JPH11251411A - 基板検出装置および基板検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 ウエハＷが収容されたカセットＣがカセ
ット載置台１上に載置されると、ウエハ検出器２が、カ
セットＣの上方まで一旦移動された後に下方へ移動され
る。この過程でウエハ検出器２から出力される基板検出
信号の波形は、検出波形としてメモリに記憶される。次
に、メモリに予め記憶されている基準波形と新たに記憶
された検出波形とが比較される。そして、基準波形と検
出波形との違いに基づいて、カセットＣ内の各収容棚Ｓ
ＬにおけるウエハＷの有無が判別される。 【効果】リニアエンコーダを用いずに、カセットＣ内の
各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有無を判別することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）用ガラス基板のような基板を収容したカセッ
ト内の各収容棚における基板の有無を検出するための基
板検出装置および基板検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程には、半導体ウエ
ハ（以下、単に「ウエハ」という。）の表面に薄膜を形
成する工程や、ウエハの表面から不要物を除去するため
の洗浄工程などが含まれる。これらの工程は、それぞれ
個別の処理装置によって行われるのが一般的であり、１
つの処理装置から他の処理装置への基板の搬送には、複
数枚のウエハを整列して収容することのできるカセット
が用いられている。これに応じて、各処理装置には、カ
セットを載置するためのカセット載置台と、ウエハに処
理を施すための処理部と、カセット載置台に載置された
カセットからウエハを１枚ずつ取り出して処理部に搬送
したり、処理部から処理済のウエハを受け取ってカセッ
トに収納したりするためのインデクサロボットとが備え
られている。

【０００３】カセットは、複数枚のウエハをそれぞれ水
平に保持する複数段の収容棚を有している。インデクサ
ロボットは、カセット内の各収容棚にアクセスできるよ
うに構成されている。具体的に説明すれば、インデクサ
ロボットは、ウエハを保持するためのハンドと、このハ
ンドを昇降させるための昇降機構と、ハンドをカセット
に対して進退させるための進退機構とを有しており、昇
降機構によるハンドの昇降と進退機構によるハンドの進
退との組み合わせによって、カセット内の任意の高さの
収容棚に対してウエハを取出し／収納することができ
る。

【０００４】ところで、カセット載置台に載置されるカ
セットは、すべての収容棚にウエハが収容されていると
は限らず、ウエハが収容されていない収容棚を有してい
る場合がある。したがって、カセットからウエハを取り
出す際に、すべての収容棚にインデクサロボットをアク
セスさせるのは効率的ではなく、ウエハが収容されてい
る収容棚のみにインデクサロボットをアクセスさせるの
が好ましい。そこで、従来から、カセット載置台には、
カセット内の各収容棚におけるウエハの有無を検出する
ための機構が備えられている。

【０００５】図６は、従来のウエハ検出機構の構成を示
す簡略化された断面図である。カセットＣを載置するた
めのカセット載置台９１には、カセットＣの載置位置に
関連して、ウエハＷの有無を検出するためのウエハ検出
センサ９２が設けられている。ウエハ検出センサ９２
は、たとえば、カセットＣを挟んで対向した発光素子と
受光素子との対からなるフォトセンサで構成されてい
る。

【０００６】カセット載置台９１の下方には、ロッドレ
スシリンダ９３が備えられている。ロッドレスシリンダ
９３は、ヘッド９４が鉛直方向に沿って往復移動するよ
うに配置されている。ヘッド９４は、カセット載置台９
１に形成された孔９５に挿通された連結棒９６によって
ウエハ検出センサ９２に連結されている。したがって、
ロッドレスシリンダ９３のヘッド９４を上下動させるこ
とにより、ウエハ検出センサ９２を上下動させることが
できる。

【０００７】ロッドレスシリンダ９３の側方には、ウエ
ハ検出センサ９２によるウエハＷの検出タイミングを規
定するためのリニアエンコーダ９７が設けられている。
リニアエンコーダ９７は、カセットＣ内のウエハＷの間
隔と同じ間隔で切欠きが形成されたスケール９８と、こ
のスケール９８を挟んで対向した発光素子−受光素子対
からなるフォトセンサ９９とを含む。スケール９８は、
ロッドレスシリンダ９３と平行に設けられており、ウエ
ハ検出センサ９２がカセットＣ内の最上段の収容棚ＳＬ
１に収容されたウエハＷに対向したときに、フォトセン
サ９９がスケール９８に形成された最上の切欠き９８ａ
に対向するように位置調整されている。フォトセンサ９
９は、取付部材１００によってロッドレスシリンダ９３
のヘッド９４に取り付けられている。これにより、ヘッ
ド９４を上下動させると、ウエハ検出センサ９２および
フォトセンサ９９が連動して上下動する。

【０００８】カセットＣ内の各収容棚におけるウエハＷ
の有無を検出する際には、ロッドレスシリンダ９３のヘ
ッド９４が、最上部に変位された状態から下方へ向けて
移動される。このヘッド９４の下方移動の過程で、フォ
トセンサ９９がスケール９８の切欠きに対向すると、フ
ォトセンサ９９からパルスが出力される。スケール９８
の切欠きはカセットＣ内のウエハＷの間隔（収容棚の間
隔）と同じ間隔で形成されており、また、スケール９８
の取付位置は上記のように調整されているから、フォト
センサ９９がスケール９８の切欠きに対向した状態で
は、ウエハ検出センサ９２がカセットＣ内のいずれかの
収容棚に対向している。したがって、フォトセンサ９９
からパルスが出力される度にウエハ検出センサ９２の出
力を調べることにより、カセットＣ内の各収容棚におけ
るウエハＷの有無を検知することができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、リニアエン
コーダ９７が比較的高価であるために、上記した従来の
構成においては、装置のコストが高くなるといった問題
があった。そのうえ、リニアエンコーダ９７を設けるた
めのスペースを確保しなければならず、装置を小型化す
るうえでの妨げとなっていた。

【００１０】さらに、スケール９８は、ウエハ検出セン
サ９２がカセットＣ内の最上段の収容棚ＳＬ１に収容さ
れたウエハＷに対向したときに、フォトセンサ９９がス
ケール９８に形成された最上の切欠き９７ａに対向する
ように位置調整して取り付けなければならないので、そ
の調整作業に手間がかかっていた。そこで、この発明の
目的は、上述の技術的課題を解決し、リニアエンコーダ
などを用いずにカセット内の各収容棚における基板の有
無を検出することができる基板検出装置および基板検出
方法を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板を収
容可能な複数の収容棚を有するカセットを載置するため
のカセット載置台と、このカセット載置台に載置されて
いるカセット内の基板の有無に応じた基板検出信号を出
力する基板検出手段と、この基板検出手段と上記カセッ
ト載置台とを相対的に移動させる移動手段と、基準波形
を記憶する基準波形記憶手段と、上記移動手段によって
上記カセット載置台および上記基板検出手段を相対的に
移動させ、この移動の過程において上記基板検出手段か
ら出力される基板検出信号の波形と上記基準波形記憶手
段に記憶されている基準波形とを比較して、上記カセッ
ト載置台に載置されているカセット内の各収容棚におけ
る基板の有無を判別する判別手段とを含むことを特徴と
する基板検出装置である。

【００１２】この構成によれば、予め基準波形記憶手段
に格納されている基準波形と、カセット載置台にカセッ
トを載置した状態でカセット載置台および基板検出手段
を相対的に移動させる際に基板検出手段から出力される
基板検出信号の波形とを比較することにより、カセット
内の各収容棚における基板の有無を検知することができ
る。

【００１３】これにより、各収容棚における基板の有無
を検知するために、従来の装置に備えられているリニア
エンコーダなどを必要としないので、その分だけ装置コ
ストを低減することができる。そのうえ、カセット載置
台の下方にリニアエンコーダなどを設けるためのスペー
スを確保する必要がないので、そのスペースに装置の他
の構成部品などを収容することができる。ゆえに、カセ
ット載置台の下方のスペースを有効に利用することがで
きる。

【００１４】また、リニアエンコーダを必要としないの
で、リニアエンコーダのスケールの取付位置の調整など
の作業を省略することができ、装置の製造に要する手間
を簡素化することができる。なお、リニアエンコーダを
用いずにカセット内の各収容棚におけるウエハＷの有無
を検知する構成としては、たとえば、カセット内の各収
容棚に対応する位置にウエハ検出センサを固定配置して
おくことが考えられる。しかしながら、この構成では、
カセット内の収容棚の数と同数のウエハ検出センサが新
たに必要となるから、装置のコストが却って高くなって
しまう。請求項１記載の構成では、新たなセンサを追加
する必要がないので、このような問題が生じることはな
い。

【００１５】上記移動手段は、カセット内の収容棚の積
層方向に沿って上記カセット載置台および上記基板検出
手段を相対的に移動させるものであるのが好ましい。上
記基準波形記憶手段は、具体的には請求項２に記載され
ているように、上記カセット載置台に載置されたカセッ
トの収容棚のすべてに基板が収容されている状態で、上
記移動手段によって上記カセット載置台と上記基板検出
手段とを相対的に移動させ、この移動の過程において上
記基板検出手段から出力される上記基板検出信号の波形
を基準波形として記憶しているものであるのが好まし
い。

【００１６】なお、基準波形は予め取得されて基準波形
記憶手段に記憶されていてもよいし、判別手段によって
カセット内の各収容棚における基板の有無を判別する度
に、その判別に先立って基準波形が取得されて基準波形
記憶手段に記憶されてもよい。ただし、後者の場合に
は、上記カセット載置台に載置されたカセットの収容棚
のすべてに基板が収容されている状態で、上記移動手段
によって上記カセット載置台と上記基板検出手段とを相
対的に移動させ、この移動の過程において上記基板検出
手段から出力される上記基板検出信号の波形を基準波形
として上記基準波形記憶手段に記憶させる制御手段をさ
らに含むことが好ましい。

【００１７】請求項３記載の発明は、上記移動手段は、
シリンダの駆動力によって上記基板検出手段と上記カセ
ット載置台とを相対的に移動させるものであることを特
徴とする請求項１または２記載の基板検出装置である。
この構成によれば、駆動源としてシリンダが採用されて
いる。たとえば、駆動源としてステッピングモータが採
用された構成では、ステップ数に基づいてカセット載置
台と基板検出手段との相対的な位置関係を検知できるか
ら、基板検出手段がカセット内の各収容棚に対向したタ
イミングで基板検出手段の出力を参照することにより、
各収容棚における基板の有無を検知することができる。
したがって、ステッピングモータが採用された構成で
は、リニアエンコーダなどを元々必要としない。

【００１８】しかしながら、駆動源としてシリンダが採
用された構成では、カセット載置台と基板検出手段との
相対的な位置関係を検知できないので、従来からリニア
スケールが必要不可欠であった。したがって、この発明
を駆動源としてシリンダが採用された構成に適用する
と、リニアスケールを省略でき、極めて効果的である。
請求項４記載の発明は、基板を収容可能な複数の収容棚
を有するカセットを載置するためのカセット載置台とこ
のカセット載置台に載置されているカセット内の基板の
有無に応じた基板検出信号を出力する基板検出手段とを
相対的に移動させる移動工程と、この移動工程において
上記基板検出手段から出力される基板検出信号の波形と
基準波形記憶手段に予め記憶されている基準波形とを比
較して、上記カセット載置台に載置されているカセット
内の各収容棚における基板の有無を判別する判別工程と
を含むことを特徴とする基板検出方法である。

【００１９】この方法によれば、請求項１の発明と同様
な効果を得ることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板検出装置が備えられた基板
処理装置のレイアウトを簡略化して示す平面図である。
この基板処理装置は、基板としてのウエハＷをカセット
Ｃから１枚ずつ取り出し、このウエハＷに対して第１の
薬液処理、第２の薬液処理および水洗・乾燥処理を順に
施すことにより、ウエハＷの洗浄を行う枚葉式洗浄装置
である。第１および第２の薬液処理は、たとえば、フッ
酸やアンモニア水などの薬液を用いてウエハＷの表面を
洗浄するための処理であり、たとえば、第１の薬液処理
と第２の薬液処理とでは異なる薬液が用いられる。ま
た、水洗・乾燥処理は、薬液処理後のウエハＷを純水に
よってリンスし、さらに、高速に回転させて水切り乾燥
を行うための処理である。

【００２１】上記の処理を実行するために、この基板処
理装置は、インデクサ部ＩＮＤと、このインデクサ部Ｉ
ＮＤに隣接して設けられた処理部Ｐとを有している。イ
ンデクサ部ＩＮＤは、複数枚のウエハＷを収容可能なカ
セットＣを載置するためのカセット載置台１を有してい
る。カセット載置台１は、複数個（たとえば４個）のカ
セットＣを一直線上に並べて載置できるようになってい
る。カセット載置台１には、カセットＣの各載置位置に
関連して、カセットＣ内のウエハＷの有無を検知するた
めのウエハ検出器２が設けられている。ウエハ検出器２
は、カセット載置台１の下方に備えられた昇降機構によ
って、必要に応じて昇降されるようになっている。

【００２２】インデクサ部ＩＮＤにはさらに、カセット
載置台１に載置されているカセットＣから未処理のウエ
ハＷを１枚ずつ取り出したり、処理済みのウエハＷを１
枚ずつ収容したりするためのインデクサロボット３とを
有している。インデクサロボット３は、カセット載置台
１におけるカセットＣの配列方向に沿う直線搬送路４に
沿って走行することができるように構成されており、カ
セット載置台１上の任意のカセットＣにアクセスするこ
とができるようになっている。

【００２３】処理部Ｐは、インデクサ部ＩＮＤの直線搬
送路４の中間付近において、この直線搬送路４と直交す
る方向に沿って配置された直線搬送路５と、この直線搬
送路５に沿って走行する主搬送ロボットＭＴＲとを備え
ている。直線搬送路５の両側には、第１処理トラック６
と第２処理トラック７とが振り分けられている。第１処
理トラック６および第２処理トラック７は、それぞれ、
上記第１の薬液処理を行う第１薬液処理部ＭＴＣ１と、
上記第２の薬液処理を行う第２薬液処理部ＭＴＣ２と、
上記水洗・乾燥処理を行う水洗・乾燥処理部ＤＴＣとを
有しており、これらの複数の処理部は、インデクサ部Ｉ
ＮＤから遠い側から上記の順序で直線搬送路５に沿って
配列されている。

【００２４】第１処理トラック６および第２処理トラッ
ク７の第１薬液処理部ＭＴＣ１、第２薬液処理部ＭＴＣ
２および水洗・乾燥処理部ＤＴＣに対するウエハＷの搬
入および搬出は、主搬送ロボットＭＴＲによって行われ
る。主搬送ロボットＭＴＲは、未処理のウエハＷをイン
デクサロボット３から受け取って第１薬液処理部ＭＴＣ
１に搬入し、第１薬液処理部ＭＴＣ１での処理が終了し
た後のウエハＷを搬出して第２薬液処理部ＭＴＣ２に搬
入し、この第２薬液処理部ＭＴＣ２での処理が終了した
後のウエハＷを搬出して水洗・乾燥処理部ＤＴＣに搬入
し、この水洗・乾燥処理部ＤＴＣでの処理が完了したウ
エハＷを搬出して、インデクサロボット３に受け渡す。

【００２５】図２は、カセット載置台１の平面図であ
り、図３は、図２における切断面線III-III における簡
略化された断面図である。カセット載置部１に載置され
るカセットＣは、複数枚のウエハＷを上下方向に積層し
た状態で水平に保持することができるように構成されて
いる。具体的には、カセットＣの内面には、等間隔で複
数段（たとえば２５段）の収容棚ＳＬが上下に積層され
て形成されており、各収容棚に１枚ずつのウエハＷを収
容することができるようになっている。カセットＣに
は、カセット載置台１に載置された状態でインデクサロ
ボット３に対向する側（図２における右側）の面に、ウ
エハＷを出し入れするための開口ＣＦが形成されてい
る。また、カセットＣには、開口ＣＦと反対側（図２に
おける左側）の面にも開口ＣＲが形成されている。

【００２６】カセットＣの載置位置に関連して設けられ
たウエハ検出器２は、一対の発光素子２１および受光素
子２２を有している。発光素子２１および受光素子２２
は、平面略コ字形状の保持部材２３の先端にそれぞれ取
り付けられており、発光素子２１と受光素子２２とがカ
セットＣを挟んで対向した状態で、発光素子２１からの
光がカセットＣの開口ＣＦ，ＣＲを通って受光素子２２
に入力されるように設けられている。ウエハ検出器２
は、たとえば、発光素子２１からの光が受光素子２２に
入力されている間はハイレベルの基板検出信号を出力
し、ウエハＷによって発光素子２１から受光素子２２に
向かう光路が遮られている間はローレベルの基板検出信
号を出力する。

【００２７】なお、発光素子２１と受光素子２２との高
さは若干異ならせてあり、後述する昇降機構３０によっ
てウエハ検出器２を移動させる過程において、発光素子
２１から受光素子２２に向かう光路がカセットＣの各収
容棚ＳＬに保持されたウエハＷによって所定の時間より
も長く遮られるようになっている。カセット載置台１の
下方には、図３に示すように、ウエハ検出器２をカセッ
トＣ内の収容棚ＳＬの積層方向に沿って昇降させるため
の昇降機構３０が備えられている。昇降機構３０は、ロ
ッドレスシリンダ３１と、ロッドレスシリンダ３１のヘ
ッド３２とウエハ検出器２とを連結する連結部材３３と
を含む。

【００２８】ロッドレスシリンダ３１は、上下方向に延
びたシリンダチューブ３４内に、電磁弁（図示せず）を
介して、エア供給源（図示せず）からエアを送り込み、
そのエア圧でシリンダチューブ３４内のピストンを移動
させると、このピストンの移動に追従して、ヘッド３２
がシリンダチューブ３４と平行に設けられたヘッドガイ
ド３５，３６に沿って摺動するものである。したがっ
て、ヘッド３２はシリンダチューブ３４の全長の範囲内
で移動するから、ロッドレスシリンダ３１を採用するこ
とにより、カセット載置台１の下方のスペースを有効に
利用することができる。しかしながら、このロッドレス
シリンダ３１に代えて、上下方向に進退するロッドを有
するシリンダが適用されても構わない。

【００２９】連結部材３３は、上下方向に延びて設けら
れており、カセット載置台１に形成された孔１ａに挿通
されている。連結部材３３は、その下端がロッドレスシ
リンダ３１のヘッド３２にブラケット３７を介して接続
されており、上端が保持部材２３に取り付けられてい
る。この構成により、シリンダチューブ３４内のエア圧
を変化させてヘッド３２を上下に摺動させると、ヘッド
３２の移動に伴って、連結部材３３が上下方向に延びた
ガイドレール３８に沿って上下に移動する。その結果、
連結部材３３に取り付けられたウエハ検出器２が、カセ
ット載置台１の上方で上下に移動する。

【００３０】図４は、カセットＣ内の各収容棚ＳＬにお
けるウエハＷの有無を検出するための電気的な構成を示
すブロック図である。ウエハ検出器２から出力される基
板検出信号は、判別手段および制御手段としてのＣＰＵ
４０に与えられるようになっている。ＣＰＵ４０には、
たとえばＲＡＭ４１およびＲＯＭ４２などを含むメモリ
４３が接続されており、ＣＰＵ４０に与えられるウエハ
検出器２からの基板検出信号の波形を、メモリ４３に格
納することができるようになっている。また、必要に応
じて、メモリ４３に格納されている基板検出信号の波形
を読み出すことができるようになっている。ＣＰＵ４０
はさらに、ロッドレスシリンダ３１に対してエアを送り
込んだり排出したりするための電磁弁４４の開閉動作を
制御して、ロッドレスシリンダ３１のヘッド３２の移動
を制御する。

【００３１】カセットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエ
ハＷの有無は、ＣＰＵ４０によって、メモリ４３に予め
格納されている基準波形と、処理すべきウエハＷが収容
されているカセットＣがカセット載置台１に載置された
状態でウエハ検出器２を移動させて得られる基板検出信
号の波形とが比較されることによって判別される。ま
ず、基準波形を取得するための処理について説明する。

【００３２】基準波形を取得する際には、この基板処理
装置のオペレータが、カセットＣ内の収容棚ＳＬのすべ
てにウエハＷを収容し、そのカセットＣをカセット載置
台１上のカセット載置位置に載置する。そして、たとえ
ば図示しない操作パネルを操作して、基準波形の取得を
開始する旨の信号を入力する。この信号の入力に応答し
て、ＣＰＵ４０は、電磁弁４４を動作させてロッドレス
シリンダ３１のヘッド３２を最上方まで移動させて、ウ
エハ検出器２をカセット載置台１に載置されたカセット
Ｃの上方まで移動させる。ウエハ検出器２がカセットＣ
の上方まで移動すると、次に、ロッドレスシリンダ３１
のヘッド３２を下方へと移動させて、ウエハ検出器２を
下方へ移動させる。この過程で、ウエハ検出器２によっ
てカセットＣの上面の下端縁が検出されて、ウエハ検出
器２から入力される基板検出信号がローレベルからハイ
レベルに切り換わると、ＣＰＵ４０は、それ以降にウエ
ハ検出器２から入力される基板検出信号の波形を基準波
形としてメモリ４３に書き込む。そして、ロッドレスシ
リンダ３１のヘッド３２が最下方まで移動すると、基板
検出信号波形のメモリ４３への書込みを終了する。

【００３３】これにより、たとえば図５(a) に示すよう
な基準波形が取得される。図５(a)に示す基準波形は、
カセットＣ内の収容棚ＳＬが２５段に構成されている場
合のもので、この基準波形中には、２５個のローレベル
の基板検出信号が存在している。次に、この基板処理装
置による基板処理を開始する際に、カセット載置台１に
載置されたカセットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエハ
Ｗの有無を検出する際の処理について説明する。

【００３４】人手またはＡＧＶ(Automated Guided Vehi
cle)によって、基板処理装置によって処理すべきウエハ
Ｗが収容されたカセットＣが搬送されてきて、カセット
載置台１上の載置位置に載置されると、ＣＰＵ４０は、
電磁弁４４を動作させてロッドレスシリンダ３１のヘッ
ド３２を最上方まで移動させる。これにより、ウエハ検
出器２が、カセット載置台１に載置されたカセットＣの
上方まで移動する。次に、ＣＰＵ４０は、電磁弁４４を
動作させてロッドレスシリンダ３１のヘッド３２を下方
へと移動させて、ウエハ検出器２を下方へ移動させる。
この過程で、ウエハ検出器２は、発光素子２１からの光
が受光素子２２へ入力されている間はハイレベルの基板
検出信号を出力し、収容棚ＳＬ内のウエハＷによって発
光素子２１から受光素子２２への光が遮られると、その
間はローレベルの基板検出信号を出力する。つまり、ウ
エハ検出器２から出力される基板検出信号の波形は、カ
セットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有無に対
応した波形となる。

【００３５】ＣＰＵ４０は、ウエハ検出器２によってカ
セットＣの上面の下端縁が検出されて、ウエハ検出器２
から入力される基板検出信号がローレベルからハイレベ
ルに切り換わると、その後にウエハ検出器２から入力さ
れる基板検出信号の波形をメモリ４３に書き込む。そし
て、ロッドレスシリンダ３１のヘッド３２が最下方まで
移動すると、基板検出信号波形のメモリ４３への書込み
を終了する。これにより、たとえば、カセットＣの２段
目の収容棚ＳＬ２にウエハＷが収容されていない場合に
は、図５(b) に示すような検出波形がメモリ４３に格納
されることになる。

【００３６】こうして検出波形の取得が完了すると、Ｃ
ＰＵ４０は、メモリ４３に格納されている基準波形およ
び検出波形を読み出して、読み出した基準波形と検出波
形とを比較する。そして、基準波形と検出波形との違い
に基づいて、カセットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエ
ハＷの有無を判別する。具体的には、基準波形と検出波
形の読出しを同時に開始して、その後、基準波形のロー
レベル信号が読み出されるタイミングで検出波形の状態
を調べることにより、各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの
有無を判別する。

【００３７】たとえば、図５(a) に示す基準波形と図５
(b) に示す検出波形とを読み出した場合、基準波形の１
つ目のローレベル信号が読み出されるタイミングで検出
波形はローレベルであるから、カセットＣの１段目の収
容棚ＳＬ１には、ウエハＷが収容されていると判別する
ことができる。また、基準波形の２つ目のローレベル信
号が読み出されるタイミングで検出波形はハイレベルで
あるから、カセットＣの２段目の収容棚ＳＬ２には、ウ
エハＷが収容されていないと判別することができる。こ
うして、基準波形に含まれるすべてのローレベル信号に
ついて検出波形の状態を調べることにより、カセットＣ
内の収容棚ＳＬの全段におけるウエハＷの有無を判別す
ることができる。

【００３８】なお、上記したように、発光素子２１と受
光素子２２との高さを若干異ならせることにより、発光
素子２１から受光素子２２に向かう光路がカセットＣの
各収容棚ＳＬに保持されたウエハＷによって所定の時間
よりも長く遮られるようになっているから、所定時間よ
りも短いパルス幅のローレベル信号はノイズであると判
別することにより、ウエハＷの有無を検出する精度を高
めることができる。

【００３９】以上のようにこの実施形態によれば、予め
メモリ４３に格納されている基準波形と、基板処理装置
によって処理すべきウエハＷが収容されたカセットＣを
カセット載置台に載置して、ウエハ検出センサ２を移動
させて得られる検出波形とを比較することにより、カセ
ットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有無を検知
することができる。これにより、カセットＣからウエハ
Ｗを取り出す際に、インデクサロボット２をウエハＷが
収容されている収容棚ＳＬのみにアクセスさせることが
できる。ゆえに、インデクサロボット２が無駄な動作を
行うのを回避することができる。

【００４０】また、各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有
無を検知するために、従来の装置に備えられているリニ
アエンコーダを必要としないので、このリニアエンコー
ダの分だけ装置コストを低減することができる。そのう
え、カセット載置台１の下方にリニアエンコーダのため
のスペースを設ける必要がないので、その分のスペース
に装置の他の構成部品を収容するなど、カセット載置台
１の下方のスペースを有効に利用することができる。

【００４１】さらに、リニアエンコーダを備えた従来の
装置においては、スケールの取付位置の調整に手間を要
していたが、この実施形態によれば、リニアエンコーダ
を必要としないので、装置の製造に要する手間を簡素化
することができる。なお、上述の実施形態においては、
基準波形および検出波形の両方がメモリ４３に格納され
るとしているが、検出波形のメモリ４３への格納は必須
ではない。たとえば、基準波形を取得したときのロッド
レスシリンダ３１のヘッド３２の移動速度の変化と、検
出波形を取得したときのロッドレスシリンダ３１のヘッ
ド３２の移動速度の変化とが同じであれば、検出波形の
取得に同期してメモリ４３に格納されている基準波形を
読み出し、検出波形と基準波形とを比較することによ
り、カセットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有
無を判別してもよい。この場合、検出波形のメモリ４３
への格納／読出しに要する時間が短縮されるので、カセ
ットＣ内の各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有無を判別
するのに要する時間を短縮することができる。

【００４２】また、基準波形の取得時と検出波形の取得
時とで、たとえばロッドレスシリンダ３１に供給される
エア圧の変化などが原因で、ロッドレスシリンダ３１の
ヘッド３２の移動速度が異なる場合がある。この場合、
基準波形と検出波形とを単に比較しても、カセットＣ内
の各収容棚ＳＬにおけるウエハＷの有無を正確に検知す
ることができない。そこで、このような場合には、基準
波形の長さ（図５(a)に示すＬａ）と検出波形の長さ
（図５(b) に示すＬｂ）とが一致するように、基準波形
または検出波形を拡大／縮小したうえで両者を比較すれ
ばよい。

【００４３】この発明の一実施形態の説明は以上である
が、この発明は、上記した一実施形態に限定されるもの
ではない。たとえば、上述の実施形態においては、ウエ
ハ検出センサ２を移動させるための駆動源としてシリン
ダ（ロッドレスシリンダ３１）が用いられている構成に
ついて説明したが、たとえばモータなどが駆動源として
用いられて、適当な変換機構によってモータの回転が直
動に変換されてウエハ検出センサ２に伝達される構成で
あってもよい。

【００４４】また、上記の実施形態においては、カセッ
ト載置台１が固定されており、ウエハ検出センサ２を昇
降させることによって、カセット載置台１とウエハ検出
センサ２とをカセットＣ内の収容棚ＳＬの積層方向に沿
って相対的に移動させる構成について説明したが、ウエ
ハ検出センサ２が固定されて、カセット載置台１を昇降
させることによって、カセット載置台１とウエハ検出セ
ンサ２とがカセットＣ内の収容棚ＳＬの積層方向に沿っ
て相対的に移動される構成であってもよい。

【００４５】さらに、上記の実施形態では、カセット内
に収容される基板の例としてウエハを例にとったが、カ
セット内に収容される基板はウエハに限らず、液晶表示
装置用ガラス基板やＰＤＰ用ガラス基板などの他の種類
のものであってもよい。その他、特許請求の範囲に記載
された技術的事項の範囲内で、種々の設計変更を施すこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板検出装置が備
えられた基板処理装置のレイアウトを簡略化して示す平
面図である。

【図２】カセット載置台の平面図である。

【図３】図２における切断面線III-III における簡略化
された断面図である。

【図４】カセット内の各収容棚におけるウエハの有無を
検出するための電気的な構成を示すブロック図である。

【図５】(a) 基準波形および(b) 検出波形の一例を示す
図である。

【図６】従来のウエハ検出機構の構成を示す簡略化され
た断面図である。

【符号の説明】

１ カセット載置台 ２ ウエハ検出器（基板検出手段） ３１ ロッドレスシリンダ ４０ ＣＰＵ（判別手段，制御手段） ４３ メモリ（基準波形記憶手段） Ｃ カセット Ｗ ウエハ ＳＬ 収容棚

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を収容可能な複数の収容棚を有するカ
   セットを載置するためのカセット載置台と、 このカセット載置台に載置されているカセット内の基板
   の有無に応じた基板検出信号を出力する基板検出手段
   と、 この基板検出手段と上記カセット載置台とを相対的に移
   動させる移動手段と、基準波形を記憶する基準波形記憶
   手段と、 上記移動手段によって上記カセット載置台および上記基
   板検出手段を相対的に移動させ、この移動の過程におい
   て上記基板検出手段から出力される基板検出信号の波形
   と上記基準波形記憶手段に記憶されている基準波形とを
   比較して、上記カセット載置台に載置されているカセッ
   ト内の各収容棚における基板の有無を判別する判別手段
   とを含むことを特徴とする基板検出装置。
2. 【請求項２】上記基準波形記憶手段は、上記カセット載
   置台に載置されたカセットの収容棚のすべてに基板が収
   容されている状態で、上記移動手段によって上記カセッ
   ト載置台と上記基板検出手段とを相対的に移動させ、こ
   の移動の過程において上記基板検出手段から出力される
   上記基板検出信号の波形を基準波形として記憶している
   ものであることを特徴とする請求項１記載の基板検出装
   置。
3. 【請求項３】上記移動手段は、シリンダの駆動力によっ
   て上記基板検出手段と上記カセット載置台とを相対的に
   移動させるものであることを特徴とする請求項１または
   ２記載の基板検出装置。
4. 【請求項４】基板を収容可能な複数の収容棚を有するカ
   セットを載置するためのカセット載置台とこのカセット
   載置台に載置されているカセット内の基板の有無に応じ
   た基板検出信号を出力する基板検出手段とを相対的に移
   動させる移動工程と、 この移動工程において上記基板検出手段から出力される
   基板検出信号の波形と基準波形記憶手段に予め記憶され
   ている基準波形とを比較して、上記カセット載置台に載
   置されているカセット内の各収容棚における基板の有無
   を判別する判別工程とを含むことを特徴とする基板検出
   方法。