JPH1125756A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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JPH1125756A
JPH1125756A JP9173842A JP17384297A JPH1125756A JP H1125756 A JPH1125756 A JP H1125756A JP 9173842 A JP9173842 A JP 9173842A JP 17384297 A JP17384297 A JP 17384297A JP H1125756 A JPH1125756 A JP H1125756A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】900〜1050℃の比較的低温で焼成でき、
比誘電率εrが高く、共振周波数の温度係数τfが比較
的小さく、SnO2 、ZrO2 を含有しない場合よりも
Q値を高くできる誘電体磁器組成物を提供する。 【解決手段】重量比による組成式をaMgO・bCaO
・cTiO2 と表した時、a、b、cが25.0≦a≦
35.0、0.3≦b≦ 7.0、60.0≦c≦7
0.0、a+b+c=100を満足する主成分と、該主
成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2 3
換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアル
カリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sn含有化合物
および/またはZr含有化合物を酸化物換算で合計0.
3〜3.5重量部含有してなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波領域で
好適に使用されるとともに、低温焼成可能な誘電体磁器
組成物、特に、複数の誘電体層が積層され、誘電体層の
間に銀または銅を主成分とする内部導体を有する積層
体、例えば、共振器、コンデンサ、フィルタ等の電子部
品やそれらを内蔵した基板等に適する誘電体磁器組成物
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より誘電体材料として各種誘電体セ
ラミックスが電子回路基板や電子部品等に広く使用され
ており、近年、携帯電話に代表される移動体通信等の高
周波機器の発展と普及に伴い、高周波領域で使用する電
子回路基板や電子部品として、誘電体セラミックスが積
極的に利用されるようになってきている。
【0003】従来、低誘電損失(Q値が高い)で、共振
周波数の温度係数の小さい誘電体磁器組成物として、M
gO・CaO・TiO2 の3成分組成の磁器組成物が知
られている。この組成物は比誘電率が20程度、7〜8
GHzにおけるQ値が8000程度、共振周波数の温度
係数τfが0近傍の値と優れた誘電特性を有する。
【0004】しかしながら、この組成物は1300℃以
上の高温で焼結する必要があり、この材料を積層体、例
えば、共振器用の誘電体磁器として使用した場合、パタ
ーンを形成する導体は前記誘電体磁器の焼結温度にて溶
融することなく、かつ酸化することがない高価な貴金属
であるパラジウム(融点1555℃)またはその合金を
使用する必要があり、コスト高になるという問題があっ
た。
【0005】そこで、MgO・CaO・TiO2 の3成
分組成に対して、硼素含有化合物、およびリチウム含有
化合物を添加し、900〜1050℃の低温焼成化を図
ったものが知られている(特開平8−208330号公
報)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平8−208330号公報の誘電体磁器組成物は、硼
素含有化合物、リチウム含有化合物を添加したことによ
って導体としてAgやCu等の電極材料と同時焼成でき
るものの、反面、十分なQ値が得られないという問題が
あった。
【0007】本発明は上記課題に鑑みなされたもので、
900〜1050℃の比較的低温でAgやCu等の内部
導体と同時に焼成でき、比誘電率εrが高く、共振周波
数の温度係数τfが比較的小さく、かつ十分Q値が高い
等の特徴を有し、高周波電子部品や基板の小型化と高性
能化を実現できる誘電体磁器組成物を提供することを目
的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器組成
物は、金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合
酸化物であって、これらの金属元素酸化物の重量比によ
る組成式をaMgO・bCaO・cTiO2 と表した
時、前記a、b、cが25.0≦a≦35.0、0.3
≦b≦ 7.0、60.0≦c≦70.0、a+b+c
=100を満足する主成分と、該主成分100重量部に
対して、硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量
部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算
で1〜10重量部、Sn含有化合物およびZr含有化合
物のうち少なくとも1種を酸化物換算で合計0.3〜
3.5重量部含有してなることを特徴とする。
【0009】また、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であ
って、その組成式が(100−x)MgTiO3 −xC
aTiO3 (但し、式中xは重量比を表し、1≦x≦1
5)で表される主成分と、該主成分100重量部に対し
て、硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量部、
アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1
〜10重量部、Sn含有化合物およびZr含有化合物の
うち少なくとも1種を酸化物換算で合計0.3〜3.5
重量部含有してなることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、900〜10
50℃の比較的低温でAgやCu等を主成分とする導体
金属と同時に焼成でき、誘電体磁器の比誘電率εrやQ
値が高く、かつ共振周波数の温度係数τfを比較的小さ
くすることができ、高周波電子回路基板や電子部品の小
型化と高性能化を実現できる。
【0011】特に、本発明の誘電体磁器組成物では、S
n含有化合物およびZr含有化合物のうち少なくとも1
種を酸化物換算で合計0.3〜3.5重量部含有せしめ
たので、これらを含有しない場合よりもQ値を大きく向
上することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体磁器組成物は、金
属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物で
あって、これらの金属元素酸化物の重量比による組成式
をaMgO・bCaO・cTiO2 と表した時、a、
b、cが25.0≦a≦35.0、0.3≦b≦7.
0、60.0≦c≦70.0、a+b+c=100を満
足する主成分100重量部に対して、硼素含有化合物を
2 3 換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合
物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sn、
Zr含有化合物の少なくとも1種類を酸化物換算で合計
0.3〜3.5重量部添加含有してなるものである。
【0013】本発明において、組成式におけるMgOの
重量比aを25≦a≦35、CaOの重量比bを、0.
3≦b≦7としたのは、MgOの重量比aが25重量%
未満の場合やCaOの重量比bが7重量%を越える場合
には、共振周波数の温度係数τfが正に大きくなりすぎ
てしまうからである。
【0014】逆に、MgOの重量比aが35重量%を越
える場合やCaOの重量比bが0.3重量%未満の場合
には、共振周波数の温度係数τfが負に大きくなりすぎ
てしまうからである。よって、MgOの重量比aとCa
Oの重量比bは、25.0≦a≦35.0、0.3≦b
≦7.0に特定され、とりわけ誘電体磁器の共振周波数
の温度係数τfの観点からは28.0≦a≦34.0、
0.4≦b≦6.5が好ましい。
【0015】さらに、TiO2 の重量比cを60≦c≦
70としたのは、TiO2 の重量比cが60重量%未満
あるいは70重量%を越える場合にはQ値が低下するか
らである。よって、TiO2 の重量比cは60≦c≦7
0に特定され、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点から6
4≦c≦68が好ましい。
【0016】また、出発原料をMgTiO3 とCaTi
3 にすることにより、さらにQ値を向上させ、温度係
数の制御が容易となる。つまり、(100−x)MgT
iO3 −xCaTiO3 (但し、式中xは重量比を表わ
し、1≦x≦15)で表される主成分100重量部に対
して、硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量
部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算
で1〜10重量部、Sn、Zr含有化合物の少なくとも
1種類を酸化物換算で合計0.3〜3.5重量部含有し
た場合である。
【0017】ここで、主成分中のCaTiO3 の重量比
を1≦x≦15としたのは、CaTiO3 の重量比が1
重量%未満の場合には、共振周波数の温度係数τfがマ
イナス側に大きくずれ、また、前記重量比が15重量%
を越える場合には共振周波数の温度係数τfがプラス側
に大きくずれるからである。よって、CaTiO3 の重
量比xは1〜15重量%に特定され、とりわけ、誘電体
磁器の共振周波数の温度係数τfの観点からは1〜10
重量%が好ましい。
【0018】また、本発明では、上記主成分に対して、
硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量部、アル
カリ金属含有化合物を該アルカリ金属炭酸塩換算で1〜
10重量部、Sn、Zr含有化合物の少なくとも1種類
を酸化物換算で合計0.3〜3.5重量部添加含有して
なるものであるが、このように主成分100重量部に対
して、硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量部
添加したのは、B2 3 の添加量が3重量部未満の場合
には1100℃でも焼結せず、AgまたはCuとの同時
焼成ができなくなり、逆に20重量部を越える場合には
結晶相が変化し、Q値が低下するするからである。
【0019】よって、硼素含有化合物の添加量は、主成
分に対してB2 3 換算で3〜20重量部に特定され、
とりわけ誘電体磁器のQ値の観点からは3〜15重量部
が望ましい。硼素含有化合物としては、金属硼素、B2
3 、コレマナイト、CaB2 4 等がある。
【0020】また、アルカリ金属含有化合物を該アルカ
リ金属炭酸塩換算で1〜10重量部添加したのは、アル
カリ金属含有化合物、例えばリチウム含有化合物の添加
量が1重量部未満の場合には1100℃でも焼結せず、
AgまたはCuとの同時焼成ができなくなり、逆に、1
0重量部を越える場合には結晶相が変化し、Q値が低下
するからである。よって、アルカリ金属含有化合物の添
加量は、主成分100重量部に対してアルカリ金属炭酸
塩換算、例えばLi2 CO3 換算で1〜10重量部に特
定され、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点からは3〜7
重量部が望ましい。
【0021】アルカリ金属としては、Li、Na、Kを
例示することができ、この中でもLiが特に望ましい。
アルカリ金属含有化合物としては、上記アルカリ金属の
炭酸塩,酸化物等を例示することができる。
【0022】そして、本発明においては、硼素含有化合
物とアルカリ金属含有化合物を同時に添加含有すること
に特徴があるが、その理由について説明する。上記主成
分に対して硼素含有化合物のみを配合した場合には、そ
の配合量が少ないと焼成温度を十分に低下させることが
できず、AgまたはCuの融点温度以下の温度で焼結さ
せることができない。
【0023】また、配合量が多いと焼結温度は低下する
が、硼素含有化合物は、焼成時等の高温下で主成分のM
gTiO3 −CaTiO3 系と反応するので、配合量が
多すぎた場合は、焼成後においてMgTiO3 −CaT
iO3 の残存量が少なくなり、高いQ値を維持すること
ができない。従って、硼素含有化合物のみを添加した場
合には、低い焼結温度と高周波領域における誘電特性が
共に優れた誘電体磁器組成物を得ることができないから
である。
【0024】即ち、硼素含有化合物のみを添加した場合
は、その添加量がB2 3 換算で3重量部未満では焼結
温度が1050℃以下にはならない。また、B2 3
算で20重量部よりも多い場合には焼結温度を1050
℃以下に低下できるが、硼素含有化合物は焼成時等高温
下において上述したようにMgTiO3 −CaTiO3
と反応するため、Q値が低下してしまうからである。
【0025】この組成物の場合、硼素含有化合物の添加
による組成物の焼結温度低下効果と焼成後の磁器組成物
の誘電特性向上効果とは背反関係にあり、硼素含有化合
物のみを添加した組成物では、低い焼結温度と高いQ値
等の優れた誘電特性とを共に備えた組成物を得ることが
困難である。
【0026】一方、主成分にLi,Na,K等のアルカ
リ金属含有化合物のみを添加した場合には、たとえ添加
量を増加させたとしても、組成物の焼結温度を低下させ
ることが殆どできず、1050℃以下で焼結できる組成
物を得ることができない。
【0027】これに対して、硼素含有化合物とアルカリ
金属含有化合物とを、各々特定量比で組み合わせ添加配
合した本発明の組成物では、硼素含有化合物とMgTi
3−CaTiO3 系等との過度の反応が抑制され、か
つ、硼素含有化合物のみの添加の場合と比較してさらに
焼結温度を低下させることができると同時にQ値の低下
を抑制できる。
【0028】そして、本発明の誘電体磁器組成物では、
主成分100重量部に対して、Sn含有化合物およびZ
r含有化合物のうち少なくとも1種を酸化物換算で合計
0.3〜3.5重量部含有するものである。ここで、S
n、Zr含有化合物の少なくとも1種類を酸化物換算で
合計0.3〜3.5重量部含有したのは、この範囲外で
は、添加効果があまりないか、あるいはSn、Zr含有
化合物をしない場合よりも逆にQ値が低下するからであ
り、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点からは0.5〜
3.0重量部が望ましい。
【0029】尚、本発明においては、誘電特性に悪影響
を及ぼさない範囲でSi、Zn、Mn等の酸化物を添加
含有しても良く、この場合さらに低温焼成が可能とな
る。
【0030】本発明の誘電体磁器組成物は、例えば、M
gCO3 、CaCO3 、TiO2 の各原料粉末を所定量
となるように秤量し、混合粉砕し、これを1100〜1
300℃の温度で大気中で1〜3時間仮焼する。得られ
た仮焼物に、例えばB2 3とLi2 CO3 、Sn
2 、ZrO2 の各粉末を所定量となるように秤量し、
混合粉砕し、プレス成形やドクターブレード法等の周知
の方法により所定形状に成形した後、大気中等の酸化性
雰囲気または窒素雰囲気中等の非酸化性雰囲気におい
て、900〜1050℃において0.5〜2.0時間焼
成することにより得られる。
【0031】
【実施例】
実施例1 先ず、純度99%以上のMgCO3 、CaCO3 、Ti
2 の各原料粉末を表1、2に示す量となるように秤量
し、該原料粉末に媒体として純水を加えて24時間、Z
rO2 ボールを用いたボールミルにて混合した後、該混
合物を乾燥し、次いで該乾燥物を大気中において120
0℃の温度で1時間仮焼した。
【0032】得られた仮焼物にB2 3 粉末とLi2
3 、SnO2 、ZrO2 粉末を表1、2に示す割合と
なるように秤量し、上記ボールミルにて24時間、混合
した後、バインダーとしてポリビニルアルコールを1重
量%加えてから造粒し、該造粒物を約1ton/cm2
の加圧力でプレス成形して直径約12mm、高さ10m
mの円柱状の成形体を作製した。
【0033】その後、前記成形体を大気中、400℃の
温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続き大
気中において表1、2に示す各温度で60分間焼成し
た。かくして得られた円柱体の両端面を平面研磨し、誘
電体特性評価用試料を作製した。
【0034】誘電体特性の評価は、前記評価用試料を用
いて誘電体円柱共振器法により、共振周波数を6〜8G
Hzに設定して各試料の比誘電率εrと7GHzにおけ
る1/tanδ、即ちQ値を測定するとともに、−40
〜+85℃の温度範囲における共振周波数の温度係数τ
fを測定した。その結果を表1、2に記載した。
【0035】
【表1】
【0036】
【表2】
【0037】表1、2によれば、本発明の誘電体磁器組
成物では、900〜1050℃の比較的低温で焼成で
き、さらに、比誘電率εrが18以上であり、Sn
2 、ZrO2 を含有しない試料よりもQ値を向上で
き、しかも7GHzにおけるQ値が3000以上を満足
し、さらに共振周波数の温度係数τfが±40ppm/
℃以内の優れた特性を有することが判る。尚、試料No.
58はLi2 CO3 の代わりにNa2 CO3 を用いた。
【0038】実施例2 先ず、純度99%以上のMgTiO3 、CaTiO3
各原料粉末を表3に示す量となるように秤量し、該原料
粉末に媒体として純水を加えて24時間、ZrO2 ボー
ルを用いたボールミルにて混合した後、該混合物を乾燥
し、次いで該乾燥物を大気中1200℃の温度で1時間
仮焼した。
【0039】得られた仮焼物にB2 3 とLi2
3 、SnO2 、ZrO2 粉末を表3に示す割合となる
ように秤量し、上記ボールミルにて24時間、混合した
後、バインダーとしてポリビニルアルコールを1重量%
加えてから造粒し、該造粒物を約1ton/cm2 の加
圧力でプレス成形して直径約12mm、高さ10mmの
円柱状の成形体を作製した。
【0040】その後、前記成形体を大気中、400℃の
温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続き表
3に示す各温度で大気中60分間焼成した。かくして得
られた円柱体の両端面を平面研磨し、誘電体特性評価用
試料を作製した。誘電体特性の評価を、上記と同様にし
て求め、その結果を表3に記載した。
【0041】
【表3】
【0042】この表3によれば、本発明の誘電体磁器組
成物では、1050℃以下の比較的低温で焼成でき、比
誘電率εrが19以上、Q値がSnO2 、ZrO2 を含
有しない試料よりも高く、しかもQ値を4000以上と
することができ、さらに共振周波数の温度係数τfが±
30以内の優れた特性を有することが判る。
【0043】
【発明の効果】本発明の誘電体磁器組成物では、所定の
組成からなる主成分100重量部に対して、硼素含有化
合物をB2 3 換算で3〜20重量部、アルカリ金属含
有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、
Sn、Zr含有化合物の少なくとも1種を酸化物換算で
合計0.3〜3.5重量部添加含有したので、1050
℃以下の比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時に
焼成でき、高周波領域において高い比誘電率を有すると
ともに、SnO2 、ZrO2 を含有しない場合よりもQ
値を高くすることができ、電子部品や基板のより一層の
小型化と高性能化を実現できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久和 登代美 鹿児島県国分市山下町1番4号 京セラ株 式会社総合研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】金属元素としてMg、Ca、Tiを含有す
    る複合酸化物であって、これらの金属元素酸化物の重量
    比による組成式を aMgO・bCaO・cTiO2 と表した時、前記a、b、cが 25.0≦a≦35.0 0.3≦b≦ 7.0 60.0≦c≦70.0 a+b+c=100 を満足する主成分と、該主成分100重量部に対して、
    硼素含有化合物をB2 3 換算で3〜20重量部、アル
    カリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜1
    0重量部、Sn含有化合物およびZr含有化合物のうち
    少なくとも1種を酸化物換算で合計0.3〜3.5重量
    部含有してなることを特徴とする誘電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】金属元素としてMg、Ca、Tiを含有す
    る複合酸化物であって、その組成式が(100−x)M
    gTiO3 −xCaTiO3 (但し、式中xは重量比を
    表し、1≦x≦15)で表される主成分と、該主成分1
    00重量部に対して、硼素含有化合物をB2 3 換算で
    3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金
    属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sn含有化合物および
    Zr含有化合物のうち少なくとも1種を酸化物換算で合
    計0.3〜3.5重量部含有してなることを特徴とする
    誘電体磁器組成物。
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JP2013063909A (ja) * 2006-11-30 2013-04-11 Korea Inst Of Ceramic Engineering & Technology 非ガラス系マイクロ波誘電体
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