JPH11254681A - インクジェット式記録ヘッド、及びインク供給口形成基板の製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びインク供給口形成基板の製造方法Info
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- JPH11254681A JPH11254681A JP7134198A JP7134198A JPH11254681A JP H11254681 A JPH11254681 A JP H11254681A JP 7134198 A JP7134198 A JP 7134198A JP 7134198 A JP7134198 A JP 7134198A JP H11254681 A JPH11254681 A JP H11254681A
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- B41J2002/14419—Manifold
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インク滴の吐出特性が安定なインクジェット
式記録ヘッドを提供することである。 【解決手段】 インク供給口形成基板１０が、少なくと
もエッチング可能な第１の金属層２０と、実質的にエッ
チングを受けず、かつリザーバ１５のインクの圧力変動
により弾性変形可能な第２の金属層２１とからなるクラ
ッド材を、リザーバ１５に対向する領域の第１の金属層
２０をエッチングに除去して薄肉部１８を形成し、圧力
発生室５から逆流したインクの圧力を薄肉部の変位によ
り吸収する。
式記録ヘッドを提供することである。 【解決手段】 インク供給口形成基板１０が、少なくと
もエッチング可能な第１の金属層２０と、実質的にエッ
チングを受けず、かつリザーバ１５のインクの圧力変動
により弾性変形可能な第２の金属層２１とからなるクラ
ッド材を、リザーバ１５に対向する領域の第１の金属層
２０をエッチングに除去して薄肉部１８を形成し、圧力
発生室５から逆流したインクの圧力を薄肉部の変位によ
り吸収する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術の分野】本発明は、圧力発生手段に
よりインクを加圧するアクチュエータユニットと、外部
からインクの供給を受けてアクチュエータユニットにイ
ンクを供給するとともに、アクチュエータユニットで加
圧されたインクをインク滴として吐出させる流路ユニッ
トとを積層して構成されたインクジェット式記録ヘッド
に関する。
よりインクを加圧するアクチュエータユニットと、外部
からインクの供給を受けてアクチュエータユニットにイ
ンクを供給するとともに、アクチュエータユニットで加
圧されたインクをインク滴として吐出させる流路ユニッ
トとを積層して構成されたインクジェット式記録ヘッド
に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、特開平6-40035号公報に示され
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動子を貼着し、圧電振動子のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動子を貼着し、圧電振動子のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
【０００３】このインクジェット式記録ヘッドは、蒸着
やスパッタリング等の膜形成技術を適用して精細な圧電
振動子を弾性板に作り付けることが可能となるため、記
録密度や駆動周波数を飛躍的に向上することができる。
やスパッタリング等の膜形成技術を適用して精細な圧電
振動子を弾性板に作り付けることが可能となるため、記
録密度や駆動周波数を飛躍的に向上することができる。
【０００４】このような高密度、高速駆動が可能になる
と、インク滴吐出時に圧力発生室からリザーバに逆流す
るインク量も多くなるため、リザーバを介して他の圧力
発生室のインクの圧力を変動させ、インク滴の吐出特性
が悪影響を受けるという問題がある。このような問題を
解消するため、例えば欧州特許公開第759361号公報に見
られるごとくインクジェット式記録ヘッドのリザーバを
区画するインク供給口形成基板に圧力発生室から逆流し
たインクの圧力により弾性変形可能な凹部を形成したと
したインクジェット式記録ヘッドも提案されている。す
なわち、このインク供給口形成基板は、図４に示したよ
うにウレタン等の有機材料を接着層５０として２枚の金
属板５１、５２を貼合わせた板材５３を用い、接着層５
０をエッチングストッパとして一方の金属板５１をエッ
チングして凹部１７’を形成し、接着層５０と金属板５
２により薄肉部１８’を形成したものである。
と、インク滴吐出時に圧力発生室からリザーバに逆流す
るインク量も多くなるため、リザーバを介して他の圧力
発生室のインクの圧力を変動させ、インク滴の吐出特性
が悪影響を受けるという問題がある。このような問題を
解消するため、例えば欧州特許公開第759361号公報に見
られるごとくインクジェット式記録ヘッドのリザーバを
区画するインク供給口形成基板に圧力発生室から逆流し
たインクの圧力により弾性変形可能な凹部を形成したと
したインクジェット式記録ヘッドも提案されている。す
なわち、このインク供給口形成基板は、図４に示したよ
うにウレタン等の有機材料を接着層５０として２枚の金
属板５１、５２を貼合わせた板材５３を用い、接着層５
０をエッチングストッパとして一方の金属板５１をエッ
チングして凹部１７’を形成し、接着層５０と金属板５
２により薄肉部１８’を形成したものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、リザー
バ形成基板やアクチュエータユニット等の他の部材との
強固な接合を確保するため、加熱、加圧により接合しよ
うとすると、接着層５０からガスが発生して２枚の金増
５１、５２の間に空洞が生じたり、またノズル連通孔１
４’やインク供給口１６’をプレス加工により穿孔する
と、接着層５０に返りが生じて孔位置に誤差が生じた
り、さらにノズル連通孔１４’やインク供給口１６’か
ら露出している接着層５０がインクに腐蝕される等、数
々の不都合を生じ、記録ヘッドやリザーバ毎にばらつき
が生じ、インク滴の吐出特性を均一にすることが困難で
あるという問題を抱えている。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
はインク滴の吐出特性が安定なインクジェット式記録ヘ
ッドを提供することである。本発明の他の目的は、イン
クジェット式記録ヘッドに適したインク供給口形成基板
の製造方法を提案することである。
バ形成基板やアクチュエータユニット等の他の部材との
強固な接合を確保するため、加熱、加圧により接合しよ
うとすると、接着層５０からガスが発生して２枚の金増
５１、５２の間に空洞が生じたり、またノズル連通孔１
４’やインク供給口１６’をプレス加工により穿孔する
と、接着層５０に返りが生じて孔位置に誤差が生じた
り、さらにノズル連通孔１４’やインク供給口１６’か
ら露出している接着層５０がインクに腐蝕される等、数
々の不都合を生じ、記録ヘッドやリザーバ毎にばらつき
が生じ、インク滴の吐出特性を均一にすることが困難で
あるという問題を抱えている。本発明はこのような問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
はインク滴の吐出特性が安定なインクジェット式記録ヘ
ッドを提供することである。本発明の他の目的は、イン
クジェット式記録ヘッドに適したインク供給口形成基板
の製造方法を提案することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、圧電振動子により圧力発生
室のインクを加圧するアクチュエータユニットと、前記
アクチュエータユニットが固定され、前記圧力発生室の
両端部において連通する連通孔とインク供給口とを備え
た金属からなるインク供給口形成基板と、前記インク供
給口を介して前記圧力発生室に連通するリザーバ、及び
前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えたリザーバ形
成基板と、前記リザーバ形成基板の他面を封止するとと
もに前記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続するノ
ズル開口を備えたノズルプレートとを接合してなる流路
ユニットとからなるインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記インク供給口形成基板が、少なくともエッチン
グ加工可能な第１の金属層と、実質的にエッチングによ
る腐蝕を受けず、かつ前記リザーバのインクの圧力変動
により弾性変形可能な第２の金属層とからなるクラッド
材を、前記リザーバに対向する領域の第１の金属層をエ
ッチングにより除去して構成するようにした。
るために本発明においては、圧電振動子により圧力発生
室のインクを加圧するアクチュエータユニットと、前記
アクチュエータユニットが固定され、前記圧力発生室の
両端部において連通する連通孔とインク供給口とを備え
た金属からなるインク供給口形成基板と、前記インク供
給口を介して前記圧力発生室に連通するリザーバ、及び
前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えたリザーバ形
成基板と、前記リザーバ形成基板の他面を封止するとと
もに前記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続するノ
ズル開口を備えたノズルプレートとを接合してなる流路
ユニットとからなるインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記インク供給口形成基板が、少なくともエッチン
グ加工可能な第１の金属層と、実質的にエッチングによ
る腐蝕を受けず、かつ前記リザーバのインクの圧力変動
により弾性変形可能な第２の金属層とからなるクラッド
材を、前記リザーバに対向する領域の第１の金属層をエ
ッチングにより除去して構成するようにした。
【０００７】
【作用】インク供給口形成基板の薄肉部が、圧力発生室
から逆流したインクの圧力に応じて変位するため、他の
圧力発生室への圧力の伝搬が防止され、かつ薄肉部がエ
ッチングによる高い精度で形成されているため、ばらつ
きが小さく、個体差を最小限に抑えることがでる。
から逆流したインクの圧力に応じて変位するため、他の
圧力発生室への圧力の伝搬が防止され、かつ薄肉部がエ
ッチングによる高い精度で形成されているため、ばらつ
きが小さく、個体差を最小限に抑えることがでる。
【０００８】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の記録
ヘッドの全体を、熱溶着フィルム等部材間の接着層を省
略して示す組み立て斜視図であり、また図２は、１つの
アクチュエータユニットの圧力発生室近傍の構造を示す
断面図であって、アクチュエータユニット１と、流路ユ
ニット２とから構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の記録
ヘッドの全体を、熱溶着フィルム等部材間の接着層を省
略して示す組み立て斜視図であり、また図２は、１つの
アクチュエータユニットの圧力発生室近傍の構造を示す
断面図であって、アクチュエータユニット１と、流路ユ
ニット２とから構成されている。
【０００９】アクチュエータユニット１は、厚さ１０μ
ｍ程度のジルコニアの薄板からなり、表面に圧力発生室
５に対向する領域に圧電振動子３が固定された第１の蓋
材４と、圧力発生室５を区画する貫通孔を備えた例えば
厚さ１５０μｍ程度のジルコニアからなる流路形成基板
６と、流路ユニット２との接続流路を形成する第２の蓋
材７を液密に積層して構成されている。なお、第２の蓋
材７には、ノズル開口、及びインク供給口１４と連通す
る通孔８、９が形成されている。
ｍ程度のジルコニアの薄板からなり、表面に圧力発生室
５に対向する領域に圧電振動子３が固定された第１の蓋
材４と、圧力発生室５を区画する貫通孔を備えた例えば
厚さ１５０μｍ程度のジルコニアからなる流路形成基板
６と、流路ユニット２との接続流路を形成する第２の蓋
材７を液密に積層して構成されている。なお、第２の蓋
材７には、ノズル開口、及びインク供給口１４と連通す
る通孔８、９が形成されている。
【００１０】流路ユニット２は、インク供給口形成基板
１０と、リザーバ形成基板１１と、ノズルプレート１２
を順番に液密に積層して構成されている。
１０と、リザーバ形成基板１１と、ノズルプレート１２
を順番に液密に積層して構成されている。
【００１１】インク供給口形成基板１０は、アクチュエ
ータユニット１や、インク導入口形成部材１３の固定基
板としての機能を必要とするため、比較的剛性の高い板
材を使用して構成されており、圧力発生室５の一端側に
はノズル連通孔１４が、また他側側にはリザーバ１５と
接続するインク供給口１６を穿設し、さらにリザーバ１
５に対向する領域には可及的に広い面積を有し、かつ流
路ユニット側を凹部１７とする薄肉部１８を形成して構
成されている。
ータユニット１や、インク導入口形成部材１３の固定基
板としての機能を必要とするため、比較的剛性の高い板
材を使用して構成されており、圧力発生室５の一端側に
はノズル連通孔１４が、また他側側にはリザーバ１５と
接続するインク供給口１６を穿設し、さらにリザーバ１
５に対向する領域には可及的に広い面積を有し、かつ流
路ユニット側を凹部１７とする薄肉部１８を形成して構
成されている。
【００１２】インク供給口形成基板１０は、この実施例
においては耐インク性を備えた第１の金属層２０が６０
μｍ程度に、また第２の金属層２１が厚さ１０μｍ程度
に、さらに第１の金属層２０と同等の耐インク性を備え
た第３の金属層２２が５μｍ程度となるように、金属板
を重ねあわせて冷間圧延、または熱間圧延してなるクラ
ッド材からなり、薄肉部１８は、第１の金属層２０をエ
ッチングことにより構成されている。
においては耐インク性を備えた第１の金属層２０が６０
μｍ程度に、また第２の金属層２１が厚さ１０μｍ程度
に、さらに第１の金属層２０と同等の耐インク性を備え
た第３の金属層２２が５μｍ程度となるように、金属板
を重ねあわせて冷間圧延、または熱間圧延してなるクラ
ッド材からなり、薄肉部１８は、第１の金属層２０をエ
ッチングことにより構成されている。
【００１３】第１の金属層２０は、エッチングが可能な
材料、例えば不錆鋼、ニッケル、ニッケルークロム合
金、クロム、パラジウム、プラチナ、タングステン、モ
リブデン等が、また第２の金属層２１は、第１の金属層
２０のエッチング剤に耐蝕性を有する材料で、かつ第１
の金属層２０と高い接合強度を確保でき、さらにヤング
率が小さな材料、例えばチタン、タンタル、ニオブ、
金、白金等が使用されている。
材料、例えば不錆鋼、ニッケル、ニッケルークロム合
金、クロム、パラジウム、プラチナ、タングステン、モ
リブデン等が、また第２の金属層２１は、第１の金属層
２０のエッチング剤に耐蝕性を有する材料で、かつ第１
の金属層２０と高い接合強度を確保でき、さらにヤング
率が小さな材料、例えばチタン、タンタル、ニオブ、
金、白金等が使用されている。
【００１４】また、第３の金属層２２は、インクに対し
て耐蝕性を備えた材料、例えば不錆鋼、ニッケル、ニッ
ケルークロム合金、タングステン、パラジウム、クロム
等が使用されている。なお、第３の金属層２２は、第２
の金属層２１を形成する材料と熱溶着フィルム２３との
接着強度が低い場合には、接着強度を確保する上から必
要であり、第２の金属層２１にチタンを使用した場合に
は第３の金属層２２を形成するのが望ましい。
て耐蝕性を備えた材料、例えば不錆鋼、ニッケル、ニッ
ケルークロム合金、タングステン、パラジウム、クロム
等が使用されている。なお、第３の金属層２２は、第２
の金属層２１を形成する材料と熱溶着フィルム２３との
接着強度が低い場合には、接着強度を確保する上から必
要であり、第２の金属層２１にチタンを使用した場合に
は第３の金属層２２を形成するのが望ましい。
【００１５】このインク供給口形成基板１０は、例えば
第１の金属層として厚さ６０μｍの不錆鋼３０と、第２
の金属層３１として厚さ１０μｍのチタンと、第３の金
属層３２として厚さ５μｍの不錆鋼を接合してなるクラ
ッド材３３を用意し（図３（I））、位置決め等に使用
する貫通孔３４をプレス等により穿設する（図３（I
I））。
第１の金属層として厚さ６０μｍの不錆鋼３０と、第２
の金属層３１として厚さ１０μｍのチタンと、第３の金
属層３２として厚さ５μｍの不錆鋼を接合してなるクラ
ッド材３３を用意し（図３（I））、位置決め等に使用
する貫通孔３４をプレス等により穿設する（図３（I
I））。
【００１６】第１の金属層３０の表面に、凹部１７に一
致する窓を備えたエッチングレジストパターンを形成し
て、第１の金属層３０を溶解させ、かつ第２の金属層３
１には腐蝕作用を有しないエッチング液、この実施例で
は塩化第二鉄の水溶液によりエッチングを行うと、第２
の金属層３１がエッチングストッパとして機能し、第１
の金属層３０だけがエッチングマスクに規定される形状
で高い精度でエッチングを受け、第２、第３の金属層３
１、３２からなる薄肉部３５が形成される。
致する窓を備えたエッチングレジストパターンを形成し
て、第１の金属層３０を溶解させ、かつ第２の金属層３
１には腐蝕作用を有しないエッチング液、この実施例で
は塩化第二鉄の水溶液によりエッチングを行うと、第２
の金属層３１がエッチングストッパとして機能し、第１
の金属層３０だけがエッチングマスクに規定される形状
で高い精度でエッチングを受け、第２、第３の金属層３
１、３２からなる薄肉部３５が形成される。
【００１７】ついで、インク供給口１６、及びノズル連
通孔１４となる貫通孔３６を微細穿孔技術により穿設す
ることによりインク供給口形成基板１０が完成する。
通孔１４となる貫通孔３６を微細穿孔技術により穿設す
ることによりインク供給口形成基板１０が完成する。
【００１８】このようにして製造されたインク供給口形
成基板１０の薄肉部側をリザーバ形成基板１１の一方の
開口面に、またノズル開口１９を備えたノズルプレート
１２をリザーバ形成基板１１の他方の開口面に熱溶融フ
ィルム２３、２４を介装して加圧しながら加熱すると、
これら部材が溶着されて流路ユニット２が完成する。な
お、図中符号２５は、インク導入口を、また２６は、イ
ンク供給口連通孔を、符号４１乃至４６は位置決め用の
基準孔を示す。
成基板１０の薄肉部側をリザーバ形成基板１１の一方の
開口面に、またノズル開口１９を備えたノズルプレート
１２をリザーバ形成基板１１の他方の開口面に熱溶融フ
ィルム２３、２４を介装して加圧しながら加熱すると、
これら部材が溶着されて流路ユニット２が完成する。な
お、図中符号２５は、インク導入口を、また２６は、イ
ンク供給口連通孔を、符号４１乃至４６は位置決め用の
基準孔を示す。
【００１９】このようにして構成されたインク供給口形
成基板７によりリザーバ形成基板８の一方の開口面に、
またリザーバ形成基板８の他方の開口面をノズル開口１
９を備えたノズルプレート９により接着剤層２３、２４
により固着、封止すると、流路ユニット２が完成する。
最後に、流路ユニット２のインク供給口形成基板１０の
表面にアクチュエータユニット１を接着手段で接合する
と、インクジェット式記録ヘッドが完成する。
成基板７によりリザーバ形成基板８の一方の開口面に、
またリザーバ形成基板８の他方の開口面をノズル開口１
９を備えたノズルプレート９により接着剤層２３、２４
により固着、封止すると、流路ユニット２が完成する。
最後に、流路ユニット２のインク供給口形成基板１０の
表面にアクチュエータユニット１を接着手段で接合する
と、インクジェット式記録ヘッドが完成する。
【００２０】このように構成されたインクジェット式記
録ヘッドにおいて、圧電振動子３に駆動信号を印加して
弾性板４を圧力発生室側に変形させると、圧力発生室５
のインクが加圧され、一部がノズル連通孔からノズル開
口１９に流れ込み、インク滴として吐出される。同時に
圧力発生室５のインクはインク供給口１６からリザーバ
１５に逆流してリザーバ１５のインクの圧力を上昇させ
ようとする。
録ヘッドにおいて、圧電振動子３に駆動信号を印加して
弾性板４を圧力発生室側に変形させると、圧力発生室５
のインクが加圧され、一部がノズル連通孔からノズル開
口１９に流れ込み、インク滴として吐出される。同時に
圧力発生室５のインクはインク供給口１６からリザーバ
１５に逆流してリザーバ１５のインクの圧力を上昇させ
ようとする。
【００２１】リザーバ１５の一方の面を封止しているイ
ンク供給口形成基板１０の薄肉部１８が凹部１７側に逆
流したインクの圧力により弾性変形するため、リザーバ
１５のインクの圧力率が抑えられ、他の圧力発生室５の
圧力変動が抑制される。これにより、ノズル開口近傍の
メニスカスがインク滴吐出に適した位置に保持され、安
定なインク滴の吐出が可能となる。
ンク供給口形成基板１０の薄肉部１８が凹部１７側に逆
流したインクの圧力により弾性変形するため、リザーバ
１５のインクの圧力率が抑えられ、他の圧力発生室５の
圧力変動が抑制される。これにより、ノズル開口近傍の
メニスカスがインク滴吐出に適した位置に保持され、安
定なインク滴の吐出が可能となる。
【００２２】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、インク供給口形成基板を、少なくともエッチング加
工可能な第１の金属層と、実質的にエッチングによる腐
蝕を受けず、かつリザーバのインクの圧力変動により弾
性変形可能な第２の金属層とからなるクラッド材を、リ
ザーバに対向する領域の第１の金属層をエッチングによ
り除去して構成したので、圧力発生室から逆流したイン
クの圧力を薄肉部の変位により吸収して他の圧力発生室
への圧力変動を防止でき、かつ薄肉部がエッチングによ
る高い精度で形成されているため、個体差を最小限に抑
えてインク吐出特性の安定なインクジェット式記録ヘッ
ドを提供することができる。
は、インク供給口形成基板を、少なくともエッチング加
工可能な第１の金属層と、実質的にエッチングによる腐
蝕を受けず、かつリザーバのインクの圧力変動により弾
性変形可能な第２の金属層とからなるクラッド材を、リ
ザーバに対向する領域の第１の金属層をエッチングによ
り除去して構成したので、圧力発生室から逆流したイン
クの圧力を薄肉部の変位により吸収して他の圧力発生室
への圧力変動を防止でき、かつ薄肉部がエッチングによ
る高い精度で形成されているため、個体差を最小限に抑
えてインク吐出特性の安定なインクジェット式記録ヘッ
ドを提供することができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、１つのアクチュエータユニットの圧力発生室近傍
の構造でもって示す断面図である。
例を、１つのアクチュエータユニットの圧力発生室近傍
の構造でもって示す断面図である。
【図３】図（I）乃至（IV）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドに使用する流路形成基板の製造方法を示す図である。
ドに使用する流路形成基板の製造方法を示す図である。
【図４】流路形成基板の他の実施例を示す図である。
１ アクチュエータユニット ２ 流路ユニット ３ 圧電振動子 １０ インク供給口形成基板 １１ リザーバ形成基板 １２ ノズルプレート １５ リザーバ １６ インク供給口 １８ 薄肉部 ２０〜２２ クラッド材を構成する金属層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 祐一 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 圧電振動子により圧力発生室のインクを
加圧するアクチュエータユニットと、 前記アクチュエータユニットが固定され、前記圧力発生
室の両端部において連通する連通孔とインク供給口とを
備えた金属からなるインク供給口形成基板と、前記イン
ク供給口を介して前記圧力発生室に連通するリザーバ、
及び前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えたリザー
バ形成基板と、前記リザーバ形成基板の他面を封止する
とともに前記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続す
るノズル開口を備えたノズルプレートとを接合してなる
流路ユニットとからなるインクジェット式記録ヘッドに
おいて、 前記インク供給口形成基板が、少なくともエッチング加
工可能な第１の金属層と、実質的にエッチングによる腐
蝕を受けず、かつ前記リザーバのインクの圧力変動によ
り弾性変形可能な第２の金属層とからなるクラッド材
を、前記リザーバに対向する領域の第１の金属層をエッ
チングにより除去して構成されているインクジェット式
記録ヘッド。 - 【請求項２】 第２の金属層が、前記インクに耐蝕性を
有する金属である請求項１に記載のインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項３】 第２の金属層のリザーバ側に前記インク
に耐蝕性を有する第３の金属層が形成されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 第１の金属層が不錆鋼、ニッケル、ニッ
ケルークロム合金、クロム、パラジウム、プラチナ、タ
ングステン、モリブデンであり、また第２の金属層がチ
タン、タンタル、ニオブ、金、白金である請求項１に記
載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 第３の金属層が不錆鋼、ニッケル、ニッ
ケルークロム合金、タングステン、パラジウム、クロム
である請求項３に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 第１の金属層が、第２の金属層よりも厚
く形成されている請求項１に記載のインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項７】 第１の金属層が、第２、第３の金属層の
合計の厚みよりも厚く形成されている請求項３に記載の
インクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 エッチング可能な第１の金属層と、エッ
チング剤に対して実質的に耐蝕性を示す第２の金属層か
らなるクラッド材の第１の金属層のリザーバに対向する
領域をエッチングする工程と、 インク供給口、ノズル連通孔となる貫通孔を機械加工に
より穿設する工程とからなるインクジェット式記録ヘッ
ドのインク供給口形成基板の製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP7134198A JP3596586B2 (ja) | 1998-03-05 | 1998-03-05 | インクジェット式記録ヘッド、及びインク供給口形成基板の製造方法 |
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1998
- 1998-03-05 JP JP7134198A patent/JP3596586B2/ja not_active Expired - Fee Related
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