JPH11250788A - 物理量変化記録素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】物理量の変化の記録を電力消費なく、かつ、構
成簡素で小型化容易、そのうえ、作動精度を向上させ
る。 【解決手段】可動体２ｂに作動体３を設け、作動体３に
加えられる物理量がしきい値を超えたときに、可動体２
ｂを破損させ、その可動体２ｂ上の配線５を破断させる
ことで、この配線５に接続されている電極４ａ，４ｂの
導通変化の保持されることで、その物理量の変化が記録
保持される構成。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物理量変化記録素
子に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、加速度、圧力、振動、温度などの
物理量がある所定値を超えたかどうかを記録するため
に、加速度センサ、圧力センサ、振動センサ、温度セン
サ、湿度センサなどの物理量センサで物理量がある所定
値を超えたか否かを検知し、物理量が所定値を超えたと
する検知出力に応答して記憶素子（メモリ）を駆動して
これに記録させるようにした物理量変化記録システムが
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述のシステム構成の
場合では物理量センサとメモリそれぞれに電源を供給す
るために少なからず電力消費は免れず、そのうえシステ
ム構成も複雑である。また、これらは一体化されていな
いがために小型化が困難であると同時に作動精度も必ず
しも信頼をおける程に高くはない。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明においては、加え
られる物理量に応答して変位する変位部分と、前記変位
部分のしきい値を超える変位に応答して物理的変化して
電気的状態を変えられ、この変えられた電気的状態を保
持する保持部分とを有するとともに、これらが一体化さ
れている構成として上述の課題を解決している。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【０００６】（実施の形態１）図１は、本実施の形態１
の物理量変化記録素子を示し、図１（ａ）はキャップを
外した状態でのその平面図であり、図１（ｂ）はキャッ
プを取り付けた状態でのその側面断面図である。同図を
参照してこの物理量変化記録素子は、要するに、加えら
れる物理量に応答して変位する変位部分と、前記変位部
分のしきい値を超える変位に応答して物理的変化して電
気的状態を変えられ、この変えられた電気的状態を保持
する保持部分とを有するとともに、これらは一体化され
ている。

【０００７】この変位部分は具体的には４つの周壁１ａ
〜１ｄで平面方向から見て矩形枠状に囲まれ、かつ、相
対向する一対の周壁１ｂ，１ｄ間に梁機能を備えた可動
体２ａ，２ｂでもって両側を支持された重り機能を備え
た作動体３で構成され、また、保持部分は、一方の周壁
１ｂ上の電極４ａから他方の周壁１ｄ上の電極４ｂ間に
可動体２ａ，作動体３、可動体２ｂそれぞれの上面に沿
わせて形成された配線５で構成されている。なお、この
素子の平面形状は矩形ではなく円形であっても、またそ
の他の形状であっても構わない。

【０００８】これら周壁１ａ〜１d、可動体２ａ，２ｂ
および作動体３はシリコンなどの半導体材料を用いて周
知の半導体微細加工技術でもって一体化可能であるか
ら、小型でかつ簡素な構造とすることが可能となってい
る。この周壁１ａ〜１ｄそれぞれの上下面にはそれぞれ
内部保護用としてガラスなど適宜の素材で作製されたキ
ャップ６ａ，６ｂが設けられている。

【０００９】上記構成の物理量変化記録素子において
は、外部から衝撃を含む物理量変化による外部力が作用
すると、作動体３が上下に作動させられ、その作動幅が
しきい値を超えて大きくなると、可動体２ａ，２ｂが破
断され、これによって、配線５も破断されてしまう構造
となっている。配線５の両端には前記電極４ａ，４ｂが
固定接続されているので、配線が破断されたかどうかを
電極４ａ，４ｂ間の電気的導通を見ることで、可動体２
ａ，２ｂの破損の有無の確認が可能となる。

【００１０】そのため本実施の形態１の物理量変化記録
素子では、配線５が破断される前後で電気的状態が変化
するが、その破断による電気的状態は保持され、この保
持によって作動体３に加わった振動という物理量の変化
が記録されることになる。

【００１１】この場合、作動体３を振動させる物理量と
しては単なる衝撃の他に、例えば作動体３を磁性材料で
構成すると、外部の磁気作用で作動体３を振動可能と
し、その磁気を物理量としても構わない。また、物理量
は電荷力でも構わない。さらに、温度で作動体３の部分
を変形させるものでも構わない。さらには、キャップで
囲まれた内部を密封構造とし、内部に流体、気体などを
取り込み、これらの圧力で作動体となる部分を変形させ
る物理量であっても構わない。

【００１２】（実施の形態２）図２は、本発明の実施の
形態２の物理量変化記録素子を示し、図２（ａ）は図１
の（ａ）に、図２（ｂ）は図１の（ｂ）にそれぞれ対応
する。本実施の形態２の物理量変化記録素子は、作動体
３が可動体２ｂのみで片持ち支持され、かつ電極４ａ，
４ｂが周壁１ｄ上に共に配備され、配線５は、一方の電
極４ａから可動体２ｂ、作動体５へと延びるとともに、
この作動体５からループして可動体２ｂ、他方の電極４
ｂへと引き回されている以外は実施の形態１と同様であ
るので、その詳細な説明は省略する。図３は本実施の形
態２の物理量変化記録素子における外部から衝撃などの
物理量変化に伴う各種外部力が加わった場合の挙動を示
すものであり、図３の（ａ）は図２の（ａ）に、図３の
（ｂ）は図２の（ｂ）にそれぞれ対応する。図３を参照
して、作動体３が下方へ作動変位させられ、その変位が
しきい値を超えると、可動体２ｂが破断され、これによ
って、配線５も破断されてしまう構造となっている。配
線５の両端には前記両電極４ａ，４ｂが固定接続されて
いるので、電極４ａ，４ｂ間の電気的導通を見ること
で、可動体２ｂの破損の有無の確認が可能となる。

【００１３】そのため本実施の形態２の物理量変化記録
素子では、配線５が破断される前後で電気的状態が変化
するが、その破断による電気的状態は保持され、この保
持によって作動体３に加わった物理量の変化が記録され
ることになる。

【００１４】（実施の形態３）図４は、本発明の実施の
形態３の物理量変化記録素子を示し、図４は図１の
（ａ）に対応している。本実施の形態３の物理量変化記
録素子は、一対の相対向する周壁１ｂ，１ｄ上の２つ電
極４ａ，４ｂと、両周壁１ｂ，１ｄが共に隣接する周壁
１ｃ上の１つの電極４ｃとがあり、かつこれら各電極に
対応して３つの可動体２ａ，２ｂ，２ｃで保持された作
動体３があり、３つの電極２ａ，２ｂ，２ｃ間に配線
５，５ａが設けられている以外は実施の形態１と同様で
あるので、その詳細な説明は省略する。この実施の形態
３では１つの素子の中に複数の可動体と作動体とを用い
ていることで、１つの素子で複数のしきい値を設定する
ことが可能となっている。

【００１５】（実施の形態４）図５は、本発明の実施の
形態４の物理量変化記録素子を示し、図５は図１の
（ａ）に対応している。本実施の形態４の物理量変化記
録素子は、一対の相対向する周壁１ｂ，１ｄ上の２つ電
極４ａ，４ｂと、これに対応する可動体２ａ，２ｂと、
配線５と、もう一対の周壁１ａ，１ｃ上の２つ電極４
ｃ，４ｄと、これに対応する可動体２ｃ，２ｄと、配線
５ｂとがある以外は実施の形態１と同様であるので、そ
の詳細な説明は省略する。この実施の形態４では１つの
素子の中に複数の可動体と作動体とを用いていること
で、１つの素子で複数のしきい値を設定することが可能
となっている。

【００１６】（実施の形態５）図６は、本発明の実施の
形態５の物理量変化記録素子を示し、図６は図１の
（ａ）に対応している。本実施の形態５の物理量変化記
録素子は、矩形枠状の周壁１ａ〜１ｄそれぞれにおいて
対角線上に設けられた電極４ｅ〜４ｈと、これに対応す
る可動体２ｅ〜２ｈと、配線５ｃ，５ｄとがある以外は
実施の形態１と同様であるので、その詳細な説明は省略
する。この実施の形態５では１つの素子の中に複数の可
動体と作動体とを用いていることで、１つの素子で複数
のしきい値を設定することが可能となっている。

【００１７】（実施の形態６）図７は、本発明の実施の
形態６の物理量変化記録素子を示し、図７は図１の
（ａ）に対応する。本実施の形態６の物理量変化記録素
子は、矩形枠状の周壁１ａ，１ｂ，１ｄにより構成され
る２つの隅部それぞれの電極４ｅ，４ｈと、これに対応
する可動体２ｅ，２ｈと、配線５ｅ，５ｇと、周壁１ｃ
中央の電極４ｃと、これに対応する可動体２ｃと、配線
５ｆとが設けられている以外は実施の形態１と同様であ
るので、その詳細な説明は省略する。この実施の形態６
では１つの素子の中に複数の可動体と作動体とを用いて
いることで、１つの素子で複数のしきい値を設定するこ
とが可能となっている。

【００１８】（実施の形態７）図８は、本発明の実施の
形態７の物理量変化記録素子を示し、図８は図１の
（ａ）に対応する。本実施の形態７の物理量変化記録素
子は、矩形枠状の周壁１ａ〜１ｄそれぞれの中央から可
動体２ａ〜２ｄを介して作動体３ａ〜３ｄを接続し、そ
の周壁中央それぞれに１つの電極４ａ〜４ｄを配置した
構成としている。この実施の形態７では１つの素子の中
に複数の可動体と、複数の作動体とを用いていることで
１つの素子で複数のしきい値を設定することが可能とな
っている。

【００１９】（実施の形態８）図９は、本発明の実施の
形態８の物理量変化記録素子を示し、図９は図１の
（ａ）に対応する。本実施の形態８の物理量変化記録素
子は、実施の形態７と基本構成が同じであり、ただ、各
可動体とこれに対応する作動体との組み合わせが４つあ
るが、各組み合わせ毎に区画壁７ａ〜７ｃで内部を間仕
切っており、これによって、他の可動体と作動体の挙動
がいずれか他の可動体と作動体の挙動に影響しないよう
にしている。

【００２０】この実施の形態８においても１つの素子の
中に複数の可動体と、複数の作動体とを用いていること
で、１つの素子で複数のしきい値を設定することが可能
となっている。

【００２１】（実施の形態９）図１０は、本発明の実施
の形態９の物理量変化記録素子を示し、図１０の（ａ）
は図１の（ａ）に、図１０の（ｂ）は図１の（ｂ）にそ
れぞれ対応する。本実施の形態９の物理量変化記録素子
は、周壁１ａ〜１ｄ、可動体２ｂと、これに支持される
作動体３それぞれの上面が面一であり、周壁１ｄの上面
に一対の電極４ａ，４ｂが対向配置され、かつ、両電極
４ａ，４ｂから配線５が可動体２ｂの上面から作動体３
の上面にかけてループするようにして設けられている。

【００２２】（実施の形態１０）図１１は、本発明の実
施の形態１０の物理量変化記録素子を示し、図１１の
（ａ）は図１の（ａ）に、図１１の（ｂ）は図１の
（ｂ）にそれぞれ対応する。本実施の形態１０の物理量
変化記録素子は、実施の形態９と基本構成が同じである
が、実施の形態９と異なり、作動体３がゴミなどに影響
されないようにするためにキャップ６ａ，６ｂが配備さ
れている。この場合、可動体２ｂと作動体３それぞれの
上面がキャップ６ａの下面に接触するが、可動体２ｂと
作動体３それぞれの上面に酸化膜８を形成しておくこと
で、キャップ６ａの接合を防止できるようにしても構わ
ない。

【００２３】（実施の形態１１）図１２は、本発明の実
施の形態１１の物理量変化記録素子を示し、図１２の
（ａ）は図１の（ａ）に、図１２の（ｂ）は図１の
（ｂ）にそれぞれ対応する。本実施の形態１１の物理量
変化記録素子は、実施の形態１０と基本構成が同じであ
るが、実施の形態１０ではキャップ６ａがあるために作
動体３は下方向にしか変位できないが、実施の形態１１
では周壁１ｄの斜め段差９を設けることで、可動体２ｂ
と作動体３それぞれの上面とキャップ６ａ下面との間に
隙間１０を形成し、これによって、作動体３が上下２方
向に変位できるようにしている。

【００２４】（実施の形態１２）図１３は、本発明の実
施の形態１２の物理量変化記録素子を示し、図１３の
（ａ）は図１の（ａ）に、図１３の（ｂ）は図１の
（ｂ）にそれぞれ対応する。本実施の形態１２の物理量
変化記録素子は、実施の形態１０と基本構成が同じであ
るが、実施の形態１０ではキャップ６ａがあるために作
動体３は下方向にしか変位できないが、実施の形態１２
ではキャップ６ａの周縁を立ち上げることで、可動体２
ｂと作動体３それぞれの上面とキャップ６ａ下面との間
に隙間１１を形成し、これによって、作動体３が上下２
方向に変位できるようにしている。

【００２５】（実施の形態１３）図１４は、本発明の実
施の形態１３の物理量変化記録素子を示しでいる。本実
施の形態１３の物理量変化記録素子Ａにおいては、図１
１の素子の全体を該素子を収納するパッケージ１２ａ，
１２ｂ内に密封した構造としている。素子の電極４ａ，
４ｂはリード線１３で接続され、その電気的導通が取り
出し可能とされている。

【００２６】（その他の実施の形態）なお、上述の物理
量変化記録素子は、可動体と作動体とからなる変位部分
を第１から第ｎまでの複数個有し、かつ、各変位部分に
おける破損のしきい値を異なるように設定すれば、いず
れの変位部分における可動体が破損して配線が破断し、
これによる電極の導通状態からその物理量の大きさを段
階的に記録できることになる。

【００２７】上述したような各構造を備えた本実施の形
態においては、それを各種回路、装置、機器などにおい
て以下のように適用できるものである。その適用のアプ
リケーション例について説明する。

【００２８】（アプリケーション１）図１５は、上述し
た各実施の形態における物理量変化記録素子を用いた物
理量応動回路を示しており、これについて説明すると、
この回路は、アナログ時計１４の駆動モータに対する電
源の供給ライン１５内に本実施の形態の素子Ｂ（ここで
いう素子は前記各実施の形態の素子を含む。）を組み込
んだ電子機器における回路を示している。この電子機器
に衝撃が加えられ、その衝撃が設定されたしきい値を超
えると、これを素子Ｂが感知して内部の配線が破断し、
これによって、駆動モータへの電源供給が遮断される。
これによって、アナログ時計１４が動作を停止すること
によって、そのときの時刻が記録されることになる。

【００２９】（アプリケーション２）上述した各実施の
形態の物理量変化記録素子は図示しないが、パーソナル
コンピュータなどの搬送荷物と同梱し、輸送トラックに
この搬送荷物を搭載して目的地に輸送する。目的地に到
着すると、搬送荷物を輸送トラックから降ろして素子を
搬送荷物から取り出して検査する。この素子の検査の結
果、配線が破断されて電極間の導通が無いときは、設定
されたしきい値を超える衝撃が輸送途中に加えられたこ
とが判明するので、所定の対応を取ることができる。

【００３０】（アプリケーション３）上述した各実施の
形態の物理量変化記録素子は図示しないが、この素子を
衝撃を嫌う機器例えばノートパソコン、ハンディターミ
ナル、携帯通信機などの校正が必要とされる機器に組み
込む。そして、例えば携帯通信機のような機器を手指か
ら応答して落下させた場合に、その素子がその落下に対
する保護回路として作動し、その内部の電極間の導通が
取れなくなると、その出力からその機器の校正が必要で
あることの確認を容易にし、これによって、衝撃が加わ
ったことによる測定誤差の発生を防止することができ
る。

【００３１】（アプリケーション４）図１６は、上述し
た各実施の形態における物理量変化記録素子を感圧ダイ
ヤフラムとして用いたものであり、周壁１ｃ，１ｄに電
極４ａ，４ｂが配備されているとともに、物理量が振動
ではなく圧力であり、そのために作動体が物理量として
振動で変位するものではなく圧力で変位する作動体とし
て周壁１ａ〜１ｄ間に感圧部分１６が配備されている。
この感圧部分１６は前記のように作動体であると同時に
可動体の機能も兼用しており、これによって、物理量が
振動ではなく圧力で変位する変位部分を構成している。
そして、図１６の（ａ）の状態から（ｂ）で示すように
下方からの矢印方向の圧力で感圧部分１６が上方へ湾曲
し、さらにしきい値を超える物理量としての圧力の変化
で（ｃ）で示すように感圧部分１６が破断されるもので
ある。

【００３２】（アプリケーション５）図１７は、上述の
実施の形態における物理量変化記録素子を感圧ダイヤフ
ラムとして用いたものであり、図１７は図１６と基本構
成が同じであるが、図１６と異なって感圧部分１６の一
部が周壁近傍で厚さが薄くされている。これによって、
その感圧部分１６の一部が特に作動体としての機能を果
たすもので、物理量としての圧力がかかっていない
（ａ）で示される状態から（ｂ）で示すように下方から
の矢印方向の圧力がかかることで上方へ湾曲し、さらに
しきい値を超える圧力で破断されるものである。

【００３３】（アプリケーション６）図１８は、図１７
の感圧ダイヤフラムを用いて感圧センサとしたものであ
り、圧力導入口１７を備えた基板１８の上に図１７の感
圧ダイヤフラムを符号１９で示すように搭載し、この上
からパッケージ２０をかぶせて構成されている。そし
て、この感圧ダイヤフラム１９からの配線２１を基板１
８上の配線パターン２２を介して信号処理部２３に接続
して構成されている。この感圧ダイヤフラム１９は圧力
導入口１７から導入される圧力で感圧部１６が変形し、
この変形に対応した信号を配線２１、配線パターン２２
を介して信号処理部２３に出力する。そして、その圧力
がしきい値を超えたときには感圧部１６上の配線が破断
し、その物理量であるその圧力を記録するのである。

【００３４】（アプリケーション７）図１９は、図１７
の感圧ダイヤフラムを用いて感圧センサとしたものであ
り、基板１８の上に図１７の感圧ダイヤフラムを符号１
９で示すように搭載し、この上から圧力導入口２４を備
えたパッケージ２０をかぶせて構成されている。そし
て、この感圧ダイヤフラム１９からの配線２１を基板１
８上の配線パターン２２を介して信号処理部（図示省
略）に接続して構成されている。この感圧ダイヤフラム
１９は圧力導入口２４から導入される圧力で感圧部１６
が変形し、この変形に対応した信号を配線２１、配線パ
ターン２２を介して信号処理部に出力する。そして、そ
の圧力がしきい値を超えたときには感圧部１６上の配線
が破断し、その物理量であるその圧力を記録するのであ
る。

【００３５】（アプリケーション８）図２０は、図１７
の感圧ダイヤフラムを用いて感圧センサとしたものであ
り、圧力導入口１７を備えた基板１８の配線２２上に図
１７の感圧ダイヤフラムを符号１９で示すようにフリッ
プチップ実装し、この上からパッケージ２０をかぶせて
構成されている。そして、この感圧ダイヤフラム１９か
らの配線２１を基板１８上の配線パターン２２を介して
信号処理部（図示省略）に接続して構成されている。こ
の感圧ダイヤフラム１９は圧力導入口１７から導入され
る圧力で感圧部１６が変形し、この変形に対応した信号
を配線２１、配線パターン２２を介して信号処理部に出
力する。そして、その圧力がしきい値を超えたときには
感圧部１６上の配線が破断し、その物理量であるその圧
力を記録するのである。

【００３６】（アプリケーション９）図２１は、図１７
の感圧ダイヤフラムを用いて感圧センサとしたものであ
り、基板１８の配線２２の上に図１７の感圧ダイヤフラ
ムを符号１９で示すようにフリップチップ実装し、この
上から圧力導入口２４を備えたパッケージ２０をかぶせ
て構成されている。そして、この感圧ダイヤフラム１９
からの配線２１を基板１８上の配線パターン２２を介し
て信号処理部（図示省略）に接続して構成されている。
この感圧ダイヤフラム１９は圧力導入口２４から導入さ
れる圧力で感圧部１６が変形し、この変形に対応した信
号を配線２１、配線パターン２２を介して信号処理部に
出力する。そして、その圧力がしきい値を超えたときに
は感圧部１６上の配線が破断し、その物理量であるその
圧力を記録するのである。

【００３７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、加えられ
る物理量に応答して変位する変位部分と、前記変位部分
のしきい値を超える変位に応答して物理的変化して電気
的状態を変えられ、この変えられた電気的状態を保持す
る保持部分とを有するとともに、これらが一体化されて
構成されているので、加速度、圧力、振動、温度などの
物理量がある所定値を超えたかどうかを記録するため
に、加速度センサ、圧力センサ、振動センサ、温度セン
サなどの物理量センサと、そのセンサの検知出力からそ
の物理量がしきい値を超えたことを記憶するメモリが不
要となり、これによって、物理量センサとメモリそれぞ
れに電源を供給するための電力消費がなくなり、かつ、
上記一体化構成であるために構成が簡素になり、かつ小
型化も容易となる。また、半導体微細加工技術で一体化
することで作動精度を大きく向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係る物理量変化記録素子
を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面図

【図２】本発明の実施の形態２に係る物理量変化記録素
子を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面図

【図３】本発明の実施の形態２に係る物理量変化記録素
子の動作説明に用いるもので（ａ）は平面図、（ｂ）は
側面断面図

【図４】本発明の実施の形態３に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図５】本発明の実施の形態４に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図６】本発明の実施の形態５に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図７】本発明の実施の形態６に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図８】本発明の実施の形態７に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図９】本発明の実施の形態８に係る物理量変化記録素
子の平面図

【図１０】本発明の実施の形態９に係る物理量変化記録
素子を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面図

【図１１】本発明の実施の形態１０に係る物理量変化記
録素子を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面
図

【図１２】本発明の実施の形態１１に係る物理量変化記
録素子を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面
図

【図１３】本発明の実施の形態１２に係る物理量変化記
録素子を示すもので（ａ）は平面図、（ｂ）は側面断面
図

【図１４】本発明の実施の形態１３に係る物理量変化記
録素子の側面断面図

【図１５】本発明の各実施の形態のアプリケーション１
の回路図

【図１６】本発明の各実施の形態のアプリケーション４
の感圧ダイヤフラム部を示し、（ａ）は圧力負荷前の側
面断面図、（ｂ）はしきい値以下の圧力負荷時での側面
断面図、（ｃ）はしきい値以上の圧力負荷時での側面断
面図

【図１７】本発明の各実施の形態のアプリケーション５
の感圧ダイヤフラム部を示し、（ａ）は圧力負荷前の側
面断面図、（ｂ）は圧力負荷時での側面断面図

【図１８】図１７の感圧ダイヤフラム部を用いたアプリ
ケーション６での側面断面図

【図１９】図１７の感圧ダイヤフラム部を用いたアプリ
ケーション７での側面断面図

【図２０】図１７の感圧ダイヤフラム部を用いたアプリ
ケーション８での側面断面図

【図２１】図１７の感圧ダイヤフラム部を用いたアプリ
ケーション９での側面断面図

【符号の説明】

１ａ〜１d 周壁 ２ａ，２ｂ 可動体 ３ 作動体 ４ａ，４ｂ 電極 ５ 配線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古澤 光一 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内 (72)発明者 山口 浩二 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内 (72)発明者 梅田 史彦 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内 (72)発明者 政井 琢 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加えられる物理量に応答して変位する変位
   部分と、前記変位部分のしきい値を超える変位に応答し
   て物理的変化して電気的状態を変えられ、この変えられ
   た電気的状態を保持する保持部分とを有するとともに、
   これらが一体化されていることを特徴とする物理量変化
   記録素子。
2. 【請求項２】前記変位部分が可動体に一体に設けられた
   作動体であり、前記保持部分が、前記可動体に形成され
   た配線であり、前記配線はしきい値を超える前記作動体
   の動きに伴う前記可動体の挙動で破断されることを特徴
   とする請求項１に記載の物理量変化記録素子。
3. 【請求項３】前記変位部分と前記保持部分とが半導体微
   細加工技術で一体化可能であることを特徴とする請求項
   １または２に記載の物理量変化記録素子。