非接触型表面汚染検査装置は、検査対象物
の表面汚染部位および表面汚染密度を非接触にて検出す
る装置である。また、この非接触型表面汚染検査装置は
汚染物を固体の捕集部材上に直接転着捕集し、放射線測
定終了後、捕集部材を再生することができる装置であ
る。

【０１１４】図１は本発明に係る非接触型表面汚染検査
装置の第１の実施の形態を示す全体的なシステム構成図
である。

【０１１５】この非接触型表面汚染検査装置１は、図１
に示すように検査対象物２にレーザ光Ｌを照射し、検査
対象物２に付着した汚染物３を脱離させるレーザ光照射
手段４を備えている。検査対象物２と表面汚染検査装置
１との相対移動は、検査対象物２が設置された回転・昇
降機構５により検査対象物２が移動するようになってい
る。検査対象物２が壁面や天井面のように建物の一部で
ある場合には、レーザ光照射手段４を移動装置に積載し
て移動させるか、表面汚染検査装置１を自走式のロボッ
トに積載して移動させてもよい。いずれにしても、検査
対象物２とレーザ光照射手段４は相対的移動自在に支持
されている。この相対移動は、レーザ光Ｌの照射と汚染
物３の捕集のタイミングにより検査対象物２の表面の汚
染部位の特定が行えるようになっている。

【０１１６】レーザ光照射手段４は可撓性接続手段６を
介して計装制御盤７に内蔵されたレーザ光Ｌを発振する
固体レーザ発振器８に接続されている。レーザ光照射手
段４には、固体レーザ発振器８からのレーザ光Ｌを整形
・調整する光学系９が内蔵されている。

【０１１７】計装制御盤７には、固体レーザ発振器８の
ほかに、諸装置に電圧を印加する電源１０と、空気を吸
気する排気手段１１と、汚染物を回収する汚染物回収手
段１２と、信号を処理する信号処理手段１３と、諸装置
を制御する制御手段１４とを備えた構成となっている。

【０１１８】検査対象物２の表面のレーザ光照射位置付
近には、所要の間隔をおいて配置され、検査対象物２か
ら脱離した汚染物３を効率よく吸引する案内ガイド１５
が拡開して設けられ、この案内ガイドは可撓性の吸引配
管１６に接続されている。また、この吸引配管１６の吸
引経路には汚染物を捕集する捕集手段１７が設けられ、
この捕集手段１７は固体の捕集部材１８を内蔵してい
る。さらに、吸引配管１６は空気を吸気する排気手段１
１に接続され、吸引配管１６と排気手段１１とで吸引手
段１９を構成している。

【０１１９】捕集手段１７付近には、捕集部材１８に付
着した汚染物３のα線またはβ（γ）線の測定を行う放
射線測定手段２０が設けられている。検査対象物２の表
面汚染部位の特定および表面汚染の計測は、計測された
放射線検出信号を処理し、α線またはβ（γ）線の計数
を求める信号処理手段１３と、放射線計数の記録と検査
対象物の表面汚染部位の汚染放射能への換算を行う解析
制御計算機２１と、必要な測定パラメータを入力する入
力装置２２と、得られた放射線計数や検査対象物の表面
部位の汚染放射能の評価値を出力する出力装置２３とに
よって行われるようになっている。

【０１２０】また、捕集手段１７付近には、放射線測定
終了後、捕集部材１８に付着した汚染物２を脱離させ、
捕集部材を再生させる捕集部材再生手段２４が設けられ
ている。

【０１２１】図２は、本実施形態に用いられる可撓性接
続手段６付近を拡大して示す図である。本実施形態で
は、可撓性接続手段６として多関節ミラー型の導光管２
５が用いられている。

【０１２２】図２に示すように導光管２５は、基端部で
はレーザ光Ｌを発振する固体レーザ発振器８に接続され
るとともに、先端部ではレーザ光Ｌを検査対象物２に照
射するレーザ光照射手段４に接続されている。また、導
光管２５には、屈曲部として一定の軸方向に回転自在な
２つの関節２６が設けられている。この関節２６によ
り、導光管２５は３次元的に自在に動くことができるの
で、可撓性接続手段６となっている。また、この関節２
６には、固体レーザ発振器８からのレーザ光Ｌをレーザ
光照射手段４に案内する反射ミラー２７が内蔵されてい
る。

【０１２３】レーザ光照射手段４には、レーザ光Ｌのビ
ーム断面形状およびエネルギ密度を整形・調整する光学
系９が内蔵されている。固体レーザ発振器８から発振さ
れるレーザ光Ｌは、光学系９により整形され、ビーム断
面形状を長円にしている。この光学系９は、ビーム断面
形状を円形、矩形（正方形や長方形）にも整形可能な構
成となっている。さらにこの光学系９は、レーザ光Ｌの
エネルギ密度分布を均一化するようになっている。

【０１２４】この光学系９により、レーザ光Ｌのエネル
ギ密度は、検査対象物２の母材や表面の塗膜に損傷を与
えず、かつ検査対象物２の表面に付着した汚染物３を脱
離させるように調整されている。このようなエネルギ密
度の適切な範囲を図３を用いて説明する。

【０１２５】図３は、レーザ光のエネルギ密度と酸化鉄
粒子の脱離量および母材表面の変色領域との関係を示す
グラフである。

【０１２６】図３の曲線ａでは、レーザ光ＬとしてＮ
ｄ：ＹＡＧパルスレーザ（波長１０６４ナノメータ、パ
ルス幅数μｓｅｃ）を用い、また、汚染物３を摸したも
のとして酸化鉄微粒子を用い、レーザ光Ｌのエネルギ密
度を変化させて検査対象物２に照射し、このレーザ光の
エネルギ密度と検査対象物２の表面に付着した酸化鉄微
粒子の脱離量との関係を示している。酸化鉄（マグネタ
イト）微粒子（粒径〜１μｍ）は、バインダー等の接着
剤を付与することなしに検査対象物２の表面に吹き付
け、検査対象物２の母材表面とほぼ分子間力のみで結合
した状態である。この酸化鉄微粒子が付着した検査対象
物２の表面を濾紙で擦れば、酸化鉄微粒子の一部を拭き
取ることができる。しかし、濾紙で擦ることにより酸化
鉄微粒子が付着していない部分にも、酸化鉄微粒子は移
行してしまう。また、濾紙で擦ったことにより、検査対
象物２の表面が帯電し、濾紙で擦るだけでは酸化鉄微粒
子を拭き取りにくくなる場合もある。

【０１２７】酸化鉄微粒子を付着させた検査対象物２と
しては、炭素鋼に黄色の塗料を焼き付け塗装した、いわ
ゆる黄色いドラム缶表面を模擬したもの、ならびにステ
ンレス鋼を機械研磨（エメリー番号５００番相当）した
ものが用いられている。図３の曲線ｂおよびｃでは、こ
れらの検査対象物２の表面が変色する領域の面積とレー
ザ光Ｌのエネルギ密度の関係も示している。

【０１２８】図３の曲線ａ〜ｃに示すように、レーザ光
Ｌのエネルギ密度が０．４Ｊ／ｃｍ²近傍では、検査対
象物２に付着させた酸化鉄微粒子は高い確率で脱離する
一方、黄色焼き付け塗装面および研磨されたステンレス
鋼の表面は変色しない。したがって、汚染物３が付着し
た検査対象物２に０．４Ｊ／ｃｍ²のエネルギ密度のレ
ーザ光Ｌを照射すれば、検査対象物２の母材（検査対象
物が塗装物であれば塗膜）を損傷させることなく汚染物
３を高い効率で脱離させることができ、除染効果を高く
することができる。なお、表面汚染検査をする場合に
は、汚染物３の脱離効率は高くなくてもよいので、０．
４Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ光Ｌを照射す
ればよい。

【０１２９】すなわち、表面汚染検査の際には、０．４
Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ光Ｌの照射を行
い、表面汚染検査の結果、甚大な汚染が特定された部位
に０．４Ｊ／ｃｍ²程度のレーザ光Ｌを再照射すれば、
検査対象物２の表面に損傷を与えることなく除染を実施
できる。

【０１３０】また、検査対象物２にクロム酸鉛を含む顔
料を用いた塗装面には、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの基本波長
１０６４ナノメータのような赤外領域のレーザ光Ｌが適
切である。例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの第２高調波５
３２ナノメータまたはＮｄ：ＹＡＧレーザの第３高調波
３５５ナノメータのレーザ光Ｌをクロム酸鉛を含む顔料
を用いた塗装面に照射した場合、図３に示す曲線ｃは、
曲線ａに近づいてしまう。検査対象物２が塗装のないス
テンレス鋼の場合には、レーザ光の波長による検査対象
物２の表面の変色度合いへの影響は、ほとんどない。

【０１３１】さらに、塗装剤に有機高分子系の樹脂が含
まれると、塗装面は透明な樹脂でコーティングされてい
る場合があり、このような検査対象物２の表面へのレー
ザ光Ｌの照射には、レーザ光Ｌによる熱影響を考慮しな
ければならない。例えば数μｓｅｃオーダーの短いパル
ス幅のレーザ光Ｌだと熱影響が少ない。ただし、長いパ
ルス幅のレーザ光Ｌでもパルスの繰り返し時間との兼ね
合いで使用可能である。

【０１３２】図４は、本実施形態に用いられる捕集手段
付近を拡大して示す図である。図４に示すように、検査
対象物２の表面のレーザ光Ｌの照射位置付近には、検査
対象物２から微粒子化して脱離した汚染物３を効率的に
吸引する案内ガイド１５が拡開して設けられ、この案内
ガイド１５は可撓性の吸引配管１６に接続されている。
また、吸引配管１６は排気手段１１に接続され、この排
気手段１１の吸気により、検査対象物２から微粒子化し
て脱離した汚染物３を周りの空気とともに吸引するよう
になっている。

【０１３３】吸引配管１６内の検査対象物２付近には、
平板状の固体の捕集部材１８が設けられている。この捕
集部材１８の汚染物を捕集する面の反対側の位置には吸
着機構として電界発生手段２８が設けられ、この電界発
生手段２８は、高圧電圧を印加する電源１０に接続され
ている。また、捕集部材１８と電界発生手段２８とは絶
縁体２９により絶縁されている。そして、捕集部材１８
は電界発生手段２８に印加された高圧電圧により電気分
極を起こすようになっている。つまり、捕集部材１８の
検査対象物２に対向する捕集面は帯電している。本実施
形態では、電界発生手段２８に正の電圧を印加している
ので、捕集部材１８の捕集面は正に帯電している。ま
た、検査対象物２は接地３０していて、検査対象物２と
捕集部材１８との間には電界が生じている。

【０１３４】レーザ光Ｌの照射により検査対象物２から
微粒子化して脱離した汚染物３は、空気中のイオンやレ
ーザ光Ｌの照射により電離したイオンに保持され、検査
対象物２と捕集部材１８との間の電界により捕集部材１
８の捕集面上に捕集されるようになっている。また、微
粒子化した汚染物３は、排気手段１１の吸気により周り
の空気とともに吸引され、汚染物３の吸引経路を遮る位
置に設けられた捕集部材１８に慣性衝突し、捕集面に捕
集されるようになっている。

【０１３５】なお、捕集部材１８を導体とし、直接捕集
部材１８に電源１０を接続してもよい。この場合、捕集
部材１８は電界発生手段２８を兼ねる。また、捕集部材
１８の形状は、平板状のほかにも円弧板状や筒状であっ
てもよく、検査対象物２から微粒子化して脱離した汚染
物３の吸引経路を効果的に遮る形状であればよい。

【０１３６】また、捕集部材１８の捕集面には、図示な
い細かい溝またはグレーティングが施され、汚染物３と
の接触面積を増大させ、汚染物３の捕集効率を高めるよ
うになっている。なお、汚染物３の捕集効率が十分得ら
れれば、溝やグレーティングを施さなくてもよい。

【０１３７】さらに、捕集部材１８には、図示しないミ
リメートルオーダーの数個の細孔が穿設され、この細孔
を空気が通過することにより排気手段１１の負荷を低減
するようになっている。なお、排気手段１１による吸気
を十分に行えれば、細孔を穿設しなくてもよい。

【０１３８】図５は、本実施形態に用いられる捕集部材
および捕集部材再生手段を拡大して示す図である。本実
施形態に用いられる捕集部材１８は、光学的に透明な性
質を有する。また、捕集部材再生手段２４には、図５に
示すように光学系として、レーザ光Ｌを分割するビーム
スプリッタ３１が設けられている。また、捕集部材再生
装置として、圧電素子であるピエゾ素子を用いた２つの
ピエゾミラースキャナー３２、３３が設けられている。
このピエゾミラースキャナー３２、３３はビームスプリ
ッタ３１で分割されたレーザ光Ｌを捕集部材１８上に走
査するものである。固体の捕集部材１８の表面の汚染物
３を捕集する捕集面側にピエゾミラースキャナー３２が
設けられ、捕集面の裏側にピエゾミラースキャナー３３
が設けられている。

【０１３９】レーザ光Ｌは、ビームスプリッタ３１で分
割され、ピエゾミラースキャナー３２で捕集面側からレ
ーザ光Ｌを捕集面上に走査するとともに、ピエゾミラー
スキャナー３３で捕集面の裏側からレーザ光Ｌを走査
し、光学的に透明な捕集部材１８を透過して捕集面に付
着した汚染物３に照射し、汚染物３を脱離させるように
なっている。

【０１４０】捕集部材再生装置としては、ピエゾミラー
スキャナー３２、３３の他に、電流量の制御により駆動
可能な反射体であるガルバノメータスキャナー、ポリゴ
ンメータスキャナー、または音響光学素子を用いた音響
光学変調器を用いてもよい。

【０１４１】次に、本実施形態の装置を使用した非接触
型表面汚染検査方法について説明をする。

【０１４２】図１に示すように、検査対象物２と表面汚
染検査装置１の相対移動は、検査対象物２が設置された
回転昇降機構５により検査対象物２が移動することによ
り行われる。また、検査対象物２が壁面や天井面のよう
に建物の一部であるような場合には、表面汚染検査装置
１を自走式のロボットに積載して移動してもよい。いず
れにしても、検査対象物２とレーザ光照射手段４とは相
対的移動自在であり、レーザ光Ｌの照射と汚染物２の捕
集のタイミングにより、検査対象物２の表面の汚染部位
の特定を行う。

【０１４３】本実施形態では、図２に示すように、固体
レーザ発振器８からレーザ光Ｌが発振される。レーザ光
Ｌは、可撓性接続手段である多関節型の導光管２５に入
射し、この導光管２５の関節２６に内蔵された反射ミラ
ー２７により案内されながら導光管２５を通過し、レー
ザ光照射手段４に入射する。

【０１４４】さらに、レーザ光Ｌは、レーザ光照射手段
４に内蔵された光学系９によりレーザ光Ｌのビーム断面
積を整形され、エネルギ密度を調整される。この光学系
９では、レーザ光Ｌのエネルギ密度を０．４Ｊ／ｃｍ²
以下、例えば０．２Ｊ／ｃｍ²のエネルギ密度に調整し
て表面汚染検査用レーザ光Ｌとして検査対象物２に照射
する。０．４Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ光
Ｌは、検査対象物２の母材（塗装面であれば塗装膜）に
損傷を与えず検査対象物２に付着した汚染物３の少なく
とも一部を脱離させることができる。

【０１４５】例えば、一般的に入手しやすい０．４Ｊ／
ｃｍ²以上のエネルギ密度のレーザ光Ｌを発振する固体
レーザ発振器８を使用し、光学系９でレーザ光Ｌのビー
ム断面積を広げ、エネルギ密度を下げ、平行レーザ光Ｌ
として検査対象物２に照射してもよい。この場合、レー
ザ光Ｌのビーム断面積が増大するので、表面汚染検査の
処理効率が各段に改善される。レーザ光Ｌのビーム形状
もまた、光学系９により検査対象物２の表面の形状に合
わせて円、長円、矩形（正方形や長方形）に適宜選択す
る。さらに、検査対象物２の表面が、クロム酸鉛を含む
塗料で塗装されている場合、赤外線領域の波長のレーザ
光Ｌを照射する。

【０１４６】そして、図４に示すように、レーザ光照射
手段４から検査対象物２にレーザ光Ｌが照射される。こ
のレーザ光Ｌにより検査対象物２の表面に付着していた
汚染物（ゴミ、埃、粒子状物質、放射性物質など）３の
少なくとも一部が微粒子となって脱離される。脱離され
た汚染物３の微粒子は検査対象物２の外側に向かって飛
散する。この汚染物３の微粒子は、排気手段１１の吸気
によりこの排気手段１１に吸引配管１６を介して接続さ
れ、検査対象物２のレーザ光照射位置に所要の間隔をお
いて配置された案内ガイド１５方向に吸引される。そし
て、吸引配管１６内に設置された捕集部材１８方向に吸
引される。

【０１４７】また、検査対象物２から脱離した微粒子状
の汚染物３は、空気中のイオンやレーザ光Ｌの照射によ
り電離したイオンに保持される。一方、電源１０と接続
された電界発生手段２８と接地３０されている検査対象
物２との間には電界が発生している。したがって、イオ
ン化した微粒子状の汚染物３は電界発生手段２８方向、
つまり、捕集部材１８方向に吸引される。

【０１４８】このようにして、排気手段１１の吸気によ
る吸引と電界発生手段２８の電界による吸引とにより、
イオン化した汚染物３の微粒子は、捕集部材１８方向に
吸引される。捕集部材１８の捕集面は、電界発生手段２
８により帯電している。本実施形態では電界発生手段２
８に正の電圧を印加したものを例示しているので、検査
対象物２に対向する捕集面は、正に帯電している。した
がって、負に帯電した汚染物３の微粒子が捕集部材１８
の捕集面に選択的に吸着される。また、捕集部材１８方
向に吸引された汚染物３微粒子の一部は、慣性衝突によ
り捕集面に捕集される。

【０１４９】捕集部材１８に捕集された汚染物は、図１
に示す放射線測定手段２０によりα線またはβ（γ）線
の測定が行われる。この放射線測定手段２０で計測され
た放射線検出信号は、信号処理手段１３により信号処理
されて、α線またはβ（γ）線の計数が求められ、得ら
れた放射線計数は解析制御計算機２１により記録され
る。必要なパラメータ等は入力装置２２から直接作業員
が入力する。パラメータ値をファイル形式にして入力装
置２２から入力してもよい。そして、最適な校正定数を
解析制御計算機２１に作用させて検査対象物２の表面の
放射能汚染へと換算される。そして、得られた計数や検
査対象物２の表面部位の汚染放射能の評価が出力装置２
３から出力される。

【０１５０】放射線測定手段２０による放射線測定が終
了した後、捕集部材１８に付着した汚染物３の大部分
は、図５に示す捕集部材再生手段２４により除去され
る。この捕集部材１８の再生は、捕集部材再生手段２４
に内蔵された捕集部材再生装置であるピエゾミラースキ
ャナー３２、３３のレーザ光Ｌの走査により行われる。

【０１５１】捕集部材再生手段により捕集部材から脱離
した汚染物は、図１に示す汚染物回収手段に回収され
る。

【０１５２】したがって、本実施形態によれば、検査対
象物２の表面汚染部位および表面汚染密度を非接触にて
比較的簡単な装置で容易に行うことができる。また、固
体の捕集部材１８の表面上に直接汚染物３を捕集し、こ
の捕集部材１８を再生することができるので、捕集部材
１８を繰り返し使用することができる。

【０１５３】第２の実施の形態（図６、図７）本実施形態では可撓性接続手段として、マルチバンドル
光ファイバが用いられている。また、本実施形態では、
筒状の捕集部材が回転機構により間欠回転するようにな
っており、この捕集部材の捕集面と対向する位置には、
汚染物の捕集作業と同時に駆動される放射線測定手段お
よび捕集部再生手段が配置されている。

【０１５４】図６は、本発明に係る非接触型汚染検査装
置の第２の実施の形態に用いられる可撓性接続手段付近
を拡大して示す図である。本実施形態では図６に示すよ
うに、レーザ光Ｌを発振する固体レーザ発振器８には光
学系３４が接続されている。この光学系３４には、レー
ザ光Ｌを分割する複数のビームスプリッタ３５と複数の
レンズから構成されたマルチレンズ３６とが内蔵されて
いる。そして、この光学系３４には可撓性接続手段であ
るマルチバンドル光ファイバ３７とレーザ光Ｌを検出す
るレーザ光モニタ手段３８とが接続されている。マルチ
レンズ３６は、マルチバンドル光ファイバ３７にレーザ
光Ｌを効率よく入射させるために用いられる。本実施形
態では、マルチレンズ３６を縦に並べているが、入射側
のファイバエレメントを束ねマルチバンドル光ファイバ
３７の断面形状を円形にし、この円形に沿った形でレン
ズを配置したマルチレンズ３６を用いてもよい。この場
合には、ファイバ数に応じた数のビームスプリッタ３５
は必要なくなる。

【０１５５】固体レーザ発振器８から発振されたレーザ
光Ｌは光学系３４に入射し、この光学系３４内のビーム
スプリッタ３５で複数に分割され、一部はレーザ光モニ
タ手段３８に入射し、残りはマルチレンズ３６を介して
マルチバンドル光ファイバ３７に入射するようになって
いる。なお、レーザ光モニタ手段３８では、レーザ光Ｌ
のエネルギ密度を常時モニタしており、レーザ光Ｌのエ
ネルギ密度が適切な範囲内にあるか確認するようになっ
ている。

【０１５６】マルチバンドル光ファイバ３７は、ファイ
バエレメントを多数束ねた構造を有しており、１本あた
りのファイバに通すエネルギを小さくしてファイバの損
傷を防止している。

【０１５７】マルチバンドル光ファイバ３７の出射側
は、レーザ光照射手段４に接続されている。このレーザ
光照射手段４には、光学系９として縦に配列されたシリ
ンドリカルレンズのマルチレンズが内蔵されていて、マ
ルチバンドル光ファイバ３７からのレーザ光Ｌのビーム
断面形状を整形し、エネルギ密度を均一化するようにな
っている。本実施形態では、出射側のファイバエレメン
トを縦に並べているが、このファイバエレメントの断面
形状を円または長円になるように並べ変えてもよい。ま
た、光学系９には、プリズムをミラーとを組み合わせた
ホモジナイザを用いてもよい。

【０１５８】マルチバンドル光ファイバ３７からのレー
ザ光Ｌは，レーザ光照射手段４に入射し、このレーザ光
照射手段４に内蔵された光学系９によりレーザ光Ｌのビ
ーム断面形状を整形し、エネルギ密度を均一化して照射
するようになっている。

【０１５９】図７は、本発明に係る非接触型表面汚染検
査装置の第２の実施の形態に用いられる捕集手段付近を
拡大して示す図である。

【０１６０】本実施形態では、図７に示すように捕集部
材１８ａは筒状であり、この捕集部材１８ａは４分割さ
れている。この４分割された捕集部材１８ａの間は、所
要の間隔が保たれ空気を流入可能な構成となっている。
捕集部材１８ａの下端の軸心位置には、支持棒３９を介
して間欠回転する回転機構４０に接続される。さらに、
この捕集部材１８ａの上端には、回転自在なカップリン
グ４１を介して吸引配管１６に接続されている。

【０１６１】吸引配管１６の吸引経路の途中には、３方
弁４２が設けられている。この３方弁４２は、３つのバ
ルブ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを備えている。バルブ４２
ａは吸引配管１６に接続され、バルブ４２ｂは空気を吸
引する排気手段１１に接続され、バルブ４２ｃは空気を
吹き出すブロア手段４３に接続されている。また排気手
段１１は、汚染物３を回収する汚染物回収手段１２に接
続されている。

【０１６２】４分割された捕集部材１８ａの捕集面に
は、汚染物３を捕集する面に対向する面と、放射線を測
定する放射線測定手段２０に対向する面と、捕集部材１
８ａを再生する捕集部材再生手段２４に対向する面とが
ある。

【０１６３】放射線測定手段２０は、この放射線測定手
段２０からの信号を処理する信号処理手段１３に接続さ
れている。また、捕集部材再生装置として、汚染物３が
付着した捕集面にレーザ光Ｌを走査する光学系ピエゾミ
ラー４４が用いられている。この光学系ピエゾミラー４
４によるレーザ光Ｌの走査により捕集部材１８ａから脱
離した汚染物を吸引するために吸引配管１６が設けられ
ている。この吸引配管１６は、吸引経路に設けられた２
方弁４５を介して排気手段１１に接続されている。

【０１６４】このように構成された本実施形態の装置を
用いて表面汚染検査を行う際には、図６に示すように、
固体レーザ発振器８からレーザ光Ｌが発振され、光学系
３４に入射する。この光学系３４に内蔵されたビームス
プリッタ３５によりレーザ光Ｌは分光され、マルチレン
ズ３６により整形され、マルチバンドル光ファイバ３７
に入射する。レーザ光Ｌはマルチバンドル光ファイバ３
７内を通過し、レーザ光照射手段４に入射し、このレー
ザ光照射手段４に内蔵された光学系９により整形・調整
され、エネルギ密度を均一化した状態で検査対象物２の
表面の汚染物３に照射される。このレーザ光Ｌの照射に
より汚染物３は、微粒子化して検査対象物２の外側方向
に飛び出す。

【０１６５】検査対象物２から脱離した汚染物３の捕集
は、図７に示すバルブ４２ａとバルブ４２ｂとを開き、
バルブ４２ｃを閉じた状態で排気手段１１を駆動させる
ことにより行う。この排気手段１１の吸気により４分割
された捕集部材１８ａの間から周囲の空気とともに汚染
物３を捕集部材１８ａの方向に吸引し、微粒子化した汚
染物３を捕集部材１８ａの表面上に捕集する。汚染物３
は、４分割された捕集部材１８ａの検査対象物に対向す
る面に最も多く捕集される。１回目の汚染物３の捕集作
業終了後、回転機構４０により捕集部材１８ａを９０度
回転させる。この回転機構４０での捕集部材１８ａの回
転により、汚染物３が付着した捕集面は、放射線測定手
段２０に対向する位置に移動され、１回目の放射線の測
定が行われる。この１回目の放射線の測定作業を実施す
るのと同時に、２回目の汚染物３の捕集作業を行う。こ
のような汚染物３の捕集作業と放射線測定作業を繰り返
し行い、４回目の捕集作業を行うとき、１回目に汚染物
３を捕集した面が、捕集部材再生装置である光学系ピエ
ゾミラー４４に対向する位置にくる。そして、この光学
系ピエゾミラー４４でのレーザ光Ｌの走査により、捕集
部材１８ａに付着した汚染物３は微粒子化して脱離し、
捕集部材１８ａは再生する。この捕集部材１８ａの再生
時には、吸引配管１６の吸引経路に設けられた２方弁４
５が開かれ、排気手段１１の吸引により捕集部材１８ａ
から脱離した汚染物３は、吸引配管１６から吸引され
る。また、この捕集部１８ａの再生時には、３方弁４２
のバルブ４２ａとバルブ４２ｃを開き、バルブ４２ｂを
閉じた状態でブロア手段４３を駆動し、このブロア手段
４３からの空気の吹き出しにより捕集部材１８ａに付着
した汚染物３の脱離と、捕集部材１８ａから脱離した汚
染物３の吸引とを効果的に行う。汚染物３が脱離した捕
集部材１８ａは、再び汚染物３の捕集作業に使用され
る。

【０１６６】本実施形態によれば、前記第１実施形態と
同様の効果に加え、可撓性接続手段としてマルチバンド
ル光ファイバ３７を用いているので、ファイバエレメン
トを並べ変えることによりレーザ光Ｌのビーム断面形状
を整形しやすくなり、また、放射線測定手段２０と光学
系ピエゾミラースキャナー４４とを筒状の捕集部材１８
ａの捕集面に対向する位置に設置し、捕集部材１８ａを
回転機構４０により回転させるので、汚染物３の捕集作
業と放射線の測定作業と捕集部材１８ａの再生作業とを
効率的に行うことができるという効果が得られる。

【０１６７】第３の実施の形態（図８）本実施形態では、検査対象物から脱離した汚染物の捕集
と、汚染物が付着した捕集部材の再生とを同じ位置で行
える構成になっている。

【０１６８】図８は、本発明に係る非接触型表面汚染検
査装置の第３の実施の形態を示す概略図である。本実施
形態では、図８に示すように、固体レーザ発振器８から
発振されたレーザ光Ｌは、図示しない可撓性接続手段を
介してレーザ光照射手段４に入射するようになってい
る。このレーザ光照射手段４は、光学系９を内蔵してい
る。この光学系９は、レーザ光Ｌを偏光させるλ／２板
４６と、レーザ光を変形・調整する複数のレンズ４７
と、偏光したレーザ光を透過または反射する偏光ビーム
スプリッタ４８と、レーザ光を分割するビームスプリッ
タ４９と、レーザ光をモニタするレーザ光モニタ手段５
０とを備えた構成になっている。また、レーザ光モニタ
手段５０には信号処理手段１３が接続されている。

【０１６９】レーザ光照射手段４には光学的に透明な光
透過部である窓５１が設けられている。そして、検査対
象物２にレーザ光Ｌを照射する際には、λ／２板４６
は、偏光ビームスプリッタ４８を透過するように調整さ
れている。したがって、レーザ光Ｌは、λ／２板４６で
偏光された後、レンズ４７で変形・調整され、偏光ビー
ムスプリッタ４８を透過し、レンズ４７で再び変形・調
整され、光透過部である窓５１から検査対象物２に照射
されるようになっている。

【０１７０】検査対象物２の表面のレーザ光照射位置付
近には所要の間隔をおいて、検査対象物２から脱離した
汚染物３を周りの空気とともに吸引する吸引配管１６が
設けられている。この吸引配管１６は、２方弁５２を介
して空気を吸気する排気手段１１に接続されている。

【０１７１】吸引配管１６内には捕集部材１８ｂが設け
られている。この捕集部材１８ｂの汚染物捕集位置付近
には、放射線測定手段２０が設けられている。捕集部材
１８ｂは、捕集部材移動機構として捕集部材１８ｂを伸
縮自在に支持する支持伸縮機構５３を介して、捕集部材
１８ｂを放射線測定位置に移動させる移動レール５４に
接続されている。捕集部材１８ｂは、脱着可能なカセッ
ト式の構造を有していてもよい。

【０１７２】捕集部材１８ｂは、汚染物３の吸引方向に
対して、排気手段１１の負荷を低減させるため一定の傾
斜する角度を持つとともに、捕集部材再生用のレーザ光
Ｌの照射方向に対しても、捕集部材１８ｂにレーザ光Ｌ
の照射が可能なように一定の傾斜する角度をもって対向
している。

【０１７３】また、吸引配管１６には、再生用のレーザ
光Ｌに対して透明な光透過部である窓５５が設けられて
いる。そして、捕集部材再生時には、λ／２板４６は、
偏光ビームスプリッタ４８で反射するように調整されて
いる。したがって、レーザ光Ｌは、λ／２板４６で偏光
された後、レンズ４７で変形・調整され、偏光ビームス
プリッタ４８で反射され、ビームスプリッタ４９で分割
され、一部はレーザ光モニタ手段５０に照射され、信号
処理手段１３により信号処理されてレーザ光Ｌのエネル
ギ密度を確認され、残りは光透過部である窓５１を介し
て捕集部材１８ｂの汚染物３の付着した面に照射される
ようになっている。

【０１７４】さらに吸引配管１６には、捕集部材再生位
置付近に捕集部材１８ｂから脱離した汚染物３を吸引す
るバイパス配管５６が設けられ、このバイパス配管５６
は２方弁５７を介して排気手段１１に接続され、この排
気手段１１の吸気により捕集部材１８ｂから脱離した汚
染物３の吸引を行うようになっている。

【０１７５】このように構成された本実施形態の装置を
用いて検査対象物２にレーザ光Ｌを照射する際には、偏
光ビームスプリッタ４８を透過するようにλ／２板４６
を回転させて調整する。そして、レーザ光照射手段４に
入射されたレーザ光Ｌは、光学系９に入射し、この光学
系９に内蔵されたλ／２板４６で偏光され、レンズ４７
で変形・調整された後、偏光ビームスプリッタ４８を透
過し、レンズ４７で再び変形・調整され、光透過部であ
る窓５１から検査対象物２に照射される。

【０１７６】検査対象物２の表面に照射されたレーザ光
Ｌにより検査対象物２に付着した汚染物３の少なくとも
一部は微粒子化して脱離される。この脱離した汚染物３
は、吸引配管１６に設けられた２方弁５２を開き、バイ
パス配管５６に設けられた２方弁５７を閉じ、排気手段
１１で吸気することにより吸引し、吸引配管１６の吸引
経路途中に設置された捕集部材１８ｂにより捕集され
る。汚染物３の捕集終了後、支持伸縮機構５３により捕
集部材１８ｂを汚染物３の吸引方向に対して水平にする
とともに、この支持伸縮機構５３を短縮させる。そし
て、捕集部材１８ｂは移動レール５４により放射線測定
位置の上部に移動され、支持伸縮機構５３を伸長させる
ことにより放射線測定位置に移動させ、この捕集部材１
８ｂに付着した汚染物３の放射線を計測する。汚染物３
の放射線測定終了後、捕集部材１８ｂは支持伸縮機構５
３と移動レール５４によりもとの汚染物捕集位置に戻さ
れる。

【０１７７】汚染物捕集位置では捕集部材１８ｂの再生
も行われる。捕集部材１８ｂを再生する際には、偏光ビ
ームスプリッタ４８でレーザ光Ｌを反射するようにλ／
２板４６を回転させて調整する。そして、レーザ光照射
手段４に入射されたレーザ光Ｌは、光学系９に入射し、
この光学系のλ／２板４６で偏光され、レンズ４７でレ
ーザ光Ｌを変形・調整された後、偏光ビームスプリッタ
４８で反射され、ビームスプリッタ４９でレーザ光Ｌを
分割され、一部はレーザ光モニタ手段５０に照射されて
信号処理手段１３で信号処理され、レーザ光Ｌのエネル
ギ密度を確認され、残りは光透過部である窓５５を介し
て捕集部材１８ｂの汚染物３の付着した面に照射され
る。そして、捕集部材再生位置付近のバイパス配管５６
に設けられた２方弁５７を開き、吸引配管１６に設けら
れた２方弁５２を閉じ、排気手段１１の吸気により捕集
部材１８ｂから脱離した汚染物３の吸引を行う。

【０１７８】本実施形態によれば、前記第１実施形態の
効果に加え、検査対象物から脱離した汚染物の捕集と、
捕集部材１８ｂの再生とを同じ場所で行うので、作業工
程が簡易化されるという効果が得られる。

【０１７９】第４の実施の形態（図９）本実施形態では、相互に絶縁された２枚の平板状の導体
の捕集部材の間に電位勾配を生じさせ、汚染物の捕集を
行うようになっている。捕集部材付近以外は前記第１実
施形態と同様なので説明を省略する。

【０１８０】図９は、本発明に係る非接触汚染検査装置
の第４の実施の形態に用いられる捕集部材付近を拡大し
て示す図である。本実施形態では、２枚の平板状の導体
の捕集部材１８ｃ、１８ｄを使用している。これらの捕
集部材１８ｃ、１８ｄは、図示しない吸引配管内の汚染
物の吸引口付近に設置される。また、捕集部材１８ｃ、
１８ｄは、絶縁台５８によって互いに絶縁されている。

【０１８１】捕集部材１８ｄは導体５９を介して設置６
０に接続される。また、捕集部材１８ｃは導体５９を介
して高圧電圧を印加する電源１０に接続される。さらに
この電源１０は、印加電圧を制御する制御手段１４に接
続される。そして、捕集部材１８ｃに正の高圧電圧を印
加し、捕集部材１８ｃと捕集部材１８ｄとの間に電界を
発生させ、イオンに保持された微粒子状の汚染物３を捕
集するようになっている。マイナスイオンに保持された
汚染物３は電源側の捕集部材１８ｃの表面上に捕集さ
れ、プラスイオンに保持された汚染物５は接地側の捕集
部材１８ｄの表面上に捕集されるようになっている。

【０１８２】なお、本実施形態では、捕集部材１８ｃの
印加電圧を正にしたものを例示しているが、印加電圧は
負であってもよい。また、本実施形態では、捕集部材１
８ｃ、１８ｄは２枚の平板状の導体を用いているが、捕
集部材を１枚の平板状の導体にし、この捕集部材に電圧
を印加してもよい。さらに、捕集部材として、３枚以上
の平板状の導体を用い、１枚の捕集部材に電圧を印加し
てもよい。また、捕集部材の材質として半永久的に分極
しているエレクトリック部材を用いてもよい。

【０１８３】このように構成された本実施形態の装置を
使用して汚染物３の捕集を行う場合には、前記第１実施
形態と同様に、図示しない検査対象物にレーザ光を照射
し、検査対象物に付着した汚染物３を微粒子化して脱離
させる。微粒子化して脱離した汚染物３は、空気中に存
在するイオンやレーザ光の照射により電離したイオンに
保持される。そして、図示しない排気手段の吸気によ
り、イオンに保持された汚染物３は、吸引配管内に設置
された捕集部材１８ｃ、１８ｄ方向に吸引される。マイ
ナスイオンに保持された汚染物５は電源側の捕集部材１
８ｃに捕集され、プラスイオンに保持された汚染物５は
接地側の捕集部材１８ｄに捕集される。汚染物３の捕集
終了後、捕集部材１８ｃ、１８ｄに付着した汚染物５の
放射線測定が行われる。この放射線測定終了後、汚染物
５が付着した捕集部材１８ｃ、１８ｄにレーザ光を照射
し、捕集部材１８ｃ、１８ｄの再生を行う。制御手段１
３により捕集部材１８ｃに電圧を印加させないで捕集部
材１８ｃと捕集部材１８ｄとにレーザ光の照射を行う
と、捕集部材１８ｃと捕集部材１８ｄとの汚染物の脱離
効率は高まる。また、捕集部材１８ｃを設置７２に接続
すると、捕集部材１８ｃと捕集部材１８ｄとの汚染物の
脱離効率はさらに高まる。

【０１８４】本実施形態によれば、前記第１実施形態と
同様の効果に加えて、汚染物５の捕集を効率的に行うこ
とができるという効果が得られる。

【０１８５】第５の実施の形態（図１０）本実施形態では、検査対象物と捕集部材との間に電界を
生じさせることにより、検査対象物から脱離した汚染物
の捕集を行うようになっている。なお、本実施形態で
は、捕集部材付近以外の構成は、前記第１実施形態と実
質的に異ならないので、説明を省略する。

【０１８６】図１０は、本発明に係る非接触型表面汚染
検査装置の第５の実施の形態に用いられる捕集部材付近
を拡大して示す図である。本実施形態では、図１１に示
すように、検査対象物２のレーザ光照射位置付近には、
所要の間隔をおいて配置された吸引配管１６が開口して
いる。また、捕集部材１８ｅとして導体の平板を使用し
ている。この捕集部材１８ｅは、汚染物３を吸引する吸
引配管１６の吸引経路途中の検査対象物２に近い位置に
設置されている。この捕集部材１８の下端部では、絶縁
台５８により吸引配管１６と絶縁して支持されるととも
に、高圧電源を印加する電源１０と、この電源１０の電
圧を制御する制御手段１４に接続している。また、検査
対象物は、設置６０に接続されている。したがって、本
実施形態では、汚染物３の捕集は、捕集部材１８ｅに正
の高圧電圧を印加して、検査対象物２と捕集部材１８ｅ
との間に電界を発生させ、微粒子化してイオンに保持さ
れた汚染物３を捕集するようになっている。

【０１８７】電源１０が、コロナ放電するのに十分な電
圧領域であれば、捕集部材１８ｅの端部からコロナ放電
を生じ、周囲の空気を電離し、微粒子化した汚染物３を
この電離によるイオンが保持し、汚染物をイオン化させ
るので、この電源１０は、イオン化手段となる。さら
に、電源１０が、アーク放電するのに十分な電圧領域で
あるのならば、少なくともコロナ放電を生じ、この電源
１０は、イオン化手段となる。また、アークが検査対象
物２に向かって飛ぶと、その衝撃により検査対象物２に
付着した汚染物３を脱離させ、レーザ光Ｌの照射と同様
の効果が得られる。

【０１８８】なお、本実施形態では、捕集部材１８ｅに
正の電圧を印加しているが、捕集部材１８ｅに印加する
電圧は負の電圧であってもよい。

【０１８９】このように構成された本実施形態の装置を
使用して汚染物３の捕集を行う場合には、前記第１実施
形態同様に検査対象物２にレーザ光Ｌを照射して、検査
対象物２に付着した汚染物３を微粒子化して脱離させ
る。微粒子化して脱離した汚染物３は、空気中に存在す
るイオン、レーザ光Ｌの照射により電離したイオン、お
よびコロナ放電によるイオンに保持される。そして、捕
集部材１８ｅに印加された正の高圧電圧により検査対象
物２と捕集部材１８ｅとの間に電界が発生し、この電界
によりマイナスイオンに保持された微粒子状の汚染物３
を選択的に捕集部材１８ｅの表面上に捕集する。汚染物
３の捕集後、放射線測定し、放射線測定終了後、捕集部
材１８ｅの汚染物が付着した表面上にレーザ光を照射
し、捕集部材１８ｅの再生を行う。

【０１９０】本実施形態によれば、前記第１実施形態と
同様の効果に加えて、汚染物３の捕集効率を高めること
ができるという効果が得られる。

【０１９１】第６の実施の形態（図１１）本実施形態では、捕集部材は、平板状であり、この捕集
部材の捕集面の反対側の面に放射線測定手段である固体
シンチレータを配置し、捕集部材と放射線測定手段とが
一体化した構成となっている。なお、本実施形態では捕
集部材と放射線測定手段付近以外の構成は、前記第１実
施形態と異ならないので説明を省略する。

【０１９２】図１１は、本発明に係る非接触型表面汚染
検査装置の第６の実施の形態に用いられる捕集部材およ
び放射線測定手段付近を拡大して示す図である。

【０１９３】本実施形態では、図１１に示すように、汚
染物３が付着した検査対象物２の表面のレーザ光照射位
置付近に、所要の間隔をおいて吸引配管１６に接続され
た案内ガイド１５が設けられている。この案内ガイド１
５は拡開し、汚染物３の捕集効率を高めている。

【０１９４】吸引配管１６内には、平板状の導体である
捕集部材１８ｆが汚染物３の吸引経路を遮るように設け
られている。この捕集部材１８ｆは、高圧電圧を印加す
る電源１０に接続されている。

【０１９５】この捕集部材１８ｆの汚染物３の捕集面の
反対側の面には、薄い蒸着膜６１で遮光された放射線検
出素子である固体シンチレータ６２が接合されている。
蒸着膜６１は、放射線を透過可能な厚みとなっている。
また、固体シンチレータ６２は、フッ化カルシウム（ユ
ーロピウム）シンチレータ、ガラスシンチレータ、プラ
スチックシンチレータ、硫化亜鉛シンチレータ、または
セラミックシンチレータを用いる。特に、α線、β
（γ）線の弁別においては、シンチレーション発光の立
上がり時間が異なるシンチレータを組み合わせた放射線
検出素子を形成してもよい。この固体シンチレータ６２
は、シンチレーション光を光電変換させる光電子倍増管
６３に直接接合され、固体シンチレータ６２と光電子倍
増管６３とで放射線測定手段２０を形成している。した
がって、捕集部材１８ｆと放射線測定手段２０とが一体
化した構成になっている。

【０１９６】光電子倍増管６３の変わりにイメージイン
テンシファイアや２次元カメラによりシンチレーション
光を直接検出してもよい。光電子倍増管６３を光ファイ
バを介して固体シンチレータに接続し、光電子倍増管を
吸引配管の外部に設け、吸引配管１６内の放射線測定手
段２０の構成を簡略化してもよい。

【０１９７】捕集部材１８ｆと固体シンチレータ６２と
光電子倍増管６３とは絶縁台６４により吸引配管１６内
に支持されている。また、光電子倍増管６３は接続ケー
ブル６５を介して信号処理手段１３に接続されるととも
に、この光電子倍増管６３の固体シンチレータ６２との
接合面以外は、ケーシング６６で覆われている。さら
に、このケーシング６６と蒸着膜６１および捕集部材１
８ｆとは、絶縁体により絶縁されている。

【０１９８】このように構成された本実施形態の装置を
使用して汚染物３の捕集を行う場合には、前記第１実施
形態同様に検査対象物２にレーザ光Ｌを照射して、検査
対象物２に付着した汚染物３を微粒子化して脱離させ
る。この汚染物３は、空気中に存在するイオンやレーザ
光Ｌの照射により電離したイオンに保持される。そし
て、捕集部材１８ｆに印加された高圧電圧により検査対
象物２と捕集部材１８ｆとの間に電界が発生し、この電
界により、イオンに保持された汚染物３を捕集部材１８
ｆの表面上に捕集する。汚染物３の捕集後、捕集部材１
８ｆの表面に付着した汚染物３から放出される放射線
は、固体シンチレータ６２に入射し、この固体シンチレ
ータ６２固有の波長のシンチレーション光を発生する。
このシンチレーション光を光電子倍増管６４で光電変換
し、この電気信号を信号処理手段１３で信号処理して、
放射線の計数を行う。放射線測定終了後、汚染物３が付
着した捕集部材１８ｆの表面上にレーザ光Ｌを照射し、
捕集部材１８ｆの再生を行う。

【０１９９】本実施形態によれば、前記第１実施形態と
同様の効果に加えて、捕集部材１８ｆと放射線測定手段
２０とを一体化した構成になっているので、装置の構成
を簡略化でき、捕集部材を移動させる必要がなくなると
いう効果が得られる。

【０２００】第７の実施の形態（図１２）本実施形態では、前記第６実施形態と同様に、捕集部材
と放射線測定手段とが一体化された構成となっていると
ともに、捕集部材の材質を強誘電多層膜としている。な
お、本実施形態では捕集部材と放射線測定手段付近以外
の構成は、前記第１実施形態と異ならないので説明を省
略する。

【０２０１】図１２は、本発明に係る非接触型表面汚染
検査装置に用いられる捕集部材および放射線測定手段付
近を拡大して示す図である。

【０２０２】本実施形態では、図１２に示すように、汚
染物が付着した検査対象物表面のレーザ光照射位置付近
には、所要の間隔をおいて吸引配管１６に接続された案
内ガイド１５が設けられている。この案内ガイド１５は
拡開し、汚染物３の捕集効率を高めている。

【０２０３】吸引配管１６内には、直方体の放射線測定
手段として固体シンチレータ６８が吸引経路を遮るよう
に設けられている。この固体シンチレータ６８の上下両
面には、波長シフター６９が設けられ、この波長シフタ
ー６９は、遮光用のケーシング６６で被覆されている。
さらに、この波長シフター６９は光ファイバ７０に接続
されている。また、固体シンチレータ６８の左右両側面
は、遮光用の金属製の薄い蒸着膜７１で被覆されてい
る。さらに、固体シンチレータ６８の検査対象物側の蒸
着膜７１には、ガラス面７２がコーティングまたは接着
され、さらにこのガラス面７２には、捕集部材として平
板状の強誘電多層膜８６が接合されている。したがっ
て、捕集部材と放射線測定手段とが一体化された構成と
なっている。この強誘電多層膜８６は再生用のレーザ光
に対して高い反射効率を持っている。蒸着膜７１とガラ
ス面７２と強誘電多層膜７３とを合計した厚みは、放射
線を透過可能な厚みとなっている。また、固体シンチレ
ータ６８、蒸着膜７１、ガラス面７２、強誘電多層膜７
３、および波長シフター６９は絶縁台７４により吸引配
管１６内に支持されている。

【０２０４】固体シンチレータ６８をはさんで、検査対
象物の反対側にある導電体の蒸着膜７１には、高圧電圧
を印加する電源１０が接続されている。

【０２０５】このように構成された本実施形態の装置を
使用して汚染物３の捕集を行う場合には、前記第１実施
形態同様に検査対象物２にレーザ光Ｌを照射して、検査
対象物２に付着した汚染物３を微粒子化して脱離させ
る。この汚染物３は、空気中に存在するイオンやレーザ
光Ｌの照射により電離したイオンに保持される。そし
て、蒸着膜７１に印加された高圧電圧により検査対象物
２と捕集部材である強誘電多層膜７３との間に電界が発
生し、この電界により、イオンに保持された汚染物を強
誘電多層膜７３の表面上に捕集する。汚染物３の捕集
後、強誘電多層膜７３の表面上に付着した汚染物３から
放出される放射線は、固体シンチレータ６８に入射し、
この固体シンチレータ６８固有の波長のシンチレーショ
ン光を発生する。このシンチレーション光は、波長シフ
ター６９で光ファイバ伝送に適した波長に変換される。
この波長変換された光は、光ファイバ７０内を伝送し、
吸引配管１６の外部に設けられた図示しない信号処理手
段に導入される。この信号処理手段で信号処理され、放
射線の計数を行う。放射線測定終了後、汚染物が付着し
た強誘電多層膜７３の表面上にレーザ光Ｌを照射し、捕
集部材である強誘電多層膜７３の再生を行う。この時、
強誘電多層膜７３は、レーザ光Ｌを反射するので、蒸着
膜７１の損傷を防ぐことができる。

【０２０６】本実施形態によれば、前記第６実施形態と
同様の効果に加えて、強誘電多層膜７３がレーザ光Ｌを
反射するので、蒸着膜７１の損傷を防ぐことができると
いう効果が得られる。

【０２０７】

【発明の効果】以上に詳述したように、本発明に係る非
接触型表面汚染検査装置および方法によれば、レーザ光
の照射により検査対象物から汚染物を脱離させるので、
非接触にて検査対象物の表面汚染部位および表面汚染密
度を検査できる。

【０２０８】また、レーザ光のエネルギ密度を調整して
いるので、検査対象物の母材および検査対象物の表面の
塗膜や酸化膜を損傷させることなく非接触にて表面汚染
部位の特定ができ、検査対象物の健全性を損なうことが
ない。

【０２０９】さらに、表面汚染検査の結果、特定した汚
染部位のみを検査対象物の母材および検査対象物の表面
の塗膜や酸化膜を損傷させることなく局所的に除染する
ことができる。

【０２１０】またさらに、従来行われていたように、検
査対象物の表面に濾紙を押し付け、表面汚染部位を擦っ
て汚染物を濾紙に転着させることがないので、表面汚染
部位の拡大を防止できる。

【０２１１】さらにまた、固体の捕集部材に汚染物を直
接捕集し、放射線測定終了後、この捕集部材に付着した
汚染物を脱離させ、捕集部材を再生させるので、従来発
生していた汚染物が付着した濾紙などの２次廃棄物の発
生を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第１
の実施の形態を示す全体的なシステム構成図。

【図２】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第１
の実施の形態に用いられる可撓性接続手段６付近を拡大
して示す図。

【図３】レーザ光のエネルギ密度と酸化鉄粒子の脱離量
および母材表面の変色領域との関係を示すグラフ。

【図４】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第１
の実施の形態に用いられる捕集手段付近を拡大して示す
図。

【図５】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第１
の実施の形態に用いられる捕集部材および捕集部材再生
手段を拡大して示す図。

【図６】本発明に係る非接触型汚染検査装置の第２の実
施の形態に用いられる可撓性接続手段付近を拡大して示
す図。

【図７】本発明に係る非接触型汚染検査装置の第２の実
施の形態に用いられる捕集手段付近を拡大して示す図。

【図８】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第３
の実施の形態を示す概略図。

【図９】本発明に係る非接触汚染検査装置の第４の実施
の形態に用いられる捕集部材付近を拡大して示す図。

【図１０】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第
５の実施の形態に用いられる捕集部材付近を拡大して示
す図。

【図１１】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置の第
６の実施の形態に用いられる捕集部材および放射線測定
手段付近を拡大して示す図。

【図１２】本発明に係る非接触型表面汚染検査装置に用
いられる捕集部材および放射線測定手段付近を拡大して
示す図。

【符号の説明】

１非接触型表面汚染検査装置２検査対象物３汚染物４レーザ光照射手段５回転・昇降機構６可撓性接続手段７計装制御盤８固体レーザ発振器９光学系１０電源１１排気手段１２汚染物回収手段１３信号処理手段１４制御手段１５案内ガイド１６吸引配管１７捕集手段１８、１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅ、１８
ｆ捕集部材１９吸引手段２０放射線測定手段２１解析制御計算機２２入力装置２３出力装置２４捕集部材再生手段２５導光管（可撓性接続手段）２６関節２７反射ミラー２８電界発生手段２９絶縁体３０接地３１ビームスプリッタ３２ピエゾミラースキャナー（捕集部材再生装置）３３ピエゾミラースキャナー（捕集部材再生装置）３４光学系３５ビームスプリッタ３６マルチレンズ３７マルチバンドル光ファイバ３８レーザ光モニタ手段３９支持棒４０回転機構４１カップリング４２３方弁４２ａ、４２ｂ、４２ｃバルブ４３ブロア手段４４光学系ピエゾミラー（捕集部材再生装置）４５２方弁４６ λ／２板４７レンズ４８偏光ビームスプリッタ４９ビームスプリッタ５０レーザ光モニタ手段５１窓５２２方弁５３支持伸縮機構５４移動レール５５窓５６バイパス配管５７２方弁５８絶縁台５９導体６０接地６１蒸着膜・６２固体シンチレータ（放射線測定手段）６３光電子倍増管６４絶縁台６５接続ケーブル６６ケーシング６７絶縁体６８固体シンチレータ（放射線測定手段）６９波長シフター７０光ファイバ７１蒸着膜７２ガラス面７３強誘電体多層膜（捕集部材）７４絶縁台

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象物の表面に付着した汚染物にレ
ーザ光を照射し、汚染物を微粒子化して脱離させるレー
ザー光照射手段と、前記検査対象物から脱離した汚染物
を捕集する捕集手段と、この捕集手段に捕集された汚染
物から放出される放射線を測定する放射線測定手段とを
備え、前記検査対象物の表面汚染部位および表面汚染密
度の検査を非接触にて行う非接触型表面汚染検査装置で
あって、前記捕集手段は、前記検査対象物から脱離した
汚染物の微粒子をその表面上に直接付着させる固体の捕
集部材と、前記検査対象物から脱離した汚染物の微粒子
を前記捕集部材に吸着させる吸着機構とを備えたことを
特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２】請求項１記載の非接触型表面汚染検査装
置において、捕集部材に付着した汚染物をレーザ光の照
射により脱離させ、捕集部材を再生する捕集部材再生手
段を備えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査装
置。
【請求項３】請求項１または２記載の非接触型表面汚
染検査装置において、検査対象物の表面から脱離した汚
染物を周りの空気とともに吸引して回収する吸引手段
と、この吸引手段の吸引口に汚染物を案内するガイドと
を備え、前記吸引手段の吸引経路に捕集手段を設けたこ
とを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項４】請求項１から３までのいずれかに記載の
非接触型表面汚染検査装置において、レーザ光照射手段
は可撓性接続手段を介して固体レーザ発振器に接続さ
れ、前記レーザ光照射手段は検査対象物の表面に０．４
Ｊ／ｃｍ²以下のエネルギ密度のレーザ光を照射させる
光学系を備えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査
装置。
【請求項５】請求項１から４までのいずれかに記載の
非接触型表面汚染検査装置において、吸着機構は、検査
対象物と捕集手段との間に電界を生じさせる電界発生手
段を備えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査装
置。
【請求項６】請求項１から４までのいずれかに記載の
非接触型表面汚染検査装置において、レーザ光照射手段
は、検査対象物の表面に照射されるレーザ光の断面形状
を円、長円、または矩形に整形し、かつレーザ光のエネ
ルギ密度分布を均一化させる光学系を備えたことを特徴
とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項７】請求項４記載の非接触型表面汚染検査装
置において、可撓性接続手段は、少なくとも１つの屈曲
部を有し、この屈曲部は一定の軸方向に回転自在な関節
型の接続機構によって接続され、前記屈曲部の関節には
レーザ光の反射ミラーが設けられた多関節ミラー型の導
光管であることを特徴とする非接触型表面汚染検査装
置。
【請求項８】請求項４記載の非接触型表面汚染検査装
置において、可撓性接続手段はマルチバンドルファイバ
であり、このマルチバンドルファイバの入出射部にはレ
ーザ光軸と垂直に複数のレンズを配置したマルチレンズ
である光学系を備えたことを特徴とする非接触型表面汚
染検査装置。
【請求項９】請求項１から４までのいずれかに記載の
非接触型表面汚染検査装置において、捕集部材は、平板
状、筒状、円弧板状であることを特徴とする非接触型表
面汚染検査装置。
【請求項１０】請求項９記載の非接触型表面汚染検査
装置において、捕集部材は、汚染物を捕集する捕集面上
に溝またはグレーティングを設けたことを特徴とする非
接触型表面汚染検査装置。
【請求項１１】請求項９記載の非接触型表面汚染検査
装置において、捕集部材には、雰囲気ガスの一部が通過
する複数の細孔を穿設したことを特徴とする非接触型表
面汚染検査装置。
【請求項１２】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集部材再生手
段は、レーザ光の少なくとも一部を捕集部材に照射する
光学系と、捕集部材をレーザ光で走査することにより汚
染物を再脱離して捕集部材を再生する捕集部材再生装置
とを備え、この捕集部材再生装置は、圧電素子であるピ
エゾ素子を用いた反射体であるピエゾミラースキャナ
ー、電流量の制御により駆動可能な反射体であるガルバ
ノメータスキャナー、ポリゴンミラースキャナー、また
は音響光学素子を用いた音響光学素子変調器であること
を特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項１３】請求項３記載の非接触型表面汚染検査
装置において、吸引経路に光透過部を設け、前記吸引経
路内に設けられた捕集部材は、汚染物を吸引する軸方向
に対向し、かつ前記光透過部からのレーザ光に対して傾
斜する角度をもって設置したことを特徴とする非接触型
表面汚染検査装置。
【請求項１４】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集部材は、汚
染物を捕集する位置と、放射線を測定する位置と、汚染
物を除去し、捕集部材を再生する位置とに移動する捕集
部材移動機構を備えたことを特徴とする非接触型表面汚
染検査装置。
【請求項１５】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集部材は、汚
染物を捕集する位置と、放射線を測定する位置と、捕集
部材を再生する位置とに移動可能なカセット式の構造を
有したことを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項１６】請求項１２記載の非接触型表面汚染検
査装置において、捕集部材は、レーザ光の波長に対し光
学的に透明であり、捕集部再生手段は、捕集部材の汚染
物が付着した面に向かう方向および汚染物が付着してい
ない面に向かう方向のうち、少なくとも一方向から捕集
部材にレーザ光を照射する光学系を備えたことを特徴と
する非接触型表面汚染検査装置。
【請求項１７】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、少
なくとも一部が導電体である捕集部材を備え、前記導電
体に直流電圧を印加する電源と、この電源から印加する
直流電圧を制御する制御手段とにより、検査対象物から
脱離した汚染物の微粒子の捕集と、捕集部材の再生とを
行うことを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項１８】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、少
なくとも一部が半永久的に電気的に正または負に分極し
ているエレクトリック部材からなる捕集部材を備えたこ
とを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項１９】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、互
いに絶縁された複数の捕集部材と、この各捕集部材間に
電界を生じさせる電界発生手段とを備えたことを特徴と
する非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２０】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、検
査対象物と捕集部材との間に電界を生じさせる電界発生
手段を備えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査装
置。
【請求項２１】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、コ
ロナ放電またはアーク放電し、検査対象物から脱離した
汚染物の微粒子をイオン化させるイオン化手段を備えた
ことを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２２】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集手段は、捕
集位置で一定の軸心回りに間欠回転される捕集部材を備
え、この捕集部材の外周面に対向する複数の位置に汚染
物の捕集作業と同時に駆動される放射線測定手段および
捕集部材再生手段を備えたことを特徴とする非接触型表
面汚染検査装置。
【請求項２３】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、捕集部材は平板
状であり、この捕集部材の捕集面の反対側の面に放射線
測定手段の固体シンチレータを配置し、捕集部材と放射
線測定手段とが一体化した構成としたことを特徴とする
非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２４】請求項２３記載の非接触型表面汚染検
査装置において、放射線測定手段の固体シンチレータ
は、フッ化カルシウムシンチレータ、ガラスシンチレー
タ、プラスチックシンチレータ、硫化亜鉛シンチレー
タ、またはセラミックシンチレータであることを特徴と
する非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２５】請求項２３記載の非接触型表面汚染検
査装置において、放射線測定手段の固体シンチレータ
は、シンチレータ本体の表面に金属蒸着膜をコーティン
グするとともに、この金属蒸着膜の表面にガラス面をコ
ーティングまたは接着し、さらにガラス面の表面に捕集
部材としてレーザ光を反射する誘電体多層膜をコーティ
ングしたものであることを特徴とする非接触型表面汚染
検査装置。
【請求項２６】請求項１から４までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、吸引手段は、検
査対象物から脱離した汚染物を吸引する主配管と、捕集
部材から脱離した汚染物を吸引するバイパス配管とを備
えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査装置。
【請求項２７】請求項１から３までのいずれかに記載
の非接触型表面汚染検査装置において、レーザ光照射手
段は、クロム酸鉛を含む塗装顔料が塗装されている検査
対象物表面に、赤外線領域の波長のレーザ光を照射する
光学系を備えたことを特徴とする非接触型表面汚染検査
装置。
【請求項２８】検査対象物の表面に付着した汚染物を
レーザ光の照射によって微粒子化して脱離させ、前記検
査対象物から脱離した汚染物を捕集し、捕集された汚染
物から放出される放射線を測定し、前記検査対象物の表
面汚染部位および表面汚染密度を非接触にて行う非接触
型表面汚染検査方法であって、前記検査対象物から脱離
した汚染物を固体の捕集部材に直接捕集し、この捕集し
た汚染物に基づいて検査対象物の表面汚染を検査するこ
とを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項２９】請求項２８記載の非接触型表面汚染検
査方法において、放射線測定終了後、捕集部材に付着し
た汚染物を脱離させることにより捕集部材を再生するこ
とを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３０】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集部材に導く工
程では、微粒子化した汚染物を周りの空気とともに吸引
することを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３１】請求項３０記載の非接触型表面汚染検
査方法において、汚染物を捕集する工程では、吸気によ
る捕集、検査対象物と捕集部材との間に電界を生じさせ
ることによる捕集のうち少なくともいずれかを行うこと
を特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３２】請求項２９記載の非接触型表面汚染検
査方法において、捕集手段を再生する工程では、捕集部
材に付着した汚染物をレーザ光の照射により脱離させる
ことを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３３】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、捕集部材を再生する工程で
は、光学的に透明な捕集部材を使用し、汚染物が付着し
た捕集部材の捕集面に向かう方向、汚染物が付着してい
ない捕集部材の捕集面に向かう方向のうち少なくともい
ずれか一方向からレーザ光を照射することを特徴とする
非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３４】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を脱離する工程で
は、検査対象物および捕集部材に０．４Ｊ／ｃｍ²以下
のレーザ光を照射することを特徴とする非接触型表面汚
染検査方法。
【請求項３５】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、捕集部材に外部から電気エネルギを加えることを特
徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３６】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、捕集部材として半永久的に電気エネルギをもつ部材
を使用することを特徴とする非接触型表面汚染検査方
法。
【請求項３７】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、互いに絶縁された複数の捕集部材の少なくともひと
つの捕集部材に電圧を印加し、各捕集部材間に電界を生
じさせることを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項３８】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、捕集部材に電圧を印加し、検査対象物と捕集部材と
の間に電界を生じさせることを特徴とする非接触型表面
汚染検査方法。
【請求項３９】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、汚染物の流路を遮る位置に設けられた捕集部材を使
用することを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４０】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、溝またはグレーティングを有した捕集部材を使用す
ることを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４１】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集する工程で
は、複数の細孔が穿設された捕集部材を使用することを
特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４２】請求項２９記載の非接触型表面汚染検
査方法において、捕集部材を再生する工程では、捕集部
材の捕集面を検査対象物の表面に対して傾斜させ、かつ
前記捕集面に対して傾斜する方向に再生用のレーザ光を
照射することを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４３】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、汚染物を捕集した捕集部材
を放射線測定位置に移動させ、放射線測定終了後、捕集
部材再生位置に移動させ、捕集部材再生終了後、汚染物
捕集位置に移動させることを特徴とする非接触型表面汚
染検査方法。
【請求項４４】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、捕集位置で一定の軸心回り
の回転機構によって間欠回転可能に構成された捕集手段
により、捕集部材の外周面に対向する複数の位置で汚染
物の捕集と、放射線測定と、捕集手段の再生とを同時に
行うことを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４５】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、固体の放射線測定手段の放
射線検出素子面に設けられた捕集部材の表面上に汚染物
を捕集することを特徴とする非接触型表面汚染検査方
法。
【請求項４６】請求項４５記載の非接触型表面汚染検
査方法において、放射線測定手段である固体シンチレー
タを遮光膜で被覆し、この遮光膜を薄膜で被覆すること
を特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４７】請求項４６記載の非接触型表面汚染検
査方法において、汚染物を捕集する工程では、導電体の
遮光膜または薄膜に電圧を印加することを特徴とする非
接触型表面汚染検査方法。
【請求項４８】請求項４５記載の非接触型表面汚染検
査方法において、汚染物を捕集する工程では、誘電体の
遮光膜または薄膜に電圧を間接的に印加することを特徴
とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項４９】請求項２９記載の非接触型表面汚染検
査方法において、捕集部材から脱離した汚染物を周りの
空気とともに吸引し、ガス成分と粒子成分とに分離し、
ガス成分は排気し、粒子成分は回収することを特徴とす
る非接触型表面汚染検査方法。
【請求項５０】請求項２９記載の非接触型表面汚染検
査方法において、捕集部材を再生する工程では、捕集部
材に付着した汚染物を拭き取るか、または液体で洗浄す
ることを特徴とする非接触型表面汚染検査方法。
【請求項５１】請求項２８または２９記載の非接触型
表面汚染検査方法において、クロム酸鉛を含む塗装顔料
が塗装されている検査対象物表面に、赤外線領域の波長
のレーザ光を照射することを特徴とする非接触型表面汚
染検査方法。