JPH0939242A - 積層型インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
積層型インクジェット式記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH0939242A JPH0939242A JP21124295A JP21124295A JPH0939242A JP H0939242 A JPH0939242 A JP H0939242A JP 21124295 A JP21124295 A JP 21124295A JP 21124295 A JP21124295 A JP 21124295A JP H0939242 A JPH0939242 A JP H0939242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- ink
- pressure generating
- supply port
- generating chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Abstract
(57)【要約】
【課題】 共通のインク室を形成するスペーサの厚み増
大を招くことなく、圧力発生室にスムーズにインクを供
給するための流路を確保すること。 【解決手段】 インク供給口形成基板２１の共通のイン
ク室２３に対向する面に凹部２１ａを形成して、圧力発
生室４に供給するインクの貯蔵領域の容積を拡大し、圧
力発生室４に供給するためのインクを、圧力発生室４の
近傍で保有させる。
大を招くことなく、圧力発生室にスムーズにインクを供
給するための流路を確保すること。 【解決手段】 インク供給口形成基板２１の共通のイン
ク室２３に対向する面に凹部２１ａを形成して、圧力発
生室４に供給するインクの貯蔵領域の容積を拡大し、圧
力発生室４に供給するためのインクを、圧力発生室４の
近傍で保有させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスにより構
成されたアクチュエータユニットと、金属で構成された
流路基板とを接合してなる積層型インクジェット式記録
ヘッドに関する。
成されたアクチュエータユニットと、金属で構成された
流路基板とを接合してなる積層型インクジェット式記録
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、特開平6-40035号公報に示され
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
たように圧力発生室を構成している弾性板の一部領域に
圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により圧
力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインクジ
ェット式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位さ
せることが可能なため、インク滴を安定して発生させる
ことができるという特徴を備えている。
【０００３】このような記録ヘッドは、通常、図９に示
したように圧力発生室、振動板、及び圧電振動板をセラ
ミックスの焼結により製作されたアクチュエータユニッ
トＡ，Ｂ，Ｃと、複数のノズル開口列に対応させて形成
された金属板から成る単一の流路構成ユニットＤとに大
きく分けられ、複数のアクチュエータユニットＡ，Ｂ，
Ｃを流路ユニットＤに接着剤で固定して構成されてい
る。
したように圧力発生室、振動板、及び圧電振動板をセラ
ミックスの焼結により製作されたアクチュエータユニッ
トＡ，Ｂ，Ｃと、複数のノズル開口列に対応させて形成
された金属板から成る単一の流路構成ユニットＤとに大
きく分けられ、複数のアクチュエータユニットＡ，Ｂ，
Ｃを流路ユニットＤに接着剤で固定して構成されてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように複数のアク
チュエータユニットを配設する場合には、ノズル開口列
間の距離を可及的に小さくして傾き等に起因するドット
形成位置の誤差を小さいさくする関係上、アクチュエー
タユニット間の距離Ｌ，Ｌを小さくする必要があり、共
通のインク室に割り当てることが可能な面積が小さくな
って、圧力発生室に十分な量のインクを供給することが
できないという問題や、また共通のインク室の容積を大
きくすべく、流路ユニットを構成するスペーサを厚くす
ると、ノズル開口と圧力発生室とを接続する微小な連通
孔の穿設作業が困難になるという問題がある。
チュエータユニットを配設する場合には、ノズル開口列
間の距離を可及的に小さくして傾き等に起因するドット
形成位置の誤差を小さいさくする関係上、アクチュエー
タユニット間の距離Ｌ，Ｌを小さくする必要があり、共
通のインク室に割り当てることが可能な面積が小さくな
って、圧力発生室に十分な量のインクを供給することが
できないという問題や、また共通のインク室の容積を大
きくすべく、流路ユニットを構成するスペーサを厚くす
ると、ノズル開口と圧力発生室とを接続する微小な連通
孔の穿設作業が困難になるという問題がある。
【０００５】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところはリザーバの面積
の増大や、スペーサの厚みの増大を招くことなく、共通
のインク室の容積、及び断面積を拡大して印刷に必要な
インクを圧力発生室にスムーズに供給することができる
積層型インクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。
ものであって、その目的とするところはリザーバの面積
の増大や、スペーサの厚みの増大を招くことなく、共通
のインク室の容積、及び断面積を拡大して印刷に必要な
インクを圧力発生室にスムーズに供給することができる
積層型インクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、表面に圧電振動板を有して
振動部材を形成するセラミックからなる第１の蓋部材
と、前記蓋部材により一方の面が封止されて圧力発生室
を形成するセラミックからなるスペーサとを焼成により
一体に接合してなるアクチュエータユニットと、前記ア
クチュエータユニットが固定され、前記圧力発生室の両
端部において連通する連通孔とインク供給口とを備えた
金属からなるインク供給口形成基板と、前記インク供給
口を介して前記圧力発生室に連通する共通のインク室、
及び前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えた共通の
インク室形成基板と、前記共通のインク室形成基板の他
面を封止するとともに前記各連通孔を介して前記圧力発
生室に接続するノズル開口を備えたノズルプレートとを
接合してなる流路ユニットとを接着するとともに、前記
インク供給口形成基板の前記共通のインク室に対向する
面に凹部を形成するようにした。
るために本発明においては、表面に圧電振動板を有して
振動部材を形成するセラミックからなる第１の蓋部材
と、前記蓋部材により一方の面が封止されて圧力発生室
を形成するセラミックからなるスペーサとを焼成により
一体に接合してなるアクチュエータユニットと、前記ア
クチュエータユニットが固定され、前記圧力発生室の両
端部において連通する連通孔とインク供給口とを備えた
金属からなるインク供給口形成基板と、前記インク供給
口を介して前記圧力発生室に連通する共通のインク室、
及び前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えた共通の
インク室形成基板と、前記共通のインク室形成基板の他
面を封止するとともに前記各連通孔を介して前記圧力発
生室に接続するノズル開口を備えたノズルプレートとを
接合してなる流路ユニットとを接着するとともに、前記
インク供給口形成基板の前記共通のインク室に対向する
面に凹部を形成するようにした。
【０００７】
【作用】インク供給口形成基板の凹部により共通のイン
ク室の容積、及び断面積を増大させて圧力発生室にイン
クをスムーズに供給することができる。
ク室の容積、及び断面積を増大させて圧力発生室にイン
クをスムーズに供給することができる。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１は、本発明の記録ヘッドの全
体を、熱溶着フィルムを省略して示す組み立て斜視図で
あり、また図２は、１つのアクチュエータユニットの圧
力発生室近傍の構造を示す断面図であって、図中符号２
は第１の蓋板で、厚さ１０μｍ程度のジルコニアの薄板
から構成され、その表面に、後述する圧力発生室４に対
向するように駆動電極５を形成し、その上にＰＺＴ等か
らなる圧電振動板３が固定されている。圧力発生室４
は、圧電振動板３のたわみ振動を受けて収縮、膨張して
ノズル開口２８からインク滴を吐出し、またインク供給
口２０を介して共通のインク室２３からインクを吸引す
る。
に基づいて説明する。図１は、本発明の記録ヘッドの全
体を、熱溶着フィルムを省略して示す組み立て斜視図で
あり、また図２は、１つのアクチュエータユニットの圧
力発生室近傍の構造を示す断面図であって、図中符号２
は第１の蓋板で、厚さ１０μｍ程度のジルコニアの薄板
から構成され、その表面に、後述する圧力発生室４に対
向するように駆動電極５を形成し、その上にＰＺＴ等か
らなる圧電振動板３が固定されている。圧力発生室４
は、圧電振動板３のたわみ振動を受けて収縮、膨張して
ノズル開口２８からインク滴を吐出し、またインク供給
口２０を介して共通のインク室２３からインクを吸引す
る。
【０００９】７は、スペーサで、圧力発生室４を形成す
るのに適した厚さ、例えば１５０μｍのジルコニア（Ｚ
ｒＯ2）などのセラミックス板に通孔を穿設して構成さ
れ、後述する第２の蓋体８と第１の蓋体２により両面を
封止されて前述の圧力発生室４を形成している。
るのに適した厚さ、例えば１５０μｍのジルコニア（Ｚ
ｒＯ2）などのセラミックス板に通孔を穿設して構成さ
れ、後述する第２の蓋体８と第１の蓋体２により両面を
封止されて前述の圧力発生室４を形成している。
【００１０】８は、第２の蓋体で、やはりジルコニア等
のセラミック板に後述するインク供給口２０と圧力発生
室４とを接続する連通孔９と、ノズル開口２８と圧力発
生室４の他端とを接続する連通孔１０を穿設して構成さ
れ、スペーサ７の他面に固定されている。
のセラミック板に後述するインク供給口２０と圧力発生
室４とを接続する連通孔９と、ノズル開口２８と圧力発
生室４の他端とを接続する連通孔１０を穿設して構成さ
れ、スペーサ７の他面に固定されている。
【００１１】これら各部材２、７、８は、粘土状のセラ
ミックス材料を所定の形状に成形し、これを積層して焼
成することにより接着剤を使用することなくアクチュエ
ータユニット１に纏められている。
ミックス材料を所定の形状に成形し、これを積層して焼
成することにより接着剤を使用することなくアクチュエ
ータユニット１に纏められている。
【００１２】２１は、インク供給口形成基板で、アクチ
ュエータユニット１の固定基板を兼ねるとともに、イン
クタンクとの接続部材も設けることができるように、記
録ヘッド内の部材の内で一番大きな剛性を要求される部
材である。このため、耐インク性を備えた不錆鋼等の金
属やセラミックスがその材料として選択されている。
ュエータユニット１の固定基板を兼ねるとともに、イン
クタンクとの接続部材も設けることができるように、記
録ヘッド内の部材の内で一番大きな剛性を要求される部
材である。このため、耐インク性を備えた不錆鋼等の金
属やセラミックスがその材料として選択されている。
【００１３】このインク供給口形成基板２１の共通のイ
ンク室２３に対向する面には、図２及び図３に示したよ
うに共通のインク室３よりも内側に位置するように共通
のインク室側が開いた凹部２１ａが形成されている。こ
のように凹部２１ａを共通のインク室２３の内側の領域
で、かつその先端が共通のインク室２３と同様に先細り
となるように形成することにより、凹部２１ａでの気泡
の残留が防止でき、さらには干渉を防止することもでき
る。特に気泡の排除を促すために、凹部２１ａには図４
に示したように隅部に面取りが施されている。
ンク室２３に対向する面には、図２及び図３に示したよ
うに共通のインク室３よりも内側に位置するように共通
のインク室側が開いた凹部２１ａが形成されている。こ
のように凹部２１ａを共通のインク室２３の内側の領域
で、かつその先端が共通のインク室２３と同様に先細り
となるように形成することにより、凹部２１ａでの気泡
の残留が防止でき、さらには干渉を防止することもでき
る。特に気泡の排除を促すために、凹部２１ａには図４
に示したように隅部に面取りが施されている。
【００１４】このような凹部２１ａは、インク供給口形
成基板２１として金属を使用した場合には、図５に示し
たようにインク供給口形成基板２１の共通のインク室２
３に対向する面にプレス等で凹部４０を形成し（図５
（ａ））、他方の面の凸部４１を研磨して（図５
（ｂ））平面に仕上げる（図５（ｃ））。
成基板２１として金属を使用した場合には、図５に示し
たようにインク供給口形成基板２１の共通のインク室２
３に対向する面にプレス等で凹部４０を形成し（図５
（ａ））、他方の面の凸部４１を研磨して（図５
（ｂ））平面に仕上げる（図５（ｃ））。
【００１５】また別の手法としてはインク供給口形成基
板２１の共通のインク室に対向する面に窓４２を備えた
エッチング保護膜４３を形成して（図６（ａ））、片方
の面だけをエッチングで凹部４４を形成した後（図６
（ｂ））、エッチング保護膜４３を除去する（図６
（ｃ））等の方法が採用できる。
板２１の共通のインク室に対向する面に窓４２を備えた
エッチング保護膜４３を形成して（図６（ａ））、片方
の面だけをエッチングで凹部４４を形成した後（図６
（ｂ））、エッチング保護膜４３を除去する（図６
（ｃ））等の方法が採用できる。
【００１６】他の手法としては２枚の不錆鋼をプラスチ
ックフイルムを介して積層、接合した板材を用意し、プ
ラスチックフィルムをエッチングストッパとして一方の
面の不錆鋼の凹部に該当する箇所を選択的に除去する方
法等や、さらには基板の表面に、凹部に相当する箇所を
マスクして電鋳することにより、厚肉部を形成する等の
加工方法がある。
ックフイルムを介して積層、接合した板材を用意し、プ
ラスチックフィルムをエッチングストッパとして一方の
面の不錆鋼の凹部に該当する箇所を選択的に除去する方
法等や、さらには基板の表面に、凹部に相当する箇所を
マスクして電鋳することにより、厚肉部を形成する等の
加工方法がある。
【００１７】再び図２に戻ってインク供給口形成基板２
１には、凹部２１ａの近傍の圧力発生室４側の一端側に
後述する共通のインク室２３と圧力発生室４を接続する
インク供給口２０が設けられ、また圧力発生室４の他端
側にはノズル開口２８と接続する連通孔２４が設けられ
ている。さらに、アクチュエータユニット１の固定領域
から外れた位置には図示しないインクタンクからインク
が流入するインク導入口２２、２２、２２が穿設されて
いる。
１には、凹部２１ａの近傍の圧力発生室４側の一端側に
後述する共通のインク室２３と圧力発生室４を接続する
インク供給口２０が設けられ、また圧力発生室４の他端
側にはノズル開口２８と接続する連通孔２４が設けられ
ている。さらに、アクチュエータユニット１の固定領域
から外れた位置には図示しないインクタンクからインク
が流入するインク導入口２２、２２、２２が穿設されて
いる。
【００１８】２５は、共通のインク室形成基板で、共通
のインク室２３を形成するに適した厚み、例えば１５０
μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材に、共通
のインク室２３の形状に対応する通孔と、ノズルプレー
ト２７のノズル開口２８とを接続する連通孔２６を穿設
して構成されている。
のインク室２３を形成するに適した厚み、例えば１５０
μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材に、共通
のインク室２３の形状に対応する通孔と、ノズルプレー
ト２７のノズル開口２８とを接続する連通孔２６を穿設
して構成されている。
【００１９】これらインク供給口形成基板２１、共通の
インク室形成基板２５、及びノズルプレート２７は、そ
れぞれの間に熱溶着フィルムや接着剤の接着層３２、３
３により固定して流路ユニット３０に纏められる。
インク室形成基板２５、及びノズルプレート２７は、そ
れぞれの間に熱溶着フィルムや接着剤の接着層３２、３
３により固定して流路ユニット３０に纏められる。
【００２０】この流路ユニット３０のインク供給口形成
基板２１の表面に、熱溶着フィルムや接着剤の接着層３
１によりアクチュエータユニット１、１、１を固定して
記録ヘッドが構成される。
基板２１の表面に、熱溶着フィルムや接着剤の接着層３
１によりアクチュエータユニット１、１、１を固定して
記録ヘッドが構成される。
【００２１】なお、図中符号１４は、圧電振動板３の表
面に形成される共通の電極を、また１５は外部装置と接
続するフレキシブルケーブルをそれぞれ示す。
面に形成される共通の電極を、また１５は外部装置と接
続するフレキシブルケーブルをそれぞれ示す。
【００２２】この実施例によれば、共通のインク室２３
に対向する面に形成されたインク供給口形成基板２１の
凹部２１ａの分だけ厚みが大きくなるため、スペーサ２
５を厚くすることなく、共通のインク室２３の断面積、
及び容積を大きくできて、インク滴形成に必要なインク
を各圧力発生室４にスムーズに供給することができる。
また、スペーサ２５の厚みを増大させる必要が無いた
め、連通孔２６を容易に穿設することができる。
に対向する面に形成されたインク供給口形成基板２１の
凹部２１ａの分だけ厚みが大きくなるため、スペーサ２
５を厚くすることなく、共通のインク室２３の断面積、
及び容積を大きくできて、インク滴形成に必要なインク
を各圧力発生室４にスムーズに供給することができる。
また、スペーサ２５の厚みを増大させる必要が無いた
め、連通孔２６を容易に穿設することができる。
【００２３】なお、上述の実施例においては、共通のイ
ンク室２３を圧力発生室４の一側に偏して形成したもの
に例を採って説明したが、図８に示したように圧力発生
室４の他方の領域まで拡大した記録ヘッドに対しては、
インク供給口形成基板２１に形成する凹部２１ａを圧力
発生室４に対向する領域に形成しても、インク供給口形
成基板２１の凹部２１ａの分だけ共通のインク室２３の
厚みが増大するため、スペーサ２５を厚くすることな
く、共通のインク室２３の断面積、及び容積を大きくで
きて、インク滴形成に必要なインクを各圧力発生室４に
スムーズに供給することができる。
ンク室２３を圧力発生室４の一側に偏して形成したもの
に例を採って説明したが、図８に示したように圧力発生
室４の他方の領域まで拡大した記録ヘッドに対しては、
インク供給口形成基板２１に形成する凹部２１ａを圧力
発生室４に対向する領域に形成しても、インク供給口形
成基板２１の凹部２１ａの分だけ共通のインク室２３の
厚みが増大するため、スペーサ２５を厚くすることな
く、共通のインク室２３の断面積、及び容積を大きくで
きて、インク滴形成に必要なインクを各圧力発生室４に
スムーズに供給することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、インク供給口形成基板の共通のインク室に対向する
面に凹部を形成したので、スペーサの厚み増大を招くこ
となく、共通のインク室の容積、及び断面積を増大でき
て、圧力発生室にインクをスムーズに供給することがで
きる。
は、インク供給口形成基板の共通のインク室に対向する
面に凹部を形成したので、スペーサの厚み増大を招くこ
となく、共通のインク室の容積、及び断面積を増大でき
て、圧力発生室にインクをスムーズに供給することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。
例を示す組み立て斜視図である。
【図２】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、１つのアクチュエータユニットの圧力発生室近傍
の構造でもって示す断面図である。
例を、１つのアクチュエータユニットの圧力発生室近傍
の構造でもって示す断面図である。
【図３】凹部と共通のインク室との位置関係を示す図で
ある。
ある。
【図４】図３における線Ａ−Ａでの凹部の断面構造を示
す図である。
す図である。
【図５】図（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれインク供給口
形成基板に凹部を形成するための工程を示す図である。
形成基板に凹部を形成するための工程を示す図である。
【図６】図（ａ）乃至（ｃ）は、それぞれインク供給口
形成基板に凹部を形成するための工程を示す図である。
形成基板に凹部を形成するための工程を示す図である。
【図７】本発明の他の実施例を１つのアクチュエータユ
ニットの圧力発生室近傍の構造でもって示す断面図であ
る。
ニットの圧力発生室近傍の構造でもって示す断面図であ
る。
【図８】本発明の他の実施例を、１つのアクチュエータ
ユニットの圧力発生室近傍の構造でもって示す断面図で
ある。
ユニットの圧力発生室近傍の構造でもって示す断面図で
ある。
【図９】流路ユニットに複数のアクチュエータユニット
を設けたインクジェット式記録ヘッドの一例を示す斜視
図である。
を設けたインクジェット式記録ヘッドの一例を示す斜視
図である。
１ アクチュエータユニット ２ 第１の蓋体 ３ 圧電振動板 ４ 圧力発生室 ７ スペーサ ８ 第２の蓋体 ９、１０ 連通孔 ２０ インク供給口 ２１ インク供給口形成基板 ２１ａ 凹部 ２２ インク導入口 ２３ 共通のインク室 ２７ ノズルプレート ２８ ノズル開口 ３０ 流路ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤羽 富士男 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に圧電振動板を有して振動部材を形
成するセラミックからなる第１の蓋部材と、前記蓋部材
により一方の面が封止されて圧力発生室を形成するセラ
ミックからなるスペーサとを焼成により一体に接合して
なるアクチュエータユニットと、 前記アクチュエータユニットが固定され、前記圧力発生
室の両端部において連通する連通孔とインク供給口とを
備えた金属からなるインク供給口形成基板と、前記イン
ク供給口を介して前記圧力発生室に連通する共通のイン
ク室、及び前記圧力発生室に連通する連通孔とを備えた
共通のインク室形成基板と、前記共通のインク室形成基
板の他面を封止するとともに前記各連通孔を介して前記
圧力発生室に接続するノズル開口を備えたノズルプレー
トとを接合してなる流路ユニットとを接着するととも
に、前記インク供給口形成基板の前記共通のインク室に
対向する面に凹部を形成してなる積層型インクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記凹部が前記共通のインク室の内側の
領域に形成されている請求項１の積層型インクジェット
式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21124295A JP3513992B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21124295A JP3513992B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0939242A true JPH0939242A (ja) | 1997-02-10 |
| JP3513992B2 JP3513992B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=16602651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21124295A Expired - Lifetime JP3513992B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 積層型インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3513992B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0759361A2 (en) * | 1995-08-23 | 1997-02-26 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| US7305764B2 (en) | 1999-11-11 | 2007-12-11 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP21124295A patent/JP3513992B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0759361A2 (en) * | 1995-08-23 | 1997-02-26 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| EP0759361A3 (en) * | 1995-08-23 | 1998-03-18 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head |
| US5963234A (en) * | 1995-08-23 | 1999-10-05 | Seiko Epson Corporation | Laminated ink jet recording head having flow path unit with recess that confronts but does not communicate with common ink chamber |
| US7305764B2 (en) | 1999-11-11 | 2007-12-11 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
| US7867407B2 (en) | 1999-11-11 | 2011-01-11 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing an ink-jet recording head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3513992B2 (ja) | 2004-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3317308B2 (ja) | 積層型インクジェット記録ヘッド、及びその製造方法 | |
| US5963234A (en) | Laminated ink jet recording head having flow path unit with recess that confronts but does not communicate with common ink chamber | |
| JP3196811B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 | |
| JP3487089B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド | |
| EP0695638B1 (en) | Ink jet recording head | |
| JP3235635B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| US7946682B2 (en) | Plate member for a liquid jet head | |
| JP3386119B2 (ja) | 積層型インクジェット記録ヘッドの流路ユニット | |
| JPH0858089A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP2001047620A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3513992B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド | |
| EP0799699A2 (en) | Laminated ink jet recording head | |
| JP3589108B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3589107B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JPH08174825A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3412156B2 (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH1158739A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3381790B2 (ja) | 積層型インクジェット記録ヘッドの圧力発生ユニット | |
| JP3384305B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3302515B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH11254681A (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びインク供給口形成基板の製造方法 | |
| JP2002019109A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JP3407535B2 (ja) | 積層型インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法 | |
| JPH10119270A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びこれに適したインク供給口形成基板の製造方法 | |
| JP3381791B2 (ja) | 積層型インクジェット記録ヘッドの圧力発生ユニットの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031224 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040106 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100123 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120123 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130123 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130123 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140123 Year of fee payment: 10 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |