JP3541869B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
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Description
【発明が属する技術の分野】
本発明は、記録媒体にインク滴を吐出して記録画像を形成するインクジェット式記録ヘッド、より詳細には圧力発生室等の流路を形成するスペーサの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
ノズルと連通する圧力発生室の壁面に弾性板を積層し、この弾性板を圧電振動子により加圧することによりインク滴を吐出し記録媒体に記録するインクジェット式記録ヘッドは、例えば特開平7-323543号公報に見られるようにノズルを有するノズルプレートと、圧力発生室とリザーバ及びインク流路が形成されたスペーサ部材と、弾性板をサンドイッチ状に積層し、この弾性板を圧電振動子により弾性変形させて、圧力発生室を膨張、収縮させるように構成されている。
【0003】
リザーバは、2列の圧力発生室の外周を取り囲むように略U字状に形成されていて、中央部に導入口が接続するように構成されている。 このような構成によれば、2列の圧力発生室を使用して高密度印刷が可能となるものの、カラー印刷のように複数種のインクを使用する記録ヘッドにあっては、インク種の数だけ記録ヘッドを用意せねばならず、記録ヘッドの幅方向のサイズが非常に大きくなるという問題がある。
【0004】
このような問題を解消するため、特開平9-226112号公報に見られるように、複数の圧力発生室を列状に形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を介して連通するリザーバを形成したスペーサと、圧力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、圧力発生室、及びリザーバを封止する弾性板とを積層して構成された流路ユニットと、圧力発生室に対向する領域の弾性板を変位させる加圧手段と、流路ユニットと加圧手段とを固定するとともに、リザーバにインクを注入するインク誘導路を備えたヘッドホルダとを備え、インク誘導路と対向する領域に圧力発生室を区画するのと同様の隔壁を形成し、この隔壁でインク誘導路の開口を支持する記録ヘッドを提案されている。
【0005】
【解決しようとする課題】
これによれば、記録ヘッドの幅方向のサイズを可及的に小さくでき、かつ各列の圧力発生室にそれぞれ独立にインクを供給することが可能となるものの、リザーバが隔壁により分断されるため、リザーバのコンプライアンスに偏りが生じたり、またインクの流入量が領域によってばらつく等の不都合がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは記録ヘッドの幅方向のサイズの拡大を招くこと無く、リザーバ全体にインクを安定に供給でき、かつリザーバ全体にコンプライアンスを付与すことができるインクジェット式記録ヘッドを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために本発明においては、複数の圧力発生室を列状に形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を介して連通し、かつ前記インク供給口と接続するとともに本体部の外周端よりも前記インク供給口側に位置するインク導入口を有するリザーバを備えたスペーサと、前記圧力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、前記リザーバを封止する弾性板とを積層して構成された流路ユニットと、前記圧力発生室のインクを加圧する加圧手段と、前記流路ユニットを固定するとともに、前記リザーバにインクを注入するインク誘導路が形成されたヘッドホルダとを備え、前記スペーサが、列状に配列された前記複数の圧力発生室の配列方向と直交する方向に前記インク誘導路の開口を横断し、かつ前記開口の周縁の支持領域と前記リザーバの前記インク供給口側との間に接続流路が形成された少なくとも1つの枝部を有し、前記開口の周辺にも前記弾性板によるコンプライアンスが付与されるようにした。
【0007】
【作用】
ヘッドホルダとの接着の過程で、インク誘導路の開口の近傍をスペーサの枝部により支持でき、また枝部の接続流路によりリザーバ内でのインクの流通を確保し、さらにインク誘導路の開口周縁にもコンプライアンスを確保してコンプライアンスの偏りを無くす。
【0008】
【発明の実施の形態】
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図1は、本発明の記録ヘッドの一実施例を示すものであって、ノズル開口1、インク供給口2、リザーバ3、及び圧力発生室4を形成する流路形成ユニット5をヘッドホルダ6の一端に固定するとともに、このユニット5の各列の圧力発生室4に対向する位置に圧電振動子7、7、7、…の先端が当接するように圧電振動子ユニット8をヘッドホルダ6に固定して構成されている。
【0009】
ヘッドホルダ6は、図2に示したように圧力発生室4に対向する位置に圧電振動子7、7、7、…を露出させる窓9が、またリザーバ3に対向する領域には弾性板10の変形を可能ならしめる凹部11が形成され、さらにリザーバ3の中心部と対向する位置にはインク誘導路12の先端の開口13が形成して構成されている。
【0010】
流路ユニット5は、圧力発生室2に連通するノズル開口1を備えたノズルプレート14と、リザーバ3、インク供給口2、及び圧力発生室4を形成するスペーサ15と、少なくともリザーバ3、インク供給口2、及び圧力発生室4を封止し、かつリザーバ3、及び圧力発生室4の領域で弾性変形可能な弾性膜にヘッドホルダ6の開口13とリザーバ3とを接続するインク導入口16を穿設してなる弾性板10とをサンドイッチ状に積層して構成されている。
【0011】
弾性板10は、この実施例では圧電振動子7の変位を圧力発生室の容積変化に変換するために各圧力発生室の中心線上に剛性を備えたアイランド部17が形成されている。
【0012】
図3は、スペーサ15の一実施例を示すものであって、中心線を対称線とするように圧力発生室4、4、4、…が2列一定のピッチで形成され、各列の圧力発生室2、2、2、…の外側にはそれぞれ独立してリザーバ3、3が形成され、インク供給口2、2、2…を介してリザーバ3、3と各列の圧力発生室4、4、4、…が接続されている。
【0013】
リザーバ3は、中心点を対称点とするように両側が若干狭くなるように羽型に形成され、また中心部にはヘッドホルダ6のインク誘導路12に接続する凹部18を突出部19により区画して形成されている。この凹部18は、リザーバ3の最外側よりも内側、つまり圧力発生室側に位置するように形成されている。これにより、記録ヘッド全体の幅を小さくして小型化を図ることが可能となる。
【0014】
また、凹部18の中心線にはインク供給口2、2、2、…が形成されている領域に延びる枝部20が少なくとも1本が形成されている。
【0015】
そして図4に示したようにヘッドホルダ6の開口13の周縁が対向する領域よりもインク供給口2の側にはインクの流通が可能な程度の段差部からなる接続流路21が形成されている。
【0016】
このスペーサ15は、周知のように所定厚に切り出されたシリコン単結晶基板を用い、リザーバ3、凹部18等を異方性フルエッチングにより貫通孔として形成し、また圧力発生室4や接続流路21を異方性ハーフエッチングで形成することにより構成できる。
【0017】
また、エッチング可能で、かつインクに耐蝕性を持つ金属やガラス等の板材を用い、これに貫通領域や凹部をエッチングにより形成したり、また少なくとも凹部の底面を境とするように厚み方向に複数の層に分解し、各層の貫通孔に一致する貫通孔を形成したエッチングフィルムを積層することにより構成することができる。
【0018】
この実施例において、スペーサ15の一方の面にノズルプレート14を、また他方の面に弾性板10を接着剤等により液密に固定して流路形成ユニット5を構成する。
【0019】
この流路形成ユニット5のインク導入口16をヘッドホルダ6のインク誘導路12の開口13に位置合わせして接着剤等によりヘッドホルダ6に固定し、また圧電振動子7の先端が弾性板10のアイランド部17に当接するように圧電振動子ユニット8をヘッドホルダ6に固定し、さらにヘッドホルダ6の他方の面にインク供給針22やフィルタ23を取り付けて外側をシールド部材を兼ねる枠体24で固定すると記録ヘッドが完成する。
【0020】
ところで、流路ユニット5とヘッドホルダ6との接着の過程で、インク導入路16の開口13の周縁の内、少なくともリザーバ3の側には枝部20が形成されているから、幅方向の2点で支持されるため、インク誘導路12の開口13の周辺の弾性板10がヘッドホルダ6に確実に接着され、液密構造が確保される。
【0021】
このように構成された記録ヘッドに駆動信号を印加すると、圧電振動子7が収縮して圧力発生室4が膨張する。これによりリザーバ3のインクがインク供給口2から圧力発生室4に流れ込む。所定時間が経過した段階で圧電振動子7を放電させると、圧電振動子7が伸長して元の状態に復帰する。この過程で圧力発生室4が圧縮されて圧力発生室4のインクの一部がノズル開口1からインク滴として吐出し、また残部がインク供給口2からリザーバ3に逆流する。
【0022】
リザーバ3に逆流したインクは、リザーバ3の圧力を上昇させることになるが、リザーバ3の一方の面はフィルム等の弾性変形可能な弾性板10により封止され、かつヘッドホルダ6の対向する面に凹部11が形成されているから、弾性板10が圧力変動に応動して弾性変形し、圧力上昇分を吸収する。
【0023】
そしてインク誘導路12の開口13の近傍の枝部20には接続流路21として凹部が形成されているから、ここの領域の弾性板10も弾性変形することができて、インク誘導路12の開口13の周縁でのコンプライアンスの低下が可及的に小さく、圧力上昇分が吸収される。
【0024】
このようにしてリザーバ3のインクが消費されると、インク供給針22により接続されている図示しないインクカートリッジのインクがヘッドホルダ6のインク誘導路12を経由してインク導入口13から凹部18に流れ込み両側のリザーバ13に分流し、また接続流路21を介して枝部20の両側のインク量が平均化される。
【0025】
なお、上述の実施例においては枝部20のヘッドホルダ6側にのみ接続流路20となる凹部を形成したが、図5に示したようにノズルプレート14の側にも凹部からなる第2の接続流路21’を形成すると、枝部20による流体抵抗を下げることができる。
【0026】
また上述の実施例においてはリザーバ3を横断するように枝部20を形成しているが、図6(イ)に示したように少なくともヘッドホルダ6の開口13の周縁の一部に当接できる位置までとして、インク供給口2の側の隔壁との間に欠部を設けて接続流路25を形成しても同様の作用を奏する。
【0027】
さらに図6(ロ)に示したように枝部20のヘッドホルダ6の開口13と当接する領域20’よりも内側(図中クロスハッチングにより示す領域)に凹部を形成して流体抵抗を下げるのが望ましい。
【0028】
図7、図8は本発明のインクジェット式記録ヘッドの他の実施例をスペーサの構造で示すものであって、この実施例においてはリザーバ3の幅方向(図中、水平方向)を横断するように複数の枝部26、26、26、…、26’、26’、26’、…を形成するとともに、ヘッドフレーム6のインク誘導路12の開口13の周縁と対向する枝部26、26、26、…は、開口13の当接領域よりもインク供給口2の側に段差を設けて接続流路27が形成され、また開口13から外れる領域の枝部26’、26’、26’、…には少なくとも片面、望ましくは両面の全体に凹部を形成して連通流路が確保されている。
【0029】
また枝部26、26、26、…は、圧力発生室4を区画する隔壁4’の延長線上に位置するように形成すると、スペーサをシリコン単結晶基板を異方性エッチングして構成する際、隔壁4’に隣接して形成するインク供給口2の過剰なエッチングを防止するための細いダミーのパターン、いわゆる補正パターンを不要とすることができる。
【0030】
また隔壁4’の延長線上に枝部26、26、26、…を形成するとともに、その間隔を狭くするほどリザーバのインクの流れを圧力発生室側に向かわせることができて、リザーバに侵入した気泡が排除し易くなる。
【0031】
さらに枝部26、26、26、…を各隔壁に一致させるか、または隔壁4’の本数の整数倍プラス1だけ形成すると、全ての圧力発生室4、及びインク供給口2に対するリザーバ3の部分構造が均一化されるため、全ての圧力発生室のインク滴吐出特性の均質化を図ることができる。
【0032】
一方、ヘッドホルダ6のインク誘導路12の開口部28は、図9(イ)に示したようリザーバ3の外側の境界にほぼ一致するように楕円形として形成されたり、また図9(ロ)に示したようにインク誘導路12の途中から端部に向けて断面三角形状の流路12’として形成して端部で楕円形となるように形成されたり、晒に図9(ハ)に示したように流路12を複数の流路12’、12’として形成すると、開口28を長尺化でき、多数ノズルの記録ヘッドのリザーバにも安定にインクを供給することができる。
【0033】
一方、リザーバ3との接続領域が拡大された結果、ヘッドホルダ6は、図10に示したように楕円形の開口28を取り囲むようにインク供給口2側に位置する細長い凹部29を形成して、弾性板10のリザーバ3に対向する領域を弾性変形可能ならしめてインク供給口2の周辺にもコンプライアンスを発現させるように構成されている。
【0034】
この実施例によれば、インク誘導路12の先端に拡開して形成された開口28の周縁をスペーサ15の本体部と、複数の枝部26により支持でき、またインク誘導路12を流れて来たインクを楕円形の開口28によりインクをリザーバ3の全体に分散させて供給することができる。
【0035】
そして、特に図11に示したように、リザーバ3を矩形状に形成するとともに、その長手方向(図中、上下方向)の両端近傍まで枝部26、26、26、…を形成することにより、ここを封止する弾性板10が寄与するリザーバのコンプライアンスを均一化でき、各ノズル開口1、1、1、…からのインク滴の吐出特性を均一にすることができる。
【0036】
このようにリザーバ3の両端近傍にまで枝部を形成すると、前述したようにリザーバ内でのインクの流れを可及的に圧力発生室側に向かわせることができるため、図7に示したようにリザーバ3の両端部を先細り状に形成する必要がなく、リザーバ3のコンプライアンスの場所による相違、つまり中央部と両端部とでの相違を無くすることができる。
【0037】
なお、上述の実施例においては、圧力発生室の容積を圧電振動子の伸縮により変化させてインクを加圧するものに例を採って説明したが、圧力発生室のインクを加熱して気化させる加熱素子を圧力発生手段に用いた記録ヘッドのリザーバ構造に適用しても同様の作用を奏することは明らかである。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、記録ヘッドの幅方向のサイズの拡大を招くこと無く、リザーバ全体にインクを安定に供給でき、かつリザーバ全体にコンプライアンスを付与することがきる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施例を示す断面図である。
【図2】同上記録ヘッドの組立て斜視図である。
【図3】スペーサの一実施例を示す平面図である。
【図4】同上スペーサの、ヘッドホルダのインク誘導路の開口と対向する領域を拡大して示す平面図である。
【図5】ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡大して示す断面図である。
【図6】図(イ)、(ロ)は、それぞれ本発明の他の実施例を、ヘッドホルダのインク誘導路の開口の近傍を拡大して示す断面図である。
【図7】本発明の他の実施例を、スペーサの構造で示す平面図である。
【図8】本発明の他の実施例を、スペーサの構造で示す平面図である。
【図9】図(イ)乃至(ハ)は、それぞれ同上記録ヘッドに適したヘッドホルダのインク誘導路の実施例を示す断面図である。
【図10】同上記録ヘッドの組立斜視図である。
【図11】本発明の他の実施例を、スペーサの構造で示す平面図である。
【符号の説明】
3 リザーバ
4 圧力発生室
5 流路ユニット
6 ヘッドホルダ
7 圧電振動子
10 弾性板
12 インク誘導路
13 開口
14 ノズルプレート
15 スペーサ
16 インク導入口
18 凹部
20 枝部
21 接続流路
Claims (16)
- 複数の圧力発生室を列状に形成するとともに、各列の圧力発生室にインク供給口を介して連通し、かつ前記インク供給口と接続するとともに本体部の外周端よりも前記インク供給口側に位置するインク導入口を有するリザーバを備えたスペーサと、前記圧力発生室に連通するノズル開口が穿設されたノズルプレートと、前記リザーバを封止する弾性板とを積層して構成された流路ユニットと、
前記圧力発生室のインクを加圧する加圧手段と、
前記流路ユニットを固定するとともに、前記リザーバにインクを注入するインク誘導路が形成されたヘッドホルダとを備え、
前記スペーサが、列状に配列された前記複数の圧力発生室の配列方向と直交する方向に前記インク誘導路の開口を横断し、かつ前記開口の周縁の支持領域と前記リザーバの前記インク供給口側との間に接続流路が形成された少なくとも1つの枝部を有し、前記開口の周辺にも前記弾性板によるコンプライアンスが付与されているインクジェット式記録ヘッド。 - 前記ヘッドホルダが、前記リザーバに対向する領域に、前記弾性板を弾性変形可能ならしめる凹部が形成されている請求項1に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記弾性板が、前記圧力発生室をも封止している請求項1、または請求項2に記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記ヘッドホルダが、外部のインク供給手段から前記リザーバにインクを供給するインク誘導路を有する請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記スペーサが、シリコン単結晶基板を異方性エッチングして構成され、前記接続流路がシリコン単結晶基板のハーフエッチングにより形成されている請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記枝部が前記インク誘導路の開口と対向する領域に複数形成されている請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記接続流路が凹部として前記ノズルプレート側と前記弾性板側との両面に形成されている請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記接続流路が切欠きとして形成されている請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記開口が前記リザーバの長手方向を長軸とする楕円形として形成されている請求項1乃至請求項8のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記枝部が前記リザーバの長手方向の両端近傍まで形成されている請求項1乃至請求項9のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記加圧手段が、圧電振動子である請求項1乃至請求項10のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記加圧手段が、前記圧力発生室のインクを気化させる加熱素子により構成されている請求項1、請求項2、請求項4乃至請求項10のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記支持領域以外の前記開口部も接続流路となる前記枝部を有する請求項1乃至請求項12のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記スペーサが、インクに対して耐蝕性を有する金属板のエッチングにより形成されている請求項1乃至請求項13のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記スペーサが、インクに対して耐蝕性を有するガラス、または感光性ガラスのエッチングにより形成されている請求項1乃至請求項14のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
- 前記枝部が、前記圧力発生室を区画する隔壁の延長線上に形成されている請求項1乃至請求項15のいずれかに記載のインクジェット式記録ヘッド。
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